DE102012104270A1 - Halbleiterkomponente und Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente - Google Patents

Halbleiterkomponente und Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente Download PDF

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Abstract

Bei verschiedenen Ausführungsformen kann eine Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) aufweisen eine Halbleiterschicht (101), welche eine Vorderseite (101a) und eine Rückseite (101b) aufweist; mindestens ein elektronisches Element (102), welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht (101) ausgebildet ist; mindestens eine Durchkontaktierung (103), welche in der Halbleiterschicht (101) ausgebildet ist und sich von der Vorderseite (101a) zu der Rückseite (101b) der Halbleiterschicht (101) erstreckt; eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104), welche über zumindest einem Teil der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) angeordnet ist, um das mindestens eine elektronische Element (102) mit der mindestens einen Durchkontaktierung (103) zu verbinden; eine Kappe (105), welche über der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) angeordnet ist und mechanisch mit der Halbleiterschicht (101) verbunden ist, wobei die Kappe (105) als ein Vorderseiten-Träger der Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) konfiguriert ist; eine Rückseiten-Metallisierungsschicht (106), welche über zumindest einem Teil der Rückseite (101b) der Halbleiterschicht (101) angeordnet und elektrisch mit der mindestens einen Durchkontaktierung (103) verbunden ist.

Description

  • Verschiedene Ausführungsformen betreffen allgemein eine Halbleiterkomponente und ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente.
  • Heutzutage werden Halbleiterkomponenten oder Chips üblicherweise hergestellt, indem Scheiben von Halbleitermaterial, die als Wafer bezeichnet werden, verwendet werden. Dünne Chips können nicht nur am vorderen Ende des Produktionsprozesses eine große Herausforderung darstellen, da infolge der abnehmenden Dicke die Wafer sehr empfindlich werden, leicht zerbrechen und sich wegen ihrer niedrigen Steifigkeit stark verbiegen. Darum sind Vorrichtungen und Verfahren wünschenswert, welche die sichere Handhabung von dünnen Halbleiterkomponenten oder Chips ermöglichen.
  • Eine Halbleiterkomponente kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen aufweisen: eine Halbleiterschicht, welche eine Vorderseite und eine Rückseite aufweist; mindestens ein elektronisches Element, welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht ausgebildet ist; mindestens eine Durchkontaktierung, welche in der Halbleiterschicht ausgebildet ist und sich von der Vorderseite zu der Rückseite der Halbleiterschicht erstreckt; eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht, welche über zumindest einem Teil der Vorderseite der Halbleiterschicht ausgebildet ist, um das mindestens eine elektronische Element mit der mindestens einen Durchkontaktierung zu verbinden; eine Kappe, die über der Vorderseite der Halbleiterschicht angeordnet ist und mechanisch mit der Halbleiterschicht verbunden ist, wobei die Kappe als ein Vorderseiten-Träger der Halbleiterkomponente konfiguriert ist; eine Rückseiten-Metallisierungsschicht, welche über zumindest einem Teil der Rückseite der Halbleiterschicht angeordnet und elektrisch mit der mindestens einen Durchkontaktierung verbunden ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Rückseiten-Metallisierungsschicht dazu dienen, das mindestens eine elektronische Element elektrisch zu kontaktieren.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht eine Nutzschicht der Halbleiterkomponente sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht Silizium aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 70 μm aufweisen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 50 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 30 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 15 μm bei manchen Ausführungsformen. Alternativ können andere Werte der Dicke der Halbleiterschicht möglich sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Vorderseiten-Metallisierungsschicht mindestens eine leitende Spur aufweisen, welche mit dem mindestens einen elektronischen Element und der mindestens einen Durchkontaktierung verbunden ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente eine dielektrische Schicht aufweisen, welche über Teilen der Vorderseite der Halbleiterschicht angeordnet ist, und die Vorderseiten-Metallisierungsschicht kann zwischen Abschnitten der dielektrischen Schicht angeordnet sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann eine obere Fläche der Vorderseiten-Metallisierungsschicht auf einer niedrigeren Ebene oder auf derselben Ebene wie eine obere Fläche der dielektrischen Schicht angeordnet sein bezüglich der Vorderseite der Halbleiterschicht.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe an der oberen Fläche der dielektrischen Schicht angebracht sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe eine Aussparung, bzw. Einbuchtung aufweisen und kann mechanisch mit der Halbleiterschicht durch einen oder mehr gratförmige Vorsprünge der Kappe, die an einer Kante oder Kanten der Aussparung angeordnet sind.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe ein elektrisch isolierendes Material aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das elektrisch isolierende Material mindestens eines der folgenden aufweisen oder daraus hergestellt sein: Glas, ein Kunststoffmaterial oder Kunststofflaminat, eine Glasfaserepoxidharzverbindung, eine Teflonverbindung.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe eine Dicke in einem Bereich von ungefähr 50 μm bis zu ungefähr 1000 μm aufweisen.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe ein opakes Material aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente eine Passivierungsschicht aufweisen, welche zwischen der Vorderseiten-Metallisierungsschicht und der Kappe angeordnet ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe ein elektrisch leitendes Material aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das elektronische Element mindestens eines der folgenden aufweisen oder sein: ein Transistor, eine Diode, ein integrierter Schaltkreis.
  • Eine Halbleiterkomponenten-Anordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen eine Halbleiterkomponente gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen und einen Leiterrahmen, der mit der Kappe der Halbleiterkomponente verbunden ist.
  • Eine Halbleiterkomponenten-Anordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen eine Halbleiterkomponente gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen und ein Kühlelement, welches mit der Kappe des Halbleiterelements verbunden ist.
  • Eine Halbleiterkomponente gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen: eine Halbleiter-Nutzschicht, welche ein elektronisches Element aufweist, das zumindest teilweise darin ausgebildet ist, und das eine Durchkontaktierung aufweist, die sich von einer Vorderseite zu einer Rückseite der Halbleiterschicht erstreckt; eine Vorderseiten-Metallisierung an oder über der Vorderseite der Halbleiterschicht und das elektronische Element elektrisch mit der Durchkontaktierung verbindend; einen Vorderseiten-Träger auf oder über der Vorderseiten-Metallisierungsschicht und mechanisch mit der Halbleiterschicht verbunden; eine Rückseiten-Metallisierungsschicht auf oder über der Rückseite der Halbleiterschicht und elektrisch mit der Durchkontaktierung verbunden, um das mindestens eine elektronische Element elektrisch zu kontaktieren.
  • Ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen: Bereitstellen einer Halbleiterschicht, welche eine Vorderseite und eine Rückseite aufweist, wobei die Halbleiterschicht mindestens ein elektronisches Element aufweist, welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht ausgebildet ist; Ausbilden mindesten einer Durchkontaktierung in der Halbleiterschicht, sich von der Vorderseite zur Rückseite der Halbleiterschicht erstreckend; Ausbilden einer Vorderseiten-Metallisierungsschicht über zumindest einem Teil der Vorderseite der Halbleiterschicht, um das mindestens eine elektronische Element mit der mindestens einen Durchkontaktierung zu verbinden; Anordnen einer Kappe über der Vorderseite der Halbleiterschicht, so dass die Kappe mechanisch mit der Halbleiterschicht verbunden ist, wobei die Kappe als ein Vorderseiten-Träger der Halbleiterkomponente konfiguriert ist; Ausbilden einer Rückseiten-Metallisierungsschicht über zumindest einem Teil der Rückseite der Halbleiterschicht, wobei die Rückseiten-Metallisierungsschicht elektrisch mit der Durchkontaktierung verbunden ist, um das mindestens eine elektronische Element elektrisch zu kontaktieren.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Ausbilden der mindestens einen Durchkontaktierung in der Halbleiterschicht aufweisen: Ausbilden mindestens eines sich von der Vorderseite zur Rückseite der Halbleiterschicht erstreckenden Lochs in der Halbleiterschicht; elektrisches Isolieren des mindestens einen Lochs gegenüber der Halbleiterschicht; Füllen des mindestens einen Lochs mit elektrisch leitendem Material.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das mindestens eine Loch durch Verwenden eines Ätzverfahrens ausgebildet werden.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Ätzverfahren ein Trockenätzverfahren sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Ausbilden der Vorderseiten-Metallisierungsschicht aufweisen: Ausbilden einer dielektrischen Schicht über der Vorderseite der Halbleiterschicht; Strukturieren der dielektrischen Schicht, so dass diese mindestens eine Aussparung, bzw. Einbuchtung aufweist; Ablagern elektrisch leitenden Materials in der mindestens einen Aussparung, um mindestens eine leitende Spur der Vorderseiten-Metallisierungsschicht in der mindestens einen Aussparung auszubilden.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Ablagern des elektrisch leitenden Materials in der mindestens einen Aussparung aufweisen Ablagern des elektrisch leitenden Materials, so dass eine obere Fläche der mindestens einen leitenden Spur der Vorderseiten-Metallisierungsschicht bezüglich der Vorderseite der Halbleiterschicht auf einer niedrigeren Ebene oder auf derselben Ebene wie eine obere Fläche der strukturierten dielektrischen Schicht angeordnet ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Anordnen der Kappe über der Vorderseite der Halbleiterschicht das Bonden der Kappe an die strukturierte dielektrische Schicht aufweisen.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe durch anodisches Bonden, adhäsives Bonden oder Glasfritten gebondet werden.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Bonden der Kappe zumindest unter niedrigen Vakuumbedingungen ausgeführt werden.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe eine Aussparung aufweisen, und das Anordnen der Kappe über der Vorderseite der Halbleiterschicht kann aufweisen das Anordnen der Kappe, so dass die Kappe mechanisch mit der Halbleiterschicht durch einen oder mehr an einer Kante oder Kanten der Aussparung angeordnete gratförmige Vorsprünge der Kappe verbunden ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Bereitstellen der Halbleiterschicht aufweisen das Bereitstellen eines Wafers, welcher einen Trägerabschnitt und die über dem Trägerabschnitt angeordnete Halbleiterschicht aufweist, und nach dem Anordnen der Kappe und vor dem Ausbilden der Rückseiten-Metallisierungsschicht kann der Wafer gedünnt werden, um den Trägerabschnitt des Wafers zu entfernen und die Halbleiterschicht freizulegen.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht, die nach dem Dünnen des Wafers erzielt ist, eine Dicke in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 70 μm aufweisen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 50 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 30 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 15 μm bei manchen Ausführungsformen. Alternativ können andere Werte der Dicke der Halbleiterschicht nach dem Dünnen möglich sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann ein Vereinzelungsverfahren nach dem Ausbilden der Rückseiten-Metallisierungsschicht ausgeführt werden.
  • Ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen: Bereitstellen eines Wafers, welcher einen Trägerabschnitt und eine Nutzschicht aufweist, welche auf oder über dem Trägerabschnitt angeordnet ist und ein elektronisches Element aufweist, welches zumindest teilweise darin ausgebildet ist; Ausbilden einer Durchkontaktierung in der Nutzschicht; Ausbilden einer Metallisierungsschicht über einer Vorderseite des Wafers, wobei die Metallisierungsschicht das elektronische Element mit der Durchkontaktierung elektrisch verbindet; Bonden einer Kappe an die Vorderseite des Wafers; Dünnen des Wafers von einer Rückseite des Wafers, um den Trägerabschnitt zu entfernen und die Nutzschicht des Wafers freizulegen; Ausbilden einer Metallisierungsschicht über der Rückseite des gedünnten Wafers, um das elektronische Element elektrisch zu kontaktieren; Anwenden eines Vereinzelungsverfahrens auf den gedünnten Wafer mit der gebondeten Kappe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Halbleiterkomponente bereitgestellt sein. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente aufweisen eine Halbleiterschicht, aufweisend mindestens ein elektronisches Element, welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht ausgebildet ist, und aufweisend mindestens eine Durchkontaktierung, welche sich von einer Vorderseite zu einer Rückseite der Halbleiterschicht erstreckt. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente aufweisen eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht, welche über zumindest einem Teil der Vorderseite der Halbleiterschicht ausgebildet ist, um das mindestens eine elektronische Element mit der mindestens einen Durchkontaktierung zu verbinden. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente aufweisen eine Kappe, die über der Vorderseite der Halbleiterschicht angeordnet und mechanisch mit der Halbleiterschicht verbunden ist. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe als ein Vorderseiten-Träger der Halbleiterkomponente konfiguriert sein. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente aufweisen eine Rückseiten-Metallisierungsschicht, welche über zumindest einem Teil der Rückseite der Halbleiterschicht angeordnet und elektrisch mit der mindestens einen Durchkontaktierung verbunden ist, um das mindestens eine elektronische Element elektrisch zu kontaktieren.
  • Obwohl die Erfindung insbesondere mit Bezug auf bestimmte Ausführungsformen gezeigt und beschrieben wurde, sollte vom Fachmann zu verstehen sein, dass verschiedene Änderungen bezüglich Form und Einzelheit darin vorgenommen werden können, ohne vom durch die angehängten Ansprüche definierten Schutzumfang abzuweichen. Der Schutzumfang der Erfindung ist demzufolge durch die angehängten Ansprüche angegeben, und sämtliche Änderungen, die eine Entsprechung in den Ansprüchen haben, sollen dementsprechend eingeschlossen sein.
  • In den Zeichnungen bezeichnen gleiche Bezugszeichen grundsätzlich über verschiedene Darstellungen hinweg die gleichen Teile. Die Zeichnungen sind nicht notwendigerweise maßstabsgerecht, da der Schwerpunkt im Allgemeinen darauf liegt, das Prinzip der Erfindung zu verdeutlichen. In der nachfolgenden Beschreibung sind verschiedene Ausführungsformen der Erfindung mit Bezug auf die folgenden Zeichnungen beschrieben, wobei
  • 1 eine Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform zeigt;
  • 2 ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform zeigt;
  • 3A bis 3G verschiedene Verfahrensschritte bei einem Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform zeigt;
  • 4 eine Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform zeigt;
  • 5 eine Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform zeigt;
  • 6 eine Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform zeigt;
  • 7 eine Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform zeigt;
  • 8 eine Halbleiterkomponenten-Anordnung gemäß einer Ausführungsform zeigt;
  • 9 eine Halbleiterkomponenten-Anordnung gemäß einer Ausführungsform zeigt;
  • 10 ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform zeigt.
  • Die folgende detaillierte Beschreibung nimmt Bezug auf die beigefügten Zeichnungen die spezifische Details und Ausführungsformen, in welchen die Erfindung ausgeführt werden kann, veranschaulichen. Diese Ausführungsformen sind mit hinreichender Genauigkeit beschrieben, um es dem Fachmann zu ermöglichen, die Erfindung auszuführen. Andere Ausführungsformen können verwendet werden und strukturelle, logische und elektrische Veränderungen können vorgenommen werden, ohne von dem Anwendungsbereich der Erfindung abzuweichen. Die verschiedenen Ausführungsformen schließen einander nicht aus, da manche Ausführungsformen mit einer oder mehr anderen Ausführungsformen kombiniert werden können um neue Ausführungsformen zu bilden. Die folgende detaillierte Beschreibung ist darum nicht in einem beschränkenden Sinn zu verstehen, und der Umfang der vorliegenden Erfindung ist durch die beigefügten Ansprüche definiert.
  • Verschiedene Ausführungsformen sind für Vorrichtungen bereitgestellt, und verschiedene Ausführungsformen sind für Verfahren bereitgestellt. Es ist zu verstehen, dass grundlegende Eigenschaften der Vorrichtungen ebenso für die Verfahren gelten, und umgekehrt. Darum wird der Kürze halber auf das Wiederholen der Beschreibung solcher Eigenschaften verzichtet.
  • Die Begriffe „verbinden” oder „Verbindung”, die hierin verwendet werden, sollen ein direktes Verbinden oder eine direkte Verbindung ebenso aufweisen wie ein indirektes Verbinden, bzw. eine indirekte Verbindung.
  • Der Begriff „angeordnet über”, welcher hierin verwendet wird, soll Anordnungen beschreiben, bei denen ein erstes Element oder eine Schicht auf einem zweiten Element oder einer Schicht ohne weitere dazwischen angeordnete Elemente oder Schichten angeordnet ist, ebenso wie Anordnungen, bei denen ein erstes Element oder eine Schicht über einem zweiten Element oder einer Schicht angeordnet ist, mit einem oder mehr zusätzlichen Elementen oder Schichten, die zwischen dem ersten Element oder Schicht und dem zweiten Element oder Schicht angeordnet sind.
