DE102021207413A1 - Trägerplatten-entfernungsverfahren - Google Patents

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Abstract

Es wird ein Trägerplatten-Entfernungsverfahren zum Entfernen einer Trägerplatte von einem an einer oberen Oberfläche einer Trägerplatte angeordneten Werkstück über eine provisorische Verbindungsschicht bereitgestellt. Das Trägerplatten-Entfernungsverfahren weist einen Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt zum Ausbilden eines gestuften Abschnitts auf, in dem das Werkstück im Vergleich zur Trägerplatte seitlich vorsteht, indem die Trägerplatte so bearbeitet wird, dass ein Umfangsabschnitt der Trägerplatte entlang eines Umfangsrands der Trägerplatte von einer Seite der unteren Oberfläche gegenüber der oberen Oberfläche der Trägerplatte entfernt wird, einen Trägerplatten-Halteschritt eines Haltens der Trägerplatte durch eine Trägerplatten-Halteeinheit und einen Entfernungsschritt eines Entfernens der Trägerplatte von dem Werkstück durch ein Aufbringen einer Kraft von der Seite der Trägerplatte auf den Stufenabschnitt und eines Bewegens des Werkstücks in eine Richtung des Trennens von der Trägerplatte.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Trägerplatten-Entfernungsverfahren zum Entfernen einer Trägerplatte von einem Werkstück, an einer oberen Oberfläche der Trägerplatte über eine provisorische Verbindungsschicht vorgesehen ist.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • In einer elektronischen Vorrichtung, wie beispielsweise einem Mobiltelefon oder einem Personal Computer, ist ein Bauelementchip, der ein Bauelement wie beispielsweise eine elektronische Schaltung aufweist, zu einer wesentlichen Komponente geworden. Der Bauelementchip wird beispielsweise dadurch erhalten, dass die obere Oberfläche eines Wafers, der aus einem Halbleitermaterial wie Silizium ausgebildet ist, durch geplante Teilungslinien (Straßen) in mehrere Bereiche unterteilt wird, in jedem der Bereiche ein Bauelement ausgebildet wird und der Wafer danach entlang der geplanten Teilungslinien geteilt wird.
  • Der Bauelementchip, der durch ein Verfahren wie oben beschrieben erhalten wurde, wird beispielsweise an einem Muttersubstrat für ein Chip-Size-Package (CSP) befestigt, mit Anschlüssen des Muttersubstrats oder ähnlichem durch ein Verfahren wie beispielsweise ein Kabelverbinden elektrisch verbunden und anschließend durch einen Formkunststoff versiegelt. Wenn ein Packungs-Bauelement durch ein derartiges Versiegeln des Bauelementchips mit dem Formkunststoff ausgebildet wird, kann der Bauelementchip vor äußeren Einflüssen wie beispielsweise Stößen, Licht, Wärme und Wasser geschützt werden.
  • In den letzten Jahren wurde begonnen, eine Packungstechnologie zu verwenden, die als Fan-Out Wafer Level-Packung (FOWLP) bezeichnet wird und bei der Packungsanschlüsse außerhalb des Bereichs des Bauelementchips ausgebildet werden, indem eine Wafer-Level-Umverkabelungstechnologie verwendet wird (siehe beispielsweise die japanische Offenlegungsschrift Nr. 2016 - 201519 ). Zusätzlich wurde eine Packungstechnologie vorgeschlagen, die als Fan-Out Panel Level-Packung (FOPLP) bezeichnet wird und bei der Packungs-Bauelemente en bloc auf einer Ebene eines Panels hergestellt werden, das eine größere Größe aufweist als ein Wafer (typischerweise ein Glassubstrat, das zum Herstellen eines Flüssigkristall-Panels verwendet wird).
  • Bei FOPLP wird beispielsweise an der oberen Oberfläche einer Trägerplatte, die als ein provisorisches Substrat dient, über eine provisorische Verbindungsschicht eine Verkabelungsschicht (Redistributionsschicht (RDL)) ausgebildet, und Bauelementchips werden mit der Verkabelungsschicht verbunden. Als nächstes wird eine Packungsplatte erhalten, indem die Bauelementchips mit einem Formkunststoff verschlossen werden. Danach wird die Packungsplatte durch ein Verfahren wie beispielsweise ein Schleifen dünner ausgestaltet und dann wird die Packungsplatte geteilt. Dadurch werden die Packungs-Bauelemente fertiggestellt.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Bei dem oben beschriebenen FOPLP wird beispielsweise die Trägerplatte von den Packungs-Bauelementen entfernt, nachdem die Packungsplatte in die Packungs-Bauelemente geteilt wurde. Konkret wird jedes Packungs-Bauelement von der Trägerplatte abgenommen. Wenn die Packungs-Bauelemente jedoch eine geringe Größe aufweisen, ist es schwierig, die Packungs-Bauelemente von der Trägerplatte abzunehmen.
  • Andererseits ist es denkbar, dass die Trägerplatte abgezogen und von der Packungsplatte entfernt wird, bevor die Packungsplatte in die Packungs-Bauelemente geteilt wird. Da die Haftfestigkeit der provisorischen Verbindungsschicht jedoch bis zu einem gewissen Grad stark ist, ist es schwierig, die Trägerplatte von der Packungsplatte abzuziehen, ohne die Packungsplatte und die Trägerplatte zu beschädigen.
  • Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Trägerplatten-Entfernungsverfahren bereitzustellen, das es ermöglicht, eine Trägerplatte von einem Werkstück wie beispielsweise einer Packungsplatte einfach zu entfernen.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Trägerplatten-Entfernungsverfahren zum Entfernen einer Trägerplatte von einem an einer oberen Oberfläche der Trägerplatte angeordneten Werkstück über eine provisorische Verbindungsschicht bereitgestellt. Das Trägerplatten-Entfernungsverfahren weist auf: einen Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt eines Ausbildens eines Stufenabschnitts, bei dem das Werkstück im Vergleich zur Trägerplatte seitlich vorsteht, indem die Trägerplatte bearbeitet wird, um einen Umfangsabschnitt der Trägerplatte entlang eines Umfangsrands der Trägerplatte von einer Seite der unteren Oberfläche gegenüber der oberen Oberfläche der Trägerplatte zu entfernen, einen Trägerplatten-Halteschritt eines Haltens der Trägerplatte durch eine Trägerplatten-Halteeinheit nach einem Durchführen des Stufenabschnitt-Ausbildungsschrittes, und einen Entfernungsschritt eines Entfernens der Trägerplatte von dem Werkstück durch ein Aufbringen einer Kraft von der Seite der Trägerplatte auf den Stufenabschnitt und eines Bewegens des Werkstücks in eine Richtung einer Trennung von der Trägerplatte nach einem Durchführen des Stufenabschnitt-Ausbildungsschritts.
  • In dem Entfernungsschritt könnte das Werkstück durch die auf den Stufenabschnitt aufgebrachte Kraft in der Richtung des Trennens von der Trägerplatte bewegt werden. Das Trägerplatten-Entfernungsverfahren könnte ferner einen Werkstück-Halteschritt eines Haltens des Werkstücks durch eine Werkstück-Halteeinheit vor einem Durchführen des Entfernungsschritts aufweisen. Zusätzlich könnte bevorzugt in dem Entfernungsschritt die Trägerplatte von dem Werkstück entfernt werden, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt aufgebracht wird, indem die Trägerplatten-Halteeinheit relativ zu der Werkstück-Halteeinheit und einem Aufbringelement für eine äußere Kraft in einem Zustand bewegt wird, in dem das Aufbringelement für eine äußere Kraft von der Seite der Trägerplatte in Kontakt mit dem Stufenabschnitt aus gehalten wird. Zusätzlich könnte in dem Entfernungsschritt ein Startpunkt-Bereich, der als ein Startpunkt zu einem Zeitpunkt eines Entfernens der Trägerplatte von dem Werkstück dient, in der provisorischen Verbindungsschicht ausgebildet werden, indem der Umfangsabschnitt der Trägerplatte in einer Richtung der Trennung von dem Werkstück gekrümmt wird, bevor die Trägerplatten-Halteeinheit relativ zu der Werkstück-Halteeinheit und dem Aufbringelement für eine äußere Kraft bewegt wird.
  • Zusätzlich könnte in dem Entfernungsschritt das Werkstück in einer Richtung des Trennens von der Trägerplatte bewegt werden, nachdem ein Startpunkt-Bereich, der als ein Startpunkt zu einem Zeitpunkt des Entfernens der Trägerplatte von dem Werkstück dient, in der provisorischen Verbindungsschicht ausgebildet ist, indem ein Umfangsabschnitt des Werkstücks in einer Richtung des Trennens von der Trägerplatte durch die auf den Stufenabschnitt aufgebrachte Kraft gekrümmt wird. Das Trägerplatten-Entfernungsverfahren könnte ferner einen Werkstück-Halteschritt eines Haltens des Werkstücks durch eine Werkstück-Halteeinheit vor einem Durchführen des Entfernungsschritts aufweisen.
  • Zusätzlich wird bevorzugt in dem Entfernungsschritt die Trägerplatte von dem Werkstück entfernt, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt aufgebracht wird, nachdem ein Fluid zwischen das Werkstück und die Trägerplatte gesprüht wurde oder während das Fluid zwischen das Werkstück und die Trägerplatte gesprüht wird.
