DE102011055255A1 - Arrangement i.e. turning device, for transporting and turning wafers to manufacture e.g. solar cell, has detour elements arranged at preset distance from shafts, where one shaft is connected with drive arranged outside device - Google Patents

Arrangement i.e. turning device, for transporting and turning wafers to manufacture e.g. solar cell, has detour elements arranged at preset distance from shafts, where one shaft is connected with drive arranged outside device Download PDF

Info

Publication number
DE102011055255A1
DE102011055255A1 DE102011055255A DE102011055255A DE102011055255A1 DE 102011055255 A1 DE102011055255 A1 DE 102011055255A1 DE 102011055255 A DE102011055255 A DE 102011055255A DE 102011055255 A DE102011055255 A DE 102011055255A DE 102011055255 A1 DE102011055255 A1 DE 102011055255A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
elements
turning device
turning
conveying
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102011055255A
Other languages
German (de)
Inventor
Stefan Meyer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Schott Solar AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schott Solar AG filed Critical Schott Solar AG
Priority to DE102011055255A priority Critical patent/DE102011055255A1/en
Publication of DE102011055255A1 publication Critical patent/DE102011055255A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67718—Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
    • B65G47/248—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles by turning over or inverting them
    • B65G47/252—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles by turning over or inverting them about an axis substantially perpendicular to the conveying direction
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H15/00—Overturning articles
    • B65H15/016—Overturning articles employing rotary or reciprocating elements supporting transport means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H5/00—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines
    • B65H5/02—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by belts or chains, e.g. between belts or chains
    • B65H5/021—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by belts or chains, e.g. between belts or chains by belts
    • B65H5/023—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by belts or chains, e.g. between belts or chains by belts between a pair of belts forming a transport nip

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Structure Of Belt Conveyors (AREA)

Abstract

The arrangement i.e. turning device (10), has conveying elements (48-54) designed as round belts, and detour elements (32-46) e.g. rollers, processed by shafts (16, 18, 20, 24) and arranged at a preset distance from the shafts. One of the shafts is connected with a drive e.g. electric motor, over a circulating conveying element, where the drive is arranged outside the device. The shaft is positively connected with the other shaft over combing gear wheels (27, 29). The detour elements and/or shafts are spring biased and arranged with each other in adjustable manner. An independent claim is also included for a method for transportation of planar objects.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zum Transportieren und Wenden von flächigen Gegenständen umfassend eine um eine Achse drehbare Wendeeinrichtung mit zwei zueinander beabstandet verlaufenden Paaren von umlaufenden Förderelementen, wobei das erste Paar erste Förderelemente und das zweite Paar zweite Förderelemente aufweist und die ersten Förderelemente sowie die zweiten Förderelemente entlang des Transportweges des Gegenstandes in der Wendeeinrichtung parallel zueinander verlaufen, am Anfang und am Ende des Transportweges um Umlenkelemente geführt sind und beim Transport eines Gegenstandes jeweils ein Randbereich von diesem zwischen den Förderelementen eines der Paare fixiert ist.The invention relates to an arrangement for transporting and turning of flat objects comprising a rotatable about an axis turning device with two mutually spaced pairs of rotating conveyor elements, wherein the first pair of first conveyor elements and the second pair of second conveyor elements and the first conveyor elements and the second conveyor elements along the transport path of the object in the turning device parallel to each other, are guided at the beginning and at the end of the transport path to deflecting elements and when transporting an object each an edge region of this is fixed between the conveying elements of the pairs.

Auch nimmt die Erfindung Bezug auf ein Verfahren zum Transportieren und Wenden eines flächigen Gegenstandes, wie Wafer zur Herstellung eine Solarzelle oder Platte, wobei der Gegenstand mittels einer um eine Achse drehbaren Wendeeinrichtung zum wahlweisen Prozessieren von Ober- oder Unterseite des Gegenstandes aufgenommen wird, mittels paarweise angeordneter umlaufender über Umlenkelemente geführter erster und zweiter Förderelemente in der Wendeeinrichtung gehalten und gefördert und jeder Längsrandbereich des Gegenstandes zwischen einem Paar der Förderelemente gehalten wird.The invention also relates to a method for transporting and turning a flat article, such as wafers for producing a solar cell or plate, wherein the object is received by means of a rotatable about an axis turning device for selectively processing the top or bottom of the object by means of pairs arranged circulating guided over deflecting first and second conveying elements in the turning device and conveyed and each longitudinal edge region of the object is held between a pair of conveying elements.

Beim Prozessieren von Wafern zur Herstellung von Solarzellen ist es erforderlich, dass Vorder- und Rückseite mit Kontakten versehen werden. Hierzu ist es erforderlich, dass der Wafer um 180° gedreht wird. So wird z. B. auf der Rückseite des Wafers eine lotfähige Kontaktschicht aufgebracht, der Wafer sodann um 180° gewendet, um anschließend Finger bzw. Busbars auf der Vorderseite des Wafers aufzubringen.When processing wafers to produce solar cells, it is necessary to provide contacts on the front and back surfaces. For this purpose, it is necessary that the wafer is rotated by 180 °. So z. B. applied to the back of the wafer, a solderable contact layer, the wafer then turned by 180 °, to then apply fingers or busbars on the front of the wafer.

Bekannte Vorrichtungen, die das Wenden ermöglichen, setzen sogenannte Wenderäder ein, die zueinander beabstandete, um eine Achse drehbare Scheiben mit radial verlaufenden Schlitzen aufweisen, in die die Wafer mit ihren Randbereichen einbringbar sind.Known devices that allow the turning, use so-called turning wheels, spaced from each other, having an axis rotatable discs with radially extending slots into which the wafers are introduced with their edge regions.

Zum Behandeln scheibenförmiger Gegenstände sieht die EP-B-0 970 899 zwei zueinander beabstandete von einer Welle ausgehende scheibenförmige Wangen vor, die radial zur Peripherie hin geöffnete Schlitze als Aufnahmen für die Gegenstände umfasst. Während des Drehens der Wangen werden die Schlitze von einem flexiblen Element verschlossen.For treating disk-shaped objects sees the EP-B-0 970 899 two spaced-apart from a shaft outgoing disc-shaped cheeks, which includes radially open towards the periphery slots as receptacles for the objects. As the cheeks rotate, the slots are closed by a flexible element.

Der DE-C-639 104 ist eine Vorrichtung zum Behandeln von Blechen zu entnehmen, die durch ein mit Flüssigkeit gefülltes Bad geführt werden. Hierzu werden die Gegenstände von der Dreheinrichtung aufgenommen und durch das Bad geführt.Of the DE-C-639 104 is to remove a device for treating sheets, which are passed through a liquid-filled bath. For this purpose, the objects are picked up by the turning device and passed through the bath.

Aus der EP-A-0 637 561 ist eine Vorrichtung zum Umsetzen von Leiterplatten bekannt, bei der ein Drehrad in Form eines Fächerspeichers benutzt wird. Dabei werden die Gegenstände translatorisch zu dem Fächerspeicher und in diesem oberhalb der Drehachse transportiert.From the EP-A-0 637 561 a device for converting printed circuit boards is known in which a rotary wheel is used in the form of a fan memory. The objects are transported translationally to the fan storage and in this above the axis of rotation.

Der US-A-6 073 748 ist eine Wendeeinrichtung zum Wenden von gedruckten Schaltungen zu entnehmen. Hierzu ist die Wendeeinrichtung um eine Achse drehbar. Die Gegenstände selbst werden zwischen bandförmigen Förderelementen fixiert, und zwar in ihrem jeweiligen Randbereich. Die Antriebe für die Förderelemente gehen von der Wendeeinrichtung aus, wobei über einen separaten Antrieb eines der Förderelemente angetrieben wird, um sodann durch Reibschluss die Gegenstände durch die Wendeeinrichtung zu transportieren. Dadurch, dass der Antrieb für die bandförmigen Förderelemente unmittelbar von der Wendeeinrichtung ausgehen, müssen beim Wenden große Masse bewegt werden, so dass das Wenden relativ lang dauert. Des Weiteren müssen aufgrund der Verwendung von bandförmigen Förderelementen außerhalb des Ein- und Auslaufs Umlenkelement zum Spannen der Förderelemente vorgesehen sein, wodurch ein erheblicher konstruktiver Aufwand gegeben ist.Of the US-A-6 073 748 is a turning device for turning of printed circuits can be seen. For this purpose, the turning device is rotatable about an axis. The objects themselves are fixed between band-shaped conveying elements, in their respective edge region. The drives for the conveying elements start from the turning device, wherein one of the conveying elements is driven via a separate drive, in order then to transport the objects by frictional engagement through the turning device. Due to the fact that the drive for the band-shaped conveying elements originate directly from the turning device, large masses have to be moved when turning, so that the turning takes a relatively long time. Furthermore, due to the use of band-shaped conveying elements outside of the inlet and outlet deflecting element must be provided for clamping the conveying elements, whereby a considerable design effort is given.

