CN117352421A - 片粘贴装置及片粘贴方法 - Google Patents

Abstract

提供片粘贴装置及片粘贴方法，即使对粘贴粘接片的被粘物的片粘贴区域实施了难粘接处理，折曲并粘贴的粘接片也不会从所述片粘贴区域剥离。片粘贴装置(EA)具备粘贴单元(20)，以在沿规定供给方向(SD)供给的粘接片(AS)的供给方向(SD)的一端(AS1)侧及另一端(AS2)侧至少一方形成从被粘物(WK)的规定的一面(WK3)伸出的伸出区域(ASH)的方式将粘接片粘贴于一面(WK3)，将伸出区域折曲粘贴于其他面(WK1、WK2)方向，对被粘物(WK)实施难以粘接粘接片的难粘接处理(MT)，还具备难粘接处理去除单元(30)，去除对粘贴粘接片的被粘物(WK)的片粘贴区域(WKA)实施的难粘接处理(MT)。

Description

片粘贴装置及片粘贴方法

技术领域

本发明涉及一种片粘贴装置及片粘贴方法。

背景技术

已知将粘接片粘贴于被粘物的片粘贴装置(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2022-30877号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

对于专利文献1所记载的带粘贴系统1(片粘贴装置)而言，如果对粘贴保护带27(粘接片)的晶圆W(被粘物)的片粘贴区域实施了难以粘接该粘接片的难粘接处理，则会发生折曲并粘贴的粘接片因自身的弹性复原力而从该片粘贴区域剥离的不良情况。

本发明的目的在于，提供一种片粘贴装置及片粘贴方法，即使对粘贴粘接片的被粘物的片粘贴区域实施了难粘接处理，折曲并粘贴的粘接片也不会从该片粘贴区域剥离。

(二)技术方案

本发明采用了权利要求记载的结构。

(三)有益效果

根据本发明，由于将对粘贴粘接片的被粘物的片粘贴区域实施的难粘接处理去除，因此即使对粘贴粘接片的被粘物的片粘贴区域实施了难粘接处理，折曲并粘贴的粘接片也不会从该片粘贴区域剥离。

附图说明

图1是本发明一实施方式的片粘贴装置的说明图以及该装置的动作说明图。

图2是片粘贴装置的说明图以及该装置的动作说明图。

附图标记说明

EA-片粘贴装置；20-粘贴单元；30-难粘接处理去除单元；31-热风送风机(加热单元)；AS-粘接片；ASH-伸出区域；AS1-一端；AS2-另一端；MT-粗化处理(难粘接处理)；SD-供给方向；WK-被粘物；WKA-片粘贴区域；WKM-被粘物主体；WKS-片材；WK1-一面(其他面)；WK2-另一面(其他面)；WK3-外周面(一面)。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明一实施方式进行说明。

此外，本实施方式的X轴、Y轴、Z轴分别具有正交的关系，X轴及Y轴设定为规定平面内的轴，Z轴设定为与所述规定平面正交的轴。并且，在本实施方式中，以从与图1的(A)所示的Y轴平行的箭头DR方向观察的情况为基准，当不指定图来表示方向时，“上”是Z轴的箭头方向且“下”是其相反方向，“左”是X轴的箭头方向且“右”是其相反方向，“前”是平行于Y轴的图1中近前方向且“后”是其相反方向。此外，图2的(C)是图1的(A)的AA方向视图，图2的(D)是图1的(A)的BB方向视图。

本发明的片粘贴装置EA具备：供给单元10，其实施供给工序，沿着规定的供给方向SD供给粘接片AS；粘贴单元20，其实施粘贴工序，以在沿着供给方向SD供给的粘接片AS的沿着该供给方向SD的一端AS1侧(参照图2(B))及另一端AS2侧双方形成从被粘物WK的作为规定的一面的外周面WK3伸出的伸出区域ASH的方式将该粘接片AS粘贴于外周面WK3，并将伸出区域ASH折曲并粘贴于作为其他面的一面WK1及另一面WK2方向；以及难粘接处理去除单元30，其实施难粘接处理去除工序，去除对粘贴粘接片AS的被粘物WK的片粘贴区域WKA实施的作为难粘接处理的粗化处理MT(在各图中用锯齿线表示)，该片粘贴装置EA配置于使被粘物WK和片粘贴装置EA相对移动的移动单元40的附近。