  • Heutzutage werden Halbleiterkomponenten oder Chips üblicherweise hergestellt, indem Scheiben von Halbleitermaterial, die als Wafer bezeichnet werden, verwendet werden. Dünne Chips können nicht nur am vorderen Ende des Produktionsprozesses eine große Herausforderung darstellen, da infolge der abnehmenden Dicke die Wafer sehr empfindlich werden, leicht zerbrechen und sich wegen ihrer niedrigen Steifigkeit stark verbiegen.
  • Ein weiterer kritischer Schritt kann der Zusammenbau am hinteren Ende (z. B. des Produktionsprozesses) sein, wenn nach dem Vereinzeln der Chips (bzw. Englisch „Dies”, das Vereinzeln wird entsprechend auch als „Dicing” bezeichnet) der dünne Halbleiter möglicherweise von einem Dicing-Träger aufgesammelt, an einem Leiterrahmen angebracht und mit dem Leiterrahmen verbunden werden muss, bevor elektrische Verbindungen zu dem Chip und eine Einkapselung, z. B. durch Umformen, verwirklicht werden können. Die mechanischen Kräfte, die während des Aufsammelns der Chips und des Verbindens der Chips auftreten, können eine hohe Belastung darstellen für solche dünnen Chips, die in Zukunft – in Abhängigkeit von beispielsweise der Sperrspannung – möglicherweise Dicken bis hinunter zu wenigen μm aufweisen können, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 50 μm. Für solche dünnen Halbleiter wäre eine Beschädigung der Chiprückseite in Verbindung mit elektrischem Versagen, möglicherweise nicht vor dem praktischen Einsatz, mit heutigen Strukturen, Verfahren und Technologien wahrscheinlich nicht zu vermeiden.
  • Am vorderen Ende gibt es inzwischen geeignete Trägertechnologien wie beispielsweise Folienträger, Glasträger, Kleberstapel usw., welche technologisch hinreichend ausgereift sind und in der Produktion verwendet werden. Diese Trägersysteme können sich bezüglich ihrer Temperaturbeständigkeit und der Verwendung von Vakuum und/oder nassen chemischen Prozessen unterscheiden, und sie können verschiedene Grenzen bzw. Grenzwerte aufweisen. In der praktischen Umsetzung kann man im Herstellungsprozess üblicherweise eine Kombination von geeigneter Trägertechnologie in Verbindung mit Umgehungs- oder Vermeidungsstrategien antreffen, so dass dieser Aspekt in der vorliegenden Anmeldung nicht weiter beachtet wird.
  • Für sehr dünne Wafer kann das Sägen des Wafers eine zusätzliche hohe Belastung darstellen, da üblicherweise nur ein Teil der Sägespur weggeschnitten wird, wobei der zurückbleibende Teil durch den mechanischen Druck des Sägeblattes weggebrochen wird. Wenn die ursprüngliche Dicke des Wafers sehr klein ist (beispielsweise so klein wie die Dicke des Sägespurrestes, der üblicherweise weggebrochen wird) müssen die Sägeparameter möglicherweise angepasst werden, um ein Sägen zu ermöglichen. Beispielsweise muss möglicherweise die Zuführung erheblich reduziert werden oder alternative Vereinzelungsverfahren, wie beispielsweise Laserschneiden oder Plasmaätzen, müssen möglicherweise angewandt werden, was teilweise zu erheblich höheren Kosten führen kann.
  • Während des Vereinzelns kann der Wafer üblicherweise auf einem Träger, üblicherweise einer haftenden Folie, angeordnet sein. Die Haftkraft der Folie sollte hoch genug sein, damit die einzelnen Chips sicher während des Vereinzelns und des Transports gehalten werden und nicht beispielsweise wegfliegen und das Sägeblatt oder andere Chips beschädigen können. Andererseits sollte die Haftkraft niedrig genug sein, damit während des tatsächlichen Zusammenbaus das Aufsammeln und Anordnen der Chips auf dem Leiterrahmen möglich ist, ohne die Chips zu beschädigen. Heutzutage werden für dünne Wafer hauptsächlich Haftmittel verwendet, welche eine hohe Haftkraft aufweisen (während der Vereinzelung und des Transports), die erheblich reduziert werden kann (kurz vor oder während des Chip-Verbindens), beispielsweise durch Belichtung mit UV-Licht. Es ist anzumerken, dass die verbleibende Haftkraft während des Chip-Verbindens möglicherweise nur eine bestimmte maximale Chipfläche zulässt, welche von der Chipdicke abhängen kann.
  • Während des Chip-Verbindens können häufig kleine Fehler bzw. Defekte zwischen dem Chip und dem Leiterrahmen auftreten, welche beispielsweise zu mechanischer Zerstörung des Chips während eines nachfolgenden Drahtanschlussverfahrens führen. Die Toleranz bezüglich solcher Fehler kann auch mit abnehmender Chipdicke abnehmen.
  • Wenn beispielsweise eutektisches Verbinden oder Diffusionslöten angewendet werden, müssen möglicherweise besonders geformte Stempel, welche ein sehr gleichförmiges Drücken ermöglichen, für die dünnsten Chips verwendet werden.
  • Die Herausforderungen durch dünne Chips während des Zusammenbaus können erheblich sein und können beispielsweise Zusammenbauverfahren erfordern, welche komplexer und/oder teurer sind.
  • 1 zeigt eine Halbleiterkomponente 100 gemäß einer Ausführungsform.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 eine Halbleiterschicht 101 aufweisen. Die Halbleiterschicht 101 kann eine Vorderseite 101a und eine Rückseite 101b aufweisen. Die Vorderseite 101a und die Rückseite 101b können, wie dargestellt, einander entgegengesetzte Seiten der Halbleiterschicht 101 sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht 101 eine Nutzschicht der Halbleiterkomponente 100 sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht 101 beispielsweise Teil eines dicken Wafers (nicht dargestellt, siehe z. B. 3A) gewesen sein, welcher gedünnt worden sein kann (beispielsweise indem herkömmliche Verfahren wie Schleifen und/oder Polieren und/oder Ätzen und/oder chemisch-mechanisches Polieren (CMP), oder alternativ andere geeignete Verfahren verwendet werden) um eine dünne Halbleiter-Nutzschicht zu erhalten (z. B. Halbleiterschicht 101). Gegenwärtig können typische Waferdicken (vor dem dünnen) beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 500 μm bis zu ungefähr 1000 μm liegen, obwohl auch andere Dickenwerte möglich sein können.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht 101 beispielsweise eine Dicke in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 70 μm aufweisen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 50 μm in manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 30 μm in manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 15 μm in manchen Ausführungsformen. Alternativ können andere Dickenwerte möglich sein. Der Wert der Schichtdicke kann beispielsweise angepasst sein an bestimmte Anforderungen oder Randbedingungen, welche von der Halbleiterkomponente 100 erfüllt sein müssen, beispielsweise ein spezieller Wert einer Sperrspannung, der erzielt werden muss. Als Faustregel kann eine Schichtdicke von 1 μm pro 10 Volt Sperrspannung verlangt sein. Anders ausgedrückt kann jeder zusätzliche μm Schichtdicke die Sperrspannung um ungefähr 10 Volt erhöhen.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht 101 Silizium (Si) aufweisen oder daraus hergestellt sein. Gemäß anderen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht 101 andere geeignete Halbleitermaterialien, auch Verbund-Halbleitermaterialien, aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 mindestens ein elektronisches Element 102 aufweisen. Das elektronische Element 102 kann zumindest teilweise in der Halbleiterschicht 101 ausgebildet sein. In der Ausführungsform von 1 ist dargestellt, dass das elektronische Element 102 vollständig in der Halbleiterschicht 101 ausgebildet ist, gemäß verschiedenen Ausführungsformen können Teile des elektronischen Elements 102 jedoch auch außerhalb der Halbleiterschicht 101 angeordnet sein, beispielsweise in einer oder mehr Schichten, welche auf oder über und/oder einer oder mehr Schichten, welche unter der Halbleiterschicht 101 angeordnet sind. Anders ausgedrückt können gemäß verschiedenen Ausführungsformen manche Teile oder Abschnitte des elektronischen Elements 102 durch Abschnitte der Halbleiterschicht 101 ausgebildet sein, wobei andere Teile oder Abschnitte des elektronischen Elements 102 durch andere Schichten der Halbleiterkomponente 100 ausgebildet sein können. Das elektronische Element 102 kann hierin auch als nützliche Komponente bezeichnet werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das elektronische Element 102 beispielsweise aufweisen einen oder gestaltet sein als ein (lateraler oder vertikaler) Transistor (beispielsweise als ein Feldeffekttransistor (FET) oder als ein Bipolartransistor (BJT, abgeleitet vom englischen Begriff „bipolar junction transistor”)) oder als eine Diode. Gemäß manchen Ausführungsformen kann das elektronische Element 102 aufweisen ein oder gestaltet sein als ein unterschiedliches Element.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 mehr als ein elektronisches Element aufweisen. Beispielsweise kann gemäß manchen Ausführungsformen ein integrierter Schaltkreis (IC, abgeleitet vom englischen Begriff „integrated circuit”), welcher beispielsweise eine Mehrzahl von elektronischen Elementen (wie beispielsweise Transistoren und/oder Dioden und/oder andere elektronische Elemente) aufweist, zumindest teilweise in der Halbleiterschicht 101 ausgebildet sein. Beispielsweise kann in dem Fall, dass ein integrierter Schaltkreis (IC) bereitgestellt ist, die Halbleiterkomponente 100 auch als Chip (im Englischen „die” oder „chip”) bezeichnet werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 mindestens eine Durchkontaktierung 103 aufweisen, welche in der Halbleiterschicht 101 ausgebildet ist. Die mindestens eine Durchkontaktierung 103 kann sich von der Vorderseite 101a zu der Rückseite 101b der Halbleiterschicht 101 erstrecken. Die Durchkontaktierung 103 kann auch als Kontaktloch bezeichnet werden, oder als Silizium-Durchkontaktierung (TSV, abgeleitet vom englischen Begriff „through silicon via”) in dem Fall einer Halbleiterschicht 101, welche Silizium aufweist oder aus Silizium hergestellt ist.
  • In 1 ist nur eine Durchkontaktierung 103 dargestellt, gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jedoch eine Mehrzahl von Durchkontaktierungen in der Halbleiterschicht 101 ausgebildet sein.
  • Gemäß einer Ausführungsform kann die mindestens eine Durchkontaktierung beispielsweise ausgebildet worden sein durch Ausbilden mindestens eines Lochs in der Halbleiterschicht 101, elektrisches Isolieren des mindestens einen Lochs von dem Halbleitermaterial der Halbleiterschicht 101 und durch Füllen des mindestens einen Lochs mit elektrisch leitfähigem Material.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann das mindestens eine Loch in der Halbleiterschicht 101 unter Verwendung eines Ätzverfahrens ausgebildet worden sein. Gemäß einer Ausführungsform kann das Ätzverfahren ein Trockenätzverfahren sein.
  • Gemäß einer Ausführungsform kann das elektrische Isolieren des mindestens einen Lochs von dem Halbleitermaterial der Halbleiterschicht 101 beispielsweise durch Ausbilden (z. B. Ablagern oder thermisch Wachsen) einer oder mehrerer elektrisch isolierender Schichten an den Seitenwänden des mindestens einen Lochs.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann es auch möglich sein, dass eine oder mehr der Durchkontaktierungen 103 dasselbe elektrische Potenzial wie das Substrat oder die Halbleiterschicht 101 aufweist oder aufweisen. In diesem Fall kann/können die eine oder mehr isolierende/n Schicht/en entbehrlich sein.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen und abhängig beispielsweise von dem nachfolgenden Füllverfahren der Durchkontaktierung 103 können eine oder mehr Sperrschichten ausgebildet sein, beispielsweise um eine Verunreinigung des Halbleitermaterials der Halbleiterschicht 101 durch das Füllmaterial zu verhindern. Gemäß manchen Ausführungsformen kann/können die eine oder mehr Sperrschicht/en aus einem oder mehr Nitridmaterialien bestehen oder diese aufweisen, beispielsweise Si3N4 (auch als nicht-stöchiometrische Verbindung), TiN, TaN oder andere geeignete Materialien. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann/können die Sperrschicht/en über den Seitenwänden von dem mintestens einen Loch, beispielsweise auf der/den einen oder mehr isolierenden Schicht/en (falls vorhanden) ausgebildet sein.
  • Gemäß einer Ausführungsform kann das elektrisch leitende Material, welches zum Füllen des mindestens einen Lochs verwendet wird, ein leitendes Halbleitermaterial und/oder ein Metall und/oder eine Metall-Halbleiterverbindung und/oder Kohle aufweisen oder sein, beispielsweise Silizium, Aluminium, Kupfer, Wolfram, Titan, Tantal, TiSi, TaSi, CoSi. Gemäß manchen Ausführungsformen kann eine Sperrschicht zwischen Füllmaterial und Halbleitermaterial oder zwischen Füllmaterial und isolierendem Material (in dem Fall, dass mindestens ein Loch von dem Halbleitermaterial der Halbleiterschicht 101 elektrisch isoliert ist) ausgebildet sein.
  • Gemäß anderen Ausführungsformen kann die mindestens eine Durchkontaktierung 103 unter Verwendung anderer geeigneter Verfahren ausgebildet worden sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 darüber hinaus eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 aufweisen, welche über zumindest einem Teil der Vorderseite 101a der Halbleiterschicht angeordnet ist, um das mindestens eine elektronische Element 102 mit der mindestens einen Durchkontaktierung 103 elektrisch zu verbinden. Die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 kann elektrisch verbunden sein mit dem mindestens einen elektronischen Element 102 (z. B. mit einer Verbindung oder einem Anschlussbereich des elektronischen Elements 102) und mit der mindestens einen Durchkontaktierung 103.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 eine oder mehrere leitende Leitungen oder Spuren aufweisen, welche auch als Umverdrahtungsleitungen bezeichnet werden. Nur eine Umverdrahtungsleitung 141, welche mit dem elektronischen Element 102 und der Durchkontaktierung 103 verbunden ist, ist in 1 dargestellt, zusätzliche Umverdrahtungsleitungen können jedoch gemäß verschiedenen Ausführungsformen bereitgestellt sein, welche beispielsweise einerseits mit dem elektronischen Element 102 (z. B. mit einer oder mehr Verbindungen oder Anschlussbereichen des elektronischen Elements 102) und andererseits mit zusätzlichen Durchkontaktierungen verbunden sein können. Folglich können gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine oder mehr Verbindungen oder Anschlussbereiche eines elektronischen Elements mit einer oder mehr Wiederverteilungsspur/en einer Vorderseiten-Metallisierungsschicht elektrisch verbunden sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die eine oder mehr Umverdrahtungsleitungen jeweils mit Durchkontaktierungen verbunden sein, welche von der Vorderseite zur Rückseite der Halbleiterschicht führen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 ein geeignetes Metallisierungsmaterial aufweisen oder daraus hergestellt sein, beispielsweise ein geeigneter Leiter, z. B. Silizium (Si), beispielsweise polykristallines Silizium oder amorphes Silizium, Aluminium (Al), Kupfer (Cu), Kohle (bzw. Kohlenstoff, C) oder eine Legierung und/oder einen Schichtstapel, welcher eine oder mehr der vorgenannten Materialien aufweist. Alternativ oder zusätzlich kann die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 andere geeignete Metallisierungsmaterialien aufweisen oder daraus hergestellt sein, z. B. andere geeignete Metalle oder Metalllegierungen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 eine Kappe 105 aufweisen. Die Kappe 105 kann über der Vorderseite 101a der Halbleiterschicht 101 angeordnet sein und kann mechanisch mit der Halbleiterschicht 101 verbunden sein, beispielsweise durch eine oder mehrere Schichten, welche gemäß manchen Ausführungsformen zwischen der Kappe 105 und der Halbleiterschicht 101 angeordnet sind.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe 105 als ein Vorderseitenträger der Halbleiterkomponente 100 ausgebildet sein. Das bedeutet, dass die Kappe 105 so ausgebildet sein kann, dass sie als Träger für das Handhaben der Halbleiterkomponente 100 während eines Herstellungsprozesses dienen kann.
