DE102009043300A1

DE102009043300A1 - Transportvorrichtung für eine Vakuumprozessanlage und Vakuumprozessanlage

Info

Publication number: DE102009043300A1
Application number: DE102009043300A
Authority: DE
Inventors: Hubertus Von Der Waydbrink; Michael Hentschel; Daniel Stange
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority date: 2008-09-29
Filing date: 2009-09-29
Publication date: 2010-07-01
Also published as: DE102009042432A1; CH699583A2; CH699583B1; US20100080673A1

Abstract

Bei einer Transportvorrichtung für eine Vakuumprozessanlage, die mindestens zwei sequentiell arbeitende Transporteinrichtungen zum Transport einzelner Substrate durch die Vakuumprozessanlage umfasst, wobei in mindestens einem Prozessbereich der Vakuumprozessanlage eine Speichereinrichtung zur Aufnahme mehrerer Substrate angeordnet ist, welche von einer vorgelagerten sequentiellen Transporteinrichtung aus mit Substraten beladbar ist und welche auf eine nachgelagerte sequentielle Transporteinrichtung entladbar ist, und welche mindestens zwei Substratablagen aufweist, wobei mindestens eine Substratablage zwischen einer Übernahmeposition und einer Speicherposition hin und her bewegbar ist, wird vorgeschlagen, dass die Substratablage einen Rahmen und eine Mehrzahl von im Rahmen drehbar gelagerten, antreibbaren Stützelementen zur Aufnahme eines Substrats umfasst.

Description

Die Erfindung betrifft einen Stauförderer für plattenförmige Substrate, der beispielsweise in einer Vakuumprozessanlage zur physikalisch-chemischen Oberflächenbehandlung derartiger Substrate verwendet werden kann.
Die Erfindung bezweckt die weitere Verbesserung einer Transportvorrichtung für eine Vakuumprozessanlage, wie sie in der deutschen Patentanmeldung 10 2009 005 966.0-22 beschrieben ist.
Hierzu wird bei einer Transportvorrichtung für eine Vakuumprozessanlage, die mindestens zwei sequentiell arbeitende Transporteinrichtungen, d. h. Transporteinrichtungen zum aufeinanderfolgenden Transport von einzelnen Substraten oder Gruppen von Substraten durch die Vakuumprozessanlage umfasst, wobei in mindestens einem Prozessbereich der Vakuumprozessanlage eine Speichereinrichtung zur Aufnahme mehrerer Substrate angeordnet ist, welche von einer vorgelagerten sequentiellen Transporteinrichtung aus mit Substraten beladbar ist und welche auf eine nachgelagerte sequentielle Transporteinrichtung entladbar ist, und welche mindestens zwei Substratablagen aufweist, wobei mindestens eine Substratablage zwischen einer Übernahmeposition und einer Speicherposition hin und her bewegbar ist, vorgeschlagen, dass die Substratablage einen Rahmen und eine Mehrzahl von im Rahmen drehbar gelagerten, antreibbaren Stützelementen zur Aufnahme eines Substrats umfasst.
Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass die Stützelemente als Walzen ausgeführt sind. Walzen in diesem Sinne sind langgestreckte, zylindrische Körper. Alternativ können die Stützelemente beispielsweise als Rollen ausgeführt sein, von denen jeweils eine Mehrzahl auf einer Welle angeordnet ist. Rollen in diesem Sinne sind kreisförmige Scheiben, d. h. kurze, zylindrische Körper.
In einer Ausgestaltung wird vorgeschlagen, dass die Substratablage eine Substratablagefläche mit Aussparungen für die Stützelemente aufweist.
Gemäß einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Stützelemente relativ zum Rahmen so bewegbar sind, dass sie in einer ersten Position vollständig unterhalb der Substratablagefläche angeordnet sind und in einer zweiten Position die Substratablagefläche durch die Aussparungen hindurch zumindest teilweise überragen.
Mit anderen Worten können die Stützelemente, also beispielsweise Walzen oder Wellen mit darauf angebrachten Rollen, relativ zur Substratablagefläche in senkrechter Richtung verschoben, beispielsweise angehoben und abgesenkt werden.
Wird eine Substratablage in die Ebene der vorgelagerten und nachgelagerten Transporteinrichtung gebracht, um die Substratablage mit einem Substrat zu beladen, so sind die Stützelemente in einer die Substratablagefläche zumindest teilweise überragenden Stellung, d. h. relativ zur Substratablagefläche angehoben, so dass sie die Substratablagefläche zumindest teilweise überragen. Dadurch können die Substrate von den Stützelementen aufgenommen und durch Rotation der Stützelemente in eine Position gebracht werden, in der sie sich vollständig oberhalb der Substratablagefläche befinden.
Wird die Substratablage anschließend aus der Transportebene der Substrate, d. h. der Ebene der Transporteinrichtungen herausbewegt, beispielsweise angehoben oder abgesenkt, so können die Stützmittel in die erste Position bewegt werden, in der die Stützelemente vollständig unterhalb der Substratablagefläche liegen. Dadurch liegt das Substrat direkt auf der Substratablagefläche auf, so dass es sich nicht mehr ungewollt verschieben kann.
Ist die Behandlung des Substrats abgeschlossen oder wird es aus einem sonstigen Grund weitertransportiert, so wird zunächst die Substratablage wieder in die Transportebene der Substrate, d. h. in die Ebene der Transporteinrichtungen hineinbewegt. Die Stützelemente werden in die zweite Position bewegt, in der sie die Substratablagefläche zumindest teilweise überragen, so dass das Substrat keinen Kontakt mehr zur Substratablagefläche hat. Dadurch können die Substrate durch Rotation der Stützelemente an die nachfolgende Transporteinrichtung übergeben werden.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels sowie zugehöriger Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen
1 eine Substratablage der beschriebenen Art,
2 das Beladen einer Substratablage, und
3 eine beladene Substratablage.
Die Substratablage 13 ist Bestandteil einer Speichereinrichtung, wie sie in der deutschen Patentanmeldung 10 2009 005 966.0-22 beschrieben und in den dortigen Figuren dargestellt wurde. Die verwendeten Bezugszeichen stimmen mit den in dieser Patentanmeldung verwendeten Bezugszeichen überein, soweit es Überschneidungen gibt. Neu hinzugekommene Bezugszeichen wurden fortlaufend nummeriert.
Die Substratablage 13 umfasst einen Rahmen 19, eine Substratablagefläche 23 und eine Mehrzahl von im Rahmen 19 drehbar gelagerten, antreibbaren Stützelementen 20 zur Aufnahme eines Substrats 7. Die Substratablagefläche 23 weist eine Mehrzahl von Aussparungen 24 auf, und die Stützelemente 20, die im Ausführungsbeispiel Rollen 22 sind, die auf Wellen 21 angebracht und mit der Welle 21 drehbar im Rahmen 19 gelagert sind, sind senkrecht zur Substratablagefläche 23 beweglich gelagert, so dass sie in einer ersten Position unterhalb der Substratablagefläche 23 angeordnet sind und in einer zweiten Position durch die Substratablagefläche 23 nach oben ragen.
Zur besseren Übersichtlichkeit ist in 1 nur eine Welle 21 mit daran angebrachten Stützelementen 20, die im Ausführungsbeispiel als Rollen 22 ausgeführt sind, dargestellt. Aus den 2 und 3 ist jedoch ersichtlich, dass die Substratablage 13 mehrere, über die Substratablagefläche 23 verteilte Wellen 21 mit Stützmitteln 20 aufweist.
Wie insbesondere 2 entnehmbar ist, können die Stützmittel 20, d. h. die Rollen 22, in der zweiten Position das in der Transportrichtung 17 herangeführte Substrat 7 übernehmen und in eine Position transportieren, bei der das Substrat 7 oberhalb der Substratablage 13 angeordnet ist.
Wenn das Substrat 7 in dieser Position angelangt ist, können die Rollen 22 abgesenkt werden, so dass das Substrat 7 auf der Substratablagefläche 23 liegt. Anschließend kann die Substratablage 13 angehoben oder abgesenkt werden, so dass die Substratablage 13 mit dem Substrat 7 aus der Transportebene heraus bewegt wird.