  • Zusätzlich wird bevorzugt im Entfernungsschritt die Trägerplatte vom Werkstück entfernt, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt in einem Zustand aufgebracht wird, in dem das Werkstück und die Trägerplatte in eine Flüssigkeit eingetaucht sind. Bei dem Entfernungsschritt wird bevorzugt die Trägerplatte von dem Werkstück entfernt, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt aufgebracht wird, indem ein Aufbringelement für eine äußere Kraft, auf das eine Vibration aufgebracht wird, gegen den Stufenabschnitt in einem Zustand gedrückt wird, in dem das Werkstück und die Trägerplatte in die Flüssigkeit eingetaucht sind. Alternativ wird bei dem Entfernungsschritt bevorzugt die Trägerplatte von dem Werkstück entfernt, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt aufgebracht wird, in einem Zustand, in dem das Werkstück und die Trägerplatte in die Flüssigkeit eingetaucht sind, eine Vibration auf die Flüssigkeit aufgebracht wird. Die Flüssigkeit könnte ein Tensid beinhalten.
  • Bei dem Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird der Stufenabschnitt, in dem das Werkstück im Vergleich zur Trägerplatte seitlich vorsteht, durch ein Bearbeiten der Trägerplatte ausgebildet, um den Umfangsabschnitt der Trägerplatte entlang des Umfangsrandes der Trägerplatte von der Seite der unteren Oberfläche der Trägerplatte zu entfernen. Auf diese Weise kann die Trägerplatte durch ein Aufbringen der Kraft auf den Stufenabschnitt von der Seite der Trägerplatte aus einfach vom Werkstück entfernt werden.
  • Die obige und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise ihrer Umsetzung werden durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der beigefügten Ansprüche, unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, deutlicher, und die Erfindung selbst wird hierdurch am besten verstanden.
  • Figurenliste
    • 1A ist eine Schnittdarstellung, die ein Beispiel für eine Ausgestaltung eines Verbundsubstrats zeigt, aufweisend eine Trägerplatte und ein Werkstück;
    • 1B ist eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem die Seite des Werkstücks des Verbundsubstrats in einem Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt gehalten wird;
    • 2A ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein Stufenabschnitt an dem Verbundsubstrat in dem Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt ausgebildet wird;
    • 2B ist eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, in dem der Stufenabschnitt an dem gesamten Umfangsabschnitt des Verbundsubstrats ausgebildet ist;
    • 3A ist eine Schnittansicht, die einen Trägerplatten-Halteschritt zeigt;
    • 3B ist eine Schnittansicht, die einen Entfernungsschritt darstellt;
    • 3C ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Trägerplatte von dem Werkstück entfernt ist;
    • 4A ist eine Schnittansicht, die einen Entfernungsschritt in einer ersten Modifikation zeigt;
    • 4B ist eine Schnittansicht, die einen Entfernungsschritt in einer zweiten Modifikation darstellt;
    • 5A ist eine Schnittansicht, die einen Trägerplatten-Halteschritt und einen Werkstück-Halteschritt in einer dritten Modifikation zeigt;
    • 5B ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein Aufbringelement für eine äußere Kraft mit dem Stufenabschnitt in einem Entfernungsschritt in der dritten Modifikation in Kontakt gebracht wird;
    • 5C ist eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, in dem eine Trägerplatten-Halteeinheit relativ zu dem Aufbringelement für eine äußere Kraft und einer Werkstück-Halteeinheit in dem Entfernungsschritt in der dritten Modifikation nach oben bewegt wird;
    • 6A ist eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, in dem das Aufbringelement für eine äußere Kraft in einem Entfernungsschritt in einer vierten Modifikation mit dem Stufenabschnitt in Kontakt gebracht wird;
    • 6B ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein Bereich, der als ein Startpunkt zum Zeitpunkt eines Abziehens des Werkstücks von der Trägerplatte dient, in einer provisorischen Verbindungsschicht im Entfernungsschritt in der vierten Modifikation ausgebildet ist;
    • 6C ist eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, in dem das Werkstück von der Trägerplatte im Entfernungsschritt in der vierten Modifikation abgezogen wird;
    • 7A ist eine Schnittansicht, die einen Werkstück-Halteschritt in einer fünften Modifikation zeigt;
    • 7B ist eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, in dem ein Bereich, der als ein Startpunkt zum Zeitpunkt eines Abziehens des Werkstücks von der Trägerplatte dient, in der provisorischen Verbindungsschicht in einem Entfernungsschritt in der fünften Modifikation ausgebildet ist; und
    • 7C ist eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, in dem das Werkstück von der Trägerplatte in dem Entfernungsschritt in der fünften Modifikation abgezogen wird.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Eine Ausführungsform gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Ein Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird verwendet, um eine Trägerplatte von einem Werkstück zu entfernen, das über eine provisorische Verbindungsschicht an der oberen Oberfläche der Trägerplatte vorgesehen ist. Das Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet einen Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt (siehe 1B, 2A und 2B), einen Trägerplatten-Halteschritt (siehe 3A) und einen Entfernungsschritt (siehe 3B und 3C).
  • Der Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt bildet einen Stufenabschnitt des Werkstücks und der Trägerplatte aus, indem eine Schneidklinge dazu veranlasst wird, in einen Umfangsabschnitt der Trägerplatte entlang eines Umfangsrands der Trägerplatte von einer Seite einer der unteren Oberfläche gegenüber der oberen Oberfläche der mit dem Werkstück versehenen Trägerplatte einzuschneiden, wodurch der Umfangsabschnitt der Trägerplatte entfernt wird. Der Trägerplatten-Halteschritt hält die Trägerplatte von oben in einem Zustand, in dem die Trägerplatte oberhalb des Werkstücks angeordnet ist.
  • Der Entfernungsschritt entfernt die Trägerplatte von dem Werkstück, indem durch ein Aufbringelement für eine äußere Kraft (Druckelement)eine nach unten gerichtete Kraft auf die Werkstückseite des Stufenabschnitts aufgebracht wird und das Werkstück in eine Richtung bewegt wird, in der es von der Trägerplatte getrennt wird. Im Folgenden wird das Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform im Detail beschrieben.
  • 1A ist eine Schnittansicht, die ein Beispiel für eine Ausgestaltung eines Verbundsubstrats 1 zeigt, das in dem Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform verwendet wird. Das Verbundsubstrat 1 weist beispielsweise eine Trägerplatte 3 auf, die aus einem Isoliermaterial wie Soda-Glas, Borosilikatglas oder Quarzglas ausgebildet ist. Die Trägerplatte 3 weist beispielsweise eine im Wesentlichen ebene erste Oberfläche (obere Oberfläche) 3a und eine zweite Oberfläche (untere Oberfläche) 3b an einer der ersten Oberfläche 3a gegenüberliegenden Seite auf. Die Trägerplatte 3 ist in der Draufsicht von der Seite der ersten Oberfläche 3a oder der Seite der zweiten Oberfläche 3b aus gesehen rechteckig ausgebildet. Die Dicke der Trägerplatte 3 beträgt beispielsweise 2 mm oder weniger oder typischerweise 1,1 mm.
  • Es ist zu beachten, dass bei der vorliegenden Ausführungsform die Trägerplatte 3 zwar aus einem Isoliermaterial wie beispielsweise Sodaglas, Borosilikatglas oder Quarzglas ausgebildet ist, dass aber das Material, die Form, der Aufbau, die Größe und dergleichen der Trägerplatte 3 nicht besonders begrenzt sind. Beispielsweise kann auch eine aus einem Material wie beispielsweise einem Halbleiter, einer Keramik, einem Kunststoff oder einem Metall ausgebildete Platte oder dergleichen als die Trägerplatte 3 verwendet werden. Als die Trägerplatte 3 könnte auch ein scheibenförmiger Halbleiterwafer oder ähnliches verwendet werden.
  • Ein Werkstück 7 wird über eine provisorische Verbindungsschicht 5 an der Seite der ersten Oberfläche 3a der Trägerplatte 3 vorgesehen. Die provisorische Verbindungsschicht 5 wird beispielsweise im Wesentlichen an der gesamten ersten Oberfläche 3a ausgebildet, indem eine metallische Folie, eine Isolatorfolie oder ähnliches überlagert wird. Die provisorische Verbindungsschicht 5 weist eine solche Funktion auf, dass sie die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 miteinander verbindet. Zusätzlich könnte die provisorische Verbindungsschicht 5 durch eine Kunststoff-Folie oder ähnliches ausgebildet sein, die als ein Haftmittel fungiert.
  • Die Dicke der provisorischen Verbindungsschicht 5 beträgt beispielsweise 20 µm oder weniger oder beträgt typischerweise etwa 0,6 µm. Wenn die Trägerplatte 3 in dem später zu beschreibenden Entfernungsschritt von dem Werkstück 7 abgezogen und entfernt wird, wird die provisorische Verbindungsschicht 5 in einen ersten Teil 5a (siehe 3C), der eng an der Seite der Trägerplatte 3 anhaftet, und einen zweiten Teil 5b (siehe 3C), der eng an der Seite des Werkstücks 7 anhaftet, getrennt.
