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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Es sind Bearbeitungsverfahren bekannt, bei denen ein plattenförmiges Werkstück wie ein Halbleiterwafer, ein Kunststoffpackungssubstrat, ein Glassubstrat oder ein Keramiksubstrat durch eine Schleifscheibe geschliffen wird, um dünn ausgestaltet zu werden, oder durch eine Schneidklinge oder einen Laserstrahl geteilt wird. Bei einem solchen Bearbeiten wird eine haftvermittelnde Folie zum Schützen, insbesondere auf einer Oberfläche, an der Bauelemente in dem Werkstück ausgebildet sind, an der vorderen Oberfläche des Werkstücks angebracht. Die haftvermittelnde Folie ist in engem Kontakt mit dem Werkstück durch eine starke haftvermittelnde Schicht, sodass sie sich nicht bei der Bearbeitung ablöst. Beim Ablösen der haftvermittelnden Schicht wird eine Technik verwendet, bei der eine Thermokompressionsfolie zum Ablösen fest an der haftvermittelnden Folie angebracht wird und die haftvermittelnde Folie wird von dem Werkstück abgelöst, indem die Thermokompressionsfolie gezogen wird (siehe zum Beispiel die
japanische Offenlegungsschrift Nr. 2012-028478 ).
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Bei dem Verfahren, wie dem oben beschriebenen, ist jedoch die Thermokompressionsfolie, also eine weitere Verbrauchsmaterialkomponente, notwendig, was zu einer Erhöhung der Kosten führt. Eine Technik wurde auch entwickelt, bei der, ohne dass eine Thermokompressionsfolie verwendet wird, ein Klauenteil zwischen der Kunststofffolie und einem Werkstück eingebracht wird und die Kunststofffolie abgelöst wird. Jedoch existiert hier das Problem, dass es schwierig ist, der Klaue den Eintritt zu ermöglichen und einen Ablöseursprungspunkt auszubilden, falls die Kunststofffolie fest in engem Kontakt mit dem Werkstück ist.
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Folglich ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung ein Ablöseverfahren einer Kunststofffolie bereitzustellen, durch welches ein Ablöseursprungspunkt der Kunststofffolie, die in engen Kontakt mit einem plattenförmigen Objekt ist, einfach ausgebildet werden kann.
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In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie zum Ablösen der Kunststofffolie von dem plattenförmigen Gegenstand, an welchem die Kunststofffolie angebracht ist, bereitgestellt. Das Ablöseverfahren beinhaltet einen Heizungsschritt für eine Kunststofffolie zum Heizen eines Endteils der Kunststofffolie des plattenförmigen Gegenstands, an dem die Kunststofffolie angebracht ist, um die Kunststofffolie von dem Endteil anzuheben und einen Ablöseursprungspunkt auszubilden, und einen Kunststofffolienentfernungsschritt zum Entfernen der Kunststofffolie von dem plattenförmigen Gegenstand durch Ablösen der Kunststofffolie von dem Ablöseursprungspunkt.
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Vorzugsweise ist die Kunststofffolie eine Kunststofffolie, die keine haftvermittelnde Materialschicht aufweist. Vorzugsweise weist die Kunststoffschicht einen Bereich auf, in dem eine haftvermittelnde Materialschicht in einem Bereich nicht vorhanden ist, der an dem plattenförmigen Gegenstand angebracht ist. Vorzugsweise wird die Kunststofffolie durch den plattenförmigen Gegenstand in dem Heizungsschritt für eine Kunststofffolie geheizt.
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung kann der Ablöseursprungspunkt der Kunststofffolie in engen Kontakt mit dem plattenförmigen Gegenstand einfach ausgebildet werden.
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Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, verstanden.
