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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anzeigevorrichtung und insbesondere eine Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen, die präzise feststellen kann, ob benachbarte Signalleitungen kurzgeschlossen und/oder offen sind oder nicht, und sie betrifft weiter ein Verfahren zum Erfassen von Defekten von Signalleitungen der Anzeigevorrichtung.
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Die Druckschrift
KR 10 2007 0 055 844 A betrifft ein Substrat, wobei das Substrat eine Anzeigefläche zum Anzeigen eines Bildes, eine erste Ansteuerungsschaltungsfläche, welche an einer Seite der Anzeigefläche gebildet ist, und eine zweite Ansteuerungsschaltungsfläche, welche an der anderen Seite der Anzeigefläche gebildet ist. Eine Vielzahl von Gateleitungen, deren erste Enden miteinander verbunden sind, wird in der Anzeigefläche gebildet. Eine Vielzahl von Übertragungsleitungen für die gemeinsame Spannung, deren erste Enden miteinander verbunden sind, werden jeweils zwischen den Gateleitungen angeordnet. Es wird getestet, ob die Gateleitungen und die Übertragungsleitungen für die gemeinsame Spannung kurzge-schlossen sind. Ein Verbindungsabschnitt zwischen benachbarten Gateleitungen wird entfernt.
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Gemäß der Druckschrift
KR 10 2005 0 038 133 A wird in einem Substrat eines Anzeigeregion und eine Peripherieregion definiert, wobei die Peripherieregion in eine Auffächerungsregion und eine Pad-Region unterteilt ist. Eine Vielzahl von Gateleitungen, Datenleitungen und Dünnschichttransistoren (TFTs) sind in der Anzeigeregion gebildet. Die Signalverbindungsleitungen sind mit den entsprechenden Datenleitungen verbunden, um das Bildsignal zu den Datenleitungen zu übermitteln. Daten-Pads überlappen mit entsprechenden Signalverbindungsleitungen und Datenleitungskontakthilfselemente sind mit den entsprechenden Signalverbindungsleitungen verbunden. Die Signalverbindungsleitungen und die Datenleitungskontakthilfselemente sind in der Auffächerungsregion und der Pad-Region gebildet. Die Signalverbindungsleitungen sind mit den Datenleitungskontakthilfselementen sowohl in der Auffächerungsregion als auch in der Pad-Region verbunden.
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Die Druckschrift
US 2012/0062263 A1 beschreibt ein Prüfverfahren für eine Flüssigkristallanzeigetafel. Die Flüssigkristallanzeigetafel umfasst eine Vielzahl von Pixeln und einen Prüfkontakt. Die Pixel sind an Schnittpunkten von ersten, zweiten und dritten Datenleitungen und Abtastleitungen gebildet. Im Prüfverfahren wird jede der Abtastleitungen angesteuert, um Flüssigkristallkapazitäten der Pixel mit den Datenleitungen zu verbinden. Erste und zweite Prüfspannungen werden mit den ersten bzw. zweiten Datenleitungen verbunden, wobei die ersten und zweiten Prüfspannungen verschieden voneinander sind. Die erste Datenleitung wird in einen Schwebezustand gebracht. Die Datenleitung im Schwebezustand wird über den Prüfkontakt gemessen, um zu bestimmen, ob die Flüssigkristallkapazitäten der Pixel, die elektrisch mit den ersten und zweiten Datenleitungen verbunden sind, miteinander elektrisch verbunden sind.
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Die Druckschrift
US 2006/0028408 A1 beschreibt eine lichtemittierende Anzeige.
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Die Druckschrift
US 7053645 B2 beschreibt ein Verfahren zum Detektieren eines Defekts in einem Transistor-Array. Ein Prüfsignal wird auf das Array aufgebracht, Pixelspannungen entlang einer Gate-Leitung des Arrays werden überwacht, und basierend auf einer Variation der Pixelspannungen entlang der Gate-Leitung während des Überwachungsschrittes wird ein mit der Gate-Leitung assoziierter Defekt detektiert.
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Anzeigevorrichtungen, wie eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung, eine Plasmaanzeigevorrichtung und eine Anzeigevorrichtung mit lichtemittierenden Dioden, unterlaufen im Allgemeinen einige Testprozesse bevor sie auf den Markt kommen.
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Diese verschiedenen Prozesse umfassen einen Prozess zum Testen von kurzgeschlossenen und offenen Zuständen von Signalleitungen, wie Gateleitungen und Datenleitungen.
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Da Anzeigevorrichtungen jedoch größer werden, nimmt die Anzahl von Signalleitungen proportional zur Größe der Anzeigevorrichtung zu, und dementsprechend werden Signal-leitungen mit einer höheren Dichte auf den Anzeigevorrichtungen ausgebildet. Insbesondere erfordert eine Anzeigevorrichtung mit lichtemittierenden Dioden eine große Anzahl von Schaltelementen und verschiedene Ansteuerungssignale, die an diese ausgegeben werden, um eine Stromansteuerungsfähigkeit der Ansteuerungsschaltelemente zu erhalten. Dementsprechend wird ein Abstand zwischen Signalleitungen zwangsläufig reduziert.
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Dementsprechend sind bei herkömmlichen Anzeigevorrichtungen Signalwellenformen, die von benachbarten Signalleitungen erfasst werden, aufgrund von Signalinterferenzen zwischen den benachbarten Signalleitungen ähnlich. Somit kann es schwierig sein zu erfassen, ob die jeweiligen Signalleitungen kurzgeschlossen und/oder offen sind oder nicht, und es kann schwierig sein die genaue Position der kurzgeschlossenen und/oder offenen Signalleitungen zu bestimmen.
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Vor diesem technologischen Hintergrund ist es eine Aufgabe der Erfindung, die oben genannten Anzeigevorrichtungen des Standes der Technik zu verbessern. Diese Aufgabe wird durch die Gegenstände der Hauptansprüche gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
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Ausführungsformen umfassen eine Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen mit einer Struktur von Signalleitungen, die es erlaubt, dass benachbarte Signalleitungen verschiedene elektrische Verbindungszustände haben können, und somit einen Unterschied im Widerstand zwischen den benachbarten Signalleitungen zu erhöhen und eine Signalinterferenz zwischen den benachbarten Signalleitungen zu eliminieren. Vorteilhafterweise ist es möglich präzise zu bestimmen, ob die jeweiligen Signalleitungen kurzgeschlossen sind oder nicht, und ob die mehreren Signalleitungen offen sind oder nicht. Ausführungsformen umfassen auch ein Verfahren zum Erfassen von Defekten von Signalleitungen für Anzeigevorrichtungen mit einer solchen Struktur.
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Weitere Vorteile, Aufgaben und Eigenschaften der Erfindung werden teilweise in der folgenden Beschreibung aufgeführt und werden dem Fachmann teilweise aus der Untersuchung des Vorliegenden offensichtlich erscheinen oder können durch das Ausführen der Erfindung erlernt werden. Die Aufgaben und andere Vorteile der Erfindung können durch den Aufbau realisiert und erreicht werden, der insbesondere in der schriftlichen Beschreibung und den Ansprüchen als auch in den angehängten Figuren der Zeichnung herausgestellt ist.
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Gemäß einer Ausführungsform umfasst eine Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen Signalleitungen, die auf einem Substrat ausgebildet sind, um Signale zu übertragen, die erforderlich sind, um Pixel der Anzeigetafel zu steuern, wobei einige ausgewählte Signalleitungen mit einer von mehreren Hauptübertragungsleitungen verbunden sind und die verbleibenden Signalleitungen in einem elektrischen Zustand gehalten werden, der anders ist als derjenigen der ausgewählten Signalleitungen, wie z.B. in einem Schwebezustand (potentialfreier Zustand; floating state). Beispielsweise kann jede zweite Signalleitung mit einer der Hauptsignalübertragungsleitungen verbunden sein, und die verbleibenden Signalleitungen können in einem Schwebezustand gehalten werden.
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Gemäß einer Ausführungsform umfasst eine Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen ein Substrat, auf dem mehrere Signalleitungen ausgebildet sind, um verschiedene Signale zu übertragen, die von Pixeln benötigt werden, wobei für beliebige zwei benachbarte Signalleitungen eine derselben mit wenigstens einer der Hauptsignalübertragungsleitungen verbunden ist und sich die andere der beiden benachbarten Signalleitungen in einem Schwebezustand befindet.