Das Deutsche Gebrauchsmuster 83 16 142 bezieht sich auf eine Einrichtung für die Längsführung eines Endlosförderbandes.The German utility model 83 16 142 refers to a device for the longitudinal guidance of an endless conveyor belt.

Eine Druckmaschine mit geradliniger Substratführung und Wendeeinrichtung ist aus der DE-A-195 27 264 bekannt, wobei Transportbänder zum Einsatz gelangen, die Unterdruckmittel aufweisen, damit die Substrate während des Transports im hinreichenden Umfang an den Transportbändern haften.A printing machine with rectilinear substrate guide and turning device is from the DE-A-195 27 264 known, with conveyor belts are used, which have negative pressure means, so that the substrates adhere during transport to a sufficient extent on the conveyor belts.

Als Antrieb für ein Förderband schlägt die US-A-6 142 287 eine gesonderte von einem Motor angetriebene Welle vor, die eine Umlenkrolle aufweist, um die das Transportband geführt wird.As a drive for a conveyor belt beats the US-A-6 142 287 a separate driven by a motor shaft, which has a guide roller, around which the conveyor belt is guided.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Anordnung sowie ein Verfahren der eingangs genannten Art so weiterzubilden, dass mit konstruktiv einfachen Maßnahmen flächige Gegenstände, insbesondere zur Herstellung von Solarzellen bestimmte Wafer, schonend bei hohen Durchsätzen in gewünschtem Umfang gewendet und transportiert werden können. Die Wendezeiten sollen relativ kurz sein. Ferner soll mit konstruktiv einfachen Maßnahmen die Möglichkeit geschaffen werden, die von den Förderelementen erfassten Gegenstände auch bei voneinander abweichenden Dicken problemlos durch die Wendeeinrichtung transportieren zu können.The present invention is based on the object, an arrangement and a method of the type mentioned in such a way that with structurally simple measures flat objects, in particular for the production of solar cells certain wafer, gently turned and transported at high throughputs to the desired extent. The turning times should be relatively short. Furthermore, the possibility is to be created with structurally simple measures, the problems detected by the conveyor elements even with differing thicknesses easily to be transported by the turning device.

Anordnungsgemäß wird die Aufgabe im Wesentlichen dadurch gelöst, dass die ersten und zweiten Förderelemente Rundriemen sind, dass die Umlenkelemente von Wellen ausgehen, dass von jeweils einer Welle zwei zueinander beabstandete Umlenkelemente für ein erstes und ein zweites Förderelement ausgehen, dass zumindest die von einer ersten Welle ausgehenden Umlenkelemente mit dieser unverdrehbar verbunden sind und dass die erste Welle über ein umlaufendes drittes Förderelement mit einem außerhalb der Wendeeinrichtung angeordneten Antrieb verbunden ist.According to the arrangement, the object is essentially achieved in that the first and second conveying elements are round belts, that the deflection elements emanate from waves that emanate from each shaft two spaced deflecting elements for a first and a second conveying element that at least that of a first shaft outgoing deflecting elements are connected to this non-rotatably and that the first shaft is connected via a rotating third conveying element with a drive arranged outside the turning device.

Dabei ist insbesondere vorgesehen, dass die erste Welle formschlüssig mit einer zweiten Welle insbesondere über kämmende Zahnräder verbunden ist. Durch diese Maßnahmen ist sichergestellt, dass ein Schlupf zwischen dem Gegenstand und den Rundriemen unterbleibt, so dass ein reproduzierbarer einwandfreier Transport durch die Wendeeinrichtung bei gleichzeitigem sicheren Fixieren der Gegenstände möglich ist.It is provided in particular that the first shaft is positively connected to a second shaft in particular via meshing gears. These measures ensure that there is no slippage between the object and the round belts, so that a reproducible, perfect transport through the turning device is possible with simultaneous secure fixing of the objects.

Grundsätzlich werden die Materialien für die Rundriemen derart gewählt, dass im gewissen Umfang Dickenschwankungen der zu transportierenden Gegenstände ausgeglichen werden. Hierzu ist insbesondere vorgesehen, dass der Rundriemen aus zumindest einem Material aus der Gruppe Siliconkautschuk, Polyurethan, Polychloropren, Naturkautschuk besteht.In principle, the materials for the round belts are selected such that to a certain extent thickness variations of the objects to be transported are compensated. For this purpose, it is provided in particular that the round belt consists of at least one material from the group of silicone rubber, polyurethane, polychloroprene, natural rubber.

Des Weiteren zeichnet sich die Erfindung dadurch aus, dass der Rundriemen oder äußere Beschichtung des Rundriemens aus einem Material einer Härte zwischen 20 ShA und 80 ShA besteht. Auch hierdurch wird eine Anpassung an Gegenstände unterschiedlicher Dicken ermöglicht.Furthermore, the invention is characterized in that the round belt or outer coating of the round belt consists of a material having a hardness between 20 ShA and 80 ShA. This also makes it possible to adapt to objects of different thicknesses.

Alternativ oder ergänzend sieht die Erfindung des Weiteren vor, dass die Umlenkelemente bzw. die Wellen federvorgespannt zueinander verstellbar angeordnet sind.Alternatively or additionally, the invention further provides that the deflecting elements or the shafts are arranged spring-biased to each other adjustable.

Konstruktiv ist insbesondere vorgesehen, dass die Wellen von einer Halterung wie Wangen ausgehen, die von einer Achse durchsetzt ist, um die die Wendeeinrichtung drehbar ist und die ihrerseits mittig oder in etwa mittig zu den parallel zueinander verlaufenden Wellen verläuft.Structurally, it is provided in particular that the waves emanate from a holder such as cheeks, which is penetrated by an axis about which the turning device is rotatable and which in turn runs centrally or approximately centrally to the mutually parallel shafts.

Sind die die Gegenstände erfassenden Förderelemente als Rundriemen ausgebildet, so sollte gleichfalls das Förderelement, mittels dessen die erste Welle in Drehbewegung versetzt wird, ein Rundriemen sein. Der Rundriemen selbst ist über einen von einem die Halterung der Rundriemen aufnehmenden Gestell oder Rahmen angeordneten Antrieb antreibbar. Hierdurch wird die Masse der Wendeeinheit im Wesentlichen durch die zwei Paar von Förderelementen, die die Umlenkeinrichtungen wie Umlenkrollen aufnehmenden Wellen sowie die Halterungen für die Wellen bestimmt, so dass geringe Massen gewendet werden müssen. Hierdurch bedingt ergeben sich kurze Wendetaktzeiten von weniger als 1 Sekunde, sofern Wafer für Solarzellen transportiert und gewendet werden sollen.If the conveying elements which detect the objects are designed as round belts, the conveying element, by means of which the first shaft is set in rotary motion, should likewise be a round belt. The round belt itself can be driven by a drive arranged on a frame or frame holding the holder of the round belts. As a result, the mass of the turning unit is essentially determined by the two pairs of conveying elements, the deflection of receiving rollers such as pulleys and the supports for the waves, so that small masses must be turned. This results in short turntable clock times of less than 1 second, if wafers for solar cells to be transported and turned.

Die Wendeeinheit selbst kann über einen Flachriemen wie Zahnriemen gedreht werden, um auf diese Weise schlupffrei ein Wenden durchzuführen. Der Antrieb für einen entsprechenden Zahnriemen geht gleichfalls von dem Rahmen oder von dem Gestell aus.The turning unit itself can be rotated over a flat belt such as a toothed belt, in order to perform in this way slip-free turning. The drive for a corresponding toothed belt is also from the frame or from the frame.

