CN109554682A - 一种太阳能电池镀膜设备及其使用方法 - Google Patents
一种太阳能电池镀膜设备及其使用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109554682A CN109554682A CN201811467931.7A CN201811467931A CN109554682A CN 109554682 A CN109554682 A CN 109554682A CN 201811467931 A CN201811467931 A CN 201811467931A CN 109554682 A CN109554682 A CN 109554682A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- room
- piece
- groups
- rack
- coating chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 46
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 44
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 28
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 17
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 4
- VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N [O].[Ar] Chemical compound [O].[Ar] VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 230000034303 cell budding Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
本发明公开了一种太阳能电池镀膜设备，包括进片室、镀膜室和出片室，所述进片室和出片室之间设置有镀膜室，所述进片室和出片室与镀膜室连接的一侧挖设有送料口，所述镀膜室内设置有两组滚动轴，所述滚动轴通过转轴杆转动安装在镀膜室内，所述进片室的送料口底部固定焊接有固定台，所述固定台顶部两平行外缘固定焊接有六组安装块，平行的两组安装块之间转动安装有转动轴，所述进片室和出片室内部构造相同，所述进片室和出片室沿镀膜室中心线对称设置。该太阳能电池镀膜设备，设计合理，能在工作过程中对镀膜的太阳能电池进行限位，能在需要时对太阳能电池进行多层镀膜，适合推广使用。
Description
技术领域
本发明属于太阳能电池加工技术领域，具体涉及一种太阳能电池镀膜设备，还涉及一种太阳能电池镀膜设备的使用方法。
背景技术
太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被满足一定照度条件的光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。以光电效应工作的晶硅太阳能电池为主流，而以光化学效应工作的薄膜电池实施太阳能电池则还处于萌芽阶段。在太阳能电池生产的过程中需要对太阳能电池镀减反射膜，以提高太阳能电池的性能。
传统的太阳能电池镀膜设置，在镀膜过程中不能对电池片进行很好的限位，进而影响镀膜效果，重复性底进而会降低装置镀膜效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种太阳能电池镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种太阳能电池镀膜设备，包括进片室、镀膜室和出片室，所述进片室和出片室之间设置有镀膜室，所述进片室和出片室与镀膜室连接的一侧挖设有送料口，所述镀膜室内设置有两组滚动轴，所述滚动轴通过转轴杆转动安装在镀膜室内，所述镀膜室外固定有一组伺服电机，一组所述转轴杆的一端穿过镀膜室，所述转轴杆穿过镀膜室的一端固定焊接在伺服电机的机轴上，两组所述滚动轴上安装有传动带，所述镀膜室顶部挖设有若干组安装腔，安装腔内安装有加热装置和靶材，所述加热装置和靶材上固定有固定块，所述固定块通过螺栓固定安装在安装腔内，所述进片室顶部合页安装有密封门，所述进片室底部固定焊接有四组液压杆，所述液压杆顶部固定有安装台，所述安装台上固定有放置架，所述放置架上开设有用于放置电池片的安装槽，所述安装槽内插接有电池片，所述进片室的送料口底部固定焊接有固定台，所述固定台顶部两平行外缘固定焊接有六组安装块，平行的两组安装块之间转动安装有转动轴，所述进片室和出片室内部构造相同，所述进片室和出片室沿镀膜室中心线对称设置。
优选的，所述传动带上固定有若干组限位块，沿滚动轴方向的两组平行的固定块之间预留有供电池片走动的行走槽。
优选的，所述安装块内安装有转动电机，所述转动电机的机轴端与转动轴固定，所述转动轴的轴壁上固定焊接有承接盘。
优选的，所述安装台呈U字型，所述安装台凸出的两端固定焊接有四组固定扣，所述加热装置内固定焊接有若干组加热板，若干组加热板平行设置在加热装置内。