  • Das Werkstück 7 wird beispielsweise auch als Packungsplatte, Packungswafer oder ähnliches bezeichnet. Das Werkstück 7 weist eine (nicht dargestellte) Verkabelungsschicht (RDL) auf, die mit der provisorischen Verbindungsschicht 5 in Kontakt steht, mehrere Bauelementchips 9, die mit der Verkabelungsschicht verbunden sind, und eine Formkunststoffschicht 11, die jeden Bauelementchip 9 versiegelt. Das Werkstück 7 ist beispielsweise im Wesentlichen in der gleichen Größe und der gleichen Form ausgebildet wie die Trägerplatte 3 in der Draufsicht. Zusätzlich beträgt die Dicke des Werkstücks 7 beispielsweise 1,5 mm oder weniger, oder beträgt typischerweise 0,6 mm.
  • Indessen könnte die Seite der ersten Oberfläche (obere Oberfläche) 7a des Werkstücks 7 durch ein Verfahren wie beispielsweise ein Schleifen bearbeitet werden. Zusätzlich werden geplante Teilungslinien (geplante Schnittlinien) in Bereichen zwischen einander benachbarten Bauelementchips 9 innerhalb des Werkstücks 7 festgelegt. Das Werkstück 7 wird durch ein Schneiden des Werkstücks 7 entlang optionaler geplanter Teilungslinien in mehrere Werkstückteile geteilt, die jeweils einen oder mehrere Bauelementchips 9 aufweisen.
  • Wenn das Werkstück 7 (oder die Werkstückstücke) entlang aller geplanten Teilungslinien geschnitten wird, erhält man mehrere Packungs-Bauelemente, die den jeweiligen Bauelementchips 9 entsprechen. Das Material, die Form, der Aufbau, die Größe und dergleichen des Werkstücks 7 sind jedoch nicht besonders begrenzt. Beispielsweise könnte das Werkstück 7 hauptsächlich durch die Verkabelungsschicht ausgebildet sein und könnte weder die Bauelementchips 9 noch die Formkunststoffschicht 11 oder ähnliches aufweisen.
  • Das Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform führt zunächst den Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt eines Ausbildens eines Stufenabschnitts in einem Umfangsabschnitt des Verbundsubstrats 1 wie oben beschrieben durch. Insbesondere wird zunächst die Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 gehalten, und die Seite der Trägerplatte 3 wird nach oben hin freigelegt. 1B ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 in dem Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt gehalten wird. Indessen wird in 1B ein Teil der Komponenten durch einen Funktionsblock dargestellt.
  • Dieser Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt wird unter Verwendung einer in 1B dargestellten Schneidvorrichtung 2 und dergleichen durchgeführt. Die Schneidvorrichtung 2 weist einen Einspanntisch 4 zum Halten des Verbundsubstrats 1 auf. Der Einspanntisch 4 weist beispielsweise einen zylindrischen Rahmenkörper 6, der aus einem metallischen Material, wie beispielsweise Edelstahl, ausgebildet ist, und eine Halteplatte 8 auf, die aus einem porösen Material ausgebildet und in einem oberen Abschnitt des Rahmenkörpers 6 angeordnet ist.
  • Die obere Oberfläche der Halteplatte 8 ist eine Halteoberfläche 8a zum Ansaugen und Halten der Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1. Die Seite der unteren Oberfläche der Halteplatte 8 ist über eine im Rahmenkörper 6 vorgesehene Strömungsleitung 6a, ein Ventil 10 und dergleichen mit einer Ansaugquelle 12 verbunden. Wenn das Ventil 10 geöffnet ist, kann daher ein Unterdruck der Ansaugquelle 12 auf die Halteoberfläche 8a einwirken.
  • Der Einspanntisch 4 (Rahmenkörper 6) ist mit einer Drehantriebsquelle (nicht abgebildet) wie beispielsweise einem Motor gekoppelt und wird durch eine von der Drehantriebsquelle erzeugte Kraft um eine Drehachse gedreht, die im Wesentlichen senkrecht zur oben beschriebenen Halteoberfläche 8a verläuft. Zusätzlich wird der Einspanntisch 4 (Rahmenkörper 6) von einem Bearbeitungszufuhrmechanismus (nicht dargestellt) getragen und dadurch in einer Bearbeitungszufuhrrichtung im Wesentlichen parallel zur oben beschriebenen Halteoberfläche 8a bewegt.
  • Wenn die Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 gehalten wird und die Seite der Trägerplatte 3 nach oben freiliegt, wie beispielsweise in 1B dargestellt, wird die erste Oberfläche 7a des Werkstücks 7 in Kontakt mit der Halteoberfläche 8a des Einspanntisches 4 gebracht. Dann wird das Ventil 10 geöffnet, um zu bewirken, dass ein Unterdruck der Ansaugquelle 12 auf die Halteoberfläche 8a einwirkt. Infolgedessen wird die Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 vom Einspanntisch 4 gehalten, und die Seite der Trägerplatte 3 wird nach oben freigelegt.
  • Nachdem die Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 gehalten wird und die Seite der Trägerplatte 3 nach oben freiliegt, wird an dem Verbundsubstrat 1 ein Stufenabschnitt ausgebildet, indem die Trägerplatte 3 entlang eines Umfangsrands der Trägerplatte 3 bearbeitet wird. 2A ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein Stufenabschnitt 1a an dem Verbundsubstrat 1 in dem Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt ausgebildet wird. Indessen wird in 2A ein Teil der Komponenten durch einen Funktionsblock dargestellt.
  • Wie in 2A dargestellt, ist eine Schneideinheit 14 oberhalb des Einspanntisches 4 angeordnet. Die Schneideinheit 14 weist eine Spindel 16 auf, die eine Drehachse aufweist, die im Wesentlichen parallel zur Oberfläche 8a verläuft. Eine durch ein Verteilen von Schleifkörnern in einem Bindematerial ausgebildete ringförmige Schneidklinge 18 ist an einer Endseite der Spindel 16 ist eingepasst.
  • Eine Drehantriebsquelle (nicht abgebildet) wie beispielsweise ein Motor ist mit der anderen Endseite der Spindel 16 gekoppelt. Die an der einen Endseite der Spindel 16 angebrachte Schneidklinge 18 wird durch eine von der Drehantriebsquelle erzeugte Kraft gedreht. Die Schneideinheit 14 wird beispielsweise durch einen Anhebe- und Absenkmechanismus (nicht dargestellt) und einen Indexzufuhrmechanismus (nicht dargestellt) getragen und wird dadurch in einer vertikalen Richtung im Wesentlichen senkrecht zur Halteoberfläche 8a und einer Indexzufuhrrichtung im Wesentlichen senkrecht zur vertikalen Richtung und der Bearbeitungszufuhrrichtung bewegt.
  • Wenn der Stufenabschnitt 1a an dem Verbundsubstrat 1 ausgebildet werden soll, wird zunächst ein Teil der Umfangsränder der Trägerplatte 3 (ein einer Seite eines Rechtecks in der Draufsicht entsprechender Teil), der bearbeitet (entfernt) werden soll, durch ein Drehen des Einspanntisches 4, der das Verbundsubstrat 1 hält, im Wesentlichen parallel zur Bearbeitungszufuhrrichtung eingestellt. Als nächstes wird die Schneidklinge 18 oberhalb einer Erstreckung des Teils der Umfangsränder wie oben beschrieben positioniert, indem der Einspanntisch 4 und die Schneideinheit 14 relativ zueinander bewegt werden.
  • Zusätzlich wird ein unteres Ende der Schneidklinge 18 an einer Position positioniert, die niedriger ist als die erste Oberfläche 3a der Trägerplatte 3 und etwas höher als eine Schnittstelle zwischen der provisorischen Verbindungsschicht 5 und dem Werkstück 7. Danach wird der Einspanntisch 4 in der Bearbeitungszufuhrrichtung bewegt, während die Schneidklinge 18 gedreht wird. Wie in 2A dargestellt, ist es dadurch möglich, die Schneidklinge 18 entlang eines Teils der Umfangsränder der Trägerplatte 3 von der Seite der zweiten Oberfläche 3b aus einschneiden zu lassen und folglich einen Teil eines Umfangsabschnitts der Trägerplatte 3 einschließlich des Teils der Umfangsränder zu entfernen.
  • In der vorliegenden Ausführungsform ist die Schneidklinge 18, wie oben beschrieben, so ausgestaltet, dass sie bis zu einer Tiefe einschneidet, die die erste Oberfläche 3a der Trägerplatte 3 erreicht. Daher wird der Stufenabschnitt 1a in einer gestuften Form, so dass ein Umfangsabschnitt 7b des Werkstücks im Vergleich zum Umfangsabschnitt 3c der Trägerplatte 3 nach der Bearbeitung seitlich (nach außen in einer Richtung parallel zur ersten Oberfläche 3a oder zur zweiten Oberfläche 3b) vorsteht, an einem Teil des Umfangsabschnitts des Verbundsubstrats 1 ausgebildet.