Verfahrensmäßig wird die der Erfindung zu Grunde liegende Aufgabe im Wesentlichen dadurch gelöst, dass als die ersten und zweiten Förderelemente Rundriemen verwendet werden, dass die Umlenkelemente von Wellen ausgehen, wobei von jeweils einer Welle zwei zueinander beabstandete Umlenkelemente für ein erstes und ein zweites Förderelement ausgehen, dass eine der Wellen über ein drittes Förderelement angebracht wird und dass das dritte Förderelement über einen ersten Antrieb angetrieben wird, der von einem die Wendeeinrichtung aufnehmenden Gestell oder Rahmen ausgeht.According to the method, the object underlying the invention is essentially achieved in that round belts are used as the first and second conveying elements, that the deflecting elements emanate from shafts, two deflecting elements spaced apart from each other emanating from a respective shaft for a first and a second conveying element, in that one of the shafts is attached via a third conveying element and in that the third conveying element is driven by a first drive which emanates from a frame or frame receiving the turning device.

Dabei ist insbesondere vorgesehen, dass während des Drehens der Wendeeinrichtung der Gegenstand innerhalb der Wendeeinrichtung zumindest zeitweise gefördert wird.In this case, provision is made in particular for the article to be conveyed at least temporarily within the turning device during rotation of the turning device.

Erfindungsgemäß gelangt ein Verfahren zum Wenden von flächigen Gegenständen, insbesondere Wafern, die im Rahmen des Prozessierens zu einer Solarzelle gewendet werden müssen, zum Einsatz, wobei die Randbereiche der flächigen Gegenstände zwischen parallel zueinander verlaufenden Abschnitten von Rundriemen gehalten werden, über die ein Transport durch die Wendeeinrichtung selbst erfolgt.According to the invention, a method for turning flat objects, in particular wafers, which must be turned in the course of processing to a solar cell is used, wherein the edge regions of the flat objects are held between mutually parallel sections of round belts, via which a transport through the Turning device itself takes place.

Wenden bedeutet dabei nicht zwingend, dass ein Drehen um 180° erfolgt. Hiervon abweichende Winkel, insbesondere ±90° sind gleichfalls von dem Begriff Wenden erfasst.Turning does not necessarily mean that a rotation of 180 ° takes place. Deviating angles, in particular ± 90 °, are also covered by the term turning.

Dadurch, dass bevorzugterweise Wendemittelpunkt und Schwerpunkt des Gegenstandes sich schneiden, kann eine kompakte Einheit zur Verfügung gestellt werden, die bei geringer Masse des Aufbaus ein schnelles Wenden ermöglicht.By virtue of the fact that preferably the center of rotation and the center of gravity of the object intersect, a compact unit can be made available which, with a low mass of the construction, enables a rapid turning.

Es besteht jedoch auch die Möglichkeit, dass der Gegenstand während des Drehens der Wendeeinrichtung zumindest zeitweise gefördert wird, wodurch der Durchsatz erhöht wird.However, there is also the possibility that the object is conveyed during rotation of the turning device at least temporarily, whereby the throughput is increased.

In Ausgestaltung besteht die Möglichkeit, dass das Transportieren der Gegenstände durch die Wendeeinrichtung mit Unterdruck unterstützt wird. Hierzu können sich entlang der Innenseiten der bandförmigen Förderelemente Unterdruckquellen befinden, mittels der Unterdruck durch die entsprechenden Durchbrechungen oder Perforierungen aufweisenden Förderelemente auf die Gegenstände appliziert wird mit der Folge, dass ein zusätzliches Fixieren erfolgt. Die Unterdruckquellen können sich als entlang der Innenseiten der Transportbänder erstreckende Profile mit Längsschlitzen ausgebildet sein, die an einer Unterdruckquelle angeschlossen sind. Entsprechende Unterdruckquellen sind nicht zwingend für jedes Förderelement erforderlich. In an embodiment, there is the possibility that the transporting of the objects is supported by the turning device with negative pressure. For this purpose, vacuum sources may be located along the inner sides of the belt-shaped conveying elements, by means of which the negative pressure is applied to the objects by the conveying elements having perforations or perforations, with the result that an additional fixing takes place. The vacuum sources may be formed as along the inner sides of the conveyor belts extending profiles with longitudinal slots, which are connected to a vacuum source. Corresponding vacuum sources are not necessarily required for each conveyor element.

Unabhängig hiervon kann die Wendeeinrichtung in einer Prozessstraße integriert sein, wobei ggfs. ein Prozessieren einer Seite des Gegenstandes während dessen Aufnahme von der Wendeeinrichtung erfolgt.Irrespective of this, the turning device can be integrated in a process line, if necessary. Processing of one side of the object takes place during its picking up by the turning device.

Ein erhöhter Durchsatz lässt sich auch dann erzielen, wenn nach erfolgter Drehung der Wendeeinrichtung und Ausrichten des Gegenstandes auf eine der Wendeeinrichtung nachgeordnete Einrichtung wie Förderer der Gegenstand mittels der Förderelemente aus der Wendeeinrichtung bei gleichzeitigem Fördern eines weiteren Gegenstandes in die Wendeeinrichtung hinein gefördert wird.An increased throughput can also be achieved if, after rotation of the turning device and alignment of the object on a turning device downstream device such as conveyor the article is conveyed by means of the conveying elements from the turning device while conveying another object in the turning device inside.

Als Förderelemente werden Rundriemen verwendet, wobei eine Dicke derart gewählt wird, dass Gegenstände unterschiedlicher Dicken bei ortsfest zueinander angeordneten Umlenkelementen für die Förderelemente förderbar sind. Insbesondere ist dabei vorgesehen, dass die Förderelemente eine Härte aufweisen, die zwischen 20 ShA und 80 ShA oder in diesem Bereich liegt (Shore-Härte A nach DIN 53505 und DIN 7868 ). Dabei ist insbesondere vorgesehen, dass der Rundriemen einen Durchmesser d mit 3 mm ≤ d ≤ 5 mm, insbesondere d ≈ 4 mm aufweist.Round belts are used as conveying elements, wherein a thickness is selected such that objects of different thicknesses can be conveyed in stationary mutually arranged deflection elements for the conveying elements. In particular, it is provided that the conveying elements have a hardness which is between 20 ShA and 80 ShA or in this range (Shore hardness A after DIN 53505 and DIN 7868 ). It is provided in particular that the round belt has a diameter d of 3 mm ≦ d ≦ 5 mm, in particular d ≈ 4 mm.

Insbesondere ist vorgesehen, dass die Rundriemen über Umlenkelemente wie Scheiben oder Rollen geführt werden, die eine umlaufende Nut aufweisen. Hierdurch erfolgt ein einwandfreies Führen der Rundriemen.In particular, it is provided that the round belts are guided over deflecting elements, such as disks or rollers, which have a peripheral groove. This results in a perfect guidance of the round belts.

Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmalen – für sich und/oder in Kombination-, sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung eines der Zeichnung zu entnehmenden bevorzugten Ausführungsbeispiels.Further details, advantages and features of the invention will become apparent not only from the claims, the features to be taken these features - alone and / or in combination, but also from the following description of a drawing to be taken preferred embodiment.

Es zeigen:Show it:

1 eine perspektivische Darstellung einer Wendeeinrichtung, 1 a perspective view of a turning device,

2 eine Vorderansicht einer prinzipiell der 1 entsprechenden Wendeeinrichtung, 2 a front view of a principle of 1 corresponding turning device,

3 eine Draufsicht auf die Wendeeinrichtung gemäß 2, 3 a plan view of the turning device according to 2 .

4 eine Variante einer Wendeeinrichtung mit federvorgespannten Wellen, 4 a variant of a turning device with spring-biased waves,

5 eine Vorderansicht eines Gestells zur Aufnahme der Wendeinrichtung gemäß 2 und 3 und 5 a front view of a frame for receiving the turning device according to 2 and 3 and

6 die Anordnung gemäß 5 in Seitenansicht. 6 the arrangement according to 5 in side view.

Den Figuren, in denen gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen sind, ist eine Wendeeinrichtung 10 in prinzipieller Darstellung zu entnehmen, die z. B. in einer Bearbeitungsstraße integriert sein kann, in der Wafer zum Herstellen einer Solarzelle prozessiert werden. Dabei können vor und hinter der Wendeeinrichtung 10 jeweils eine Fördereinrichtung wie Förderband angeordnet sein, um Wafer der Wendeeinrichtung 10 zuzuführen bzw. von dieser wegzutransportieren.The figures in which the same elements are provided with the same reference numerals is a turning device 10 to be taken in a schematic representation, the z. B. may be integrated in a processing line, be processed in the wafer for producing a solar cell. This can be in front of and behind the turning device 10 in each case a conveying device such as conveyor belt may be arranged in order to produce wafers of the turning device 10 feed or wegzutransportieren of this.

