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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
(LCD-Vorrichtung)
und betrifft insbesondere eine transflektive LCD-Vorrichtung, die
selektiv einen Reflex-Modus und einen Transmissions-Modus in einer
LCD-Vorrichtung mit einem Modus mit senkrechter Ausrichtung verwenden
kann.
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Im
Allgemeinen wurden bisher Braun'sche Röhren, d.h.
Kathodenstrahlröhren
(CRTs) unter den Anzeigevorrichtungen zum Anzeigen von Bilddaten auf
einem Bildschirm verwendet, jedoch ist der Gebrauch von CRTs beschwerlich,
da die Braun'schen Röhren große Ausmaße aufweisen
im Vergleich zu ihren Anzeigeflächen.
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Heutzutage
werden Anzeigevorrichtungen, deren Verwendung auf Braun'sche Fernseherröhren (TV-Röhren) beschränkt war,
mit der Entwicklung der elektronischen Industrie ausgeweitet auf
Arbeitsplatzrechner (PC), Notebook-Computer, drahtlose Terminals,
Armaturenbretter von Automobilen und eine Anzeigetafel. Ebenso ist,
da eine große
Anzahl an Bilddaten dank der Entwicklung einer Telekommunikation
von Informationen übermittelt
werden kann, eine nächste
Generation an Anzeigevorrichtung im höchsten Maße gefordert, die fähig ist,
die große
Kapazität
an Bilddaten zu verarbeiten und darzustellen.
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Die
nächste
Generation an Anzeigevorrichtungen sollte ein geringes Gewicht,
große
Helligkeit, einen großen
Bildschirm, geringen Energieverbrauch und niedrige Herstellungskosten
realisieren. Seit Kurzem steht eine LCD-Vorrichtung als eine Anzeigevorrichtung
der nächsten
Generation im Rampenlicht.
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Die
LCD weist hervorragende Bildschirmauflösung auf im Vergleich zu anderen
Flachanzeigevorrichtungen und weist in einem Aspekt der Bildqualität nahezu
die gleiche schnelle Ansprechzeit wie die CRT auf, wenn Bewegtbilder
realisiert werden.
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Die
LCD nutzt optische anisotropische und dielektrische Eigenschaften
von Flüssigkristallen.
Da die Flüssigkristalle
eine dünne,
lang gestreckte Struktur aufweisen, weisen die Flüssigkristalle
eine Richtungsabhängigkeit
in ihrer molekularen Anordnung auf. Dementsprechend kann die Richtung
der molekularen Anordnung mittels Anlegens eines elektrischen Feldes
an die Flüssigkristalle
(Moleküle) kontrolliert
werden.
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Folglich ändert sich
die molekulare Anordnung der Flüssigkristalle,
wenn die Ausrichtung der molekularen Anordnung der Flüssigkristalle
willkürlich
angepasst wird, und Licht wird in Richtung der molekularen Anordnung
der Flüssigkristalle
durch die optische Anisotropie gebrochen, so dass die Bilddaten
dargestellt werden können.
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Verdreht-nematische
(TN) LCD-Vorrichtungen stellen eine der LCD-Vorrichtungen dar, die
nunmehr weit verbreitet genutzt werden. Bei einer TN-LCD-Vorrichtung
sind Elektroden für
jeweils zwei Substrate vorgesehen, Direktoren werden solcherart ausgerichtet,
dass sie um 90° verdreht
sind, und eine Spannung wird an die Elektroden zum Ansteuern der Direktoren
angelegt.
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Neben
der TN-LCD-Vorrichtung beinhaltet ein Flüssigkristallmodus, der dielektrische
Anisotropie nutzt, elektrisch kontrollierbare Doppelbrechung (ECB)
und eine Guest-Host-(Gast-Wirt-)Technik (GH).
Der ECB-Modus nutzt einen Flüssigkristall
(LC) negativen Typs, der negative dielektrische Anisotropie (Δε < 0) aufweist, wobei
der LC in einer Richtung senkrecht zu einem elektrischen Feld ausgerichtet ist.
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Ein
vertikaler Ausrichtungsmodus (VA) der ECB-Modi weist eine geringe
Variationsbreite einer Ansprechzeit hinsichtlich einer Grauskala-Spannung auf
und weist somit einen Vorteil auf, dass eine Ansprechcharakteristik
im Vergleich zu den TN-LCD-Vorrichtung hervorragend ist.
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In
der LCD-Vorrichtung mit VA-Modus werden LCs, die negative elektrische
Anisotropie aufweisen, zwischen oberem Substrat und unterem Substrat
eingefügt,
eine VA-Schicht ist auf einander gegenüberliegenden (und zugewandten)
Oberflächen
des oberen Substrats und des unteren Substrats gebildet, Polarisatoren
sind auf Rückseiten
der einander gegenüberliegenden
Oberflächen
befestigt. An diesem Punkt sind LC-Ansteuerungselektroden auf den jeweiligen,
einander gegenüberliegenden
Oberflächen bereitgestellt
und die Polarisatoren sind solcherart befestigt, dass die Polarisationsachsen
der jeweiligen Polarisatoren senkrecht aufeinander stehen.
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In
der LCD-Vorrichtung mit VA-Modus sind die LC-Moleküle senkrecht
angeordnet in Bezug auf die Substrate, die unter dem Einfluss der
VA-Schicht stehen. An diesem Punkt ist, da die Polarisationsachsen
des oberen Polarisators und des unteren Polarisators einander senkrecht überschneiden,
ein Bildschirm schwarz.
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Unterdessen
werden, wenn ein elektrisches Feld zwischen den ansteuernden Elektroden
des oberen Substrats und des unteren Substrats gebildet wird, die
LC-Moleküle
solcherart verdreht, dass sie senkrecht zu einer Richtung des elektrischen
Feldes stehen, entsprechend der Eigenschaft der LCs, die die negative
dielektrische Anisotropie aufweisen. Dementsprechend wird Licht
durch die LC-Moleküle hindurch
gelassen und der Bildschirm wird weiß.