此外，对本实施方式的被粘物WK实施了难以粘接粘接片AS的粗化处理MT。具体而言，本实施方式的被粘物WK由被粘物主体WKM和粘贴于该被粘物主体WKM的片材WKS构成，对片材WKS实施了粗化处理MT。

另外，本实施方式的被粘物WK呈以被粘物中心WKC为中心的圆形形状。

供给单元10具备：支撑部件11，其对构成该供给单元10的各部件直接或间接地进行支撑；支撑辊12，其对粘接片AS临时粘接于带状的剥离片RL的原材料RS进行支撑；引导辊13，其引导原材料RS；剥离板14，其作为剥离单元，使剥离片RL在剥离缘14A折回，从该剥离片RL剥离粘接片AS；驱动辊15，其支撑于作为驱动设备的转动马达15A的未图示的输出轴，与夹送辊15B夹持剥离片RL；回收辊16，其作为回收单元，支撑于未图示的驱动设备的输出轴，在片粘贴装置EA进行自动运转的期间，始终对回收辊16与夹送辊15B之间存在的剥离片RL施加规定的张力，并回收该剥离片RL；以及张力施加单元17，其对粘贴于被粘物WK的粘接片AS施加张力。

张力施加单元17具备：转动马达17A，其作为驱动设备能够进行转矩控制；以及驱动辊17C，其支撑于转动马达17A的未图示的输出轴，与压辊17B夹持原材料RS。

粘贴单元20具备：作为按压部件的第一按压辊21、第二按压辊22、第三按压辊23、第四按压辊24，第一按压辊21、第二按压辊22、第三按压辊23、第四按压辊24可旋转地支撑于未图示的托架。

此外，在本实施方式中，如图2的(A)所示，第一按压辊21配置于：当被粘物WK的被粘物中心WKC配置于基准位置RP时，能够将从供给单元10供给的粘接片AS按压于该被粘物WK的外周面WK3的位置。另外，如图2的(C)～(E)所示，第二按压辊22～第四按压辊24分别构成为上下一对，如图2的(A)所示，当被粘物WK的被粘物中心WKC配置于基准位置RP时，将粘贴于该被粘物WK的外周面WK3的粘接片AS的伸出区域ASH分别配设于能够向一面WK1方向及另一面WK2方向折曲的位置。在本实施方式中，第二按压辊22～第四按压辊24能够以相对于Z轴而言分别向基准位置RP方向倾斜30度、60度、90度的旋转轴为中心进行旋转。

难粘接处理去除单元30具备作为加热单元的热风送风机31，该热风送风机31通过加热而去除粗化处理MT。

热风送风机31构成为从排气口31B喷出通过线圈加热器或热管的加热侧等加热设备31A加热的热风HA。

移动单元40具备：作为驱动设备的线性马达41；转动马达42，其作为驱动设备，支撑于线性马达41的滑块41A；以及支撑台43，其支撑于转动马达42的输出轴42A且具有支撑面43A，该支撑面43A能够利用减压泵或真空抽气机等未图示的减压单元(保持单元)进行吸附保持。支撑台43构成为利用转动马达42以台中心43C为中心进行旋转。

对以上的片粘贴装置EA的动作进行说明。

首先，对于在如图1的(A)中实线所示的初始位置配置各部件的片粘贴装置EA而言，该片粘贴装置EA的使用者(以下简称为“使用者”)如图示那样设置原材料RS，之后经由操作面板或个人计算机等未图示的操作单元输入开始自动运转的信号。于是，供给单元10使转动马达15A、17A驱动，送出原材料RS，如图1的(A)所示，当起始的粘接片AS的供给方向前端部ASF在剥离板14的剥离缘14A剥离了规定长度时，停止转动马达15A、17A的驱动。

