DE102010060517A1 - Method for handling flat object e.g. semiconductor wafer, involves fixing object placed in receiving unit by negative pressure while rotating receiving unit - Google Patents

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Abstract

The radially extending receiving units (36,38) are rotatable about an axis by a turning device (14). The object (10) placed in the receiving unit is fixed by negative pressure while rotating the receiving unit. The object is fed and taken away through the belt-shaped conveying elements (16,18) of the receiving units. The longitudinal edge portions of the object are made to rest on the conveying elements. The receptacle is made of plastic such as polyaryletherketone. An independent claim is included for arrangement for handling flat object.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Handhaben von flächigen Gegenständen, wie Wafer oder Platten, wobei der Gegenstand von einer radial verlaufenden Aufnahme einer um eine Achse drehbaren Wendeeinrichtung aufgenommen und durch Drehen der Wendeeinrichtung gewendet wird. Ferner nimmt die Erfindung Bezug auf eine Anordnung zum Handhaben eines Gegenstandes, wie Wafer oder Platte, umfassend eine um eine Achse drehbare Wendeeinrichtung mit zumindest einer radial verlaufenden Aufnahme sowie eine Transporteinrichtung zum Zu- und Wegführen des Gegenstandes zu der bzw. von der Aufnahme.The invention relates to a method for handling flat objects, such as wafers or plates, wherein the object is taken up by a radially extending receptacle of a turning device rotatable about an axis and turned by turning the turning device. Furthermore, the invention relates to an arrangement for handling an object, such as wafer or plate, comprising a turning device rotatable about an axis with at least one radially extending receptacle and a transport device for feeding and removing the object to or from the receptacle.

Beim Prozessieren von z. B. Wafer zur Herstellung von Solarzellen ist es notwendig, dass Vorder- und Rückseite mit Kontakten versehen werden. Hierzu werden die Wafer um 180° gedreht. So wird z. B. auf der Rückseite des Wafers eine lotfähige Kontaktschicht aufgebracht, der Wafer sodann um 180° gewendet, um anschließend Finger bzw. Busbars auf der Vorderseite des Wafers aufzubringen.When processing z. B. Wafers for the production of solar cells, it is necessary that the front and back are provided with contacts. For this purpose, the wafers are rotated by 180 °. So z. B. applied to the back of the wafer, a solderable contact layer, the wafer then turned by 180 °, to then apply fingers or busbars on the front of the wafer.

Bekannte Vorrichtungen, die das Wenden ermöglichen, setzen sogenannte Wenderäder ein, die zueinander beabstandete, um eine Achse drehbare Scheiben mit radial verlaufenden Schlitzen aufweisen, in die die Wafer mit ihren Randbereichen einbringbar sind.Known devices that allow the turning, use so-called turning wheels, spaced from each other, having an axis rotatable discs with radially extending slots into which the wafers are introduced with their edge regions.

Auch sind Vakuum-Wendeeinheiten bekannt, mittels der die Wafer durch Unterdruck fixiert und sodann gewendet werden.Also vacuum turning units are known, by means of which the wafers are fixed by negative pressure and then turned.

Zum Behandeln dünner Gegenstände sieht die EP-B-0 970 899 zwei zueinander beabstandete von einer Welle ausgehende scheibenförmige Wangen vor, die radial zur Peripherie hin geöffnete Schlitze als Aufnahmen für die Gegenstände aufweisen. Während des Drehens der Wangen werden die Schlitze von einem flexiblen Element verschlossen.For treating thin objects sees the EP-B-0 970 899 two spaced apart from a wave outgoing disc-shaped cheeks, which have radially open towards the periphery slots as receptacles for the objects. As the cheeks rotate, the slots are closed by a flexible element.

Der EP-A-0 637 561 sind ein Verfahren und eine Anordnung zum Umsetzen von Leiterplatten von einer ersten Transportebene auf eine zweite mit etwa gleichem Niveau zu entnehmen. Hierzu ist ein Drehrad in Form eines Fächerspeichers vorgesehen, dem die Gegenstände translatorisch zugeführt bzw. von diesem weggeführt werden. Während des Wendens befinden sich die Gegenstände in Taschen der einzelnen Fächer.Of the EP-A-0 637 561 For example, a method and an arrangement for converting printed circuit boards from a first transport plane to a second one with approximately the same level can be seen. For this purpose, a rotary wheel is provided in the form of a fan storage, the objects are supplied translationally or led away from this. During turning, the objects are in pockets of the individual compartments.

Nachteilig bei den bekannten Anordnungen ist es, dass die Gegenstände in den Aufnahmen mechanisch belastet werden, da die Breite der Schlitze größer als die Dicke der aufzunehmenden Wafer ist, so dass während des Wendens die Wafer zwischen den Begrenzungen hin und her bewegt werden. Auch werden die Wafer grundsätzlich in ihren äußeren Längsrandbereichen abgestützt, so dass ein Ausbrechen der Kanten erfolgen kann. Eine mechanische Belastung des Kantenbereichs erfolgt auch dadurch, dass beim Zuführen der Wafer zu der Wendeeinrichtung die Wafer seitlich geführt werden.A disadvantage of the known arrangements is that the objects in the receptacles are mechanically stressed, since the width of the slots is greater than the thickness of the wafers to be received, so that during turning the wafers are moved back and forth between the boundaries. Also, the wafers are basically supported in their outer longitudinal edge areas, so that a breaking of the edges can take place. A mechanical loading of the edge region also takes place in that, when the wafers are fed to the turning device, the wafers are guided laterally.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren und eine Anordnung der eingangs genannten Art so weiterzubilden, dass die mechanische Belastung der Gegenstände reduziert wird.The present invention is based on the object, a method and an arrangement of the type mentioned in such a way that the mechanical stress on the objects is reduced.

Nach einem weiteren Aspekt soll die Belastung der Kanten im Bereich der Längsränder reduziert werden. Auch soll nach einem Aspekt vermieden werden, dass die Wafer durch das Material der Aufnahmen verunreinigt werden.In another aspect, the stress on the edges in the region of the longitudinal edges is to be reduced. It should also be avoided in one aspect that the wafers are contaminated by the material of the recordings.

Erfindungsgemäß wird verfahrensmäßig zur Lösung nach zumindest einem der Aspekte vorgeschlagen, dass der Gegenstand während des Wendens innerhalb der Aufnahme mittels Unterdruck fixiert wird.According to the invention, it is proposed in terms of method to solve for at least one of the aspects that the article is fixed during the turning within the recording by means of negative pressure.