Ist die Wendeeinrichtung 10 bevorzugterweise für Wafer bestimmt, so erfolgt hierdurch eine Beschränkung der erfindungsgemäßen Lehre nicht. Vielmehr ist die Wendeeinrichtung grundsätzlich für flächige Gegenstände geeignet, die vorzugsweise um 180° während ihres Transports gedreht, also gewendet werden sollen. Ein Drehen um einen von 180° abweichenden Winkel ist gleichfalls möglich. Insoweit ist der Begriff Wenden nicht auf 180° beschränkt.Is the turning device 10 Preferably determined for wafers, so this is not a limitation of the teaching of the invention. Rather, the turning device is basically suitable for flat objects, which are preferably rotated by 180 ° during their transport, so to turn. Turning around an angle other than 180 ° is also possible. In that regard, the term turning is not limited to 180 °.

Bei Solarzellen ist ein Wenden erforderlich, um während des Prozessierens z. B. Vorder- und Rückseite mit Kontakten zu versehen. So kann zunächst auf der Rückseite eine lötfähige Kontaktschicht aufgebracht werden, um sodann nach Wenden des Wafers bzw. der Solarzelle auf der Vorderseite streifenförmige Kontakte wie Finger bzw. Busbars aufzubringen.For solar cells, a turn is required to z. B. front and back with contacts. Thus, first a solderable contact layer can be applied to the rear side, in order then to apply strip-shaped contacts such as fingers or busbars after turning the wafer or the solar cell on the front side.

Die erfindungsgemäße Wendeeinrichtung 10 weist Seitenteile oder Wangen 12, 14 auf, die über eine Traverse 15 miteinander verbunden sind. Zwischen den Wangen 12, 14 sind paarweise einander zugeordnete Wellen 16, 18 und 20, 24 angeordnet, wobei die Wellen 16, 18 im Ausführungsbeispiel starr mit den Wangen 14, 16 und die Wellen 20, 24 drehbar mit den Wangen 12, 14 verbunden sind.The turning device according to the invention 10 has side parts or cheeks 12 . 14 up, over a crossbar 15 connected to each other. Between the cheeks 12 . 14 are pairs of associated waves 16 . 18 and 20 . 24 arranged, with the waves 16 . 18 in the embodiment rigid with the cheeks 14 . 16 and the waves 20 . 24 rotatable with the cheeks 12 . 14 are connected.

Die Welle 24 ist als Antriebswelle ausgebildet und weist eine Riemenscheibe 26 auf, über die die Welle 24 in nachstehend beschriebener Weise in Drehbewegung versetzbar ist. Ferner geht von der Welle ein Koppelelement vorzugsweise in Form eines Zahnrades 27 aus, das mit einem von der Welle 20 ausgehenden Koppelelement wie Zahnrad 29 zusammenwirkt, so dass die Wellen 20, 24 als Antriebswellen zu bezeichnen sind.The wave 24 is designed as a drive shaft and has a pulley 26 on top of that the wave 24 in the manner described below is set in rotary motion. Furthermore, a coupling element preferably comes in the form of the shaft a gear 27 out with one of the wave 20 outgoing coupling element such as gear 29 interacts, so the waves 20 . 24 are to be referred to as drive shafts.

Von den Wellen 16, 18, 20, 24 gehen Rundriemenscheiben 32, 34, 36, 38, 40, 42, 44, 46 aus, in die Rundriemen 48, 50, 52, 54 in nicht näher gekennzeichnete Nutenführungen geführt werden.From the waves 16 . 18 . 20 . 24 go round pulleys 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 . 44 . 46 out, into the round belts 48 . 50 . 52 . 54 be guided in unspecified Nutenführungen.

Somit weist die Wendeeinrichtung zwei Paar von Rundriemen 48, 50 bzw. 52, 54 auf, die über die Rundriemenscheiben 32, 34, 36, 38, 40, 42, 44, 46 geführt werden, wobei die paarweise zugeordneten Rundriemen 48, 50 bzw. 52, 54 derart zueinander beabstandet von den paarweise einander zugeordneten Riemenscheiben 32, 40, 36, 44 bzw. 34, 42 und 38, 46 ausgehen, dass durch die Wendeeinrichtung 10 geführte Gegenstände wie Wafer in ihren Randbereichen erfasst werden.Thus, the turning device has two pairs of round belts 48 . 50 respectively. 52 . 54 on, over the round pulleys 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 . 44 . 46 be guided, with the paired round belt 48 . 50 respectively. 52 . 54 so spaced from each other by the paired pulleys 32 . 40 . 36 . 44 respectively. 34 . 42 and 38 . 46 go out that by the turning device 10 guided objects such as wafers are detected in their peripheral areas.

Sind im Ausführungsbeispiel die Wellen 20, 24 drehbar in den Wangen 12, 14 gelagert, so sind die Wellen 16, 18 starr mit den Wangen 12, 14 verbunden und die Riemenscheiben 32, 40, 36, 42 drehbar auf den Wellen 16, 18 gelagert. Demgegenüber sind die von den Antriebswellen 22, 24 ausgehenden Riemenscheiben 36, 44 und 38, 46 unverdrehbar mit den Wellen 20, 24 verbunden.Are the waves in the embodiment 20 . 24 rotatable in the cheeks 12 . 14 stored, so are the waves 16 . 18 rigid with the cheeks 12 . 14 connected and the pulleys 32 . 40 . 36 . 42 rotatable on the waves 16 . 18 stored. In contrast, those of the drive shafts 22 . 24 outgoing pulleys 36 . 44 and 38 . 46 non-rotatable with the waves 20 . 24 connected.

Die Wendeeinrichtung 10, d. h. die als Halterung für die Wellen 18, 20, 24 dienenden Wangen 12, 14 mit der diese verbindenden Traverse 15 sind um eine Achse 19 drehbar, die im Ausführungsbeispiel der 1 Halterungen 23, 25 durchsetzen, die entlang der Außenseiten der Wangen 12, 14 vorgesehen sind und in denen von den Wangen 12, 14 ausgehende Wellenstümpfe 56, 58 gelagert sind.The turning device 10 that is, as a support for the waves 18 . 20 . 24 serving cheeks 12 . 14 with the connecting this Traverse 15 are about an axis 19 rotatable, which in the embodiment of 1 brackets 23 . 25 enforce that along the outsides of the cheeks 12 . 14 are provided and in which of the cheeks 12 . 14 outgoing stumps 56 . 58 are stored.

Von den in der zeichnerischen Darstellung linken Wellenstumpf 56 geht eine Riemenscheibe 59 mit zwei Nutführungen 60, 62 aus, wobei in der Nutführung 62 ein Rundriemen 61 geführt und mit der Riemenscheibe 26 verbunden ist. In der verbleibenden äußeren Nutführung 60 verläuft ein weiterer Rundriemen 65, der um eine Riemenscheibe 63 eines Elektromotors 64 geführt wird, der in einem Rahmen 66 angeordnet ist, auf dem die Wendeeinrichtung 10 gelagert und befestigt ist.Of the left stub shaft in the drawing 56 go a pulley 59 with two groove guides 60 . 62 out, wherein in the groove guide 62 a round belt 61 guided and with the pulley 26 connected is. In the remaining outer groove guide 60 runs another round belt 65 that's about a pulley 63 an electric motor 64 is guided in a frame 66 is arranged, on which the turning device 10 stored and attached.

Von dem Wellenstumpf 58 geht eine Zahnscheibe 68 aus, um die ein Zahnriemen 70 geführt wird, der um eine Zahnriemenscheibe 72 eines weiteren Elektromotors 74 geführt wird. Über den Zahnriemen 70 wird die Wendeeinheit 10 zu den Halterungen 23, 24 gedreht, die im Ausführungsbeispiel der 2 und 3 über parallel zu den Wellen 16, 18, 20, 24 verlaufende Verbindungsplatten 76, 78 mit dem Rahmen 66 verbunden sind.From the stump 58 goes a toothed wheel 68 off to a timing belt 70 which is led around a toothed belt pulley 72 another electric motor 74 to be led. About the timing belt 70 becomes the turning unit 10 to the brackets 23 . 24 rotated in the embodiment of the 2 and 3 over parallel to the waves 16 . 18 . 20 . 24 extending connection plates 76 . 78 with the frame 66 are connected.