接着，如图1的(A)所示，当使用者或多关节机器人或带式输送机等未图示的输送单元以使得被粘物中心WKC与台中心43C重合的方式使片材WKS侧为下方而将被粘物WK载置于支撑面43A上时，移动单元40使未图示的减压单元驱动，开始进行该支撑面43A上的吸附保持。之后，移动单元40使转动马达42驱动，从上方俯视来看，使被粘物WK向逆时针旋转方向RD旋转，并且难粘接处理去除单元30使热风送风机31驱动，如图1的(D)所示，从排气口31B喷出热风HA。当喷吹热风HA时，片材WKS的表面融化，如图1的(C)所示，构成达到片粘贴区域WKA的粗化处理MT的凹凸如图1的(D)所示那样被均匀平整化而去除。

接着，如果从片粘贴区域WKA整体去除了粗化处理MT，则难粘接处理去除单元30及移动单元40停止热风送风机31及转动马达42的驱动。并且，移动单元40使线性马达41驱动，使支撑台43向左方移动，如图2的(A)所示，当台中心43C(被粘物中心WKC)与基准位置RP一致时，停止线性马达41的驱动。接着，供给单元10及移动单元40使转动马达15A、17A、42驱动，俯视来看，使被粘物WK向逆时针旋转方向RD旋转并且供给粘接片AS。由此，粘接片AS被按压辊21按压，如图2的(A)、(B)所示，当在形成有伸出区域ASH的状态下粘贴于外周面WK3后，如图2的(C)、(D)、(E)所示，利用第二按压辊22～第四按压辊24使伸出区域ASH呈阶段性折曲，该伸出区域ASH粘贴于被粘物WK的一面WK1侧及另一面WK2侧。

之后，当起始的粘接片AS的后续的下一个粘接片AS的供给方向前端部ASF在剥离板14的剥离缘14A上剥离了规定长度时，供给单元10停止转动马达15A、17A的驱动，停止原材料RS的送出。接着，起始的粘接片AS的供给方向后端部ASR的伸出区域ASH利用第四按压辊24粘贴于被粘物WK的一面WK1侧及另一面WK2侧，如图2的(E)所示，当形成一体物UP时，移动单元40停止转动马达42的驱动。

并且，移动单元40使线性马达41驱动，使支撑台43恢复到初始位置后，停止未图示的减压单元的驱动，解除支撑面43A上的吸附保持。接着，使用者或者未图示的输送单元从支撑面43A上去除一体物UP，并将该一体物UP输送到镀层工序、干法蚀刻工序等下一个工序，以后重复上述同样的动作。

根据以上这样的实施方式，由于将对粘贴粘接片AS的被粘物WK的片粘贴区域WKA实施的粗化处理MT去除，因此即使对粘贴粘接片AS的被粘物WK的片粘贴区域WKA实施了粗化处理MT，折曲并粘贴的粘接片AS也不会从该片粘贴区域WKA剥离。

对于本发明中的单元和工序而言，只要是能够实现对这些单元和工序进行了说明的动作、功能或工序即可，没有特别限定，且完全不限于上述实施方式所示的单纯的一实施方式的构成物、工序。例如，粘贴单元只要是以在沿着规定的供给方向供给的粘接片的沿着该供给方向的一端侧及另一端侧中至少一方形成有从被粘物的规定的一面伸出的伸出区域的方式将该粘接片粘贴于一面，能够将伸出区域折曲粘贴于其他面方向的结构即可，只要对照起初申请时的技术常识而言在其技术范围内则并无限定(对于其他单元和工序而言也同样如此)。

对于供给单元10而言，可以通过在临时粘接于带状的剥离片RL的带状的粘接片基材上形成闭环状或短尺寸宽度方向整体的切口，从将由该切口分隔的规定的区域作为粘接片AS形成的原材料RS剥离该粘接片AS进行供给，也可以采用在带状的剥离片RL临时粘接有带状的粘接片基材的带状粘接片原材料，在送出该带状粘接片原材料的过程中，利用作为切断单元的切断刀在粘接片基材上形成闭环状或短尺寸宽度方向整体的切口，从将由该切口分隔的规定的区域作为粘接片AS形成的原材料RS剥离该粘接片AS进行供给，也可以从在带状的剥离片RL临时粘接有带状的粘接片AS的原材料RS剥离该带状的粘接片AS进行供给，也可以不进行卷绕，而是例如从扇形折叠的原材料RS剥离粘接片AS进行供给，也可以不进行卷绕，而是例如采用扇形折叠、利用碎纸机等进行切割、任意地集聚而将剥离片RL回收的回收单元，也可以不采用回收单元，也可以将未临时粘接于剥离片RL的粘接片AS送出进行供给，也可以具备将粘贴于被粘物WK的粘接片AS切断成规定的长度的切断单元，在采用能够弹性变形的粘接片AS的情况下，当将该粘接片AS粘贴于被粘物WK时，使转动马达17A驱动，并检测经由驱动辊17C从粘接片AS施加的转矩，以使该转矩为规定值的方式供给粘接片AS，从而可以对粘贴于被粘物WK的粘接片AS施加张力，可以在本发明的片粘贴装置EA中具备，也可以不具备，在本发明的片粘贴装置EA中不具备的情况下，只要其它的装置、使用者沿着规定的供给方向供给粘接片AS即可。