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Die n-ten Signalleitungen aus den mehreren Signalleitungen können im Schwebezustand gehalten werden, die verbleibenden Signalleitungen mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen können mit den Hauptsignalübertragungsleitungen verbunden sein, und n kann 2m-1 (wobei m eine natürliche Zahl ist) oder 2m sein.
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Die Hauptsignalübertragungsleitungen und die mehreren Signalleitungen können in verschiedenen Schichten angeordnet sein, so dass eine Gateisolationsschicht zwischen ihnen angeordnet ist, und die verbleibenden Signalleitungen mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen können durch Kontaktlöcher, die die Gateisolationsschicht durchdringen, mit den Hauptsignalübertragungsleitungen verbunden sein.
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Das Substrat kann in einen Anzeigebereich, in dem Pixel ausgebildet sind, einen Nichtanzeigebereich, in dem integrierte Treiberschaltungen ausgebildet sind, die Signale zum Ansteuern der Pixel bereitstellen, und einen Kurzschluss-Brückenbereich, in dem mehrere Kurzschlussbrücken ausgebildet sind, unterteilt sein. Die mehreren Kurzschlussbrücken können auf derselben Schicht wie die Hauptsignalübertragungsleitungen ausgebildet sein und die n-ten Signalleitungen können entsprechend mit den mehreren Kurzschlussbrücken durch mehrere Verbindungsleitungen verbunden sein.
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Die mehreren Verbindungsleitungen und die mehreren Signalleitungen können in verschiedenen Schichten angeordnet sein, wobei eine Passivierungsschicht zwischen ihnen vorhanden sein kann, und die mehreren Verbindungsleitungen und die mehreren Kurzschlussbrücken können in verschiedenen Schichten ausgebildet sein, wobei die Gateisolationsschicht und die Passivierungsschicht zwischen ihnen angeordnet sein können. Die einen Enden der mehreren Verbindungsleitungen können durch mehrere Kontaktlöcher, die die Passivierungsschicht durchdringen, mit den n-ten Signalleitungen verbunden sein, und die anderen Enden der mehreren Verbindungsleitungen können durch mehrere Kontaktlöcher, die die Gateisolationsschicht und die Passivierungsschicht durchdringen, mit den mehreren Kurzschlussbrücken verbunden sein.
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Die Hauptsignalübertragungsleitungen und die mehreren Kurzschlussbrücken können aus demselben Material ausgebildet sein, die mehreren Signalleitungen können aus demselben Material ausgebildet sein, die mehreren Verbindungsleitungen können aus demselben Material ausgebildet sein und die Materialien der Hauptsignalübertragungsleitungen, der mehreren Signalleitungen und der mehreren Verbindungsleitungen können unterschiedlich sein.
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Die mehreren Verbindungsleitungen können aus Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder einer Molybdänverbindung (MoX) ausgebildet sein.
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Die Hauptsignalübertragungsleitungen können erste und zweite Hauptsignalübertragungsleitungen umfassen, und die einen Enden der verbleibenden Signalleitungen mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen können abwechselnd mit der ersten Hauptsignalübertragungsleitung oder der zweiten Hauptsignalübertragungsleitung verbunden sein.
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Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Erfassen von Defekten von Signalleitungen für Anzeigevorrichtungen angegeben, das für beliebige zwei benachbarte Signalleitungen umfasst: Verbinden von einer der zwei benachbarten Signalleitungen mit wenigstens einer Hauptsignalübertragungsleitung, und Halten der anderen der zwei benachbarten Signalleitungen in einem Schwebezustand; Anlegen eines Eingangstestsignals an die einen Enden der mehreren Signalleitungen; und Bestimmen, ob die mehreren Signalleitungen kurzgeschlossen sind oder nicht, und ob die mehreren Signalleitungen offen sind oder nicht, indem eine Wellenform von Ausgangstestsignalen analysiert werden, die an den anderen Enden der mehreren Signalleitungen ausgegeben werden.
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Die n-ten Signalleitungen der mehreren Signalleitungen können im Schwebezustand gehalten werden, die verbleibenden Signalleitungen mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen können mit den Hauptsignalübertragungsleitungen verbunden sein, und n kann 2m-1 (wobei m eine natürliche Zahl ist) oder 2m sein.
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Die Hauptsignalübertragungsleitungen und die mehreren Signalleitungen können in verschiedenen Schichten angeordnet sein, wobei sich eine Gateisolationsschicht zwischen ihnen befindet, und die verbleibenden Signalleitungen mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen können durch Kontaktlöcher, die die Gateisolationsschicht passieren, mit den Hauptsignalübertragungsleitungen verbunden sein.
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Das Eingangstestsignal kann ein Spannungs-Eingangstestsignal sein.
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Das Bestimmen, ob die mehreren Signalleitungen offen sind oder nicht, wird durchgeführt, indem die Wellenform der Ausgangstestsignale, die an den anderen Enden der mehreren Signalleitungen ausgegeben werden, mit einer ersten und einer zweiten Referenzspannung verglichen werden. Die erste Referenzspannung kann ein Mittel der maximalen Spitzenspannungen der Ausgangstestsignale sein, die an den n-ten Signalleitungen in einem Normalzustand erfasst werden, in dem die mehreren Signalleitungen nicht kurzgeschlossen oder offen sind. Die zweite Referenzspannung kann ein Mittel der minimalen Spitzenspannungen der Ausgangstestsignale sein, die an den verbleibenden Signalleitungen mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen im Normalzustand erfasst werden, in dem die mehreren Signalleitungen nicht kurzgeschlossen oder offen sind. Beispielsweise können die Signalleitungen im Normalzustand in einer anderen Anzeigetafel als der getesteten Anzeigetafel vorhanden sein, von der bekannt ist, dass sie frei von Defekten ist.
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Wenn eine Differenz zwischen der maximalen Spitzenspannung des an einer n-ten Signalleitung erfassten Ausgangstestsignals und der ersten Referenzspannung innerhalb eines vorbestimmten Bereichs liegt, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung nicht defekt ist. Wenn die Differenz zwischen der maximalen Spitzenspannung des an der n-ten Signalleitung erfassten Ausgangstestsignals und der ersten Referenzspannung größer als der maximale Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung offen ist. Wenn die Differenz zwischen der maximalen Spitzenspannung des an den n-ten Signalleitungen erfassten Ausgangstestsignals und der ersten Referenzspannung kleiner als der minimale Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung kurzgeschlossen ist. Wenn eine Differenz zwischen der minimalen Spitzenspannung des an einer Signalleitung mit Ausnahme der n-ten Signalleitung erfassten Ausgangstestsignals und der zweiten Referenzspannung innerhalb eines vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung nicht defekt ist. Wenn die Differenz zwischen der minimalen Spitzenspannung des an der Signalleitung mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen erfassten Ausgangstestsignals und der zweiten Referenzspannung größer als der maximale Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung kurzgeschlossen ist. Wenn die Differenz zwischen der minimalen Spitzenspannung des an der Signalleitung mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen erfassten Ausgangstestsignals und der zweiten Referenzspannung kleiner als der minimale Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die jeweilige Signalleitung offen ist.
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Das Verfahren kann weiter das Einteilen des Substrats in einen Anzeigebereich, in dem die Pixel ausgebildet werden, einen Nichtanzeigebereich, in dem integrierte Treiberschaltungen ausgebildet werden, die Signale zum Ansteuern der Pixel ausgeben, und einen Kurzschlussbrückenbereich, in dem mehrere Kurzschlussbrücken ausgebildet werden, umfassen, und kann weiter das Ausbilden von mehreren Kurzschlussbrücken auf derselben Schicht wie die Hauptsignalübertragungsleitungen und das jeweilige Verbinden der n-ten Signalleitungen mit den mehreren Kurzschlussbrücken durch mehrere Verbindungsleitungen umfassen.
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Die mehreren Verbindungsleitungen und die mehreren Signalleitungen können in verschiedenen Schichten angeordnet sein, wobei sich eine Passivierungsschicht zwischen ihnen befindet, die mehreren Verbindungsleitungen und die mehreren Kurzschlussbrücken können in verschiedenen Schichten ausgebildet sein, wobei sich die Gateisolationsschicht und eine Passivierungsschicht zwischen ihnen befindet, die einen Enden der mehreren Verbindungsleitungen können durch mehrere Kontaktlöcher, die die Passivierungsschicht durchdringen, mit den n-ten Signalleitungen verbunden sein, und die anderen Enden der mehreren Verbindungsleitungen können durch mehrere Kontaktlöcher, die die Gateisolationsschicht und die Passivierungsschicht durchdringen, mit den mehreren Kurzschlussbrücken verbunden sein.