  • Die Kappe 105 kann eine obere Fläche 105a und eine der oberen Fläche 105a entgegengesetzte untere Fläche 105b aufweisen. Die untere Fläche 105b kann der Halbleiterschicht 101 wie dargestellt zugewandt sein.
  • Die Kappe 105 kann mechanisch mit der Halbleiterschicht 101 verbunden sein und kann als vor-Ort-Träger während des Verarbeitens der Halbleiterkomponente 100 dienen, und darüber hinaus als ein Gehäuse (oder zumindest als Teil eines Gehäuses) der bearbeiteten Halbleiterkomponente 100 dienen. Folglich kann die Kappe 105 gemäß verschiedenen Ausführungsformen während der Herstellung der Halbleiterkomponente 100 angebracht werden und kann als ein Träger verendet werden, um die Halbleiterkomponente 100 während des Herstellungsprozesses zu handhaben, und die Kappe 105 kann in der vollständig verarbeiteten Komponente verbleiben und als ein Gehäuse (oder als Teil eines Gehäuses) für die Komponente dienen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe 105 eine Dicke in einem Bereich von ungefähr 50 μm bis zu ungefähr 1000 μm aufweisen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 100 μm bis zu ungefähr 500 μm gemäß manchen Ausführungsformen. Die Dicke der Kappe 105 kann beispielsweise an die Dicke der Nutzschicht (z. B. der Halbleiterschicht 101) angepasst sein und kann gemäß anderen Ausführungsformen andere Werte annehmen.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Kappe 105 als opake Kappe ausgeführt sein. Anders ausgedrückt kann die Kappe 105 ein opakes Material aufweisen oder daraus hergestellt sein. Auf diese Weise kann das Halbleitermaterial der Halbleiterschicht 101 unterhalb der Kappe 105 beispielsweise während des späteren Betriebs von Licht abgeschirmt sein.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 mindestens eine dielektrische Schicht 107 aufweisen, welche über der Vorderseite 101a der Halbleiterschicht 101 und zwischen der Halbleiterschicht 101 und der Kappe 105 angeordnet ist. In 1 ist nur eine dielektrische Schicht 107 dargestellt, allerdings kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen mehr als eine dielektrische Schicht geschichtet sein. Zusätzlich können eine oder mehr Sperrschichten (beispielsweise gegen Natrium-(Na-)Ionen gemäß manchen Ausführungsformen zwischen der Halbleiterschicht 101 und der Kappe 105 bereitgestellt sein. Beispielsweise kann gemäß einer Ausführungsform eine Sperrschicht direkt unterhalb der obersten dielektrischen Schicht angeordnet sein, oder alternativ tiefer in dem Leitungsführungsstapel. Gemäß einer Ausführungsform kann/können die eine oder mehr Sperrschicht/en beispielsweise eine Siliziumnitridschicht (Si3N4) sein.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen können Kontaktlöcher 108 der mindestens einen dielektrischen Schicht 107 ausgebildet und mit elektrisch leitendem Material gefüllt sein, wie beispielsweise Polysilizium oder Metall, um die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 elektrisch mit dem elektrischen Element 102 und der Durchkontaktierung 103 wie dargestellt zu verbinden. Beispielsweise kann ein Kontaktloch 108 über dem elektronischen Element 102 angeordnet und in Kontakt mit dem elektronischen Element 102 und der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 sein, und ein weiteres Kontaktloch 108 kann über der Durchkontaktierung 103 angeordnet und in Kontakt mit der Durchkontaktierung 103 und der vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 sein.
  • In 1 sind zwei Kontaktlöcher 108 als ein Beispiel dargestellt, allerdings können gemäß verschiedenen Ausführungsformen zusätzliche Kontaktlöcher 108 bereitgestellt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Kontaktlöcher 108 beispielsweise durch Verwenden eines Ätzprozesses ausgebildet werden, um Löcher in die mindestens eine dielektrische Schicht 107 zu ätzen und nachfolgend die Löcher mit elektrisch leitendem Material wie beispielsweise Polysilizium oder Metall zu füllen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 wie dargestellt elektrisch isoliert sein von der Halbleiterschicht 101 durch die mindestens eine dielektrische Schicht 107.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann eine Sperrschicht zwischen der Metallisierungsschicht 104 und/oder dem leitenden Füllmaterial des Kontaktlochs und der halbleitenden Schicht und/oder der mindestens einen dielektrischen Schicht ausgebildet sein. Diese Sperrschicht kann beispielsweise aus einem oder mehr Nitridmaterial/ien bestehen oder diese aufweisen, beispielsweise Si3N4 (auch als nicht stöchiometrische Verbindung), TiN, TaN oder andere geeignete Materialien.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe 105 verschiedene elektrisch isolierende Materialien aufweisen oder daraus bestehen, beispielsweise Glas, ein Kunststoffmaterial oder Kunststofflaminat bzw. Kunststoffschichtstoff, im Folgenden Kunststofflaminat genannt (beispielsweise gemäß einer Ausführungsform eine Faserverstärkung aufweisend). Gemäß manchen Ausführungsformen können beispielsweise ähnliche oder gleiche Materialien wie bei der Herstellung von gedruckten Leiterplatten (PCB, abgeleitet vom englischen Begriff „printed circuit board”) verwendet werden, beispielsweise Glasfaserepoxidharzverbindungen oder Teflonverbindungen.
  • Alternativ kann gemäß manchen Ausführungsformen die Kappe 105 ein elektrisch leitendes Material aufweisen oder daraus bestehen, beispielsweise Kupfer (Cu), Nickel (Ni), Aluminium (Al), Wolfram (W), Titan (Ti) oder ein Stapel und/oder eine Legierung, welche eines oder mehr der vorgenannten Materialien aufweist. Gemäß manchen Ausführungsformen und beispielsweise zum einfacheren Zusammenbau können diese leitenden Materialien mit anderen leitenden Materialien beschichtet sein, wie beispielsweise Silber (Ag), Gold (Au), Nickel (Ni), Zinn (Sn), um z. B. das Korrosionsverhalten oder das Benetzungsvermögen während des Lötverfahrens zu verbessern. Auch leitende schichtbare Materialien (d. h. Materialien, die sich zum Schichten eignen) wie beispielsweise Metallgewebe mit geeigneten Bindemitteln, können gemäß manchen Ausführungsformen analog zu leitenden homogenen Kappen verwendet werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe 105 an einer oberen Fläche 107a der dielektrischen Schicht 107 (oder von der obersten Schicht des dielektrischen Schichtstapel, wenn mehr als eine dielektrische Schicht 107 vorhanden ist) wie dargestellt angebracht sein. Das heißt, dass gemäß verschiedenen Ausführungsformen die Kappe 105 mit der Halbleiterschicht 101 mittels der dielektrischen Schicht (oder Schichtstapel) 107 mechanisch verbunden sein kann.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe 105 mit der oberen Fläche 107a der dielektrischen Schicht 107 beispielsweise durch anodisches Bonden („Bonden” stammt aus dem Englischen, auf Deutsch „Verbinden”) oder adhäsives Bonden verbunden sein. Beispielsweise kann im Fall einer Kappe, welche Glas aufweist oder daraus hergestellt ist, die Kappe auch durch eine Glasfritte an der dielektrischen Schicht 107 angebracht sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine obere Fläche 104a der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 auf einer niedrigeren Ebene oder auf derselben Ebene als/wie die obere Fläche 107a der dielektrischen Schicht 107 angeordnet sein. Anders ausgedrückt kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen bereitgestellt sein, dass die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 nicht höher ist als das umgebende dielektrische Material der dielektrischen Schicht (oder des Schichtstapels) 107. In 1 ist dargestellt, dass die obere Fläche 104a der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 auf einer niedrigeren Ebene als die obere Fläche 107a der dielektrischen Schicht (oder des Schichtstapels) 107 angeordnet ist, so dass ein Abstand (in 1 durch den Doppelpfeil 110 gekennzeichnet) zwischen der oberen Fläche 104a der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 und der Kappe 105 bereitgestellt ist. Gemäß manchen Ausführungsformen kann eine Aussparung bzw. Einbuchtung 111 wie dargestellt zwischen der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 und der Kappe 105 angeordnet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 darüber hinaus eine Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 aufweisen. Die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 kann elektrisch verbunden sein mit der Durchkontaktierung 103. Die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 kann dazu dienen, das mindestens eine elektronische Element 102 elektrisch zu verbinden (z. B. um ein Verbindung oder einem Anschlussbereich des elektronischen Elements 102 zu verbinden).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 eine Zahl von Abschnitten aufweisen, welche elektrisch voneinander isoliert und elektrisch mit verschiedenen Durchkontaktierungen verbunden sein können. In 1 ist ein einzelner Abschnitt 162 dargestellt, welcher elektrisch mit der Durchkontaktierung verbunden 103 verbunden ist, allerdings kann die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 gemäß anderen Ausführungsformen eine Mehrzahl von Abschnitten aufweisen, die elektrisch mit den jeweiligen von einer Mehrzahl von Durchkontaktierungen verbunden sein können.
  • Die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 kann ein geeignetes Metallisierungs-Material aufweisen oder daraus bestehen, wie beispielsweise ein geeignetes Metall, z. B. Aluminium (Al), Kupfer (Cu), Nickel (Ni), Titan (Ti), Wolfram (W), oder einen Stapel und/oder eine Legierung, welche/r eines oder mehr der vorgenannten Materialien aufweist. Gemäß manchen Ausführungsformen und beispielsweise zum einfacheren Zusammenbau können diese leitenden Materialien mit anderen leitenden Materialien beschichtet sein, wie beispielsweise Silber (Ag), Gold (Au), Nickel (Ni), Zinn (Sn), um z. B. das Korrosionsverhalten oder das Benetzungsvermögen während der Lötverfahren zu verbessern. Alternativ oder zusätzlich kann die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 andere geeignete Metallisierungsmaterialien aufweisen oder daraus bestehen, z. B. andere geeignete Metalle oder Metalllegierungen.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 mindestens eine Passivierungsschicht 109 aufweisen, welche über (z. B. direkt auf) zumindest einem Teil der Rückseite 101b der Halbleiterschicht 101 und zwischen der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 und der Halbleiterschicht 101 wie in 1 dargestellt angeordnet ist. Die Passivierungsschicht 109 kann dazu dienen, die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 (oder Abschnitte der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106) elektrisch von der Halbleiterschicht 101 zu isolieren. Die mindestens eine Durchkontaktierung 103 kann sich durch die Passivierungsschicht 109 erstrecken und kann wie dargestellt in Kontakt mit der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 sein.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 einen Abschnitt aufweisen, der elektrisch mit der Halbleiterschicht 101 verbunden sein kann, um beispielsweise einen Substratkontakt bereitzustellen, anders ausgedrückt einen elektrischen Kontakt zur Halbleiterschicht 101 (nicht dargestellt in 1, siehe z. B. 3G). Zu diesem Zweck kann dieser Abschnitt der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 beispielsweise auf der Rückseite 101b der Halbleiterschicht 101 ausgebildet sein.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 auf einem Leiterrahmen (nicht dargestellt, siehe z. B. 8) montiert sein. Zu diesem Zweck kann die obere Fläche 105a der Kappe 105 am Leiterrahmen angebracht sein, beispielsweise durch ein adhäsives Verfahren oder, nach dem Ablagern einer entsprechenden Metallisierung auf der oberen Fläche 105a, durch Löten.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 100 auf einem Kühlelement oder Kühlkörper (nicht dargestellt, siehe z. B. 9) montiert sein. Zu diesem Zweck kann die obere Fläche 105a der Kappe 105 am Kühlelement oder Kühlkörper angebracht sein, beispielsweise durch eine wärmeleitende Paste, welche zwischen der Kappe 105 und dem Kühlelement oder Kühlkörper angebracht ist.
  • 2 zeigt ein Verfahren 200 zum Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform.
  • In 202 kann eine Halbleiterschicht, welche eine Vorderseite und eine Rückseite aufweist, bereitgestellt werden, wobei die Halbleiterschicht mindestens ein elektronisches Element aufweist, welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht ausgebildet ist. Die Halbleiterschicht und/oder das elektronische Element können/kann beispielsweise gemäß einem oder mehr hierin beschriebenen Ausführungsbeispiel/e ausgebildet und/oder konfiguriert sein.
  • In 204 kann mindestens eine Durchkontaktierung, welche sich von der Vorderseite zur Rückseite der Halbleiterschicht erstreckt, in der Halbleiterschicht ausgebildet werden. Die mindestens eine Durchkontaktierung kann beispielsweise gemäß einem oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsbeispiel/e ausgebildet und/oder konfiguriert sein.
  • In 206 kann eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht über zumindest einem Teil der Vorderseite der Halbleiterschicht ausgebildet werden, um das mindestens eine elektronische Element mit der mindestens einen Durchkontaktierung zu verbinden. Die Vorderseiten-Metallisierungsschicht kann beispielsweise gemäß einem oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsbeispiel/e ausgebildet und/oder konfiguriert sein.
  • In 208 kann eine Kappe über der Vorderseite der Halbleiterschicht angeordnet werden, so dass die Kappe mechanisch mit der Halbleiterschicht verbunden ist, wobei die Kappe als ein Vorderseitenträger konfiguriert ist. Die Kappe kann beispielsweise gemäß einem oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsbeispiel/e ausgebildet und/oder konfiguriert sein.
  • In 210 kann eine Rückseiten-Metallisierungsschicht über zumindest einem Teil der Rückseite der Halbleiterschicht ausgebildet werden, wobei die Rückseiten-Metallisierungsschicht elektrisch mit der mindestens einen Durchkontaktierung verbunden ist, beispielsweise um das mindestens eine elektronische Element elektrisch zu verbinden. Die Rückseiten-Metallisierungsschicht kann beispielsweise gemäß einem oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsbeispiel/e ausgebildet und/oder konfiguriert sein.
  • Gemäß verschiedenen hierin beschriebenen Ausführungsformen kann ein Zusammenbauverfahren vorzugsweise entbehrlich gemacht oder zumindest erheblich vereinfacht werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können ein Träger und ein entsprechendes Verfahren bereitgestellt werden, welche es ermöglichen, Halbleiterwafer bis hinunter zu einer Dicke von wenigen Mikrometern (μm) zu verarbeiten, beispielsweise Waferdicken in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 70 μm, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 50 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 30 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 15 μm gemäß manchen Ausführungsformen. Alternativ können andere Werte der Waferdicke möglich sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zusätzliche Verfahren zum Umverteilen, anders ausgedrückt Umverdrahten, Kontaktieren und Passivieren am vorderen Ende auf Waferebene eingeführt werden, sodass zumindest für flächenmontierbare Vorrichtungen ein zusätzliches Gehäuse entbehrlich sein kann. Insbesondere kann ein Vorderseitenträger, welcher auf einer Halbleiterkomponente oder einem Chip verbleibt gemäß verschiedenen Ausführungsformen verwendet werden. Das Kontaktieren der Halbleiterkomponente oder des Chips kann auf der Rückseite der Halbleiterkomponente oder des Chips gemäß verschiedenen Ausführungsformen ausgeführt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Trägersystem bereitgestellt sein, welches selbst bei dünnsten Halbleitern eine zuverlässige oder sichere Handhabung während der Waferherstellung und danach ermöglicht.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann/können ein oder mehr Loch/Löcher in einer Halbleiter-Nutzschicht ausgebildet zu einem Zeitpunkt ausgebildet werden, der an das Herstellungsverfahren des Produktes angepasst ist. Das Loch, bzw. die Löcher können später als eine oder mehr Durchkontaktierungen (im Fall einer siliziumbasierten Nutzschicht auch als TSVs, abgeleitet vom englischen Begriff „Through Silicon Vias”, bezeichnet) dienen. Anschließend oder später, je nach Anforderung, kann/können das Loch/die Löcher von der Halbleiter-Nutzschicht lateral elektrisch isoliert werden und kann/können gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit leitendem Material gefüllt werden. Da möglicherweise nur die Halbleiter-Nutzschicht durchgeätzt werden muss (beispielsweise durch Verwenden eines Trockenätzverfahrens; alternativ können auch andere Ätzverfahren verwendet werden) kann der Durchmesser des Lochs/der Löcher entsprechend klein gewählt werden. Beim Trockenätzen können beispielsweise Aspektverhältnisse (was das Verhältnis der Einschnittstiefe in Bezug auf die obere Einschnittsbreite bedeutet) zwischen 10 und 100 üblich sein, wobei Einschnitte mit linearen Einschnittsöffnungen beispielsweise höhere Aspektverhältnisse aufweisen können im Vergleich zu Einschnitten mit kreisförmigen Einschnittsöffnungen. Die minimalen Einschnittsöffnungen oder Fenster in der Maske während des Trockenätzens können zur endgültigen Dicke des Halbleiters 101 in Beziehung stehen. Möglicherweise muss auch die Dicke einer isolierenden Schicht an den Seitendwänden des Einschnitts in Betracht gezogen werden und sie kann möglicherweise die minimale Öffnung der Einschnittsöffnungen erhöhen. Beispielsweise kann gemäß manchen Ausführungsformen der Durchmesser des Lochs/der Löcher oder die Öffnung in einem Bereich von ungefähr 0,2 μm bis zu ungefähr 5 μm liegen. Gemäß anderen Ausführungsformen kann der Durchmesser einen anderen Wert aufweisen.