Erfindungsgemäß wird ein unkontrolliertes Bewegen des Gegenstands innerhalb des Schlitzes vermieden, da ein Fixieren an einer der Begrenzungen der Aufnahme mittels Unterdruck erfolgt. Das Ansaugen mittels Unterdruck wird sodann unterbrochen, wenn der Gegenstand gewendet und dem Grunde nach horizontal ausgerichtet ist, um sodann mit der Transporteinrichtung aus der Aufnahme weggeführt zu werden.According to the invention an uncontrolled movement of the object is avoided within the slot, since a fixing takes place at one of the limits of the recording by means of negative pressure. The suction by means of negative pressure is then interrupted when the object is turned and oriented basically horizontally, to then be led away with the transport device from the receptacle.

In Ausgestaltung der Erfindung ist dabei vorgesehen, dass der Gegenstand mit einem Abblasimpuls in der Position, in der der Gegenstand auf die Transporteinrichtung übergeben werden soll, beaufschlagt wird. Somit ist ein gezieltes Ablegen auf die Transporteinrichtung gewährleistet, so dass der Gegenstand nicht unkontrolliert mechanischen Belastungen ausgesetzt wird.In an embodiment of the invention it is provided that the object with a blow-off pulse in the position in which the object is to be transferred to the transport device, is acted upon. Thus, a targeted placement is ensured on the transport device, so that the object is not exposed to uncontrolled mechanical stress.

In Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Gegenstand mittels zweier parallel zueinander verlaufender band- oder riemenförmiger Förderelemente der Aufnahme zugeführt und nach dem Wenden von dieser weggeführt wird, wobei der Gegenstand während des Förderns mit jeweils einem seiner in Förderrichtung verlaufenden Längsrändern auf einem der Förderelemente aufliegt, die Wendeeinrichtung bzw. die Aufnahme zwischen den Förderelementen verläuft und verstellbar derart ausgebildet wird, dass die Aufnahme außerhalb des Förderwegs des Förderelementes verläuft oder zu diesem ausgerichtet ist.In a further development of the invention it is provided that the object is fed by means of two mutually parallel belt or belt-shaped conveying elements of the recording and led away from the turn after turning, wherein the article during conveying with one of its extending in the conveying direction longitudinal edges on one of the conveying elements rests, the turning device or the receptacle extends between the conveying elements and is adjustably designed such that the receptacle extends outside the conveying path of the conveying element or is aligned therewith.

Durch die diesbezüglichen Maßnahmen ist eine Betriebsart „Durchlauf” möglich, in dem die Wendeeinrichtung aus dem Förderweg abgesenkt wird. Hierzu kann die Wendeeinrichtung z. B. mittels Pneumatikzylinder, Hubspindeln oder anderer geeigneter Stellmechanismen im erforderlichen Umfang in den Förderweg hineinbewegt bzw. aus diesem entfernt werden.Through the measures in this regard, a mode "run" is possible in which the Turning device is lowered from the conveyor. For this purpose, the turning device z. B. moved by means of pneumatic cylinders, lifting spindles or other suitable adjusting mechanisms in the required extent in the conveying path or be removed from this.

In Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Gegenstand beabstandet zu seinem jeweiligen Längsrand von jeweils einer durch einen Schlitz gebildeten Aufnahme aufgenommen wird, wobei eine Begrenzung des jeweiligen Schlitzes mehrere Öffnungen aufweist, über die der Gegenstand mittels des Unterdrucks angesaugt wird.In a further development of the invention it is provided that the object is received at a distance from its respective longitudinal edge of a respective receptacle formed by a slot, wherein a boundary of the respective slot has a plurality of openings through which the object is sucked by means of the negative pressure.

Eine Anordnung der eingangs genannten Art zeichnet sich dadurch aus, dass eine gegenstandsseitig verlaufende Begrenzung der Aufnahme zumindest eine mit Unterdruck beaufschlagte Öffnung zum Ansaugen des Gegenstandes aufweist, wobei insbesondere die Aufnahme ein die Begrenzung wie stegförmiger Anlagefläche aufweisender Schlitz ist und die Begrenzung mehrere entlang einer Geraden verlaufende über einen Kanal verbundene mit Unterdruck beaufschlagbare Öffnungen aufweist.An arrangement of the type mentioned above is characterized in that an object-limiting boundary of the receptacle has at least one acted upon with negative pressure opening for sucking the object, in particular, the recording is a boundary as web-like abutment surface having slot and the boundary more along a straight line having extending connected via a channel with negative pressure acted upon openings.

Um ein sicheres Aufnehmen und Wenden des Gegenstandes sicherzustellen, ist insbesondere vorgesehen, dass die Wendeeinrichtung mehrere paarweise sich jeweils in einer gemeinsamen radial erstreckenden Ebene verlaufende zueinander beabstandete Aufnahmen aufweist und dass die Transporteinrichtung zwei riemen- oder bandförmige Transportelemente aufweist, von denen jeweils eines benachbart zu einer der paarweise angeordneten Aufnahme und entlang deren jeweilige Außenseite verläuft. Des Weiteren ist die Wendeeinrichtung zu dem Transportelement vorzugsweise derart verstellbar ist, dass die Wendeeinrichtung gewünschtenfalls außerhalb des Förderwegs des Gegenstandes verläuft.In order to ensure safe picking and turning of the object, it is provided in particular that the turning device has a pair of pairs each extending in a common radially extending plane spaced receptacles and that the transport device has two belt or belt-shaped transport elements, one of which adjacent to one of the paired receptacle and extends along the respective outer side. Furthermore, the turning device to the transport element is preferably adjustable such that the turning device, if desired, runs outside the conveying path of the article.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Lösung ist mit konstruktiv einfachen Maßnahmen ein sicheres Wenden des Gegenstandes gewährleistet, wobei die mechanische Belastung beim Wenden derart reduziert wird, dass grundsätzlich eine Bruchgefahr ausgeschlossen ist.Due to the solution according to the invention a safe turning of the article is ensured with structurally simple measures, the mechanical stress during turning is reduced so that in principle a risk of breakage is excluded.

Dadurch, dass der Gegenstand in schlitzförmigen Aufnahmen mittels Unterdruck fixiert wird, kann eine Relativbewegung zwischen dem Gegenstand und der Aufnahme während des Wendens nicht erfolgen.The fact that the object is fixed in slot-shaped recordings by means of negative pressure, a relative movement between the object and the recording during turning can not be done.

Als Vorrichtung zur Erzeugung des Unterdrucks ist insbesondere eine Venturidüse vorgesehen. Eine Unterdruckerzeugung nach dem Bernoulli-Prinzip ist gleichfalls möglich.As a device for generating the negative pressure in particular a Venturi nozzle is provided. A vacuum generation according to the Bernoulli principle is also possible.