优选的，所述放置架至少包括安装架、安装板和安装杆，所述安装架设置有两组，两组所述安装架之间一侧边上固定焊接有安装板，所述安装架两端突出，两组所述安装架突出的一端固定焊接有安装杆，一组所述安装架的两平行侧边上固定焊接有四组配合块，所述配合块与固定扣配合安装，所述安装杆和安装板之间的内侧边上挖设有供电池片插接安装的安装槽。
另外，本发明还提供一种太阳能电池镀膜设备的使用方法，包括以下步骤：
工作时，打开进片室和出片室的密封门，使液压杆伸长，把安装台漏出，把装有电池片的放置架放置在进片室的安装台上，推动放置架，通过放置架上的固定块与安装台上的固定扣配合完成进片室放置架的固定，同时把空的放置架固定在出片室的安装台上，使液压杆下降，当移动到进片室内的放置架最底部的电池片停止液压杆的下降，同时把出片室内的液压杆的高度调节到与进片室内的液压杆的高度相同，关闭关闭密封门，打开转动电机和伺服电机，伺服电机带动转轴杆转动进而带动滚动轴转动，滚动轴带动传动带转动，转动电机转动带动转动轴转动，转动轴转动带动承接盘转动，通过承接盘的转动带动电池片从安装槽内滑出，进而使电池片输送到传动带的两组限位块之间，向镀膜室中冲入一定量的氩氧混合气体，向靶材引入中频电流，进而对电池片进行镀膜处理，打开加热板，通过加热板对镀膜后的电池片进行烘干，镀膜烘干后的电池片到达出片室，通过在转动轴转动带动镀膜后的电池片进入到放置架的安装槽内，在进片室的一组电池片移动走时，液压杆依次下降进而使电池片依次移出，在出片室的一组电池片进入时，液压杆依次下降进而使电池片依次进入，完成镀膜后打开密封门，将放置架取出，当需要对电池片进行多层镀膜室可以间接拆卸下一组或几组加热装置固定安装上靶材。
本发明的技术效果和优点：该太阳能电池镀膜设备，通过设置在传动带上的若干组限位块,可以在太阳能电池板移动输送到传动带上时,对太阳能电池片进行很好的定位，通过进片室、镀膜室和出片室之间的配合,可以提高太阳能电池片生产的连续性，通过设置的若干组安装腔，可以在需要时把多组靶材安装固定在安装腔内进而方便设备进行多次镀膜处理，大大提高装置的实用性。该太阳能电池镀膜设备，设计合理，能在工作过程中对镀膜的太阳能电池进行限位，能在需要时对太阳能电池进行多层镀膜，适合推广使用。
附图说明
图1为本发明的剖视图；
图2为本发明的出片室密封门打开状态下的俯视图；
图3为本发明的滚动轴结构示意图；
图4为本发明的放置架结构示意图。
图中：1进片室、2镀膜室、3出片室、4滚动轴、41转轴杆、5传动带、6限位块、7加热装置、8靶材、9固定块、10液压杆、11安装台、111固定扣、12放置架、121安装架、122安装板、123配合块、124安装杆、13电池片、14安装槽、15密封门、16安装台、17转动轴、18承接盘、19安装块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供了如图1-4所示的一种太阳能电池镀膜设备，包括进片室1、镀膜室2和出片室3，所述进片室1和出片室3之间设置有镀膜室2，所述进片室1和出片室3与镀膜室2连接的一侧挖设有送料口，所述镀膜室2内设置有两组滚动轴4，所述滚动轴4通过转轴杆41转动安装在镀膜室2内，所述镀膜室2外固定有一组伺服电机，一组所述转轴杆41的一端穿过镀膜室2，所述转轴杆41穿过镀膜室2的一端固定焊接在伺服电机的机轴上，两组所述滚动轴4上安装有传动带5，所述镀膜室2顶部挖设有若干组安装腔，安装腔内安装有加热装置7和靶材8，所述加热装置7和靶材8上固定有固定块9，所述固定块9通过螺栓固定安装在安装腔内，多组安装腔的设置可以在需要时对靶材8的数量进行调整进而完成多层镀膜，所述进片室1顶部合页安装有密封门15，所述进片室1底部固定焊接有四组液压杆10，所述液压杆10顶部固定有安装台11，所述安装台11上固定有放置架12，所述放置架12上开设有用于放置电池片13的安装槽14，所述安装槽14内插接有电池片13，所述进片室1的送料口底部固定焊接有固定台16，所述固定台16顶部两平行外缘固定焊接有六组安装块19，平行的两组安装块19之间转动安装有转动轴17，所述进片室1和出片室3内部构造相同，所述进片室1和出片室3沿镀膜室2中心线对称设置。
具体的，所述传动带5上固定有若干组限位块6，所述限位块6可以对电池片13进行限位，防止在镀膜过程中跑偏，影响镀膜效果，沿滚动轴4方向的两组平行的固定块9之间预留有供电池片13走动的行走槽。
具体的，所述安装块19内安装有转动电机，所述转动电机的机轴端与转动轴17固定，所述转动轴17的轴壁上固定焊接有承接盘18。
具体的，所述安装台11呈U字型，所述安装台11凸出的两端固定焊接有四组固定扣111，所述加热装置7内固定焊接有若干组加热板，若干组加热板平行设置在加热装置7内，所述加热板为电加热板，所述加热装置7有且至少有一组。
具体的，所述放置架12至少包括安装架121、安装板122和安装杆124，所述安装架121设置有两组，两组所述安装架121之间一侧边上固定焊接有安装板122，所述安装架121两端突出，两组所述安装架121突出的一端固定焊接有安装杆124，一组所述安装架121的两平行侧边上固定焊接有四组配合块123，所述配合块123与固定扣111配合安装，所述安装杆124和安装板122之间的内侧边上挖设有供电池片13插接安装的安装槽14。