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Figurenliste
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- 1 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines plattenförmigen Gegenstands mit einer aufgebrachten Folie, der in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet wird;
- 2 ist eine perspektivische Ansicht des plattenförmigen Gegenstands, an dem eine Folie angebracht ist, der in 1 dargestellt ist;
- 3 ist eine Schnittansicht, die einen Teil aus 2 in vergrößerter Weise darstellt;
- 4 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein Bearbeitungsbeispiel des plattenförmigen Gegenstands, an dem eine Folie angebracht ist, darstellt, der in 1 dargestellt ist;
- 5 ist ein Flussdiagramm, das einen Ablauf des Ablöseverfahrens für eine Kunststofffolie entsprechend der Ausführungsform darstellt;
- 6 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein Beispiel des Heizungsschritts für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie darstellt, das in 5 dargestellt ist;
- 7 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein weiteres Beispiel des Heizungsschritts für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie darstellt, das in 5 dargestellt ist;
- 8 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein Beispiel eines Entfernungsschritts für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie darstellt, das in 5 dargestellt ist;
- 9 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein weiteres Beispiel des Entfernungsschritts für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie darstellt, das in 5 dargestellt ist; und
- 10 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein weiteres Beispiel des Entfernungsschritts für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie darstellt, das in 5 dargestellt ist.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird jetzt detailliert im Folgenden mit Bezug zu den Figuren beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf den Inhalt beschränkt, der in der folgenden Ausführungsform beschrieben ist. Darüber hinaus sind, was einfach durch den Fachmann angenommen werden kann und was im Wesentlichen das Gleiche ist, in den ausbildenden Elementen, die im Folgenden beschrieben sind, beinhaltet. Darüber hinaus können die im Folgenden beschriebenen Konfigurationen geeignet kombiniert werden. Zusätzlich können verschiedene Auslassungen, Ersetzungen oder Änderungen der Konfigurationen durchgeführt werden, ohne von der Idee der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
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Ein Ablöseverfahren einer Kunststofffolie 18 entsprechend der Ausführungsform wird basierend auf den Figuren beschrieben. Zuerst wird die Konfiguration eines plattenförmigen Gegenstands 20, an dem eine Folie angebracht ist, der in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie 18 entsprechend der Ausführungsform verwendet wird, beschrieben. 1 ist eine perspektivische Explosionsansicht des plattenförmigen Gegenstands 20, an dem eine Folie angebracht ist, der in dem Ablöseverfahren für eine Kunststoffschicht 18 entsprechend der Ausführungsform verwendet wird. 2 ist eine perspektivische Ansicht des plattenförmigen Gegenstands 20, an dem eine Folie angebracht ist, der in 1 dargestellt ist. 3 ist eine Schnittansicht, die einen Teil von 2 in einer vergrößerten Weise darstellt. Der plattenförmige Gegenstand 20, an dem eine Folie angebracht ist, beinhaltet einen plattenförmigen Gegenstand 20 und eine Kunststofffolie 18.
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Der plattenförmige Gegenstand 10 ist ein kreisförmiger scheibenförmiger Wafer wie ein Halbleiterwafer oder ein optischer Bauelementwafer, der ein Substrat 11 aufweist, das aus Silizium, Saphir, Siliziumcarbid (SiC), Galliumarsenid oder dergleichen ausgebildet ist. Der plattenförmige Gegenstand 10 weist mehrere geplante Teilungslinien 13 auf, die an einer vorderen Oberfläche 12 des Substrats 11 ausgebildet sind, und Bauelemente 14, die in den jeweiligen Bereichen ausgebildet sind, die durch die mehreren geplanten Teilungslinien 13 markiert sind, die sich in einer Gitterweise kreuzen. Eine Oberfläche des Substrats 11, das an der gegenüberliegenden Seite der vorderen Oberfläche 12 liegt, an der die Bauelemente 14 ausgebildet sind, ist als eine hintere Oberfläche 15 ausgebildet. Der plattenförmige Gegenstand 10 wird zu Chips 16 ausgebildet, indem er entlang der geplanten Teilungslinien 13 geteilt wird. In der Ausführungsform, wie in 3 dargestellt, sind mehrere Elektrodenerhöhungen 17 an der vorderen Oberfläche 12 des plattenförmigen Gegenstands 10 befestigt. Jedoch müssen die Elektrodenerhöhungen 17 nicht in der vorliegenden Erfindung befestigt sein. Die Elektrodenerhöhungen 17 stehen von der vorderen Oberfläche 12 der Bauelemente 14 hervor. Der plattenförmige Gegenstand 16 weist Vertiefungen und Erhöhungen aufgrund der Befestigung der Elektrodenerhöhungen 17 an der vorderen Oberfläche 12 der Bauelemente 14 auf.