Dadurch, dass als Förderelemente die Rundriemen 48, 50, 52, 54 vorzugsweise mit einem Durchmesser von in etwa 4 mm Durchmesser verwendet werden, wobei als bevorzugte Materialien eines aus der Gruppe Siliconkautschuk, Polyurethan, Polychloropren, Naturkautschuk zu wählen ist und die Shore-Härte zwischen 20 ShA und 80 ShA liegen sollte, sind zusätzliche Spannelemente nicht erforderlich. Vielmehr sind ausschließlich Rundriemenscheiben 32, 34, 36, 38, 40, 42, 44, 46 am Eingang und Ausgang der Wendeeinrichtung 10 notwendig, d. h., dass jeder Rundriemen 48, 50, 52, 54 über zwei Rundriemenscheiben 32, 36 bzw. 40, 44 bzw. 34, 38 bzw. 42, 46 geführt wird.Due to the fact that the round belts are used as conveying elements 48 . 50 . 52 . 54 preferably with a diameter of about 4 mm in diameter, wherein as preferred materials one of the group of silicone rubber, polyurethane, polychloroprene, natural rubber is to be selected and the Shore hardness should be between 20 ShA and 80 ShA, additional clamping elements are not required , Rather, only round pulleys 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 . 44 . 46 at the entrance and exit of the turning device 10 necessary, ie, that each round belt 48 . 50 . 52 . 54 over two round pulleys 32 . 36 respectively. 40 . 44 respectively. 34 . 38 respectively. 42 . 46 to be led.

Durch die Dimensionierung der Rundriemen 48, 50, 52, 54 und deren Härte können Wafer mit voneinander abweichenden Dicken problemlos durch die Wendeeinrichtung 10 transportiert werden, wobei ein Dickenausgleich durch die Nachgiebigkeit der Rundriemen 48, 50, 52, 54 sichergestellt wird. Zusätzlich oder alternativ besteht die Möglichkeit, die paarweise einander zugeordneten Wellen 16, 18 bzw. 20, 24 federvorgespannt zueinander auszurichten, wie prinzipiell der 4 zu entnehmen ist. So sind im Ausführungsbeispiel die oberen Wellen 18, 24 ortsfest in den Wangen 12, 14 gelagert, wohingegen die den Wellen 18, 24 unmittelbar zugeordneten Wellen 16, 20 vorgespannt gelagert sind, wie durch die Zugfedern 17, 21 und die Doppelpfeile 117, 121 angedeutet wird.By dimensioning the round belts 48 . 50 . 52 . 54 and their hardness, wafers with different thicknesses can be easily passed through the turning device 10 be transported, with a thickness compensation by the flexibility of the round belt 48 . 50 . 52 . 54 is ensured. Additionally or alternatively, there is the possibility of the pairs associated waves 16 . 18 respectively. 20 . 24 Align spring biased to each other, as in principle the 4 can be seen. Thus, in the embodiment, the upper waves 18 . 24 steady in the cheeks 12 . 14 stored, whereas the waves 18 . 24 directly assigned waves 16 . 20 are biased, as by the tension springs 17 . 21 and the double arrows 117 . 121 is hinted at.

Es besteht auch die Möglichkeit, den Abstand der Wellen 16, 18 bzw. 20, 24 so zu gestalten, dass durch den Einsatz von Vakuumkammern im Zwischenraum von den Rundriemen 48, 50, 52, 54 ein Unterdruck erzeugt wird, der den Gegenstand während des Transportierens bzw. Wendens ansaugt. Hierzu kann entlang der Innenseite zumindest eines der paarweise einander zugeordneten Riemen 48, 50 bzw. 52, 54 ein Längsprofil mit Schlitz verlaufen, über den Luft angesaugt wird, und somit einen zwischen dem Rundriemen 48, 50 und 52, 54 transportierten Gegen-stand anzusaugen.There is also the possibility of the distance of the waves 16 . 18 respectively. 20 . 24 To be designed so that by the use of vacuum chambers in the space of the round belts 48 . 50 . 52 . 54 a negative pressure is generated, which sucks the article during transport or turning. For this purpose, along the inside at least one of the pairwise associated belt 48 . 50 respectively. 52 . 54 a longitudinal profile run with a slot, is sucked through the air, and thus one between the round belt 48 . 50 and 52 . 54 sucked transported object.

Der Abstand zwischen den nebeneinander verlaufenden und Gegenstände erfassenden und paarweise einander zugeordneten Rundriemen 48, 50 bzw. 52, 54 sollte derart ausgelegt werden, dass die durch die Wendeeinrichtung 10 zu fördernden Gegenstände in ihren Längsrandbereichen fixiert und klemmend transportiert werden. Durch die Verwendung der Rundriemen 48, 50, 52, 54 erfolgt nur eine linienförmige Berührung zwischen diesen und den zu transportierenden Gegenständen, so dass eine minimale Verschmutzung auftreten kann.The distance between the side-by-side and object-gathering and pairwise associated round belts 48 . 50 respectively. 52 . 54 should be designed such that the through the turning device 10 to be conveyed objects are fixed in their longitudinal edge areas and transported by clamping. By using the round belts 48 . 50 . 52 . 54 Only a linear contact between them and the objects to be transported, so that minimal pollution can occur.

Um Gegenstände unterschiedlicher Breiten von der Wendeeinrichtung 10 aufnehmen zu können, besteht die Möglichkeit, die Riemenscheiben 32, 34 und damit 40, 42 sowie die Riemenscheiben 36, 38 und damit 44, 46 abstandsmäßig zueinander zu verstellen.To objects of different widths of the turning device 10 it is possible to take the pulleys 32 . 34 and thus 40 . 42 as well as the pulleys 36 . 38 and thus 44 . 46 distance apart.

Die Achse 19, um die die Wendeeinrichtung 10 drehbar ist, verläuft parallel zu den Wellen 16, 18, 20, 24 und insbesondere mittig zwischen den paarweise einander zugeordneten Wellen 16, 18 und 20, 24.The axis 19 to the the turning device 10 is rotatable, runs parallel to the waves 16 . 18 . 20 . 24 and in particular centrally between the paired corrugated shafts 16 . 18 and 20 . 24 ,

Der von der Wendeeinrichtung 10 aufgenommene Gegenstand wird vorzugsweise beim Wenden derart positioniert, dass die Achse 19 den Schwerpunkt bzw. Schwerpunktbereich des Gegenstandes durchsetzt. Während des Wendens besteht jedoch auch die Möglichketi, den Gegenstand bereits zu transportieren, um einen höheren Durchsatz zu erzielen. Auch besteht die Möglichkeit, dass während der Abgabe eines von der Wendeeinrichtung 10 aufgenommenen Gegenstands bereits ein neuer Gegenstand zugeführt wird.The one of the turning device 10 recorded object is preferably positioned during turning so that the axis 19 enforced the center of gravity or focus area of the object. During turning, however, there is also the possibility of already transporting the object in order to achieve a higher throughput. There is also the possibility that during dispensing one of the turning device 10 already received a new item.

Dient die Wendeeinrichtung 10 vorzugsweise ausschließlich zum Wenden und Transportieren eines Gegenstandes, so besteht auch die Möglichkeit, dass ein Gegenstand in der Wendeeinrichtung 10 prozessiert wird.Serves the turning device 10 Preferably only for turning and transporting an object, so there is also the possibility that an object in the turning device 10 is processed.

Bevorzugte Abmessungen der Wendeinrichtung sind:
Abstand der Wellen 16, 20 bzw. 18, 24: 160 mm
Durchmesser der Wellen 16, 18, 20, 24: 6 mm
Abstand der Rundriemen 48, 52; 50, 54 von Mitte zu Mitte: 130 mm,
Durchmesser der Riemenscheiben 32, 34, 36, 38, 40, 42,44, 46: 20 mm.Preferred dimensions of the turning device are:
Distance of the waves 16 . 20 respectively. 18 . 24 : 160 mm
Diameter of the waves 16 . 18 . 20 . 24 : 6 mm
Distance of the round belts 48 . 52 ; 50 . 54 from middle to middle: 130 mm,
Diameter of the pulleys 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 . 44 . 46 : 20 mm.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1010
Wendeeinrichtungturning device
1212
WangenWangen
1414
WangenWangen
1515
Traversetraverse
1616
Wellewave
1717
ZugfedernTension springs
1818
Wellewave
1919
Achseaxis
2020
Wellewave
2121
ZugfedernTension springs
2323
Halterungbracket
2424
Wellewave
2525
Halterungbracket
2626
Riemenscheibepulley
2727
Zahnradgear
2929
Zahnradgear
3232
RundriemenscheibenAround pulleys
3434
RundriemenscheibenAround pulleys
3636
RundriemenscheibenAround pulleys
3838
RundriemenscheibenAround pulleys
4040
RundriemenscheibenAround pulleys
4242
RundriemenscheibenAround pulleys
4444
RundriemenscheibenAround pulleys
4646
RundriemenscheibenAround pulleys
4848
Rundriemenround belts
5050
Rundriemenround belts
5252
Rundriemenround belts
5454
Rundriemenround belts
5656
Wellenstümpfeshaft stubs
5858
Wellenstümpfeshaft stubs
5959
Riemenscheibepulley
6060
Nutführungengroove guides
6161
Rundriemenround belts
6262
Nutführungengroove guides
6363
Riemenscheibenpulleys
6464
Elektromotor/ZahnscheibeMotor / pulley
6565
Rundriemenround belts
6666
Rahmenframe
6868
Zahnscheibetoothed washer
7070
Zahnriementoothed belt
7272
ZahnriemenscheibeTiming pulley
7474
Elektromotorelectric motor
7676
Verbindungsplattenconnecting plates
7878
Verbindungsplattenconnecting plates
117117
Doppelfeile (Zugfedern)Double file (tension springs)
121121
Doppelfeile (Zugfedern)Double file (tension springs)