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Die Hauptsignalübertragungsleitungen und die mehreren Kurzschlussbrücken können aus demselben Material ausgebildet sein, die mehreren Signalleitungen können aus demselben Material ausgebildet sein, die mehreren Verbindungsleitungen können aus demselben Material ausgebildet sein und die Materialien der Hauptsignalübertragungsleitungen, der mehreren Signalleitungen und der mehreren Verbindungsleitungen können verschieden voneinander sein.
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Die mehreren Verbindungsleitungen können aus Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder einer Molybdänverbindung (MoX) ausgebildet sein.
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Die Hauptsignalübertragungsleitungen können erste und zweite Hauptsignalübertragungsleitungen umfassen, und die einen Enden der verbleibenden Signalleitungen mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen können abwechselnd mit der ersten Hauptsignalübertragungsleitung oder der zweiten Hauptsignalübertragungsleitung verbunden sein.
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Das Verfahren umfasst weiter das Bestimmen, ob die mehreren Signalleitungen kurzgeschlossen oder offen sind oder nicht, indem ein Strom-Eingangstestsignal an die Enden der mehreren Signalleitungen angelegt wird, und das endgültige Bestimmen, ob die mehreren Signalleitungen kurzgeschlossen oder offen sind oder nicht, basierend auf Beurteilungsergebnissen, ob die mehreren Signalleitungen kurzgeschlossen oder offen sind oder nicht entsprechend dem Strom-Eingangstestsignal und dem Spannungs-Eingangstestsignal.
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Es ist zu verstehen, dass die vorangegangene allgemeine Beschreibung und die folgende detaillierte Beschreibung der vorliegenden Erfindung beispielhaft und erläuternd sind und beabsichtigt sind, um ein weiteres Verständnis der Erfindung zu bieten.
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Die angehängten Zeichnungen, die enthalten sind, um ein weiteres Verständnis der Erfindung zu bieten und eingefügt sind und einen Teil dieser Beschreibung bilden, zeigen Ausführungsformen der Erfindung und dienen zusammen mit der Beschreibung der Erläuterung der Prinzipien der Erfindung.
- 1 zeigt eine Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
- 2 zeigt den Aufbau der Anzeigetafel nach einem Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgang von Signalleitungen;
- 3 ist eine Schnittansicht des Bereichs A der 2;
- 4 ist eine Schnittansicht des Bereichs B der 2;
- 5 zeigt die Konfiguration eines Pixels der Anzeigetafel der 1;
- 6A bis 6C zeigen ein Verfahren zum Erfassen von Defekten von Signalleitungen für Anzeigevorrichtungen gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung;
- 7 zeigt eine Wellenform eines Ausgangstestsignals, wenn einige der Signalleitungen kurzgeschlossen und/oder offen sind;
- 8 zeigt eine Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
- 9 zeigt den Aufbau der Anzeigetafel nach einem Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgang der Signalleitungen;
- 10A bis 10B zeigen einen Prozess zum Anbringen eines Datentreibers an der Anzeigetafel gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung; und
- 11A und 11B zeigen einen Prozess zum Anbringen eines Datentreibers an der Anzeigetafel gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Es wird nun im Detail auf bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung Bezug genommen, von denen Beispiele in den anhängenden Zeichnungen gezeigt sind. Wo immer es möglich ist, werden dieselben Bezugszeichen verwendet, um auf dieselben und ähnliche Teile Bezug zu nehmen.
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1 zeigt eine Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Die Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wie sie in 1 gezeigt ist, umfasst ein Substrat 100, auf dem mehrere Signalleitungen SL zum Übertragen von verschiedenen Signale, die für Pixel erforderlich sind, ausgebildet sind.
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Das Substrat 100 ist in einem Anzeigebereich 101, einem Nichtanzeigebereich 102 und einem Kurzschlussbrückenbereich 103 unterteilt. Das in 1 gezeigte Substrat 100 ist ein unteres Substrat von zwei Substraten der Anzeigetafel, und 1 zeigt nicht das obere Substrat. Der Kurzschlussbrückenbereich 103 wird nach einem finalen Test vom Substrat 100 entfernt. Beispielsweise wird der Kurzschlussbrückenbereich 103 vom Substrat 100 entfernt, indem das Substrat 100 entlang einer Ritzlinie SCL der 1 geschnitten wird.
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Die Pixel und die Signalleitungen SL sind im Anzeigebereich 101 ausgebildet, wie oben beschrieben ist. Weiter sind erste und zweite Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 und MSL2 im Anzeigebereich 101 ausgebildet. Alternativ können die erste und die zweite Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL2 im Nichtanzeigebereich 102 anstelle des Anzeigebereichs 101 ausgebildet sein.
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Der Nichtanzeigebereich 102 ist ein Bereich, in dem integrierte Treiberschaltungen zum Übertragen von Signalen an die mehreren Signalleitungen SL und die Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 und MSL2 installiert sind, und die integrierten Treiberschaltungen werden nach Vervollständigung aller Testprozesse der Signalleitungen SL installiert.
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Mehrere Kurzschlussbrücken SB sind im Kurzschlussbrückenbereich 103 ausgebildet. Die Kurzschlussbrücken SB entladen von den Signalleitungen SL und den Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 und MSL2 erzeugte statische Elektrizität nach außen, wodurch verhindert wird, dass in den Pixeln ausgebildete Dünnschichttransistoren beschädigt werden. Weiter dienen die Kurzschlussbrücken SB dazu, verschiedene Testsignale an die Pixel anzulegen, die verwendet werden, um Defekte der Pixel zu erkennen.
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Der Aufbau der 1 ist ausgelegt, um zu testen, ob die Signalleitungen SL kurzgeschlossen sind oder nicht, und ob die Signalleitungen offen sind oder nicht. Zu diesem Zweck wird eine Signalleitung SL von zwei beliebigen benachbarten Signalleitungen SL mit der Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 oder MSL2 verbunden, und die anderen Signalleitung SL wird im Schwebezustand (potentialfrei) gehalten, indem die Signalleitung SL mit keiner anderen Leitung verbunden ist.
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Die n-ten Signalleitungen SL der Signalleitungen SL werden also im Schwebezustand gehalten, und die verbleibenden Signalleitungen SL mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen SL werden mit der ersten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 oder der zweiten Hauptsignalübertragungsleitung MSL2 verbunden. Hier ist n 2m-1 (wobei m eine natürliche Zahl ist) oder 2m. Beispielsweise sind, wie in 1 gezeigt ist, die ungerade nummerierten Signalleitungen SL der mehreren Signalleitungen SL nicht mit irgendeiner Leitung verbunden und werden im Schwebezustand gehalten, und die einen Enden der gerade nummerierten Signalleitungen SL sind abwechselnd mit der ersten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 oder der zweiten Hauptsignalübertragungsleitung MSL2 verbunden.
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Die erste und zweite Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL2 und die Kurzschlussbrücken SB können aus einem Gatemetall ausgebildet sein, das im Allgemeinen für die Herstellung der Gateleitungen verwendet wird. Beispielsweise können die erste und zweite Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL2 und die Kurzschlussbrücken SB aus einer Aluminiumverbindung oder einer Bimetallschicht mit Aluminium ausgebildet sein.
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Die Signalleitungen SL können aus einem Source/Drain-Metall ausgebildet sein, das im Allgemeinen für die Herstellung der Datenleitungen verwendet wird. Beispielsweise können die Signalleitungen aus einem Metall ausgebildet sein, das einen hohen chemischen Korrosionswiderstand und mechanische Stärke aufweist, also Molybdän (Mo), Chrom (Cr), Wolfram (W) oder Nickel (Ni).
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Die erste und zweite Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL2 und die Kurzschlussbrücken SB werden aus demselben Metall auf derselben Schicht durch einen Strukturierungsprozess ausgebildet.
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Die Signalleitungen SL werden aus demselben Metall auf derselben Schicht durch einen Strukturierungsprozess ausgebildet.