Vorzugsweise besteht die Aufnahme aus zwei steg- oder stabförmigen den Schlitz begrenzenden Elementen. In einem der Elemente verläuft der Kanal mit den Öffnungen. Ferner sollte in dem entsprechenden Element eine Venturidüse zur Erzeugung des Unterdrucks integriert sein. Sämtliche der in den Aufnahmen der Wendeeinrichtung integrierten Venturidüsen können des Weiteren mit einer gemeinsamen Druckluftquelle verbunden sein.Preferably, the receptacle consists of two bar or rod-shaped elements delimiting the slot. In one of the elements, the channel runs with the openings. Furthermore, a Venturi nozzle should be integrated in the corresponding element to generate the negative pressure. All of the venturi nozzles integrated in the receptacles of the turning device can furthermore be connected to a common compressed air source.

Um ein sicheres Ablegen auf die Fläche der Aufnahme, die beim Wegführen des Gegenstandes fluchtend zur Transporteinrichtung verläuft, zu gewährleisten, sieht eine hervorzuhebende Weiterbildung vor, dass der mit den Öffnungen verbundene Kanal unmittelbar mit der Druckluftquelle oder über die Venturidüse mit diesem verbunden ist. Bei einer unmittelbaren Verbindung zwischen Druckluftquelle und dem Kanal und somit den Öffnungen kann ein Abblasimpuls in der Ablageposition auf den Gegenstand appliziert werden, so dass ein sicheres Lösen des Gegenstandes von den zuvor mit Unterdruck beaufschlagten Öffnungen erfolgt.In order to ensure a safe depositing on the surface of the receptacle, which runs when moving the object in alignment with the transport device, provides an emphasized development that the channel connected to the openings is directly connected to the compressed air source or via the venturi with this. In a direct connection between the compressed air source and the channel and thus the openings, a blow-off pulse can be applied in the storage position on the object, so that a secure release of the object takes place from the previously acted upon with negative pressure openings.

Die paarweise jeweils in einer gemeinsamen radial verlaufenden Ebene der Wendeeinrichtung verlaufenden Aufnahmen erfassen den Gegenstand beabstandet zum jeweiligen Längsrand, wobei als bevorzugter Abstand zwischen 10 mm und 20 mm anzugeben ist. Unmittelbar neben den Aufnahmen verlaufen die band- oder riemenförmigen Transporteinrichtungen, um die Gegenstände in die Aufnahme einzuführen bzw. nach dem Wenden aus der Aufnahme wegzuführen. Seitliche Führungen des Gegenstandes sind nicht erforderlich, wodurch eine Schonung der Längskanten im Vergleich zu bekannten Anordnungen erfolgt.The pairwise, each extending in a common radial plane of the turning device recordings capture the object spaced from the respective longitudinal edge, being given as the preferred distance between 10 mm and 20 mm. Immediately adjacent to the recordings run the belt or belt-shaped transport means to introduce the objects into the receptacle or lead away after turning away from the recording. Lateral guides of the object are not required, whereby a sparing of the longitudinal edges takes place in comparison to known arrangements.

Zum Drehen der Aufnahmen kann ein Direktantrieb wie Torquemotor zum Einsatz gelangen, so dass ein schlupffreies Drehen möglich ist, ein Vorteil gegenüber Zahnriemen oder Getrieben.To rotate the recordings, a direct drive such as a torque motor can be used so that slip-free turning is possible, an advantage over toothed belts or gearboxes.

Die Wendeeinrichtung, die vorzugsweise über Pneumatikzylinder, Hubspindelantriebe oder gleichwirkende Elemente anheb- bzw. absenkbar sind, stellt eine modulare Einheit dar, so dass mehrere Wendeeinrichtungen in einer mehrspurigen Fertigungslinie angeordnet sein können. Folglich kann eine der Wendeeinrichtungen unabhängig von anderen Einheiten z. B. ausgetauscht oder repariert werden.The turning device, which can preferably be raised or lowered via pneumatic cylinders, lifting spindle drives or equivalent elements, represents a modular unit, so that several turning devices can be arranged in a multi-track production line. Consequently, one of the turning devices, irrespective of other units z. B. replaced or repaired.

Dadurch, dass in jeder Aufnahme die Unterdruckquelle in Form z. B. der Venturidüse oder eines gleichwirkenden Elementes integriert ist, können kurze Evakuierungszeiten erzielt werden, so dass infolgedessen ein sicheres Erfassen des Gegenstands erfolgt, ohne dass die Gefahr besteht, dass der Gegenstand derart in die Aufnahme hingefördert wird, dass dieser mit dem Grund der Aufnahme wie des Schlitzes kollidiert. Ist der Gegenstand ordnungsgemäß von einer Aufnahme aufgenommen, so kann dies von einem Sensor erfasst werden, um die Wendeeinrichtung zu aktivieren.The fact that in each recording, the vacuum source in the form z. B. the venturi or an equivalent element is integrated, short evacuation times can be achieved, so that as a result, a secure detection of the object takes place without the risk that the article is conveyed so in the recording that this with the reason of the recording like that Slot collides. If the object is properly received by a receptacle, this can be detected by a sensor to activate the turning device.

Um eine Verschmutzung der Gegenstände durch das Kontaktieren mit den Aufnahmen zu vermeiden, ist des Weiteren vorgesehen, dass zumindest die gegenstandsseitig verlaufenden Flächen der Aufnahmen aus Kunststoff bestehen oder mit Kunststoff beschichtet sind, wobei der Kunststoff vorzugsweise ein Polyaryletherketon ist.In order to avoid contamination of the objects by contacting with the receptacles, it is further provided that at least the object-side surfaces of the receptacles are made of plastic or coated with plastic, wherein the plastic is preferably a polyaryletherketone.

Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmalen – für sich und/oder in Kombination-, sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung von der Zeichnung zu entnehmenden bevorzugten Ausführungsbeispielen.For more details, advantages and features of the invention will become apparent not only from the claims, the features to be taken these features - alone and / or in combination, but also from the following description of the drawing to be taken preferred embodiments.