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Die Kunststofffolie 18 ist, was die Bauelemente 14 beschützt, indem diese an der vorderen Oberfläche 12 des plattenförmigen Gegenstands 10 angebracht ist, wobei eine Oberfläche als eine Anbindungsoberfläche 19 verwendet wird. Die Kunststofffolie 18 ist in einer kreisförmige Scheibenform mit dem gleichen Durchmesser wie der plattenförmige Gegenstand 10 ausgebildet. Die Kunststofffolie 18 ist ein synthetischer Kunststoff, der thermoplastisch ist. Die Kunststofffolie 18 ist zum Beispiel aus einem Polyolefinkunststoff ausgebildet. In der Ausführungsform ist die Kunststofffolie 18 eine Kunststofffolie, bei der eine haftvermittelnde Materialschicht eines Klebstoffs oder dergleichen nicht in dem Bereich vorhanden ist, der an dem plattenförmigen Gegenstand 10 angebracht ist. In der Ausführungsform ist die Kunststofffolie 18 eine Kunststofffolie, bei der eine haftvermittelnde Materialschicht oder ein Klebstoff oder dergleichen nicht vorhanden ist. Falls die Kunststoffschicht 18 zum Beispiel keine haftvermittelnde Schicht aus einem Klebstoff oder dergleichen aufweist, wird die Kunststofffolie 18 zum Beispiel an dem plattenförmigen Gegenstand 10 angebracht, indem sie in engen Kontakt mit dem plattenförmigen Gegenstand 10 gebracht wird, während sie gespannt wird, indem sie eine Spannungskraft in der Oberflächenrichtung und in einer radialen Weise durch eine Walze, Druckkomponente oder dergleichen erfährt.
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In der Ausführungsform ist die Kunststofffolie 18 nur aus einer Basisschicht ausgebildet, die aus einem thermoplastischen Kunststoff wie einem Polyolefinkunststoff ausgebildet ist. Jedoch, in der vorliegenden Erfindung, kann die Kunststofffolie 18 die Basisschicht und die haftvermittelnde Materialschicht beinhalten. Zum Beispiel kann die Kunststofffolie 18 die haftvermittelnde Materialschicht und die Basisschicht beinhalten, die in einem Bereich angeordnet ist, die ein anderer Bereich als der Bereich ist, der an dem plattenförmigen Gegenstand 10 angebracht ist, oder kann die haftvermittelnde Materialschicht beinhalten, die an dem plattenförmigen Gegenstand 10 und der Basisschicht angebracht ist.
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Als nächstes wird ein Beispiel einer Bearbeitung beschrieben, bei dem der plattenförmige Gegenstand 20, an dem eine Folie angebracht ist, als ein Bearbeitungsziel verwendet wird. 4 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein Bearbeitungsbeispiel des plattenförmigen Gegenstands, an dem eine Folie angebracht ist, der in 1 dargestellt ist, darstellt. Dieses eine Beispiel, das in 4 dargestellt ist, ist eine Schleifbearbeitung, bei welcher der plattenförmige Gegenstand 10 von der hinteren Oberfläche 15 geschliffen wird, um auf eine vorbestimmte Dicke durch eine Schleifeinheit 40 dünn ausgestaltet zu werden.
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Bei der Schleifbearbeitung wird zuerst der plattenförmige Gegenstand 20, an dem eine Folie angebracht ist, in einer solchen Weise platziert, dass die Seite der vorderen Oberfläche 12 des plattenförmigen Gegenstands 10 gegenüber einer Halteoberfläche 31 eines Einspanntischs 30 ist. Der plattenförmige Gegenstand 10 wird durch die Halteoberfläche 31 des Einspanntischs 30 angesaugt und gehalten unter Vermittlung der Kunststofffolie 18, die an der vorderen Oberfläche 12 angebracht ist. Die Bauelemente 15, die an der vorderen Oberfläche 12 des plattenförmigen Gegenstands 10 ausgebildet sind, werden vor einer Beschädigung aufgrund der Haftvermittlung oder eines Kontakts mit einer fremden Substanz durch die Kunststofffolie 18 geschützt.