  • 3A bis 3G zeigen als schematische Querschnittsansichten, verschiedene Verfahrensstufen in einem Verfahren zu Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform. Teile der Halbleiterkomponente, welche dieselbe wie die Halbleiterkomponente 100 aus 1 sind, sind mit demselben Bezugszeichen wie in 1 gekennzeichnet, und es wird auch auf die Beschreibung oben verweisen.
  • 3A zeigt in einer Ansicht 300 eine Verfahrensstufe mit erzeugten Durchkontaktierungen (Vias) 103 vor der Ablagerung einer Vorderseiten-Metallisierung gemäß einer Ausführungsform.
  • Eine Halbleiterschicht 101, welche auch als Halbleiter-Nutzschicht oder kurz Nutzschicht bezeichnet wird, kann Teil eines Wafers 305 sein und über einem Abschnitt eines Trägers 301 des Wafers 305 angeordnet sein. Die Halbleiterschicht 101 kann eine Vorderseite 101a (auch als obere Flächenseite bezeichnet) aufweisen, welche sich mit einer Vorderseite 305a des Wafers 305 decken kann, und eine Rückseite 101b (auch als untere Flächenseite bezeichnet), welche an den Trägerabschnitt 301 des Wafers 305 angrenzen bzw. anstoßen kann. Der Wafer kann darüber hinaus eine der Vorderseite 305a entgegengesetzte Rückseite 305b aufweisen. Die Durchkontaktierungen 103 können sich von der Vorderseite 101a der Halbleiterschicht 101 zur Rückseite 101b der Halbleiterschicht 101b erstrecken. Ein elektronisches Element 102 kann teilweise in der Halbleiterschicht 101 ausgebildet sein.
  • Als ein Beispiel zum Zweck der leichteren Erläuterung und zur Erläuterung eines verschiedenen Ausführungsformen zugrundeliegenden Prinzips ist ein einzelner lateraler Feldeffekttransistor (z. B. ein Metalloxid-Halbleiter-Feldeffekttransistor (MOSFET, abgeleitet vom englischen Begriff „metal Oxide semiconductor field-effect transistor”), welcher Quell-/Abflussbereiche (Englisch: „source/drain regions”) 302, einen Körperbereich (auch bezeichnet als Body-Bereich) 303 und ein isoliertes Gatter (Englisch: „gate”) 304 aufweist, ist als elektronisches Element 102 (nützliche Komponente) dargestellt. Wie leicht zu verstehen ist, kann das Prinzip beispielsweise genauso gut geeignet sein für integrierte Schaltkreise (ICs) oder vertikale Komponenten oder darauf angewandt werden.
  • Darüber hinaus sind zwei Durchkontaktierungen 103 als ein Beispiel in 3A dargestellt, gemäß manchen Ausführungsformen kann jedoch eine andere Zahl von Durchkontaktierungen 103 vorliegen.
  • Bei dem Vorfertigungszustand, der in 3A dargestellt ist, kann mindestens eine Leitungsführungsebene, bzw. Verdrahtungsebene die beispielsweise aus polykristallinem Halbleitermaterial (z. B. polykristallinem Silizium) hergestellt ist (im Folgenden auch kurz „Poly-Ebene” genannt), abgelagert sein, welche auch als Gate-Elektrode 304 des elektronischen Elements 102 (d. h. des Feldeffekttransistors) dienen kann. Diese strukturierte Poly-Ebene kann durch geeignete dielektrische Materialien (kurz: Dielektrika) isoliert sein. In 3A sind als Beispiel eine erste über der Vorderseite 101a der Halbleiterschicht 101 angeordnete dielektrische Schicht 307' und eine zweite über der ersten dielektrischen Schicht 307' angeordnete dielektrische Schicht 307'' dargestellt. Die Gate-Elektrode 304 kann über der ersten dielektrischen Schicht 307' angeordnet sein und kann demzufolge wie dargestellt von dem Körperbereich 303 elektrisch isoliert sein. Gemäß manchen Ausführungsformen können sich die Durchkontaktierungen 103 durch die erste dielektrische Schicht 307' erstrecken, wie in 3A dargestellt.
  • Beispielsweise bei integrierten Schaltkreisen können zusätzliche Leitungsführungsebenen (nicht in den Figuren dargestellt) zwischen der ersten dargestellten Poly-Ebene und einer obersten Reihe von Kontaktlöchern 108 (siehe 3B) vorhanden sein, wie leicht von einem Fachmann zu verstehen ist.
  • 3B zeigt in einer Darstellung 310 eine weitere Verarbeitungsstufe.
  • Es ist dargestellt, dass eine oberste Reihe von Kontaktlöchern 108 ausgebildet, beispielsweise geätzt wurde. Vier Kontaktlöcher 108 sind als ein Beispiel dargestellt, wobei zwei der vier Kontaktlöcher 108 über den Durchkontaktierungen 103 angeordnet sind und sich durch die zweite dielektrische Schicht 307'' und die erste dielektrische Schicht 307' hinunter zum Source/Drain-Bereich 302 erstrecken. Gemäß anderen Ausführungsformen kann eine andere Anzahl von Kontaktlöchern 108 ausgebildet (z. B. geätzt) werden. Zur einfacheren Veranschaulichung des Prinzips beispielhafter Ausführungsformen wurde ein Kontaktloch, welches mit der Gate-Elektrode 304 verbunden sein kann, in 35 weggelassen, es kann jedoch gemäß verschiedenen Ausführungsformen vorhanden sein. Wie leicht zu verstehen sein wird, kann ein solcher Kontakt als ein Teil einer elektrischen Verbindung zwischen der Gate-Elektrode 304 und anderen Signalen in einem integrierten Schaltkreis und/oder einem externen Gate-Anschluss dienen.
  • Zumindest bei kleinen Strukturen können die Kontaktlöcher 108 gemäß manchen Ausführungsformen sofort mit beispielsweise Wolfram-(W) oder Polysilizium-(Poly)Stopfen verschlossen werden (oder alternativ mit anderem als Stopfen geeignetem Material). Bei genügend großen Kontaktlöchern 108 können sie gemäß manchen Ausführungsformen auch mit Metall oder vor Ort mit der nachfolgenden Leitungsführungsebene kontaktiert werden.
  • 3C zeigt in einer Ansicht 320 eine weitere Verarbeitungsstufe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen und wie in 3C dargestellt kann eine zusätzliche dielektrische Schicht (im dargestellten Beispiel eine dritte dielektrische Schicht 307''') ausgebildet (z. B. abgelagert oder anders ausgedrückt abgeschieden) sein über der dielektrischen Schicht mit den obersten Kontaktlöchern 108 (im dargestellten Beispiel über der zweiten dielektrischen Schicht 307'').
  • 3D zeigt in einer Ansicht 330 eine weitere Verarbeitungsstufe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen und wie in 3D dargestellt kann die dritte dielektrische Schicht 307''' strukturiert (oder gemustert) sein, um Aussparungen, bzw. Einbuchtungen 308 in der dritten dielektrischen Schicht auszubilden, so dass die obersten leitenden Leitungen oder Spuren (auch als Wiederverteilungsspuren bezeichnet) einer Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 später in den Aussparungen 308 der strukturierten dritten dielektrischen Schicht 307''' (siehe 3E) geführt werden können. Anders ausgedrückt können Teile der dritten dielektrischen Schicht 307''' entfernt werden, um Teile der darunterliegenden zweiten dielektrischen Schicht und die Kontaktlöcher 108 freizulegen. Die zurückbleibenden Teile der dritten dielektrischen Schicht 307''' können beispielsweise die Form eines Grats oder einer Wand aufweisen.
  • 3E zeigt in einer Ansicht 340 eine weitere Verarbeitungsstufe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen und wie in 3E dargestellt kann eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 in der Aussparung 308 der strukturierten dritten dielektrischen Schicht 307''' ausgebildet sein. Anders ausgedrückt können leitende Leitungen oder Wiederverteilungsspuren 341 der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 in der Aussparung 308 ausgebildet sein. Zwei Umvertrahtungsleitungen 341 sind als ein Beispiel in 3E dargestellt, wobei jede Umvertrahtungsleitung 341 das elektronische Element 102 (klar einer der Source/Drain-Bereiche 302 des Feldeffekttransistors in diesem Beispiel) mit einem jeweiligen von den Durchkontaktierungen 103 mittels eines jeweiligen von den Kontaktlöchern 108 verbindet. Gemäß anderen Ausführungsformen kann die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 nur eine, oder sie kann mehr als zwei (z. B. eine Mehrzahl oder ein Vielfaches von) leitenden Leitungen oder Umvertrahtungsleitungen 341 aufweisen.
  • Die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 kann ein geeignetes Metallisierungsmaterial aufweisen oder daraus hergestellt sein, beispielsweise Aluminium (Al), Kupfer (Cu), Kohlenstoff (C), Nickel (Ni), oder ein Stapel von Schichten und/oder eine Legierung, welche/r eines oder mehr der vorgenannten Materialien aufweist/aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 andere geeignete Metallisierungsmaterialien aufweisen oder daraus hergestellt sein, z. B. andere Metalle oder Metalllegierungen. Gemäß manchen Ausführungsformen kann eine Sperrschicht zwischen der Metallisierungsschicht 104 und/oder dem leitenden Füllmaterial des Kontaktlochs 108 und dem halbleitenden Materials 101 und/oder einer oder mehr der dielektrischen Schichten 307', 307'', 307''' ausgebildet sein. Diese Sperrschicht kann beispielsweise aus Nitridmaterialien bestehen oder diese aufweisen, beispielsweise Si3N4 (auch als nichtstöchiometrische Verbindung), TiN, TaN oder andere geeignete Materialien. Gemäß manchen Ausführungsformen kann die obere Fläche 104a der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 mit einem Material beschichtet werden, welches Oxidation verhindert, wie beispielsweise ein Polymer oder z. B. ein Edelmetall wie Silber (Ag) oder Gold (Au) oder ein weiteres geeignetes Material.
  • Die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 kann beispielsweise galvanisch ausgebildet sein (anders ausgedrückt durch Verwenden eines galvanischen Ablagerungsverfahrens) oder durch Verwenden von Metallpasten, welche mithilfe eines Spachtels aufgetragen werden, um dicke Schichten und kleine Pfadwiderstände, bzw. Leitungswiderstände zu ermöglichen, beispielsweise bei Leistungshalbleitern gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Gemäß einer alternativen Ausführungsform kann die Metallschicht 104 homogen über der Fläche der zweiten dielektrischen Schicht 307, den Kontaktlöchern 108 und der Fläche der dritten dielektrischen Schicht 307''' abgelagert sein. Die Metallisierungsschicht 104 kann anschließend durch chemisch-mechanisches Polieren (CMP) strukturiert werden, wobei die oberen Kanten oder Flächen 307a''' der Kämme oder Wände der strukturierten dritten dielektrischen Schicht 307''' als stützende Struktur dienen. Gemäß anderen Ausführungsformen können auch Standardmetallisierungen, wie sie von integrierten Schaltkreisen bekannt sind, verwendet werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann wie dargestellt sichergestellt sein, dass eine obere Kante oder Fläche 104a der Vorderseiten-Metallisierungsschicht oder der leitenden Leitungen 341 (d. h. von dem Material (z. B. Metall) der leitenden Leitungen) nicht höher liegt als eine obere Kante oder Fläche 307a''' des umgebenden dielektrischen Materials der dritten dielektrischen Schicht 307'''. Dies kann beispielsweise genutzt werden um elektrische Kurzschlüsse zu verhindern, welche andernfalls möglicherweise infolge der Erzeugung von Hohlräumen auftreten. Darüber hinaus kann dies beispielsweise verwendet werden, um unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten des Materials der leitenden Leitungen (z. B. Metall) und des umgebenden Dielektrikums Rechnung zu tragen. Insbesondere kann Metall einen höheren Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen als dielektrisches Material (z. B. Siliziumoxid). Folglich kann in dem Fall, dass die obere Fläche 104a der leitenden Leitungen oder Spuren der Vorderseiten-Metallisierungsschicht und die obere Fläche 307a''' der umgebenden dritten dielektrischen Schicht 307''' koplanar sind und eine Kappe über der dritten dielektrischen Schicht 307''' und der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104, wie weiter unten in Verbindung mit 3F beschrieben, angeordnet wird, der höhere thermische Ausdehnungskoeffizient und die somit stärkere Ausdehnung des Metalls beim Erhitzen ein sogenanntes Spalling (Abblättern) der Kappe während nachfolgender Temperverfahren verursachen. Die 3F zeigt eine Ausführungsform, bei der ein klarer Abstand (gekennzeichnet mit dem Bezugszeichen 110) zwischen dem Material (z. B. Metall) der leitenden Leitungen oder Spuren 341 auf der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 und der Kappe 105 vorliegt. Gemäß anderen Ausführungsformen kann der Abstand 110 erheblich kleiner sin, beispielsweise in dem Fall dass ein CMP-(chemisch-mechanisches Polier-)Verfahren angewandt wurde zum Strukturieren der obersten Metallschicht.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann/können optional eine oder mehr Sperrschichten in der Halbleiterkomponente zwischen Metall und dielektrischem Material und/oder Halbleitermaterial in der Halbleiterkomponente bereitgestellt sein. Diese Sperrschichten sind der Einfachheit halber in den Figuren nicht dargestellt.
  • 3F zeigt in einer Ansicht 350 eine weitere Verarbeitungsstufe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen und wie in 3F dargestellt kann eine Kappe 105 mit der oberen Fläche 307a''' des obersten Dielektrikums (d. h. der dritten dielektrischen Schicht 307''' in diesem Beispiel) verbunden sein, z. B. darauf. Die Kappe 305 kann eine obere Fläche 105a und eine der oberen Fläche 105a entgegengesetzte untere Fläche 105b aufweisen. Die untere Fläche 105b kann wie dargestellt der Halbleiterschicht 101 zugewandt sein. Die Kappe kann ähnliche Laterale Abmessungen wie der Wafer 305 aufweisen und kann auch als ein Träger bei nachfolgenden Verarbeitungsschritten dienen.
  • Die Kappe 105 kann beispielsweise aus Glas hergestellt sein und kann an (bzw. auf) der strukturierten obersten dielektrischen Schicht (d. h. an, bzw. auf der dritten dielektrischen Schicht 307''' in diesem Beispiel), z. B. auf gratähnlichen Strukturen der dritten dielektrischen Schicht 307''' beispielsweise durch anodisches Bonden, adhäsives Bonden oder durch Glasfritten angebracht sein.
