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TECHNISCHER HINTERGRUND
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anti-Auswurf-Vorrichtung für Wafereinheiten.
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Beschreibung der verwandten Technik
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Um einen Halbleiterwafer in Chips zu teilen, wird eine als eine Teilungssäge bezeichnete Schneidmaschine verwendet. Als eine Vorbereitung zum Bearbeiten von Wafern durch eine Schneidmaschine dieser Art werden Wafer jeweils über ein Haftband an einem ringförmigen Rahmen befestigt und in einer Kassette aufgenommen. Die Kassette mit den darin aufgenommenen Wafern wird durch einen Bediener zur Schneidmaschine übertragen und wird an einem an der Schneidmaschine angeordneten Anbringtisch angebracht. Die Wafer werden nacheinander aus der Kassette herausbefördert, einer Teilungsbearbeitung unterzogen und dann zurück in die Kassette befördert. Die Kassette mit den darin aufgenommenen geteilten Wafern wird durch den Bediener wieder zu einer Maschine übertragen, die den nächsten Schritt durchführt. Um einen unbeabsichtigten Auswurf von Wafern aus einer solchen Kassette während ihrer Übertragung zu verhindern, sind unterschiedliche mit unterschiedlichen Sperrmechanismen versehene Kassetten bereitgestellt worden (siehe beispielsweise
JP 2013 -
157 381 A und
JP 2016 -
119 354 A ).
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Die in
JP 2013 -
157 381 A und
JP 2016 -
119 354 A offenbarten Sperrmechanismen weisen jedoch ein Problem dahingehend auf, dass Änderungen an einem Kassettenhauptkörper, einer Kassettenanbringvorrichtung oder dergleichen unternommen werden müssen, was zu höheren Kosten führt.
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Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist deswegen die Bereitstellung einer Anti-Auswurf-Vorrichtung für Wafereinheiten, die einen unbeabsichtigten Auswurf der Wafereinheiten aus einer Kassette mit reduzierten Abwandlungen oder Änderungen an einer Kassette oder einer Bearbeitungsmaschine, an der die Kassette anzubringen ist, verhindern kann.
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Anti-Auswurf-Vorrichtung für Wafereinheiten aus jeweils über Haftbänder miteinander integrierte ringförmige Rahmen und Wafer bereitgestellt. Die Anti-Auswurf-Vorrichtung ist zur Verwendung bei einer Anbringung an einer Kassette, die ein Paar Seitenplatten, deren innere Oberflächen mit mehreren Einbringplätzen versehen sind, wobei jeder Einbringplatz einer der Seitenplatten zu einem Entsprechenden der Einbringplätze der anderen Seitenplatte gerichtet ist, sodass die Wafereinheiten jeweils einzubringen sind, einen hinteren Stoppabschnitt, der ausgestaltet ist, um die Wafereinheiten an hinteren Rändern davon zu tragen, und eine zwischen den gepaarten Seitenplatten an einer dem hinteren Stoppabschnitt gegenüberliegenden Seite ausgebildete Öffnung aufweist, durch welche die Anti-Auswurf-Vorrichtung einen unbeabsichtigten Auswurf der Wafereinheiten aus der Kassette verhindert. Die Anti-Auswurf-Vorrichtung weist einen Sperrriegel und einen Führungsstift auf. Der Sperrriegel ist ausgestaltet, um abnehmbar an einer der Seitenplatten an einer Seite der Öffnung vorgesehen zu sein und weist alternierend mehrere Sperrabschnitte und mehrere Entsperrabschnitte in einer Oben-Unten-Richtung auf. Die Sperrabschnitte sind an Höhen angeordnet, die denjenigen der zugeordneten Einbringplätze entsprechen, und sind ausgestaltet, um ein Blockieren der zugeordneten Einbringplätze zu ermöglichen. Die Entsperrabschnitte sind ausgestaltet, um ein Entsperren der zugeordneten Einbringplätze zu ermöglichen. Der Führungsstift ist mit dem Sperrriegel verbunden und ist von einem unteren Abschnitt der einen Seitenplatte nach unten vorstehend so angeordnet, dass bei einem Hochdrücken an einem unteren Endabschnitt davon der Führungsstift den Sperrriegel nach oben spannt. Der Sperrriegel ist so ausgestaltet, dass der Sperrriegel, wenn der Führungsstift am unteren Endabschnitt davon hochgedrückt wird, nach oben gespannt wird, um die Entsperrabschnitte in eine Ausrichtung mit den zugeordneten Einbringplätzen zu bringen, wodurch die Entsperrabschnitte und die zugeordneten Einbringplätze miteinander in Verbindung gebracht werden und die Kassette in einen offenen Zustand versetzt wird, in dem die Wafereinheiten durch die Öffnung eingebracht und herausgenommen werden können. Der Sperrriegel ist auch so ausgestaltet, dass, wenn das Drücken des unteren Endabschnitts des Führungsstifts beendet wird, sich der Sperrriegel durch ein Eigengewicht davon nach unten bewegt, um zu bewirken, dass die Entsperrabschnitte von den zugeordneten Einbringplätzen in der Oben-Unten-Richtung unterschiedliche Höhen annehmen, wodurch die zugeordneten Einbringplätze durch die Sperrabschnitte blockiert werden und die Kassette in einen geschlossenen Zustand versetzt wird, in dem ein unbeabsichtigter Auswurf der in die Einbringplätze von beiden Seitenplatten eingebrachten Wafereinheiten verhindert werden kann.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein unbeabsichtigter Auswurf von Wafereinheiten aus einer Kassette mit reduzierten Abwandlungen oder Änderungen an der Kassette oder einer Bearbeitungsmaschine, an der die Kassette anzubringen ist, verhindert werden.