另外，本发明还提供一种太阳能电池镀膜设备的使用方法，包括以下步骤：
工作时，打开进片室1和出片室3的密封门15，使液压杆10伸长，把安装台11漏出，把装有电池片13的放置架12放置在进片室1的安装台11上，推动放置架12，通过放置架12上的固定块9与安装台11上的固定扣111配合完成进片室1放置架12的固定，同时把空的放置架12固定在出片室3的安装台11上，使液压杆10下降，当移动到进片室1内的放置架12最底部的电池片13停止液压杆10的下降，同时把出片室3内的液压杆10的高度调节到与进片室1内的液压杆10的高度相同，关闭关闭密封门15，打开转动电机和伺服电机，伺服电机带动转轴杆41转动进而带动滚动轴4转动，滚动轴4带动传动带5转动，转动电机转动带动转动轴17转动，转动轴17转动带动承接盘18转动，通过承接盘18的转动带动电池片13从安装槽14内滑出，进而使电池片13输送到传动带5的两组限位块6之间，向镀膜室2中冲入一定量的氩氧混合气体，向靶材8引入中频电流，进而对电池片13进行镀膜处理，打开加热板，通过加热板对镀膜后的电池片13进行烘干，镀膜烘干后的电池片13到达出片室3，通过在转动轴17转动带动镀膜后的电池片13进入到放置架12的安装槽14内，在进片室1的一组电池片13移动走时，液压杆10依次下降进而使电池片13依次移出，在出片室3的一组电池片13进入时，液压杆10依次下降进而使电池片13依次进入，完成镀膜后打开密封门15，将放置架12取出，当需要对电池片13进行多层镀膜时可以间接拆卸下一组或几组加热装置7固定安装上靶材8。该太阳能电池镀膜设备，设计合理，能在工作过程中对镀膜的太阳能电池进行限位，能在需要时对太阳能电池进行多层镀膜，适合推广使用。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种太阳能电池镀膜设备，包括进片室(1)、镀膜室(2)和出片室(3)，其特征在于：所述进片室(1)和出片室(3)之间设置有镀膜室(2)，所述进片室(1)和出片室(3)与镀膜室(2)连接的一侧挖设有送料口，所述镀膜室(2)内设置有两组滚动轴(4)，所述滚动轴(4)通过转轴杆(41)转动安装在镀膜室(2)内，所述镀膜室(2)外固定有一组伺服电机，一组所述转轴杆(41)的一端穿过镀膜室(2)，所述转轴杆(41)穿过镀膜室(2)的一端固定焊接在伺服电机的机轴上，两组所述滚动轴(4)上安装有传动带(5)，所述镀膜室(2)顶部挖设有若干组安装腔，安装腔内安装有加热装置(7)和靶材(8)，所述加热装置(7)和靶材(8)上固定有固定块(9)，所述固定块(9)通过螺栓固定安装在安装腔内，所述进片室(1)顶部合页安装有密封门(15)，所述进片室(1)底部固定焊接有四组液压杆(10)，所述液压杆(10)顶部固定有安装台(11)，所述安装台(11)上固定有放置架(12)，所述放置架(12)上开设有用于放置电池片(13)的安装槽(14)，所述安装槽(14)内插接有电池片(13)，所述进片室(1)的送料口底部固定焊接有固定台(16)，所述固定台(16)顶部两平行外缘固定焊接有六组安装块(19)，平行的两组安装块(19)之间转动安装有转动轴(17)，所述进片室(1)和出片室(3)内部构造相同，所述进片室(1)和出片室(3)沿镀膜室(2)中心线对称设置。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述传动带(5)上固定有若干组限位块(6)，沿滚动轴(4)方向的两组平行的固定块(9)之间预留有供电池片(13)走动的行走槽。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述安装块(19)内安装有转动电机，所述转动电机的机轴端与转动轴(17)固定，所述转动轴(17)的轴壁上固定焊接有承接盘(18)。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述安装台(11)呈U字型，所述安装台(11)凸出的两端固定焊接有四组固定扣(111)，所述加热装置(7)内固定焊接有若干组加热板，若干组加热板平行设置在加热装置(7)内。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于：所述放置架(12)至少包括安装架(121)、安装板(122)和安装杆(124)，所述安装架(121)设置有两组，两组所述安装架(121)之间一侧边上固定焊接有安装板(122)，所述安装架(121)两端突出，两组所述安装架(121)突出的一端固定焊接有安装杆(124)，一组所述安装架(121)的两平行侧边上固定焊接有四组配合块(123)，所述配合块(123)与固定扣(111)配合安装，所述安装杆(124)和安装板(122)之间的内侧边上挖设有供电池片(13)插接安装的安装槽(14)。
6.一种权利要求1-5任一项所述的太阳能电池镀膜设备的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：