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Bei der Schleifbearbeitung wird als nächstes der Einspanntisch 30 um ein Achszentrum 32 gedreht und eine Schleifscheibe 41 der Schleifeinheit 40 wird um ein Achszentrum 42 gedreht. Bei der Schleifbearbeitung wird als nächstes ein abrasiver Schleifstein 43 der Schleifscheibe 41 in engen Kontakt mit dem Einspanntisch 30 mit einer vorbestimmten Zufuhrrate gebracht, während Schleifwasser 46 durch eine Schleifwasserzufuhreinheit 45 zugeführt wird. Wenn der abrasive Schleifstein 43 in Kontakt mit der hinteren Oberfläche 15 des plattenförmigen Gegenstands 10 kommt, schleift der abrasive Schleifstein 43 die Seite der hinteren Oberfläche 15 des plattenförmigen Gegenstands 10. Wenn der plattenförmige Gegenstand 10 auf eine vorbestimmte Dicke durch die Schleifeinheit 40 dünn ausgestaltet wird, wird das saugende Halten durch den Einspanntisch 30 angehalten und die Schleifbearbeitung ist abgeschlossen.
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Als nächstes wird ein Ablöseverfahren der Kunststofffolie 18 entsprechend der Ausführungsform beschrieben. 5 ist ein Flussdiagramm, das einen Ablauf des Ablöseverfahrens der Kunststofffolie 18 entsprechend der Ausführungsform darstellt. Das Ablöseverfahren der Kunststofffolie 18 ist ein Verfahren zum Ablösen der Kunststofffolie 18 von dem plattenförmigen Gegenstand 10, der in 2 und 3 dargestellt ist, an dem die Kunststofffolie 18 angebracht ist, und beinhaltet einen Heizungsschritt für eine Kunststofffolie und einen Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie, wie in 5 dargestellt.
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Zuerst wird der Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie beschrieben. Der Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie ist ein Schritt zum Heizen eines Anteils der Kunststofffolie 18 des plattenförmigen Gegenstands 10, an dem die Kunststofffolie 18 angebracht ist, um die Kunststofffolie 18 von dem Endteil anzuheben und einen Ablöseursprungspunkt 21 auszubilden.
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6 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein Beispiel des Heizungsschritts ST1 für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie 18, das in 5 dargestellt ist, darstellt. In dem einen Beispiel, das in 6 dargestellt ist, wird in dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie zuerst der plattenförmige Gegenstand 20, an dem eine Folie angebracht ist, an der Platzierungsoberfläche 41 eines Heizungstischs 50 platziert. Zu diesem Zeitpunkt wird der plattenförmige Gegenstand 20, an dem eine Folie angebracht ist, in einer solchen Weise platziert, dass die Seite der hinteren Oberfläche 15 des plattenförmigen Gegenstands 10 in Kontakt mit der Platzierungsoberfläche 51 kommt, und die Kunststofffolie 18 wird an der oberen Oberflächenseite gesetzt. In dem Heizungstisch 50 ist ein wärmegenerierender Teil 52 an einer Position angeordnet, an der der wärmegenerierende Teil 52 mindestens einen umfänglichen Kantenteil des plattenförmigen Gegenstands 20, an dem eine Folie angebracht ist, geheizt werden kann. In dem einen Beispiel, das in 6 dargestellt ist, ist der wärmegenerierende Teil 52 über das Gesamte der Oberfläche, an dem der plattenförmige Gegenstand 20, an dem eine Folie angebracht ist, platziert ist, angeordnet.