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Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, verstanden.
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KURZE FIGURENBESCHREIBUNG
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- 1 ist eine Perspektivansicht, die ein Ausgestaltungsbeispiel einer Anti-Auswurf-Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform für Wafereinheiten darstellt;
- 2 ist eine Perspektivansicht, welche die Anti-Auswurf-Vorrichtung von 1 zusammen mit einer Kassette, an der die Anti-Auswurf-Vorrichtung angebracht ist, darstellt;
- 3 ist eine Perspektivansicht der in 2 dargestellten Kassette;
- 4 ist eine Querschnittsansicht, die entlang von Linie IV-IV in 1 erfolgt;
- 5 ist eine Seitenansicht, die schematisch die Anti-Auswurf-Vorrichtung von 1 während einer Übertragung oder dergleichen der in 2 dargestellten Kassette darstellt;
- 6 ist eine Vorderansicht, die schematisch die Kassette und die in 5 dargestellte Anti-Auswurf-Vorrichtung darstellt;
- 7 ist eine Seitenansicht, die schematisch die Anti-Auswurf-Vorrichtung von 1 darstellt, wenn die in 2 dargestellte Kassette an einer Bearbeitungsmaschine angebracht ist;
- 8 ist eine Vorderansicht, die schematisch die Kassette und die in 7 dargestellte Anti-Auswurf-Vorrichtung darstellt;
- 9 ist eine Querschnittsansicht einer unteren Riegelanbringbefestigungseinrichtung einer Anti-Auswurf-Vorrichtung gemäß einer ersten Modifikation der Ausführungsform für Wafereinheiten; und
- 10 ist eine Querschnittsansicht eines Führungsstiftes einer Anti-Auswurf-Vorrichtung gemäß einer zweiten Modifikation der Ausführungsform für Wafereinheiten.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen wird hierin im Folgenden eine detaillierte Beschreibung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und ihrer Modifikationen erfolgen.
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Allerdings soll die vorliegende Erfindung nicht durch Details beschränkt sein, die in der folgenden Ausführungsform und den Modifikationen beschrieben werden. Die Elemente von Ausgestaltungen, die hierin im Folgenden beschrieben werden, weisen solche auf, die vom Fachmann im technischen Gebiet einfach ersonnen werden können und solche, die im Wesentlichen die Gleichen sind. Darüber hinaus können die Ausgestaltungen, die hierin im Folgenden beschrieben werden, geeignet kombiniert werden. Darüber hinaus können unterschiedliche Auslassungen, Ersetzungen und Modifikationen von Ausgestaltungen erfolgen, ohne vom Grundgedanken der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
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[Ausführungsform]
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Eine Anti-Auswurf-Vorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung für Wafereinheiten wird basierend auf den relevanten Figuren der Zeichnungen beschrieben werden. 1 ist eine Perspektivansicht, die ein Ausgestaltungsbeispiel einer Anti-Auswurf-Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform für Wafereinheiten darstellt. 2 ist eine Perspektivansicht, welche die Anti-Auswurf-Vorrichtung von 1 zusammen mit einer Kassette, an der die Anti-Auswurf-Vorrichtung angebracht ist, darstellt. 3 ist eine Perspektivansicht der in 2 dargestellten Kassette. 4 ist eine Querschnittsansicht, die entlang von Linie IV-IV in 1 erfolgt.