Es zeigen:Show it:

1 eine Wendeeinrichtung angeordnet in einer Fertigungslinie, 1 a turning device arranged in a production line,

2 die Anordnung gemäß 1 in Seitenansicht, 2 the arrangement according to 1 in side view,

3 die Anordnung gemäß 1 und 2 in Draufsicht, 3 the arrangement according to 1 and 2 in plan view,

4 die Wendeeinrichtung in aus der Fertigungslinie entfernter Position, 4 the turning device in a position removed from the production line,

5 ein Wenderad in Vorderansicht, 5 a turning wheel in front view,

6 das Wenderad gemäß 5 in Seitenansicht, 6 the turning wheel according to 5 in side view,

7 das Wenderad gemäß 5 und 6 in Rückansicht, 7 the turning wheel according to 5 and 6 in rear view,

8 das Wenderad der 5 bis 7 in perspektivischer Darstellung, von hinten betrachtet, 8th the turning wheel of the 5 to 7 in perspective, viewed from behind,

9 einen Finger des Wenderades gemäß der 5 bis 8, 9 a finger of the turning wheel according to the 5 to 8th .

10 einen Schnitt entlang der Linie A-A in 9, 10 a section along the line AA in 9 .

11 den Finger gemäß 9 und 10 in perspektivischer Darstellung, 11 according to the finger 9 and 10 in perspective,

12 ein Detail der Wendeeinrichtung und 12 a detail of the turning device and

13 einen Ausschnitt einer mehrspurigen Fertigungslinie. 13 a section of a multi-lane production line.

Anhand der Figuren, in denen gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen sind, werden ein Verfahren und eine Anordnung beschrieben, mit dem flächige Gegenstände 10 gewendet werden können. Bei den flächigen Gegenständen 10 kann es sich insbesondere um Halbleitersubstrate wie Wafer handeln, die prozessiert werden, um Solarzellen herzustellen. Durch das Wenden um 180° wird die Möglichkeit geschaffen, in unterschiedlichen Prozessstufen Vorder- und Rückseite zu prozessieren, die mit Kontakten zu versehen. Durch ein diesbezügliches Anwendungsbeispiel wird jedoch die erfindungsgemäße Lehre nicht beschränkt.With reference to the figures, in which like elements are given the same reference numerals, a method and an arrangement are described, with the flat objects 10 can be turned. At the flat objects 10 In particular, these may be semiconductor substrates, such as wafers, which are processed to produce solar cells. Turning through 180 ° creates the possibility of processing the front and rear in different process stages, providing them with contacts. By a related application example, however, the teaching of the invention is not limited.

Der 1 ist ein Ausschnitt einer Fertigungslinie zu entnehmen, in der der Gegenstand 10 auf einer Transporteinrichtung 12 einer Wendeeinrichtung 14 zugeführt bzw. nach dem Wenden von dieser weggeführt wird. Die Transporteinrichtung 12 besteht im Ausführungsbeispiel aus zwei parallel zueinander verlaufenden Transportbändern oder -riemen 16, 18, auf denen der Gegenstand 10 in Transportrichtung mit seinen Längsrandabschnitten 20, 22 zum Liegen kommt.Of the 1 is a section of a production line refer to the subject 10 on a transport device 12 a turning device 14 supplied or led away after turning it. The transport device 12 consists in the embodiment of two mutually parallel conveyor belts or belts 16 . 18 on which the object 10 in the transport direction with its longitudinal edge sections 20 . 22 comes to rest.

Die Wendeeinrichtung 14 weist im Ausführungsbeispiel zwei zueinander beabstandete Wenderäder 24, 26 auf, die paarweise zugeordnete durch Finger 28, 30, 32, 34 begrenzte Aufnahmeschlitze 36, 38 aufweisen, die sich in einer gemeinsamen in Bezug auf die Drehachse der Wendeeinrichtung 14 radial verlaufenden Ebene erstrecken. Im Ausführungsbeispiel sind insgesamt sechs Paar 40, 42, 44, 46, 48, 50 von entsprechenden paarweise angeordneten Fingern 28, 30, 32, 34 und damit Schlitzen 36, 38 vorgesehen, die sich im gleichen Abstand zueinander radial erstrecken.The turning device 14 has in the exemplary embodiment two mutually spaced turning wheels 24 . 26 on, paired by fingers 28 . 30 . 32 . 34 limited recording slots 36 . 38 have, in a common with respect to the axis of rotation of the turning device 14 extending radially extending plane. In the embodiment, a total of six pairs 40 . 42 . 44 . 46 . 48 . 50 from corresponding paired fingers 28 . 30 . 32 . 34 and with it slits 36 . 38 provided, which extend radially at the same distance from each other.

Die Paare der paarweise zugeordneten und die Schlitze 36, 38 begrenzenden Finger 28, 30 bzw. 32, 34 gehen von Naben 70, 71 aus, die über eine Welle 52 verbunden sind. Die Welle 52 ist von einem Gehäuse 53 umgeben, das über einen Träger 54 bzw. von diesem ausgehende flachelementartige Stützen 56, 58 gelagert ist. Der Träger 54 ist seinerseits über einen Pneumatikzylinder 60, einen Spindelantrieb oder ein gleichwirkendes Element zu der Fördereinrichtung 12 verstellbar, wie ein Vergleich der 1 und 4 verdeutlicht. Hierdurch wird die Möglichkeit gegeben, dass die Wendeeinrichtung 14 mit ihren die Schlitze 36, 38 begrenzenden Fingern 28, 30 bzw. 32, 34 außerhalb der Förderstrecke der Fördereinrichtung 12 verlaufen kann (s. 4), so dass von der Fördereinrichtung, also von den Förderbändern bzw. Riemen 16, 18 aufgenommene Gegenstände 10 über die Wendeeinrichtung 14 hinweg transportiert werden können.The pairs of paired and the slots 36 . 38 limiting finger 28 . 30 respectively. 32 . 34 go from hubs 70 . 71 out, over a wave 52 are connected. The wave 52 is from a housing 53 surrounded by a carrier 54 or from this outgoing flat element-like supports 56 . 58 is stored. The carrier 54 is in turn via a pneumatic cylinder 60 , a spindle drive or an equivalent element to the conveyor 12 adjustable, like a comparison of 1 and 4 clarified. This gives the possibility that the turning device 14 with her the slots 36 . 38 limiting fingers 28 . 30 respectively. 32 . 34 outside the conveying path of the conveyor 12 can run (s. 4 ), so that of the conveyor, so of the conveyor belts or belts 16 . 18 recorded objects 10 over the turning device 14 can be transported away.