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An
diesem Punkt sind, da die LC-Moleküle eine Stabform aufweisen,
Brechungsindizes und Durchlässigkeiten
einer Längsachse
und einer kurzen Achse verschieden voneinander. Dementsprechend
wird der Brechungsindex in Abhängigkeit
einer Richtung, in der die LC-Moleküle betrachtet
werden, variiert. Infolgedessen wird ein Unterschied generiert zwischen
einem Blickwinkel, wenn ein Bildschirm von einer Vorderseite betrachtet
wird, und einem Blickwinkel, wenn der Bildschirm von einem seitlichen Standpunkt
aus betrachtet wird.
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Folglich
wird, um dieses Problem zu lösen, eine
Pixelelektrode des unteren Substrats in einer Spaltform innerhalb
einer Pixeleinheit gebildet, so dass eine Mehrbereichs-Struktur
gebildet wird, wenn ein elektrisches Feld gemäß dem Stand der Technik gebildet
wird.
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Das
heißt,
wenn das elektrische Feld zwischen der Pixelelektrode und einer
gemeinsamen Elektrode gebildet ist, wird die Anisotropie zwischen der
Längsachse
und der kurzen Achse des LC-Moleküls kompensiert, indem eine
Richtung geändert wird,
in der das LC-Molekül
verdreht wird.
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Jedoch
wird eine LC-Vorrichtung mit VA-Modus einer Mehrbereichs-Struktur,
die oben genannte Konstruktion aufweist, in Transmissions-LCD-Vorrichtung
mit VA-Modus eingeordnet, die ein Hintergrundlicht als Lichtquelle
verwendet, und eine Reflexions-LCD- Vorrichtung mit VA-Modus, die natürliches
Licht und künstliches
Licht verwendet, ohne Hintergrundlicht als Lichtquelle.
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An
diesem Punkt realisiert die Transmissions-LCD-Vorrichtung mit VA-Modus
ein helles Bild unter Verwendung eines Hintergrundlichts als einer Lichtquelle
sogar in einer dunklen äußeren Umgebung.
Jedoch kann die Transmissions-LCD-Vorrichtung mit VA-Modus nicht
verwendet werden und verbraucht viel Energie.
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Auf
der anderen Seite kann die Reflexions-LCD-Vorrichtung mit VA-Modus
den Energieverbrauch senken, weil sie kein Hintergrundlicht verwendet,
aber sie kann nicht verwendet werden, wenn die äußere natürliche Beleuchtung dunkel ist.
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Dementsprechend
ist die vorliegende Erfindung auf eine transflektive LCD-Vorrichtung
gerichtet und ein Verfahren zum Herstellen derselben, die im Wesentlichen
ein Problem oder mehr Probleme aufgrund von Einschränkungen
und Nachteilen gemäß dem Stand
der Technik mindert oder löst.
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Ein
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist es, eine transflektive
LCD-Vorrichtung bereitzustellen, die selektiv in einem Reflex-Modus
oder einem Transmissions-Modus betrieben werden kann, indem ein
Aperturverhältnis
erhöht
wird und indem die Bildqualität
in einer LCD-Vorrichtung mit VA-Modus einer Mehrbereichs-Struktur
verbessert wird, und ein Verfahren zum Herstellen derselben.
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Zusätzliche
Vorteile, Gegenstände
und Merkmale der Erfindung werden teilweise in der folgenden Beschreibung
bekannt gemacht und werden teilweise dem gewöhnlichen Fachmann beim Studium
des Folgenden ersichtlich werden oder können durch Anwenden der Erfindung
erlernt werden. Die Ziele und andere Vorteile der Erfindung können mittels
der in der geschriebenen Beschreibung und den sich hieraus ergebenden
Ansprüchen
sowie den angehängten
Zeichnungen besonders hervorgehobenen Struktur realisiert und erreicht
werden.
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Zum
Erreichen dieser Gegenstände
und anderer Vorteile und in Übereinstimmung
mit dem Ziel der Erfindung, wie hierin ausgeführt und allgemein beschrieben,
wird eine transflektive Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
bereitgestellt, aufweisend: Gate-Leitungen und Daten-Leitungen, die so
angeordnet sind, dass sie einander auf einem ersten Substrat überkreuzen, wobei
ein Pixelbereich definiert wird, der einen Reflexionsbereich aufweist
und einen Transmissionsbereich; Dünnschichttransistoren, die jeweils
an jedem der Kreuzungspunkte der Gate-Leitungen mit den Daten-Leitungen
gebildet sind und die jeweils eine Gate-Elektrode, eine Halbleiterschicht, eine
Source-Elektrode und eine Drain-Elektrode aufweisen; eine transparente
Elektrode, die mit dem Dünnschichttransistor
verbunden ist und die in dem Transmissionsbereich gebildet ist;
eine Reflexions-Elektrode, die mit dem Dünnschichttransistor verbunden
ist und die in dem Reflexionsbereich gebildet ist; eine Verbindungselektrode
zum elektrischen Verbinden der transparenten Elektrode mit der Reflexions-Elektrode;
eine erste Speicherelektrode, die in dem Reflexionsbereich gebildet
ist, und eine zweite Speicherelektrode, die unterhalb der Verbindungselektrode
gebildet ist; ein zweites Substrat, das dem ersten Substrat gegenüberliegend
und zugewandt angeordnet ist; und eine Flüssigkristallschicht, die zwischen
das erste Substrat und das zweite Substrat eingefügt ist.