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In dem einen Beispiel, das in 6 dargestellt ist, wird in dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie als nächstes der wärmegenerierende Teil 52 durch das Anlegen einer Spannung an dem wärmegenerierenden Teil 52 des Heizungstischs 50 oder dergleichen geheizt. Durch Heizen des wärmegenerierenden Teils 52 wird die Platzierungsoberfläche 51 des Heizungstischs 50 geheizt. Der Heizungstisch 50 heizt den plattenförmigen Gegenstand 20, an dem eine Folie angebracht ist, durch eine Erhöhung der Temperatur der Platzierungsoberfläche 51. Der Heizungstisch 50 heizt die Kunststofffolie 18 durch den plattenförmigen Gegenstand 10. Falls die Kunststofffolie 18 eine Polyolefinkunststofffolie ist, ist die Oberflächentemperatur der Platzierungsoberfläche 51 gleich oder höher als 80°C und es ist bevorzugt, dass die Oberflächentemperatur gleich oder höher als 110°C ist.
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Weil die Kunststofffolie 18 des plattenförmigen Gegenstands 20, an dem eine Folie angebracht ist, ein Thermoplastik ist, erweicht und verformt es sich, wenn es geheizt wird. Im Gegensatz dazu, weist der plattenförmige Gegenstand 10, der ein Wafer ist, einen geringeren linearen Ausdehnungskoeffizienten als die Kunststofffolie 18 auf und deswegen ist seine Verformung bei einem Heizen geringer. Darum erhebt sich die geheizte und verformte Kunststofffolie 18 von dem Endteil, der ein umfänglicher Kantenteil ist, des plattenförmigen Gegenstands 10. Der Ablöseursprungspunkt 21 wird an dem Endteil der Kunststofffolie 18 ausgebildet.
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7 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein anderes Beispiel des Heizungsschritts ST1 für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie 18, das in 5 dargestellt ist, darstellt. Bei dem einen Beispiel, das in 7 dargestellt ist, wird in dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie zuerst der plattenförmige Gegenstand 20, an dem eine Kunststofffolie angebracht ist, an einer Platzierungsoberfläche 56 eines Tisches 55 platziert. Zu diesem Zeitpunkt wird der plattenförmige Gegenstand 20, an dem eine Folie angebracht ist, in einer solchen Weise platziert, dass die Seite der hinteren Oberfläche 15 des plattenförmigen Gegenstands 10 in Kontakt mit der Platzierungsoberfläche 56 kommt und die Kunststofffolie 18 ist an der oberen Oberflächenseite gesetzt.
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In dem einen Beispiel, das in 7 dargestellt ist, wird in dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie als nächstes, da der plattenförmige Gegenstand 20, an dem eine Folie angebracht ist, durch heiße Luft 58 aus einem Heißluftfüllen 57 geheizt. In dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie ist es bevorzugt, die heiße Luft 58 des Heißluftfüllens 57 zu einem Endteil zu richten, der ein umfänglicher Kantenteil des plattenförmigen Gegenstands 20, an dem eine Folie angebracht ist, ist. Der geheizte Endteil der Kunststofffolie 18 weicht auf und wird verformt. Bei der Kunststofffolie 18 erhebt sich der geheizte und verformte Endteil bezüglich des plattenförmigen Gegenstands 10. Der Ablöseursprungspunkt 21 wird an dem Teil der Kunststofffolie 18 ausgebildet.
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Obwohl die zwei Heizungsverfahren in der obigen Beschreibung beispielhaft dargestellt sind, ist das Heizungsverfahren bei dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie nicht besonders beschränkt, solange es mindestens einen Endteil der Kunststofffolie 18 heizen kann. Das Heizungsverfahren kann ein Verfahren sein, das elektromagnetische Strahlen einsetzt, so wie fernes Infrarot zum Beispiel.
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Als nächstes wird der Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie beschrieben. Der Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie ist ein Schritt zum Entfernen der Kunststofffolie 18 von dem plattenförmigen Gegenstand 10 durch Ablösen der Kunststofffolie 18 von dem Ablöseursprungspunkt 21 nach dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie. Die folgende Beschreibung basiert auf der Prämisse, dass der Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie durchgeführt wird, nachdem der Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie durchgeführt wurde, wie in dem einen Beispiel, das in 6 dargestellt ist. Jedoch kann der Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie durchgeführt werden, nachdem der Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie in dem anderen Beispiel durchgeführt wurde, das in 7 dargestellt ist.