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Die erste und zweite Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL2 und die Signalleitungen SL sind in verschiedenen Schichten angeordnet, sodass sich eine Gateisolationsschicht dazwischen befindet.
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Die n-ten Signalleitungen (beispielsweise die ungerade nummerierten Signalleitungen SL) der mehreren Signalleitungen SL sind nicht mit der ersten und zweiten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL2 verbunden. Die n-ten Signalleitungen SL im Schwebezustand sind also auf der Gateisolationsschicht ausgebildet und kreuzen die erste und zweite Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL2. Auf der anderen Seite sind (n+1)te Signalleitungen SL (beispielsweise die gerade nummerierten Signalleitungen SL) mit der ersten oder zweiten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 oder MSL2 durch Kontaktlöcher verbunden, die die Gateisolationsschicht durchdringen.
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Durch diesen Aufbau ist es der vorliegenden Erfindung möglich, präzise zu testen, ob die jeweiligen Signalleitungen SL individuelle kurzgeschlossen und/oder geöffnet sind, auch wenn sich die mehreren Signalleitungen SL in unmittelbarer Nachbarschaft befinden. Die benachbarten Signalleitungen SL weisen also verschiedene Widerstände auf, da die benachbarten Signalleitungen SL verschiedene elektrische Verbindungszustände aufweisen. Da der Widerstand einer Signalleitung SL im Schwebezustand verschieden vom Widerstand einer mit einer Hauptsignalübertragungsleitung verbundenen Signalleitung SL ist, sind, wenn ein Eingangstestsignal mit demselben Wert an die Enden einer jeden der benachbarten Signalleitungen SL angelegt wird, die an anderen Enden der benachbarten Signalleitungen SL erfassten Ausgangstestsignale wesentlich verschieden. Dementsprechend ist ein großer Unterschied zwischen den zwei Ausgangstestsignalen vorhanden, auch wenn durch Signalinterferenz zwischen den benachbarten Signalleitungen SL erzeugtes Rauschen vorhanden ist, und dementsprechend können die Ausgangstestsignale der jeweiligen Signalleitungen SL präzise erfasst werden. Also ist es gemäß den Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung möglich, präzise zu bestimmen, ob die jeweiligen Signalleitungen SL kurzgeschlossen oder geöffnet sind oder nicht, indem die Werte der von den jeweiligen Signalleitungen SL erfassten Ausgangstestsignale individuell analysiert werden.
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2 zeigt den Aufbau der Anzeigetafel nach einem Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgang der Signalleitungen.
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Nach einem Bestimmen durch den Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgang der Signalleitungen SL im Aufbau der Anzeigetafel der 1, dass die jeweiligen Signalleitungen SL nicht defekt sind, wird ein Prozess durchgeführt, um zu prüfen, ob die jeweiligen Pixel defekt sind oder nicht. Um einen solchen Prozess durchzuführen, muss ein Testsignal an die Signalleitungen SL im Schwebezustand angelegt werden. Zu diesem Zweck muss vor dem Prozess eine elektrische Verbindung zwischen den Signalleitungen SL im Schwebezustand und den Kurzschlussbrücken SB hergestellt werden, wie in 2 gezeigt ist.
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Wie in 2 gezeigt ist, sind die Signalleitungen im Schwebezustand durch Verbindungsleitungen CNL elektrisch mit den mehreren Kurzschlussbrücken SB verbunden.
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Die Verbindungsleitungen CNL können aus Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder einer Molybdänverbindung (MoX) ausgebildet sein.
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Die mehreren Verbindungsleitungen CNL und die mehreren Signalleitungen SL im Schwebezustand sind in verschiedenen Schichten angeordnet, wobei sich eine Passivierungsschicht dazwischen befindet. Des Weiteren sind die Verbindungsleitungen CNL und die Kurzschlussbrücken SB in verschiedenen Schichten angeordnet, wobei sich die Gateisolationsschicht und eine Passivierungsschicht dazwischen befinden.
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Die einen Enden der mehreren Verbindungsleitungen CL sind durch mehrere Kontaktlöcher, die die Passivierungsschicht durchdringen, mit den Signalleitungen SL im Schwebezustand verbunden. Weiter sind die anderen Enden der mehreren Verbindungsleitungen CNL durch mehrere Kontaktlöcher, die die Gateisolationsschicht und die Passivierungsschicht durchdringen, mit den mehreren Kurzschlussbrücken SB verbunden.
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Nachstehend wird eine Verbindungsbeziehung zwischen den Hauptsignalübertragungsleitungen und den Signalleitungen SL und eine Verbindungsbeziehung zwischen den Kurzschlussbrücken SB und den Signalleitungen SL im Detail beschrieben.
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3 ist eine Schnittansicht des Bereichs A der 2, also entlang der Linie I-I' der 2.
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Wie in 3 gezeigt ist, ist die aus einem Gatemetall ausgebildete erste Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 auf dem Substrat 100 ausgebildet. Die Gateisolationsschicht GI ist auf der ersten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 ausgebildet. Die Signalübertragungsleitung SL, die aus einem Datenmetall ausgebildet ist, ist auf der Gateisolationsschicht GI ausgebildet. Hier ist ein Kontaktloch, das die Gateisolationsschicht GI passiert, in der Gateisolationsschicht GI ausgebildet. Das Kontaktloch legt einen Teil der ersten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 frei, der sich unter der Gateisolationsschicht GI befindet. Die Signalleitung SL ist durch das Kontaktloch elektrisch mit der darunterliegenden ersten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 verbunden. Weiter ist die Passivierungsschicht PAS auf der ersten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und der Gateisolationsschicht GI ausgebildet.
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4 ist eine Schnittansicht des Bereichs B der 2, also entlang der Linie II-II' der 2.
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Wie in 4 gezeigt ist, ist die aus dem Gatemetall ausgebildete Kurzschlussbrücke SB auf dem Substrat 100 ausgebildet. Die Gateisolationsschicht GI ist auf der Kurzschlussbrücke SB ausgebildet. Die Signalleitung SL, die aus dem Datenmetall ausgebildet ist, ist auf der Gateisolationsschicht GI ausgebildet. Die Passivierungsschicht PAS ist auf der Signalleitung SL und der Gateisolationsschicht GI ausgebildet. Die Verbindungsleitung CNL ist auf der Passivierungsschicht PAS ausgebildet. Hier ist ein die Passivierungsschicht PAS passierendes Kontaktloch in der Passivierungsschicht PAS ausgebildet. Ein solches Kontaktloch legt einen Bereich der Signalleitung frei, die sich unter der Passivierungsschicht PAS befindet. Weiter ist ein anderes Kontaktloch in der Gateisolationsschicht GI und der Passivierungsschicht PAS ausgebildet, das diese sequentiell durchdringt. Ein solches Kontaktloch legt einen Bereich der Kurzschlussbrücke SB frei, die unter der Gateisolationsschicht GI angeordnet ist. Ein Ende der Verbindungsleitung CNL ist durch das erste Kontaktloch elektrisch mit der Signalleitung SL verbunden, die sich unter der Verbindungsleitung CNL befindet, und das andere Ende der Verbindungsleitung CNL ist durch das andere Kontaktloch elektrisch mit der Kurzschlussbrücke verbunden, die sich unter der Verbindungsleitung CNL befindet. Deshalb sind die Signalleitung SL im Schwebezustand und die Kurzschlussbrücke SB durch die Verbindungsleitung CNL elektrisch verbunden.
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Der in 4 gezeigte Querschnitt zeigt einen Aufbau für den Prozess zum Testen, ob die Pixel defekt sind oder nicht, der nach dem Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgang der Signalleitungen SL durchgeführt wird, und dementsprechend ist die Verbindungsleitung CNL der 4 während des Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgangs der Signalleitungen SL nicht vorhanden. Während des Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgangs der Signalleitungen SL können die Kontaktlöcher und die oben beschriebenen Verbindungsleitungen CNL nicht vorhanden sein. Die erste Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1, die zweiten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL2, die Kurzschlussbrücken SB, die Gateisolationsschicht GI und die Passivierungsschicht PAS können also vor dem Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgang der Signalleitungen SL ausgebildet werden, und die oben beschriebenen Kontaktlöcher (der 4) und die Verbindungsleitungen CNL können nach Vollendung des Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgangs der Signalleitungen SL ausgebildet werden.