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In
einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine transflektive
Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
bereitgestellt, aufweisend: Gate-Leitungen und Daten-Leitungen,
die so angeordnet sind, dass sie einander auf einem Substrat überkreuzen,
wobei ein Pixelbereich definiert wird, der einen Reflexionsbereich
und einen Transmissionsbereich aufweist; Dünnschichttransistoren, die
jeweils an jedem der Kreuzungspunkte der Gate-Leitungen mit den
Daten-Leitungen gebildet sind und die jeweils eine Gate-Elektrode,
eine Halbleiterschicht, eine Source-Elektrode und eine Drain-Elektrode
aufweisen; eine transparente Elektrode, die mit dem Dünnschichttransistor
verbunden ist und die in dem Transmissionsbereich gebildet ist;
eine Reflexions-Elektrode, die mit dem Dünnschichttransistor verbunden
ist und die in dem Reflexionsbereich gebildet ist; eine Verbindungselektrode
zum elektrischen Verbinden der transparenten Elektrode mit der Reflexions-Elektrode;
und eine erste Speicherelektrode, die in dem Reflexionsbereich gebildet
ist, und eine zweite Speicherelektrode, die in einem unteren Bereich
der Verbindungselektrode gebildet ist.
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In
einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren
zum Herstellen einer transflektiven Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
bereitgestellt, das Verfahren aufweisend: Bilden von Gate-Leitungen
auf einem ersten Substrat, in dem ein Pixelbereich definiert wird,
der einen ersten Bereich und einen zweiten Bereich aufweist; Bilden
einer Speicherleitung jeweils parallel zu jeder Gate-Leitung, einer
ersten Speicherelektrode, die von der Speicherleitung abzweigt und
in dem ersten Bereich gebildet wird, und einer zweiten Speicherelektrode,
die auf einer Grenze zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten
Bereich gebildet wird; Bilden einer isolierenden Schicht auf einer
gesamten Oberfläche
des ersten Substrats; Bilden von Daten-Leitungen, die die Gate-Leitungen
jeweils überkreuzen;
Bilden eines Dünnschichttransistors
auf den Kreuzungspunkten der Gate-Leitungen mit den Daten-Leitungen;
Bilden einer transparenten Elektrode in dem zweiten Bereich, die
mit dem Dünnschichttransistor
verbunden ist; Bilden einer Reflexions-Elektrode, die mit dem Dünnschichttransistor verbunden
ist, in dem ersten Bereich; Bilden einer Verbindungselektrode zum
elektrischen Verbinden der transparenten Elektrode mit der Reflexions-Elektrode
auf der zweiten Speicherelektrode; Anordnen eines zweiten Substrats
gegenüberliegend
von dem ersten Substrat und diesem zugewandt; und Einfügen einer
Flüssigkristallschicht
zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat.
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Dementsprechend
verbessert die vorliegende Erfindung ein Aperturverhältnis, indem
die Fläche eines
Transmissionsbereichs vergrößert wird
gegenüber
eine Fläche
eines Reflexionsbereichs in einer transflektiven Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung.
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Ebenso
stellt die vorliegende Erfindung die Gesamtspeicherkapazität sicher,
verbessert eine Eigenschaft der Bildqualität und verbessert eine Eigenschaft
des Betrachtungswinkels, indem in einer transflektiven LCD-Vorrichtung
mit VA-Modus eine Mehrbereichs-Struktur gebildet wird und indem
ein Speicherkondensator zwischen jeweiligen Bereichen gebildet wird.
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Es
ist zu bemerken, dass beide, die vorgehende allgemeine Beschreibung
und die nachstehende detaillierte Beschreibung der vorliegenden
Erfindung exemplarisch und erläuternd
sind und vorgesehen sind, weitere Erklärungen der Erfindung wie beansprucht
bereitzustellen.
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Die
begleitenden Zeichnungen, die beigefügt sind, um ein weitergehendes
Verständnis
der Erfindung zu liefern und die eingefügt sind in und einen Teil dieser
Anmeldung darstellen, illustrieren Ausführungsformen der Erfindung
und dienen zusammen mit der Beschreibung, um das Prinzip der Erfindung zu
erklären.
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In
der Zeichnung:
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1 zeigt
eine schematische Draufsicht, in der ein Bereich eines Pixelbereichs
in einem Matrix-Substrat einer Mehrbereichs-LCD-Vorrichtung mit
VA-Modus dargestellt ist, entsprechend einer ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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2 zeigt
eine Querschnittansicht von 1 entlang
einer Linie I-I';
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3 zeigt
eine Draufsicht eines Matrix-Substrats einer transflektiven LCD-Vorrichtung mit
VA-Modus entsprechend einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung; und
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4 zeigt
eine Querschnittansicht aus 3 entlang
der einer Linie II-II'.
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Bezug
wird nun im Detail genommen auf die bevorzugten Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung, wobei Beispiele derselben in den beigefügten Zeichnungen
dargestellt sind.
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Eine
transflektive LCD-Vorrichtung mit VA-Modus weist sowohl einen Reflexionsbereich
als auch einen Transmissionsbereich innerhalb einer Pixelbereichseinheit
auf, so dass beide, sowohl eine Funktion einer Transmissions-LCD-Vorrichtung
und eine Funktion einer Reflexions-LCD-Vorrichtung bereitgestellt
sind. Die transflektive LCD-Vorrichtung mit VA-Modus kann beide Lichtquellen nutzen,
sowohl Licht von einer Hintergrund-Beleuchtungseinheit als auch externes
natürliches
Licht oder externes künstliches
Licht, und weist somit einen Vorteil auf, den Energieverbrauch ohne
durch benachbarte Umgebungen hervorgerufene Beeinträchtigungen
zu senken.