  • In Abhängigkeit von den Materialien, die für die Kappe 105 verwendet werden kann eine Diffusionssperre (nicht in den Figuren dargestellt) beispielsweise gegen Natriumionen (Na-Ionen), beispielsweise eine Siliziumnitridschicht (Si3N4-Schicht) kann direkt unterhalb der obersten dielektrischen Schicht (d. h. der dritten dielektrischen Schicht 307''' in diesem Beispiel) oder alternativ tiefer im Leitungsführungsstapel gemäß manchen Ausführungsbeispielen bereitgestellt sein.
  • Darüber hinaus kann gemäß manchen Ausführungsformen eine horizontale Diffusionssperre bereitgestellt sein, beispielsweise durch eine umlaufende Furche (anders ausgedrückt eine Furche, welche den aktiven oder Vorrichtungs-Bereich umgibt), welche mit Metall gefüllt ist.
  • Bei manchen Ausführungsformen kann zumindest für manche dielektrischen Wände (der strukturierten dritten dielektrischen Schicht 307''') zwischen benachbarten Umverdrahtungsleitungen oder -spuren 341 der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 eine durchgehende Verbindung ausgebildet sein zwischen der jeweiligen dielektrischen Wand (der strukturierten dritten dielektrischen Schicht 307''') und der Kappe 105, welche elektrisch isolieren kann. Anders ausgedrückt kann eine dielektrische Wand der dritten dielektrischen Schicht 307''' an die Kappe 105 angrenzen (bzw. an diese anstoßen) und demzufolge können benachbarte Umvertrahtungsleitungen 341 der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 elektrisch voneinander isoliert sein durch die dazwischenliegende dielektrische Wand. Demzufolge kann der Abstand zwischen zwei Leitungen 341, welche verschiedene elektrische Potenziale aufweisen, verringert werden bei manchen Ausführungsformen. Viele Unterstützungspunkte können auch eine verbesserte Stabilisierung eines dünnen Wafers bereitstellen.
  • Erläuternd kann eine Kappe 105 gemäß verschiedenen Ausführungsformen verbunden sein mit einer obersten dielektrischen Schicht 307''' eines über einer dünnen Halbleiter-Nutzschicht 101 angeordneten Schichtstapels verbunden sein und kann demzufolge mechanisch verbunden sein mit einem Wafer 305 (insbesondere mit der Halbleiter-Nutzschicht, welche über einem Trägerabschnitt 301 des Wafers 305 angeordnet ist).
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann das Bonding-Verfahren, bei welchem die Kappe 105 mit dem Wafer verbunden wird, optional zumindest unter leichtem bzw. niedrigem Vakuum durchgeführt werden. Dies kann beispielsweise in Fällen angewendet werden, bei denen in der Wafer-Verarbeitung der Schichtstapel nachfolgend Vakuum-Verfahren unterworfen wird und bei denen Hohlräume zwischen der Kappe 105 und dem Chip verbleiben.
  • Bei dem nachfolgenden Herstellungsverfahren kann die Kappe 105 dieselbe Funktion aufweisen wie beispielsweise ein Glasträger. Die Kappe 105 braucht jedoch möglicherweise nicht mehr von der Vorderseite des Wafers entfernt zu werden, sondern kann für immer auf dem Chip verbleiben.
  • Die Dicke der Kappe kann angemessen gewählt werden, beispielsweise auf solche Weise, dass eine ausreichende mechanische Stabilität des Waferstapels während der weiteren Verarbeitung erzielt werden kann. Beispielsweise kann gemäß manchen Ausführungsformen die Kappendicke in einem Bereich von ungefähr 50 μm bis zu ungefähr 1000 μm liegen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 100 μm bis zu ungefähr 500 μm gemäß manchen Ausführungsformen. Alternativ kann die Kappendicke andere Werte aufweisen. Die Dicke der Kappe 105 kann beispielsweise von der Dicke der Halbleiter-Nutzschicht 101 abhängen.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Kappe 105 als opake Kappe ausgeführt sein. Anders ausgedrückt kann die Kappe 105 ein opakes Material aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Auf diese Weise kann das Halbleitermaterial der Halbleiterschicht 101 unterhalb der Kappe 105 beispielsweise während des späteren Betriebs von Licht abgeschirmt sein.
  • Da die Kappe 105 nicht wieder entfernt (anders ausgedrückt: abgelöst) zu werden braucht, ist eine Temperaturbeschränkung nachfolgender Herstellungsverfahren auf z. B. ungefähr 150°C bis 205°c möglicherweise nicht mehr notwendig. Stattdessen kann die Temperaturbeschränkung nun durch die Metallisierung bestimmt sein und kann beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 400°C bis zu 450°C gemäß manchen Ausführungsformen liegen. Anders ausgedrückt können höhere Temperaturen in nachfolgenden Herstellungsverfahren verwendet werden, beispielsweise Temperaturen bis hinauf zu ungefähr 400–450°C gemäß manchen Ausführungsformen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Stapel, welcher die Kappe 105 aufweist, für Vakuumverfahren und/oder nasse chemische Verfahren geeignet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe 105 als Träger dienen während des nachfolgenden Dünnens des Wafers 305 von der Rückseite des Wafers 305b wie in 3G dargestellt.
  • 3G zeigt in einer Ansicht 360 eine weitere Verarbeitungsstufe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen und wie in 3G dargestellt kann der Wafer 305 von der Waferrückseite 305b gedünnt werden, um den Trägerabschnitt 301 des Wafers 305 zu entfernen, so dass die Halbleiternutzschicht 101 des Wafers 305 zurückbleibt. Das Dünnen kann beispielsweise durch herkömmliche Verfahren wie beispielsweise Schleifen und/oder Polieren und/oder Ätzen und/oder chemisch-mechanisches Polieren (CMP) erreicht werden. In diesem Zusammenhang kann eine Unterseite der Durchkontaktierungen 103 beispielsweise zur Endpunkt-Erfassung genutzt werden. Anders ausgedrückt kann das Dünnen des Wafers 305 beispielsweise an oder nahe der unteren Seite der Durchkontaktierungen 103 stoppen.
  • Nach dem Dünnen des Wafers 305 kann die Rückseite des Wafers 305 im Wesentlichen mit der Rückseite 101b der Halbleiterschicht 101 übereinstimmen und die Waferdicke kann im Wesentlichen die Dicke der Halbleiterschicht sein. Beispielsweise kann gemäß manchen Ausführungsformen die Waferdicke (d. h. Dicke der Halbleiterschicht 101) nach dem Dünnen beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 70 μm liegen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 50 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 30 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 15 μm bei manchen Ausführungsformen. Alternativ können andere Werte der Waferdicke möglich sein.
  • Da ein stabiler Träger (und zwar die Kappe 105) auf dem dünnen Wafer 305 angeordnet ist (anders ausgedrückt mechanisch mit der dünnen Halbleiter-Nutzschicht 101 verbunden ist), können weitere Verarbeitungsschritte nun ohne Schwierigkeiten möglich sein. Die Handhabung des Wafers kann über die Kappe 105 erfolgen, bzw. an dieser ausgeführt werden.
  • Beispielsweise können strukturierte Ionenimplantationen oder Ionenimplantationen über die gesamte Fläche und/oder Tempern optional auf der Waferrückseite ausgeführt werden, und/oder eine untere Passivierung kann optional auf der Waferrückseite angewendet und strukturiert werden gemäß manchen Ausführungsformen, wie in 3G dargestellt, welche einen in der Halbleiterschicht mittels strukturierter Ionenimplantation ausgebildeten Implantationsbereich 361 und eine strukturierte Passivierungsschicht 109 auf der Waferrückseite (d. h. der Rückseite 101b der Halbleiterschicht 101) zeigt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können ausgerichtete Fotoverfahren auf der freiliegenden Waferrückseite möglich sein, indem die Enden der Durchkontaktierungen 103 für die Ausrichtung genutzt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen bestehen wegen des stabilen Kappenträgers 105 keine Beschränkungen bezüglich der Handhabung des Wafers.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 über Teilen der Rückseite 101b der Halbleiterschicht 101 angeordnet und elektrisch mit den Durchkontaktierungen 103 verbunden sein, um das elektronische Element 102 wie dargestellt elektrisch zu verbinden. Bei der in 3G dargestellten Ausführungsform weist die Metallisierungsschicht 106 einen ersten Abschnitt 362 und einen zweiten Abschnitt 363 auf, wobei jeder elektrisch mit jeweils einem der zwei Durchkontaktierungen 103 verbunden ist. Folglich können mittels der ersten und zweiten Abschnitte 362, 363 der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 die Source/Drain-Bereiche 302 des Transistors 102 elektrisch kontaktiert sein. Der erste Abschnitt 362 und der zweite Abschnitt 363 der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 können über der Passivierungsschicht 109 angeordnet und elektrisch von der Halbleiterschicht 101 durch die Passivierungsschicht 109 wie dargestellt isoliert sein.
  • Gemäß der dargestellten Ausführungsform kann die Metallisierungsschicht 106 einen dritten Abschnitt 364 aufweisen, welcher wie dargestellt in Kontakt mit dem Implantationsbereich 361 sein kann. Demzufolge kann ein substratkontakt bereitgestellt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 ein geeignetes Metallisierungsmaterial aufweisen oder daraus hergestellt sein, z. B. Aluminium (Al), Kupfer (Cu), Nickel (Ni), Wolfram (W), Titan (Ti) oder eine Legierung und/oder ein Stapel von Schichten, welche/r eines oder mehr der vorgenannten Materialien aufweist. Gemäß manchen Ausführungsformen und beispielsweise zum einfacheren Zusammenbau können diese leitenden Materialien mit anderen leitenden Materialien beschichtet sein, wie beispielsweise Silber (Ag), Gold (Au), Nickel (Ni), Zinn (Sn), um z. B. das Korrosionsverhalten oder das Benetzungsvermögen während späterer Lötverfahren zu verbessern. Alternativ oder zusätzlich kann die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 andere geeignete Metallisierungsmaterialien aufweisen oder daraus bestehen, z. B. andere geeignete Metalle oder Metalllegierungen.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen können Lotkugeln 365 an der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 angebracht sein, um die Rückseiten-Metallisierungsschicht von der Außenseite wie in 3G dargestellt zu verbinden.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen und wie in 3G dargestellt kann die Halbleiterkomponente einen direkten Kontakt des Substrats (d. h. der Halbleiterschicht 101) zu einem oder mehr Lotkugeln 365 aufweisen (in dem in 3G dargestellten Beispiel kontaktiert eine Lotkugel 365 den dritten Abschnitt 364 der Rückseiten-Metallisierungsschicht, welche wiederum den Implantationsbereich 361 der Halbleiterschicht 101 kontaktiert). In diesem Fall kann eine Kontaktschicht (offensichtlich. der dritte Abschnitt 364 der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 im in 3G dargestellten Beispiel) gleichzeitig mit einer Diffusionssperre für das Lötmaterial bereitgestellt sein.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen können die Lotkugeln 365 beispielsweise auf Waferebene am Vorderende abgelagert werden, was die Verarbeitung erleichtert.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können ein elektrischer Test und, falls notwendig, ein Anfärben (d. h. Markieren nicht funktionstüchtiger Komponenten) ausgeführt werden, beispielsweise auf Waferebene nach der Ausbildung der Kontaktschicht (d. h. der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106) oder nach der Ausbildung der Lotkugeln 365.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können weitere Verfahren auf der Kappenseite möglich sein, wie beispielsweise Markieren mit einem Stempel, Lasern, usw. und können sinnvoll sein, da die Kappe 105 gleichzeitig als ein Gehäuse (oder zumindest als Teil eines Gehäuses) der Komponente oder des Chips dienen kann.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Vereinzeln der Chips nachfolgend ausgeführt werden, beispielsweise indem bekannte Verfahren angewendet werden, beispielsweise Sägen.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann das Vereinzeln (z. B. Sägen) von der Unterseite der Komponente aus ausgeführt werden. Zu diesem Zweck kann die Kappe 105 (genauer die obere Fläche 105a der Kappe 105) beispielsweise an eine herkömmliche Sägefolie laminiert werden, z. B. darauf aufgeklebt. Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht 101 Silizium aufweisen oder daraus hergestellt sein, und die Kappe 105 kann Glas oder SiO2 aufweisen oder daraus hergestellt sein. Sägen von Silizium auf Glas oder SiO2 kann für gewöhnlich ohne Schwierigkeiten durchgeführt werden.
  • Sägen von der Unterseite kann beispielsweise die Wirkung haben, dass vermieden werden kann, dass Teile der dünnen Halbleiterschicht 101 weggebrochen werden durch den mechanischen Druck des Sägeblatts, anstatt durch das Sägeblatt weggeschnitten zu werden.
  • Alternativ kann Vereinzeln (z. B. Sägen) auch von der Oberseite der Komponente aus erreicht werden.
  • Gemäß alternativen Ausführungsformen kann Vereinzeln der Chips erreicht werden, indem andere bekannte Verfahren wie beispielsweise Laserschneiden oder Plasmaätzen angewandt werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Komponente nach dem Vereinzeln der Chips beispielsweise entweder auf dem Sägerahmen oder nach Umpacken, z. B. in Gurt-und-Spule, kurz Gurtverpackungen, oder ein weiteres Transportgehäuse, befördert werden.
  • Erläuternd zeigt 3G eine Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform. Die Halbleiterkomponente kann aufweisen eine Halbleiterschicht 101, welche eine Vorderseite 101a und eine Rückseite 101b aufweist, mindestens ein elektronisches Element 102, welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht 101 ausgebildet ist, mindestens eine Durchkontaktierung 103, welche in der Halbleiterschicht 101 ausgebildet ist und von der Vorderseite 101a zur Rückseite 101b der Halbleiterschicht 101 führt, eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104, welche über zumindest einem Teil der Vorderseite 101a der Halbleiterschicht 101 angeordnet ist, um das mindestens eine elektronische Element 102 mit der mindestens einen Durchkontaktierung 103 zu verbinden, eine Kappe 105, welche über der vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 angeordnet du als ein Vorderseitenträger ausgebildet ist, und eine Rückseiten-Metallisierungsschicht 109, welche über zumindest einem Teil der Rückseite 101b der Halbleiterschicht 101 angeordnet und elektrisch mit der Durchkontaktierung 103 verbunden ist, um das mindestens eine elektronische Element 102 elektrisch zu verbinden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Halbleiterkomponente (z. B. ein Chip) bereitgestellt sein, welcher integrierte Durchkontaktierungen (bzw. Vias, z. B., Silizium-Durchkontaktierungen (TSV), abgeleitet vom englischen Begriff „through silicon via”) und eine gebondete (bzw. verbundene) Kappe aufweist, welche einen vor-Ort-Träger während eines Herstellungsverfahrens der Halbleiterkomponente (z. B. des Chips) aufweist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente (z. B. der Chip) mittels einer Metallisierung auf der Rückseite (z. B. der Chiprückseite) kontaktiert sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe gemeinsam mit einer Halbleiter-Nutzschicht (und möglicherweise anderen Schichten, z. B. dielektrischen Schichten, Passivierungsschichten, Sperrschichten, Metallisierungsschichten usw.) der Halbleiterkomponente (z. B. des Chips) während eines Vereinzelungsverfahrens geschnitten werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe in der vollständig bearbeiteten Halbleiterkomponente (z. B. dem Chip) verbleiben. Anders ausgedrückt ist es nicht notwendig, die Kappe wieder zu entfernen, wenn sie einmal angebracht wurde.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe gleichzeitig als Gehäuse (oder zumindest als ein Teil des Gehäuses) für die Halbleiterkomponente (z. B. den Chip) dienen.
  • Als ein wichtiger Aspekt eines Gehäuses kann das Verhindern von Eindringen von Verunreinigungen in den Körper des Halbleiters betrachtet werden. Zu diesem Zweck kann eine Halbleiterkomponente gemäß verschiedenen Ausführungsformen auf der Vorderseite oder der Rückseite eine oder mehr Sperrschichten aufweisen, beispielsweise Si3N4-Schichten, und/oder eine Metallabdeckung von Kontaktlöchern (z. B. Kontaktlöcher 108 in den Ausführungsformen, die in den Figuren dargestellt sind). Gemäß manchen Ausführungsformen kann ein Überlappen der Metallabdeckung und der Kontaktlöcher oder Stopfen vorgesehen sein. Um das Hineindiffundieren von Verunreinigungen von einer Sägespur in den Halbleiter (z. B. in die Halbleiterschicht 101) zu verhindern kann eine umlaufende TSV (Silizium-Durchkontaktierung, abgeleitet vom englischen Begriff „through-silicon-via”) beispielsweise gemäß manchen Ausführungsformen bereitgestellt sein.