张力施加单元17可以可滑动地把持原材料RS、粘接片AS，并调整该把持力对粘贴于被粘物WK的粘接片AS施加张力，可以采用不能进行转矩控制的转动马达17A，使用者能够考虑粘接片AS的特性、特质、性质、材质、组成、结构、形状、尺寸以及重量、气氛的条件、其它的主要因素等各种条件，任意确定对粘接片AS施加的规定的张力，可以在本发明的片粘贴装置EA中具备，也可以不具备。

此外，上述的实施方式中，作为供给单元10的结构物而说明了张力施加单元17，但是该张力施加单元17可以不是供给单元10的结构物而是独立地构成，例如，可以位于剥离板14与按压辊21之间并对粘贴于被粘物WK的粘接片AS施加张力。

关于粘贴单元20，可以是，以仅在沿着规定的供给方向SD供给的粘接片AS的沿着该供给方向SD的一端AS1侧形成从被粘物WK的外周面WK3伸出的伸出区域ASH的方式将该粘接片AS粘贴于外周面WK3，将伸出区域ASH折曲并粘贴于作为其他面的一面WK1方向，也可以是，以仅在沿着规定的供给方向SD供给的粘接片AS的沿着该供给方向SD的另一端AS2侧形成从被粘物WK的外周面WK3伸出的伸出区域ASH的方式将该粘接片AS粘贴于外周面WK3，将伸出区域ASH折曲并粘贴于作为其他面的另一面WK2方向，可以在将粘接片AS粘贴于被粘物WK时，具备与支撑台43夹持该被粘物WK的按压单元，可以不利用移动单元40与被粘物WK相对移动，而例如利用其它的装置、未图示的驱动设备等与被粘物WK相对移动，将粘接片AS粘贴于被粘物WK，第二按压辊22～第四按压辊24可以不是上下一对，而仅在被粘物WK的一面WK1侧或者另一面WK2侧设置，第二按压辊22～第四按压辊24可以以相对于Z轴而言分别向基准位置RP方向倾斜了13度、47度、91度这些角度的旋转轴为中心旋转，在所述实施方式中，采用第一按压辊21～第四按压辊24这4个按压部件将粘接片AS以4个阶段粘贴于被粘物WK，也可以采用5个以上的按压部件将粘接片AS以5个阶段以上粘贴于被粘物WK，或者采用3个以下的按压部件将粘接片AS以3个阶段以下粘贴于被粘物WK，作为按压部件，可以取代或者并用第一按压辊21～第四按压辊24而采用导板、回转带或者气体的喷吹等将粘接片AS粘贴于被粘物WK，可以以粘接片AS的供给方向前端部ASF与供给方向后端部ASR重合的方式将该粘接片AS粘贴于被粘物WK，或以粘接片AS的供给方向前端部ASF侧的前端缘与供给方向后端部ASR的后端缘接触的方式使其对接，将该粘接片AS粘贴于被粘物WK，或在粘接片AS的前端缘与后端缘之间产生间隙的方式进行对接，将该粘接片AS粘贴于被粘物WK。