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1 zeigt
eine schematische Draufsicht, die einen Bereich eines Pixelbereichs
in einem Matrix-Substrat einer Mehrbereichs-LCD-Vorrichtung mit
VA-Modus darstellt, entsprechend einer ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung, und 2 zeigt
eine Querschnittansicht von 1 entlang
einer Linie I-I'.
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Bezugnehmend
auf 1 und 2, weist die transflektive LCD-Vorrichtung
mit VA-Modus ein Matrix-Substrat 100 auf.
Gate-Leitungen 125 und Daten-Leitungen 139 des
Matrix-Substrats 100 überkreuzen
einander rechtwinklig, so dass Pixelbereiche P definiert werden.
Ein Dünnschichttransistor
(TFT) ist auf jedem der Kreuzungspunkte der Gate-Leitungen 125 mit den Daten-Leitungen 139 gebildet.
Eine Pixelelektrode, die mit dem TFT verbunden ist, ist mittels
eines Spaltes in einen ersten Bereich A und einen zweiten Bereich
B unterteilt, so dass sie eine erste Pixelelektrode 161a und
eine zweite Pixelelektrode 161b aufweist. Die erste Pixelelektrode 161a und
die zweite Pixelelektrode 161b sind miteinander mittels
einer Verbindungs-Pixelelektrode 160 verbunden.
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Der
erste Bereich A und der zweite Bereich B sind elektrisch miteinander
verbunden mittels der Verbindungs-Pixelelektrode 160, die
die erste Pixelelektrode 161a mit der zweiten Pixelelektrode 161b verbindet,
und werden mittels Signalen angesteuert, die von dem TFT übertragen
werden.
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Der
erste Bereich A des Matrix-Substrats der transflektiven LCD-Vorrichtung
mit VA-Modus weist ferner eine Reflexionselektrode 149 auf
oder unter der ersten Pixelelektrode 161a als einen Reflexionsbereich
RA auf, und der zweite Bereich B nutzt die zweite Pixelelektrode 161b als
einen Transmissionsbereich TA (eine Transmissions-Elektrode), so
dass die transflektive LCD-Vorrichtung mit VA-Modus selektiv in
einem Reflex-Modus und einem Transmissions-Modus betrieben werden
kann.
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Ebenso
weist der TFT eine Gate-Elektrode 123 auf, eine Source-Elektrode 135,
eine Drain-Elektrode 137 und
eine aktive Schicht 131, die auf der Gate-Elektrode 123 gebildet
sind.
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Eine
Speicherleitung 144 ist in einem vorbestimmten Abstand
von und parallel zu der Gate-Leitung 125 gebildet.
Die Speicherleitung 144 ist mit einer ersten Speicherelektrode 143a und
einer zweiten Speicherelektrode 143b verbunden.
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Die
erste Speicherelektrode 143a ist in einem Bereich des Reflexionsbereichs
RA gebildet, und die zweite Speicherelektrode 143b ist
unterhalb der Verbindungs-Pixelelektrode 160 gebildet.
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Eine
Gate-isolierende Schicht 129, eine Passivierungsschicht 145 und
eine organische isolierende Schicht 147, die zwischen der
ersten Speicherelektrode 143a und der ersten Pixelelektrode 161a gestapelt
sind, dienen als ein Dielektrikum, so dass ein erster Speicherkondensator
Cst1 zwischen der ersten Speicherelektrode 143a und der
ersten Pixelelektrode 161a oberhalb der ersten Speicherelektrode 143a gebildet
ist. Ebenso ist ein zweiter Speicherkondensator Cst2 zwischen der
zweiten Speicherelektrode 143b und der Verbindungs-Pixelelektrode 160 gebildet.
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Da
der erste Speicherkondensator Cst1 und der zweite Speicherkondensator
Cst2 zum Sicherstellen der Speicherkapazität in der transflektiven LCD-Vorrichtung
mit VA-Modus, die die oben beschrieben Struktur aufweist, gebildet
sind, ändert sich
die Kapazität
der Speicherkondensatoren Cst fast nicht, selbst wenn eine Größe des Reflexionsbereichs
RA gesenkt wird und eine Größe des Transmissionsbereichs
TA erhöht
wird, so dass das Aperturverhältnis
verbessert wird. Dementsprechend gibt es fast keine Schwankung in
einem Pixelspannungsabfall ΔVp
und somit verbessert sich nicht nur das Aperturverhältnis, sondern
auch die Bildqualität
verbessert sich.
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Folglich
ist es möglich,
einen Bereich des Reflexionsbereichs RA zu vergrößern gegenüber einem Bereich des Transmissionsbereichs
TA, so dass ein für
einen größeren Bildschirm
erforderliches Aperturverhältnis
und vom Nutzer benötigte
Umgebung sichergestellt wird.
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Unterdessen
kann die organische isolierende Schicht 147 Unebenheitsstrukturen 147a des
Reflexionsbereichs RA aufweisen, so dass eine Reflexionsausbeute
sogar noch weiter gesteigert wird, und kann einen geätzten Graben 148 des
Transmissionsbereichs TA aufweisen, so dass eine doppelte Zelllücke gebildet
wird. Die Reflexions-Elektrode 149 ist gebildet auf und
entlang einer Kurve der Unebenheitsstruktur 147a des Reflexionsbereichs
RA.
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Eine
doppelte Zelllücke
ist in dem Reflexionsbereich RA und dem Transmissionsbereich TA der
transflektiven LCD-Vorrichtung mittels des geätzten Grabens 148 verwirklicht,
der in dem Transmissionsbereich TA der organischen isolierenden
Schicht 147 gebildet ist. Eine Zelllücke d1 des Transmissionsbereichs
TA ist etwa doppelt so groß wie
die Zelllücke
d2 des Reflexionsbereichs RA, so dass sich Lichtausbeuten des Reflexionsbereichs
RA und des Transmissionsbereichs TA verbessern.