  • Eine weitere Wirkung einer Halbleiterkomponente gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann darin gesehen werden, dass die Kappe (z. B. die Kappe 105 in den Ausführungsformen, die in den Figuren dargestellt sind) und der Chip eine stabile Trägerschicht bereitstellen können, welche es gestattet, dass im Wesentlichen dieselbe Ausrüstung und dieselben Verfahren auf der Rückseite der Halbleiterkomponente ausgeführt werden können wie im BEOL-Block (abgeleitet vom englischen Begriff „back end of line”, übersetzt „hinteres Ende der Linie”, z. B. der Produktionslinie) auf der Chipvorderseite. Folglich kann beispielsweise eine zusätzliche Umverteilung, falls notwendig mehrere Metallschichten oder Ebenen aufweisend, auf die, bzw. der Rückseite des Chips, wie in 4 und 5 dargestellt, möglich sein.
  • 4 zeigt eine Halbleiterkomponente 400 gemäß einer Ausführungsform. Die Halbleiterkomponente 400 kann bis zu einem gewissen Grad der in 3G dargestellten Halbleiterkomponente ähnlich sein, und dieselben Bezugszeichnen kennzeichnen dieselben Elemente wie dort und werden hier nicht noch einmal detailliert beschrieben.
  • Als ein Beispiel weist die Halbleiterkomponente 400 einen quasi-lateralen DMOS (abgeleitet vom englischen Begriff „double-diffused MOS”, auf Deutsch „doppelt-(ein)diffundierter Metalloxid-Halbleiter”) Feldeffekttransistor als elektronisches Element 102. Der DMOS Feldeffekttransistor 102 kann Teil eines integrierten Schaltkreises (IC) sein, welcher zumindest teilweise in der Halbleiterschicht 101 ausgebildet ist. 4 zeigt nur einen Abschnitt des integrierten Schaltkreises (aufweisend den DMOS 102), und wie leicht zu verstehen sein wird kann der integrierte Schaltkreis zusätzliche (nicht dargestellte) elektronische Elemente aufweisen.
  • Der DMOS 102 kann als eine vertikale Komponente konfiguriert sein, welche aufweist eine oder mehr Source-Bereiche 402 (zwei Source-Bereiche 402 sind als ein Beispiel dargestellt), eine oder mehr Körperbereiche 403 (zwei Körperbereiche 403 sind als ein Beispiel dargestellt), ein isoliertes Gate 304 und einen verdeckten, bzw. verborgenen Drain-Bereich oder Drain-Anschluss 461. Die Source-Bereiche 402 können elektrisch (mittels jeweiliger Kontaktlöcher 108) mit einer ersten leitenden Leitung oder Umvertrahtungsleitung 441' der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 verbunden sein, welche wiederum (mittels eines weiteren Kontaktlochs und einer ersten Durchkontaktierung 103', die sich durch die Halbleiterschicht 101 erstreckt) elektrisch verbunden ist mit einem ersten Abschnitt 462 einer Rückseiten-Metallisierungsschicht 106, welche über der Rückseite 101b der Halbleiterschicht angeordnet ist. Der verdeckte Drain-Bereich 461 kann mit einem zweiten Abschnitt 463 der Rückseiten-Metallisierungsschicht wie dargestellt elektrisch verbunden sein. Der zweite Abschnitt 463 der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 kann wiederum elektrisch verbunden sein (mittels einer zweiten Durchkontaktierung 103'', welche sich durch die Halbleiterschicht 101 erstreckt und ein weiteres Kontaktloch 108) mit einer zweiten leitenden Leitung oder Umvertrahtungsleitung 441'' der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104. Die zweite leitende Leitung oder Umvertrahtungsleitung 441'' kann darüber hinaus gemäß manchen Ausführungsformen elektrisch mit einem weiteren elektronischen Element des integrierten Schaltkreises (nicht dargestellt) verbunden sein.
  • Gemäß der in 4 dargestellten Ausführungsform können Lotkugeln 365 sowohl an dem ersten Abschnitt 462, als auch an dem zweiten Abschnitt 463 der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 angebracht sein. Auf diese Weise können sowohl die Source-Bereiche 402 als auch der verdeckte Drain-Bereich 461 des DMOS 102 von der Außenseite elektrisch kontaktiert werden.
  • Ein elektrischer Kontakt zu dem Gate 304 des DMOS Feldeffekttransistors 102 kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen vorliegen, ist jedoch in 4 der Einfachheit halber nicht dargestellt.
  • Gemäß der in 4 dargestellten Ausführungsform kann ein verdeckter Drain-Anschluss 461 auf niederohmige Art mittels der Rückseite mit der Vorderseite einer Halbleiterkomponente (z. B. eines Chips) verbunden sein. In diesem Zusammenhang kann der zweite Abschnitt 463 der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 erläuternd als eine Wiederverteilungsspur auf der Rückseite der Halbleiterkomponente dienen. Niederohmige Verbindungen für einen verdeckten Drain eines Feldeffekttransistors, oder analog für einen verdeckten Kollektor eines bipolaren Transistors, kann einen wichtigen Beitrag zu einer guten Leistung von lateralen Transistoren in integrierten Schaltkreisen darstellen.
  • 5 zeigt eine Halbleiterkomponente 500 gemäß einer Ausführungsform. Während 4 eine Halbleiterkomponente 400 mit Wiederverteilung auf der Chiprückseite und Kontakten von den Drain-Anschlüssen 461 zur Außenseite zeigt, zeigt 5 eine ähnliche Halbleiterkomponente 500 ohne Kontaktierung des Drain-Anschlusses 461 zur Außenseite. Die Halbleiterkomponente 500 kann beispielsweise eine zusätzliche Passivierungsschicht 509 auf der Rückseite aufweisen, welche den zweiten Abschnitt 463 auf der Rückseiten-Metallisierungsschicht und Teile der Passivierungsschicht 109 wie in 5 dargestellt bedeckt. Anders ausgedrückt bedeutet das, dass gemäß manchen Ausführungsformen die Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 verwendet werden kann, um jegliches elektrisches Signal auf der Rückseite umzuverteilen, ähnlich der mindestens einen Umverdrahtungsschicht 104 auf der Vorderseite des Chips. Ein solches Signal kann ein Drain-Signal eines Transistors sein, wie in der Ausführungsform von 5 dargestellt, es kann aber auch jegliche andere Art von Signal sein, das auf dem Chip zur Verfügung steht gemäß anderen Ausführungsformen. In einem integrierten Schaltkreis können beispielsweise mehrere verschiedene Signale, aufweisend verschiedene Drain-Signale, mit der Rückseite des Chips verbunden sein und/oder auf der Rückseite des Chips gemäß manchen Ausführungsformen umverteilt werden.
  • Wie bei der Halbleiterkomponente 400 aus 4 kann ein elektrischer Kontakt zu dem Gate 304 des DMOS-Feldeffekttransistors 102 auf der Halbleiterkomponente 500 aus 5 gemäß verschiedenen Ausführungsformen vorliegen, ist jedoch in 5 der Einfachheit halber nicht dargestellt.
  • Anders als in den in den 4 und 5 dargestellten Ausführungsformen braucht eine Verbindung des Transistors 102 auf der Chiprückseite überhaupt nicht bereitgestellt zu sein, beispielsweise in Fällen, in denen der Transistor 102 Teil eines elektrischen Schaltkreises ist und das elektrische Signal in dem Schaltkreis direkt weiterverarbeitet wird. In diesem Fall kann ein weiteres Schaltkreiselement, welches mit dem Transistor 102 elektrisch verbunden ist, beispielsweise gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine Verbindung auf der Chiprückseite aufweisen.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen können Strukturen analog zu den in den 4 und 5 dargestellten beispielsweise auch als ESD-(abgeleitet vom englischen Begriff „electrostatic discharge”, auf Deutsch „elektrostatische Entladung”)Schutzstruktur oder ähnliches verwendet werden.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die (mechanische) Verbindung zwischen der Kappe und dem Chip auf relativ grobe Weise strukturiert sein, analog beispielsweise zu dem Verfahren in einem Reifendrucksensor. Dieses Verfahren kann beispielsweise besonders in Fällen angewandt werden, bei denen der Chipbereich klein sein kann oder die Halbleiternutzschicht nicht zu dünn sein kann/darf, z. B. noch eine Dicke von mehr als ungefähr 10–20 μm und damit eine gewisse mechanische Stabilität besitzt.
  • In diesem Zusammenhang kann die Kappe beispielsweise so konfiguriert oder strukturiert sein, dass sie eine groß angelegte Aussparung, bzw. Einbuchtung aufweist und auf den Chip an der Kante oder den Kanten der Aussparung gebondet (mit dem Chip verbunden) sein, wie erläutert und unten beschrieben in Verbindung mit einer in 6 dargestellten beispielhaften Ausführungsform, oder die Kappe kann auf den Chip mittels einer strukturierten Abstandsschicht gebondet sein, wie erläutert und unten beschrieben in Verbindung mit einer in 7 dargestellten beispielhaften Ausführungsform.
  • 6 zeigt eine Halbleiterkomponente 600 gemäß einer Ausführungsform. Die Halbleiterkomponente 600 kann bis zu einem gewissen Grad hierin oben beschriebenen Halbleiterkomponente ähnlich sein, und dieselben Bezugszeichnen kennzeichnen dieselben Elemente wie dort und werden hier nicht noch einmal detailliert beschrieben.
  • Die Halbleiterkomponente 600 weist einen vertikalen diskreten MOSFET als elektronisches Element 102 auf. Anders ausgedrückt kann die Halbleiterkomponente 600 als ein vertikaler diskreter MOSFET ausgebildet sein. Der MOSFET kann eine oder mehr Source-Bereiche 402 aufweisen (zwei Source-Bereiche 402 sind als ein Beispiel dargestellt), eine oder mehr Körperbereiche 403 (zwei Körperbereiche 403 sind als ein Beispiel dargestellt) einen verdeckten Drain-Bereich 461 und ein isoliertes Gate 304.
  • Die Source-Bereiche 402 können elektrisch (mittels jeweiliger Kontaktlöcher 108) mit einer ersten leitenden Leitung oder Wiederverteilungsspur 441' der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 verbunden sein, welche wiederum (mittels eines weiteren Kontaktlochs und einer ersten Durchkontaktierung 103', die sich durch die Halbleiterschicht 101 erstreckt) elektrisch verbunden ist mit einem ersten Abschnitt 362 einer Rückseiten-Metallisierungsschicht 106, welche über der Rückseite 101b der Halbleiterschicht angeordnet ist.
  • Das Gate 304 kann elektrisch verbunden sein mit einer zweiten leitenden Leitung oder Umvertrahtungsleitung 441'' der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 mittels einer elektrisch leitenden Verbindung (in 6 nur schematisch anhand einer Verbindungslinie 611 dargestellt). Die zweite leitende Leitung oder Umvertrahtungsleitung 441'' kann wiederum elektrisch verbunden sein (mittels eines weiteren Kontaktlochs 108 und einer zweiten Durchkontaktierung 103'', welche sich durch die Halbleiterschicht 101 erstreckt) mit einem zweiten Abschnitt 363 der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106.
  • Der verdeckte Drain-Bereich 461 kann mit einem dritten Abschnitt 364 der Rückseiten-Metallisierungsschicht wie dargestellt elektrisch verbunden sein.
  • Lotkugeln 365 können an den ersten, zweiten und dritten Abschnitten 362, 363, 364 der Rückseiten-Metallisierungsschicht 106 angebracht sein. Auf diese Weise können der Source-Bereich 402, das Gate 304 und der verdeckte Drain-Bereich 461 des vertikalen MOSFET 102 elektrisch von der Außenseite mittels der Rückseite der Halbleiterkomponente 600 kontaktiert werden.
  • Gemäß der in 6 dargestellten Ausführungsform kann die Halbleiterkomponenten 600 eine Kappe 105 aufweisen, welche an der Vorderseite der Halbleiterkomponente 600 durch eine (mechanische) Verbindung mit der großräumig strukturierten Kappe angebracht wird. Gemäß dieser Ausführungsform kann die Kappe 105 so strukturiert sein, dass sie eine großräumige Aussparung 610 aufweist und kann auf den Chip gebondet (bzw. mit ihm verbunden) sein an einer Kante oder Kanten der Aussparung 610. Beispielsweise kann die Kappe 105 an den Chip (offensichtlich an die dritte dielektrische Schicht 307''' gemäß der in 6 dargestellten Ausführungsform) gebondet sein durch einen oder mehr gratförmige Vorsprünge 612 der strukturierten Kappe 105, welche an einer Kante oder Kanten der Kappe 105 wie dargestellt angeordnet sind. Folglich kann die Kappe 105 gemäß der dargestellten Ausführungsform mechanisch mit der Halbleiterschicht 101 mittels der Vorsprünge 612 der Kappe 105, der dritten dielektrischen Schicht 307''', der zweiten dielektrischen Schicht 307'' und der ersten dielektrischen Schicht 307' verbunden sein.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann eine Passivierungsschicht 609 über der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 (beispielsweise über den ersten und zweiten elektrisch leitenden Leitungen 441', 441'' wie in 6 dargestellt) angeordnet sein und die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 gegenüber der Kappe 105 elektrisch isolieren. In der in 6 dargestellten Ausführungsform kann die Passivierungsschicht darüber hinaus über Teilen der dritten dielektrischen Schicht 307'''' angeordnet sein. Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 600 so konfiguriert sein, dass eine Aussparung, bzw. Einbuchtung 613 zwischen der Kappe 105 und der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 (oder der Passivierungsschicht 609, welche, falls vorhanden, die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 bedeckt) wie dargestellt angeordnet sein kann. Gemäß manchen Ausführungsformen könnte die Kappe 105 also direkt mit der Passivierungsschicht 609 verbunden sein.
  • 7 zeigt eine Halbleiterkomponente 700 gemäß einer Ausführungsform, bei der eine (mechanische) Verbindung zwischen der Kappe und dem Chip auf relativ grobe Weise strukturiert ist, ähnlich der oben beschriebenen Halbleiterkomponente 600. Die Halbleiterkomponente 700 kann einen diskreten vertikalen MOSFET als elektronisches Element 102 aufweisen, mit ähnlicher Leitungsführungsarchitektur wie bei der Halbleiterkomponente 600 der 6.
  • Die Halbleiterkomponente 700 unterscheidet sich von der Halbleiterkomponente 600 hauptsächlich dadurch, dass eine strukturierte Abstandsschicht 701 bereitgestellt sein kann, und dass die Kappe (welche selbst unstrukturiert sein kann) mit der Abstandsschicht 701 gebondet bzw. verbunden sein kann und demzufolge mechanisch mit der Halbleiterschicht 101 verbunden sein kann. Gemäß der dargestellten Ausführungsform kann die Abstandsschicht 701 über der zweiten dielektrischen Schicht 307'' angeordnet sein und kann demzufolge mechanisch mit der Halbleiterschicht 101 mittels der zweiten dielektrischen Schicht 307'' und der ersten dielektrischen Schicht 307' mechanisch verbunden sein. Gemäß manchen ausführungsformen kann eine Passivierungsschicht 609 über der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 (beispielsweise über der ersten und zweiten elektrisch leitenden Leitung 441', 441'' wie in 7 dargestellt) angeordnet sein und die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 gegenüber der Kappe 105 elektrisch isolieren. Die Passivierungsschicht 609 kann ferner über Teilen der zweiten dielektrischen Schicht 307'' wie dargestellt angeordnet sein. Die Abstandsschicht 701 kann mindestens so dick wie die Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 (und die Passivierungsschicht 609, falls vorhanden) sein. Bei der in 7 dargestellten Ausführungsform hat die Abstandsschicht 701 eine Dicke, welche größer als die kombinierten Dicken der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 und der Passivierungsschicht 609 ist.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Passivierungsschicht 609 optional in den oben in Verbindung mit 6 und 7 beschriebenen Halbleiterkomponenten 600, 700 bereitgestellt sein. Anders ausgedrückt kann eine Passivierungsschicht gemäß manchen Ausführungsformen auf der Chipvorderseite bereitgestellt sein, wie es bei heutigen Herstellungsverfahren üblich sein mag. Da gemäß verschiedenen Ausführungsformen ein Kontaktieren des Chips ausschließlich über die Rückseite erzielt werden kann, ist eine (kleinräumige) Strukturierung der Vorderseiten-Passivierung möglicherweise gemäß manchen Ausführungsformen nicht notwendig. Das kann beispielsweise die Undurchlässigkeit der Passivierung verbessern.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann die Kappe als ein Träger verwendet werden, um die Halbleiterkomponente auf einem Leiterrahmen zu montieren, beispielsweise unter Verwendung herkömmlicher Verfahren. Im Zusammenhang damit kann die Kappe auf einem Leiterrahmen befestigt sein, beispielsweise durch ein adhäsives Verfahren oder, nach der Ablagerung einer entsprechenden Metallisierung auf der Kappe, durch Löten (z. B. Diffusionslöten), wie in 8 dargestellt.
