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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbeitungsvorrichtung zum Durchführen einer vorgegebenen Bearbeitung an einem Werkstück.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Mehrere Bauelemente, wie zum Beispiel ICs und LSIs, werden an der Vorderseite eines Wafers so ausgebildet, dass sie durch mehrere Trennlinien getrennt sind. Der Wafer, der in dieser Weise die Bauelemente aufweist, wird zum Beispiel durch Verwendung einer Zerteilvorrichtung entlang der Trennlinien in einzelne Bauelementchips geteilt. Die Bauelementchips werden in verschiedenen elektrischen Geräten, wie zum Beispiel Mobiltelefonen und PCs, verwendet. Die Zerteilvorrichtung beinhaltet einen Einspanntisch zum Halten des Wafers, ein Schneidmittel mit einer drehbaren Schneidklinge zum Schneiden des an dem Einspanntisch gehaltenen Wafers, ein Zuführmittel zum relativen Zuführen des Einspanntischs und des Schneidmittels und ein Abbildemittel zum Erfassen eines zu bearbeitenden Arbeitsbereichs des Wafers. Bei der Zerteilvorrichtung kann der Wafer durch die Schneidklinge entlang jeder Trennlinie geschnitten werden, wodurch der Wafer mit hoher Genauigkeit in die einzelnen Bauelementchips geteilt wird.
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Ferner besteht beim Teilen des Wafers durch Verwendung der Zerteilvorrichtung die Möglichkeit, dass ein Abplatzen oder Abstumpfen der Schneidklinge auftreten kann, wodurch eine Verschlechterung des Schneidzustands bewirkt wird. Um dieses Problem zu lösen, wird der Wafer während des Schneidvorgangs oder nach dem Schneidvorgang unmittelbar unterhalb des Abbildemittels angeordnet, um eine an dem Wafer ausgebildete geschnittene Nut abzubilden und den Zustand der geschnittenen Nut zu überprüfen (siehe zum Beispiel das offengelegte
japanische Patent Nr. 2001-298000 ).
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Jedoch besteht, obwohl die geschnittene Nut durch Verwendung des Abbildemittels abgebildet wird, ein Problem dahingehend, dass der Kontrast zwischen der geschnittenen Nut und deren Umgebung gering sein kann, so dass der Zustand der geschnittenen Nut nicht überprüft werden kann. Ein solches Problem kann auch auftreten, falls eine durch Ablation ausgebildete Nut als ein Teilungsausgangspunkt durch Verwendung einer Laserbearbeitungsvorrichtung entlang jeder Trennlinie an dem Wafer ausgebildet wird und diese durch Ablation ausgebildete Nut anschließend überprüft wird.
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Es ist deshalb ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, die eine zuverlässige Überprüfung des Zustands einer an dem Wafer als Ergebnis einer Bearbeitung ausgebildeten Nut ermöglichen kann.
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, die beinhaltet: einen Einspanntisch zum Halten eines Werkstücks; ein Bearbeitungsmittel zum Bearbeiten des an dem Einspanntisch gehaltenen Werkstücks; ein Zuführmittel zum relativen Zuführen des Einspanntischs und des Bearbeitungsmittels; und ein Abbildemittel zum Abbilden eines Ergebnisses einer Bearbeitung des Werkstücks durch das Bearbeitungsmittel; wobei das Abbildemittel einen Beleuchtungsabschnitt zum Beleuchten eines Arbeitsbereichs des Werkstücks nach der Bearbeitung und einen Abbildeabschnitt zum Abbilden des Arbeitsbereichs nach der Bearbeitung beinhaltet; und der Beleuchtungsabschnitt eine Beleuchtungsrichtungsauswählfunktion zum Auswählen einer Beleuchtungsrichtung beim Beleuchten des Arbeitsbereichs aus einer von Ost-, West-, Nord- und Süd-Positionen mit Bezug auf den Arbeitsbereich aufweist.