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Gemäß einer anderen Ausführungsform können die ersten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1, die zweiten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL2, die Kurzschlussbrücken SB, die Gateisolationsschicht GI und die Signalleitungen SL vor dem Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgang der Signalleitungen SL ausgebildet werden. Der Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgang der Signalleitungen SL wird an einem solchen Aufbau ausgeführt, und dann werden die Passivierungsschicht PAS, die Kontaktlöcher der 4 und die Verbindungsleitungen CNL nach Vollendung des Offenheits- und Kurzschlussprüfvorgangs der Signalleitungen SL ausgebildet.
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5 zeigt den Aufbau eines Pixels der 1.
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Das Substrat 100 der 1 kann ein Substrat 100 einer Anzeigevorrichtung mit lichtemittierenden Dioden sein. Hier kann ein Pixel ein Datenschaltelement Tr_DS, ein Ansteuerungsschaltelement Tr_DR, eine lichtemittierende Diode OLED und einen Speicherkondensator Cst umfassen.
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Das Datenschaltelement Tr_DS wird durch ein Gatesignal einer Gateleitung GL gesteuert und ist zwischen eine Datenleitung DL und eine Gate-Elektrode des Ansteuerungsschaltelements Tr_DR geschaltet.
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Das Ansteuerungsschaltelement Tr_DR wird durch ein Datensignal des Datenschaltelements Tr_DS gesteuert und ist zwischen eine Katode der lichtemittierenden Diode OLED und eine zweite Ansteuerungsleitung VSL geschaltet. Die zweite Ansteuerungsleitung VSL ist mit einer zweiten Hauptansteuerungsleitung MVSL verbunden, die eine zweite Ansteuerungsspannung VSS überträgt.
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Die lichtemittierende Diode OLED ist zwischen eine erste Ansteuerungsleitung VDL und eine Drainelektrode des Ansteuerungsschaltelements Tr_DR geschaltet. Hier ist die erste Ansteuerungsleitung VDL mit einer ersten Hauptansteuerungsleitung MVDL verbunden, die eine erste Ansteuerungsspannung VDD überträgt.
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Der Speicherkondensator CST ist zwischen eine Sourceelektrode und die Gate-Elektrode des Ansteuerungsschaltelements Tr_DR geschaltet.
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Hier können die oben beschriebenen Signalleitungen SL der 1, die Datenleitung DL, die erste Ansteuerungsleitung VDL und die zweite Ansteuerungsleitung VSL umfassen. Beispielsweise entspricht die Datenleitung SL der Signalleitung SL im Schwebezustand der 1, die erste Hauptansteuerungsleitung MVDL entspricht der ersten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 der 1, die zweite Hauptansteuerungsleitung MVSL entspricht der zweiten Hauptsignalübertragungsleitung MSL2 der 1, die erste Ansteuerungsleitung VDL entspricht der Signalleitung SL, die mit der ersten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 der 1 verbunden ist, und die zweite Ansteuerungsleitung VSL entspricht der Signalleitung SL, die mit der zweiten Hauptsignalübertragungsleitung MSL2 verbunden ist.
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Nachstehend wird ein Verfahren für das Detektieren von Defekten (kurzgeschlossen und offen) der Signalleitungen SL für Anzeigevorrichtungen gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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6A bis 6C zeigen das Verfahren zum Detektieren von Defekten der Signalleitungen SL für Anzeigevorrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung. 6B ist eine Schnittansicht entlang der Linie III-III' der 6A und 6C ist eine Schnittansicht entlang der Linie IV-IV' der 6A.
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Zuerst wird, wie in 6A gezeigt ist, eine Leitungsprüfvorrichtung 600 auf der oberen Oberfläche des Substrats 100 der 1 platziert. Die Leitungsprüfvorrichtung 600, wie sie in 6A gezeigt ist, umfasst eine Eingangstestsignal-Ausgabeeinheit 601 und eine Ausgangstestsignal-Erfassungseinheit 602. Die Eingangstestsignal-Ausgabeeinheit 601 ist über den oberen Oberflächen der einen Enden der Signalleitungen SL angeordnet, und die Ausgangstestsignal-Erfassungseinheit 602 ist über den oberen Oberflächen der anderen Enden der Signalleitungen SL angeordnet. Wie in den 6B und 6C gezeigt ist, kontaktieren die Eingangstestsignal-Ausgabeeinheit 601 und die Ausgangstestsignal-Erfassungseinheit 602 die Signalleitungen SL nicht direkt und sind um ein vorbestimmtes Intervall von der Signalleitung SL beabstandet angeordnet.
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Ein Eingangstestsignal, das von der Eingangstestsignal-Ausgabeeinheit 601 ausgegeben wird, wird an die Enden der Signalleitungen SL angelegt, wie in 6C gezeigt ist. Dann werden an den anderen Enden der jeweiligen Signalleitungen SL Ausgangstestsignale OIS erzeugt, wenn das Eingangstestsignal an den Enden der Signalleitungen SL angelegt wird. Die an den anderen Enden der Signalleitungen SL erzeugten Ausgangstestsignale OIS werden durch die Ausgangstestsignal-Erfassungseinheit 602 detektiert.
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6A zeigt Ausgangstestsignale OIS, die von der Ausgangstestsignal-Erfassungseinheit 602 erfasst werden, wenn keine der Signalleitungen SL defekt ist, also wenn keine der Signalleitungen SL kurzgeschlossen oder offen ist. Hier weisen die Ausgangstestsignale OIS, die an den Signalleitungen SL im Schwebezustand erfasst werden, also beispielsweise die Ausgangstestsignale OIS, die an den ungerade nummerierten Signalleitungen SL detektiert werden, eine vergleichsweise hohe Spitzenspannung auf. Auf der anderen Seite weisen die Ausgangstestsignale OIS, die an den Signalleitungen SL erfasst werden, die mit der ersten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 oder der zweiten Hauptsignalübertragungsleitung MSL2 verbunden sind, also beispielsweise die an den gerade nummerierten Signalleitungen SL erfassten Ausgangstestsignale OIS, eine relativ geringe Spitzenspannung auf. Der Grund hierfür liegt darin, dass die ungerade nummerierten Signalleitungen SL im Schwebezustand einen höheren Widerstand aufweisen als die gerade nummerierten Signalleitungen SL. Deshalb bilden die an den jeweiligen Signalleitungen SL erfassten Ausgangstestsignale OIS eine Sinuskurve mit einem gleichmäßigen Wert, wenn keine der Signalleitungen SL defekt ist, wie in 6A gezeigt ist.
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7 zeigt eine Wellenform eines Ausgangstestsignals OIS, wenn einige der Signalleitungen SL kurzgeschlossen oder offen sind.
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Wie in 7 gezeigt ist, werden Ausgangstestsignale OIS mit einem anderen Wert als in 6A von den Signalleitungen SL ausgegeben, wenn diese Signalleitungen kurzgeschlossen oder geöffnet sind. Beispielsweise, wenn alle Signalleitungen SL der 7 als erste bis elfte Signalleitungen SL1 bis SL11 sequentiell von links nach rechts definiert werden, weisen Spitzenspannungen von Ausgangstestsignalen OIS, die von den kurzgeschlossenen ersten und zweiten Signalleitungen SL1 und SL2 ausgegeben werden, kleinere Werte als Spitzenspannungen auf, die von den Signalleitungen im Normalzustand ausgegeben werden. Der Grund hierfür liegt darin, dass die erste und die zweite Signalleitung SL1 und SL2 kurzgeschlossen sind und dementsprechend die Widerstände der ersten und zweiten Signalleitung SL1 und SL2 reduziert sind. Im Gegensatz dazu weisen Spitzenspannungen der Ausgangstestsignale OIS, die von der offenen fünften und der offenen achten Signalleitung SL5 und SL8 ausgegeben werden, höhere Werte als diejenigen Spitzenspannungen auf, die von den Signalleitungen im Normalzustand ausgegeben werden. Der Grund hierfür liegt darin, dass die fünfte und die achte Signalleitung SL5 und SL8 offen sind und dementsprechend die Widerstände der fünften und achten Signalleitung SL5 und SL8 erhöht sind.
