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ALLGEMEINER
STAND DER TECHNIK
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Gebiet der
Erfindung
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Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung betreffen im Allgemeinen ein integriertes
Elektronenstrahl-Prüfsystem
für Glasplattensubstrate.
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Beschreibung
der verwandten Technik
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Aktivmatrix-Flüssigkristallanzeigen
(LCDs) werden gewöhnlich
für Anwendungen
wie Computer- und Fernsehbildschirme, Mobiltelefonanzeigen, persönliche digitale
Assistenten (PDAs) und eine zunehmende Anzahl anderer Geräte benutzt.
Im Allgemeinen umfasst eine Aktivmatrix-LCD zwei flache Platten
oder Tafeln mit einer dazwischen liegenden Schicht von Flüssigkristallmaterialien.
Die flachen Platten sind in der Regel aus Glas, einem Polymer oder
einem anderen Material gefertigt, das zur Bildung elektronischer
Vorrichtungen darauf geeignet ist. Eine der flachen Platten weist
in der Regel eine darauf angeordnete leitfähige Schicht auf und kann als
ein Farbfilter bezeichnet werden. Die andere flache Platte weist
in der Regel eine Anordnung von Dünnschichttransistoren (TFTs)
auf, die jeweils mit einem Pixel gekoppelt sind. Jedes Pixel wird
durch gleichzeitiges Adressieren einer geeigneten Datenleitung und
Gateleitung aktiviert. Jeder TFT kann ein- oder ausgeschaltet werden,
um ein elektrisches Feld zwischen einem TFT und einem Abschnitt
des Farbfilters zu erzeugen. Das elektrische Feld verändert die
Ausrichtung des Flüssigkristallmaterials
und erzeugt ein Muster auf der LCD.
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Aufgrund
der hohen Pixeldichten, der nächsten
Nähe der
Gateleitungen und Datenleitungen und der Komplexität bei der
Bildung der TFTs besteht eine hohe Wahrschein lichkeit von Fehlern
während
des Herstellungsverfahrens. Zu bekannten Prüfverfahren für LCD-Bildschirme
mit hoher Dichte gehören
Kontaktprüfverfahren,
die eine Verbindung mit und Prüfung
jedes einzelnen Reihen-/Spaltenschnittpunktes innerhalb
der Bildschirmanordnung erfordern. Für solch eine Prüfung ist
eine fortgeschrittene Sondierungstechnologie notwenig, um zuverlässige Kontakte
unter den dicht angeordneten Pixelelementen zu erstellen. Ein LCD-Anordnungsbildschirm
mit hoher Dichte weist in der Regel 640 mal 480 Pixel auf und eine
typische Prüfzeit
für solch
einen Bildschirm beträgt
etwa 2 Stunden. Für
einen Farbfilter mit drei Hauptfarben, zum Beispiel rot, grün und blau,
erfordert ein typischer Prüfzyklus
zusätzliche
Verbindungen und zusätzliche
Prüfzeit.
Wenngleich die Prüfzeit und
-kosten notwenig sind, können
sie oft ein einschränkender
Faktor im Hinblick auf den kommerziellen Erfolg großer LCD-Anordnungsbildschirme
sein.
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Verfahren
des Standes der Technik zum Erkennen von Fehlern in der flachen
Platte mit der Anordnung von TFTs sind auf die Isolierung eines
bestimmten Bereichs der TFT-Anordnung eingeschränkt, ohne die präzise Stelle
des Fehlers zu ermitteln, was zur genauen Bestimmung der Position eines
Fehlers zusätzliche
Prüfungen
erforderlich macht. Nachdem der Fehler genau ermittelt worden ist,
kann der Fehler analysiert und repariert werden.
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Folglich
besteht im Stand der Technik ein Bedarf an einem schnelleren und
genaueren Prüfverfahren,
das die Produktkosten von LCD-Bildschirmen verringert.
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KURZDARSTELLUNG
DER ERFINDUNG
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Eine
oder mehrere Ausführungsformen
der Erfindung betreffen ein Verfahren zum Identifizieren eines Kurzschlusses
zwischen zwei oder mehr Signalleitungen auf einem Substrat mit mehreren
Dünnschichttransistoren
und mehreren Pixeln, die mit den Dünnschichttransistoren verbunden
sind. Das Verfahren weist das Ermitteln der zwei oder mehr Signalleitungen
mit dem Kurzschluss; Ermitteln eines oder mehrerer defekter Pixel,
die zwischen den zwei oder mehr Signalleitungen mit dem Kurzschluss
angeordnet sind; und Identifizieren einer Stelle der defekten Pixel
als die Kurzschlussstelle auf.