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Vorzugsweise beinhaltet das Bearbeitungsmittel ein Schneidmittel mit einer drehbaren Schneidklinge zum Schneiden des Werkstücks. Vorzugsweise wird, wenn die Erstreckungsrichtung einer an dem Werkstück durch das Schneidmittel ausgebildeten geschnittenen Nut mit der Ost-West-Richtung übereinstimmt, die Beleuchtungsrichtungsauswählfunktion betätigt, um die geschnittene Nut entweder von der Ost- oder der West-Position oder sowohl von der Ost- als auch der West-Position zu beleuchten.
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Wie oben beschrieben wurde, beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung das Abbildemittel mit dem Beleuchtungsabschnitt zum Beleuchten des Arbeitsbereichs des Werkstücks und dem Abbildeabschnitt zum Abbilden des Arbeitsbereichs des Werkstücks. Der Beleuchtungsabschnitt beinhaltet die Beleuchtungsrichtungsauswählfunktion zum Auswählen einer Beleuchtungsrichtung beim Beleuchten des Arbeitsbereichs aus einer der Ost-, West-, Nord- und Süd-Positionen mit Bezug auf den Arbeitsbereich. Dementsprechend kann die Beleuchtungsrichtung so ausgewählt werden, dass der Kontrast zwischen der geschnittenen Nut und deren Umgebung verbessert wird, und die geschnittene Nut durch den Abbildeabschnitt abgebildet werden, während die geschnittene Nut in dieser oben ausgewählten Beleuchtungsrichtung beleuchtet wird. Dementsprechend kann der Zustand der geschnittenen Nut zuverlässig überprüft werden.
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Falls die Bearbeitungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung das Schneidmittel beinhaltet und die Erstreckungsrichtung der an dem Werkstück durch das Schneidmittel ausgebildeten geschnittenen Nut mit der Ost-West-Richtung übereinstimmt, wird die Beleuchtungsrichtungsauswählfunktion betätigt, um die geschnittene Nut entweder von der Ost- oder der West-Position oder sowohl von der Ost- als auch der West-Position zu beleuchten, so dass die geschnittene Nut entlang deren Längsrichtung beleuchtet wird. Dementsprechend kann die geschnittene Nut in klarer Weise durch den Abbildeabschnitt abgebildet werden.
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Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art und Weise, diese zu verwirklichen, werden offenkundiger werden und die Erfindung selbst wird am besten verstanden werden, indem die folgende Beschreibung und die angefügten Ansprüche mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, studiert werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine perspektivische Ansicht einer Bearbeitungsvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
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2 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Aufbau eines Abbildemittels zeigt;
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3 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein Werkstück durch ein Schneidmittel geschnitten wird;
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4 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem eine an dem Werkstück durch das Schneidmittel ausgebildete geschnittene Nut durch das Abbildemittel abgebildet wird; und
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5 ist eine Seitenansicht, die einen Bildschirm eines Monitors zeigt, der den Zustand der durch das Abbildemittel abgebildeten geschnittenen Nut anzeigt.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Unter Bezugnahme auf 1 ist eine Bearbeitungsvorrichtung 1 gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. Die Bearbeitungsvorrichtung 1 ist eine Schneidvorrichtung zum Schneiden eines Werkstücks in einzelne Bauelementchips. Die Bearbeitungsvorrichtung 1 weist ein Basisgehäuse 2 auf. Eine Kassette 3 zum Speichern mehrerer Werkstücke ist an dem Basisgehäuse 2 an einem vorderen Abschnitt desselben vorgesehen. Das Basisgehäuse 2 weist eine obere Oberfläche 2a auf, an der ein Übergangsanordnungsbereich 4, an dem das Werkstück vorübergehend angeordnet wird, ein Handhabungsmittel 5 zum Herausnehmen des Werkstücks aus der Kassette 3 vor dem Schneiden und Speichern des Werkstücks in der Kassette 3 nach dem Schneiden, ein Einspanntisch 6 zum Halten des Werkstücks und ein erstes Überführungsmittel 7 zum Überführen des Werkstücks von dem Übergangsanordnungsbereich 4 zu dem Einspanntisch 6 vorgesehen sind.