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • EP 0970899 B [0005] EP 0970899 B [0005]
  • DE 639104 C [0006] DE 639104 C [0006]
  • EP 0637561 A [0007] EP 0637561 A [0007]
  • US 6073748 A [0008] US 6073748 A [0008]
  • DE 8316142 U [0009] DE 8316142 U [0009]
  • DE 19527264 A [0010] DE 19527264 A [0010]
  • US 6142287 A [0011] US 6142287A [0011]

Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

  • DIN 53505 [0030] DIN 53505 [0030]
  • DIN 7868 [0030] DIN 7868 [0030]

Claims (14)

Anordnung zum Transportieren und Wenden von flächigen Gegenständen umfassend eine um eine Achse (19) drehbare Wendeeinrichtung (10) mit zwei zueinander beabstandet verlaufenden Paaren von umlaufenden Förderelementen (48, 50, 52, 54), wobei das erste Paar erste Förderelemente und das zweite Paar zweite Förderelemente aufweist und die ersten Förderelemente und die zweiten Förderelemente entlang des Transportweges des Gegenstandes in der Wendeeinrichtung parallel zueinander verlaufen, am Anfang und am Ende des Transportweges um Umlenkelemente (32, 34, 36, 38, 40, 42, 44, 46) geführt sind und beim Transport eines Gegenstandes jeweils ein Randbereich von diesem zwischen den Förderelementen eines der Paare fixiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Förderelemente (48, 50, 52, 54) Rundriemen sind, dass die Umlenkelemente (32, 34, 36, 38, 40, 42, 44, 46) von Wellen (16, 18, 20, 24) ausgehen, dass von jeweils einer Welle zwei zueinander beabstandete Umlenkelemente für ein erstes und ein zweites Förderelement ausgehen, dass zumindest die von einer ersten Welle (24) ausgehenden Umlenkelemente mit dieser unverdrehbar verbunden sind und dass die erste Welle (24) über ein umlaufendes drittes Förderelement (61) mit einem außerhalb der Wendeeinrichtung angeordneten Antrieb (64) verbunden ist.Arrangement for transporting and turning flat objects comprising one about an axis ( 19 ) rotatable turning device ( 10 ) with two mutually spaced pairs of revolving conveyor elements ( 48 . 50 . 52 . 54 ), wherein the first pair of first conveying elements and the second pair of second conveying elements and the first conveying elements and the second conveying elements along the transport path of the object in the turning device parallel to each other, at the beginning and at the end of the transport path to deflecting elements ( 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 . 44 . 46 ) are guided and when transporting an object in each case an edge region of this is fixed between the conveying elements of one of the pairs, characterized in that the first and second conveying elements ( 48 . 50 . 52 . 54 ) Round belts are that the deflection elements ( 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 . 44 . 46 ) of waves ( 16 . 18 . 20 . 24 ) assume that from each of a shaft two mutually spaced deflection elements for a first and a second conveying element go out that at least that of a first wave ( 24 ) outgoing deflecting elements are connected to this non-rotatably and that the first wave ( 24 ) via a circulating third conveying element ( 61 ) with a drive arranged outside the turning device ( 64 ) connected is. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Welle (24) formschlüssig mit einer zweiten Welle (20) insbesondere über kämmende Zahnräder (27, 29) verbunden ist.Arrangement according to claim 1, characterized in that the first shaft ( 24 ) with a second shaft ( 20 ) in particular via meshing gears ( 27 . 29 ) connected is. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Umlenkelemente (32, 34, 36, 38, 40, 42, 44, 46) bzw. die Wellen (16, 18, 20, 24) federvorgespannt zueinander verstellbar angeordnet sind.Arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the deflection elements ( 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 . 44 . 46 ) or the waves ( 16 . 18 . 20 . 24 ) are arranged spring-biased to each other adjustable. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wellen (16, 18, 20, 24) von einer Halterung wie Wangen (12, 14) ausgehen, die von einer Achse (19) durchsetzt ist, um die die Wendeeinrichtung (10) drehbar ist und die ihrerseits mittig oder in etwa mittig zu den parallel zueinander verlaufenden Wellen verläuft.Arrangement according to at least one of the preceding claims, characterized in that the shafts ( 16 . 18 . 20 . 24 ) from a holder such as cheeks ( 12 . 14 ) coming from an axis ( 19 ) is interspersed around which the turning device ( 10 ) is rotatable and in turn extends centrally or approximately centrally to the mutually parallel waves. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das dritte Förderelement (61) ein Rundriemen ist, der über den von einem die Halterung der Wendeeinheit aufnehmenden Gestell oder Rahmen (66) ausgehenden Antrieb (64) antreibbar ist.Arrangement according to at least one of the preceding claims, characterized in that the third conveying element ( 61 ) is a round belt, which over the one of the holder of the turning unit receiving frame or frame ( 66 ) outgoing drive ( 64 ) is drivable. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wendeeinheit (10) über Flachriemen wie Zahnriemen (70) drehbar ist, der mittels eines von dem Rahmen (66) oder dem Gestell ausgehenden zweiten Antrieb (74) antreibbar ist.Arrangement according to at least one of the preceding claims, characterized in that the turning unit ( 10 ) via flat belts such as toothed belts ( 70 ) rotatable by means of one of the frame ( 66 ) or the frame outgoing second drive ( 74 ) is drivable. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Rundriemen (48, 50, 52, 54) aus zumindest einem Material aus der Gruppe Siliconkautschuk, Polyurethan, Polychloropren, Naturkautschuk besteht.Arrangement according to at least one of the preceding claims, characterized in that the round belt ( 48 . 50 . 52 . 54 ) consists of at least one material from the group silicone rubber, polyurethane, polychloroprene, natural rubber. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Rundriemen (48, 50, 52, 54) oder äußere Beschichtung des Rundriemens aus einem Material einer Härte zwischen 20 ShA und 80 ShA besteht.Arrangement according to at least one of the preceding claims, characterized in that the round belt ( 48 . 50 . 52 . 54 ) or outer coating of the round belt is made of a material having a hardness between 20 ShA and 80 ShA. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Rundriemen (48, 50, 52, 54) einen Durchmesser d mit 3 mm ≤ d ≤ 5 mm, insbesondere d ≈ 4 mm aufweist.Arrangement according to at least one of the preceding claims, characterized in that the round belt ( 48 . 50 . 52 . 54 ) has a diameter d with 3 mm ≤ d ≤ 5 mm, in particular d ≈ 4 mm. Verfahren und Transport eines flächigen Gegenstandes, wie Wafer zu Herstellung eine Solarzelle oder Platte, wobei der Gegenstand mittels einer um eine Achse drehbaren Wendeeinrichtung zum wahlweisen Prozessieren von Ober- oder Unterseite des Gegenstandes aufgenommen wird, mittels paarweise angeordneter umlaufender über Umlenkelemente geführter erster und zweiter Förderelemente in der Wendeeinrichtung gehalten und gefördert und jeder Längsrandbereich des Gegenstandes zwischen einem Paar der Förderelemente gehalten wird, dadurch gekennzeichnet, dass als die ersten und zweiten Förderelemente Rundriemen verwendet werden, dass die Umlenkelemente von Wellen ausgehen, wobei von jeweils einer Welle zwei zueinander beabstandete Umlenkelemente für ein erstes und ein zweites Förderelement ausgehen, dass eine Welle eines Paares von Umlenkelementen über ein drittes Förderelement gedreht wird und dass das dritte Förderelement über einen ersten Antrieb angetrieben wird, der von einem die Wendeeinrichtung aufnehmenden Gestell oder Rahmen ausgeht.Method and transport of a flat object, such as wafers for producing a solar cell or plate, wherein the object is received by means of a rotatable about an axis turning device for selectively processing the top or bottom of the object, by means of paired circumferential guided over deflecting first and second conveying elements held in the turning device and conveyed and each longitudinal edge portion of the article is held between a pair of conveying elements, characterized in that as the first and second conveying elements round belts are used, that the deflection elements emanate from waves, wherein each of a shaft has two mutually spaced deflection elements for a first and a second conveying element go out that a shaft of a pair of deflecting elements is rotated via a third conveying element and that the third conveying element is driven by a first drive, the di e turning device receiving frame or frame goes out. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass während des Drehens der Wendeeinrichtung der Gegenstand innerhalb der Wendeeinrichtung zumindest zeitweise gefördert wird.A method according to claim 10, characterized in that during rotation of the turning device, the object is conveyed within the turning device at least temporarily. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass als Förderelemente solche einer Dicke verwendet werden, dass Gegenstände unterschiedlicher Dicken bei ortsfest zueinander angeordneten Umlenkelementen für die Förderelemente förderbar sind, oder dass die die Förderelemente führenden Umlenkelemente bzw. die diese aufnehmenden Wellen vorzugsweise federvorgespannt relativ zueinander verstellbar sind.A method according to claim 10 or 11, characterized in that are used as conveying elements of such a thickness that objects of different thicknesses at stationary mutually arranged deflecting elements for the conveying elements are conveyed, or that the conveying elements leading deflecting elements or the waves receiving them preferably spring-biased relative are adjustable to each other. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstand während seiner Aufnahme in der Wendeeinrichtung mit Unterdruck beaufschlagt wird. Method according to at least one of claims 10 to 12, characterized in that the article is subjected to negative pressure during its reception in the turning device. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstand während dessen Aufnahme in der Wendeeinrichtung prozessiert wird.Method according to at least one of claims 10 to 13, characterized in that the article is processed during its recording in the turning device.
DE102011055255A 2010-11-12 2011-11-11 Arrangement i.e. turning device, for transporting and turning wafers to manufacture e.g. solar cell, has detour elements arranged at preset distance from shafts, where one shaft is connected with drive arranged outside device Withdrawn DE102011055255A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011055255A DE102011055255A1 (en) 2010-11-12 2011-11-11 Arrangement i.e. turning device, for transporting and turning wafers to manufacture e.g. solar cell, has detour elements arranged at preset distance from shafts, where one shaft is connected with drive arranged outside device