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8 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein Beispiel des Entfernungsschritts ST2 für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie 18, das in 5 dargestellt ist, darstellt. In dem einen Beispiel, das in 8 dargestellt ist, wird in dem Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie zuerst der Endteil, welcher der Ablöseursprungspunkt 21 der Kunststofffolie 18 ist, der in dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie ausgebildet wurde, durch einen Greifteil 61 der Entfernungseinheit 60 gegriffen.
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In dem einen Beispiel, das in 8 dargestellt ist, wird bei dem Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie als nächstes der Heizungstisch 50 durch eine Bewegungseinheit 53 in einer horizontalen Richtung parallel zu der Platzierungsoberfläche 51 und in einer Richtung, die durch einen Pfeil in 8 dargestellt ist, von dem Zentrum der Platzierungsoberfläche 51 zu dem Teil, der durch den Greifteil 61 an dem Ablöseursprungspunkt 21 gegriffen ist, bewegt. Der Greifteil 61 der Entfernungseinheit 60 bewegt sich relativ von dem Greifteil der Kunststofffolie 18 zu dem Zentrum des plattenförmigen Gegenstands 20, an dem eine Folie angebracht ist, und löst dadurch die überbleibende anhaftende Oberfläche 19 der Kunststofffolie 18 von der vorderen Oberfläche 12 des plattenförmigen Gegenstands 10 unter Verwendung des Ablöseursprungspunkts 21 als den Ursprungspunkt. Darum wird die Kunststofffolie 18 von dem plattenförmigen Gegenstand 10 entfernt.
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9 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ein weiteres Beispiel des Entfernungsschritts ST2 für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie darstellt, das in 5 gezeigt ist. In dem einen Beispiel, das in 9 dargestellt ist, wird in dem Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie Luft 66 einer Luftausstoßeinheit 65 von der lateralen Seite des plattenförmigen Gegenstands 20, an dem eine Folie angebracht ist, der an der Platzierungsoberfläche 51 des Heizungstischs 50 platziert ist, zu dem Ablöseursprungspunkt 21 ausgestoßen. Die Luftausstoßeinheit 65 führt Luft 66 zwischen dem plattenförmigen Gegenstand 10 und der Kunststofffolie 18 zu, wodurch die überbleibende angebrachte Oberfläche der Kunststofffolie 18 von der vorderen Oberfläche 12 des plattenförmigen Gegenstands 10 unter Verwendung des Ablöseursprungspunkts 21 abgelöst wird. Dadurch wird die Kunststofffolie 18 von dem plattenförmigen Gegenstand 10 entfernt.
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10 ist eine seitliche Ansicht teilweise im Querschnitt, die ferner ein anderes Beispiel des Entfernungsschritts ST2 für eine Kunststofffolie in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie 18, das in 5 dargestellt ist, darstellt. In dem einen Beispiel, das in 10 dargestellt ist, wird in dem Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie zuerst ein Band 70 zum Ablösen an dem Endteil angebracht, welcher der Ablöseursprungspunkt 21 der eine Kunststofffolie 18 ist, der in dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie ausgebildet wurde. Zu diesem Zeitpunkt wird das Band 70 zum Ablösen in einer solchen Weise angebracht, dass das eine Ende 71 des Bands 70 zum Ablösen von der umfänglichen Kante der Kunststofffolie 18 nach außen hervorsteht. In dem einen Beispiel, das in 10 dargestellt ist, wird in dem Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie als nächstes das eine Ende 71 des Bands 70 zum Ablösen durch einen Greifteil 73 der Entfernungseinheit 72 gegriffen.