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Die Anti-Auswurf-Vorrichtung von 1 gemäß der Ausführungsform für die Wafereinheiten (hierin im Folgenden einfach als „die Anti-Auswurf-Vorrichtung“ bezeichnet) wird in einer Anbringung an der Kassette 50 wie in 2 dargestellt verwendet. Die Kassette 50 ist ein Behälter, der, wie in 2 dargestellt, mehrere Wafereinheiten 100 aus miteinander über Haftbänder 102 integrierte ringförmige Rahmen 103 und Wafer 101 jeweils enthalten kann, die in unterschiedlichen in einem Halbleiterherstellungsverfahren oder dergleichen eingesetzten Bearbeitungsmaschinen eingesetzt werden können. Beispiele der Bearbeitungsmaschinen beinhalten eine Schneidmaschine zum Schneiden der Wafer 101, eine Schleifmaschine zum Schleifen der Wafer 101, eine Poliermaschine zum Polieren der Wafer 101 und eine Laserbearbeitungsmaschine zum Bearbeiten der Wafer 101 mit einem Laserstrahl.
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Die Wafer 101 sind beispielsweise scheibenförmige Halbleiterwafer, Optikbauelementwafer oder dergleichen, die aus einem Basismaterial wie beispielsweise Silizium, Saphir oder Gallium ausgebildet sind. Wie in 2 dargestellt ist, weist jeder Wafer 101 in Bereichen einer vorderen Seite 110, die durch gittermusterartige Straßen 111 geteilt sind, ausgebildete Bauelemente 112 auf. Jeder Wafer 101 weist auch eine Kerbe 113 auf, die in einem äußeren Rand davon ausgebildet ist und eine Kristallausrichtung anzeigt. Das Haftband 102 ist mit einer hinteren Seite 114 jedes Wafers 101 verbunden, wobei die hintere Seite 114 an einer der vorderen Seite 110 gegenüber angeordneten Seite angeordnet ist, und das Haftband 102 ist auch am äußeren Randabschnitt davon mit dem ringförmigen Rahmen 103 verbunden, um den Wafer 101 in einer Öffnung des ringförmigen Rahmens 103 zu halten, wodurch jede Wafereinheit 100 ausgebildet wird.
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Die Kassette 50 wird an einer Bearbeitungsmaschine angebracht und enthält die Wafer 101 vor und nach ihrer Bearbeitung durch die Bearbeitungsmaschine. Die Kassette 50 wird auch verwendet, um die Wafer 101 zu enthalten und sie zwischen mehreren Bearbeitungsmaschinen zu übertragen.
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Wie in 2 und 3 dargestellt ist, weist die Kassette 50 ein Paar einander gegenüber angeordneter Seitenplatten 51, eine untere Platte 52, eine obere Platte 53 und eine hintere Platte 54 als einen hinteren Stoppabschnitt auf. Die gepaarten Seitenplatten 51, die untere Platte 52, die obere Platte 53 und die hintere Platte 54 sind in einer ebenen Form ausgebildet. Die gepaarten Seitenplatten 51 liegen einander gegenüber, wobei ein Abstand in einer horizontalen Richtung dazwischen aufrechterhalten ist, wenn die Kassette 50 an der Bearbeitungsmaschine angebracht ist.
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Die gepaarten Seitenplatten 51 weisen Unterteilungsrippen 513 an inneren Oberflächen 511 davon auf, an denen die Seitenplatten 51 zueinander gerichtet sind. Die Unterteilungsrippen 513 an der inneren Oberfläche 511 jeder Seitenplatte 51 sind in einer vertikalen Richtung in gleichen Abständen angeordnet, wenn die Kassette 50 an der Bearbeitungsmaschine angebracht ist. Die Unterteilungsrippen 513 an der inneren Oberfläche 511 einer der Seitenplatten 51 und die Unterteilungsrippen 513 an der inneren Oberfläche 511 der anderen Seitenplatte 51 liegen einander jeweils gegenüber und sind jeweils an den gleichen Höhen angeordnet. Durch jeweils benachbarte zwei Unterteilungsrippen 513 und ihre zugeordnete innere Oberfläche 511 ist ein Einbringplatz 512 (siehe 6 und 8) ausgebildet. Wenn die Kassette 50 an der Bearbeitungsmaschine angebracht ist, erstrecken sich mehrere Einbringplätze 512 (siehe 6 und 8) gerade an und entlang der inneren Oberfläche 511 jeder Seitenplatte 51 von der Öffnung 56 zur hinteren Platte 54 der Kassette 50 hin.
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Mit anderen Worten sind die an den inneren Oberflächen 511 der gepaarten Seitenplatten 51 angeordneten Einbringplätze 512, wenn die Kassette 50 an der Bearbeitungsmaschine angebracht ist, an unterschiedlichen Höhen angeordnet, sodass jeder Einbringplatz 512 an der inneren Oberfläche 511 der einen Seitenplatte 51 zum horizontal entsprechenden der Einbringplätze 512 an den inneren Oberflächen 511 der anderen Seitenplatte 51 gerichtet ist. Deswegen sind die Einbringplätze 512 einander an den unterschiedlichen Höhen zwischen den gepaarten Seitenplatten 51 horizontal zugewandt. Eine der in der Kassette 50 aufzunehmenden Wafereinheiten 100 wird am äußeren Randabschnitt davon in gewünschte zwei zugewandte Einbringplätze 512 eingebracht und wird durch die an unteren Seiten der zwei Einbringplätze 512 angeordneten Unterteilungsrippen 513 getragen. Mit anderen Worten werden die Einbringplätze 512 als Plätze zum Einbringen der Wafereinheiten 100 in die Kassette 50 verwendet.