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Bezugnehmend
auf 2, liegt ein Farbfilter-Substrat 180,
das eine Schwarzmatrix 181 und Farbfilter 182 aufweist,
dem Matrix-Substrat 100 gegenüber und ist ihm zugewandt.
Das Farbfiltersubstrat 180 weist eine gemeinsame Elektrode 185 auf.
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Ebenso
ist eine dielektrische Vorwölbung 188 auf
der gemeinsamen Elektrode 185 gebildet, so dass ein elektrisches
Feld verzerrt wird, so dass ein Mehrbereichs-Effekt erzielt wird.
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Da
eine Doppelbereich-LCD-Vorrichtung mit VA-Modus, die die oben genannte
Struktur aufweist, Flüssigkristallmoleküle auf verschiedene
Weisen ansteuern kann, unter Verwendung eines Pixelelektroden-Spaltes „s" des Matrix-Substrats 100 und
der dielektrischen Vorwölbung 188 des
Farbfiltersubstrats 180 beim Ansteuern der LC, kann ein
Mehrbereichs-Effekt
verwirklicht werden. An diesem Punkt kann der erste Bereich A als
der Reflexionsbereich RA verwendet werden, und der zweite Bereich
B kann als der Transmissionsbereich TA verwendet werden, so dass
ein Reflex-Modus und der Transmissions-Modus selektiv angesteuert
werden können.
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Ebenso
ist ein Aperturverhältnis
verbessert, indem eine Fläche
des Transmissionsbereichs vergrößert wird
gegenüber
der Fläche
des Reflexionsbereichs in der transflektiven LCD-Vorrichtung.
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Ebenso
stellt die vorliegende Erfindung die Gesamtspeicherkapazität sicher,
verbessert eine Eigenschaft der Bildqualität und verbessert eine Eigenschaft
des Betrachtungswinkels, indem eine Mehrbereichs-Struktur gebildet
wird und indem ein Speicherkondensator zwischen den jeweiligen Bereichen
in einer transflektiven LCD-Vorrichtung mit VA-Modus gebildet wird.
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3 zeigt
eine Draufsicht eines Matrix-Substrats einer transflektiven LCD-Vorrichtung mit
VA-Modus gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Bezugnehmend
auf 3 weist die transflektive LCD-Vorrichtung mit
VA-Modus ein Matrix-Substrat 200 auf, das eine Vielzahl
an TFTs aufweist, die als Schaltvorrichtungen fungieren, die in
einer Matrix-Bauart angeordnet sind. Gate-Leitungen 225 und
Daten-Leitungen 239 überkreuzen
einander auf den TFTs.
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An
diesem Punkt sind Bereiche, die mittels der Kreuzungspunkte der
Gate-Leitungen 225 mit den Daten-Leitungen 239 festgelegt
sind, als Pixelbereiche P definiert.
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Der
TFT weist eine Gate-Elektrode 223 auf, eine Source-Elektrode 235,
eine Drain-Elektrode 237 und eine aktive Schicht 231,
die auf der Gate-Elektrode 223 gebildet sind.
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Ebenso
ist eine Speicherleitung 244 um einen vorbestimmten Abstand
entfernt von und parallel zu der Gate-Leitung 225 gebildet.
Eine Vielzahl an Speicherelektroden 243, die mit der Speicherleitung 244 verbunden
sind, sind in dem Pixelbereich P gebildet.
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Da
eine Mehrbereichs-LCD-Vorrichtung mit VA-Modus, die die oben genannte
Struktur aufweist, LC-Moleküle
auf verschiedene Weisen unter Verwendung eines Pixelelektroden-Spaltes „s" des Matrix-Substrats 200 und
einer dielektrischen Vorwölbung 288 eines
Farbfiltersubstrats 280 ansteuern kann, wenn die LC angesteuert
werden, kann ein Mehrbereichs-Effekt erzielt werden. An diesem Punkt kann
ein erster Bereich A als ein Reflexionsbereich RA verwendet werden
und ein zweiter Bereich B und ein dritter Bereich C können als
ein Transmissionsbereich TA verwendet werden, so dass ein Reflex-Modus
und der Transmissions-Modus selektiv angesteuert werden können.
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An
diesem Punkt kann ein Aperturverhältnis verbessert werden, indem
eine Fläche
eines Transmissionsbereichs TA vergrößert wird gegenüber der Fläche eines
Reflexionsbereichs RA in der transflektiven LCD-Vorrichtung.
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Eine
Reflexions-Elektrode 249 ist in dem Reflexionsbereich RA
gebildet, und eine Pixelelektrode ist mit einer Drain-Elektrode 237 des
TFT verbunden. Die Pixelelektrode ist in einen ersten Bereich A,
einen zweiten Bereich B und einen dritten Bereich C unterteilt,
mittels eines Spaltes „s", so dass sie eine
erste Pixelelektrode 261a, eine zweite Pixelelektrode 261b und
eine dritte Pixelelektrode 261c aufweist. Die erste Pixelelektrode 261a,
die zweite Pixelelektrode 261b und die dritte Pixelelektrode 261c sind
mittels der ersten Verbindungs-Pixelelektrode 260a und
der zweiten Verbindungs-Pixelelektrode 260b verbunden.
In einer alternativen Ausführungsform
der Erfindung ist es vorgesehen, dass die Pixelelektrode als transparente
Elektrode nur in dem zweiten Bereich B gebildet wird.
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Ebenso
sind die erste Pixelelektrode 261a und die Reflexions-Elektrode 249 in
dem Reflexionsbereich RA gebildet, und die zweite Pixelelektrode 261b und
die dritte Pixelelektrode 261c sind in dem Transmissionsbereich
TA gebildet, so dass sie als Transmissionselektroden dienen.