  • Eine Überlappungsbreite der Trägerplatte 3 (Umfangsabschnitt) und der Schneidklinge 18 (d. h. die Breite des entfernten Umfangsabschnitts in der Trägerplatte 3 oder ein Vorsprungsbetrag des Umfangsabschnitts 7b des Werkstücks 7) wird in einem Bereich festgelegt, in dem der Stufenabschnitt 1a eine für die Aufbringung einer Kraft geeignete Größe aufweist. Unter Berücksichtigung einer tatsächlichen Breite der Schneidklinge 18 und dergleichen wird die Überlappungsbreite vorzugsweise auf beispielsweise 0,2 mm bis 5 mm festgelegt.
  • Nachdem der Stufenabschnitt 1a an einem Teil des Umfangsabschnitts des Verbundsubstrats 1 durch ein Entfernen eines Teils des Umfangsabschnitts der Trägerplatte 3 durch das Verfahren wie oben beschrieben ausgebildet ist, wird der Stufenabschnitt 1a auch an einem anderen Teil des Umfangsabschnitts des Verbundsubstrats 1 durch ein Entfernen eines anderen Teils des Umfangsabschnitts der Trägerplatte 3 durch ein ähnliches Verfahren ausgebildet. Der Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt wird beendet, wenn der gesamte Umfangsabschnitt der Trägerplatte 3 entfernt ist, und der Stufenabschnitt 1a an dem gesamten Umfangsabschnitt des Verbundsubstrats 1 ausgebildet ist. 2B ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem der Stufenabschnitt 1a an dem gesamten Umfangsabschnitt des Verbundsubstrats 1 ausgebildet ist.
  • Es ist zu beachten, dass der Stufenabschnitt 1a in der vorliegenden Ausführungsform, wie in 2B dargestellt, zwar an dem gesamten Umfangsabschnitt des Verbundsubstrats 1 ausgebildet ist, dass es aber ausreicht, den Stufenabschnitt 1a zumindest an einem optionalen Teil des Umfangsabschnitts des Verbundsubstrats 1 auszubilden. In diesem Fall kann auch die Form des Stufenabschnitts 1a (Form von der Seite der Trägerplatte 3 aus gesehen) oder dergleichen optional festgelegt werden. Zusätzlich kann in einem Fall, in dem die Trägerplatte und das Werkstück, welche das Verbundsubstrat ausbilden, in der Draufsicht kreisförmig (d.h. scheibenförmig) sind, der Stufenabschnitt an dem Verbundsubstrat ausgebildet werden, indem der Einspanntisch 4 gedreht wird, während die Schneidklinge 18 beispielsweise dazu gebracht wird, in den Umfangsabschnitt der Trägerplatte zu schneiden. Natürlich könnte auch in diesem Fall der Stufenabschnitt so ausgebildet werden, dass nur ein optionaler Teil des Umfangsabschnitts der Trägerplatte weggeschnitten wird.
  • Nach dem Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt wird der Trägerplatten-Halteschritt durchgeführt, der die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 hält. 3A ist eine Schnittansicht, die den Trägerplatten-Halteschritt zeigt. Der Trägerplatten-Halteschritt wird unter Verwendung einer in 3A dargestellten Abziehvorrichtung 22 und dergleichen durchgeführt. Die Abziehvorrichtung 22 weist eine Trägerplatten-Halteeinheit 24 auf, um die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 von oben zu halten.
  • An einem unteren Abschnitt der Trägerplatten-Halteeinheit 24 ist eine Halteoberfläche 24a ausgebildet, die eine ähnliche Größe wie die zweite Oberfläche 3b der Trägerplatte 3 aufweist. Eine Ansaugquelle (nicht abgebildet) ist mit der Halteoberfläche 24a über eine Strömungsleitung (nicht abgebildet), ein Ventil (nicht abgebildet) und dergleichen verbunden. Wenn das Ventil geöffnet ist, kann daher ein Unterdruck der Ansaugquelle dazu gebracht werden, auf die Halteoberfläche 24a einzuwirken. Zusätzlich wird die Trägerplatten-Halteeinheit 24 durch einen Anhebe- und Absenkmechanismus (nicht abgebildet) getragen und somit in vertikaler Richtung bewegt.
  • Im Trägerplatten-Halteschritt, wie er beispielsweise in 3A dargestellt ist, wird die Halteoberfläche 24a der Trägerplatten-Halteeinheit 24 mit der zweiten Oberfläche 3b der Trägerplatte 3 in einem Zustand in Kontakt gebracht, in dem die Trägerplatte 3 oberhalb des Werkstücks 7 angeordnet ist. Dann wird das Ventil geöffnet, um zu bewirken, dass ein Unterdruck der Ansaugquelle auf die Halteoberfläche 24a einwirkt. Dadurch wird die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 von oben durch die Trägerplatten-Halteeinheit 24 gehalten.
  • Nach dem Trägerplatten-Halteschritt wird der Entfernungsschritt durchgeführt, bei dem die Trägerplatte 3 von dem Werkstück 7 entfernt wird. 3B ist eine Schnittansicht, die den Entfernungsschritt zeigt. 3C ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Trägerplatte 3 von dem Werkstück 7 entfernt ist. Der Entfernungsschritt wird unter weiterer Verwendung der Abziehvorrichtung 22 durchgeführt.
  • Wie in 3B dargestellt, ist an einer Seite der Trägerplatten-Halteeinheit 24 ein stangenförmiges Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft (Druckelement) mit einem nach unten gerichteten distalen Ende an einer Position angeordnet, die dem Stufenabschnitt 1a des von der Trägerplatten-Halteeinheit 24 gehaltenen Verbundsubstrats 1 entspricht. Das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft wird beispielsweise von einem (nicht dargestellten) Anhebe- und Absenkmechanismus getragen, der sich von dem Anhebe- und Absenkmechanismus unterscheidet, der die Trägerplatten-Halteeinheit 24 bewegt. Das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft wird somit unabhängig von der Trägerplatten-Halteeinheit 24 in der vertikalen Richtung bewegt.
  • Bei dem Entfernungsschritt wird zunächst das von der Trägerplatten-Halteeinheit 24 gehaltene Verbundsubstrat 1 angehoben, indem sowohl die Trägerplatten-Halteeinheit 24 als auch das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft nach oben bewegt werden. Das heißt, die Seite der ersten Oberfläche 7a des Werkstücks 7 liegt nach unten frei. Als nächstes wird das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft nach unten bewegt, während die Position der Trägerplatten-Halteeinheit 24 beibehalten wird, und das distale Ende (unteres Ende) des Aufbringelements 26 für eine äußere Kraft wird von oben in Kontakt mit einem Teil des Stufenabschnitts 1a gebracht, der sich auf der Seite des Werkstücks 7 befindet (der Umfangsabschnitt 7b des Werkstücks 7). Dadurch wird eine nach unten gerichtete Kraft von dem Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft auf den Stufenabschnitt 1a des Verbundsubstrats 1 aufgebracht.
  • Wie oben beschrieben, wird die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 von der Trägerplatten-Halteeinheit 24 von oben gehalten. Wenn daher die nach unten gerichtete Kraft von dem Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft auf den Teil des Stufenabschnitts 1a aufgebracht wird, der sich an der Seite des Werkstücks 7 befindet, wird das Werkstück 7 von der Trägerplatte 3 mit der provisorischen Verbindungsschicht 5 als eine Grenze abgezogen und fällt. Das heißt, das Werkstück 7 bewegt sich in eine Richtung, in der es sich von der Trägerplatte 3 trennt. Der Entfernungsschritt ist beendet, wenn das gesamte Werkstück 7 von der Trägerplatte 3 getrennt ist und die Trägerplatte 3 vom Werkstück 7 entfernt ist.
  • Wie oben beschrieben, wird bei dem Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Stufenabschnitt 1a, in dem das Werkstück 7 im Vergleich zur Trägerplatte 3 seitlich vorsteht, durch ein Bearbeiten der Trägerplatte 3 ausgebildet, sodass der Umfangsabschnitt der Trägerplatte 3 entlang des Umfangsrandes der Trägerplatte 3 von der Seite der zweiten Oberfläche (untere Oberfläche) 3b der Trägerplatte 3 entfernt wird. Somit kann die Trägerplatte 3 in einem Zustand, in dem die Trägerplatte 3 von der Trägerplatten-Halteeinheit 24 von oben gehalten wird, durch ein Aufbringen einer nach unten gerichteten Kraft auf den Stufenabschnitt 1a leicht von dem Werkstück 7 entfernt werden.
  • Zusätzlich reicht es bei dem Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform aus, nur die Seite der Trägerplatte 3 zu bearbeiten, und deswegen kann die Trägerplatte 3 von dem Werkstück 7 entfernt werden, ohne dass die Seite des Werkstücks 7 bearbeitet wird.
  • Es ist zu beachten, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die Beschreibung der vorangehenden Ausführungsform beschränkt ist, sondern auf verschiedene Weise modifiziert und ausgeführt werden kann. Während beispielsweise das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft in der vorstehenden Ausführungsform so ausgestaltet ist, dass es unabhängig von der Trägerplatten-Halteeinheit 24 in der vertikalen Richtung bewegt werden kann, reicht es aus, wenn das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft zumindest relativ zur Trägerplatten-Halteeinheit 24 bewegt werden kann.
