DE1020189B - Integrationsvorrichtung an Mikroskopen zum Bestimmen des Verhaeltnisses von Gefuegebestandteilen - Google Patents

Integrationsvorrichtung an Mikroskopen zum Bestimmen des Verhaeltnisses von Gefuegebestandteilen

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Publication number
DE1020189B
DE1020189B DEZ4706A DEZ0004706A DE1020189B DE 1020189 B DE1020189 B DE 1020189B DE Z4706 A DEZ4706 A DE Z4706A DE Z0004706 A DEZ0004706 A DE Z0004706A DE 1020189 B DE1020189 B DE 1020189B
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DE
Germany
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integration device
measuring
hydrostatic pressure
microscopes
structural components
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Pending
Application number
DEZ4706A
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English (en)
Inventor
Dr Kurt Michel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/26Stages; Adjusting means therefor

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

  • Integrationsvorrichtung an Mikroskopen zum Bestimmen des Verhältnisses von Gefügebestandteilen Die Erfindung betrifft eine Integrationsvorrichtung an Mikroskopen zum Bestimmen des Verhältnisses von Gefügebestandteilen eines Objekts durch Verschieben des Objekts um meßbare Strecken. Von derartigen Integrationsvorrichtungen wird verlangt, daß das Objekt ohne toten Gang um kleine Beträge verschoben werden kann und daß ferner Meßmittel vorgesehen sind, mit denen die Verschiebungsgrößen des Objekts für verschiedene Gefügebestandteile registrierbar sind. Die letzte Bedingung erfordert Maßnahmen, um die Verschiebung- des Objekts mit dem einen oder dem anderen Meßmittel wahlweise zu kuppeln. Diese Kupplungen müssen aus den obengenannten Gründen spielfrei sein, und sie bilden das Hauptproblem beim Bau einer Integrationsvorrichtung.
  • Es sind nun bereits die verschiedensten Integrationsvorrichtungen der vorstehend bezeichneten Art bekanntgeworden. Am häufigsten werden mechanische Kupplungen zwischen den als Meßspindeln oder Meßtrommeln ausgebildeten Meßmitteln und dem Objekt vorgesehen.
  • Diese Kupplungen haben den Nachteil, daß sie bei Übergang von einem Meßmittel zum anderen nicht völlig spielfrei arbeiten und daß zu einer einigermaßen sicheren Funktion bereits ein erheblicher konstruktiver Aufwand erforderlich ist, wodurch diese Vorrichtungen verhältnismäßig teuer werden.
  • Man hat bereits versucht, diese Nachteile dadurch zu vermeiden, daß man den Vorschub des Objekts durch ein einziges Antriebsorgan bewirkt und die Anteile der verschiedenen Gefügebestandteile durch entsprechendes Zu- und Abschalten der vorzugsweise als Zählwerke od. dgl. ausgebildeten Meßmittel bestimmt, wobei die Übertragung der Bewegung des Objekts auf die Registriereinrichtungen durch elektrische oder lichtelektrische Mittel erfolgt. Im ersten Fall sind auf einer Antriebsspindel für das Objekt in bestimmten Abständen Kontakte vorgesehen, die beim Drehen der Spindel an einem Gegenkontakt vorbeistreichen, dabei einen Relaisstromkreis schließen und auf diese Art jeweils einen Impuls auf ein als elektrisches Zählwerk ausgebildetes Meßmittel übertragen. Im letzteren Fall wird der Impuls lichtelektrisch übertragen, indem auf der Antriebsspindel für das Objekt eine Anzahl von Spiegeln angebracht sind, die in einer bestimmten Stellung der Antriebsspindel einen Lichtstrahl auf eine Photozelle leiten, welche den Impuls auslöst. Der Übergang von einem Meßmittel zu einem anderen kann dabei durch Schließen des zum Meßmittel gehörenden Stromkreises geschehen. Wenn auch durch diese Anordnung die eingangs erwähnten Schwierigkeiten vermieden werden, so haben die elektrischen und lichtelektrischen Bewegungsübertragungen wiederum den Nachteil, daß mit ihnen nicht kontinuierlich gemessen werden kann, sondern nur in kleinen, durch den Abstand der impulsauslösenden Elemente bedingten Schritten, und daß der konstruktive Aufwand ebenfalls recht groß ist.
  • Zur Beseitigung auch dieser Nachteile ist eine andere Gruppe von Integrationseinrichtungen bekanntgeworden, bei der für jeden Gefügebestandteil eine gesonderte messende Vorschubeinrichtung vorgesehen und mit den anderen Vorschubeinrichtungen durch eine Summiereinrichtung verbunden ist, welche die Summe der Vorschubbewegungen bildet und auf das Objekt überträgt.
  • So fällt z. B. eine bekannte Einrichtung in diese Gruppe, bei der Meßspindeln auf Keile wirken, die ihrerseits Nachbarkeile und schließlich das Objekt verschieben. Für jeden Gefügebestandteil ist eine Meßspindel vorgesehen, welche ihre Bewegung auf einen Keil überträgt. Die Kette der Keile bildet die Summierungseinrichtung für sämtliche Meßspindeln. Bei einer solchen Anordnung ist es unvermeidlich, daß Reibungswiderstände zwischen den verschiedenen Keilen und zwischen den Keilen und den Meßspindeln auftreten, weil sich die Keile an den nicht betätigten Meßspindeln entlang schieben müssen. Diese Ausbildung gewährleistet deshalb auch noch kein sicheres Funktionieren, zumindest nicht bei längerem Gebrauch, da dann durch Abnutzung zwangläufig toter Gang auftritt. Dieser tote Gang soll aber gerade vermieden werden. Darüber hinaus treten bei dieser bekannten Einrichtung durch die Vielzahl der aufeinander abzustimmenden Teile leicht Justierungsschwierigkeiten auf.