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Die untere Platte 52 verbindet die gepaarten Seitenplatten 51 miteinander an unteren Rändern davon und die obere Platte 53 verbindet die gepaarten Seitenplatten 51 miteinander an oberen Rändern davon. Die obere Platte 53 ist mit einem Griff 55 versehen, der von Bedienern oder dergleichen von unterschiedlichen Bearbeitungsmaschinen gegriffen wird, um die Kassette 50 zu übertragen.
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Die hintere Platte 54 trägt die Wafereinheiten 100 an hinteren Rändern davon und verbindet die gepaarten Seitenplatten 51, die untere Platte 52 und die obere Platte 53 zusammen an hinteren Rändern davon, wie in 2 und 3 zu sehen ist, und schließt eine durch diese Hinterrand-Ränder definierte Öffnung. Die Rahmen 103 der Wafereinheiten 100, die an äußeren Randabschnitten davon in die Einbringplätze 512 eingebracht worden sind, stehen in Kontakt mit der hinteren Platte 54 und werden von der hinteren Platte 54 getragen. Die hintere Platte 54 hemmt deswegen die Wafereinheiten 100 daran, aus der Kassette 50 aus der in der Ansicht von 2 und 3 hinteren Seite herauszufallen.
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Die Kassette 50 weist auch die durch die Vorderseiten-Ränder der gepaarten Seitenplatten 51, die untere Platte 52 und die obere Platte 53 in der Ansicht von 2 und 3 ausgebildete Öffnung 56 auf. Die Öffnung 56 dient als ein Raum, der ein Inneres und ein Äußeres der Kassette 50 verbindet, und ermöglicht es, die Wafereinheiten 100 in die Einbringplätze 512 einzubringen und daraus herauszunehmen. Mit anderen Worten ermöglicht es die Öffnung 56, die Wafereinheiten 100 in der Kassette 50 zu platzieren und daraus zu entfernen.
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In dieser Ausführungsform weist die Kassette 50 Anbringvertiefungen 57 in mindestens einer der gepaarten Seitenplatten 51 auf, wobei die eine Seitenplatte 51 in einer Ansicht von 3 an einer linken Seite angeordnet ist. Die Vertiefungen 57, die hierin im Folgenden als „die obere Vertiefung 57“ und „die untere Vertiefung 57“ bezeichnet werden können, sind in einer oberen Oberfläche bzw. einer unteren Oberfläche eines Endabschnitts der einen Seitenplatte 51 an der Seite der Öffnung 56 ausgebildet und deswegen sind die Vertiefungen 57 in dieser Ausführungsform in einem Paar vorhanden. Die Vertiefungen 57 sind ausgebildet, indem sie sich von der oberen Oberfläche und der unteren Oberfläche nach unten bzw. nach oben erstrecken und weisen in einer Draufsicht eine kreisförmige Form auf. In dieser Ausführungsform sind die Vertiefungen 57 über ihre gesamte Länge mit einem konstanten Innendurchmesser ausgebildet. Es ist zu bemerken, dass in dieser Erfindung die Kassette 50 Anbringvertiefungen 57 nicht nur in einer der gepaarten Seitenplatten 51, sondern auch in der anderen Seitenplatte 51 aufweisen könnte.
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Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform ist an der Kassette 50 angebracht und verhindert einen unbeabsichtigten Auswurf der Wafereinheiten 100 aus der Kassette 50 durch die Öffnungen 56. Wie in 1 und 2 dargestellt ist, weist die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 einen Sperrriegel 2 und einen Führungsstift 3 auf.
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Der Sperrriegel 2 weist einen Riegelhauptkörper 20, der sich linear erstreckt, ein Paar Anbringteile 21, die sich kontinuierlich von in der Längsrichtung gegenüberliegenden Enden des Riegelhauptkörpers 20 erstrecken, und Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22 auf. Der Riegelhauptkörper 20 weist eine Gesamtlänge auf, die länger als eine Gesamtlänge der einen Seitenplatte 51 in der vertikalen Richtung ist, wenn die Kassette 50 an der Bearbeitungsmaschine angebracht ist.
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Die gepaarten Anbringteile 21 erstrecken sich beide jeweils von den in der Längsrichtung gegenüberliegenden Enden des Riegelhauptkörpers 20 in der gleichen Richtung. In dieser Ausführungsform schneidet die Richtung einer Länge jedes Anbringteils 21 die Richtung einer Länge des Riegelhauptkörpers 20 in rechten Winkeln.