  • 8 zeigt eine Halbleiterkomponentenanordnung 800' aufweisend eine Halbleiterkomponente 800, welche auf einem Leiterrahmen 803 montiert ist, gemäß einer Ausführungsform. Die Halbleiterkomponente 800 kann, wie in 8 dargestellt, einen diskreten vertikalen MOSFET als elektronisches Element aufweisen, mit einer ähnlichen Leitungsführungsarchitektur wie bei den Halbleiterkomponenten 600 und 700 aus 6 und 7. Alternativ kann die Halbleiterkomponente 800 jegliche andere elektronische Vorrichtung oder integrierten Schaltkreis aufweisen. Eine Passivierungsschicht 609 kann über der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 angeordnet sein und kann die obere Fläche 104a und Seitenwände der einzelnen Umvertrahtungsleitungen 441', 441'' der Vorderseiten-Metallisierungsschicht 104 bedecken. Zusätzlich kann eine dielektrische Schicht 801 über freigelegten Teilen der zweiten dielektrischen Schicht 307'' und über Teilen der Passivierungsschicht 609 angeordnet sein und kann so planarisiert sein, dass sie mit der Passivierungsschicht 609 bündig ist. Die Kappe 105 kann an die Passivierungsschicht 609 und die dielektrische Schicht 801 wie dargestellt gebondet sein. Bei der Halbleiterkomponente 800 kann die Kappe 105 als eine Zusammenbauhilfe zum Montieren der Halbleiterkomponente 800 auf einen Leiterrahmen 803 genutzt werden.
  • 8 kann einen Vorfertigungszustand der Halbleiterkomponente 800 nach einem Chip-Bonding Verfahren und beispielsweise vor einem Draht-Bonding Verfahreun und einem Umformungs-Verfahren darstellen. Die Kappe (genauer die obere Fläche 105a der Kappe 105) kann an dem Leiterrahmen 803 angebracht sein, beispielsweise durch eine Haftschicht 802 gemäß einer Ausführungsform (wie in 8 dargestellt) oder durch einen Metallisierungsstapel und Lötmaterial gemäß einer anderen Ausführungsform.
  • Da wegen der mechanisch stabilen Kappe 105 das Aufsammeln der Halbleiterkomponente 800 oder des Chips in einer Weise umgesetzt werden kann, die der bei herkömmlichen Chips ähnlich oder die gleiche ist, kann der Chipzusammenbau leichter und schneller werden.
  • Falls ein Isolator wie beispielsweise Glas als Trägermaterial (d. h. Material der Kappe 105) verwendet wird, kann der Leiterrahmen 803 elektrisch gegenüber der Halbleiterkomponente 800 oder dem Chip elektrisch isoliert sein. Dies kann beispielsweise verschiedene Möglichkeiten für einen Chip-für-Chip-Einbau in ein einziges Gehäuse eröffnen. Beispielsweise können gemäß manchen Ausführungsformen Steuerschaltkreise und ein oder mehrere Leistungsschalter auf einem Leiterrahmen eingebaut, bzw. zusammengeschlossen werden ohne zusätzlichen Isolierungsaufwand.
  • Manche Komponenten wie beispielsweise Leistungs-ICs oder Leistungstransistoren können stärkere Kühlung benötigen. In diesem Zusammenhang kann das isolierte Zusammenbauverfahren einer Halbleiterkomponente oder eines Chips gemäß verschiedenen hierin beschriebenen Ausführungsformen thermische Anbindung an ein Kühlelement oder einen Kühlkörper vereinfachen.
  • Insbesondere kann die Kappe der Halbleiterkomponente gemäß manchen Ausführungsformen an einem Kühlelement oder Kühlkörper befestigt sein, beispielsweise wie in 9 dargestellt mittels einer wärmeleitenden Paste.
  • 9 zeigt eine Halbleiterkomponentenanordnung 900', welche eine Halbleiterkomponente 900 aufweist, die gemäß einer Ausführungsform auf ein Kühlelement oder einen Kühlkörper 903 montiert ist. Die Halbleiterkomponente 900 kann, wie in 9 dargestellt, beispielsweise der Halbleiterkomponente 800 aus 8 ähnlich sein. Insbesondere können dieselben Bezugszeichen dieselben Teile wie in 8 kennzeichnen, und diese werden hier nicht noch einmal detailliert beschrieben. Gemäß anderen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente 900 anders konfiguriert sein, beispielsweise gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen.
  • Die Halbleiterkomponente 900 kann beispielsweise an dem Kühlelement oder Kühlkörper 903 mittels einer Wärmeleitpaste 902 angebracht sein, welche zwischen der Kappe 105 und dem Kühlelement oder Kühlkörper 903 wie dargestellt angeordnet ist. Eine Wärmeleitpaste zu verwenden kann beispielsweise die Wirkung haben, dass eine Wärmeverbindung der Halbleiterkomponente mit dem Kühlelement oder Kühlkörper leicht während des Zusammenbaus verwirklich werden kann. Gemäß anderen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente mit dem Kühlelement oder Kühlkörper verbunden sein ohne eine Wärmeleitpaste zu verwenden, beispielsweise durch direktes Bonden oder Löten (z. B. Diffusionslöten). Dies kann beispielsweise die Wirkung einer verbesserten Wärmeableitung aufweisen, z. B. verglichen mit der Verbindung mittels einer Wärmeleitpaste.
  • Mittels einer Halbleiterkomponente gemäß verschiedenen hierin beschriebenen Ausführungsformen (z. B. die Halbleiterkomponente 900 in 9), welche auf ein Kühlelement oder einen Kühlkörper (z. B. das Kühlelement oder der Kühlkörper 903 in 9) montiert ist kann zusätzliche elektrische Isolierung von Kundenseite oder ein spezielles Gehäuse, beispielsweise das sogenannte „TO-220 Fullpack” beispielsweise weggelassen werden, wobei dennoch eine elektrisch wirksame Isolierung zwischen der Komponente und dem Kühlelement erzielt wird.
  • Anstelle einer isolierenden Kappe kann auch eine elektrisch leitende Kappe (beispielsweise in Kombination mit einer geeigneten Passivierung auf der Bonding-Seite) gemäß verschiedenen Ausführungsformen verwendet werden. Eine Wirkung einer elektrisch leitenden Kappe kann eine verbesserte Thermische Verbindung mit einem Kühlelement oder Kühlkörper sein.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann eine Kombination einer hochleitfähigen Kappe mit einem dünnen isolierenden Überzug auch verwendet werden.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann eine elektrisch leitfähige Kappe beispielsweise verwendet werden, um einen elektrischen Kontakt des elektronischen Elements (beispielsweise eines Anschlussbereichs des elektronischen Elements, z. B. der Source-Bereiche 402 in den Halbleiterkomponenten 800/900 in 8 und 9) bereitzustellen mittels der Kappe und der Vorderseiten-Metallisierungsschicht (oder zumindest einer Umvertrahtungsleitung der Vorderseiten-Metallisierungsschicht), welche in diesem elektrisch mit der Kappe verbunden sein kann.
  • Gemäß manchen Ausführungsformen kann ein Kunststoffmaterial oder Kunststofflaminat (beispielsweise gemäß einer Ausführungsform eine Faserverstärkung aufweisend) als die Kappe oder der Träger anstelle einer starren (z. B. Glas-)Kappe verwendet werden. Beispielsweise können gemäß manchen Ausführungsformen ähnliche oder gleiche Materialien wie bei der Herstellung von gedruckten Leiterplatten (PCB) verwendet werden, beispielsweise Glasfaserepoxidharzverbindungen oder Teflonverbindungen.
  • Auch leitende schichtbare Materialien (d. h. Materialien, die sich zum Schichten eignen) wie beispielsweise Metallgewebe mit geeigneten Bindemitteln, können gemäß manchen Ausführungsformen analog zu leitenden homogenen Kappen verwendet werden. Obwohl diese Materialien im Vergleich zu inorganischen Materialien wie beispielsweise Glas eine niedrigere Temperaturstabilität aufweisen können, können sie andererseits größere Topologien auf der Wafer-Vorderseite ausgleichen (anders ausgedrückt angleichen) und können auf sehr leichte Weise zu verarbeiten sein.
  • 10 zeigt ein Verfahren 1000 zum Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß einer Ausführungsform.
  • In 1002 kann ein Wafer bereitgestellt werden, wobei der Wafer einen Trägerabschnitt und eine Nutzschicht aufweist, welche auf oder über dem Trägerabschnitt angeordnet ist und ein elektronisches Element aufweist, welches zumindest teilweise darin ausgebildet ist.
  • In 1004 kann eine Durchkontaktierung in der Nutzschicht ausgebildet werden, wobei die Durchkontaktierung sich durch die Nutzschicht erstreckt. Die Durchkontaktierung kann beispielsweise gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen ausgebildet und/oder konfiguriert werden.
  • In 1006 kann eine Metallisierungsschicht über einer Vorderseite des Wafers ausgebildet werden, wobei die Metallisierungsschicht das elektronische Element elektrisch mit der Durchkontaktierung verbindet. Die Metallisierungsschicht kann beispielsweise gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen ausgebildet und/oder konfiguriert werden.
  • In 1008 kann eine Kappe auf die Vorderseite des Wafers gebondet werden. Die Kappe kann beispielsweise gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen konfiguriert sein. Das Bonden der Kappe kann beispielsweise gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen erreicht werden.
  • In 1010 kann der Wafer von einer Rückseite des Wafers gedünnt werden, um den Trägerabschnitt zu entfernen und die Nutzschicht des Wafers freizulegen. Das Dünnen des Wafers kann beispielsweise gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen erreicht werden.
  • In 1012 kann eine Metallisierungsschicht über einer Rückseite des gedünnten Wafers ausgebildet werden, um das elektronische Element elektrisch zu kontaktieren. Die Metallisierungsschicht kann beispielsweise gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen ausgebildet und/oder konfiguriert werden.
  • In 1014 kann der gedünnte Wafer gemeinsam mit der gebondeten Kappe vereinzelt werden. Das Vereinzeln kann beispielsweise gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen erreicht werden.
  • Eine Halbleiterkomponente kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen aufweisen: eine Halbleiterschicht, welche eine Vorderseite und eine Rückseite aufweist; mindestens ein elektronisches Element, welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht ausgebildet ist; mindestens eine Durchkontaktierung, welche in der Halbleiterschicht ausgebildet ist und sich von der Vorderseite zu der Rückseite der Halbleiterschicht erstreckt; eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht, welche über zumindest einem Teil der Vorderseite der Halbleiterschicht ausgebildet ist, um das mindestens eine elektronische Element mit der mindestens einen Durchkontaktierung zu verbinden; eine Kappe, die über der Vorderseite der Halbleiterschicht angeordnet ist und mechanisch mit der Halbleiterschicht verbunden ist, wobei die Kappe als ein Vorderseiten-Träger der Halbleiterkomponente konfiguriert ist; eine Rückseiten-Metallisierungsschicht, welche über zumindest einem Teil der Rückseite der Halbleiterschicht angeordnet und elektrisch mit der mindestens einen Durchkontaktierung verbunden ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Rückseiten-Metallisierungsschicht dazu dienen, das mindestens eine elektronische Element elektrisch zu kontaktieren.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht eine Nutzschicht der Halbleiterkomponente sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht Silizium aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 70 μm aufweisen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 50 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 30 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 15 μm bei manchen Ausführungsformen. Alternativ können andere Werte der Dicke der Halbleiterschicht möglich sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Vorderseiten-Metallisierungsschicht mindestens eine leitende Spur aufweisen, welche mit dem mindestens einen elektronischen Element und der mindestens einen Durchkontaktierung verbunden ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente eine dielektrische Schicht aufweisen, welche über Teilen der Vorderseite der Halbleiterschicht angeordnet ist, und die Vorderseiten-Metallisierungsschicht kann zwischen Abschnitten der dielektrischen Schicht angeordnet sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann eine obere Fläche der Vorderseiten-Metallisierungsschicht auf einer niedrigeren Ebene oder auf derselben Ebene wie eine obere Fläche der dielektrischen Schicht angeordnet sein bezüglich der Vorderseite der Halbleiterschicht.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe an der oberen Fläche der dielektrischen Schicht angebracht sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe eine Aussparung, bzw. Einbuchtung aufweisen und kann mechanisch mit der Halbleiterschicht durch einen oder mehr gratförmige Vorsprünge der Kappe, die an einer Kante oder Kanten der Aussparung angeordnet sind.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe ein elektrisch isolierendes Material aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das elektrisch isolierende Material mindestens eines der folgenden aufweisen oder daraus hergestellt sein: Glas, ein Kunststoffmaterial oder Kunststofflaminat, eine Glasfaserepoxidharzverbindung, eine Teflonverbindung.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe eine Dicke in einem Bereich von ungefähr 50 μm bis zu ungefähr 1000 μm aufweisen.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe ein opakes Material aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente eine Passivierungsschicht aufweisen, welche zwischen der Vorderseiten-Metallisierungsschicht und der Kappe angeordnet ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe ein elektrisch leitendes Material aufweisen oder daraus hergestellt sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das elektronische Element mindestens eines der folgenden aufweisen oder sein: ein Transistor, eine Diode, ein integrierter Schaltkreis.
  • Eine Halbleiterkomponenten-Anordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen eine Halbleiterkomponente gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen und einen Leiterrahmen, der mit der Kappe der Halbleiterkomponente verbunden ist.
  • Eine Halbleiterkomponenten-Anordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen eine Halbleiterkomponente gemäß einer oder mehr der hierin beschriebenen Ausführungsformen und ein Kühlelement, welches mit der Kappe des Halbleiterelements verbunden ist.
  • Eine Halbleiterkomponente gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen: eine Halbleiter-Nutzschicht, welche ein elektronisches Element aufweist, das zumindest teilweise darin ausgebildet ist, und das eine Durchkontaktierung aufweist, die sich von einer Vorderseite zu einer Rückseite der Halbleiterschicht erstreckt; eine Vorderseiten-Metallisierung an oder über der Vorderseite der Halbleiterschicht und das elektronische Element elektrisch mit der Durchkontaktierung verbindend; einen Vorderseiten-Träger auf oder über der Vorderseiten-Metallisierungsschicht und mechanisch mit der Halbleiterschicht verbunden; eine Rückseiten-Metallisierungsschicht auf oder über der Rückseite der Halbleiterschicht und elektrisch mit der Durchkontaktierung verbunden, um das mindestens eine elektronische Element elektrisch zu kontaktieren.
  • Ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen: Bereitstellen einer Halbleiterschicht, welche eine Vorderseite und eine Rückseite aufweist, wobei die Halbleiterschicht mindestens ein elektronisches Element aufweist, welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht ausgebildet ist; Ausbilden mindesten einer Durchkontaktierung in der Halbleiterschicht, sich von der Vorderseite zur Rückseite der Halbleiterschicht erstreckend; Ausbilden einer Vorderseiten-Metallisierungsschicht über zumindest einem Teil der Vorderseite der Halbleiterschicht, um das mindestens eine elektronische Element mit der mindestens einen Durchkontaktierung zu verbinden; Anordnen einer Kappe über der Vorderseite der Halbleiterschicht, so dass die Kappe mechanisch mit der Halbleiterschicht verbunden ist, wobei die Kappe als ein Vorderseiten-Träger der Halbleiterkomponente konfiguriert ist; Ausbilden einer Rückseiten-Metallisierungsschicht über zumindest einem Teil der Rückseite der Halbleiterschicht, wobei die Rückseiten-Metallisierungsschicht elektrisch mit der Durchkontaktierung verbunden ist, um das mindestens eine elektronische Element elektrisch zu kontaktieren.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Ausbilden der mindestens einen Durchkontaktierung in der Halbleiterschicht aufweisen: Ausbilden mindestens eines sich von der Vorderseite zur Rückseite der Halbleiterschicht erstreckenden Lochs in der Halbleiterschicht; elektrisches Isolieren des mindestens einen Lochs gegenüber der Halbleiterschicht; Füllen des mindestens einen Lochs mit elektrisch leitendem Material.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das mindestens eine Loch durch Verwenden eines Ätzverfahrens ausgebildet werden.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Ätzverfahren ein Trockenätzverfahren sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Ausbilden der Vorderseiten-Metallisierungsschicht aufweisen: Ausbilden einer dielektrischen Schicht über der Vorderseite der Halbleiterschicht; Strukturieren der dielektrischen Schicht, so dass diese mindestens eine Aussparung, bzw. Einbuchtung aufweist; Ablagern elektrisch leitenden Materials in der mindestens einen Aussparung, um mindestens eine leitende Spur der Vorderseiten-Metallisierungsschicht in der mindestens einen Aussparung auszubilden.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Ablagern des elektrisch leitenden Materials in der mindestens einen Aussparung aufweisen Ablagern des elektrisch leitenden Materials, so dass eine obere Fläche der mindestens einen leitenden Spur der Vorderseiten-Metallisierungsschicht bezüglich der Vorderseite der Halbleiterschicht auf einer niedrigeren Ebene oder auf derselben Ebene wie eine obere Fläche der strukturierten dielektrischen Schicht angeordnet ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Anordnen der Kappe über der Vorderseite der Halbleiterschicht das Bonden der Kappe an die strukturierte dielektrische Schicht aufweisen.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe durch anodisches Bonden, adhäsives Bonden oder Glasfritten gebondet werden.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Bonden der Kappe zumindest unter niedrigen Vakuumbedingungen ausgeführt werden.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe eine Aussparung aufweisen, und das Anordnen der Kappe über der Vorderseite der Halbleiterschicht kann aufweisen das Anordnen der Kappe, so dass die Kappe mechanisch mit der Halbleiterschicht durch einen oder mehr an einer Kante oder Kanten der Aussparung angeordnete gratförmige Vorsprünge der Kappe verbunden ist.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann das Bereitstellen der Halbleiterschicht aufweisen das Bereitstellen eines Wafers, welcher einen Trägerabschnitt und die über dem Trägerabschnitt angeordnete Halbleiterschicht aufweist, und nach dem Anordnen der Kappe und vor dem Ausbilden der Rückseiten-Metallisierungsschicht kann der Wafer gedünnt werden, um den Trägerabschnitt des Wafers zu entfernen und die Halbleiterschicht freizulegen.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterschicht, die nach dem Dünnen des Wafers erzielt ist, eine Dicke in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 70 μm aufweisen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 50 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 30 μm bei manchen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 15 μm bei manchen Ausführungsformen. Alternativ können andere Werte der Dicke der Halbleiterschicht nach dem Dünnen möglich sein.
  • Bei verschiedenen Ausführungsformen kann ein Vereinzelungsverfahren nach dem Ausbilden der Rückseiten-Metallisierungsschicht ausgeführt werden.
  • Ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann aufweisen: Bereitstellen eines Wafers, welcher einen Trägerabschnitt und eine Nutzschicht aufweist, welche auf oder über dem Trägerabschnitt angeordnet ist und ein elektronisches Element aufweist, welches zumindest teilweise darin ausgebildet ist; Ausbilden einer Durchkontaktierung in der Nutzschicht; Ausbilden einer Metallisierungsschicht über einer Vorderseite des Wafers, wobei die Metallisierungsschicht das elektronische Element mit der Durchkontaktierung elektrisch verbindet; Bonden einer Kappe an die Vorderseite des Wafers; Dünnen des Wafers von einer Rückseite des Wafers, um den Trägerabschnitt zu entfernen und die Nutzschicht des Wafers freizulegen; Ausbilden einer Metallisierungsschicht über der Rückseite des gedünnten Wafers, um das elektronische Element elektrisch zu kontaktieren; Anwenden eines Vereinzelungsverfahrens auf den gedünnten Wafer mit der gebondeten Kappe.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Halbleiterkomponente bereitgestellt sein. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente aufweisen eine Halbleiterschicht, aufweisend mindestens ein elektronisches Element, welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht ausgebildet ist, und aufweisend mindestens eine Durchkontaktierung, welche sich von einer Vorderseite zu einer Rückseite der Halbleiterschicht erstreckt. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente aufweisen eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht, welche über zumindest einem Teil der Vorderseite der Halbleiterschicht ausgebildet ist, um das mindestens eine elektronische Element mit der mindestens einen Durchkontaktierung zu verbinden. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente aufweisen eine Kappe, die über der Vorderseite der Halbleiterschicht angeordnet und mechanisch mit der Halbleiterschicht verbunden ist. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Kappe als ein Vorderseiten-Träger der Halbleiterkomponente konfiguriert sein. Bei verschiedenen Ausführungsformen kann die Halbleiterkomponente aufweisen eine Rückseiten-Metallisierungsschicht, welche über zumindest einem Teil der Rückseite der Halbleiterschicht angeordnet und elektrisch mit der mindestens einen Durchkontaktierung verbunden ist, um das mindestens eine elektronische Element elektrisch zu kontaktieren.
  • Obwohl die Erfindung insbesondere mit Bezug auf bestimmte Ausführungsformen gezeigt und beschrieben wurde, sollte vom Fachmann zu verstehen sein, dass verschiedene Änderungen bezüglich Form und Einzelheit darin vorgenommen werden können, ohne vom durch die angehängten Ansprüche definierten Schutzumfang abzuweichen. Der Schutzumfang der Erfindung ist demzufolge durch die angehängten Ansprüche angegeben, und sämtliche Änderungen, die eine Entsprechung in den Ansprüchen haben, sollen dementsprechend eingeschlossen sein.

Claims (26)

  1. Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) aufweisend: eine Halbleiterschicht (101), welche eine Vorderseite (101a) und eine Rückseite (101b) aufweist; mindestens ein elektronisches Element (102), welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht (101) ausgebildet ist; mindestens eine Durchkontaktierung (103), welche in der Halbleiterschicht (101) ausgebildet ist und sich von der Vorderseite (101a) zu der Rückseite (101b) der Halbleiterschicht (101) erstreckt; eine Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104), welche über zumindest einem Teil der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) angeordnet ist, um das mindestens eine elektronische Element (102) mit der mindestens einen Durchkontaktierung (103) zu verbinden; eine Kappe (105), welche über der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) angeordnet ist und mechanisch mit der Halbleiterschicht (101) verbunden ist, wobei die Kappe (105) als ein Vorderseiten-Träger der Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) konfiguriert ist; eine Rückseiten-Metallisierungsschicht (106), welche über zumindest einem Teil der Rückseite (101b) der Halbleiterschicht (101) angeordnet und elektrisch mit der mindestens einen Durchkontaktierung (103) verbunden ist.
  2. Halbleiterkomponente gemäß Anspruch 1, wobei die Halbleiterschicht (101) eine Halbleiter-Nutzschicht der Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) ist.
  3. Halbleiterkomponente gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Halbleiterschicht (101) eine Schichtdicke in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 70 μm aufweist.
  4. Halbleiterkomponente gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104) mindestens eine leitende Spur (341) aufweist, welche mit dem mindestens einen elektronischen Element (102) und der mindestens einen Durchkontaktierung (103) verbunden ist.
  5. Halbleiterkomponente gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, darüber hinaus aufweisend eine dielektrische Schicht (107), welche über Teilen der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) angeordnet ist, wobei die Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104) zwischen Abschnitten der dielektrischen Schicht (107) angeordnet ist.
  6. Halbleiterkomponente gemäß Anspruch 5, wobei eine obere Fläche der Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104) bezüglich der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) auf einer niedrigeren Ebene oder auf derselben Ebene wie eine obere Fläche der dielektrischen Schicht (107) angeordnet ist.
  7. Halbleiterkomponente gemäß Anspruch 5 oder 6, wobei die Kappe (105) an einer oberen Fläche der dielektrischen Schicht (107) angebracht ist.
  8. Halbleiterkomponente gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kappe (105) eine Aussparung (610) aufweist und mechanisch mit der Halbleiterschicht (101) verbunden ist durch einen oder mehr gratförmige Vorsprünge (612) der Kappe (105), die an einer Kante oder Kanten der Aussparung (610) angeordnet sind.
  9. Halbleiterkomponente gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kappe (105) ein elektrisch isolierendes Material aufweist.
  10. Halbleiterkomponente gemäß Anspruch 9, wobei das elektrisch isolierende Material mindestens eines der folgenden aufweist: Glas, ein Kunststoffmaterial oder Kunststofflaminat, eine Glasfaserepoxidharzverbindung, eine Teflonverbindung.
  11. Halbleiterkomponente gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kappe (105) eine Dicke in einem Bereich von ungefähr 50 μm bis zu ungefähr 1000 μm aufweist.
  12. Halbleiterkomponente gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kappe (105) ein opakes Material aufweist.
  13. Halbleiterkomponente gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, darüber hinaus aufweisend eine Passivierungsschicht (109), welche zwischen der Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104) und der Kappe (105) angeordnet ist.
  14. Halbleiterkomponente gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kappe (105) ein elektrisch leitendes Material aufweist.
  15. Halbleiterkomponentenanordnung aufweisend: eine Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche; einen Leiterrahmen (803), der an der Kappe (105) der Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) angebracht ist.
  16. Halbleiterkomponentenanordnung aufweisend: eine Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14; ein Kühlelement (903), welches an der Kappe (105) des Halbleiterelements angebracht ist.
  17. Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) aufweisend: eine Halbleiter-Nutzschicht, welche ein elektronisches Element (102) aufweist, welches zumindest teilweise darin ausgebildet ist, und welche eine Durchkontaktierung (103) aufweist, die sich von einer Vorderseite (101a) zu einer Rückseite (101b) der Halbleiterschicht (101) erstreckt; eine Vorderseiten-Metallisierung an oder über der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) und das elektronische Element (102) elektrisch mit der Durchkontaktierung (103) verbindend; einen Vorderseiten-Träger auf oder über der Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104) und mechanisch mit der Halbleiterschicht (101) verbunden; eine Rückseiten-Metallisierungsschicht (106) auf oder über der Rückseite (101b) der Halbleiterschicht (101) und elektrisch mit der Durchkontaktierung (103) verbunden, um das mindestens eine elektronische Element (102) elektrisch zu kontaktieren.
  18. Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900) aufweisend: Bereitstellen einer Halbleiterschicht (101), welche eine Vorderseite (101a) und eine Rückseite (101b) aufweist, wobei die Halbleiterschicht (101) mindestens ein elektronisches Element (102) aufweist, welches zumindest teilweise in der Halbleiterschicht (101) ausgebildet ist (202); Ausbilden mindesten einer sich von der Vorderseite (101a) zur Rückseite (101b) der Halbleiterschicht (101) erstreckenden Durchkontaktierung (103) in der Halbleiterschicht (101) (204); Ausbilden einer Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104) über zumindest einem Teil der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101), um das mindestens eine elektronische Element (102) mit der mindestens einen Durchkontaktierung (103) zu verbinden (206); Anordnen einer Kappe (105) über der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101), so dass die Kappe (105) mechanisch mit der Halbleiterschicht (101) verbunden ist, wobei die Kappe (105) als ein Vorderseiten-Träger der Halbleiterkomponente konfiguriert ist (208); Ausbilden einer Rückseiten-Metallisierungsschicht (106) über zumindest einem Teil der Rückseite (101b) der Halbleiterschicht (101), wobei die Rückseiten-Metallisierungsschicht (106) elektrisch mit der Durchkontaktierung (103) verbunden ist (210).
  19. Verfahren gemäß Anspruch 18, wobei das Ausbilden der Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104) aufweist: Ausbilden einer dielektrischen Schicht (107) über der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101); Strukturieren der dielektrischen Schicht, so dass diese mindestens eine Aussparung (308) aufweist; Ablagern elektrisch leitenden Materials in der mindestens einen Aussparung, um mindestens eine leitende Spur (341) der Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104) in der mindestens einen Aussparung auszubilden.
  20. Verfahren gemäß Anspruch 19, wobei das Ablagern des elektrisch leitenden Materials in der mindestens einen Aussparung aufweist Ablagern des elektrisch leitenden Materials, so dass eine obere Fläche der mindestens einen leitenden Spur (341) der Vorderseiten-Metallisierungsschicht (104) bezüglich der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) auf einer niedrigeren Ebene oder auf derselben Ebene wie eine obere Fläche der strukturierten dielektrischen Schicht (107) angeordnet ist.
  21. Verfahren gemäß Anspruch 19 oder 20, wobei das Anordnen der Kappe (105) über der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) das Bonden der Kappe (105) an die strukturierte dielektrische Schicht (107) aufweist.
  22. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 19 bis 21, wobei die Kappe (105) eine Aussparung (610) aufweist, und wobei das Anordnen der Kappe (105) über der Vorderseite (101a) der Halbleiterschicht (101) aufweist das Anordnen der Kappe (105), so dass die Kappe (105) mechanisch mit der Halbleiterschicht (101) durch einen oder mehr der an einer Kante oder Kanten der Aussparung (610) angeordneten gratförmigen Vorsprünge (612) der Kappe (105) verbunden ist.
  23. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 19 bis 22, wobei das Bereitstellen der Halbleiterschicht (101) aufweist das Bereitstellen eines Wafers (305), welcher einen Trägerabschnitt (301) und die über dem Trägerabschnitt (301) angeordnete Halbleiterschicht (101) aufweist, wobei das Verfahren ferner aufweist nach dem Anordnen der Kappe (105) und vor dem Ausbilden der Rückseiten-Metallisierungsschicht (106) das Dünnen des Wafers (305), um den Trägerabschnitt (301) des Wafers (305) zu entfernen und die Halbleiterschicht (101) freizulegen.
  24. Verfahren gemäß Anspruch 23, wobei die Halbleiterschicht (101), die nach dem Dünnen des Wafers (305) erzielt ist, eine Dicke in einem Bereich von ungefähr 1 μm bis zu ungefähr 70 μm aufweist.
  25. Verfahren gemäß Anspruch 23 oder 24, ferner aufweisend ein Vereinzelungsverfahren nach dem Ausbilden der Rückseiten-Metallisierungsschicht (106).
  26. Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterkomponente (100, 400, 500, 600, 700, 800, 900), aufweisend: Bereitstellen eines Wafers (305), welcher einen Trägerabschnitt (301) und eine Nutzschicht aufweist, welche auf oder über dem Trägerabschnitt (301) angeordnet ist und ein elektronisches Element (102) aufweist, welches zumindest teilweise darin ausgebildet ist (1002); Ausbilden einer Durchkontaktierung (103) in der Nutzschicht (1004); Ausbilden einer Metallisierungsschicht über einer Vorderseite des Wafers (305), wobei die Metallisierungsschicht das elektronische Element (102) mit der Durchkontaktierung (103) elektrisch verbindet (1006); Bonden einer Kappe (105) auf die Vorderseite des Wafers (305) (1008); Dünnen des Wafers (305) von einer Rückseite des Wafers (305), um den Trägerabschnitt (301) zu entfernen und die Nutzschicht des Wafers (305) freizulegen (1010); Ausbilden einer Metallisierungsschicht über der Rückseite des gedünnten Wafers (305), um das elektronische Element (102) elektrisch zu kontaktieren (1012); Vereinzeln des gedünnten Wafers (305) zusammen mit der gebondeten Kappe (105) (1014).
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