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In
einer anderen Ausführungsform
ist ein Verfahren zum Ermitteln eines Kurzschlusses zwischen mindestens
zwei Signalleitungen auf einem Flachbildschirmsubstrat mit mehreren
Pixeln, die mit mehreren Signalleitungen gekoppelt sind, beschrieben.
Das Verfahren weist das Anlegen einer ersten Spannung an einen Abschnitt
der mehreren Signalleitungen, Identifizieren eines Kurzschlusses
zwischen zwei Signalleitungen innerhalb der mehreren Signalleitungen,
Fühlen
einer Pixelspannung aus einem Abschnitt der mehreren Pixel, die
mit den mindestens zwei Signalleitungen verbunden sind, und Isolieren
der Stelle des Kurzschlusses auf Grundlage der Pixelspannung auf.
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In
einer anderen Ausführungsform
ist eine Vorrichtung zum Ermitteln eines Kurzschlusses zwischen
mindestens zwei Signalleitungen auf einem Flachbildschirmsubstrat
mit mehreren Pixeln, die mit mehreren Signalleitungen gekoppelt
sind, beschrieben. Die Vorrichtung weist eine Prüfsonde, eine Signalmessvorrichtung,
eine Energiequelle und eine Steuerung auf, die konfiguriert ist,
um die mindestens zwei oder mehr Signalleitungen mit dem Kurzschluss innerhalb
der mehreren Signalleitungen zu ermitteln, ein oder mehrere defekte
Pixel zu ermitteln, die zwischen den mindestens zwei Signalleitungen
mit dem Kurzschluss angeordnet sind, und die defekten Pixel als
die Stelle des Kurzschlusses zu identifizieren.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Zum
besseren Verständnis
der oben erwähnten
Merkmale der vorliegenden Erfindung folgt eine ausführlichere
Beschreibung der Erfindung, die oben kurz dargestellt worden ist,
mit Bezug auf Ausführungsformen,
von denen einige in den beiliegenden Zeichnungen dargestellt sind.
Man muss jedoch beachten, dass die beiliegenden Zeichnungen nur
typische Ausführungsformen
dieser Erfindung veranschaulichen und folglich ihren Schutzbereich
nicht einschränken
sollen, da die Erfindung andere, gleichermaßen wirksame Ausführungsformen
zulassen kann.
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1 (Stand
der Technik) stellt einen Abschnitt eines beispielhaften TFT-Substrats
dar.
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2 (Stand
der Technik) stellt einen Kurzschluss von Datenleitung zu Datenleitung
eines beispielhaften TFT-Substrats dar.
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3 zeigt
ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Identifizieren der Stelle
eines Kurzschlusses zwischen zwei Datenleitungen auf dem TFT-Substrat.
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4 zeigt
eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer Elektronenstrahl-Prüfvorrichtung,
die zur Elektronenstrahlprüfung
benutzt werden kann.
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5 ist
eine schematische Ansicht einer Ausführungsform eines Prüfsystems,
das zur Elektronenstrahlprüfung,
Ladungsmessung oder Spannungsbilderfassung benutzt werden kann.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
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1 zeigt
einen Abschnitt eines beispielhaften Flachbildschirmsubstrats 10 mit
mehreren Pixeln 12. Das Flachbildschirmsubstrat 10 ist
in der Regel ein flaches, rechteckiges Stück aus Glas, einem Polymermaterial
oder einem anderen geeigneten Material, auf dem elektronische Vorrichtungen
gebildet werden können.