难粘接处理去除单元30例如可以通过用燃烧器、打火机等器具进行烘烤而使难粘接处理融化并去除，通过按压发热的金属板、陶瓷等按压部件而对难粘接处理进行加热加压而去除，利用磨削加工、研磨加工等而削去难粘接处理进行去除，利用切断加工、切割加工等而切断难粘接处理进行去除，利用冲压加工、加压加工而压碎难粘接处理进行去除，利用蚀刻加工而腐蚀难粘接处理进行去除，通过施加溶剂而溶解难粘接处理进行去除，通过洗涤剂、抽吸等清扫而清洗难粘接处理进行去除，利用腻子、树脂等硬化剂而填埋难粘接处理进行去除，只要是能够去除对片粘贴区域WKA施加的难粘接处理则可以是任意方法，可以是能够去除对被粘物WK的一面WK1中的片粘贴区域WKA、另一面WK2中的片粘贴区域WKA以及外周面WK3中的片粘贴区域WKA中的至少一处实施的难粘接处理的方法，也可以将对片粘贴区域WKA施加的难粘接处理进行全部去除、局部去除。

移动单元40可以采用不能进行保持面43A上的吸附保持的支撑台43，可以取代或者并用线性马达41、转动马达42以及支撑台43而例如通过其它的装置、未图示的驱动设备等使被粘物WK相对于第一按压辊21～第四按压辊24相对移动，将粘接片AS粘贴于被粘物WK，在本发明的片粘贴装置EA中可以具备，也可以不具备。

片粘贴装置EA可以在一个或多个被粘物WK上粘贴1片粘接片AS，在一个或多个被粘物WK上粘贴多片粘接片AS，在被粘物WK的一面WK1侧、另一面WK2侧以及外周面WK3侧中的至少一处配置、粘贴金属、玻璃、树脂、其它的粘接片等支撑部件，可以用粘接片AS使该被粘物WK和支撑部件一体化，可以具备在被粘物WK的一面WK1侧、另一面WK2侧以及外周面WK3侧中的至少一处配置支撑部件的支撑部件配置单元，可以具备在被粘物主体WKM上粘贴片材WKS的片材粘贴单元。

片粘贴装置EA可以采用粘接片AS能够利用规定的能量变形的装置，在这种情况下，例如图1的(A)中双点划线所示，可以具备对粘接片AS施加规定的能量的能量施加单元50。这样的能量施加单元50可以设置于粘接片AS相对于按压辊21的粘贴方向下游侧，也可以设置于剥离板14与第一按压辊21之间。通过设为这样的结构，片粘贴装置EA在以形成伸出区域ASH的方式将粘接片AS粘贴于外周面WK3后，对该伸出区域ASH施加规定的能量使其变形，能够使该伸出区域ASH成为向一面WK1方向、另一面WK2方向折曲的折曲姿态。在这种情况下，伸出区域ASH可以从折曲姿态的状态起经由第二按压辊22～第四按压辊24粘贴于一面WK1侧、另一面WK2侧，也可以通过成为折曲姿态而以不经由第二按压辊22～第四按压辊24的方式粘贴于一面WK1侧、另一面WK2侧。

此外，作为能够利用规定的能量进行变形的粘接片AS，可以是将紫外线、红外线、可见光线、声波、X射线或者伽马射线等电磁波、热水、热风等的热等作为规定的能量进行变形的方式，利用其以外的能量进行变形的方式。

另外，作为能量施加单元可以是施加紫外线、红外线、可见光线、声波、X射线或者伽马射线等电磁波、热水、热风等的热等的单元，能够考虑粘接片AS的特性、特质、性质、材质、组成以及结构等任意地采用能够使该粘接片变形的装置。

能够利用规定的能量进行变形的粘接片AS可以伴随着收缩进行变形、伴随着膨胀进行变形、不伴随着收缩也不伴随着膨胀进行变形。

在被粘物WK由被粘物主体WKM和粘贴于该被粘物主体WKM的片材WKS构成的情况下，可以在该被粘物WK的一面WK1侧、另一面WK2侧以及外周面WK3侧中的至少一处粘贴有片材WKS，在被粘物WK上粘贴有多个片材WKS的情况下，那些片材WKS可以全部或一部分为相同种类，也可以全部为不同种类。

当被粘物WK在一面WK1侧、另一面WK2侧以及外周面WK3侧中的至少一处粘贴有片材WKS时，可以对被粘物主体WKM以及片材WKS中的至少一方实施难粘接处理。

被粘物WK可以仅是未粘贴有片材WKS的被粘物主体WKM，在这种情况下，可以对被粘物WK的一面WK1侧、另一面WK2侧以及外周面WK3侧中的至少一处实施难粘接处理。