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Die Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22 sind jeweils an den Anbringteilen 21 angeordnet. Insbesondere sind in dieser Ausführungsform die Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22 in einem Paar angeordnet und sichern den Sperrriegel 2 lösbar am Endabschnitt der einen Seitenplatte 51 an der Seite der Öffnung 56. Wie in 4 dargestellt ist, weist jede Riegelanbringbefestigungseinrichtung 22 ein sich durch den zugeordneten Anbringteil 21 erstreckendes Durchgangsloch 220, einen Bolzen 221 und eine Mutter 222 auf. Es ist zu beachten, dass, auch wenn 4 einen Querschnitt der in einer Ansicht von 1 unteren Riegelanbringbefestigungseinrichtung 22 darstellt, die in einer Ansicht von 1 obere Riegelanbringbefestigungseinrichtung 22 und ihre Elemente durch identische Bezugszeichen bezeichnet sind und ihre Beschreibung hierin weggelassen wird, da die gepaarten Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22 die gleiche Ausgestaltung aufweisen.
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In dieser Ausführungsform weist das Durchgangsloch 220 in einer Draufsicht eine kreisförmige Form auf und weist über die gesamte Länge davon einen konstanten Innendurchmesser auf. Der Bolzen 221 weist einen zylindrischen Gewindeabschnitt 223 mit einem an einer äußeren Umfangsoberfläche davon ausgebildeten Gewinde und einen hexagonalen Kopfabschnitt 224, der in einer Fortsetzung eines Endes des Gewindeabschnitts 223 ausgebildet ist und einen größeren Durchmesser als der Gewindeabschnitt 223 aufweist, auf. Der Gewindeabschnitt 223 weist einen Außendurchmesser auf, der im Wesentlichen einem Innendurchmesser des Durchgangslochs 220 entspricht. Die Mutter 222 greift schraubend in einen äußeren Umfang des Gewindeabschnitts 223 des Bolzens 221 ein.
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Wie in 1 und 4 dargestellt ist, werden die Gewindeabschnitte 223 der Bolzen 221 durch die Durchgangslöcher 220 eingebracht, sodass die Gewindeabschnitte 223 zueinander geführt werden, die Muttern 222 stehen in Gewindeeingriff mit den Gewindeabschnitten 223, um die Anbringteile 21 zwischen den Muttern 222 und den Gewindeabschnitten 223 zu halten, wodurch die Bolzen 221 an den Anbringteilen 21 befestigt werden. Ferner werden die Gewindeabschnitte 223 der jeweiligen Bolzen 221 an freien Endabschnitten davon in die entsprechenden Vertiefungen 57 eingebracht, wodurch die Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22 den Riegelhauptkörper 20, das heißt, den Sperrriegel 2, an der Kassette 50 anbringen.
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Durch ein Lösen der Muttern 222 mit dem an der Kassette 50 angebracht gehaltenen Riegelhauptkörper 20, mit anderen Worten, dem Sperrriegel 2, können die Bolzen 221 von den Vertiefungen 57 und Durchgangslöchern 220 entfernt werden. Durch ein Entfernen der Bolzen 221 von den Vertiefungen 57 und Durchgangslöchern 220 kann der Riegelhauptkörper 20, mit anderen Worten der Sperrriegel 2, vom Endabschnitt der einen Seitenplatte 51 abgenommen werden, wobei der Endabschnitt an der Seite der Öffnung 56 angeordnet ist. Ferner ist ein Abstand 23 (siehe 1) zwischen freien Enden der Bolzen 221 länger festgelegt als ein Abstand 58 (siehe 3) zwischen einer unteren Wand der oberen Vertiefung 57 in der einen Seitenplatte 51 und einer oberen Wand der unteren Vertiefung 57 in der einen Seitenplatte 51, sodass die gepaarten Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22 den Riegelhauptkörper 20, mit anderen Worten den Sperrriegel 2, bewegbar relativ zu der einen Seitenplatte 51 in der vertikalen Richtung tragen.