Ein Dünnschichttransistor
(TFT) 18 ist mit jedem Pixel 12 verbunden. Das
Flachbildschirmsubstrat 10 weist ferner Datenleitungen 14 und
Gateleitungen 16 auf. Die Pixel 12, TFTs 18,
Datenleitungen 14 und Gateleitungen 16 können auf dem
Flachbildschirmsubstrat 10 durch chemische Dampfabscheidung,
durch Plasma unterstützte,
chemische Dampfabscheidung, photolithografische Verfahren oder andere
geeignete Herstellungsverfahren gebildet werden. In diesem Beispiel
ist jede zweite Datenleitung 14 entlang einer Kante des
Flachbildschirmsubstrats abgeschlossen, während die anderen Datenleitungen 14 entlang
der gegenüberliegenden,
jedoch parallelen Kante abgeschlossen sind. In ähnlicher Weise ist jede zweite
Gateleitung 16 entlang einer Kante des Flachbildschirmsubstrats
abgeschlossen, während
die anderen Gateleitungen 16 entlang der gegenüberliegenden,
jedoch parallelen Kante abgeschlossen sind. Andere Ausführungsformen
der Erfindung berücksichtigen
andere Abschlusskonfigurationen für die Datenleitungen 14 und die
Gateleitungen 16. Zum Beispiel können alle Datenleitungen 14 entlang
einer Kante abgeschlossen sein und alle Gateleitungen 16 können entlang
einer anderen Kante abgeschlossen sein, die zu der Kante senkrecht
ist, entlang derer alle Datenleitungen 14 abgeschlossen
sind.
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Während der
Prüfung
des Flachbildschirmsubstrats 10 können zwei oder mehr elektrostatische Entladungskurzschlussschienen 21 mit
dem Flachbildschirmsubstrat 10 an seinen Kanten gekoppelt sein.
Eine entsprechende elektrostatische Entladungskurzschlussschiene 21 schließt alle
Datenleitungen 14 oder Gateleitungen 16 kurz,
die an einer entsprechenden Kante abgeschlossen sind. Für ein verwobenes
Flachbildschirmsubstrat sind Datenleitungen an zwei gegenüberliegenden
Kanten abgeschlossen, während
Gateleitungen an einer oder an beiden der anderen zwei Kanten abgeschlossen sind.
Folglich sind drei oder vier Kurzschlussschienen enthalten, eine
pro Kante des Flachbildschirmsub strats. Andere Ausführungsformen
berücksichtigen
unterschiedliche Kurzschlussschienenkonfigurationen, zum Beispiel
zwei oder mehr Kurzschlussschienen, die mit allen Datenleitungen 14 entlang
einer Kante gekoppelt sind, und zwei oder mehr Kurzschlussschienen,
die mit den Gateleitungen 16 entlang der anderen Kante
gekoppelt sind, die zu der Kante senkrecht sind, an welcher die
Kurzschlussschienen mit dem Datenleitungen gekoppelt sind. Bis zur
Gravur und Endprüfung
des LCD-Bildschirms bleiben die Kurzschlussschienen 21 an
dem Flachbildschirmsubstrat 10 befestigt, um einen elektrostatischen
Ladungsaufbau zu vermeiden. Eine längere Trennung des Flachbildschirmsubstrats 10 von
der Kurzschlussschiene 21 oder einer anderen Erdungsvorrichtung
kann bewirken, dass sich die elektrostatische Ladung ansammelt und
die aktive Plattenschaltung beschädigt.
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Aufgrund
der hohen Pixeldichten, der nächsten
Nähe der
Gateleitungen und Datenleitungen und der Komplexität bei der
Bildung der TFTs besteht eine hohe Wahrscheinlichkeit von Defekten
während
des Herstellungsverfahrens. Zu TFT-Defekten auf Flachbildschirmsubstraten
gehören
Pixeldefekte und/oder Leitungsdefekte. Pixeldefekte können zu
einem Kurzschluss an der Pixelgateleitung und zu einem Kurzschluss
an der Pixeldatenleitung führen.
Zu Leitungsdefekten können
Kurzschlüsse
von Leitung zu Leitung (zum Beispiel Datenleitung zu Datenleitung oder
Gateleitung zu Gateleitung), Kurzschlüsse zwischen unterschiedlichen
Leitungen (zum Beispiel Datenleitung zu Gateleitung) und offene
Leitungsdefekte gehören.
Andere flache Schaltungsplatten wie PC-Platinen und Mehrchipmodule
können
gemäß den verschiedenen
hierin beschriebenen Ausführungsformen
ebenfalls geprüft
werden.
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Kurzschlüsse von
Datenleitung zu Datenleitung können
durch Anlegen einer ersten Spannung einer ersten Polarität an die
geraden Datenleitungen und einer zweiten Spannung einer anderen
Polarität an
die ungeraden Datenlei tungen identifiziert werden. Zum Beispiel
stellt 2 einen Kurzschluss von Datenleitung zu Datenleitung
dar, wenn ein +10-Volt-Signal an die Kurzschlussschiene 21a angelegt
wird und ein –10-Volt-Signal
an die Kurzschlussschiene 21c angelegt wird. Zur Vereinfachung
sind nur die Datenleitungsverbindungen dargestellt. Wie dargestellt,
tritt der Kurzschluss zwischen Datenleitung 14c und Datenleitung 14d auf. Der
Kurzschluss kann zwischen Pixeln positioniert sein, wie durch die
Linie 210 dargestellt. Der Kurzschluss kann auch unterhalb
eines Pixels positioniert sein, wie durch die gestrichelte Linie 220 dargestellt.