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Gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung können erste und zweite Referenzspannungen basierend auf den Ausgangstestsignalen OIS der jeweiligen Signalleitungen SL im Normalzustand festgelegt sein, wie in 6A gezeigt ist. Beispielsweise können die Signalleitungen im Normalzustand in einer anderen Anzeigetafel als der getesteten Anzeigetafel enthalten sein und können bekannterweise defektfrei sein. Das Mittel der maximalen Spitzenspannungen der Ausgangstestsignale OIS, die an den ungerade nummerierten Signalleitungen SL der 6A erfasst werden, können berechnet werden, und die berechnete mittlere maximale Spitzenspannung kann als erste Referenzspannung festgelegt werden. Weiter kann ein Mittel der minimalen Spitzenspannungen der Ausgangstestsignale OIS, die an den gerade nummerierten Signalleitungen SL der 6A erfasst werden, berechnet werden, und die berechnete mittlere minimale Spitzenspannung kann als eine zweite Referenzspannung festgelegt werden. Wenn eine Differenz zwischen der maximalen Spitzenspannung des Ausgangstestsignals, das an einer ungerade nummerierten Signalleitung SL erfasst wird, und der ersten Referenzspannung innerhalb eines vorbestimmten Bereichs liegt, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung SL nicht defekt ist. Wenn eine Differenz zwischen der maximalen Spitzenspannung des Ausgangstestsignals, das an einer ungerade nummerierten Signalleitung SL erfasst wird, und der ersten Referenzspannung gleich dem maximalen Wert des vorbestimmten Bereichs oder gleich dem minimalen Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung SL nicht defekt ist. Auf der anderen Seite, wenn eine Differenz zwischen der maximalen Spitzenspannung des Ausgangstestsignals, das an der ungerade nummerierten Signalleitung SL erfasst wird, und der ersten Referenzspannung größer als der maximale Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung SL offen ist. Des Weiteren, wenn eine Differenz zwischen der maximalen Spitzenspannung des Ausgangstestsignals, das an der ungerade nummerierten Signalleitung SL erfasst wird, und der ersten Referenzspannung kleiner als der minimale Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung SL kurzgeschlossen ist.
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Auf dieselbe Weise, wenn eine Differenz zwischen der minimalen Spitzenspannung des Ausgangstestsignals, das an einer gerade nummerierten Signalleitung SL erfasst wird, und der zweiten Referenzspannung innerhalb eines vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung SL nicht defekt ist. Wenn eine Differenz zwischen der minimalen Spitzenspannung des Ausgangstestsignals, das an einer gerade nummerierten Signalleitung SL erfasst wird, und der zweiten Referenzspannung gleich dem maximalen Wert des vorbestimmten Bereichs oder gleich dem minimalen Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung SL nicht defekt ist. Auf der anderen Seite, wenn eine Differenz zwischen der minimalen Spitzenspannung des Ausgangstestsignals, das an der gerade nummerierten Signalleitung SL erfasst wird, und der zweiten Referenzspannung größer als der maximale Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung SL kurzgeschlossen ist. Des Weiteren, wenn eine Differenz zwischen der minimalen Spitzenspannung des Ausgangstestsignals, das an der gerade nummerierten Signalleitung SL erfasst wird, und der zweiten Referenzspannung kleiner als der minimale Wert des vorbestimmten Bereichs ist, wird bestimmt, dass die entsprechende Signalleitung SL offen ist.
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Dieser Bestimmungsvorgang kann durch die Ausgangstestsignal-Erfassungseinheit 602 durchgeführt werden, wobei das Ergebnis auf einem zusätzlichen Monitor angezeigt werden kann.
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Das Eingangstestsignal der oben beschriebenen Eingangstestsignal-Ausgabeeinheit 601 kann ein Spannungssignal oder ein Stromsignal sein. 6A und 7 sind Ansichten, die zeigen, wenn das Eingangstestsignal ein Spannungssignal ist. Auch wenn ein Strom-Eingangstestsignal verwendet wird, können die Ausgangstestsignale OIS, die an den jeweiligen Signalleitungen SL erfasst werden, jedoch Wellenformen aufweisen, die ähnlich zu den in den 6A und 7 gezeigten sind.
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Gemäß alternativen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kann die Eingangstestsignal-Ausgabeeinheit 601 sowohl ein Spannungs-Eingangstestsignal als auch ein Strom-Eingangstestsignal ausgeben. Die Leitungsprüfvorrichtung 600 mit einer solchen Eingangstestsignal-Ausgabeeinheit 601 kann zuerst das Spannungs-Eingangstestsignal an die Signalleitungen SL anlegen, um zu bestimmen, ob die Signalleitungen kurzgeschlossen und/oder offen sind oder nicht, und kann dann das Strom-Eingangstestsignal an die Signalleitungen SL anlegen, um zu bestimmen, ob die Signalleitungen SL kurzgeschlossen und/oder offen sind oder nicht. In diesem Fall kann letztendlich basierend auf den Ergebnissen der beiden Beurteilungen bestimmt werden, ob die Signalleitungen SL kurzgeschlossen und/oder offen sind oder nicht. Die Ausgangstestsignal-Erfassungseinheit 602 vergleicht also die Ergebnisse der beiden Beurteilungen miteinander und informiert Bedienpersonal über Signalleitungen SL, von denen bestimmt wurde, dass sei im selben Diagnosezustand sind (der offene Zustand, der kurzgeschlossene Zustand oder normale Zustand) und über Signalleitungen SL, von denen bestimmt wurde, dass sie in verschiedenen Diagnosezuständen sind. Durch die zwei Beurteilungen kann eine Genauigkeit und Effizienz des Tests verbessert werden.
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Wenn die Fläche des Substrats 100 größer als die Fläche ist, die durch die Leitungsprüfvorrichtung 600 getestet werden kann, kann die Fläche des Substrats 100 in mehrere Bereich unterteilt werden, und die Leitungsprüfvorrichtung 600 kann zu den unterteilten Bereichen transferiert werden und den Test an den unterteilten Bereichen durchführen, um zu prüfen, ob die Signalleitungen SL defekt sind oder nicht.
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8 zeigt eine Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Die Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wie sie in 8 gezeigt ist, umfasst ein Substrat 100, auf dem mehrere Signalleitungen SL zum Übertragen von verschiedenen Signalen, die für Pixel erforderlich sind, ausgebildet sind.
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Das Substrat 100 ist in einen Anzeigebereich 101, einen Nichtanzeigebereich 102, einen ersten Kurzschlussbrückenbereich 103 und einen zweiten Kurzschlussbrückenbereich 104 unterteilt. Das in 8 gezeigte Substrat 100 ist ein unteres Substrat von zwei Substraten der Anzeigetafel und 8 zeigt kein oberes Substrat.
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Die Pixel und die Signalleitungen SL sind im Anzeigebereich 101 ausgebildet, wie oben beschrieben ist. Weiter sind erste bis vierte Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 im Anzeigebereich 101 ausgebildet. Alternativ können die ersten bis vierten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 im Nichtanzeigebereich 102 anstelle des Anzeigebereichs 101 ausgebildet sein.
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Der Nichtanzeigebereich 102 ist ein Bereich, in dem integrierte Treiberschaltungen zum Übertragen von Signalen an die mehreren Signalleitungen SL und die Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 installiert sind und die integrierten Treiberschaltungen werden nach Vollendung allen Testprozessen der Signalleitungen SL installiert.
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Mehrere erste Kurzschlussbrücken SB 1 sind im ersten Kurzschlussbrückenbereich 103 ausgebildet. Die ersten Kurzschlussbrücken SB 1 entladen statische Elektrizität, die in den Signalleitungen SL und den Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 erzeugt wird, nach draußen, wodurch verhindert wird, dass in den Pixeln ausgebildete Dünnschichttransistoren beschädigt werden. Des Weiteren dienen die ersten Kurzschlussbrücken SB 1 zum Zuführen von verschiedenen Testsignalen an die Pixel, die verwendet werden, um Defekte der Pixel zu detektieren. Der erste Kurzschlussbrückenbereich 103 wird nach einem finalen Test vom Substrat 100 entfernt. Beispielsweise wird der erste Kurzschlussbrückenbereich 103 vom Substrat 100 entfernt, indem das Substrat 100 entlang einer ersten Ritzlinie SCL1 der 8 geschnitten wird.