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Der Einspanntisch 6 weist einen Ansaughalteabschnitt 6a zum Halten des Werkstücks unter Ansaugen auf. Der Ansaughalteabschnitt 6a ist mit einer Vakuumquelle (nicht gezeigt) verbunden. Der Einspanntisch 6 ist von einem Abdeckelement 8 umgeben. Das Basisgehäuse 2 enthält ein Zuführmittel 9 zum Zuführen des Einspanntischs 6 in der in 1 durch einen zweispitzigen Pfeil X gezeigten X-Richtung (Ost-West-Richtung). Wenn das Zuführmittel 9 betätigt wird, werden der Einspanntisch 6 und das Abdeckelement 8 zusammen in der X-Richtung hin und her bewegt.
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An einer Seite (Ost-Seite) des Basisgehäuses 2 in der X-Richtung ist ein Schneidmittel 10 zum Schneiden des an dem Einspanntisch 6 gehaltenen Werkstücks vorgesehen. Das Schneidmittel 10 beinhaltet im Wesentlichen eine Spindel 100 mit einer Achse, die sich in der in 1 durch einen zweispitzigen Pfeil Y gezeigten Y-Richtung (Nord-Süd-Richtung), die senkrecht zu der X-Richtung steht, erstreckt, ein Spindelgehäuse 101 zum drehbaren Halten der Spindel 100, so dass dieses die Spindel 100 umgibt, eine an dem vorderen Ende der Spindel 100 angebrachte Schneidklinge 102 und eine Klingenabdeckung 103 zum Abdecken der Schneidklinge 102. Das Schneidmittel 10 führt einen Schneidvorgang in einer solchen Weise durch, dass die Spindel 100 durch einen Motor (nicht gezeigt) gedreht wird, um die Schneidklinge 102 zu drehen, und die Schneidklinge 102, die gedreht wird, zugeführt wird, um das Werkstück zu schneiden.
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An der Mitte des Basisgehäuses 2 sind ein Reinigungsbereich 11, an dem das Werkstück nach dem Scheiden gereinigt wird, und ein zweites Überführungsmittel 12 zum Überführen des Werkstücks von dem Einspanntisch 6 zu dem Reinigungsbereich 11 nach dem Schneiden vorgesehen. Ferner ist ein Abbildemittel 13 zum Abbilden des Ergebnisses der Bearbeitung des durch das Schneidmittel 10 geschnittenen Werkstücks oberhalb des Bewegungswegs des Einspanntischs 6 vorgesehen. Wie in 2 gezeigt ist, beinhaltet das Abbildemittel 13 einen Beleuchtungsabschnitt 14 zum Beleuchten eines Arbeitsbereichs des Werkstücks nach dem Schneiden und einen mit dem Beleuchtungsabschnitt 14 verbundenen Abbildeabschnitt 15 zum Abbilden des Arbeitsbereichs des Werkstücks nach dem Schneiden.
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Der Abbildeabschnitt 15 beinhaltet im Wesentlichen eine CCD-Kamera 150 zum Abbilden des Arbeitsbereichs des Werkstücks, ein Mikroskop 151 und eine an dem Mikroskop 151 angebrachte Objektivlinse 152. Der Abbildeabschnitt 15 wirkt außerdem als ein Ausrichtungsabschnitt zum Erfassen des Arbeitsbereichs des Werkstücks vor dem Schneiden. Der Beleuchtungsabschnitt 14 beinhaltet im Wesentlichen eine ringförmige Basis 140, mehrere LEDs 141, die an der unteren Oberfläche der ringförmigen Basis 140 so vorgesehen sind, dass sie ringförmig um die Objektivlinse 152 herum angeordnet sind, und einen Beleuchtungsrichtungsauswählabschnitt (eine Beleuchtungsrichtungsauswählfunktion) 142 zum Auswählen einer optimalen der LEDs 141 beim Beleuchten des Arbeitsbereichs des Werkstücks nach dem Schneiden aus einer der Ost-, West-, Nord- und Süd-Positionen mit Bezug auf den Arbeitsbereich.