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010060516 2010-11-12
DE102010060516.6 2010-11-12
DE102011055255A DE102011055255A1 (en) 2010-11-12 2011-11-11 Arrangement i.e. turning device, for transporting and turning wafers to manufacture e.g. solar cell, has detour elements arranged at preset distance from shafts, where one shaft is connected with drive arranged outside device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102011055255A1 true DE102011055255A1 (en) 2012-05-16

Family

ID=45999062

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102011055255A Withdrawn DE102011055255A1 (en) 2010-11-12 2011-11-11 Arrangement i.e. turning device, for transporting and turning wafers to manufacture e.g. solar cell, has detour elements arranged at preset distance from shafts, where one shaft is connected with drive arranged outside device

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN202518794U (en)
DE (1) DE102011055255A1 (en)

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102825460A (en) * 2012-09-18 2012-12-19 哈尔滨工程大学 Current feedback-based self-adaptive batch type turning mechanism
EP2692672A2 (en) * 2012-08-02 2014-02-05 Bell and Howell, LLC Method and system for mail item turnover
CN104495438A (en) * 2014-11-28 2015-04-08 苏州晟成光伏设备有限公司 Method for turning over solar battery panel on line
CN104528346A (en) * 2014-11-28 2015-04-22 苏州晟成光伏设备有限公司 Panel overturning machine
CN104681469A (en) * 2015-02-13 2015-06-03 铜陵三佳山田科技有限公司 Automatic positioning and collection device of turnover reversing semiconductor tube
BE1021860B1 (en) * 2013-03-26 2016-01-22 Wächter Packautomatik GmbH & Co. KG REVERSE DEVICE FOR PLATE-FORMED PRODUCT, AND METHOD OF RETURNING
CN105600536A (en) * 2016-03-03 2016-05-25 深圳市速普特智能科技有限公司 Novel card turner
CN106185265A (en) * 2016-08-29 2016-12-07 浙江瓯星金属制品有限公司 A kind of steel plate turning mechanism
CN106803490A (en) * 2017-03-20 2017-06-06 常州亿晶光电科技有限公司 Automatic feeding type solar panel testing equipment
CN107720220A (en) * 2017-11-09 2018-02-23 苏州九鲤机电科技有限公司 A kind of double-deck overturning conveyor
CN107954228A (en) * 2017-11-30 2018-04-24 双钱集团（江苏）轮胎有限公司 A kind of tyre film cools down lifting device
CN108673402A (en) * 2018-05-08 2018-10-19 佛山电器照明股份有限公司 A kind of automation installation system of lamp tube drive power
CN108910476A (en) * 2018-09-03 2018-11-30 北京氢璞创能科技有限公司 A kind of automatic turning device
JP2019131372A (en) * 2018-01-31 2019-08-08 三星ダイヤモンド工業株式会社 Substrate inverting device
CN111483809A (en) * 2019-01-28 2020-08-04 三星显示有限公司 Substrate turnover device
CN112978368A (en) * 2021-02-05 2021-06-18 施兴芳 Metal sheet taking and overturning mechanism
CN113955499A (en) * 2021-11-05 2022-01-21 内蒙古赛宝伦科技有限公司 Transfer device is used in monocrystalline silicon production with protection mechanism
WO2024077322A3 (en) * 2022-10-13 2024-06-06 Trumpf Maschinen Austria Gmbh & Co. Kg. Device for turning components

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103280420B (en) * 2013-06-04 2015-11-25 上海华力微电子有限公司 The method of wafer bearing device and wafer reviewing
CN104249832B (en) * 2014-08-08 2016-07-06 中国科学院沈阳自动化研究所义乌中心 Socks turning device and method for turning thereof
KR102099113B1 (en) * 2015-04-16 2020-04-09 한화정밀기계 주식회사 Part mounting apparatus
CN105197549B (en) * 2015-09-23 2018-04-06 广东勤善美智能装备股份有限公司 Corrugated board panel turnover machine
CN105374902B (en) * 2015-11-19 2017-05-10 新奥光伏能源有限公司 Vacuum turnover device and turnover method
CN105417263B (en) * 2015-11-27 2017-07-04 深圳市速普特智能科技有限公司 Turning over cards device and control method
CN106744088B (en) * 2016-12-28 2019-07-16 郭卫国 A kind of corrugated board tipper and fully-automatic tile corrugated paper board overturning dislocation stacking machine
CN108161090B (en) * 2017-12-29 2019-03-15 湖北银土建设工程有限公司 A kind of double surface grooving device of plate
CN108545432A (en) * 2018-04-04 2018-09-18 苏州和瑞科自动化科技有限公司 A kind of continuity turning device of flat-type material
CN110255235B (en) * 2019-05-08 2020-09-29 重庆懿熙品牌策划有限公司 Intelligence paper sorting device
CN111519873A (en) * 2020-05-09 2020-08-11 广东博智林机器人有限公司 Plate turnover and ceramic tile paving equipment

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE639104C (en) 1933-11-30 1936-11-28 Fritz Huettemann Device for pickling thin sheets
DE8316142U1 (en) 1982-06-02 1986-01-09 Bobst AG, Lausanne Device for the longitudinal guidance of an endless conveyor belt
EP0637561A1 (en) 1993-08-04 1995-02-08 Siemens Nixdorf Informationssysteme AG Method and device for transporting printed circuit boards from a first to a second transporting plane having approximately the same level
DE19527264A1 (en) 1995-07-26 1997-01-30 Heidelberger Druckmasch Ag Printing machine with straight substrate guide and turning devices for it
US6073748A (en) 1999-06-23 2000-06-13 Simplimatic Engineering Company Multiple lane inverter
US6142287A (en) 1999-05-17 2000-11-07 Biffert; Kevin N. Product inverting and diversion system
EP0970899B1 (en) 1998-07-07 2004-03-31 RWE SCHOTT Solar GmbH Method and device for processing slice-shaped articles like plates, panes of glass, circuit boards, ceramic substrates