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3 zeigt
ein Flussdiagramm eines Verfahrens 300 zum Identifizieren
der Stelle eines Kurzschlusses zwischen zwei Datenleitungen auf
dem Flachbildschirmsubstrat 10 gemäß einer oder mehrerer Ausführungsformen
der Erfindung. Obwohl Ausführungsformen
der Erfindung mit Bezug auf die Identifizierung eines Kurzschlusses
zwischen zwei Datenleitungen beschrieben sind, berücksichtigen andere
Ausführungsformen
die Identifizierung eines Kurzschlusses zwischen zwei beliebigen
Signalleitungen, zum Beispiel zwischen einer Datenleitung und einer
Gateleitung oder zwischen zwei Gateleitungen.
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In
Schritt 310 wird bestimmt, ob zwischen zwei Datenleitungen
ein Kurzschluss existiert, und in einer Ausführungsform wird ein erstes
Signalprüfmuster
auf dem Flachbildschirmsubstrat 10 ausgeführt. Das
erste Signalprüfmuster
kann jedes beliebige Muster sein, das dem Durchschnittsfachmann
im Allgemeinen bekannt ist. In dieser Ausführungsform weist das erste
Signalprüfmuster
Folgendes auf: (1) Öffnen
der Gates aller TFTs, die mit jedem Pixel verbunden sind, (2) Anlegen
einer negativen Spannung an die ungeradzahligen Datenleitungen und
einer positiven Spannung an die geradzahligen Datenleitungen (3)
Schließen
der Gates aller TFTs, die mit jedem Pixel verbunden sind, (4) Anlegen
einer positiven Spannung an die ungeradzahligen Datenlei tungen und
einer negativen Spannung an die geradzahligen Datenleitungen, und
(5) Bestimmen, ob die Spannung jedes Pixels, das mit jeder geradzahligen
Datenleitung verbunden ist, im Wesentlichen die gleiche ist, und
ob die Spannung jedes Pixels, das mit jeder ungeradzahligen Datenleitung
verbunden ist, im Wesentlichen die gleiche ist. Wenn die Spannung
jedes Pixels, das mit einer Datenleitung verbunden ist, im Wesentlichen
nicht die gleiche ist, dann hat die Datenleitung einen Kurzschluss,
wie oben erläutert.
Die Spannung des Pixels kann durch Elektronenstrahlprüfung, Spannungsbilderfassung
oder Ladungsmessung gemessen werden. Folglich ist das erste Signalprüfmuster
konfiguriert, um zu bestimmen, ob eine der Datenleitungen einen
Kurzschluss aufweist.
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In
einer anderen Ausführungsform
kann vor der Ausführung
des ersten Signalprüfmusters
eine Sondenprüfung
durchgeführt
werden, um zu bestimmen, ob ein Kurzschluss auf dem Substrat vorliegt.
In dieser Ausführungsform
kann der Widerstand zwischen gegenüberliegenden Kurzschlussschienen
gemessen werden. Eine hohe Widerstandsmessung zwischen gegenüberliegenden
Kurzschlussschienen zeigt das Nichtvorhandensein eines Kurzschlusses zwischen
Datenleitungen an. Andererseits zeigt eine niedrige Widerstandsmessung
zwischen gegenüberliegenden
Kurzschlussschienen das Vorhandensein eines Kurzschlusses zwischen
Datenleitungen an.