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Der Beleuchtungsrichtungsauswählabschnitt 142 beinhaltet zwei Schäfte 17 und 18, zwei Pfeile A und A', die sich um den Schaft 17 drehen, und zwei Pfeile B und B', die sich um den Schaft 18 drehen. Diese vier Pfeile A, A', B und B' sind unabhängig drehbar. Gemäß den Positionen der vier Pfeile A, A', B und B' schaltet eine Steuerschaltung (nicht gezeigt) so, dass die zwischen dem Pfeil A und dem Pfeil B angeordneten LEDs 141 und die zwischen dem Pfeil A' und dem Pfeil B' angeordneten LEDs 141 angeschaltet werden. Zum Beispiel stellt, falls eine an dem Werkstück ausgebildete geschnittene Nut durch die LEDs 141 von der Süd-Südwest-Position und der Nord-Nordost-Position beleuchtet werden soll, die Bedienperson die Position des Pfeils A auf die Südwest-Position und die Position des Pfeils B auf die Süd-Position ein. Ferner stellt die Bedienperson die Position des Pfeils A' auf die Nordost-Position und die Position des Pfeils B' auf die Nord-Position ein. In dieser Weise werden die an der Süd-Südwest-Position zwischen dem Pfeil A und dem Pfeil B vorliegende LED 141 und die an der Nord-Nordost-Position zwischen dem Pfeil A' und dem Pfeil B' vorliegende LED 141 als ein optimales Beleuchtungselement ausgewählt und die an der Süd-Südwest-Position und der Nord-Nordost-Position vorliegenden LEDs 141 angeschaltet. Die anderen LEDs 141 werden ausgeschaltet. Falls der Raum zwischen dem Pfeil A und dem Pfeil B vergrößert wird und der Raum zwischen dem Pfeil A' und dem Pfeil B' vergrößert wird, kann die Anzahl der anzuschaltenden LEDs 141 erhöht werden. Umgekehrt kann, falls der Raum zwischen dem Pfeil A und dem Pfeil B verkleinert wird und der Raum zwischen dem Pfeil A' und dem Pfeil B' verkleinert wird, die Anzahl der anzuschaltenden LEDs 141 verringert werden. Der Beleuchtungsrichtungsauswählabschnitt 142 ist an der in 1 gezeigten Bearbeitungsvorrichtung 1 an einer beliebigen Position vorgesehen, an der die Bedienperson diesen in einfacher Weise betätigen kann. Als Abwandlung kann jede LED 141 mit einem Schalter versehen sein, wobei dieser Schalter betätigt wird, um die LED 141 an einer gewünschten Position anzuschalten.
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Unter erneuter Bezugnahme auf 1 beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 ferner einen Monitor 16 zum Anzeigen eines durch das Abbildemittel 13 erhaltenen Bilds. Die Bedienperson kann den bearbeiteten Zustand des Werkstücks gemäß dem an dem Monitor 16 angezeigten Bild überprüfen.