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Der
erste Bereich A, der zweite Bereich B und der dritte Bereich C sind
elektrisch verbunden mittels einer ersten Verbindungs-Pixelelektrode 260a zum
Verbinden der ersten Pixelelektrode 261a mit der zweiten
Pixelelektrode 261b, und mittels einer zweiten Verbindungs-Pixelelektrode 260b zum
Verbinden der zweiten Pixelelektrode 261b mit der dritten
Pixelelektrode 261c, und werden mittels von dem TFT übertragenen
Signalen angesteuert.
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Obwohl
nicht dargestellt, ist eine organische isolierende Schicht 247,
die eine Unebenheitsstruktur 247a zum noch weiteren Verbessern
einer Reflexionsausbeute aufweist, in dem Reflexionsbereich RA gebildet.
Ein geätzter
Graben 248 ist in der organischen isolierenden Schicht 247 des
Transmissionsbereichs TA gebildet, so dass eine doppelte Zelllücke gebildet
ist. Die Reflexionselektrode 249 ist gebildet auf und entlang
einer Kurve der Unebenheitsstruktur 247a des Reflexionsbereichs
RA.
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Unterdessen
sind, wie kurz oben beschrieben, eine Vielzahl an Speicherelektroden 243,
die mit der Speicherleitung 244 verbunden sind, in dem
Pixelbereich P gebildet.
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Die
Speicherelektrode 243 weist eine erste Speicherelektrode 243a auf,
eine zweite Speicherelektrode 243b und eine dritte Speicherelektrode 243c.
Die erste Speicherelektrode 243a bildet einen ersten Speicherkondensator
Cst1 unter Beteiligung der ersten Pixelelektrode 261a in
dem Reflexionsbereich RA, die zweite Speicherelektrode 243b bildet einen
zweiten Speicherkondensator Cst2 unter Beteiligung einer ersten
Verbindungs-Pixelelektrode 260a zwischen dem ersten Bereich
A und dem zweiten Bereich B. Ebenso bildet die dritte Speicherelektrode 243c einen
dritten Speicherkondensator Cst3 unter Beteiligung einer zweiten
Verbindungs-Pixelelektrode 260b zwischen dem zweiten Bereich
B und dem dritten Bereich C.
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Die
Summe der Kapazitäten
des ersten Speicherkondensators Cst1, des zweiten Speicherkondensators
Cst2 und des dritten Speicherkondensators Cst3 ergibt die Gesamtkapazität eines
Pixel.
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Ein
Bereich zwischen dem ersten Bereich A und dem zweiten Bereich B
und ein Bereich zwischen dem zweiten Bereich B und dem dritten Bereich
C sind mittels eines Spaltes „s" um einen vorbestimmten
Abstand voneinander getrennt, so dass die Pixelelektroden 261a, 261b und 261c getrennt
sind. Da eine LC-Schicht 270, die in einer Position angeordnet ist,
die dem Spalt „s" entspricht, nicht
angesteuert ist, kann die Speicherleitung 244 mit der zweiten
Speicherelektrode 243b und der dritten Speicherelektrode 243c mittels
der Position verbunden werden, an der der Spalt „s" gebildet ist.
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Im
Falle der transflektiven LD-Vorrichtung, die die Mehrbereichs-Struktur
aufweist, ist ein Speicherkondensator im Allgemeinen in einem Reflexionsbereich
RA gebildet. Wenn der Speicherkondensator Cst1 in dem Reflexionsbereich
RA gebildet ist, und der Speicherkondensator Cst2 und der Speicherkondensator
Cst3 in einem vorbestimmten Bereich des Transmissionsbereichs TA
gebildet sind, d.h. die Verbindungs-Pixelelektrode zum elektrischen Verbinden
der jeweiligen Bereiche, kann die Kapazität C sichergestellt werden.
Folglich kann, wenn eine Größe des Reflexionsbereichs
RA verringert wird, so dass das Aperturverhältnis verbessert wird, die
Kapazität
des entsprechenden Speicherkondensators kompensiert werden und ein
Pixel-Spannungsabfall wird gesenkt, so dass die Bildqualität verbessert
werden kann.
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An
diesem Punkt dienen eine Gate-isolierende Schicht 229,
eine Passivierungsschicht 245 und eine organische isolierende
Schicht 247, die zwischen der Speicherleitung 244 und
der Speicherelektrode 243 auf der einen Seite und der Pixelelektrode 261a und
den Verbindungs-Pixelelektroden 260a und 260b auf
der anderen Seite gestapelt sind, als Dielektrikum.
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Unterdessen
wird die transflektive LCD-Vorrichtung mit VA-Modus gemäß der vorliegenden
Erfindung nicht nur auf eine transflektive Mehrbereichs-LCD-Vorrichtung
angewendet, die eine Tripelbereichs-Struktur aufweist, in der ein
erster Bereich A als Reflexionsbereich RA genutzt wird und ein zweiter
Bereich B und ein dritter Bereich C als Transmissionsbereiche TA
genutzt werden, sondern auch auf eine transflektive Mehrbereichs-LCD-Vorrichtung,
in der ein Pixelbereich in mindestens zwei Bereiche unterteilt ist
und in der eine Fläche
eines Reflexionsbereichs RA größer ist
als die Fläche
eines Transmissionsbereichs TA in der Mehrbereichs-Struktur.
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4 zeigt
eine Querschnittansicht von 3 entlang
einer Linie II-II'.
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Bezugnehmend
auf 4, weist der erste Bereich A des Matrix-Substrats
der transflektiven LCD-Vorrichtung mit VA-Modus ferner eine Reflexions-Elektrode 249 auf
oder unter der ersten Pixelelektrode 261a als ein Reflexionsbereich
RA auf, und der zweite Bereich B und der dritte Bereich C nutzen die
zweite Pixelelektrode 261b bzw. die dritte Pixelelektrode 261c als
Transmissionsbereiche TA (Transmissions-Elektroden), so dass die
transflektive LCD-Vorrichtung
mit VA-Modus selektiv in einem Reflex-Modus und in einem Transmissions-Modus betrieben werden
kann.
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Ein
Verfahren zum Herstellen einer transflektiven LCD-Vorrichtung mit
VA-Modus wird in einer Prozessordnung mit Bezug auf 4 beschrieben.
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Als
erstes werden die Gate-Elektroden 223, die Gate-Leitungen 225,
die Speicherleitungen 244, wobei die Speicherleitung 244 in
einem vorbestimmte Abstand von den Gate-Leitungen 225 entfernt
angeordnet sind, und die Speicherelektrode 243 auf dem
Matrix-Substrat 200 gebildet.
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Die
Speicherelektrode 243 weist die erste Speicherelektrode 243a,
die zweite Speicherelektrode 243b und die dritte Speicherelektrode 243c auf. Die
erste Speicherelektrode 243a bildet den Speicherkondensator
Cst1 in dem Reflexionsbereich RA, die zweite Speicherelektrode 243b bildet
den Speicherkondensator Cst2 zwischen dem ersten Bereich A und dem
zweiten Bereich B und die dritte Speicherelektrode 243c bildet
den Speicherkondensator Cst3 zwischen dem zweiten Bereich B und
dem dritten Bereich C.
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Die
Gate-isolierende Schicht 229, die eine erste isolierende
Schicht darstellt, wird auf einer gesamten Oberfläche des
Matrix-Substrats 200 inklusive der Gate-Leitungen 225 gebildet.
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Die
aktive Schicht 231 und eine Ohm'sche Kontaktschicht 233 werden
in einer Inselform auf der Gate-isolierenden Schicht 229 auf
der Gate-Elektrode 223 gebildet.
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Als
Nächstes
werden die Source-Elektrode 235 und die Drain-Elektrode 237,
die mit der Ohm'schen
Kontaktschicht 233 verbunden sind, und die Daten-Leitungen 239,
die mit der Source-Elektrode 235 verbunden ist, auf einer
gesamten Oberfläche des
Matrix-Substrats 200 inklusive der Ohm'schen Kontaktschicht 233 gebildet.
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An
diesem Punkt können
die Ohm'sche Kontaktschicht 233,
die aktive Schicht 231, die Source-Elektrode 235,
die Drain-Elektrode 237 und die Daten-Leitungen 239 unter
Verwendung eines Maskenprozesses gebildet werden.
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Die
Passivierungsschicht 245, die eine zweite isolierende Schicht
darstellt, wird mittels Abscheiden eines isolierenden Materials
auf dem Matrix-Substrat 200 inklusive der Daten-Leitungen 239 gebildet.
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Die
Passivierungsschicht 245 ist eine anorganische isolierende
Schicht, die mittels Abscheidens von SiNx oder
SiO2 gebildet wird.
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Eine
organische isolierende Schicht 247, die eine dritte isolierende
Schicht 247 darstellt, wird auf der Passivierungsschicht 245 mittels
Beschichtung mit einem Material, das aus der Gruppe transparenter
organischer isolierender Materialien ausgewählt ist, die aus Benzo-Cyclobuten (BCB)
und einem auf Acryl basierendem Harz besteht.
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Die
Unebenheitsstruktur 247a wird in einem oberen Bereich der
organischen isolierenden Schicht 247 in dem Reflexionsbereich
RA gebildet.
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Ein
erster geätzter
Graben 248a und ein zweiter geätzter Graben 248b werden
auf einem Bereich des Pixelbereichs P mittels Ätzen der Gate-isolierenden
Schicht 229, der Passivierungsschicht 245 und
der organischen isolierenden Schicht 247 gebildet.
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Der
erste geätzte
Graben 248a ist in einer Position gebildet, die dem zweiten
Bereich B entspricht, der als der Transmissionsbereich TA1 verwendet
wird, und der zweite geätzte
Graben 248b wird in einer Position gebildet, die dem dritten
Bereich C entspricht, der als der Transmissionsbereich TA2 verwendet
wird.
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Der
erste geätzte
Graben 248a und der zweite geätzte Graben 248b bilden
eine doppelte Zelllücke
in dem Transmissionsbereich TA der transflektiven LCD-Vorrichtung.
Eine Zelllücke
d1 des Transmissionsbereichs TA wird so gebildet, dass sie etwa zweimal
so groß ist
wie die Zelllücke
d2 des Reflexionsbereichs RA, so dass eine Lichtausbeute des Reflexionsbereichs
RA und des Transmissionsbereichs TA verbessert wird.
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An
diesem Punkt wird die dritte Speicherelektrode 243c, die
zwischen dem zweiten Bereich B und dem dritten Bereich C gebildet
ist, nicht freigelegt.
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Ebenso
wird ein Drain-Kontaktloch 253 gebildet, das einen Bereich
der Drain-Elektrode 237 freilegt.
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Eine
transparente Pixelelektrode 261, die mit der Drain-Elektrode 237 verbunden
ist und die in dem Pixelbereich P gebildet ist, wird gebildet, indem
ein ausgewähltes
Material aus der Gruppe der transparenten leitfähigen Metalle, die aus Indium-Zinnoxid (ITO)
und Indium-Zinkoxid
(IZO) besteht, auf der organischen isolierenden Schicht 247 abgeschieden und
strukturiert wird.
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Die
Pixelelektrode 261 wird unterteilt in einen ersten Bereich
A, einen zweiten Bereich B und einen dritten Bereich C mittels Spalten „s", so dass sie eine erste
Pixelelektrode 261a, eine zweite Pixelelektrode 261b und
eine dritte Pixelelektrode 261c aufweist. Die erste Pixelelektrode 261a,
die zweite Pixelelektrode 261b und die dritte Pixelelektrode 261c sind
miteinander verbunden mittels der Verbindungs-Pixelelektroden 260a und 260b.