  • Beispielsweise könnte das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft relativ zur Trägerplatten-Halteeinheit 24 bewegt werden, indem das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft an einem Gehäuse (nicht dargestellt) der Abziehvorrichtung 22 oder dergleichen befestigt wird und nur die Trägerplatten-Halteeinheit 24 bewegt wird. Zusätzlich können mehrere Aufbringelemente 26 für eine äußere Kraft verwendet werden, obwohl in der vorstehenden Ausführungsform ein Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft verwendet wird.
  • Zusätzlich wird in der vorstehenden Ausführungsform der Stufenabschnitt 1a an dem Verbundsubstrat 1 ausgebildet, indem die Schneidklinge 18 dazu gebracht wird, in die Trägerplatte 3 entlang des Umfangsrandes der Trägerplatte 3 von der Seite der zweiten Oberfläche (unteren Oberfläche) 3b der Trägerplatte 3 aus zu schneiden und dadurch den Umfangsabschnitt der Trägerplatte 3 zu entfernen. Der Stufenabschnitt 1a könnte jedoch beispielsweise an dem Verbundsubstrat 1 ausgebildet werden, indem die Trägerplatte 3 mit einem Laserstrahl entlang des Umfangsrands der Trägerplatte 3 von der Seite der zweiten Oberfläche 3b der Trägerplatte 3 aus bestrahlt wird und dadurch der Umfangsabschnitt der Trägerplatte 3 entfernt wird.
  • In diesem Fall ist es vorteilhaft, die Trägerplatte 3 einer Ablationsbearbeitung mit einem Laserstrahl zu unterziehen, indem eine Laserbearbeitungsvorrichtung (Laserbearbeitungseinheit) verwendet wird, die einen Laserstrahl mit einer von der Trägerplatte 3 absorbierten Wellenlänge aufbringen kann, beispielsweise anstelle der Schneidvorrichtung 2 (Schneideinheit 14). Zusätzlich könnte die Trägerplatte 3 durch den Laserstrahl modifiziert werden, indem eine Laserbearbeitungsvorrichtung (Laserbearbeitungseinheit) verwendet wird, die einen Laserstrahl mit einer Wellenlänge aufbringen kann, die beispielsweise durch die Trägerplatte 3 verläuft. Nachdem die Trägerplatte 3 durch den Laserstrahl modifiziert wurde, kann der Stufenabschnitt ausgebildet werden, indem eine Kraft auf einen modifizierten Bereich aufgebracht wird und dieser Bereich entfernt wird.
  • Zusätzlich könnte, während der Stufenabschnitt 1a in der vorangehenden Ausführungsform an dem Verbundsubstrat 1 ausgebildet wird, ohne den Umfangsabschnitt 7b des Werkstücks 7 zu entfernen, der Umfangsabschnitt 7b des Werkstücks 7 abhängig von einer Genauigkeit der Bearbeitung entfernt werden, wenn der Umfangsabschnitt der Trägerplatte 3 entfernt wird. Deswegen könnte der Umfangsabschnitt 7b des Werkstücks 7 in einem Bereich, in dem der Stufenabschnitt 1a erhalten wird, entfernt werden, wenn kein Problem hinsichtlich der Qualität des Werkstücks 7 vorzuliegen scheint.
  • Zusätzlich kann, wenn die Trägerplatte 3 im Entfernungsschritt entfernt wird, ein Fluid zwischen die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 (Bereich, der der provisorischen Verbindungsschicht 5 entspricht) gesprüht werden. 4A ist eine Schnittansicht, die einen Entfernungsschritt gemäß einer ersten Modifikation zeigt. Wie in 4A dargestellt, ist eine Düse 32 an einer Seite der Trägerplatten-Halteeinheit 24 der Abziehvorrichtung 22 angeordnet, die in der ersten Modifikation verwendet wird. Eine Zufuhrquelle (nicht dargestellt) eines Fluids 34 ist mit der Düse 32 über eine Strömungsleitung (nicht dargestellt), ein Ventil (nicht dargestellt) und dergleichen verbunden.
  • Das Werkstück 7 kann leichter von der Trägerplatte 3 abgezogen werden, indem durch das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft eine nach unten gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a aufgebracht wird, nachdem das Fluid 34 aus der Düse 32 zwischen die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 gesprüht wurde oder während das Fluid 34 aus der Düse 32 zwischen die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 gesprüht wurde. Als das Fluid 34, das zwischen die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 gesprüht wird, kann beispielsweise Luft, Wasser o.ä. verwendet werden. Die Art und dergleichen des Fluids 34 ist jedoch nicht besonders begrenzt.
  • Zusätzlich könnten die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 in eine Flüssigkeit getaucht werden, wenn die Trägerplatte 3 im Entfernungsschritt entfernt wird. 4B ist eine Schnittansicht, die einen Entfernungsschritt gemäß einer zweiten Modifikation zeigt. Wie in 4B dargestellt, ist unterhalb der Trägerplatten-Halteeinheit 24 der in der zweiten Modifikation verwendeten Abziehvorrichtung 22 ein Tank 42 angeordnet, der eine solche Größe aufweist, dass er die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 unterbringen kann. In dem Tank 42 ist eine Flüssigkeit 44 wie beispielsweise Wasser gespeichert.
  • Wenn das Werkstück 7 von der Trägerplatte 3 abgezogen wird, indem durch das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft eine nach unten gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a in einem Zustand aufgebracht wird, in dem die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 in die Flüssigkeit 44 innerhalb des Tanks 42 eingetaucht sind, fällt das abgezogene Werkstück 7 in die Flüssigkeit 44. Folglich wird ein mit dem Fall einhergehender Aufprall im Vergleich zu einem Fall, bei dem das Werkstück 7 in die Luft fällt, verringert, so dass eine Beschädigung des Werkstücks 7, eine Vibration der Abziehvorrichtung 22 und dergleichen verhindert werden können.
  • Indessen könnte die Flüssigkeit 44 ein Tensid enthalten. Ein anionisches Tensid, ein kationisches Tensid oder ähnliches, das leicht in die provisorische Verbindungsschicht 5 eindringt, kann als das in der Flüssigkeit 44 enthaltene Tensid verwendet werden. Wenn das Tensid, das leicht in die provisorische Verbindungsschicht 5 eindringt, in der Flüssigkeit 44 enthalten ist, kann die provisorische Verbindungsschicht 5 leicht von einem Bereich getrennt werden, in den das Tensid eindringt, und somit kann das Werkstück 7 leichter von der Trägerplatte 3 abgezogen werden.
  • Zusätzlich könnte in der zweiten Modifikation eine Vibration, wie beispielsweise eine Ultraschallwelle, auf das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft aufgebracht werden, wenn das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft eine nach unten gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a aufbringt, nachdem die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 in die Flüssigkeit 44 eingetaucht sind. Insbesondere bringt das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft eine nach unten gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a auf, während eine Vibration, wie beispielsweise eine Ultraschallwelle, auf das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft einwirkt. In diesem Fall kann das Werkstück 7 aufgrund der Wirkung der vom Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft transmittierten Schwingung leichter von der Trägerplatte 3 abgezogen werden.
  • In ähnlicher Weise könnte eine Vibration wie beispielsweise eine Ultraschallwelle auf die Flüssigkeit 44 aufgebracht werden, wenn das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft eine nach unten gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a aufbringt, nachdem die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 in die Flüssigkeit 44 eingetaucht sind. Insbesondere bringt das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft eine nach unten gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a auf, während eine Vibration, wie beispielsweise eine Ultraschallwelle, auf die Flüssigkeit 44 aufgebracht wird. In diesem Fall kann das Werkstück 7 aufgrund der Wirkung der von der Flüssigkeit 44 transmittierten Schwingung leichter von der Trägerplatte 3 abgezogen werden.
  • Zusätzlich könnte, nachdem der Trägerplatten-Halteschritt durchgeführt ist, bevor der Entfernungsschritt durchgeführt wird, ein Werkstück-Halteschritt durchgeführt werden, bei dem die Seite des Werkstück 7 des Verbundsubstrats 1 durch eine Halteeinheit gehalten wird. 5A ist eine Schnittansicht, die den Trägerplatten-Halteschritt und den Werkstück-Halteschritt gemäß einer dritten Modifikation zeigt. 5B ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft mit dem Stufenabschnitt 1a im Entfernungsschritt in der dritten Modifikation in Kontakt gebracht wird. 5C ist eine Schnittansicht, in der ein Zustand dargestellt ist, in dem die Trägerplatten-Halteeinheit 24 im Entfernungsschritt in der dritten Modifikation relativ zum Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft und zur Werkstück-Halteeinheit (Haltetisch) 52 nach oben bewegt wird.
  • In der dritten Modifikation, wie in 5A dargestellt, wird die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 durch die Trägerplatten-Halteeinheit 24 von oben im Trägerplatten-Halteschritt gehalten, und danach wird der Werkstück-Halteschritt durchgeführt, der das Werkstück 7 durch eine Halteoberfläche (obere Oberfläche) 52a einer Werkstück-Halteeinheit 52 hält (trägt). Konkret wird die Werkstück-Halteeinheit 52 unterhalb der Trägerplatten-Halteeinheit 24 positioniert, die das Verbundsubstrat 1 hält, dann wird die Trägerplatten-Halteeinheit 24 abgesenkt, und die erste Oberfläche 7a des Werkstücks 7 wird mit der Halteoberfläche 52a der Werkstück-Halteeinheit 52 in Kontakt gebracht.