Um ein sicheres Führen der Wendeeinrichtung 14 sicherzustellen, gehen Führungssäulen 62, 64 von der Tragekonstruktion der Förderbänder bzw. -riemen 16, 18 aus, wie sich dies prinzipiell aus den Figuren ergibt. Die Führungssäulen 62, 64 durchsetzen den Träger 54 der Wendeeinrichtung 14.To ensure safe guiding of the turning device 14 ensure leadership posts go 62 . 64 of the support structure of the conveyor belts 16 . 18 from, as this results in principle from the figures. The guide columns 62 . 64 enforce the carrier 54 the turning device 14 ,

In den 5 bis 8 ist das in 1 zeichnerisch dargestellte vordere Wenderad 26 der Wendeeinrichtung 14 vergrößert dargestellt. Man erkennt die von der Nabe 70 der Welle 52 ausgehenden paarweise angeordneten Finger 32, 34, die den Schlitz 38 begrenzen, in den der zu wendende Gegenstand 10 eingebracht wird. Dabei ist entsprechend der Darstellung gemäß der 9 bis 11 der in Zuführrichtung des Gegenstandes 10 jeweils untere Finger 34 derart ausgebildet, dass dieser den zu wendenden Gegenstand mittels Unterdruck fixiert. Hierzu weist der Finger 34, der ein Rechteckprofil aufweisen kann, in seiner den Gegenstand 10 abstützenden Fläche 72 vorzugsweise entlang einer Geraden verlaufende Öffnungen 74, 76 auf, die über einen gemeinsamen Kanal 78 miteinander verbunden sind und der zu einer in dem Finger 34 vorhandenen Venturidüse 80 führt, um über den Kanal 78 und somit den Löchern 74, 76 in gewünschtem Umfang einen Unterdruck erzeugen zu können. Die Venturidüse 80, die in dem Finger 34 integriert ist, ist in nachstehend beschriebener Art über eine Leitung 81 mit einer nicht dargestellten Luftdruckquelle verbunden, die auch mit den in Finger der weiteren Paare 40, 42, 44, 46, 48, 50 integrierten Venturidüsen verbunden ist.In the 5 to 8th is that in 1 illustrated front turning wheel 26 the turning device 14 shown enlarged. You can see it from the hub 70 the wave 52 outgoing paired fingers 32 . 34 that the slot 38 limit, in which the object to be turned 10 is introduced. It is according to the representation according to the 9 to 11 in the feed direction of the article 10 each lower finger 34 designed such that it fixes the object to be turned by means of negative pressure. This is indicated by the finger 34 , which may have a rectangular profile, in its the object 10 supporting surface 72 preferably along a straight line extending openings 74 . 76 on, over a common channel 78 connected to each other and the one in the finger 34 existing venturi 80 leads to over the channel 78 and thus the holes 74 . 76 to generate a negative pressure in the desired extent. The Venturi nozzle 80 that in the finger 34 is integrated, is in the manner described below via a line 81 connected to an air pressure source, not shown, which also with the fingers in the other pairs 40 . 42 . 44 . 46 . 48 . 50 integrated Venturi nozzles is connected.

Bei Beaufschlagen der jeweiligen Venturidüse 80 mit Druckluft wird infolgedessen in den Öffnungen 74, 76 ein Unterdruck erzeugt, so dass ein auf der Fläche 72 liegender Gegenstand 10 angesaugt wird.When applying the respective Venturi nozzle 80 with compressed air is consequently in the openings 74 . 76 creates a vacuum, leaving one on the surface 72 lying object 10 is sucked.

Ferner besteht die Möglichkeit, den Kanal 78 unter Umgehung der Venturidüse 80 unmittelbar mit Unterdruckluft zu beaufschlagen, so dass dann, wenn der Gegenstand 10 auf die Transportbänder bzw. -riemen 16, 18 nach seinem Wenden übergeben werden soll (Darstellung in 1), ein Druckluftimpuls über die Löcher oder Öffnungen 74, 76 auf den Gegenstand 10 abgegeben wird mit der Folge, dass ein sicheres Lösen von der Fläche 72 und damit ein ungestörter Weitertransport über die Transportbänder bzw. -riemen 16, 18 erfolgen kann.There is also the option of the channel 78 bypassing the Venturi nozzle 80 Apply directly to vacuum air, so that when the object 10 on the conveyor belts or belts 16 . 18 should be handed over after his turn (representation in 1 ), a compressed air pulse over the holes or openings 74 . 76 on the object 10 is discharged with the result that a safe release of the surface 72 and thus an undisturbed further transport over the conveyor belts or belts 16 . 18 can be done.

Das Umschalten von Ansaugen, also Beaufschlagen der Venturidüse 80 mit Druckluft und Abgeben des Ablöseimpulses erfolgt automatisch. Hierzu sind in der Stirnseite des Fingers 34 zwei Öffnungen 90, 92 vorhanden, von denen eine zu der Venturidüse 80 und die andere unter Umgehung der Funktionen der Venturidüse 80 zu dem Kanal 78 führt. Die Druckluftzuführung ist derart ausgebildet, dass in der Aufnahmeposition des Wenderades 26 und während des Drehens bis zur Abgabeposition die mit der Venturidüse 80 in Verbindung stehende Öffnung 90 mit Druckluft beaufschlagt wird. Befindet sich der den Gegenstand 10 aufnehmende Schlitz 38 in der Übergabeposition, so wird die zu der Venturidüse 80 führende Öffnung 92 verschlossen und gleichzeitig über die Öffnung 90 dem Kanal 78 der erforderliche Druckluftabblasimpuls zugeführt.The switching of suction, so applying the Venturi nozzle 80 with compressed air and dispensing the release pulse is done automatically. These are in the front of the finger 34 two openings 90 . 92 present, one of which to the venturi 80 and the other, bypassing the functions of the Venturi nozzle 80 to the channel 78 leads. The compressed air supply is designed such that in the receiving position of the turning wheel 26 and while turning to the dispensing position with the Venturi nozzle 80 related opening 90 Compressed air is applied. Is that the object 10 receiving slot 38 in the transfer position, it becomes the venturi nozzle 80 leading opening 92 closed and at the same time over the opening 90 the channel 78 supplied the required Druckluftabblasimpuls.

Die Führung der Druckluft und der prinzipielle Aufbau der Finger ergeben sich auch aus den Darstellungen der 5 bis 12, die insoweit selbsterklärend sind.The leadership of the compressed air and the basic structure of the fingers are also evident from the representations of 5 to 12 , which are self-explanatory.