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Wenn
zwischen mindestens zwei Datenleitungen ein Kurzschluss existiert,
dann sind ein oder mehrere Pixel zwischen den kurzgeschlossenen
Datenleitungen ermittelt (Schritt 320). In einer Ausführungsform
wird ein zweites Signalprüfmuster
auf dem Flachbildschirmsubstrat 10 ausgeführt. Das
zweite Signalprüfmuster
kann jedes beliebige Muster sein, das dem Durchschnittsfachmann
im Allgemeinen bekannt ist. In dieser Ausführungsform weist das zweite Signalprüfmuster
Folgendes auf: (1) Öffnen
der Gates aller TFTs, die mit jedem Pixel verbunden sind, (2) Anlegen
einer negativen Spannung an die ungeradzahligen und geradzahligen
Datenleitungen, (3) Schließen
der Gates aller TFTs, die mit jedem Pixel verbunden sind, (4) Anlegen
einer positiven Spannung an die ungeradzahligen und geradzahligen
Datenleitungen und (5) Messen der Spannung jedes Pixels. Wenn die
Spannung eines Pixels positiv ist, dann hat dieses Pixel einen Kurzschluss,
das heißt, dieses
Pixel kann mit einer der Datenleitungen, die einen Kurzschluss aufweisen,
kurzgeschlossen sein oder kann mit einer leitfähigen Schicht unterhalb des Pixels
gekoppelt sein. Die Spannung jedes Pixels kann durch Elektronenstrahlprüfung, Spannungsbilderfassung,
Ladungsmessung und dergleichen gemessen werden. Folglich ist das
zweite Signalprüfmuster
konfiguriert, um ein oder mehrere defekte Pixel zu ermitteln, die
mit den kurzgeschlossenen Datenleitungen verbunden sind.
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In
Schritt 330 wird die Stelle der defekten Pixel als die
Stelle des Kurzschlusses zwischen den zwei Datenleitungen identifiziert.
Die derzeitige Technologie zur Ermittlung eines Kurzschlusses zwischen Datenleitungen
ist oft auf die Ermittlung der kurzgeschlossenen Datenleitungen
und nicht auf die Kurzschlussstelle beschränkt. Verschiedene Ausführungsformen
der Erfindung sind jedoch konfiguriert, um die Stelle des Kurzschlusses
zu identifizieren, was eine effizientere Reparatur des Kurzschlusses ermöglicht.
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4 zeigt
eine schematische Ansicht eines Elektronenstrahl-Prüfsystems 400,
das zur Elektronenstrahlprüfung
in Verbindung mit einer oder mehreren Ausführungsformen der Erfindung
beispielhaft benutzt werden kann. Das Elektronenstrahl-Prüfsystem 400 ist
ein integriertes System, das einen minimalen Raum erfordert und
große
Glasplattensubstrate bis zu und von über 1,9 Meter mal 2,2 Meter
prüfen kann.
Das Elektronenstrahl-Prüfsystem 400 weist eine
Prüfsonden-Speicheranordnung 402,
eine Prüfson den-Transportanordnung 403,
eine Schleusenkammer 404 und eine Prüfkammer 450 auf. Die
Prüfsonden-Speicheranordnung 402 beherbergt
eine oder mehrere Prüfsonden 405,
die sich zur einfachen Benutzung und Abfrage in der Nähe der Prüfkammer 450 befinden.
Vorzugsweise ist die Prüfsonden-Speicheranordnung 402 unterhalb
der Prüfkammer 450 angeordnet,
so dass der Reinraum verringert wird, der für einen kontaminantenfreien
und effizienten Betrieb notwendig ist. Die Prüfsonden-Speicheranordnung 402 hat
vorzugsweise Ausmaße,
die denjenigen der Prüfkammer 450 ähneln und
ist auf einem Hauptgestell 410 angeordnet, welches die
Prüfkammer 450 stützt. Die
Prüfsonden-Speicheranordnung 402 weist
eine Ablage 420 auf, die über dem Hauptgestell 410 angeordnet
ist, um die eine oder die mehreren Prüfsonden 405 zu stützen. Die
Prüfsonden-Speicheranordnung 402 kann
ferner eine Schiebetür 430 aufweisen,
die den Speicherbereich verschließen und die gespeicherten Prüfsonden 405 schützen kann,
wenn diese nicht benutzt werden.
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Das
Elektronenstrahl-Prüfsystem 400 weist ferner
vier Elektronenstrahlprüfsäulen 425A, 425B, 425C und 425D auf.
Die Elektronenstrahlprüfsäulen 425A/B/C/D
sind auf einer oberen Fläche
der Prüfkammer 450 angeordnet.
Während
der Elektronenstrahlprüfung
werden mittels einer oder mehrerer Prüfsonden bestimmte Spannungen
an die TFTs angelegt und der Elektronenstrahl aus einer Elektronenstrahlprüfsäule wird
auf die einzelnen zu untersuchenden Pixel gerichtet. Sekundäre Elektronen,
die von den Pixeln emittiert werden, werden gefühlt, um die TFT-Spannungen
zu bestimmen. Zusätzliche
Einzelheiten hinsichtlich der Prüfung
von Pixeln und des Betriebs und der Merkmale des beispielhaften
Elektronenstrahl-Prüfsystems 400 sind
in der gemeinsam übertragenen
US-Patentschrift Nr. 6,833,717 offenbart, die am 21. Dezember 2004
unter der Bezeichnung „Electron
Beam Test System with Integrated Substrate Transfer Module" erteilt wurde und
in ihrer Gesamtheit durch Verweis als Bestandteil hierin aufgenommen
wird.