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Die Bedienung der Bearbeitungsvorrichtung 1 wird nachfolgend beschrieben. In 1 bezeichnet das Bezugszeichen W einen Wafer als eine Art eines Werkstücks. Das Material etc. des Wafers W ist nicht besonders beschränkt. Der Wafer W weist eine Vorderseite Wa und eine Rückseite Wb auf. Wie in 3 gezeigt ist, sind mehrere sich kreuzende Trennlinien S an der Vorderseite Wa des Wafers W ausgebildet, um dadurch mehrere getrennte Bereiche zu definieren, in denen mehrere Bauelemente D einzeln ausgebildet sind. Beim Schneiden des Wafers W wird die Rückseite Wb des Wafers W vorausgehend an ein an einem ringförmigen Rahmen F gehaltenes Band T angebracht. Mehrere solcher Wafer W werden in der Kassette 3 in dem Zustand gespeichert, in dem jeder Wafer W durch das Band T an dem ringförmigen Rahmen F gehalten wird.
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Einer der mehreren Wafer W wird durch das Handhabungsmittel 5 aus der Kassette 3 herausgenommen und anschließend vorübergehend in dem Übergangsanordnungsbereich 4 angeordnet. Danach wird der Wafer W durch das erste Überführungsmittel 7 von dem Übergangsanordnungsbereich 4 zu dem Einspanntisch 6 überführt und anschließend an dem Ansaughalteabschnitt 6a des Einspanntischs 6 angeordnet. Danach wird die Vakuumquelle (nicht gezeigt) betätigt, um eine Ansaugkraft auf den Ansaughalteabschnitt 6a des Einspanntischs 6 aufzubringen, wodurch der Wafer W an dem Ansaughalteabschnitt 6a unter Ansaugen gehalten wird. Danach wird das Zuführmittel 9 betätigt, um den Einspanntisch 6, der den Wafer W unter Ansaugen hält, in der Ost-Richtung (in Richtung nach Osten) zu bewegen, wodurch der Wafer W zu der Position unterhalb des Abbildemittels 13 bewegt wird. An dieser Position wird die Vorderseite Wa des Wafers W durch das Abbildemittel 13 abgebildet, um dadurch die zu schneidenden Trennlinien S zu erfassen. Beim Erfassen der Trennlinien S werden die LEDs 141 des Beleuchtungsabschnitts 14, der das in 2 gezeigte Abbildemittel 13 bildet, angeschaltet, um die Vorderseite Wa des Wafers W zu beleuchten. Zu diesem Zeitpunkt können durch Überlagerung aller Pfeile A, A', B und B' alle LEDs 141 angeschaltet werden, um das Licht in allen Richtungen (in 360 Grad) auf die Trennlinien S aufzubringen, so dass die Trennlinien S in klarer Weise abgebildet und deshalb problemlos erfasst werden können.
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Danach wird das Schneiden des Wafers W durch das Schneidmittel 10 durchgeführt. Spezieller wird das in 1 gezeigte Zuführmittel 9 erneut betätigt, um den Einspanntisch 6 weiter zu der Position unterhalb des Schneidmittels 10 zu bewegen. An dieser Position wird der Einspanntisch 6, der den Wafer W hält, durch das Zuführmittel 9 in der Ost-Richtung (in Richtung nach Osten) bewegt und gleichzeitig die Schneidklinge 102 gedreht und abgesenkt, um die Vorderseite Wa des Wafers W zu schneiden. Auf diese Weise werden der Einspanntisch 6 und das Schneidmittel 10 in der X-Richtung relativ bewegt, während die Schneidklinge 102 gedreht wird, um dadurch den Wafer W entlang einer vorgegebenen der Trennlinien S zu schneiden. Als Folge dessen wird eine geschnittene Nut 20, die sich in der X-Richtung (Ost-West-Richtung) erstreckt, entlang der vorgegebenen Trennlinie S ausgebildet. Danach wird das Schneidmittel 10 in der Y-Richtung verschoben, um den Schneidvorgang durch die Schneidklinge 102 entlang aller anderen Trennlinien S, die sich in der Ost-West-Richtung erstrecken, zu wiederholen, wodurch aufeinanderfolgend ähnliche geschnittene Nuten 20 entlang aller anderen Trennlinien S, die sich in der Ost-West-Richtung erstrecken, ausgebildet werden.