So verläuft entlang der flachelementartigen Stütze 56 die Druckluftleitung bzw. der Druckluftschlauch 81, der über eine Winkelverschraubung 85 mit einer Öffnung 83 in einem ringförmigen Abschnitt 87 der Stütze 56 verbunden ist. In dem ringförmigen Abschnitt 87 verlaufen Kanäle zu einem um in 180° peripher verlaufenden Öffnungsschlitz 89 und einer Bohrung 91. Der periphere Schlitz 89 ist beim Drehen des Wenderades mit den Öffnungen 90 der Finger 34 verbunden, und zwar über einen Drehwinkel zwischen der Aufnahmeposition eines Gegenstandes 10 und der Abgabeposition. Hierdurch wird die jeweilige Öffnung 90 des jeweiligen Fingers 34 mit Druckluft beaufschlagt mit der Folge, dass ein an der Venturidüse 80 vorbeigeführter Kanal 93 mit Druckluft beaufschlagt werden kann. Durch die an der Venturidüse 80 vorbeiströmende Druckluft wird infolgedessen in dem Kanal 78 der erforderliche Unterdruck erzeugt. Der Finger 34 weist des Weiteren eine Austrittsöffnung 95 auf, aus der die in dem Kanal 93 an der Venturidüse 80 vorbeiströmende Druckluft ausströmt.So runs along the flat element-like support 56 the compressed air line or compressed air hose 81 , which has an elbow fitting 85 with an opening 83 in an annular section 87 the prop 56 connected is. In the annular section 87 run channels to a 180 ° peripheral opening slot 89 and a hole 91 , The peripheral slot 89 is when turning the turning wheel with the openings 90 the finger 34 connected, via an angle of rotation between the receiving position of an object 10 and the delivery position. As a result, the respective opening 90 of the respective finger 34 pressurized with the result that one at the Venturi nozzle 80 Passed channel 93 can be acted upon with compressed air. By the at the venturi 80 As a result, passing compressed air is in the channel 78 generates the required negative pressure. The finger 34 furthermore has an outlet opening 95 on, out of the in the channel 93 at the Venturi nozzle 80 passing compressed air flows out.

Die in dem ringförmigen Ansatz 87 vorhandene Bohrung 91 steht bei in der Übergabeposition des Gegenstandes 10 befindlichem Finger 34 mit der Bohrung 92 in Verbindung mit der Folge, dass unter Auslassung der Funktion der Venturidüse 80 der Kanal 78 mit Druckluft beaufschlagt wird, so dass über die Öffnungen 74, 76 auf den in dem Schlitz 38 vorhandenen Gegenstand 10 ein Abblasimpuls abgegeben wird, so dass ein Lösen von der Fläche 72 erfolgt und der Gegenstand auf der der Fläche 72 gegenüberliegenden und den Schlitz 38 begrenzenden Fläche 82 zum Liegen kommt. Ist die Verbindung mit der Bohrung 92 hergestellt, ist gleichzeitig die Verbindung mit dem Schlitz 89 unterbrochen.The in the annular approach 87 existing hole 91 is in the transfer position of the item 10 located finger 34 with the hole 92 in conjunction with the consequence that omitting the function of the Venturi nozzle 80 the channel 78 With compressed air is applied, so that over the openings 74 . 76 on the one in the slot 38 existing object 10 a blow-off pulse is emitted, allowing a release from the surface 72 takes place and the object on the surface 72 opposite and the slot 38 limiting area 82 comes to rest. Is the connection with the hole 92 made, is the connection with the slot at the same time 89 interrupted.

Damit die Gegenstände 10 beim Kontaktieren der Finger 28, 30 bzw. 32, 34 nicht verunreinigt werden können, ist zumindest die mit dem Gegenstand 10 in Kontakt gelangende Fläche 82 mit Kunststoff beschichtet bzw. der Finger 32, 34 selbst besteht aus Kunststoff, wobei als bevorzugtes Material Polyaryletherketon, insbesondere PEEK zu nennen ist.So that the objects 10 when contacting the fingers 28 . 30 respectively. 32 . 34 can not be contaminated, at least that with the object 10 contacting area 82 coated with plastic or the finger 32 . 34 itself is made of plastic, with the preferred material is polyaryletherketone, in particular PEEK.

Die erfindungsgemäße Wendeeinrichtung 14 weist radial erstreckende paarweise einander zugeordnete als Greiferfinger zu bezeichnende Finger 28, 30, 32, 34 auf, die die Schlitze 36, 38 begrenzen, die ihrerseits als Aufnahmen für den flächigen Gegenstand 10 dienen. Dabei sind jeweils zwei Paar von Fingerpaaren in einer gemeinsamen radial verlaufenden Ebene angeordnet derart, dass der Gegenstand 10 im Abstand von seinem Längsrand aufgenommen wird, wobei der Abstand zwischen dem jeweiligen Fingerpaar 28, 30 bzw. 32, 34 und der Längskante des Gegenstandes 10 zwischen 10 mm und 20 mm liegen sollte.The turning device according to the invention 14 has radially extending pairwise associated with each other as a gripper finger fingers to be designated 28 . 30 . 32 . 34 on that the slots 36 . 38 limit, in turn, as recordings for the flat object 10 serve. In each case two pairs of finger pairs are arranged in a common radially extending plane such that the object 10 is received at a distance from its longitudinal edge, wherein the distance between the respective pair of fingers 28 . 30 respectively. 32 . 34 and the longitudinal edge of the object 10 should be between 10 mm and 20 mm.

In dem in Transportzuführrichtung jeweils unten liegenden Finger 30, 34 sind Öffnungen oder Bohrungen 74, 76 vorhanden, die mit Unterdruck beaufschlagt werden. Hierzu ist in den jeweiligen Fingern 30, 34 eine Venturidüse integriert, wobei vorzugsweise sämtliche Venturidüsen und der entsprechenden Finger mit einer gemeinsamen Luftdruckquelle verbunden sind. Befindet sich ein Gegenstand in einem Schlitz 36, 38, so wird dies über einen Sensor erfasst, um das Wenderad zu drehen. In dieser Zeit wird der Gegenstand an die die Öffnungen 74, 76 aufweisende Fläche des jeweiligen Fingers 30, 34 angesaugt.In each case in the transport feed direction lying down fingers 30 . 34 are openings or holes 74 . 76 present, which are subjected to negative pressure. This is in the respective fingers 30 . 34 a venturi integrated, wherein preferably all Venturi nozzles and the corresponding fingers are connected to a common air pressure source. Is there an item in a slot? 36 . 38 , this is detected by a sensor to turn the turning wheel. During this time, the object to the openings 74 . 76 having surface of the respective finger 30 . 34 sucked.