  • Im folgenden Entfernungsschritt wird in einem Zustand, in dem das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft mit dem Stufenabschnitt 1a von der Seite der Trägerplatte 3 her in Kontakt steht, wie in 5B dargestellt, die Trägerplatten-Halteeinheit 24 relativ zum Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft und der Werkstück-Halteeinheit 52 nach oben bewegt, wie in 5C dargestellt. Dadurch ist es möglich, das Werkstück 7 von der Trägerplatte 3 abzuziehen, indem eine nach unten gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a aufgebracht wird, und die Trägerplatte 3 von dem Werkstück 7 zu entfernen.
  • In der dritten Modifikation hält die Werkstück-Halteeinheit 52 das Werkstück 7 von unten fest. Somit fällt das abgezogene Werkstück 7 nicht aufgrund der Schwerkraft, selbst wenn das Werkstück 7 von der Trägerplatte 3 abgezogen wird. Das heißt, ein mit dem Fall einhergehender Aufprall wird zu Null. Es ist somit möglich, Beschädigungen am Werkstück 7, Vibrationen der Abziehvorrichtung 22 und Ähnliches sicher zu vermeiden.
  • Zusätzlich könnte das Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung unter Verwendung einer Abziehvorrichtung mit einem anderen Aufbau als demjenigen der oben beschriebenen Abziehvorrichtung 22 durchgeführt werden. 6A ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft mit dem Stufenabschnitt 1a in einem Entfernungsschritt in einer vierten Modifikation in Kontakt gebracht wird, wobei der Schritt unter Verwendung einer Abziehvorrichtung mit einem anderen Aufbau als demjenigen der Abziehvorrichtung 22 durchgeführt wird. 6B ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein Bereich (Startpunktbereich) 5c, der als ein Startpunkt zu einem Zeitpunkt eines Abziehens des Werkstücks 7 von der Trägerplatte 3 im Entfernungsschritt in der vierten Modifikation dient, in der provisorischen Verbindungsschicht 5 ausgebildet ist. 6C ist eine Schnittdarstellung, die einen Zustand zeigt, in dem das Werkstück 7 im Entfernungsschritt in der vierten Modifikation von der Trägerplatte 3 abgezogen ist.
  • Ein grundlegendes Verfahren eines Trägerplatten-Entfernungsverfahrens gemäß der vierten Modifikation ist ähnlich dem Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der dritten Modifikation. Das heißt, die vierte Modifikation weist zusätzlich zu dem Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt, dem Trägerplatten-Halteschritt und dem Entfernungsschritt auch den Werkstück-Halteschritt auf. Die vierte Modifikation verwendet jedoch eine Abziehvorrichtung 62, die einen anderen Aufbau als denjenigen der Abziehvorrichtung 22 aufweist. Im Folgenden werden Komponenten, die der Abziehvorrichtung 22 und der Abziehvorrichtung 62 gemeinsam sind, mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet, und es werden hauptsächlich die unterschiedlichen Komponenten beschrieben.
  • Wie in 6A oder dergleichen dargestellt, weist die Abziehvorrichtung 62 gemäß der vierten Modifikation eine Basisplatte (Trägerplatten-Halteeinheit) 64 auf. Eine Bezugsoberfläche 64a, die eine ähnliche Größe wie die zweite Oberfläche 3b der Trägerplatte 3 aufweist, ist an einem unteren Abschnitt der Basisplatte 64 ausgebildet. Die Bezugsoberfläche 64a ist beispielsweise so gekrümmt, dass ein äußerer Bereich davon über einem inneren Bereich davon angeordnet ist. Das heißt, die Bezugsoberfläche 64a ist durch eine nach unten vorspringende gekrümmte Oberfläche ausgebildet.
  • Eine Ansaugquelle (nicht abgebildet) ist mit einem zentralen Bereich der Bezugsoberfläche 64a über eine erste Strömungsleitung 64b, ein erstes Ventil (nicht abgebildet) und dergleichen verbunden. Zusätzlich ist eine Ansaugquelle mit dem äußeren Bereich der Bezugsoberfläche 64a über eine zweite Strömungsleitung 64c, ein zweites Ventil (nicht abgebildet) und dergleichen verbunden. An einem Umfangsabschnitt der Bezugsoberfläche 64a ist ein ringförmiges Verschlusselement 66 angeordnet, das im Wesentlichen die gesamte Bezugsoberfläche 64a umschließt. Das Verschlusselement 66 ist beispielsweise ein O-Ring, der aus einem Material wie Gummi ausgebildet ist, das eine vorgegebene Elastizität aufweist. Das Verschlusselement 66 ist geeignet, die Luftdichtheit zu gewährleisten.
  • Eine flexible Platte (Trägerplatten-Halteeinheit) 68, die eine Flexibilität aufweist, ist an der Seite der Bezugsoberfläche 64a der Basisplatte 64 angeordnet. Die flexible Platte 68 weist einen Rahmen 70 auf, der in einem Zustand, in dem keine Kraft von außen aufgebracht wird, im Wesentlichen flach ist. An der Seite der unteren Oberfläche des Rahmens 70 ist ein vertiefter Abschnitt 70a ausgebildet. An dem vertieften Abschnitt 70a ist eine poröse Platte 72 befestigt.
  • Die flexible Platte 68 ist mit der Basisplatte 64 so verbunden, dass ein zentraler Bereich der oberen Oberfläche des Rahmens 70 mit einem zentralen Bereich der Bezugsoberfläche 64a und ein Umfangsabschnitt der oberen Oberfläche des Rahmens 70 mit dem Verschlusselement 66 in Kontakt steht. Das heißt, dass in einem Zustand, in dem keine Kraft von außen auf die flexible Platte 68 aufgebracht wird, ein Freiraum zwischen dem äußeren Bereich der Bezugsoberfläche 64a und dem Umfangsabschnitt der oberen Oberfläche des Rahmens 70 ausgebildet ist, wie in 6A dargestellt.
  • Im zentralen Bereich der oberen Oberfläche des Rahmens 70 ist ein Durchgangsloch 70b ausgebildet, das mit der ersten Strömungsleitung 64b verbunden ist. Daher kann, wenn das erste Ventil geöffnet ist, ein Unterdruck der Ansaugquelle dazu gebracht werden, durch die erste Strömungsleitung 64b und das Durchgangsloch 70b auf eine untere Oberfläche 72a der Platte 72 einzuwirken. Andererseits wird beim Öffnen des zweiten Ventils Luft, die sich in dem Freiraum zwischen dem äußeren Bereich der Bezugsoberfläche 64a und dem Umfangsabschnitt der oberen Oberfläche des Rahmens 70 (Raum, der von dem Verschlusselement 66 umgeben ist) befindet, durch die zweite Strömungsleitung 64c abgegeben. Dadurch wird der Freiraum zwischen dem äußeren Bereich der Bezugsoberfläche 64a und dem Umfangsabschnitt der oberen Oberfläche des Rahmens 70 dekomprimiert, das Verschlusselement 66 wird verformt und die flexible Platte 68 wird entlang der Bezugsoberfläche 64a gekrümmt.
  • In der vierten Modifikation, wie in 6A dargestellt, wird der Werkstück-Halteschritt durchgeführt, der das Werkstück 7 durch die Halteoberfläche 52a der Werkstück-Halteeinheit 52 nach dem Trägerplatten-Halteschritt des Haltens der Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 hält. Bei dem Trägerplatten-Halteschritt wird die untere Oberfläche 72a der flexiblen Platte 68 mit der zweiten Oberfläche 3b der Trägerplatte 3 in Kontakt gebracht. Dann wird das erste Ventil geöffnet, um zu bewirken, dass ein Unterdruck der Ansaugquelle auf die untere Oberfläche 72a einwirkt. Dadurch wird die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 von oben durch die Basisplatte 64 und die flexible Platte 68 gehalten.
  • Im Werkstück-Halteschritt wird beispielsweise die Werkstück-Halteeinheit 52 unterhalb der Basisplatte 64 und der flexiblen Platte 68 positioniert, die das Verbundsubstrat 1 halten, dann werden die Basisplatte 64 und die flexible Platte 68 abgesenkt und die erste Oberfläche 7a des Werkstücks 7 wird mit der Halteoberfläche 52a der Werkstück-Halteeinheit 52 in Kontakt gebracht.
  • Im folgenden Entfernungsschritt wird, wie in 6B dargestellt, zunächst das erste Ventil geöffnet, um den Freiraum zwischen dem äußeren Bereich der Bezugsoberfläche 64a und dem Umfangsabschnitt der oberen Oberfläche des Rahmens 70 in einem Zustand zu dekomprimieren, in dem das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft mit dem Stufenabschnitt 1a von der Seite der Trägerplatte 3 in Kontakt ist. Die flexible Platte 68 ist dadurch entlang der Bezugsoberfläche 64a in einem Zustand gekrümmt, in dem die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 gehalten wird. Das heißt, eine nach oben gerichtete Kraft, die die Seite der Trägerplatte 3 krümmt, wirkt auf den Umfangsabschnitt 3c der Trägerplatte 3.