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Der Riegelhauptkörper 20 weist mehrere Sperrabschnitte 24 und ähnlich mehrere Entsperrabschnitte 25 auf, die in der Längsrichtung davon alternierend angeordnet sind. Die Sperrabschnitte 24 sind in der vertikalen Richtung in gleichen Abständen angeordnet und erstrecken sich vom Riegelhauptkörper 20 zur anderen Seitenplatte 51 hin. In dieser Ausführungsform weisen die Sperrabschnitte 24 eine Dicke auf, die im Wesentlichen derjenigen der Unterteilungsrippen 513 entspricht, und sind so häufig angeordnet wie die Unterteilungsrippen 513. Da die Dicke jedes Sperrabschnitts 24 im Wesentlichen der Dicke jeder Unterteilungsrippe 513 entspricht, entspricht die Dicke jedes Sperrabschnitts 24 der Höhe jedes Einbringplatzes 512. Wenn die Sperrabschnitte 24 an Stellen angeordnet sind, die horizontal jeweils mit den Einbringplätzen 512 ausgerichtet sind, blockieren die Sperrabschnitte 24 die Einbringplätze 512, wodurch die äußeren Randabschnitte der Rahmen 113 der Wafereinheiten 100 daran gehemmt werden, sich in den Einbringplätzen 512 zu bewegen. Wie oben beschrieben, weisen die Sperrabschnitte 24 die der Höhe der Einbringplätze 512 entsprechende Dicke auf und können deswegen die Einbringplätze 512 blockieren.
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Jeder Entsperrabschnitt 25 ist ein Raum zwischen jeweils zwei benachbarten Sperrabschnitten 24. Wenn die Entsperrabschnitte 25 an Stellen platziert sind, die jeweils mit den Einbringstellen 512 horizontal ausgerichtet sind, stehen die Entsperrabschnitte 25 mit den Einbringplätzen 512 in Verbindung, wodurch ermöglicht wird, dass sich die äußeren Randabschnitte der Rahmen 103 der Wafereinheiten 100 in den Einbringplätzen 512 bewegen. Wie oben beschrieben, sind die Entsperrabschnitte 25 ausgestaltet, um mit den Einbringplätzen 512 in Kommunikation bringbar zu sein.
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Der Führungsstift 3 ist am unteren Anbringteil 21 des Riegelhauptkörpers 20 des Sperrriegels 2 angebracht und ist befestigt am unteren Anbringteil 21 gesichert. Der Führungsstift 3 steht von einer unteren Oberfläche des unteren Anbringteils 21 vor und steht normalerweise, wenn der Sperrriegel 2 an der Kassette 50 angebracht ist, vom unteren Abschnitt der einen Seitenplatte 51 nach unten vor. Wenn die Kassette 50 an der Bearbeitungsmaschine angebracht ist, wird der Führungsstift 3 somit an einem unteren Endabschnitt 30 davon von der Bearbeitungsmaschine nach oben gedrückt. Wenn der Führungsstift 3 am unteren Endabschnitt 30 nach oben gedrückt wird, bewegt (spannt) er den Sperrriegel 2 nach oben.
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Als nächstes wird eine Beschreibung von Betätigungen der Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform erfolgen, wenn die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 an der Kassette 50 mit den darin enthaltenen Wafern 101 angebracht ist. 5 ist eine Seitenansicht, die schematisch die Anti-Auswurf-Vorrichtung von 1 während einer Übertragung oder dergleichen der in 2 dargestellten Kassette darstellt. 6 ist eine Vorderansicht, die schematisch die Kassette und die in 5 dargestellte Anti-Auswurf-Vorrichtung darstellt. 7 ist eine Seitenansicht, die schematisch die Anti-Auswurf-Vorrichtung von 1 darstellt, wenn die in 2 dargestellte Kassette an einer Bearbeitungsmaschine angebracht ist. 8 ist eine Vorderansicht, die schematisch die Kassette und die in 7 dargestellte Anti-Auswurf-Vorrichtung darstellt.
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Wenn die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform an der Kassette 50 angebracht ist und die Kassette 50 beispielsweise zwischen Bearbeitungsmaschinen übertragen wird, wird der Griff 55 der Kassette 50 vom Bediener gegriffen. Deswegen wird der untere Endabschnitt 30 des Führungsstifts 3 nicht nach oben gedrückt oder ein Hochdrücken des oberen Endabschnitts 30 wird beendet. Wie in 5 und 6 dargestellt ist, bewegt sich deswegen die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 durch ihr eigenes Gewicht relativ zur Kassette 50 nach unten.
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Dann kommt der obere Anbringteil 21 in Kontakt mit der oberen Oberfläche der einen Seitenplatte 51 und der untere Endabschnitt 30 des Führungsstifts 3 steht nach unten hinter die untere Oberfläche der einen Seitenplatte 51 vor. Wie in 6 dargestellt ist, sind die Sperrabschnitte 24 jeweils horizontal mit den Einbringplätzen 512 ausgerichtet und die Entsperrabschnitte 25 nehmen in der Oben-Unten-Richtung, mit anderen Worten in der vertikalen Richtung, von den Einbringplätzen 512 unterschiedliche Höhen an. Folglich blockieren die Sperrabschnitte 24 die Einbringplätze 512, um Bewegungen der Rahmen 103 in den Einbringplätzen 512 zu hemmen. Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 hemmt deswegen die Wafer 101 daran, in der Kassette 50 platziert zu werden oder daraus entfernt zu werden. Die Kassette 50 wird somit in einen geschlossenen Zustand versetzt, in dem die Wafereinheiten 100, die an den äußeren Randabschnitten der Rahmen 103 davon in die Einbringplätze 512 eingebracht sind, nicht aus der Kassette 50 auswerfbar sind, wodurch ermöglicht wird, einen unbeabsichtigten Auswurf der Wafer 101 aus der Kassette 50 zu verhindern.