Selbstverständlich wird die Erfindung nicht verlassen, wenn die Öffnungen oder Bohrungen 74, 76 in dem Finger vorgesehen sind, der in Transportzuführrichtung beim Aufgeben des Gegenstands 10 oberhalb des Gegenstands 10 verläuft, also in dem Finger 28, 32.Of course, the invention is not abandoned when the openings or holes 74 . 76 are provided in the finger in the transport feed direction when depositing the object 10 above the object 10 runs, so in the finger 28 . 32 ,

Nach 180°-Drehung des Rades wird der Gegenstand 10 durch einen Abblasimpuls gelöst und im Auslaufbereich der Wendeeinrichtung 14 auf die Fördereinrichtung 12 bzw. die Förderbänder bzw. -riemen 16, 18 abgelegt. Vakuum und Abblasimpuls werden während der Drehung des Wenderads 24, 26 automatisch durch eine entsprechende Anordnung der Luftkanäle erzeugt bzw. abgeschaltet. Es ist somit nur ein Druckluftanschluss 81 für beide Funktionen nötig. Die Übertragung der Druckluft erfolgt dabei über eine Drehdurchführung in der Stütze 56, 58 bzw. deren von der Welle 52 durchsetzten ringförmigen Abschnitt 84, der formschlüssig in die Nabe 70 eingesetzt ist. Durch die Haltekraft des Vakuums wird der Gegenstand 10 während des Drehens keiner mechanischen Belastung durch die Drehbewegung selbst ausgesetzt, so dass eine Bruchreduzierung gegeben ist. Die Wendeeinrichtung 14 und damit die Greiferfinger 28, 30, 32, 34 befinden sich mittig innerhalb der Förderstrecke, also zwischen den Förderbändern bzw. -riemen 16, 18. Dadurch, dass die Greiferfinger 28, 30, 32, 34 den Gegenstand 10 nicht an den äußeren Kanten in Eingriff nehmen, läuft der Gegenstand 10 keinerlei Gefahr, an sonst üblichen Führungsleisten hängenzubleiben und somit eine Störung hervorzurufen. Der Gegenstand 10 wird im Auslaufbereich frei auf die Förderbänder bzw. -riemen 16, 18 gelegt und beim Weitertransport nicht durch mechanische Begrenzungen beeinträchtigt. Der Antrieb der Wenderäder 24, 26 erfolgt vorzugsweise über einen Direktantrieb, der einen Schlupf ausschließt.After 180 ° rotation of the wheel becomes the object 10 solved by a blow-off and in the outlet region of the turning device 14 on the conveyor 12 or the conveyor belts or belts 16 . 18 stored. Vacuum and blow-off impulse are generated during the rotation of the reversing wheel 24 . 26 automatically generated or switched off by a corresponding arrangement of the air ducts. It is thus only a compressed air connection 81 necessary for both functions. The transmission of compressed air takes place via a rotary feedthrough in the support 56 . 58 or their from the wave 52 interspersed annular section 84 , the form-fitting in the hub 70 is used. The holding force of the vacuum becomes the object 10 during rotation, no mechanical stress is exposed by the rotation itself, so that a breakage reduction is given. The turning device 14 and thus the gripper fingers 28 . 30 . 32 . 34 are located in the middle of the conveyor line, ie between the conveyor belts or belt 16 . 18 , Because of the gripper fingers 28 . 30 . 32 . 34 the object 10 do not engage at the outer edges, the object runs 10 no danger of getting stuck on otherwise usual guide rails and thus causing a disturbance. The object 10 becomes free in the discharge area on the conveyor belts or belts 16 . 18 laid down and not affected by mechanical limitations during further transport. The drive of the turning wheels 24 . 26 is preferably via a direct drive, which excludes a slip.

Die Wendeeinrichtung 14 mit den erforderlichen Komponenten ist modular als Einheit aufgebaut. Wird die Wendeeinrichtung 14 nicht benötigt, so kann diese zwischen den Förderbändern bzw. -riemen 16, 18 nach unten abgesenkt werden. Das Hoch- bzw. Runterfahren der Wendeeinrichtung 14 kann über Pneumatikzylinder, Stell- oder Spindelantriebe realisiert werden. Durch die modulare Einheit ist eine problemlose Wartung bzw. ein Ausbau möglich. So können z. B. mehrere erfindungsgemäße Wendeeinrichtungen in einer mehrspurigen Fertigungslinie nebeneinander angeordnet werden, wie die 8 verdeutlicht. Bei Wartung bzw. Ausbau einer Wendeeinrichtung 14 können die verbleibenden in Betrieb bleiben.The turning device 14 with the required components is modular as a unit. Will the turning device 14 not needed, so this can be between the conveyor belts or belt 16 . 18 be lowered down. The raising or lowering of the turning device 14 Can be realized via pneumatic cylinders, actuator or spindle drives. The modular unit allows trouble-free maintenance or removal. So z. B. several turning devices according to the invention are arranged side by side in a multi-lane production line, as the 8th clarified. For maintenance or removal of a turning device 14 the remaining ones can remain in operation.

Durch eine geeignete Werkstoffauswahl der Greiferfinger bzw. einer Beschichtung dieser kann einer etwaigen Verschmutzung oder Verunreinigung vorgebeugt werden. Als bevorzugtes Material ist PEEK zu nennen.By a suitable material selection of the gripper fingers or a coating of this can be prevented from any contamination or contamination. The preferred material is PEEK.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • EP 0970899 B [0005] EP 0970899 B [0005]
  • EP 0637561 A [0006] EP 0637561 A [0006]

Claims (14)