  • Die Erfindung geht von einer Integrationseinrichtung der zweiten der genannten Gruppen aus und beseitigt die noch bestehenden Nachteile der bekannten Einrichtung aus dieser Gruppe dadurch, daß die Bildung der Summe der Vorschubbewegungen und die Bewegungsübertragung zwischen den Meßmitteln und dem Objekt hydraulisch erfolgt. In einer besonders zweckmäßigen Anordnung kann die Integrationsvorrichtung dann so ausgebildet sein, daß ein die Verschiebung des Objekts bewirkender Kolben vorgesehen ist, auf den ein hydrostatischer Druck wirkt, und zur Erzeugung des hydrostatischen Druckes können in eine eingeschlossene Flüssigkeit Kolben eintauchbar sein. Durch eine solche Bauart werden toter Gang und Justierungsschwierigkeiten mit Sicherheit vermieden, und ein dauerndes präzises Folgen des Objekts ist gewährleistet.
  • Die einzelnen Kolben können mit je einer Meßspindel als Meßmittel verbunden sein, welche ihre Eintauchtiefe in die Flüssigkeit registriert. Jede Meßspindel und damit jeder Kolben wird einem Gefügebestandteil zugeordnet.
  • Da das Eintauchen eines jeden Kolbens eine Verschiebung des Objekts zur Folge hat, wirkt die Flüssigkeit zugleich als Summierungseinrichtung.
  • Um ein Folgen des Objekts auch beim Herausziehen eines der Kolben aus der Flüssigkeit einwandfrei zu gewährleisten, steht der die Verschiebung des Objekts bewirkende Kolben zweckmäßig unter der Gegenwirkung einer Feder.
  • Zwischen der Bewegungsgröße des Objekts und den Bewegungsgrößen der einzelnen Meßspindeln können wenigstens teilweise verschiedene Untersetzungen vorgesehen sein, so daß es möglich ist, für die Ausmessung größerer Gefügebestandteile eine Meßspindel geringerer Untersetzung zu verwenden.
  • Aus konstruktiven Gründen sind die Mittel zur Erzeugung des hydrostatischen Druckes zweckmäßig von den Mitteln zum Ausüben des hydrostatischen Druckes getrennt angeordnet und durch ein biegsames Zwischenglied mit ihnen verbunden.
  • Weitere Einzelheiten der Erfindung sind aus der Beschreibung der Zeichnung ersichtlich.
  • In der Zeichnung ist mit A ein Objektführer und mit B eine Meßvorrichtung bezeichnet. Der Objektführer A läßt zunächst eine Verschiebung eines Objekts 1 durch zwei auf senkrecht zueinander liegende Schlitten 2 und 3 wirkende Zahntriebe 4 und 5 zum Absuchen des Objekts zu. Durch den Zahntrieb 4 kann außerdem die Einstellung des Abstandes der einzelnen Meßstrecken im Objekt vorgenommen werden. Um dabei immer gleiche Abstände ohne Mühe einhalten zu können, kann der Knopf mit einem Rastring versehen sein. Dieser kann so ausgebildet sein, daß er abgenommen und auch leicht wieder aufgesetzt werden kann. Zur Erzielung der Meßbewegung sind die Schlitten 2 und 3 in einer Schlittenführung 6 angeordnet. Der bewegliche Teil7 der Schlittenführung 6 trägt einen Fortsatz 8, der durch eine kräftige, in einer Federbüchse 10 gelagerte Feder 9 gegen einen Bolzen 11 gedrückt wird. Der Bolzen 11 ist hohl und dicht in einen Führungszylinder 12 gepaßt. Der Hohlraum ist mit einer Übertragungsflüssigkeit 13 mit zweckmäßig gewählter Zähigkeit gefüllt und durch einen Schlauch 14 mit der Meßvorrichtung B verbunden.
  • Die Meßvorrichtung B wird durch ein rechteckiges hohles Kästchen 15 gebildet. Es ist ebenfalls mit der Übertragungsflüssigkeit 13 luftblasenfrei gefüllt. In seiner einen Wand ist eine Anzahl von Meßspindeln 16 druckdicht eingesetzt. Die Meßspindeln besitzen innen je einen Druckstift 17, welcher durch eine Dichtung 18 hindurch in die Übertragungsflüssigkeit 13 hineinragt. Außen sind die Spindeln 16 mit einer Meßteilung wie bei den bekannten Schraubenlehren versehen. Die Meßteilungen sind so abgestimmt, daß man die durch Hinein- oder Herausschrauben der Spindeln über die Flüssigkeit 13, den Bolzen 11 und den Fortsatz 8 auf das Objekt übertragene Meßbewegung in geeigneten Einheiten, z. B. p oder mm, ablesen kann.
  • Da die Größe des sich ergebenden Meßwegs des Objekts vom Durchmesser des Druckstifts 17, von dem Weg der Meßspindel beim Hinein- und Herausschrauben und von dem Durchmesser des Zylinders 12 abhängig ist, kann man durch passende Wahl des Druckstiftdurchmessers leicht jedes beliebige Verhältnis zwischen Weggröße des Objekts und dem Meßspindelvorschub erzeugen. Es bedarf keines besonderen Aufwandes, beliebig viele verschiedene solche Übersetzungsverhältnisse einzubauen, so daß man es in der Hand hat, für grobe Bestandteile einen großen Meßweg pro Spindelumdrehung zu erzeugen und für feine Bestandteile einen kleinen, wenn man nur die entsprechende Spindel dem betreffenden Gefügebestandteil zuordnet.