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5 ist
eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer Prüfvorrichtung 500 zum
Bestimmen der Stelle eines Kurzschlusses auf einem Flachbildschirmsubstrat 10.
Die Prüfvorrichtung 500 weist
eine Schaltschnittstelle 510 auf, die mit dem zu prüfenden Flachbildschirmsubstrat 10 über eine
Prüfsonde 515 gekoppelt
ist, die mit den Kurzschlussschienen 51a und 51b gekoppelt
ist. Die Schaltschnittstelle 510 überträgt Signale aus einer Mustererzeugungsvorrichtung 520 und/oder
Messvorrichtung 522 auf die Datenleitungen 514 und
die Gateleitungen 516, die mit den entsprechenden Kurzschlussschienen
verbunden sind. Wahlweise überträgt die Schaltschnittstelle 510 Signale
von den Datenleitungen 514 und Gateleitungen 516 an
die Messvorrichtung 522 und/oder Mustererzeugungsvorrichtung 520.
Eine Steuerung 505 ist auch bereitgestellt, um zu steuern,
ob der Mustergenerator 520 oder die Messvorrichtung 522 mit
dem Flachbildschirmsubstrat 10 gekoppelt ist. Eine Signalmessvorrichtung 525 ist
auch bereitgestellt, um Spannung und/oder Strom entlang der Datenleitungen 514 und/oder
der Gateleitungen 516 zu fühlen. Ein optionaler Sensor 530 kann
auch benutzt werden, um Signale aus den Datenleitungen 514 und/oder
den Gateleitungen 516 zu erkennen. Die Signalmessvorrichtung 525 kann
eine Elektronenstrahlsäule,
eine Ladungsmessvorrichtung oder eine Spannungsbilderfassungsvorrichtung
sein. Der Sensor 530 kann ein sekundärer Elektronensensor sein,
der geeignet ist, um Rückstreuelektronen
aus dem Flachbildschirmsubstrat 10 zu fühlen. Als Alternative kann
der Sensor 530 ein Sensor sein, der konfiguriert ist, um jede
beliebige Signalmessvorrichtung, die im Stand der Technik bekannt
ist, zu ergänzen.
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Während des
Betriebs ist die Steuerung 505 mit dem Flachbildschirmsubstrat 10 durch
die Prüfsonde 515 gekoppelt.
Die Prüfsonde 515 steht
mit einer Energiequelle 508 in Verbindung, die zum Beispiel
ein Signal für
jeden der Kontaktpunkte auf der Prüfsonde 515 bereitstellen
kann. Die Kontaktpunkte sind mit entsprechenden Datenleitungen 515 und Gateleitungen 516 verbunden,
die mit den entsprechenden Kurzschlussschienen 51a und 51b gekoppelt
sind. Gemäß einer
oder mehrerer Ausführungsformen
der Erfindung ist die Steuerung 505 geeignet, um die Signale
zu oder aus dem Flachbildschirmsubstrat 10 bereitzustellen
und/oder zu messen.
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Wenngleich
die vorstehende Beschreibung Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung betrifft, sind andere und weitere Ausführungsformen der Erfindung
denkbar, ohne den Schutzbereich davon zu verlassen, und der Schutzbereich
davon ist durch die folgenden Ansprüche definiert.
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Zusammenfassung
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Ein
Verfahren und eine Vorrichtung zum Identifizieren einer Stelle eines
Kurzschlusses zwischen zwei oder mehr Signalleitungen auf einem Substrat
mit mehreren Dünnschichttransistoren
und mehreren Pixeln, die mit den Dünnschichttransistoren verbunden
sind. Das Verfahren beinhaltet die Ermittlung der zwei oder mehr
Signalleitungen mit dem Kurzschluss, die Ermittlung eines oder mehrerer
defekter Pixel, die zwischen den zwei oder mehr Signalleitungen
mit dem Kurzschluss angeordnet sind und die Identifizierung einer
Stelle von defekten Pixeln als Stelle des Kurzschlusses.