  • Andererseits ist das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft in Kontakt mit der Seite des Werkstücks 7 (Umfangsabschnitt 7b) des Stufenabschnitts 1a, und deswegen ist das Werkstück 7, anders als die Trägerplatte 3, nicht gekrümmt. Folglich ist, wie in 6C dargestellt, der Umfangsabschnitt 3c der Trägerplatte 3 in einer Richtung gekrümmt, in der er sich vom Werkstück 7 trennt, und ein Endabschnitt der provisorischen Verbindungsschicht 5 kann in einen ersten Teil 5a an der Seite der Trägerplatte 3 und einen zweiten Teil 5b an der Seite des Werkstücks 7 geteilt werden. Ein in den ersten Teil 5a und den zweiten Teil 5b unterteilter Bereich 5c am Endabschnitt der provisorischen Verbindungsschicht 5 dient als ein Startpunkt zum Zeitpunkt eines Abziehens der Trägerplatte 3 vom Werkstück 7.
  • Nachdem der Bereich 5c ausgebildet ist, wie in 6C dargestellt, werden die Basisplatte 64 und die flexible Platte 68 relativ zu dem Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft und der Werkstück-Halteeinheit 52 nach oben bewegt. Dadurch ist es möglich, das Werkstück 7 von der Trägerplatte 3 mit dem Bereich 5c als ein Ausgangspunkt abzuziehen, indem eine nach unten gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a aufgebracht wird, und die Trägerplatte 3 vom Werkstück 7 zu entfernen.
  • In der vierten Ausführungsform hält die Werkstück-Halteeinheit 52 das Werkstück 7 von unten fest. Somit fällt das abgezogene Werkstück 7 auch beim Abziehen von der Trägerplatte 3 nicht aufgrund der Schwerkraft. Das heißt, ein mit dem Fall einhergehender Aufprall wird Null. Daher ist es möglich, Beschädigungen am Werkstück 7, Vibrationen der Abziehvorrichtung 22 und ähnliches sicherer zu vermeiden.
  • Zusätzlich wird in der vierten Modifikation in der provisorischen Verbindungsschicht 5 ein Bereich (Startpunkt-Bereich) 5c ausgebildet, der als Startpunkt zum Zeitpunkt eines Entfernens der Trägerplatte 3 vom Werkstück 7 dient, indem der Umfangsabschnitt 3c der Trägerplatte 3 in einer Richtung gekrümmt wird, in der er sich vom Werkstück 7 entfernt. Das Werkstück 7 kann daher leicht und mit geringer Kraft von der Trägerplatte 3 abgezogen werden.
  • Ferner wurde in der oben beschriebenen Ausführungsform und jeder der Modifikationen ein Modus beschrieben, bei dem die Trägerplatten-Halteeinheit die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 von oben oder die Werkstück-Halteeinheit die Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 von unten hält. Allerdings könnte ein Verhältnis zwischen in der Ausführungsform und den einzelnen Modifikationen angegebenen Richtungen (beispielsweise oben und unten) vertauscht werden.
  • Insbesondere kann beispielsweise kann die Trägerplatten-Halteeinheit die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 von unten halten, oder die Werkstück-Halteeinheit kann die Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 von oben halten. In diesem Fall wird indessen das Aufbringelement für eine äußere Kraft von unten in Kontakt mit dem Stufenabschnitt 1a gebracht.
  • 7A ist eine Schnittdarstellung, die einen Werkstückhalteschritt in einer fünften Modifikation zeigt. 7B ist eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, in dem ein Bereich (Startpunktbereich) 5c, der als ein Startpunkt zum Zeitpunkt eines Abziehens des Werkstücks 7 von der Trägerplatte 3 in einem Entfernungsschritt in der fünften Modifikation dient, in der provisorischen Verbindungsschicht 5 ausgebildet ist. 7C ist eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, in dem das Werkstück 7 von der Trägerplatte 3 in dem Entfernungsschritt in der fünften Modifikation abgezogen wird.
  • In einem Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß der fünften Modifikation wird der Werkstück-Halteschritt durchgeführt, nachdem ein Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt durchgeführt wurde. Zusätzlich werden ein Trägerplatten-Halteschritt und der Entfernungsschritt nach dem Werkstück-Halteschritt durchgeführt. Indessen wird in der fünften Modifikation der Trägerplatten-Halteschritt durchgeführt, während der Entfernungsschritt durchgeführt wird.
  • Wie in 7A und dergleichen dargestellt, verwendet die fünfte Modifikation eine Abziehvorrichtung 82, die einen anderen Aufbau als die Abziehvorrichtung 22 und die Abziehvorrichtung 62 aufweist. Die Abziehvorrichtung 82 weist eine Werkstück-Halteeinheit 84 zum Halten der Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 von oben auf. An einem unteren Abschnitt der Werkstück-Halteeinheit 84 ist eine Halteoberfläche 84a ausgebildet, die kleiner ist als die erste Oberfläche 7a des Werkstücks 7.
  • Eine Ansaugquelle (nicht abgebildet) ist mit der Halteoberfläche 84a über eine Strömungsleitung (nicht abgebildet), ein Ventil (nicht abgebildet) und dergleichen verbunden. Daher kann bei geöffnetem Ventil ein Unterdruck der Ansaugquelle auf die Halteoberfläche 84a einwirken. Zusätzlich wird die Werkstück-Halteeinheit 84 durch einen Anhebe- und Absenkmechanismus (nicht abgebildet) getragen und wird dadurch in vertikaler Richtung bewegt.
  • Unterhalb der Werkstück-Halteeinheit 84 ist eine Trägerplatten-Halteeinheit 86 angeordnet. An einem oberen Abschnitt der Trägerplatten-Halteeinheit 86 ist eine Halteoberfläche 86a ausgebildet, die eine ähnliche Größe wie die zweite Oberfläche 3b der Trägerplatte 3 aufweist. Eine Ansaugquelle (nicht abgebildet) ist mit der Halteoberfläche 86a über eine Strömungsleitung (nicht abgebildet), ein Ventil (nicht abgebildet) und dergleichen verbunden. Wenn das Ventil geöffnet ist, kann daher ein Unterdruck der Ansaugquelle auf die Halteoberfläche 86a einwirken.
  • An einer Seite der Trägerplatten-Halteeinheit 86 ist ein stabförmiges Aufbringelement 88 für eine äußere Kraft (Druckelement) mit einem nach oben gerichteten distalen Ende an einer Position angeordnet, die dem Stufenabschnitt 1a des von der Trägerplatten-Halteeinheit 86 gehaltenen Verbundsubstrats 1 entspricht. Das Aufbringelement 88 für eine äußere Kraft ist beispielsweise am Gehäuse (nicht abgebildet) der Abziehvorrichtung 22, der Trägerplatten-Halteeinheit 86 oder dergleichen befestigt. Daher ändert sich eine Positionsbeziehung zwischen der Trägerplatten-Halteeinheit 86 und dem Aufbringelement 88 für eine äußere Kraft nicht.
  • Zusätzlich wird die Höhe des distalen Endes (oberes Ende) des Aufbringelements 88 für eine äußere Kraft so eingestellt, dass der Umfangsabschnitt 7b des Werkstücks 7, der den Stufenabschnitt 1a darstellt, nach oben gedrückt werden kann, wenn die Trägerplatte 3 in Kontakt mit der Halteoberfläche 86a der Trägerplatten-Halteeinheit 86 gebracht wird. Das heißt, dass eine Höhendifferenz zwischen der Halteoberfläche 86a der Trägerplatten-Halteeinheit 86 und dem distalen Ende des Aufbringelements 88 für eine äußere Kraft ist größer als eine Summe der Dicke der Trägerplatte 3 und der Dicke der provisorischen Verbindungsschicht 5.
  • Im Werkstück-Halteschritt wird, wie in 7A dargestellt, die Halteoberfläche 84a der Werkstück-Halteeinheit 84 mit der ersten Oberfläche 7a des Werkstücks 7 in Kontakt gebracht, und zwar in einem Zustand, in dem das Werkstück 7 beispielsweise oberhalb der Trägerplatte 3 angeordnet ist. Dann wird das Ventil geöffnet, so dass ein Unterdruck der Ansaugquelle auf die Halteoberfläche 84a einwirkt. Dadurch wird die Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 von oben durch die Werkstück-Halteeinheit 84 gehalten.
  • Nach dem Werkstück-Halteschritt werden der Trägerplatten-Halteschritt des Haltens der Trägerplatte 3 durch die Trägerplatten-Halteeinheit 86 und der Entfernungsschritt des Entfernens der Trägerplatte 3 von dem Werkstück 7 durchgeführt. Konkret wird beispielsweise, wie in 7B dargestellt, die Werkstück-Halteeinheit 84, die die Seite des Werkstücks 7 des Verbundsubstrats 1 hält, abgesenkt, und die zweite Oberfläche 3b der Trägerplatte 3 wird mit der Halteoberfläche 86a der Trägerplatten-Halteeinheit 86 in Kontakt gebracht.