工作时，打开进片室(1)和出片室(3)的密封门(15)，使液压杆(10)伸长，把安装台(11)漏出，把装有电池片(13)的放置架(12)放置在进片室(1)的安装台(11)上，推动放置架(12)，通过放置架(12)上的固定块(9)与安装台(11)上的固定扣(111)配合完成进片室(1)放置架(12)的固定，同时把空的放置架(12)固定在出片室(3)的安装台(11)上，使液压杆(10)下降，当移动到进片室(1)内的放置架(12)最底部的电池片(13)停止液压杆(10)的下降，同时把出片室(3)内的液压杆(10)的高度调节到与进片室(1)内的液压杆(10)的高度相同，关闭关闭密封门(15)，打开转动电机和伺服电机，伺服电机带动转轴杆(41)转动进而带动滚动轴(4)转动，滚动轴(4)带动传动带(5)转动，转动电机转动带动转动轴(17)转动，转动轴(17)转动带动承接盘(18)转动，通过承接盘(18)的转动带动电池片(13)从安装槽(14)内滑出，进而使电池片(13)输送到传动带(5)的两组限位块(6)之间，向镀膜室(2)中冲入一定量的氩氧混合气体，向靶材(8)引入中频电流，进而对电池片(13)进行镀膜处理，打开加热板，通过加热板对镀膜后的电池片(13)进行烘干，镀膜烘干后的电池片(13)到达出片室(3)，通过在转动轴(17)转动带动镀膜后的电池片(13)进入到放置架(12)的安装槽(14)内，在进片室(1)的一组电池片(13)移动走时，液压杆(10)依次下降进而使电池片(13)依次移出，在出片室(3)的一组电池片(13)进入时，液压杆(10)依次下降进而使电池片(13)依次进入，完成镀膜后打开密封门(15)，将放置架(12)取出，当需要对电池片(13)进行多层镀膜室可以间接拆卸下一组或几组加热装置(7)固定安装上靶材(8)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811467931.7A CN109554682A (zh) | 2018-12-03 | 2018-12-03 | 一种太阳能电池镀膜设备及其使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811467931.7A CN109554682A (zh) | 2018-12-03 | 2018-12-03 | 一种太阳能电池镀膜设备及其使用方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109554682A true CN109554682A (zh) | 2019-04-02 |
Family
ID=65868688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811467931.7A Pending CN109554682A (zh) | 2018-12-03 | 2018-12-03 | 一种太阳能电池镀膜设备及其使用方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109554682A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110527966A (zh) * | 2019-09-05 | 2019-12-03 | 西安交通大学 | 一种用于长管镀膜的卧式磁控溅射设备 |
| CN111029286A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-04-17 | 苏州迈正科技有限公司 | 传输装置及太阳能电池生产系统 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100080673A1 (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Transporting device for a vacuum processing apparatus, drive device for a component of a vacuum processing apparatus, and a vacuum processing apparatus |
| CN101928930A (zh) * | 2009-06-18 | 2010-12-29 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 真空镀膜机 |
| CN201896194U (zh) * | 2010-11-25 | 2011-07-13 | 刘晓萌 | 新型太阳能电池镀膜设备 |
| CN202465857U (zh) * | 2011-11-24 | 2012-10-03 | 黄能杰 | 连续式真空镀膜设备输送装置 |
| CN101921992B (zh) * | 2009-06-16 | 2013-03-20 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 承载装置 |
| CN104120401A (zh) * | 2013-04-26 | 2014-10-29 | 汉能新材料科技有限公司 | 一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备 |
-
2018