被粘物WK、被粘物主体WKM可以在一面WK1侧、另一面WK2侧以及外周面WK3侧中的至少一方形成有环状或者非环状的凸部WK4(参照图1的(B)中标注标号CC的图。在该图中，在被粘物WK以及被粘物主体WKM的另一面WK2侧形成有环状或者非环状的凸部WK4)。

片材WKS可以利用粘接剂、静电或者水分等的粘接部件粘贴于被粘物主体WKM，那些粘接部件可以层叠于片材WKS自身，也可以不层叠于片材WKS自身。

难粘接处理只要是利用喷砂加工、砂纸加工等粗面加工形成的粗面处理、或利用网眼加工、滚花加工、凹痕加工等表面加工形成的凹凸处理、或利用油附着、粉末附着等附着加工形成的附着处理等难以粘接粘接片的处理则可以是任意的处理，可以在被粘物WK的一面WK1侧、另一面WK2侧以及外周面WK3侧中的至少一处实施。

在上述的实施方式中，将规定的一面设定为外周面WK3，但是该一面可以是一面WK1，也可以是另一面WK2，例如，在该一面是一面WK1的情况下，其他面也可以是外周面WK3、另一面WK2。

片粘贴装置EA例如可以采用形成为具备沿着被粘物WK的一面WK1的外缘的外缘的形状(例如圆形状、圆环形状)的粘接片AS，在这种情况下，例如可以在利用第一按压辊21将粘接片AS粘贴于被粘物WK的作为规定的一面的一面WK1后，利用相对于该一面WK1倾斜的一个或多个倾斜辊等将从一面WK1伸出的粘接片AS的伸出区域折曲并粘贴于作为其他面的外周面WK3侧、另一面WK2侧。

另外，例如在采用形成为具备沿着被粘物WK的一面WK1的外缘的外缘的形状(例如圆形状、圆环形状)的粘接片AS的情况下，可以取代第一按压辊21而采用支撑于作为驱动设备的直动马达的输出轴并能够利用减压泵或真空抽气机等未图示的减压单元(保持单元)进行吸附保持的保持部件，并在将用该保持部件保持的粘接片AS粘贴于被粘物WK的作为规定的一面的一面WK1侧后，利用相对于该一面WK1倾斜的一个或多个倾斜等将从一面WK1伸出的粘接片AS的伸出区域折曲并粘贴于作为其他面的外周面WK3侧、另一面WK2侧。

对于本发明中的粘接片AS、片材WKS、被粘物WK、被粘物主体WKM以及支撑部件的材质、种类、形状等，没有特别限定。例如，粘接片AS、被粘物WK、被粘物主体WKM、片材WKS以及支撑部件可以是圆形、椭圆形、三边形、四边形等多边形、圆环形状、椭圆环形状、多边环形状、其它的形状等任何形状；粘接片AS、片材WKS可以是压敏粘接性、热敏粘接性等粘接方式的材料；在采用热敏粘接性的粘接片AS、片材WKS的情况下，只要通过设置对该粘接片AS、片材WKS进行加热的适当的线圈加热器或热管的加热侧等加热单元这样适当的方法进行粘接即可。另外，对于这样的粘接片AS、片材WKS而言，例如可以是仅有粘接剂层的单层；层叠有基材和粘接剂层的2层；在基材和粘接剂层之间层叠有一个或多个中间层的3层或者3层以上；在基材的上表面层叠有一个或多个罩盖层的3层或者3层以上；以能够剥离的方式设置基材、中间层或罩盖层；仅由粘接剂层构成的单层的双面粘接片；在一个或多个中间层的两最外表面层叠有粘接剂层的双面粘接片等任意的方式。并且，被粘物WK、被粘物主体WKM以及支撑部件例如可以是食品、树脂容器、硅半导体晶圆或者化合物半导体晶圆等半导体晶圆、电路基板、光盘等信息记录基板、玻璃板、钢板、陶瓷、木板或者树脂等单体物，也可以是由这些其中的两种以上形成的复合物，任意形态的部件、物品等都能够成为对象。另外，粘接片AS、片材WKS可以基于功能、用途进行改称，例如可以是信息记载用标签、装饰用标签、保护片、切割带、芯片粘接膜、芯片接合带、记录层形成树脂片等任意的片、膜、带等。