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE639104C (en) 1933-11-30 1936-11-28 Fritz Huettemann Device for pickling thin sheets
DE8316142U1 (en) 1982-06-02 1986-01-09 Bobst AG, Lausanne Device for the longitudinal guidance of an endless conveyor belt
EP0637561A1 (en) 1993-08-04 1995-02-08 Siemens Nixdorf Informationssysteme AG Method and device for transporting printed circuit boards from a first to a second transporting plane having approximately the same level
DE19527264A1 (en) 1995-07-26 1997-01-30 Heidelberger Druckmasch Ag Printing machine with straight substrate guide and turning devices for it
EP0970899B1 (en) 1998-07-07 2004-03-31 RWE SCHOTT Solar GmbH Method and device for processing slice-shaped articles like plates, panes of glass, circuit boards, ceramic substrates
US6142287A (en) 1999-05-17 2000-11-07 Biffert; Kevin N. Product inverting and diversion system
US6073748A (en) 1999-06-23 2000-06-13 Simplimatic Engineering Company Multiple lane inverter

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DIN 53505
DIN 7868

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2692672A2 (en) * 2012-08-02 2014-02-05 Bell and Howell, LLC Method and system for mail item turnover
EP2692672A3 (en) * 2012-08-02 2014-09-10 Bell and Howell, LLC Method and system for mail item turnover
CN102825460B (en) * 2012-09-18 2014-08-06 哈尔滨工程大学 Current feedback-based self-adaptive batch type turning mechanism
CN102825460A (en) * 2012-09-18 2012-12-19 哈尔滨工程大学 Current feedback-based self-adaptive batch type turning mechanism
BE1021860B1 (en) * 2013-03-26 2016-01-22 Wächter Packautomatik GmbH & Co. KG REVERSE DEVICE FOR PLATE-FORMED PRODUCT, AND METHOD OF RETURNING
CN104495438B (en) * 2014-11-28 2016-11-02 苏州晟成光伏设备有限公司 The online method overturning solar panel
CN104528346A (en) * 2014-11-28 2015-04-22 苏州晟成光伏设备有限公司 Panel overturning machine
CN104495438A (en) * 2014-11-28 2015-04-08 苏州晟成光伏设备有限公司 Method for turning over solar battery panel on line
CN104681469A (en) * 2015-02-13 2015-06-03 铜陵三佳山田科技有限公司 Automatic positioning and collection device of turnover reversing semiconductor tube
CN104681469B (en) * 2015-02-13 2018-02-13 铜陵三佳山田科技有限公司 One kind upset commutation type semiconductor expects pipe is automatically positioned storage device
CN105600536A (en) * 2016-03-03 2016-05-25 深圳市速普特智能科技有限公司 Novel card turner
CN106185265A (en) * 2016-08-29 2016-12-07 浙江瓯星金属制品有限公司 A kind of steel plate turning mechanism
CN106803490B (en) * 2017-03-20 2023-06-27 常州亿晶光电科技有限公司 Automatic material loading formula solar cell panel check out test set
CN106803490A (en) * 2017-03-20 2017-06-06 常州亿晶光电科技有限公司 Automatic feeding type solar panel testing equipment
CN107720220A (en) * 2017-11-09 2018-02-23 苏州九鲤机电科技有限公司 A kind of double-deck overturning conveyor
CN107954228A (en) * 2017-11-30 2018-04-24 双钱集团（江苏）轮胎有限公司 A kind of tyre film cools down lifting device
CN107954228B (en) * 2017-11-30 2024-03-26 双钱集团（江苏）轮胎有限公司 Tyre film cooling and lifting device
JP7085743B2 (en) 2018-01-31 2022-06-17 三星ダイヤモンド工業株式会社 Board reversing device
JP2019131372A (en) * 2018-01-31 2019-08-08 三星ダイヤモンド工業株式会社 Substrate inverting device
CN108673402B (en) * 2018-05-08 2023-10-27 佛山电器照明股份有限公司 Automatic mounting system of lamp tube driving power supply
CN108673402A (en) * 2018-05-08 2018-10-19 佛山电器照明股份有限公司 A kind of automation installation system of lamp tube drive power
CN108910476A (en) * 2018-09-03 2018-11-30 北京氢璞创能科技有限公司 A kind of automatic turning device
CN111483809B (en) * 2019-01-28 2023-08-18 三星显示有限公司 Substrate turnover device
CN111483809A (en) * 2019-01-28 2020-08-04 三星显示有限公司 Substrate turnover device
CN112978368B (en) * 2021-02-05 2022-04-22 浙江奇展机械制造有限公司 Metal sheet taking and overturning mechanism
CN112978368A (en) * 2021-02-05 2021-06-18 施兴芳 Metal sheet taking and overturning mechanism
CN113955499B (en) * 2021-11-05 2023-02-03 内蒙古赛宝伦科技有限公司 Transfer device is used in monocrystalline silicon production with protection mechanism
CN113955499A (en) * 2021-11-05 2022-01-21 内蒙古赛宝伦科技有限公司 Transfer device is used in monocrystalline silicon production with protection mechanism
WO2024077322A3 (en) * 2022-10-13 2024-06-06 Trumpf Maschinen Austria Gmbh & Co. Kg. Device for turning components

Also Published As

Publication number Publication date
CN202518794U (en) 2012-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102011055255A1 (en) Arrangement i.e. turning device, for transporting and turning wafers to manufacture e.g. solar cell, has detour elements arranged at preset distance from shafts, where one shaft is connected with drive arranged outside device
DE102010060517A1 (en) Method for handling flat object e.g. semiconductor wafer, involves fixing object placed in receiving unit by negative pressure while rotating receiving unit
EP2566796B1 (en) Apparatus to transport plates
DE2363300B2 (en) Tie device for the production of multiple discs with plastic running around the edge
DE112011101899T5 (en) Processing substrates using a temporary carrier
DE4107224C1 (en)
CH699583B1 (en) Transport device for a vacuum processing system and vacuum processing system.
CH668243A5 (en) METHOD AND ARRANGEMENT FOR COLLECTING SIGNATURE SHEET.
DE2702798A1 (en) GLASS PANEL EDGE GRINDING MACHINE
DE102017213961A1 (en) REMOVAL PROCEDURE AND REMOVAL DEVICE
DE102013206698A1 (en) A method and apparatus for reorienting a slice or portion of a cut food product
DE102012206502A1 (en) Device for front contact-free transport of e.g. flexible organic LED material, has deflection unit provided on carrier strip in such way that carrier tape to be coated band-shaped material touches on rear side
EP0732424B1 (en) Method and apparatus for treating plate like articles, in particular printed circuit boards
EP0970899B1 (en) Method and device for processing slice-shaped articles like plates, panes of glass, circuit boards, ceramic substrates
DE10154884A1 (en) Method and device for transporting flexible flat material, in particular printed circuit boards
EP0976146B1 (en) Device for conveying substrates through a substrate processing plant
DE102011083139B4 (en) Substrate treatment process and substrate treatment plant
DE4206989C2 (en) Device for producing electrodes for electronic components of the chip type
DE102011085789B4 (en) Vertical continuous coating machine for continuous vacuum coating of substrates
DE102012111338B4 (en) Coating method, substrate carrier and coating device for disc-shaped substrates
DE102008026294A1 (en) Loading and unloading unit for plate support, has lifting device movable through receiving opening of plate support, plate transport device arranged on head of lifting device, which is provided for positioning plate
EP3212544A1 (en) Transport apparatus, apparatus for handling an article and transport method
DE2118689C3 (en) Device for cleaning wooden panels, chipboard or the like. Before gluing for subsequent gluing of coating foils
DE102014222737B4 (en) Device for treating the underside and the edges of an item with a liquid and method for producing an item treated on an underside with a liquid
DE1040902B (en) Device for the photochemical treatment of exposed photographic sheets in several adjacent, open-topped containers

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANG, DE

Free format text: FORMER OWNER: SCHOTT SOLAR AG, 55122 MAINZ, DE

Effective date: 20130808

R082 Change of representative

Representative=s name: STOFFREGEN, HANS-HERBERT, DIPL.-PHYS. DR.RER.N, DE

Effective date: 20130808

R084 Declaration of willingness to licence
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee