DE102009018213A1

DE102009018213A1 - Vakuumpumpengehäuse

Info

Publication number: DE102009018213A1
Application number: DE200910018213
Authority: DE
Inventors: Wolfgang Giebmanns; Thomas Dr. Dreifert
Original assignee: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 2009-04-21
Filing date: 2009-04-21
Publication date: 2010-10-28
Anticipated expiration: 2029-04-22
Also published as: WO2010122020A3; TW201042149A; DE102009018213B4; WO2010122020A2

Abstract

Ein Vakuumpumpengehäuse, das insbesondere aus Grau- oder Sphäro-, Aluminium- oder Edelstahl-Guss hergestellt ist, weist an einer Gehäuseaußenseite mehrere Stege (12, 14) auf. Ferner ist ein Deckelelement (18) vorgesehen, das sich über mindestens zwei Stege (12, 14) erstreckt. Durch eine Innenseite (22) des Deckelelements (18) sowie zwei einander gegenüberliegende Seitenwände (26) benachbarte Stege (12, 14) ist ein Kühlkanal (16) zur Durchleitung von Kühlflüssigkeit ausgebildet.

Description

Die Erfindung betrifft ein Vakuumpumpengehäuse, bei dem es sich insbesondere um ein aus Grauguss oder Sphäroguss hergestelltes Gehäuse handelt.
Vakuumpumpen weisen in einem durch ein Gehäuse gebildeten Schöpfraum Pumpelemente auf. Bei Vakuumpumpen handelt es sich insbesondere um Schraubenpumpen, ein- und mehrstufige Rootspumpen, Drehschieberpumpen sowie Klauenpumpen. Zur Erzeugung von Vakuum ist es erforderlich, dass zwischen den Pumpelementen und der Innenwand des Schöpfraums ein möglichst schmaler Spalt realisiert ist. Insofern ist es erforderlich, dass Vakuumpumpen bei einer möglichst gleichbleibenden Betriebstemperatur betrieben werden, um Veränderungen des Spalts aufgrund von unterschiedlichen Temperaturausdehnungen des Gehäuses und der Pumpelemente zu vermeiden.
Es ist bekannt, Vakuumpumpengehäuse mit Kühlrippen zu versehen und die Pumpengehäuse durch einen Luftstrom zu kühlen. Ein gleichmäßiges und gezieltes Kühlen der Gehäuse ist hierbei jedoch im Allgemeinen nur durch besondere Maßnahmen, z. B. Verkleidung mit gezielter Luftführung und externem Lüftersystem (angetrieben durch eine der Pumpenwellen oder mit separatem Antrieb) möglich. Hierbei ist die spezifische Kühlleistung (Wärmestrom pro Fläche) gering. Ferner ist das Abführen der Wärme in die Umgebung häufig unerwünscht. Insbesondere in Reinraumumgebungen muss das Auftreten von Luftströmen möglichst vermieden werden. Ferner sind Lüfter unerwünschte Geräuschquellen.
Zusätzliche Nachteile der Luftkühlung ergeben sich durch die geringere Kühlintensität und der Empfindlichkeit gegenüber äußeren Einflüssen oder Störungen, wie bereichsweise Zugluft oder Abdeckung.
Ferner ist es bekannt, Vakuumpumpengehäuse durch Wasser bzw. Kühlflüssigkeit zu kühlen. Um eine Wasserkühlung durchführen zu können, sind spezielle konstruktive Maßnahmen erforderlich. Einerseits muss das Wasser, um eine große Kühlwirkung erzielen zu können, möglichst nahe an die zu kühlenden Bereiche herangeführt werden. Andererseits kann Wasser aufgrund seiner korrosiven Wirkung bei den meisten Werkstoffen nicht ohne besondere Schutzmaßnahmen verwendet werden. Um eine Korrosion zu vermeiden, ist es beispielsweise möglich, korrosionsfreie Werkstoffe wie Edelstahl oder bestimmte Aluminiumlegierungen zu verwenden. Derartige Werkstoffe sind jedoch teuer und genügen anderen bei Vakuumpumpengehäusen auftretenden Bedingungen wie beispielsweise der Standfestigkeit gegenüber hohen Temperaturen von insbesondere mehr als 250°C nicht. Ferner ist es möglich, die mit dem Wasser in Kontakt kommenden Oberflächen zu lackieren. Die zuverlässige Lackierung von entsprechenden innerhalb des Gehäuses angeordneten Kanälen ist jedoch äußerst aufwändig. Es muss eine Lackierung durch Tauchbäder oder durch Dreh- bzw. Taumelbewegungen zum Verteilen des flüssigen Lacks erfolgen. Ferner sind galvanische Oberflächenbehandlungsverfahren wie Verzinken oder Vernickeln bei Stahl- und Grauguss oder Hartanodisieren von Aluminium bekannt. Hierbei handelt es sich jedoch ebenfalls um sehr aufwändige Verfahren. Des Weiteren ist das Verwenden von Verzehr-Anoden bekannt, wobei auch dieses Verfahren aufwändig ist und insbesondere bei innenliegenden Kühlkanälen beim Auftreten von Korrosion nicht zuverlässig vermieden werden kann.
Anstelle der Verwendung von Wasser als Kühlmittel können auch besondere Kühlflüssigkeiten verwendet werden. Dies ist jedoch nur dann möglich, wenn es sich um geschlossene und somit aufwändige Kühlkreisläufe handelt. Insbesondere ist es erforderlich, das Kühlmittel durch zusätzlich vorzusehende Wärmetauscher zu kühlen.
Das Vorsehen von Kühlkanälen in Vakuumpumpengehäusen aus Guss ist auch durch das nachträgliche Einbringen der Kanäle durch spanende Bearbeitung, insbesondere Fräsen und Bohren möglich. Dies ist äußerst aufwändig, da zeitintensive zusätzliche Bearbeitungsschritte erforderlich sind. Auch ist es möglich, Kühlkanäle bereits beim Gießen vorzusehen. Hierzu werden Sandkerne vorgesehen. Auch hierbei handelt es sich um ein aufwändiges Verfahren und zudem kann das Kühlwasser für lange Zeit durch Sandreste verunreinigt werden. Ferner ist das Vorsehen von eingegossenen sandgeformten Kanälen nur unter starken Einschränkungen hinsichtlich der Formgebung, des Querschnitts und des Verlaufs möglich, da die Ausformung mittels Sandkernen erfolgt, die für den Gießprozess eine entsprechende Stabilität aufweisen müssen. Das Vorsehen derartiger Kühlkanäle führt somit zur starken Einschränkung in der Formgebung und den Betriebsbedingungen wie der Festigkeit, den zulässigen Betriebstemperaturen und der Medienverträglichkeit.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Vakuumpumpengehäuse zu schaffen, das insbesondere aus Grauguss oder Sphäroguss hergestellt ist und bei dem auf einfache Weise eine Kühlung durch Kühlflüssigkeit möglich ist.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1 bzw. 17.
Das insbesondere aus Grauguss oder Sphäroguss hergestellte Vakuumpumpengehäuse weist in seinem Inneren einen Schöpfraum auf, in dem Pumpelemente angeordnet sind. Der Schöpfraum ist mit einem Einlass sowie einem Auslass verbunden, wobei durch die Bewegung, insbesondere Rotation der Pumpelemente am Pumpeneinlass ein Vakuum erzeugt wird. Hierbei entsteht insbesondere durch die Kompression des gepumpten Mediums eine Erwärmung des Vakuumpumpengehäuses. Zur erfindungsgemäßen Kühlung des Vakuumpumpengehäuses mittels einem Kühlfluid wie Wasser weist das Vakuumpumpengehäuse an einer Gehäuseaußenseite angeordnete Stege auf. Die Stege sind hierbei vorzugsweise derart angeordnet, dass durch zwei benachbarte Stege eine im Querschnitt im Wesentlichen U-förmige Nut bzw. ein U-förmiger Kanal ausgebildet ist. Die Stege sind hierbei im Querschnitt vorzugsweise leicht konisch, so dass ein leichtes Ausformen aus einem Formkasten möglich ist. Der Einsatz von Sandkernen ist hierbei nur in Ausnahmefällen, beispielsweise bei sehr schmal ausgebildeten Stegen erforderlich. Es handelt sich vorzugsweise jedoch stets um Ausbildungen der Stege ohne Hinterschnitte und dergleichen, so dass ein einfaches Ausformen möglich ist. Erfindungsgemäß ist mit dem Gehäuse ein Deckelelement verbunden. Das Deckelelement ist erfindungsgemäß derart ausgebildet, dass es sich über mindestens zwei Stege erstreckt und somit den durch zwei benachbarte Stege ausgebildeten U-förmigen Kanal verschließt. Durch das Vorsehen des Deckelelements ist somit ein Kühlkanal ausgebildet. Der Kühlkanal ist durch zwei einander gegenüberliegende Seitenwände benachbarter Stege und einer Innenseite des Deckelelements ausgebildet, wobei selbstverständlich eine Verkleidung der Seitenwände der Stege sowie auch Innenseite des Deckelelements möglich ist.
Die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Kühlkanäle hat insbesondere den Vorteil, dass diese auch bei Grauguss oder Sphäroguss ausgeführt werden kann. Insbesondere Vakuumpumpengehäuse werden häufig aus Grauguss oder Sphäroguss hergestellt, da diese Gussverfahren sehr gute Formgebungsmöglichkeiten bieten und die hierdurch hergestellten Gehäuse auch hohen Betriebstemperaturen von insbesondere über 250°C ausgesetzt werden können.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Seitenwände der den Kühlkanal begrenzenden Stege nicht behandelt. Es handelt sich um unbehandelte Gussoberflächen. Dies hat den Vorteil, dass unbehandelte Gussoberflächen einen genügenden Korrosionsschutz aufweisen. Unbehandelte durch Grau- oder Sphäroguss Gussoberflächen weisen auch beim Verwenden von Kühlwasser einen ausreichenden Korrosionsschutz auf. Grauguss und Sphäroguss weist ferner gegenüber Edelstahlguss den erheblichen Vorteil auf, dass Edelstahlguss größere Einschränkungen bei der Formgebung mit sich bringt und ferner kostenintensiver ist.
Bei relativ breiten Kühlkanälen, d. h. bei einem relativ großen Abstand benachbarter Stege ist der Kühlkanal zusätzlich auch durch einen Abschnitt der Gehäuseaußenseite begrenzt. Hierbei handelt es sich um den Abschnitt der Gehäuseaußenseite, der zwischen den beiden benachbarten Stegteilen angeordnet ist. In bevorzugter Ausführungsform ist auch dieser Teil der Kühlkanalbegrenzung unbehandelt.
Da in bevorzugter Ausführungsform die Innenseite des Deckelelements eben ist, ist es zweckmäßig, dass die Stegscheitel, d. h. die in Richtung des Deckelelements weisenden Oberseiten der Stege bearbeitet sind. Hierdurch ist gewährleistet, dass die Deckelinnenseite an den Stegscheiteln eben anliegt. Vorzugsweise ist, um ein Abdichten benachbarter Kühlkanal-Abschnitte zu ermöglichen, zwischen den Stegscheiteln und der Innenseite des Deckelelements ein Dichtelement vorgesehen. Da eine gewisse Undichtigkeit zwischen benachbarten Kühlkanal-Abschnitten jedoch nicht von großem Nachteil ist, muss eine derartige Dichtung nicht zwingend vorgesehen sein.
Ebenso ist es möglich, dass das Deckelelement gewölbt ausgebildet ist und somit insbesondere eine konkave Innenseite aufweist. Hierdurch ist es möglich, an einem gekrümmten, insbesondere konvex ausgebildeten Gehäuseteil nach außen weisende Stege vorzusehen, wobei die Stege im Wesentlichen radial verlaufen. Das Deckelelement ist hierbei beispielsweise als Rohrstück ausgebildet oder aus gewalztem Blech hergestellt. Die an dem Gehäuse vorgesehenen Stege können durch entsprechend ausgebildete Entformungskörper gegossen sein. Insbesondere kann es sich hierbei auch um gedrehte oder zirkular gefräste Stegelemente handeln. Diese Ausgestaltung ist insbesondere für Gehäuse mit im Wesentlichen zylindrischem Querschnitt oder entsprechend konvex gekrümmten Teilbereichen geeignet.
In einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist ein flächiges Dichtelement vorgesehen, das sich vorzugsweise über die gesamte Innenseite des Deckelelements erstreckt. Dies hat insbesondere den Vorteil, dass das Dichtelement neben der Dichtfunktion zusätzlich einen Korrosionsschutz für die Deckelinnenseite darstellt. Durch das Dichtelement ist ein Kontakt des Kühlmediums, insbesondere des Kühlwassers mit der Innenseite des Deckelelements und somit das Auftreten von Korrosion an dieser Fläche vermieden.
Vorzugsweise sind die Stegscheitel ebenfalls unbearbeitet und weisen somit üblicherweise eine konvex gekrümmte Außenfläche auf. Dies hat den Vorteil, dass auch am Stegscheitel keine störende Korrosion auftreten kann. Um dennoch ein Abdichten benachbarter Kühlkanal-Abschnitte zu gewährleisten, ist vorzugsweise ein relativ dickes Dichtelement vorgesehen. Das Dichtelement wird durch den Stegscheitel verformt bzw. zusammengedrückt, so dass auch eine Dichtung zwischen dem konvexen Stegscheitel und der ebenen Innenseite des Deckelelements möglich ist. Auch in dieser Ausführungsform ist vorzugsweise ein flächiges sich über die gesamte Innenseite des Deckelelements erstreckendes Dichtelement, insbesondere eine Flachdichtung vorgesehen.
Auch bei bearbeiteten Stegscheiteln ist es vorteilhaft, zumindest im Bereich der Stegscheitel eine relativ dicke Dichtung vorzusehen, wobei die Breite der Dichtung breiter als der bearbeitete Bereich des Stegscheitels ist. Dies hat den Vorteil, dass durch die Montage die Dichtung zusammengedrückt bzw. im Bereich des Stegscheitels komprimiert wird und somit seitlich neben dem Stegscheitel in die Seitenwand der Stege ragt. Hierdurch ist gewährleistet, dass das Kühlmittel, insbesondere das Kühlwasser nicht mit der bearbeiteten Fläche des Stegscheitels in Kontakt kommt, so dass das Auftreten von Korrosion vermieden ist. Auch bei dieser Ausführungsform ist wiederum ein flächig ausgebildetes sich vorzugsweise über die gesamte Innenseite des Deckelelements erstreckendes Dichtelement bevorzugt.
Je nach Qualität des Gussverfahrens können Unebenheiten von ca. 1 bis 2 mm auftreten. Da es aus Gründen des Korrosionsschutzes vorteilhaft ist, den Stegscheitel nicht zu bearbeiten, wird bei derartigen Unebenheiten vorzugsweise eine Flachdichtung vorgesehen, die eine Dicke von 3 mm oder mehr aufweist. Das Vorsehen unbearbeiteter Stegscheitel hat ferner den Vorteil, dass ein Arbeitsschritt entfällt. Zur Befestigung des Deckelelements an dem Gehäuse ist es bevorzugt, Befestigungsstege vorzusehen. Hierzu ist ein Teil der Stege, insbesondere die bezogen auf ein Deckelelement seitlich außenliegenden Stege als Befestigungsstege ausgebildet. Die Befestigungsstege sind hierbei derart ausgebildet, dass sie zur Befestigung des Deckelelements genutzt werden können. Hierzu weisen die Befestigungsstege insbesondere eine ausreichende Breite auf, so dass in den Befestigungsstegen Bohrungen zur Aufnahme von Befestigungsschrauben vorgesehen werden können. Vorzugsweise sind die Stegscheitel der Befestigungsstege bearbeitet, so dass eine ebene Oberfläche ausgebildet ist. Dies hat den Vorteil, dass ein gutes Abdichten zwischen dem Deckelelement und den Befestigungsstegen, insbesondere durch Vorsehen einer Flachdichtung möglich ist. Selbstverständlich kann das Abdichten auch durch Vorsehen von O-Ringen, Dichtpaste oder anderen Dichtelementen erfolgen. Ein erfindungsgemäß besonderer Vorteil besteht darin, dass die Deckelelemente abnehmbar ausgebildet sein können. Beispielsweise beim Befestigen der Deckelelemente mittels Schrauben ist es möglich, durch einfaches Lösen der Schrauben, die Deckelelemente zu entfernen. Dies hat den Vorteil, dass die Kühlkanäle beispielsweise zum Reinigen gut zugänglich sind. Auch wenn die Kühlkanäle beispielsweise durch Lacke vor Korrosion geschützt sind, ist es auf einfache Weise möglich, durch Abnehmen der Deckelelemente die Lackschicht auszubessern oder zu erneuern. Sofern Innenseiten der Kühlkanäle bearbeitet und sodann mit einem Korrosionsschutzmittel wie einem Lack versehen sind, ist die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Kühlkanäle durch an der Gehäuseaußenseite des Gehäuses vorgesehene Stege vorteilhaft, da hierdurch ein einfaches Aufbringen des Korrosionsschutzmittels, beispielsweise durch Aufsprühen von Lack möglich ist.
Besonders bevorzugt ist es, dass das Deckelelement als ebenes flächiges Element ausgebildet ist. Die durch das Deckelelement miteinander verbundenen Stege sind somit derart ausgebildet, dass die Stegscheitel vorzugsweise in einer Ebene angeordnet sind.
In besonders bevorzugter Ausführungsform sind mehrere Stege an einer Gehäuseaußenseite derart angeordnet, dass ein mäanderförmiger Kühlkanal ausgebildet ist.
Besonders bevorzugt ist es, dass die Stege derart angeordnet und ausgebildet sind, dass die Querschnittsfläche eines Strömungskanals über die Länge des Strömungskanals zumindest im Bereich einer Gehäuseseite im Wesentlichen konstant ist. Dies hat den Vorteil, dass zumindest innerhalb eines Bereichs des Strömungskanals die Strömungsgeschwindigkeit im Wesentlichen konstant ist. Hierdurch ist eine gleichmäßige Wärmeabfuhr gewährleistet. Auch das Auftreten von sogenannten Totwassergebieten ist vermieden.
Um eine möglichst gleichmäßige Querschnittsfläche zu realisieren, wäre es möglich, die Stege derart anzuordnen, dass sie stets einen gleichen Abstand und die gleiche Höhe aufweisen. Durch derartig ausgebildete Kanäle ist es jedoch nicht möglich, eine gute Kühlung zu gewährleisten, da die Kühlkanäle stets möglichst nahe an den Bereich, in dem die Wärme auftritt, herangeführt werden sollten. Vorzugsweise weisen benachbarte Stege daher durchaus unterschiedliche Abstände zueinander auf. Hierdurch ist es möglich, durch Verringerung des Abstands der Stege bei gleicher Querschnittsfläche, einen tieferen Strömungskanal zu realisieren.
Besonders bevorzugt insbesondere bei Verwendung schlecht wärmeleitender Werkstoffe (z. B. wie Grauguss) ist es, dass mehrere Kanalabschnitte eines Kühlkanals derart ausgebildet sind, dass der Kanalgrund stets im Wesentlichen den gleichen Abstand zur Wärmequelle bzw. zu dem Bereich, in dem die Wärme erzeugt wird, aufweist. Hierbei handelt es sich insbesondere um den Abstand des Kanalgrunds zum Schöpfraum. Der Schöpfraum weist beispielsweise bei einer Schraubenpumpe eine gekrümmte Innenseite auf. Bei einer Schraubenpumpe besteht der Schöpfraum vereinfacht ausgedrückt aus zwei sich in Längsrichtung überdeckenden Kreiszylindern. Insbesondere in dem Übergangsbereich entsteht eine im Querschnitt nach innen spitz zulaufende Form des Gehäuses, auch Zwickel genannt. Um auch an diesem Bereich eine gute Kühlung zu realisieren, ist es besonders bevorzugt, dass der Kanalgrund im Wesentlichen den gleichen Abstand zur Wärmequelle, d. h. im Wesentlichen den gleichen Abstand zur Innenseite des Schöpfraums aufweist. Um zusätzlich Kühlkanäle mit im Wesentlichen konstanten Querschnitt zu realisieren, muss der Abstand benachbarter Stege zueinander in Verbindung mit der Tiefe des Kanals variiert werden.
Zur weiteren Verbesserung des Wärmeübergangs zwischen den zu kühlenden Wänden und der Kühlflüssigkeit ist es bevorzugt eine turbulente Strömung durch entsprechend hohe Strömungsgeschwindigkeiten herzustellen. Dies ist insbesondere durch Veränderung der Querschnitte bei vorzugsweise im Wesentlichen gleichbleibenden Querschnittsflächen und/oder durch relativ hohe Strömungsgeschwindigkeit möglich. Hierbei sind die Umlenkungen so zu gestalten, dass die Strömung, trotz der recht hohen Geschwindigkeiten, ohne Bildung von Totwassergebieten umgelenkt wird.
Vorzugsweise sind an mehreren Gehäuseseiten des Vakuumgehäuses Kühlkanäle vorgesehen. Diese sind vorzugsweise mit gesonderten, insbesondere ebenen und flach ausgebildeten Deckelelementen verschlossen. Diese Kühlkanäle können über auch gegossene Verbindungskanäle miteinander verbunden sein. Ebenso ist es möglich, dass es sich um gesonderte Kühlkanäle handelt, die jeweils einzeln an Kühlmittelleitungen angeschlossen sind. Die Verbindungskanäle können im Inneren des Gehäuses angeordnet sein. Hierbei kann es sich um nach dem Gießen in das Gehäuse eingearbeitete Bohrungen oder dergleichen handeln. Je nach Anwendungsfall kann es jedoch erforderlich sein, die Innenfläche durch Beschichtung vor Korrosion zu schützen. Bevorzugt ist es daher, dass die einzelnen Kühlkanäle über Verbindungsleitungen bzw. Verbindungsrohre miteinander verbunden sind. Hierbei ist es möglich, Verbindungsrohre aus korrosionsbeständigem Material zu verwenden.
Des Weiteren ist es möglich, das Deckelelement zumindest teilweise als Verzehranode auszubilden, um hierdurch einen Korrosionsschutz zu verwirklichen. Hierzu könnte das Deckelelement zumindest teilweise als verzinktes Blech ausgebildet sein oder ein verzinktes Blech aufweisen.
Ferner ist es möglich, dass das Deckelelement Zusatzfunktionen aufweist. Beispielsweise kann das Deckelelement auch als Flansch ausgebildet sein. Hierbei dient das Deckelelement sodann beispielsweise zusätzlich zur Strömungsführung des Pumpmediums und/oder Befestigung der Vakuumpumpe. Ebenso kann das Deckelelement als Lagerflansch ausgebildet sein, so dass das Deckelelement zusätzlich zur Aufnahme von Lagern dient. Hierbei handelt es sich insbesondere um die die Pumpelemente lagernden Lagerelemente.
Bei einer weiteren unabhängigen Erfindung weist das Vakuumpumpengehäuse entsprechend der vorstehenden Erfindung eine Gehäuseaußenseite auf, an der Stege angeordnet sind. Ferner ist ebenfalls ein Deckelelement vorgesehen. In dieser Erfindung weist das Deckelelement an der Innenseite jedoch Deckel-Stege auf. Diese weisen in Richtung der Außenseite des Gehäuses. Die mit der Außenseite des Gehäuses verbundenen Stege sowie die Deckel-Stege sind derart angeordnet, dass durch die Gehäuse-Stege und durch die Deckel-Stege ein Kühlkanal ausgebildet ist. Hierbei sind in bevorzugter Ausführungsform die Gehäuse-Stege und die Deckel-Stege abwechselnd angeordnet, so dass ein mäanderförmiger Kühlkanal ausgebildet ist, wobei der mäanderförmige Kühlkanal derart angeordnet ist, dass die Kühlflüssigkeit abwechselnd vom Pumpengehäuse weg und zum Pumpengehäuse hin strömt.
Das Deckelelement selbst ist im Randbereich gegenüber dem Gehäuse abgedichtet. Dies kann, wie vorstehend anhand der ersten Erfindung erläutert, durch Vorsehen von Dichtmasse oder Vorsehen eines O-Rings oder einer flächigen Dichtung erfolgen.
Vorzugsweise können die beiden Erfindungen miteinander kombiniert werden, wobei insbesondere eine Abdichtung im Randbereich zwischen dem Deckel und dem Gehäuse durch eine flächige Dichtung erfolgt, die teilweise komprimiert wird und somit in Seitenflächen ragt. Hierdurch ist ein Kontakt des Kühlmediums mit der gegebenenfalls bearbeiteten Fläche am Gehäuse und/oder am Deckelelement im Bereich der Dichtung vermieden. Ebenso ist es möglich, einen Teil des Kühlkanals, wie anhand der ersten Erfindung beschrieben, derart auszubilden, dass die Gehäuse-Stege dichtend am Deckel anliegen, wobei ein Stegscheitel bearbeitet oder unbearbeitet sein kann. Bevorzugt ist es, dass der Deckel ebenfalls durch Grau- oder Sphäroguss hergestellt ist und insbesondere die Deckel-Stege eine unbearbeitete Oberfläche aufweisen, so dass das Vorsehen einer Korrosionsschutzschicht, beispielsweise einer Schutzlackschicht nicht erforderlich ist.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:
1 eine schematische Schnittansicht eines Teils eines erfindungsgemäßen Vakuumpumpengehäuses,
2 eine schematische vergrößerte Ansicht eines Stegs mit unbearbeitetem Stegscheitel,
3 eine schematische Schnittansicht eines Teils eines Vakuumpumpengehäuses einer weiteren bevorzugten Ausführungsform,
4 eine schematische Draufsicht entlang der Linie IV-IV in 3,
5 eine schematische Schnittansicht eines Teils eines Vakuumpumpengehäuses einer weiteren bevorzugten Ausführungsform,
6 eine schematische Draufsicht entlang der Linie VI-VI in 5,
7 eine schematische Schnittansicht einer weiteren bevorzugten Ausführungsform eines Vakuumpumpengehäuses einer Schraubenvakuumpumpe,
8 eine schematische Teil-Schnittansicht eines zusätzlich als Lagerflansch dienenden Deckelelements,
9 eine schematische Teil-Schnittansicht eines in einem Lagerflansch vorgesehenen Kontrollkanals,
10 eine schematische Teil-Schnittansicht einer weiteren bevorzugten Ausführungsform eines Vakuumpumpengehäuses,
11 eine schematische Schnittansicht einer eine unabhängige Erfindung darstellenden Ausführungsform,
12 eine perspektivische Ansicht eines Gehäuseteils wie eines Getriebedeckels, bei dem die anhand 9 dargestellte Ausführung einer Erfindung verwirklicht ist und
13 einen zur Ausgestaltung der Kühlkanäle auf das in 10 dargestellte Gehäuse aufsetzbaren Deckel in perspektivischer Ansicht.
In der schematisch dargestellten 1 ist ein Teil eines Gehäuses 10 im Schnitt dargestellt. An einer Gehäuseaußenseite sind mehrere Stege 12 sowie im dargestellten Ausführungsbeispiel zwei Befestigungsstege 14 angeordnet. Bei dem Gehäuseteil 10 handelt es sich um ein im Grauguss- oder Sphärogussverfahren hergestelltes Bauteil. Zwischen benachbarten Stegen 12 sowie auch zwischen Befestigungsstegen 14 und benachbarten Stegen 12 sind jeweils Kühlkanäle 16 ausgebildet. Hierbei erfolgt die Ausbildung der Kühlkanäle 16 durch Vorsehen eines Deckelelements 18. Bei dem Deckelelement 18 handelt es sich um ein ebenes flaches Element, das über durch die strichpunktierten Linien 20 angedeutete Befestigungselemente wie Schrauben an den Befestigungsstegen 14 fixiert ist. An einer Innenseite 22 des Deckelelements 18 ist ein ebenes sich über die gesamte Innenseite erstreckendes Dichtelement 24 vorgesehen.
Die einzelnen Kühlkanäle 16 sind somit durch Seitenwände 26 benachbarter Stege 12, 14 sowie durch die Innenseite 22 des Deckelelements 18 begrenzt, wobei gegebenenfalls eine flächige Dichtung 24 vorgesehen sein kann. Ferner sind die Kühlkanäle, insbesondere dann, wenn die Stege 12, 14 einen größeren Abstand zueinander aufweisen, durch einen Abschnitt bzw. eine Teilfläche 28 der Außenseite des Gehäuses 10 begrenzt.
In der in 1 dargestellten Prinzipskizze einer erfindungsgemäßen Ausführungsform sind die Seitenwände 26 sowie die Abschnitte 28 als unbehandelte Gussoberflächen ausgebildet. Hierdurch ist es nicht erforderlich, die Oberflächen mit einem Korrosionsschutzmittel wie einem entsprechenden Lack zu versehen, wobei dies zusätzlich erfolgen kann.
In 1 sind die Stegscheitel, d. h. die in Richtung des Deckelelements 18 weisenden Seiten der Stege 12, 14 bearbeitet, so dass ebene Flächen 30, 32 entstehen. Im Bereich der Befestigungselemente 20 ist es bevorzugt, dass der ebenen Innenseite 22 des Deckelelements 18 eine ebene Dichtfläche 32 gegenüberliegt. Durch Bearbeitung der Stegscheitel und somit Ausbildung von ebenen Dichtflächen 30, die ebenfalls der ebenen Innenseite 22 des Deckelelements 18 gegenüberliegen, ist ein gutes Abdichten zwischen benachbarten Abschnitten der Kühlkanäle 16 möglich.
Da bei Kontakt des Kühlmittels, insbesondere des Kühlwassers mit den bearbeiteten Oberflächen die Gefahr von Korrosion besteht, ist es bevorzugt, ein flächiges Dichtelement 24 vorzusehen, das sich über die gesamte Innenseite 22 des Deckelelements 18 erstreckt. Hierdurch ist vermieden, dass das Kühlmedium mit der bearbeiteten Innenseite 22 des Deckelelements in Kontakt kommt. Weiter ist es bevorzugt, durch Vorsehen eines dicken Dichtelements zu gewährleisten, dass das Dichtelement durch die bearbeitete Dichtfläche 30 im Bereich der Stegscheitel zusammengedrückt wird, so dass das Dichtelement 24 zumindest geringfügig in die Seitenwände 26 der Stege ragt. Hierdurch ist vermieden, dass das Kühlmedium mit den bearbeiteten Flächen 30 in Kontakt kommt. Dies gilt ebenso für Dichtflächen 32 der Befestigungsstege 14.
Bei einer weiteren Ausführungsform (2) sind die Stegscheitel 34 der Stege 12 nicht bearbeitet. Die Stegscheitel 34 weisen somit eine konvex gekrümmte Oberfläche auf. Um sicherzustellen, dass benachbarte Abschnitte der Kühlkanäle 16 zueinander abgedichtet sind, ist das Vorsehen einer dicken, insbesondere flächig ausgebildeten Dichtung 24 ausreichend. Durch Vorsehen eines entsprechend dicken Dichtelements 24 ist es möglich, dass der Stegscheitel in das Dichtelement 24 hineingedrückt wird, so dass das Dichtelement 24 im Bereich des Stegscheitels 34 zusammengepresst ist. Durch das Vorsehen einer vorzugsweise flächigen und dicken Dichtung, die insbesondere eine Dicke von 3 mm oder mehr aufweist, ist es möglich, Unebenheiten in der Oberfläche des Gusses im Bereich der Stegscheitel von 1 bis 2 mm auszugleichen.
In einer weiteren Ausführungsform (3) ist die Innenseite 22 des Deckelelements 18 nicht mit einer flächigen Dichtung versehen. Stattdessen ist an einem, bezogen auf das Deckelelement 18, äußeren Befestigungssteg 14 ein Dichtelement 36 in Form eines O-Rings oder dergleichen vorgesehen. Ein entsprechendes Dichtelement 36 ist auch zwischen dem Deckelelement 18 und dem benachbarten Steg 12 angeordnet. Da die Innenseite der Kanäle 16 auch in diesem Ausführungsbeispiel vorzugsweise unbehandelt sind, ist es möglich, zur Vermeidung von Korrosion, das Deckelelement 18 ganz oder vollständig als Verzehranode auszubilden. Selbstverständlich können die Innenflächen der Kühlkanäle 18 auch mit einem Schutzlack versehen werden. Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der nach außen offenen Kühlkanäle 16 sind diese auf einfache Weise beispielsweise durch Aufsprühen von Lack beschichtbar.
Aus der in 3 dargestellten Ausführungsform ist ein Teil eines Schöpfraums 38 mit zumindest im dargestellten Teil zylindrischer Innenseite 40 sichtbar. Um ein zuverlässiges Kühlen des Schöpfraums bzw. der den Schöpfraum begrenzenden Kanalwand zu gewährleisten, ist es vorteilhaft, dass in die einzelnen Kanalgründe 28 der Kanäle 16 im Wesentlichen den selben Abstand zur Wärmequelle, d. h. zur Innenseite 40 des Schöpfraums aufweisen.
Da es erfindungsgemäß besonders bevorzugt ist, ein ebenes Deckelelement 18 vorzusehen, weisen die einzelnen Kanalabschnitte 16, wie insbesondere aus 3 ersichtlich ist, eine unterschiedliche Tiefe auf. Da es erfindungsgemäß weiter bevorzugt ist, dass der Querschnitt der Kühlkanäle in den einzelnen Teilabschnitten im Wesentlichen konstant bleibt, ist es erforderlich, die Breite der entsprechenden Abschnitte der Kühlkanäle 16 an die Tiefe anzupassen. Dies hat zur Folge, dass die Breite der Kanäle 16 in den einzelnen Abschnitten wie beispielsweise aus 4 ersichtlich ist, ausgebildet ist.
Die Strömung des Kühlfluids erfolgt hierbei beispielsweise wie durch die Pfeile schematisch dargestellt. Aus dem in 3 und 4 rechten Kanalabschnitt 16 strömt das Kühlmittel sodann in Richtung eines Pfeils 42 in ein Verbindungsrohr 44. Über das Verbindungsrohr 44 kann eine externe Kühlmittelzufuhr erfolgen. Bevorzugt ist es jedoch, dass das Verbindungsrohr 44 die in 3 dargestellten Abschnitte 16 des Kühlkanals mit einem entsprechenden Kühlkanal auf der gegenüberliegenden Außenseite des Gehäuses der Vakuumpumpe verbindet.
In einer Nut 46 (4) ist die Dichtung 36 angeordnet.
Bei dem in den 3 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel verlaufen die Abschnitte 16 der Kühlkanäle in Längsrichtung der Vakuumpumpe, d. h. senkrecht zur Zeichenebene in 3.
In dem in den 5 und 6 dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die Abdichtung zwischen dem Deckelelement 18 und den Befestigungsstegen 14 wiederum durch ein insbesondere als O-Ring ausgebildetes Dichtelement 36, das in der Nut 46 angeordnet ist. Insofern kann das Deckelelement 18 wiederum als Verzehranode ausgebildet sein. Ebenso ist es möglich, dass die Innenseite 22 des Deckelelements 18 mit einem Korrosionsschutzlack versehen ist.
In dem in 5 und 6 dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich um ein Gehäuse einer Schraubenvakuumpumpe, so dass der Schöpfraum 38 durch zwei sich schneidende, senkrecht zur Zeichenebene der 5 verlaufende Kreiszylinder ausgebildet ist. Um einen möglichst gleichmäßigen Temperaturübergang zwischen dem Schöpfraum 38 und dem Abschnitt des Kühlkanals 16 zu erzielen, ist die Stärke einer Gehäusewand 48 zumindest über große Bereiche konstant.
In dem in 5 dargestellten Bereich des Strömungskanals 16 fließt das Kühlfluid in Richtung eines Pfeils 50. Das Kühlfluid strömt somit quer zur Längsrichtung des Schöpfraums.
Wie sich aus 5 ergibt, weist der Strömungskanal 16 in Strömungsrichtung 50 bei einem ebenen Deckelelement 18 eine unterschiedliche Höhe auf. Da es erfindungsgemäß bevorzugt ist, dass die Querschnittsfläche des Strömungskanals in Strömungsrichtung im Wesentlichen konstant bleibt, muss sich die Breite des Strömungskanals verringern, wenn sich die Tiefe des Strömungskanals erhöht. Daher ergibt sich in Draufsicht (6) der dargestellte Verlauf des Strömungskanals sowie die in der Breite unregelmäßige Ausgestaltung der Stege 12. Das Fluid strömt hierbei in den Strömungskanälen, wie durch die Pfeile 50 dargestellt, so dass sich ein mäanderförmiger Strömungskanal ergibt. In Ausbuchtungen der Stege 12, 14 ist es möglich, zum Vorsehen von Befestigungsschrauben, Gewindebohrungen 52 vorzusehen. Über diese ist ein Befestigen des Deckelelements 18 möglich. In einem Randbereich bzw. am Anfang des Kühlkanals 16 ist eine Öffnung 54 vorgesehen, in die im dargestellten Ausführungsbeispiel ein als Rohr ausgebildeter Verbindungskanal 44 vorgesehen ist. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der rohrförmige Verbindungskanal 44 über einen Sicherungsring 56 fixiert. Ferner sind in Nuten 58 O-Ringe zur Dichtung vorgesehen.
Um ein gesamtes Gehäuse einer Schraubenvakuumpumpe (7) zu kühlen, können um den Schöpfraum herum eine Vielzahl von Stegen 12, 14 angeordnet sein. Hierdurch ist eine Vielzahl von Kanalabschnitten eines gemeinsamen Kühlkanals 16 ausgebildet. Die einzelnen Abschnitte der Kühlkanäle, die wiederum vorzugsweise mäanderförmig verlaufen, sind über im Gehäuse vorgesehene, vorzugsweise gegossene Verbindungskanäle 60 miteinander verbunden. Die durch die Stege 12, 14 ausgebildeten Kanäle sind wiederum über ebene Deckelelemente 18 verschlossen. Diese weisen im dargestellten Ausführungsbeispiel zur Dichtung in Nuten 46 angeordnete Dichtelemente 36 auf. Selbstverständlich ist es auch bei den vorstehenden Ausführungsformen möglich, ein flächiges Dichtelement 24 entsprechend der in 1 und 2 dargestellten Ausführungsform vorzusehen.
Die einzelnen Deckelelemente 18 müssen nicht wie in 7 dargestellt, in einem rechten Winkel zueinander angeordnet sein. Insbesondere wäre es in einem Randbereich (beispielsweise in 7, rechts oben) möglich, ein weiteres Deckelelement beispielsweise in einem 45°-Winkel anzuordnen, so dass die Tiefe der Kanäle in diesem Bereich reduziert werden kann. Dies geht bei einer erfindungsgemäß bevorzugten Beibehaltung des Strömungsquerschnitts mit einer Verbreiterung der Kanäle in diesem Bereich einher. Zudem besteht die Möglichkeit, die beiden außen befindlichen Gehäuseoberflächen mit gewölbten Schalen abzudecken, was durchaus auch für 1-Wellen-Maschinen, wie Turbomolekularpumpen, Gasgebläse oder auch Turboverdichter anwendbar ist (10).
Ferner kann in dem Gehäuse ein weiterer gegebenenfalls nicht durch ein Deckelelement verschlossener Kanal 62 vorgesehen sein. Bei diesem kann es sich um einen Abblaskanal handeln, wobei dieser auch durch ein entsprechendes Deckelelement verschlossen sein kann. Ferner ist es möglich, zusätzlich in dem Gehäuse Bohrungen für die Zufuhr von Spülgas oder Gasballast, wie aus dem Stand der Technik bekannt, vorzusehen.
Zur Vergleichmäßigung der Kühlung ist es ferner bevorzugt, dass die Kanäle derart ausgebildet sind, dass die zu kühlende Seiten, z. B. oben und unten häufiger gewechselt werden.
Die Anordnung der Kühlkanäle kann selbstverständlich auch derart erfolgen, dass nicht nur der Schöpfraum der Vakuumpumpe, sondern beispielsweise auch Umwegleitungen etc. gekühlt werden.
Je nach Verwendung der Vakuumpumpe, insbesondere in Kombination mit weiteren Vakuumpumpen, kann eine Kühlung entsprechend ausgestaltet sein. Beispielsweise ist es zweckmäßig, die Druckseite einer Pumpe stark zu Kühlen, um eine thermische Überlastung einer nachgeschalteten Pumpe zu vermeiden. In Folge der Kühlung kann einer größere Dichte des gepumpten Gases erzielt und somit bei gleichem Volumenstrom ein größerer Massenstrom gefördert werden. Insofern kann es auch zweckmäßig sein, einzelne Bereiche einer Pumpe bzw. einer Pumpenanordnung, in denen eine hohe Kompression stattfindet, stärker zu kühlen.
Bei einer weiteren Ausführungsform (8) dient das Deckelelement 18 einerseits zum Abschließen zweier einander gegenüberliegender Kanäle 16, die jeweils in einem Gehäuse 10 vorgesehen sind. Ferner kann in dem Deckelelement 18 eine Verbindungsbohrung 64 zur Verbindung der beiden Kanäle 16 vorgesehen sein. Das Deckelelement 18 kann als Flanschverbindung zweier Gehäuseteile 10 ausgebildet sein. Ferner kann das Deckelelement 18 derart ausgebildet sein, dass hierin Lagerelemente, die zur Lagerung von Pumpelementen dienen, vorgesehen ist.
Generell ist es möglich, dass Befestigungselemente wie Befestigungsschrauben auch durch Kanäle 16 hindurchgeführt sind. Hierbei ist der Schraubenschaft vorzugsweise von einer abdichtenden Hülse umgeben.
Um zu vermeiden, dass Kühlflüssigkeit aus den Kühlkanälen beispielsweise in den Schöpfraum eindringt, kann es vorteilhaft sein, zusätzlich zu Dichtelementen wie O-Ringen eine Schutzgasdichtung vorzusehen (9). Ebenso ist es möglich, einen Kontrollkanal 57 vorzusehen, um die Zuverlässigkeit der Dichtung zu überprüfen. Ein derartiger Kontrollkanal kann beispielsweise zwischen zwei konzentrisch zueinander angeordneten O-Ringen 36 angeordnet sein. An dem Kontrollkanal 57 kann z. B. ein statischer Druck gemessen werden, so dass sobald Undichtigkeiten zum Schöpfraum oder zur Kühlflüssigkeit auftreten, dieses unmittelbar an der Druckänderung festgestellt werden kann.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform (10) ist das Gehäuse 10 im Wesentlichen zylindrisch ausgebildet bzw. weist einen im Wesentlichen zylindrischen Querschnitt auf. An der Außenseite des Gehäuses 10 sind im Wesentlichen radial verlaufende Stege 12 angeordnet. Entsprechend der vorstehend beschriebenen Ausführungsformen sind die Scheitel der Stege 12 mit einem Dichtelement 24 abgedeckt, so dass einzelne Kanäle 16 ausgebildet sind. Das Dichtelement 24 ist von einem in dem in 10 dargestellten Ausführungsbeispiel rohrförmigen Deckelelement 18 umgeben. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die einzelnen Stege 12 entlang eines Viertelkreises durch jeweils einen Kern gebildet, der entsprechend in radiale Richtung entformt werden kann. In einem etwas breiter ausgebildeten Kanal 17 ist ein weiterer Kern angeordnet.
Nachfolgend wird anhand der 11 bis 13 die zweite unabhängige Erfindung erläutert, die jedoch auch mit Elementen der ersten Erfindung (1 bis 10) kombiniert werden kann. Ähnliche und identische Bauteile sind hierbei mit den selben Bezugszeichen gekennzeichnet.
Das Gehäuse 10 weist wie beispielsweise anhand der 1 und 2 beschrieben, Stege 12 auf, deren Stegscheitel 34 entsprechend 2 als konvexe unbehandelte Oberfläche ausgebildet sind. Zwischen den Stegen 12 ist jeweils eine, vorzugsweise ebenfalls unbehandelte, Außenseite 28 des Gehäuses vorgesehen.
Ein Gehäusedeckel 66 unterscheidet sich dahingehend von dem Gehäusedeckel 18, dass an einer Innenseite des Gehäusedeckels 66 Deckel-Stege 68 angeordnet sind, die in Richtung des Pumpengehäuses 10 weisen. Die Deckel-Stege 68 weisen vorzugsweise ebenfalls eine unbehandelte Oberfläche auf. In dem in 9 dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Gehäuse-Stege 12 und die Deckel-Stege 68 abwechselnd angeordnet, so dass ein mäanderförmiger Kühlkanal 16 ausgebildet ist. Das Kühlmittel strömt, wie beispielsweise durch den Pfeil 70 angedeutet, durch den Kühlkanal 16, wobei es abwechselnd von dem Gehäuse 10 weg und zu dem Gehäuse 10 hin strömt.
In der in 12 und 13 dargestellten Ausführungsform ist das vorstehend anhand 9 beschriebene Prinzip bei einem Gehäuseteil 72 wie einem Getriebedeckel realisiert. Das Gehäuseteil 72 weist eine umlaufende Außenseite 74 auf, die sich gegenüber einem Verbindungsflansch 76 erstreckt. An der Oberseite ist das Gehäuseteil 72 durch eine Außenwand 78 verschlossen. Innerhalb des Gehäuseteils 72 ist beispielsweise ein Getriebe angeordnet.
Ein Deckelelement 66 (13) wird zur Ausbildung von Kühlkanälen auf das Gehäuseteil 72 in 10 von oben aufgesetzt. Im montiertem Zustand liegt somit eine Dichtfläche 80 des Gehäusedeckels 66 an einer Dichtfläche 82 des Gehäuseteils 72 an. In diesem Bereich ist eine Dichtung vorgesehen. Ferner ist eine weitere Dichtung an einer Stirnseite 84 des Deckelelements 66 vorgesehen. Hierbei handelt es sich insbesondere um einen O-Ring, der an einer Fläche 86 des Flanschteils 76 anliegt.
An der Außenseite 74 sind Gehäuse-Stege 12 um den gesamten Umfang des Gehäuseteils 72 angeordnet. Das Deckelelement 66 weist an der Deckelinnenseite 86 Deckel-Stege 68 auf. Diese sind in montiertem Zustand zwischen den Gehäuse-Stegen 12 angeordnet, so dass ein mäanderförmiger Kühlkanal 16 ausgebildet ist.
Bei der in 12 und 13 dargestellten Ausführungsform ist insbesondere eine Herstellung der Bauteile im Aluminium-Druckguss vorteilhaft. Hierbei sind O-Ring-Nutendichtflächen und Durchgangsbohrungen fertiggegossen und können ohne Nachbearbeitung verwendet werden. Gegebenenfalls kann ein Hartanodisieren der Oberflächen erfolgen. Aluminium-Druckguss hat insbesondere den Vorteil, dass hohe Genauigkeiten erzielt werden können, so dass Nachbearbeitungen üblicherweise nicht erforderlich sind.

Claims

Vakuumpumpengehäuse, insbesondere aus Grau- oder Sphäro-, Aluminium- oder Edelstahl-Guss, mit an einer Gehäuseaußenseite angeordneten Stegen (12, 14) und einem mit dem Gehäuse (10) verbundenen Deckelelement (18), das sich über mindestens zwei Stege (12, 14) erstreckt, wobei durch eine Innenseite (22) des Deckelelements (18) und zwei einander gegenüberliegende Seitenwände (26) benachbarter Stege (12, 14) ein Kühlkanal (16) zur Durchleitung von Kühlfluid ausgebildet ist.
Vakuumpumpengehäuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Kühlkanal ferner durch einen Abschnitt (28) der Gehäuseaußenseite begrenzt ist.
Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenwände (26) der Stege (12, 14) und/oder Abschnitt (28) der Gehäuseaußenseite als unbehandelte Gussoberfläche ausgebildet ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass ein in Richtung des Dichtelements (18) weisender Stegscheitel (34) als unbehandelte Gussoberfläche ausgebildet ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass an der Innenseite (22) des Deckelelements (18) ein vorzugsweise flächig ausgebildetes Dichtelement (24) vorgesehen ist.
Vakuumpumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Dichtelement (24) die gesamte Innenseite (22) bedeckt.
Vakuumpumpe nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Dichtelement (24) derart ausgebildet ist, dass es im montiertem Zustand in die Seitenwand (26) der Stege (12, 14) ragt.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass an der Gehäuseaußenseite mehrere Stege (12, 14) derart angeordnet sind, dass ein meanderförmiger Kühlkanal (16) ausgebildet ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenseite (22) des Deckelelements (18) eben ausgebildet ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Querschnittsfläche eines Strömungskanals (16) zumindest im Bereich einer Gehäuseseite im Wesentlichen konstant ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Kanalabschnitte eines Kühlkanals (16) im Kanalgrund (28) im Wesentlichen den gleichen Abstand zur Wärmequelle wie einem Schöpfraum aufweisen.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein Teil der Stege (14), insbesondere die außenliegenden Stege als Befestigungsstege zur Befestigung des Deckelelements (18) ausgebildet sind.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch einen, auf einer Gehäuseseite angeordneten Kühlkanal (16) mit einem auf einer anderen Gehäuseseite angeordneten Kühlkanal (16) verbindenden Verbindungskanal (44).
Vakuumpumpe nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Verbindungskanal (44) im Gehäuse oder als insbesondere außerhalb des Gehäuses angeordnetes Verbindungsrohr ausgebildet ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Deckelelement (18) zumindest teilweise als Verzehranode ausgebildet ist.
Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Deckelelement (18) Zusatzfunktionen aufweist, insbesondere als Flansch ausgebildet ist.
Vakuumpumpengehäuse, insbesondere aus Grau- oder Sphäro-, Aluminium- oder Edelstahl-Guss, mit an einer Gehäuseaußenseite angeordneten Stegen (12) und einem mit dem Gehäuse (10) verbundenen Deckelelement (66), das an einer in Richtung des Gehäuses (10) weisenden Deckelinnenseite (86) Stege (68) aufweist, wobei durch die Stege (12, 68) ein Kühlkanal (16) ausgebildet ist.
Vakuumpumpengehäuse nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass sich zumindest ein Gehäuse-Steg (12) in Längsrichtung mit einem Deckel-Steg (68) überdeckt.