所述实施方式中的驱动设备可以单独采用转动马达、直动马达、线性马达、单轴机器人、具备双轴或者三轴以上的关节的所谓多关节机器人等电动设备、气缸、液压缸、无杆缸以及旋转缸等致动器等，可以采用由这些电动设备、致动器等直接或者间接组合而成之物，可以采用能够或者不能针对这些电动设备、致动器等的输出部进行转矩控制、速度控制等的设备。

在上述实施方式中，任何物体(以下称为“物体A”)及相对于该物体A移动的物体(以下称为“物体B”)即相对移动的物体A及物体B既可以是物体B相对于不移动的物体A移动，也可以是物体A相对于不移动的物体B移动，也可以是物体A及物体B双方移动，只要通过移动实现的结果相同，则可以是物体A及物体B的任意一方移动，在采用辊等旋转部件的情况下，可以具备使该旋转部件旋转驱动的驱动设备，可以由橡胶、树脂等可变形的部件构成旋转部件的表面或者旋转部件本身，也可以由不变形的部件构成旋转部件的表面或者旋转部件本身，也可以代替辊而采用进行旋转或者不进行旋转的轴、叶片等其他部件，在采用按压辊、按压板32或按压头等按压单元、按压部件或限制部件对被按压物进行按压的情况下，可以代替上述例示的方式或与其并用地采用：辊、圆棒、叶片材料、刷状部件，此外也可以采用通过喷出大气、其他气体等气体进行按压的方式，进行按压的部件可以由橡胶、树脂或海绵等可变形的部件构成，也可以由金属、玻璃等不变形的部件构成，在采用剥离板、剥离辊等剥离单元、剥离部件来剥离被剥离物的情况下，可以代替上述例示的方式或与其并用地采用：板状部件、圆棒、辊等部件，进行剥离的部件可以由橡胶或树脂等可变形的部件构成，也可以由不变形的部件构成，在采用支撑(保持)单元、支撑(保持)部件等对被支撑部件(被保持部件)进行支撑(保持)的情况下，可以采用通过机械卡盘、卡盘缸等把持单元、库仑力、粘接剂(粘接片、粘接带)、粘合剂(粘合片、粘合带)、磁力、伯努利吸附、抽吸吸附、驱动设备等支撑(保持)被支撑部件的结构，在采用切断单元、切断部件等将被切断部件切断或者在被切断部件上形成刻痕、切断线的情况下，可以代替上述例示的方式或与其并用地采用：通过切刀、激光切割器、离子束、火力、热能、水压、电热丝、喷出气体或液体等来进行切断的方式，或者通过组合了适当的驱动设备而构成的装置使进行切断的物体移动来进行切断。

Claims (4)

1.一种片粘贴装置，具备粘贴单元，该粘贴单元以在沿着规定的供给方向供给的粘接片的沿着所述供给方向的一端侧及另一端侧中的至少一方形成从被粘物的规定的一面伸出的伸出区域的方式将所述粘接片粘贴于所述一面，将所述伸出区域折曲并粘贴于其他面方向，其特征在于，

对所述被粘物实施难以粘接所述粘接片的难粘接处理，

所述片粘贴装置还具备难粘接处理去除单元，其去除对粘贴所述粘接片的所述被粘物的片粘贴区域实施的所述难粘接处理。

2.根据权利要求1所述的片粘贴装置，其特征在于，

所述难粘接处理去除单元具备加热单元，其通过加热而去除所述难粘接处理。

3.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，

所述被粘物由被粘物主体和粘贴于所述被粘物主体的片材构成，对所述片材实施了所述难粘接处理。

4.一种片粘贴方法，以在沿着规定的供给方向供给的粘接片的沿着所述供给方向的一端侧及另一端侧中的至少一方形成从被粘物的规定的一面伸出的伸出区域的方式将所述粘接片粘贴于所述一面，将所述伸出区域折曲并粘贴于其他面方向，其特征在于，

对所述被粘物实施难以粘接所述粘接片的难粘接处理，

所述片粘贴方法还实施难粘接处理去除工序，去除对粘贴所述粘接片的所述被粘物的片粘贴区域实施的所述难粘接处理。