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Mehrere zweite Kurzschlussbrücken SB2 sind im zweiten Kurzschlussbrückenbereich 104 ausgebildet. Die zweiten Kurzschlussbrücken SB2 entladen statische Elektrizität, die in den Signalleitungen SL und den Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 erzeugt wird, nach draußen, wodurch verhindert wird, dass in den Pixeln ausgebildete Dünnschichttransistoren beschädigt werden. Weiter dienen die zweiten Kurzschlussbrücken SB2 zum Zuführen von verschiedenen Testsignalen an die Pixel, die verwendet werden, um Defekte der Pixel zu detektieren. Der zweite Kurzschlussbrückenbereich 104 wird nach dem finalen Test von Substrat 100 entfernt. Beispielsweise wird der zweite Kurzschlussbrückenbereich 104 vom Substrat 100 entfernt, indem das Substrat 100 entlang einer zweiten Ritzlinie SCL2 der 8 geschnitten wird.
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Der in 8 gezeigte Aufbau ist ausgelegt, um zu prüfen, ob die Signalleitungen SL kurzgeschlossen und/oder offen sind oder nicht. Zu diesem Zweck ist eine Signalleitung SL von beliebigen zwei benachbarten Signalleitungen SL mit zwei der Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 verbunden, und die andere Signalleitung SL wird in einem Schwebezustand gehalten, in dem die Signalleitung SL mit keiner anderen Leitung verbunden ist.
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Die n-ten Signalleitungen SL der mehreren Signalleitungen SL werden also im Schwebezustand gehalten und die verbleibenden Signalleitungen SL mit Ausnahme der n-ten Signalleitungen werden mit der ersten und dritten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL3 oder der zweiten und vierten Hauptsignalübertragungsleitung MSL2 und MSL4 verbunden. Hier ist n 2m-1 (m ist eine natürliche Zahl) oder 2m. Beispielsweise sind, wie in 8 gezeigt ist, die ungerade nummerierten Signalleitungen SL der mehreren Signalleitungen SL nicht mit irgendeiner Leitung verbunden und befinden sich im Schwebezustand, und die einen Enden der gerade nummerierten Signalleitungen sind abwechselnd mit der ersten oder der zweiten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL2 verbunden, und die anderen Enden der gerade nummerierten Signalleitungen sind abwechselnd mit der dritten oder vierten Hauptsignalübertragungsleitung MSL3 und MSL4 verbunden.
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Die ersten bis vierten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 und die ersten und zweiten Kurzschlussbrücke SB 1 und SB2 können aus einem Gatemetall ausgebildet sein, das im allgemeinen verwendet wird, um die Gateleitungen herzustellen. Das Gatemetall ist dasselbe wie in der ersten Ausführungsform.
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Die Signalleitungen SL können aus einem Source/Drain-Metall ausgebildet sein, das im allgemeinen verwendet wird, um die Datenleitungen herzustellen. Das Datenmetall ist dasselbe wie bei der ersten Ausführungsform.
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Die ersten bis vierten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 und die erste und die zweite Kurzschlussbrücke SB 1 und SB2 werden aus demselben Metall auf derselben Schicht durch einen Strukturierungsprozess ausgebildet.
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Die Signalleitungen SL werden aus demselben Metall auf derselben Schicht durch einen Strukturierungsprozess ausgebildet.
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Die ersten bis vierten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 und die Signalleitungen SL sind in verschiedenen Schichten angeordnet. Hier ist eine Gateisolationsschicht GI zwischen den ersten bis vierten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 und MSL4 und den Signalleitungen SL angeordnet.
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Die n-ten Signalleitungen SL (beispielsweise die ungerade nummerierten Signalleitungen SL) der mehreren Signalleitungen SL sind nicht mit den ersten bis vierten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4 verbunden. Die n-ten Signalleitungen SL im Schwebezustand sind also auf die Gateisolationsschicht GI ausgebildet und kreuzen die ersten bis vierten Hauptsignalübertragungsleitungen MSL1 bis MSL4. Auf der anderen Seite sind (n-1)ste Signalleitungen SL (beispielsweise die gerade nummerierten Signalleitungen SL) durch Kontaktlöcher, die die Gateisolationsschicht GI durchdringen, mit der ersten und der dritten Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und MSL3 oder der zweiten und der vierten Hauptsignalübertragungsleitung MSL2 und MSL4 verbunden.
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Aufgrund einer solchen Struktur kann bei der vorliegenden Ausführungsform präzise getestet werden, ob die jeweiligen Signalleitungen SL individuell kurzgeschlossen und/oder offen sind, auch wenn die mehreren Signalleitungen SL sehr nahe beieinander angeordnet sind. Da die benachbarten Signalleitungen SL unterschiedliche elektrische Verbindungen aufweisen, weisen die benachbarten Signalleitungen SL also unterschiedliche Widerstände auf. Da der Widerstand einer Signalleitung SL im Schwebezustand verschieden vom Widerstand einer Signalleitung SL ist, die mit einer Hauptsignalübertragungsleitung verbunden ist, sind also, wenn ein Eingangstestsignal mit demselben Wert an ein Ende einer jeden der benachbarten Signalleitungen SL angelegt wird, Ausgangstestsignale, die an anderen Enden der benachbarten Signalleitungen SL erfasst werden, wesentlich verschieden. Deshalb gibt es einen großen Unterschied zwischen den Ausgangstestsignalen OIS, auch wenn ein Rauschen aufgrund von Signalinterferenz zwischen den benachbarten Signalleitungen SL erzeugt wird, und dementsprechend können die Ausgangstestsignale OIS der jeweiligen Signalleitungen SL präzise erfasst werden. Dementsprechend kann bei der vorliegenden Erfindung präzise beurteilt werden, ob die jeweiligen Signalleitungen SL kurzgeschlossen und/oder offen sind oder nicht, indem die Werte der Ausgangstestsignale OIS, die an den jeweiligen Signalleitungen SL erfasst werden, individuell analysiert werden.
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9 zeigt den Aufbau der Anzeigetafel nach einem Offenheits- und Kurschlussprüfvorgang der Signalleitungen.
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Nach den Bestimmen durch den Offenheits- und Kurschlussprüfvorgang der jeweiligen Signalleitungen SL beim in 8 gezeigten Aufbau der Anzeigetafel, dass die jeweiligen Signalleitungen SL nicht defekt sind, wird ein Testprozess durchgeführt, um zu ermitteln, ob die jeweiligen Pixel defekt sind oder nicht. Um einen solchen Prozess durchzuführen, muss ein Testsignal an die Signalleitungen SL im Schwebezustand angelegt werden. Zu diesem Zweck muss vor dem Prozess eine elektrische Verbindung zwischen den Signalleitungen SL im Schwebezustand und den ersten und zweiten Kurzschlussbrücken SB 1 und SB2, wie sie in 9 gezeigt ist, hergestellt werden.
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Wie in 9 gezeigt ist, sind die Signalleitungen SL im Schwebezustand elektrisch mit den ersten und zweiten Kurzschlussbrücken SB 1 und SB2 durch erste und zweite Verbindungsleitungen CNL 1 und CNL2 verbunden.
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Die ersten und zweiten Verbindungsleitungen CNL1 und CNL2 können aus Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder einer Molybdänverbindung (MoX) ausgebildet sein.
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Die ersten und zweiten Verbindungsleitungen CNL1 und CNL2 und die Signalleitungen SL im Schwebezustand sind in verschiedenen Schichten angeordnet, wobei sich eine Passivierungsschicht zwischen ihnen befindet. Des Weiteren sind die ersten und die zweiten Verbindungsleitungen CNL1 und CNL2 und die ersten und zweiten Kurzschlussbrücken SB1 und SB2 in verschiedenen Schichten angeordnet, wobei sich die Gateisolationsschicht und die Passivierungsschicht zwischen ihnen befinden.
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Die einen Enden der ersten Verbindungsleitungen CNL1 sind mit den Signalleitungen SL im Schwebezustand durch mehrere Kontaktlöcher verbunden, die die Passivierungsschicht durchdringen. Weiter sind die anderen Enden der ersten Verbindungsleitungen CNL1 sind mit den ersten Kurzschlussbrücken SB1 durch Kontaktlöcher verbunden, die die Gateisolationsschicht und die Passivierungsschicht durchdringen.
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Die einen Enden der zweiten Verbindungsleitungen CNL2 sind mit den Signalleitungen SL im Schwebezustand durch Kontaktfläche verbunden, die die Passivierungsschicht durchdringen. Weiter sind die anderen Enden der zweiten Verbindungsleitungen CNL2 mit den zweiten Kurzschlussbrücken SB2 durch Kontaktlöcher verbunden, die die Gateisolationsschicht und die Passivierungsschicht durchdringen.