7: Substrat
10: Prozessbereich
13: Substratablage
16: Transporteinrichtung
17: Transportrichtung
18: Hubrichtung
19: Rahmen
20: Stützelement
21: Welle
22: Rolle
23: Substratablagefläche
24: Aussparung

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- DE 102009005966 [0002, 0015]

Claims

Transportvorrichtung für eine Vakuumprozessanlage, umfassend mindestens zwei Transporteinrichtungen zum aufeinanderfolgenden Transport von Substraten (7) durch die Vakuumprozessanlage, wobei in mindestens einem Prozessbereich (10) der Vakuumprozessanlage eine Speichereinrichtung zur Aufnahme mehrerer Substrate (7) angeordnet ist, welche von einer vorgelagerten Transporteinrichtung zum aufeinanderfolgenden Transport von Substraten (7) aus mit Substraten (7) beladbar ist und welche auf eine nachgelagerte Transporteinrichtung zum aufeinanderfolgenden Transport von Substraten (7) entladbar ist, und welche mindestens zwei Substratablagen (13) aufweist, wobei mindestens eine Substratablage (13) zwischen einer Übernahmeposition und einer Speicherposition hin und her bewegbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Substratablage (13) einen Rahmen (19) und eine Mehrzahl von im Rahmen (19) drehbar gelagerten, antreibbaren Stützelementen (20) zur Aufnahme eines Substrats (7) umfasst.
Transportvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützelemente (20) als Walzen ausgeführt sind.
Transportvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützelemente (20) als Rollen (22) ausgeführt sind, von denen jeweils eine Mehrzahl auf einer Welle (21) angeordnet ist.
Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Substratablage (13) eine Substratablagefläche (23) mit Aussparungen (24) für die Stützelemente (20) aufweist.
Transportvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützelemente (20) relativ zum Rahmen (19) so bewegbar sind, dass sie in einer ersten Position vollständig unterhalb der Substratablagefläche (23) angeordnet sind und in einer zweiten Position die Substratablagefläche (22) durch die Aussparungen (24) hindurch zumindest teilweise überragen.
Vakuumprozessanlage mit einer Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5.