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Wenn die Kassette 50 an einem Kassettenanbringtisch 300 der Bearbeitungsmaschine angebracht wird, wird der untere Endabschnitt 30 des Führungsstifts 3 der Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform nach oben gedrückt, sodass, wie in 7 und 8 dargestellt ist, der Sperrriegel 2 nach oben bewegt (gespannt) wird und der obere Anbringteil 21 von der oberen Oberfläche der einen Seitenplatte 51 entfernt wird. Wie in 8 dargestellt ist, werden die Sperrabschnitte 24 somit horizontal mit den Unterteilungsrippen 513 ausgerichtet und die Entsperrabschnitte 25 werden horizontal in eine Ausrichtung mit den Einbringplätzen 512 gebracht.
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Folglich werden die Entsperrabschnitte 25 und die Einbringplätze 512 miteinander in Verbindung gebracht, um es den Rahmen 103 zu erlauben, sich in den Einbringplätzen 512 zu bewegen. Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 erlaubt somit ein Platzieren der Wafereinheiten 100 in der Kassette 50 oder ein Entfernen daraus. Folglich wird die Kassette 50 in einen offenen Zustand versetzt, in dem die Wafereinheiten 100 durch die Öffnung 56 in die Einbringplätze 512 eingebracht und daraus herausgenommen werden können. Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 ermöglicht somit ein Platzieren der Wafer 101 in der Kassette 50 und ein Entfernen daraus.
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Wie oben beschrieben ist, weist die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform die gepaarten Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22 auf, die es dem Riegelhauptkörper 20 des Sperrriegels 2 erlauben, sich relativ zur Kassette 50 zu bewegen, und kann deswegen an einer existierenden Kassette 50 mit in einer der Seitenplatten 51 ausgebildeten Vertiefungen 57 angebracht werden. Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 kann auch an einer weiteren existierenden Kassette 50, bei der nicht in beiden Seitenplatten 51 Vertiefungen 57 ausgebildet sind, angebracht werden, wenn die Vertiefungen 57 in einer der Seitenplatten 51 ausgebildet sind.
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Demgemäß ermöglicht es das einfache Nachrüsten der Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 an der existierenden Kassette 50, einen unbeabsichtigten Auswurf der in der Kassette 50 enthaltenen Wafer 101 zu hemmen. Folglich können Änderungen an der Kassette 50 und/oder Änderungen an Maschinen reduziert werden, wodurch zu Kostenersparnissen beigetragen wird.
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[Erste Modifikation]
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Eine Anti-Auswurf-Vorrichtung gemäß einer ersten Modifikation der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung für Wafereinheiten wird basierend auf der relevanten Figur der Zeichnungen beschrieben werden. 9 ist eine Querschnittsansicht einer unteren Riegelanbringbefestigungseinrichtung der Anti-Auswurf-Vorrichtung gemäß der ersten Modifikation der Ausführungsform für Wafereinheiten. In 9 werden gleiche Elemente wie in der Ausführungsform durch gleiche Bezugszeichen bezeichnet und ihre Beschreibung wird hierin weggelassen.
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Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-1 gemäß der ersten Modifikation für die Wafereinheiten (hierin im Folgenden einfach als „die Waferauswurfvorrichtung“ bezeichnet) weist die gleiche Ausgestaltung wie die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 gemäß der Ausführungsform auf, außer, dass ein Unterschied hinsichtlich der Ausgestaltung der Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22 dahingehend vorliegt, dass die Vertiefungen 57 nicht vorhanden sind. Wie in 9 dargestellt ist, ist eine untere Riegelanbringbefestigungseinrichtung 22-1 der Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-1 befestigt zwischen der unteren Oberfläche des Endabschnitts der einen Seitenplatte 51, wobei der Endabschnitt an der Seite der Öffnung 56 angeordnet ist, und dem unteren Anbringteil 21 gesichert und ist aus einem elastischen Element 26 ausgebildet, dass elastisch verformbar ist. Durch elastische Verformungen des elastischen Elements 26 trägt die Riegelanbringbefestigungseinrichtung 22-1 den Riegelhauptkörper 20, insbesondere den Sperrriegel 2, bewegbar in der vertikalen Richtung relativ zu der einen Seitenplatte 51. 9 stellt eine Spiralfeder als ein Beispiel des elastischen Elements 26 dar. In der vorliegenden Erfindung ist allerdings das elastische Element 26 nicht auf eine solche Spiralfeder beschränkt, sondern könnte beispielsweise ein Schwammgummi oder dergleichen sein.