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In der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung übertragen die erste Hauptsignalübertragungsleitung MSL1 und die dritte Hauptsignalübertragungsleitung MSL3 dieselbe Spannung, also eine erste Ansteuerungsspannung, nach dem finalen Test. Auf dieselbe Weise übertragen die zweite Hauptsignalübertragungsleitung MSL2 und die vierte Hauptsignalübertragungsleitung MSL4 dieselbe Spannung, also eine zweite Ansteuerungsspannung VSS, nach dem finalen Test.
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Die Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird auf dieselbe Weise getestet wie die der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Nach dem Bestimmen, dass die Anzeigetafel nicht anormal ist, und zwar durch Vollendung des Prozesses zum Testen, ob die Pixel defekt sind oder nicht (2), wird ein anschließender Prozess zum Anhaften eines Datentreibers an die Anzeigetafel durchgeführt. Dies wird unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen im Detail beschrieben.
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10A und 10B zeigen einen Prozess zum Anhaften eines Datentreibers an die Anzeigetafel gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Zuerst wird, wie in 10A gezeigt ist, das Substrat 100 entlang der Ritzlinie SCL geschnitten. Dann wird das Substrat 100 entlang der Ritzlinie SCL in zwei Teile geteilt. Hier werden Teile der Verbindungsleitungen CNL, die an den Verbindungsstellen mit der Ritzlinie SCL vorhanden sind, abgetrennt. Von den zwei Teilen des Substrats 100 wird derjenige Teil des Substrats 100, wo die Kurzschlussbrücken SB ausgebildet sind, weggeworfen und nur der Teil des Substrats 100, wo der Anzeigebereich 101 ausgebildet ist, wird im nachfolgenden Prozess verwendet.
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Anschließend wird, wie in 10B gezeigt ist, ein Datentreiber DD an den geschnitten Teil des Substrats 100 angehaftet, wo der Anzeigebereich 101 ausgebildet ist. Solche ein Datentreiber DD kann an das Substrat 100 auf eine TCP (engl. tape carrier package, Klebebandträgerbaugruppen) -Weise angehaftet werden. Hier sind Ausgangsanschlüsse OT des Datentreibers DD jeweils mit den Verbindungsleitungen CNL verbunden, die am geschnittenen Teil des Substrats 100 verbleiben. Dadurch werden der Datentreiber DD und die Signalleitungen SL im Schwebezustand durch die Verbindungsleitungen CNL miteinander verbunden. Hier sind die Signalleitungen SL im Schwebezustand Datenleitungen zum Übertragen von Datensignalen an die Pixel.
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Wie oben beschrieben ist, sind die Verbindungsleitungen CNL und die Signalleitungen SL in verschiedenen Schichten angeordnet, wobei sich der Passivierungsfilm PAS zwischen ihnen befindet. Im Ergebnis ist eine Seite einer jeden Verbindungsleitung CNL elektrisch mit einer Seite einer jeden der Signalleitungen SL im Schwebezustand durch jedes der Kontaktlöcher verbunden, die den Passivierungsfilm PAS durchdringen. Weiter sind die anderen Seiten einer jeden Verbindungsleitung CNL elektrisch mit einem jeden Ausgangsanschluss OT verbunden.
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Weiter sind, wie oben beschrieben ist, die Signalleitungen SL und die Verbindungsleitungen CNL aus verschiedenen Materialien ausgebildet.
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Ein Datentreiber kann auf ähnliche Weise an die Anzeigetafel der 9 durch den in den 10A und 10B gezeigten Prozess angehaftet werden. Diese wird im Detail unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen beschrieben.
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11A bis 11B zeigen einen Prozess zum Anhaften eines Datentreibers an die Anzeigetafel gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Zuerst wird, wie in 11A gezeigt ist, das Substrat 100 entlang der ersten und zweiten Ritzlinie SCL1 und SCL2 geschnitten. Dann wird das Substrat 100 entlang der ersten und zweiten Ritzlinie SCL1 und SCL2 in drei Teile geteilt. Hier werden Bereiche der ersten Verbindungsleitungen CNL1 durchtrennt, die sich an den Kreuzungspunkten mit der ersten Ritzlinie SCL1 befinden, und Teile der zweiten Verbindungsleitungen CNL2 werden durchtrennt, die sich an den Kreuzungspunkten mit der zweiten Ritzlinie SCL2 befinden.
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Danach wird, wie in 11B gezeigt ist, ein Datentreiber DD an den oberen geschnittenen Teil des Substrats 100, wo der Anzeigebereich 101 ausgebildet ist, angehaftet. Ein solcher Datentreiber DD kann am Substrat 100 auf eine TCP-Weise angehaftet werden. Hier sind Ausgangsanschlüsse OT des Datentreibers DD jeweils mit den ersten Verbindungsleitungen CNLs verbunden, die am oberen geschnittenen Teil des Substrats 100 verbleiben. Dadurch sind der Datentreiber DD und die Signalleitungen SL im Schwebezustand durch die ersten Verbindungsleitungen CNL1 miteinander verbunden. Hier sind die Signalleitungen SL im Schwebezustand Datenleitungen zum Übertragen von Datensignalen an die Pixel.
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Wie oben beschrieben ist, sind die ersten Verbindungsleitungen CNL1 und die Signalleitungen SL in verschiedenen Schichten angeordnet, wobei sich der Passivierungsfilm PAS zwischen ihnen befindet. Im Ergebnis ist eine Seite einer jeden der ersten Verbindungsleitungen CNL1 mit einer Seite einer jeden der Signalleitungen SL im Schwebezustand durch jedes der Kontaktlöcher verbunden, die den Passivierungsfilm durchdringen. Weiter ist die andere Seite einer jeden ersten Verbindungsleitung CNL1 elektrisch mit jedem der Ausgangsanschlüsse OT verbunden.
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Weiter sind, wie oben beschrieben ist, die Signalleitungen SL und die ersten Verbindungsleitungen CNL1 aus verschiedenen Materialien ausgebildet.
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Weiter sind die zweiten Verbindungsleitungen CNL2 und Signalleitungen SL in verschiedenen Schichten angeordnet, wobei sich der Passivierungsfilm PAS zwischen ihnen befindet. Im Ergebnis ist eine Seite einer jeden der zweiten Verbindungsleitungen CNL2 elektrisch mit der anderen Seite einer jeden der Signalleitungen SL im Schwebezustand durch jedes der Kontaktlöcher verbunden, die den Passivierungsfilm PAS durchdringen.
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Weiter sind, wie oben beschrieben ist die Signalleitungen SL und die zweiten Verbindungsleitungen CNL2 aus verschiedenen Materialien ausgebildet.
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Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich ist, weisen eine Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen und ein Verfahren zum Detektieren von Defekten von Signalleitungen für Anzeigevorrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung die folgenden Vorteile auf.
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Ungerade nummerierte Signalleitungen der Signalleitungen der Anzeigetafel für Anzeigevorrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung befinden sich in einem Schwebezustand und ungerade nummerierte Signalleitungen sind mit Hauptsignalübertragungsleitungen verbunden. Dementsprechend weisen benachbarte Signalleitungen verschiedene Widerstände auf. Deshalb sind bei der vorliegenden Erfindung, auch falls die mehreren Signalleitungen sehr nahe beieinander liegen, wenn ein Eingangstestsignal mit demselben Wert an ein Ende einer jeden der benachbarten Signalleitungen angelegt wird, Ausgangstestsignale, die an den anderen Enden der benachbarten Signalleitungen erfasst werden, wesentlich unterschiedlich. Deshalb gibt es einen großen Unterschied zwischen zwei Ausgangstestsignalen, auch wenn ein Rauschen aufgrund von Signalinterferenz zwischen den benachbarten Signalleitungen erzeugt wird, und dementsprechend können die Ausgangstestsignale der jeweiligen Signalleitungen präzise erfasst werden. Damit kann gemäß der vorliegenden Erfindung präzise bestimmt werden, ob die jeweiligen Signalleitungen kurzgeschlossen und/oder offen sind, indem die Werte der Ausgangstestsignale, die an den jeweiligen Signalleitungen erfasst werden, individuell analysiert werden.