  • Wie oben beschrieben, ist der Höhenunterschied zwischen der Halteoberfläche 86a der Trägerplatten-Halteeinheit 86 und dem distalen Ende des Aufbringelements 88 für eine äußere Kraft größer als die Summe aus der Dicke der Trägerplatte 3 und der Dicke der provisorischen Verbindungsschicht 5. Daher kommt beim Absenken der Werkstück-Halteeinheit 84 das distale Ende des Aufbringelements 88 für eine äußere Kraft mit dem Stufenabschnitt 1a (Umfangsabschnitt 7b) in Kontakt, bevor die zweite Oberfläche 3b der Trägerplatte 3 mit der Halteoberfläche 86a der Trägerplatten-Halteeinheit 86 in Kontakt kommt.
  • Wenn die Werkstück-Halteeinheit 84 ferner aus diesem Zustand abgesenkt wird, wird daher von dem Aufbringelement 88 für eine äußere Kraft eine nach oben gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a (Umfangsabschnitt 7b) aufgebracht. Infolgedessen wird, wie in 7B dargestellt, der Umfangsabschnitt 7b des Werkstücks 7 in einer Richtung der Trennung von der Trägerplatte 3 gekrümmt, und ein Endabschnitt der provisorischen Verbindungsschicht 5 kann in einen ersten Teil 5a an der Seite der Trägerplatte 3 (siehe 7C) und einen zweiten Teil 5b an der Seite des Werkstücks 7 (siehe 7C) getrennt werden. Ein in den ersten Teil 5a und den zweiten Teil 5b unterteilter Bereich 5c am Endabschnitt der provisorischen Verbindungsschicht 5 dient als Abziehstartpunkt zum Zeitpunkt eines Abziehens der Trägerplatte 3 vom Werkstück 7.
  • Nachdem der Bereich 5c ausgebildet ist, wie in 7B dargestellt, wird die Trägerplatten-Halteeinheit 86 dazu gebracht, die Seite der Trägerplatte 3 des Verbundsubstrats 1 zu halten, indem ein Unterdruck der Ansaugquelle auf die Halteoberfläche 86a in einem Zustand einwirkt, in dem die zweite Oberfläche 3b der Trägerplatte 3 in Kontakt mit der Halteoberfläche 86a ist. Danach wird, wie in 7C dargestellt, die Werkstück-Halteeinheit 84 angehoben. Dadurch wird das Werkstück 7 von der Trägerplatte 3 mit dem Bereich 5c als Startpunkt abgezogen. Das heißt, die Trägerplatte 3 kann von dem Werkstück 7 entfernt werden, indem das Werkstück 7 in eine Richtung bewegt wird, in der es sich von der Trägerplatte 3 trennt.
  • In der fünften Modifikation wird der Bereich (Startpunkt-Bereich) 5c, der als Startpunkt beim Entfernen der Trägerplatte 3 von dem Werkstück 7 dient, in der provisorischen Verbindungsschicht 5 ausgebildet, indem der Umfangsabschnitt 7b des Werkstücks 7 in eine Richtung der Trennung von der Trägerplatte 3 gekrümmt wird. Das Werkstück 7 lässt sich daher leicht und mit geringem Kraftaufwand von der Trägerplatte 3 abziehen.
  • Die oben beschriebene Ausführungsform und die Modifikationen können beliebig miteinander kombiniert werden. Beispielsweise könnte die erste Modifikation ferner mit der zweiten Modifikation kombiniert werden. In diesem Fall wird ein Fluid zwischen die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 (in einen Bereich, der der provisorischen Verbindungsschicht 5 entspricht) gesprüht, nachdem die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 in die Flüssigkeit 44 eingetaucht sind. Das heißt, das Werkstück 7 wird von der Trägerplatte 3 abgezogen, indem das Aufbringelement 26 für eine äußere Kraft eine nach unten gerichtete Kraft auf den Stufenabschnitt 1a aufbringt, nachdem das Fluid 34 zwischen die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 gesprüht wurde oder während das Fluid 34 zwischen die Trägerplatte 3 und das Werkstück 7 gesprüht wurde.
  • Daneben können Aufbauten, Verfahren und dergleichen gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform und den Modifikationen modifiziert und in geeigneter Weise implementiert werden, ohne vom objektiven Anwendungsbereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die angehängten Ansprüche definiert und sämtliche Änderungen und Abwandlungen, die in den äquivalenten Schutzbereich der Ansprüche fallen, sind folglich durch die Erfindung einbezogen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2016 [0004]
    • JP 201519 [0004]

Claims (12)

  1. Trägerplatten-Entfernungsverfahren zum Entfernen einer Trägerplatte von einem an einer oberen Oberfläche der Trägerplatte angeordneten Werkstück über eine provisorische Verbindungsschicht, wobei das Trägerplatten-Entfernungsverfahren aufweist: einen Stufenabschnitt-Ausbildungsschritt eines Ausbildens eines Stufenabschnitts, bei dem das Werkstück im Vergleich zur Trägerplatte seitlich vorsteht, indem die Trägerplatte bearbeitet wird, um einen Umfangsabschnitt der Trägerplatte entlang eines Umfangsrands der Trägerplatte von einer Seite der unteren Oberfläche gegenüber der oberen Oberfläche der Trägerplatte zu entfernen; einen Trägerplatten-Halteschritt eines Haltens der Trägerplatte durch eine Trägerplatten-Halteeinheit nach einem Durchführen des Stufenabschnitt-Ausbildungsschrittes; und einen Entfernungsschritt eines Entfernens der Trägerplatte von dem Werkstück durch ein Aufbringen einer Kraft von der Seite der Trägerplatte auf den Stufenabschnitt und eines Bewegens des Werkstücks in eine Richtung der Trennung von der Trägerplatte nach einem Durchführen des Stufenabschnitt-Ausbildungsschritts.
  2. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß Anspruch 1, wobei in dem Entfernungsschritt das Werkstück durch die auf den Stufenabschnitt aufgebrachte Kraft in der Richtung des Trennens von der Trägerplatte bewegt wird.
  3. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, ferner aufweisend: einen Werkstück-Halteschritt eines Haltens des Werkstücks durch eine Werkstück-Halteeinheit vor einem Durchführen des Entfernungsschritts.
  4. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß Anspruch 3, wobei in dem Entfernungsschritt die Trägerplatte von dem Werkstück entfernt wird, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt aufgebracht wird, indem die Trägerplatten-Halteeinheit relativ zu der Werkstück-Halteeinheit und einem Aufbringelement für eine äußere Kraft in einem Zustand bewegt wird, in dem das Aufbringelement für eine äußere Kraft von der Seite der Trägerplatte in Kontakt mit dem Stufenabschnitt aus gehalten wird.
  5. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß Anspruch 4, wobei in dem Entfernungsschritt ein Startpunkt-Bereich, der als ein Startpunkt zu einem Zeitpunkt eines Entfernens der Trägerplatte von dem Werkstück dient, in der provisorischen Verbindungsschicht ausgebildet wird, indem der Umfangsabschnitt der Trägerplatte in einer Richtung der Trennung von dem Werkstück gekrümmt wird, bevor die Trägerplatten-Halteeinheit relativ zu der Werkstück-Halteeinheit und dem Aufbringelement für eine äußere Kraft bewegt wird.
  6. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei in dem Entfernungsschritt das Werkstück in der Richtung des Trennens von der Trägerplatte bewegt wird, nachdem ein Startpunkt-Bereich, der als ein Startpunkt zu einem Zeitpunkt des Entfernens der Trägerplatte von dem Werkstück dient, in der provisorischen Verbindungsschicht ausgebildet ist, indem ein Umfangsabschnitt des Werkstücks in der Richtung des Trennens von der Trägerplatte durch die auf den Stufenabschnitt aufgebrachte Kraft gekrümmt wird.
  7. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß Anspruch 6, ferner aufweisend: einen Werkstück-Halteschritt eines Haltens des Werkstücks durch eine Werkstück-Halteeinheit vor einem Durchführen des Entfernungsschritts.
  8. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei in dem Entfernungsschritt die Trägerplatte von dem Werkstück entfernt wird, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt aufgebracht wird, nachdem ein Fluid zwischen das Werkstück und die Trägerplatte gesprüht wurde oder während das Fluid zwischen das Werkstück und die Trägerplatte gesprüht wird.
  9. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei im Entfernungsschritt die Trägerplatte vom Werkstück entfernt wird, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt in einem Zustand aufgebracht wird, in dem das Werkstück und die Trägerplatte in eine Flüssigkeit eingetaucht sind.
  10. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß Anspruch 9, wobei bei dem Entfernungsschritt die Trägerplatte von dem Werkstück entfernt wird, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt aufgebracht wird, indem ein Aufbringelement für eine äußere Kraft, auf das eine Vibration aufgebracht wird, gegen den Stufenabschnitt in einem Zustand gedrückt wird, in dem das Werkstück und die Trägerplatte in die Flüssigkeit eingetaucht sind.
  11. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß Anspruch 9 oder 10, wobei in dem Entfernungsschritt die Trägerplatte von dem Werkstück entfernt wird, indem die Kraft auf den Stufenabschnitt aufgebracht wird, in einem Zustand, in dem das Werkstück und die Trägerplatte in die Flüssigkeit eingetaucht sind, eine Vibration auf die Flüssigkeit aufgebracht wird.
  12. Trägerplatten-Entfernungsverfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei die Flüssigkeit ein Tensid beinhaltet.
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