Claims (6)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Integrationseinrichtung an Mikroskopen zum Bestimmen des Verhältnisses von Gefügebestandteilen eines Objekts durch Verschieben des Objekts um meßbare Strecken, bei der für jeden Gefügebestandteil eine gesonderte messende Vorschubeinrichtung vorgesehen und mit den anderen Vorschubeinrichtungen durch eine Summiereinrichtung verbunden ist, welche die Summe der Vorschubbewegungen bildet und auf das Objekt überträgt, dadurch gekennzeichnet, daß die Summenbildung und Bewegungsübertragung hydraulisch erfolgt.
  2. 2. Integrationsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein die Verschiebung des Objekts bewirkender Kolben (11) vorgesehen ist, auf den ein hydrostatischer Druck wirkt, und daß zur Erzeugung des hydrostatischen Drucks in eine eingeschlossene Flüssigkeit (13) eintauchbare Kolben (17) vorgesehen sind.
  3. 3. Integrationsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der die Verschiebung des Objekts (1) bewirkende Kolben (11) unter der Gegenwirkung einer Feder (9) steht.
  4. 4. Integrationsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolben (17) zum Erzeugen des hydrostatischen Drucks durch Meßspindeln (16) in die Flüssigkeit (13) eintauchbar sind.
  5. 5. Integrationsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Bewegungsgrößen der einzelnen Meßspindeln (16) und dem Objekt (1) wenigstens teilweise verschiedene Untersetzungen vorgesehen sind.
  6. 6. Integrationsvorrichtung nach Anspruch2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Erzeugung des hydrostatischen Drucks und die Mittel zum Ausüben des hydrostatischen Drucks voneinander getrennt angeordnet sind und durch ein biegsames Zwischenglied (14) miteinander verbunden sind.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 483847.
DEZ4706A 1955-02-05 1955-02-05 Integrationsvorrichtung an Mikroskopen zum Bestimmen des Verhaeltnisses von Gefuegebestandteilen Pending DE1020189B (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4700584A (en) * 1986-02-15 1987-10-20 Narishige Corporation, Ltd. Manipulator usable for a glass electrode or the like
US4749270A (en) * 1985-02-25 1988-06-07 Olympus Optical Co., Ltd. Micromanipulator for inverted-design microscope

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE483847C (de) * 1928-04-03 1929-10-09 Ernst Leitz Einrichtung zum Bestimmen des Mengenverhaeltnisses von Gemengeteilen

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