- 2018-12-03 CN CN201811467931.7A patent/CN109554682A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100080673A1 (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-01 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Transporting device for a vacuum processing apparatus, drive device for a component of a vacuum processing apparatus, and a vacuum processing apparatus |
| CN101921992B (zh) * | 2009-06-16 | 2013-03-20 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 承载装置 |
| CN101928930A (zh) * | 2009-06-18 | 2010-12-29 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 真空镀膜机 |
| CN201896194U (zh) * | 2010-11-25 | 2011-07-13 | 刘晓萌 | 新型太阳能电池镀膜设备 |
| CN202465857U (zh) * | 2011-11-24 | 2012-10-03 | 黄能杰 | 连续式真空镀膜设备输送装置 |
| CN104120401A (zh) * | 2013-04-26 | 2014-10-29 | 汉能新材料科技有限公司 | 一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110527966A (zh) * | 2019-09-05 | 2019-12-03 | 西安交通大学 | 一种用于长管镀膜的卧式磁控溅射设备 |
| CN111029286A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-04-17 | 苏州迈正科技有限公司 | 传输装置及太阳能电池生产系统 |
| CN111029286B (zh) * | 2019-11-20 | 2023-03-31 | 苏州迈正科技有限公司 | 回传传输装置及太阳能电池生产系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109554682A (zh) | 一种太阳能电池镀膜设备及其使用方法 | |
| CN101958371A (zh) | 铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置 | |
| CN107604328B (zh) | 一种燃料电池金属双极板高效环形真空镀膜装置 | |
| CN109468611B (zh) | 真空镀膜装置 | |
| CN219766170U (zh) | 异质结电池清洗机构 | |
| CN207113576U (zh) | 氢气隧道炉及陶瓷电路元件加工设备 | |
| CN116806896A (zh) | 一种富硒茶叶加工工艺 | |
| CN208254074U (zh) | 一种全自动低温高真空烘烤线 | |
| CN216282609U (zh) | 一种用于蜂窝陶瓷载体微波干燥的生产线 | |
| CN109065669A (zh) | 一种双面电池抗光衰设备 | |
| CN107314669A (zh) | 氢气隧道炉及陶瓷电路元件加工设备 | |
| CN111964384B (zh) | 多功能移动式可循环控制的果脯干燥设备 | |
| CN105633212B (zh) | 一种基于一步共蒸发工艺制备梯度带隙光吸收层的方法和装置 | |
| CN210778645U (zh) | 冷却气氛循环风道 | |
| CN208489220U (zh) | 铜铟镓硒（cigs）薄膜太阳能电池电沉积装置 | |
| CN220959412U (zh) | 一种螺旋式茶叶烘焙设备 | |
| CN208920791U (zh) | 一种电池片生产用烘干装置 | |
| CN209371751U (zh) | 一种接料机构 | |
| CN115275247B (zh) | 一种燃料电池金属双极板表面防腐涂层的制备装置及其方法 | |
| CN104795468B (zh) | 一种铜锌锡硫薄膜的光化学制备方法及其铜锌锡硫薄膜与铜锌锡硫太阳能电池 | |
| CN111900450B (zh) | 一种锂电池加工用烘烤注液一体化设备 | |
| CN220000730U (zh) | 一种环保节能烟叶热泵烘干房 | |
| CN110081669A (zh) | 一种新能源动力电池智能机器人高真空烘烤线 | |
| CN218583696U (zh) | 一种贴片电容晶粒封闭端面浆料的烘干机 | |
| CN218779020U (zh) | 一种带分流盘的cvd沉积炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20190402 |