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In der Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-1 weist der obere Riegelanbringteil 21 auch ein ähnliches elastisches Element 26 als eine obere Riegelanbringbefestigungseinrichtung auf. Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-1 weist deswegen die Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22-1 in einem Paar auf, die es dem Riegelhauptkörper 20 des Sperrriegels 2 ermöglichen, sich relativ zur Kassette 50 zu bewegen. Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-1 kann somit an der existierenden Kassette 50 angebracht werden, indem die elastischen Elemente 26, welche die Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22-1 ausgestalten, befestigt an der unteren Oberfläche und der oberen Oberfläche des einen Endabschnitts der einen Seitenplatte 51 gesichert werden, wobei der Endabschnitt an der Seite der Öffnung 56 angeordnet ist. Demgemäß ermöglicht es das einfache Nachrüsten der Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-1 an die existierende Kassette 50, einen unbeabsichtigten Auswurf der in der Kassette 50 enthaltenen Wafer 101 zu verhindern, wodurch ein vorteilhafter Effekt dahingehend herbeigeführt wird, dass Änderungen und/oder Abwandlungen an der Kassette 50 und der Bearbeitungsmaschinen, an denen die Kassette 50 anzubringen ist, reduziert werden können.
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[Zweite Modifikation]
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Eine Anti-Auswurf-Vorrichtung gemäß einer zweiten Modifikation der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung für Wafereinheiten wird basierend auf der relevanten Figur der Zeichnungen beschrieben werden. 10 ist eine Querschnittsansicht eines Führungsstiftes der Anti-Auswurf-Vorrichtung gemäß einer zweiten Modifikation der Ausführungsform für die Wafereinheiten. In 10 sind die gleichen Elemente wie in der Ausführungsform durch gleiche Bezugszeichen bezeichnet und ihre Beschreibung wird hierin weggelassen.
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Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-2 gemäß der zweiten Modifikation für die Wafereinheiten (hierin im Folgenden einfach als „die Waferauswurfvorrichtung“ bezeichnet) weist die gleiche Ausgestaltung wie die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1 gemäß der Ausführungsform auf, außer, dass ein Unterschiedes hinsichtlich der Ausgestaltung zur Anbringung eines Führungsstifts 3-2 am unteren Anbringteil 21 vorliegt. Wie in 10 dargestellt ist, weist der Führungsstift 3-2 der Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-2 einen zylindrischen Gewindeabschnitt 31 mit einem an einer äußeren Umfangsoberfläche davon ausgebildeten Gewinde und einen hexagonalen Kopfabschnitt 32 auf, der in einer Fortsetzung mit einem Ende des Gewindeabschnitts 31 ausgebildet ist und einen größeren Durchmesser als der Gewindeabschnitt 31 aufweist.
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Der Gewindeabschnitt 31 ist durch ein im unteren Anbringteil 21 ausgebildetes Durchgangsloch 33 so eingebracht, dass der Gewindeabschnitt 31 nach oben gerichtet ist, und der untere Anbringteil 21 ist zwischen einem Paar Muttern 34 in Schraubeingriff mit dem Gewindeabschnitt 31 gehalten, wodurch der Führungsstift 3-2 am unteren Anbringteil 21 angebracht ist. Im Führungsstift 3-2 entspricht der Kopfabschnitt 32 dem unteren Endabschnitt 30 und der Betrag eines Vorsprungs des Kopfabschnitts 32 vom unteren Anbringteil 21 kann durch ein Einstellen der Positionen der gepaarten Muttern 34 relativ zum Gewindeabschnitt 31 geändert werden.
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Die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-2 weist die gepaarten Riegelanbringbefestigungseinrichtungen 22 auf, die es dem Riegelhauptkörper 20 des Sperrriegels 2 erlauben, sich relativ zur Kassette 50 zu bewegen. Ähnlich zur Ausführungsform ermöglicht deswegen das einfache Nachrüsten der Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-2 an die existierende Kassette 50 es, einen unbeabsichtigten Auswurf der in der Kassette 50 enthaltenen Wafer 101 zu verhindern, wodurch ein solcher Effekt herbeigeführt wird, dass Änderungen und/oder Abwandlungen der Kassette 50 und von Bearbeitungsmaschinen, an denen die Kassette 50 anzubringen ist, reduziert werden können.
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Zusätzlich kann die Anti-Auswurf-Vorrichtung 1-2 den Betrag eines Vorsprungs des Kopfabschnitts 32 als ein unterer Endabschnitt des Führungsstifts 3-2 vom unteren Anbringteil 21 ändern und kann deswegen an unterschiedlichen existierenden Kassetten angebracht werden.