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In dem einen Beispiel, das in 10 dargestellt ist, wird bei dem Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie als nächstes der Heizungstisch 50 durch die Bewegungseinheit 53 in einer horizontalen Richtung parallel zur Platzierungsoberfläche 51 und in einer Richtung, die durch einen Pfeil in 10 dargestellt ist, von dem Zentrum der Platzierungsoberfläche 51 zu dem Teil, der durch den Greifteil 73 bei dem Band 70 zum Ablösen gegriffen ist, das an dem Ablöseursprungspunkt 21 angebracht ist, bewegt. Zusätzlich wird die Entfernungseinheit 72 in einer Richtung senkrecht zu der Platzierungsoberfläche 51 nach oben bewegt. Der Greifteil 73 der Entfernungseinheit 72 bewegt sich relativ von dem Teil, an dem das gegriffene Band 70 zum Ablösen an der Kunststofffolie 18 angebracht ist, zu dem Zentrum des plattenförmigen Gegenstands 20 an dem eine Folie angebracht ist, und löst dadurch die überbleibende angebrachte Oberfläche 19 der Kunststofffolie 18 von der vorderen Oberfläche 12 des plattenförmigen Gegenstands 10 unter Verwendung des Ablöseursprungspunkts 21 als den Ursprungspunkt. Dadurch wird die Kunststofffolie 18 von dem plattenförmigen Gegenstand 10 entfernt.
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Obwohl die drei Entfernungsverfahren in der obigen Beschreibung beispielhaft angegeben sind, ist das Entfernungsverfahren bei dem Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie nicht besonders beschränkt, solange es ein Verfahren ist, das ein Ablösen mit Greifen des Ablöseursprungspunkts 21 der Kunststofffolie 18 ausführen kann oder ein Ablösen der Kunststofffolie 18 von dem Ablöseursprungspunkt 21 unterstützt wird. Bei dem Entfernungsschritt ST2 für eine Kunststofffolie kann das Heizen der Kunststofffolie 18 von dem Heizungsschritt ST1 für eine Kunststofffolie an fortgeführt werden.
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Wie oben beschrieben, in dem Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie 18 entsprechend der Ausführungsform wird die Kunststofffolie 18 von dem plattenförmigen Gegenstand 10 durch Ablösen der Kunststofffolie 18 von dem Ablöseursprungspunkt 21, der an einem Endteil der Kunststofffolie 18 ausgebildet ist, entfernt. Der Ablöseursprungspunkt 21 wird durch Heizen des Endteils der Kunststofffolie 18 ausgebildet. Aufgrund der Thermoplastizität der Kunststofffolie 18 und des Unterschieds der linearen Ausdehnung von dem plattenförmigen Gegenstand 10 tritt ein Phänomen auf, bei dem die Kunststofffolie 18 sich natürlich von dem Endteil nach oben bewegt, wenn die Kunststofffolie geheizt wird. Das heißt, durch Heizen von mindestens dem Endteil der Kunststofffolie 18 kann der Endteil, der die umfängliche Kante der Kunststofffolie 18 ist, sich nach oben bewegen. Darum kann der Ablöseursprungspunkt 21 einfach ausgebildet werden, sogar bei der Kunststofffolie 18, die fest in engem Kontakt mit dem plattenförmigen Gegenstand 10 ist. Aufgrund des Ausbildens des Ablöseursprungspunkts 21 kann die überbleibende anhaftende Oberfläche 19 der Kunststofffolie 18 einfach von der vorderen Oberfläche 12 des plattenförmigen Gegenstands 10 unter Verwendung des Ablöseursprungspunkts 21 als der Ursprungspunkt abgelöst werden.
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Darüber hinaus, in dem Fall, dass die Kunststofffolie 18, die keine haftvermittelnde Schicht oder einen Klebstoff oder dergleichen aufweist, wird eine Zugkraft in der Oberflächenrichtung und in einer radialen Weise an die Kunststofffolie 18 angelegt, wenn die Kunststofffolie 18 angebracht ist. Dies verursacht einen Effekt, dass der Endteil der Kunststofffolie 18 sich einfacher aufgrund des Heizens nach oben bewegt. Darüber hinaus ist bei der Kunststofffolie 18, bei der eine haftvermittelnde Schicht eines Klebstoffs oder dergleichen nicht vorhanden ist, zum Beispiel das Steuern der Haftkraft im Vergleich mit einer haftvermittelnden Folie, die eine Ultraviolett-aushärtenden (UV) Klebstoffschicht aufweist, die durch UV ausgehärtet wird, oder dergleichen, schwierig und darum ist das Ablöseverfahren für eine Kunststofffolie entsprechend der vorliegenden Erfindung besser anwendbar.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Patentansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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