Verfahren zum Handhaben von flächigen Gegenständen (10), wie Wafern oder Platten, wobei der Gegenstand von einer radial verlaufenden Aufnahme (36, 18) einer um eine Achse drehbaren Wendeeinrichtung (14) aufgenommen und durch Drehen der Wendeeinrichtung gewendet wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstand (10) während des Wendens innerhalb der Aufnahme (36, 38) mittels Unterdruck fixiert wird.Method for handling flat objects ( 10 ), such as wafers or plates, the article being supported by a radially extending receptacle ( 36 . 18 ) a turning device rotatable about an axis ( 14 ) and turned by turning the turning device, characterized in that the object ( 10 ) while turning within the receptacle ( 36 . 38 ) is fixed by means of negative pressure. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstand (10) mittels zwei parallel zueinander verlaufender band- oder riemenförmiger Förderelemente (16, 18) der Aufnahme (36, 38) zugeführt und nach dem Wenden von dieser weggeführt wird, wobei der Gegenstand während des Förderns mit jeweils einem seiner in Förderrichtung verlaufenden Längsrandbereichen auf einem der Förderelemente aufliegt.Method according to claim 1, characterized in that the article ( 10 ) by means of two mutually parallel belt or belt-shaped conveying elements ( 16 . 18 ) of the recording ( 36 . 38 ) is fed and led away from the turning after the turning, wherein the article rests on one of the conveying elements during conveying, each with one of its longitudinal edge regions extending in the conveying direction. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wendeeinrichtung bzw. die Aufnahmen zwischen den Förderelementen verläuft bzw. verlaufen.A method according to claim 1 or 2, characterized in that the turning device or the receptacles extends or extend between the conveying elements. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass die Wendeeinrichtung (14) derart verstellbar ausgebildet wird, dass die Aufnahmen (36, 38) aus dem Förderweg der Förderelemente (16, 18) für den Gegenstand (10) entfernbar sind.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the turning device ( 14 ) is designed so adjustable that the recordings ( 36 . 38 ) from the conveying path of the conveying elements ( 16 . 18 ) for the object ( 10 ) are removable. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstand (10) beabstandet zu seinem jeweiligen Längsrand von jeweils einer durch einen Schlitz (36, 38) gebildeten Aufnahme aufgenommen wird, wobei eine Begrenzung (72) eines jeweiligen Schlitzes mehrere Öffnungen (74, 76) aufweist, über die der Gegenstand mittels des Unterdrucks angesaugt wird.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the object ( 10 ) spaced from its respective longitudinal edge by one each through a slot ( 36 . 38 ), whereby a limitation ( 72 ) of a respective slot has a plurality of openings ( 74 . 76 ), over which the object is sucked by means of the negative pressure. Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstand (10) nach dem Wenden mit einem Druckluftimpuls beaufschlagt wird.Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the object ( 10 ) is applied after turning with a compressed air pulse. Anordnung zum Handhaben eines flächigen Gegenstandes (10), wie Wafer oder. Platte, umfassend eine um eine Achse drehbare Wendeeinrichtung (14) mit zumindest einer radial verlaufenden Aufnahme (36, 38) sowie eine Transporteinrichtung (12) zum Zu- und Wegführen des Gegenstands zu der bzw. von der Aufnahme, dadurch gekennzeichnet, dass eine gegenstandsseitig verlaufende Begrenzung (72) der Aufnahme (36, 38) zumindest eine mit Unterdruck beaufschlagbare Öffnung zum Ansaugen des Gegenstandes (10) aufweist.Arrangement for handling a flat object ( 10 ), like wafers or. Plate comprising a turning device rotatable about an axis ( 14 ) with at least one radially extending receptacle ( 36 . 38 ) and a transport device ( 12 ) for bringing and removing the object to or from the receptacle, characterized in that an object-side boundary ( 72 ) of the recording ( 36 . 38 ) at least one vacuum acted upon opening for sucking the object ( 10 ) having. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme (36, 38) ein die Begrenzung wie stegförmige Auflagefläche (72) aufweisender Schlitz ist und dass die Begrenzung mehrere vorzugsweise entlang einer Geraden verlaufende über einen Kanal (78) verbundene und mit Unterdruck beaufschlagbare Öffnungen (74, 76) aufweist.Arrangement according to claim 7, characterized in that the receptacle ( 36 . 38 ) the boundary such as web-shaped bearing surface ( 72 ) and that the boundary has a plurality of preferably along a straight line over a channel ( 78 ) and can be acted upon with negative pressure ( 74 . 76 ) having. Anordnung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Wendeeinrichtung (14) mehrere paarweise sich jeweils in einer gemeinsamen radial erstreckenden Ebene verlaufende und zueinander beabstandete Aufnahmen (36, 38) aufweist, dass die Transporteinrichtung (12) zwei riemen- oder bandförmige Transportelemente (16, 18) aufweist, von denen jeweils eines benachbart zu einem der paarweise angeordneten Aufnahmen und entlang deren Außenseiten verläuft, und dass vorzugsweise die Wendeeinrichtung zu den Transportelementen derart verstellbar ist, dass die Wendeeinrichtung gewünschtenfalls außerhalb vom Förderweg des Gegenstandes (10) verläuft.Arrangement according to claim 7 or 8, characterized in that the turning device ( 14 ) a plurality of pairs each extending in a common radially extending plane and spaced apart recordings ( 36 . 38 ), that the transport device ( 12 ) two belt or belt-shaped transport elements ( 16 . 18 ), one of which is adjacent to one of the paired receptacles and along their outer sides, and that preferably the turning device is adjustable to the transport elements such that the turning device, if desired, outside the conveying path of the object ( 10 ) runs. Anordnung nach zumindest einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme aus zwei steg- oder stabförmigen den Schlitz (36, 38) begrenzenden Elementen (28, 30, 32, 34) besteht, wobei in einem der Elemente der Kanal (78) mit den Öffnungen (74, 76) verläuft.Arrangement according to at least one of claims 7 to 9, characterized in that the receptacle of two web or rod-shaped slot ( 36 . 38 ) limiting elements ( 28 . 30 . 32 . 34 ), wherein in one of the elements the channel ( 78 ) with the openings ( 74 . 76 ) runs. Anordnung nach zumindest einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass in dem den Kanal (78) aufweisenden Element eine Venturidüse (80) zur Erzeugung des Unterdrucks integriert ist.Arrangement according to at least one of claims 7 to 10, characterized in that in which the channel ( 78 ) having a Venturi nozzle ( 80 ) is integrated to generate the negative pressure. Anordnung nach zumindest einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die in den Aufnahmen bzw. den diese begrenzenden Elementen (28, 30, 32, 34) integrierten Venturidüsen (80) mit einer gemeinsamen Druckluftquelle verbunden sind.Arrangement according to at least one of claims 7 to 11, characterized in that in the recordings or these limiting elements ( 28 . 30 . 32 . 34 ) integrated venturi nozzles ( 80 ) are connected to a common compressed air source. Anordnung nach zumindest einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der mit den Öffnungen (74, 76) verbundene Kanal (78) unmittelbar mit der Druckluftquelle oder über die Venturidüsen (80) mit dieser verbunden ist.Arrangement according to at least one of claims 7 to 12, characterized in that the with the openings ( 74 . 76 ) connected channel ( 78 ) directly with the compressed air source or via the Venturi nozzles ( 80 ) is connected to this. Anordnung nach zumindest einem der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die gegenstandsseitig verlaufende Fläche (72) der Aufnahme (36, 38) aus Kunststoff besteht oder mit Kunststoff beschichtet ist, wobei der Kunststoff vorzugsweise aus einem Polyaryletherketon besteht oder dieses enthält.Arrangement according to at least one of claims 7 to 13, characterized in that at least the object-side extending surface ( 72 ) of the recording ( 36 . 38 ) is made of plastic or coated with plastic, wherein the plastic preferably consists of a polyaryletherketone or contains.
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