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Zu einem geeigneten Zeitpunkt, zum Beispiel gleich nachdem das Schneiden entlang aller Trennlinien S, die sich in der Ost-West Richtung erstrecken, beendet wurde, wird das Ergebnis des Schneidens des Wafers W durch Verwendung des Abbildemittels 13 abgebildet, um den Zustand jeder an dem Wafer W ausgebildeten geschnittenen Nut 20 zu überprüfen, wie in 4 gezeigt ist. Zunächst wird das in 1 gezeigte Zuführmittel 9 betätigt, um den Einspanntisch 6 in der West-Richtung (in Richtung nach Westen) zu bewegen, wodurch der Wafer W zu der Position unmittelbar unterhalb des Abbildemittels 13 bewegt wird.
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Wie in 4 gezeigt ist, stimmt die Erstreckungsrichtung jeder an dem Wafer W ausgebildeten geschnittenen Nut 20 mit der Ost-West-Richtung überein. Dementsprechend wird der in 2 gezeigte Beleuchtungsrichtungsauswählabschnitt 142 betätigt, um die LED oder LEDs 141 auszuwählen, die entweder an der Ost- oder der West-Position oder sowohl an der Ost- als auch der West-Position vorliegt oder vorliegen, und anschließend jede geschnittene Nut 20 in der Ost-West-Richtung zu beleuchten. Zum Beispiel werden, falls das Licht sowohl von der Ost- als auch von der West-Position aufgebracht wird, der Pfeil A auf die Ost-Südost-Position, der Pfeil B auf die Ost-Nordost-Position, der Pfeil A' auf die West-Nordwest-Position und der Pfeil B' auf die West-Südwest-Position eingestellt. Falls das Licht nur von der Ost-Position aufgebracht wird, werden die Pfeile A und A' auf die Ost-Südost-Position und die Pfeile B und B' auf die Ost-Nordost-Position eingestellt. Die durch die LED oder LEDs 141 beleuchtete geschnittene Nut 20 wird durch den Abbildeabschnitt 15 abgebildet. Falls die geschnittene Nut 20 sowohl von der Ost- als auch von der West-Position durch die LEDs 141 beleuchtet wird, kann die geschnittene Nut 20 verglichen mit dem Fall, dass die geschnittene Nut 20 entweder von der Ost- oder von der West-Position durch die LED 140 beleuchtet wird, in klarer Weise abgebildet werden.
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Wie in 5 gezeigt ist, wird das durch den Abbildeabschnitt 15 erhaltene Bild in dem Zustand an dem Monitor 16 angezeigt, in dem der Kontrast zwischen der geschnittenen Nut 20 und deren Umgebung verbessert ist. Dementsprechend kann die Bedienperson überprüfen, ob die geschnittene Nut 20 in einem gewünschten Zustand ist. Falls die Bedienperson nach der Überprüfung des geschnittenen Zustands der geschnittenen Nut 20 bestimmt, dass ein Defekt der Schneidklinge 102, wie zum Beispiel ein Abplatzen oder Abstumpfen, aufgetreten ist, wird die Schneidklinge 102 durch eine neue ersetzt. Andererseits wird, wenn die Bedienperson bestimmt, dass der geschnittene Zustand gut ist, die Schneidklinge 102 nicht durch eine neue ersetzt, sondern weiter verwendet. Da das Abbildemittel 13 den Beleuchtungsabschnitt 14 beinhaltet, kann der Kontrast zwischen der geschnittenen Nut 20 und deren Umgebung in dem durch das Abbildemittel 13 erhaltenen Bild verbessert werden, so dass der geschnittene Zustand zuverlässig überprüft werden kann.
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Der Aufbau des Beleuchtungsabschnitts 14 ist nicht auf den in 2 gezeigten beschränkt. Zum Beispiel kann in dem Zustand, in dem die mehreren LEDs 141 ringförmig an dem unteren Abschnitt der Basis 140 so angeordnet sind, dass sie die Objektivlinse 152 umgeben, eine Maske mit einer Öffnung unterhalb der LEDs 141 vorgesehen werden. Bei diesem Aufbau wird die Maske gedreht, um die Öffnung der Maske zu der LED 141 auszurichten, die an einer gewünschten der Ost-, West-, Nord- und Süd-Positionen vorliegt, so dass das Licht von der zu der Öffnung der Maske ausgerichteten LED 141 hindurchtreten kann und das Licht von den anderen LEDs 141 gesperrt wird. Dementsprechend kann die geschnittene Nut nur durch die LED 141 beleuchtet werden, die an der gewünschten Position vorliegt. In diesem Fall weist die drehbare Maske eine Beleuchtungsrichtungsauswählfunktion auf.
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Obwohl bei der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform die LEDs 141 ringförmig an dem unteren Abschnitt der Basis 140 entlang dessen gesamten Umfangs angeordnet sind, kann die Basis 140 drehbar ausgebildet sein und können die LED oder LEDs 141 an einem Teil des unteren Abschnitts der Basis 140 vorgesehen sein. Zum Beispiel können die LEDs 141 durch Drehen der Basis 140 sowohl an der Ost- als auch an der West-Position vorgesehen werden oder kann die LED 141 durch Drehen der Basis 140 entweder an der Ost- oder der West-Position vorgesehen werden. Bei einem solchen Aufbau kann die LED 141 durch Drehen der Basis 140 auf eine gewünschte der Ost-, West-, Nord- und Südpositionen eingestellt werden. In diesem Fall weist die drehbare Basis 140 eine Beleuchtungsrichtungsauswählfunktion auf.
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Ferner beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung nicht nur die Bearbeitungsvorrichtung 1 als eine Schneidvorrichtung zum Schneiden des Werkstücks bei der bevorzugten Ausführungsform, sondern auch eine Laserbearbeitungsvorrichtung zum Durchführen einer Laserbearbeitung (Ablation), um eine durch Ablation ausgebildete Nut an dem Werkstück auszubilden, wobei die durch Ablation ausgebildete Nut abgebildet wird, um den Zustand der durch Ablation ausgebildeten Nut zu überprüfen.
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Wie oben beschrieben wurde, beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung 1 gemäß der vorliegenden Erfindung das Abbildemittel 13 mit dem Beleuchtungsabschnitt 14 zum Beleuchten des Arbeitsbereichs des Werkstücks und dem Abbildeabschnitt 15 zum Abbilden des Arbeitsbereichs des Werkstücks. Der Beleuchtungsabschnitt 14 beinhaltet den Beleuchtungsrichtungsauswählabschnitt 142 zum Auswählen der zum Beleuchten des Arbeitsbereichs des Werkstücks optimalen LED 141 aus einer der Ost-, West-, Nord- und Süd-Positionen mit Bezug auf den Arbeitsbereich. Dementsprechend kann die LED 141, die an einer der Ost-, West-, Nord- und Süd-Positionen vorliegt, ausgewählt werden, so dass der Kontrast zwischen der geschnittenen Nut 20 und deren Umgebung verbessert wird, und die geschnittene Nut 20 durch den Abbildeabschnitt 15 abgebildet werden, während das Licht von dieser ausgewählten LED 141 auf die geschnittene Nut 20 aufgebracht wird. Dementsprechend kann das Bild der geschnittenen Nut 20 in klarer Weise an dem in der Bearbeitungsvorrichtung 1 beinhalteten Monitor 16 angezeigt werden, so dass der Zustand der geschnittenen Nut 20 in einfacher Weise überprüft werden kann.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Einzelheiten der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Abwandlungen, die innerhalb der Äquivalenz des Umfangs der Ansprüche liegen, werden deshalb von der Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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