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Ebenso
werden die erste Pixelelektrode 261a und die Reflexions-Elektrode 249 in
dem Reflexionsbereich RA gebildet, und die zweite Pixelelektrode 261b und
die dritte Pixelelektrode 261c werden in dem Transmissionsbereich
TA gebildet, so dass sie als Transmissions-Elektroden dienen.
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Der
erste Bereich A, der zweite Bereich B und der dritte Bereich C werden
elektrisch mittels einer ersten Verbindungs-Pixelelektrode 260a und
einer zweiten Verbindungs-Pixelelektrode 260b miteinander
verbunden, so dass die erste Pixelelektrode 261a, die zweite
Pixelelektrode 261b und die dritte Pixelelektrode 261c verbunden
sind und mittels von dem TFT übertragenen
Signalen angesteuert werden.
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Die
erste Pixelelektrode 261a wird in einer unebenen Struktur
entlang der Unebenheitsstruktur 247a der organischen isolierenden
Schicht 247 in dem Reflexionsbereich RA gebildet.
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Ebenso
wird die Reflexions-Elektrode 249 in dem Reflexionsbereich
RA gebildet, indem Metall, das exzellentes Reflexionsvermögen aufweist,
wie Aluminium und eine Aluminiumlegierung (z.B. AlNd), auf einer
gesamten Oberfläche
des Substrats inklusive der Pixelelektroden 261a, 261b und 261c abgeschieden
und strukturiert wird.
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An
diesem Punkt bildet die Reflexions-Elektrode 249 Unebenheit
entlang der Unebenheitsstruktur 247a der organischen isolierenden
Schicht 247 und der ersten Pixelelektrode 261a in
dem Reflexionsbereich RA.
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Die
Reflexions-Elektrode 249 kann sowohl unter der ersten Pixelelektrode 261a gebildet
werden, als auch auf der ersten Pixelelektrode 261a.
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Ebenso
liegt ein Farbfilter-Substrat 280, das eine Schwarzmatrix 281 und
Farbfilter 282 aufweist, dem Matrix-Substrat 200 gegenüber und
ist ihm zugewandt. Das Farbfilter-Substrat 280 weist eine
gemeinsame Elektrode 285 auf.
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Ebenso
wird eine dielektrische Vorwölbung 288 zum
Verzerren eines elektrischen Feldes auf der gemeinsamen Elektrode 285 gebildet,
so dass ein Mehrbereichs-Effekt erzielt wird. Eine vertikal ausgerichtete
LC-Schicht 270 wird zwischen dem Matrix-Substrat 200 und
dem Farbfilter-Substrat 280 eingefügt.
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Da
eine Tripelbereichs-LCD-Vorrichtung mit VA-Modus, die die oben genannte
Struktur aufweist, LC-Moleküle
unter Verwendung von Pixelelektroden-Spalten „s" des Matrix-Substrats 200 und der dielektrischen
Vorwölbung 288 des
Farbfilter-Substrats 280 beim Ansteuern der LC auf verschiedene
Weisen ansteuern kann, kann ein Mehrbereichs-Effekt umgesetzt werden.
An diesem Punkt kann der erste Bereich A als der Reflexionsbereich
RA verwendet werden, und der zweite Bereich B und der dritte Bereich C
können
als Transmissionsbereiche TA verwendet werden, so dass ein Reflex-Modus
und der Transmissions-Modus selektiv angesteuert werden können.
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In
der Tripelbereichs-Struktur, die eine Ausführungsform der transflektiven
LCD-Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung darstellt, wird der erste Bereich A als Reflexionsbereich
RA verwendet, der zweite Bereich B und der dritte Bereich C werden als
Transmissionsbereich TA1 bzw. als Transmissionsbereich TA2 verwendet,
so dass eine Fläche
des Transmissionsbereichs TA größer wird
als die Fläche des
Reflexionsbereichs RA und somit ein Aperturverhältnis steigt. Ebenso kann,
da der Speicherkondensator Cst1 in dem Reflexionsbereich RA gebildet wird,
und der Speicherkondensator Cst2 und der Speicherkondensator Cst3
in einem vorbestimmten Bereich des Transmissionsbereichs TA, z.B.
der Verbindungs-Pixelelektrode zum elektrischen Verbinden der jeweiligen
Bereiche, gebildet werden, die Kapazität der Speicherkondensatoren
sichergestellt werden. Folglich kann, sogar wenn eine Größe des Reflexionsbereichs
RA verkleinert wird, so dass ein Aperturverhältnis verbessert wird, die
Kapazität
der Speicherkondensatoren kompensiert werden und somit kann die
Bildqualität
verbessert werden.
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Ein
Verfahren zum Herstellen der transflektiven LCD-Vorrichtung mit
VA-Modus, die die oben beschriebene Konstruktion aufweist, wird
unten beschrieben.
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Als
erstes werden Gate-Leitungen, eine zu den Gate-Leitungen parallele
Speicherleitung, eine erste Speicherelektrode, die von der Speicherleitung abzweigt
und in einem ersten Bereich gebildet ist, und eine zweite Speicherelektrode,
die in einem Grenzbereich zwischen dem ersten Bereich und einem
zweiten Bereich gebildet ist, auf einem ersten Substrat gebildet,
wobei Pixelbereiche, die den ersten Bereich und den zweiten Bereich
aufweisen, definiert werden.
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Eine
isolierende Schicht wird auf einer gesamten Oberfläche des
ersten Substrats gebildet.
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Danach
werden Daten-Leitungen gebildet, die die Gate-Leitungen überkreuzen.
An diesem Punkt werden TFTs auf den Kreuzungspunkten der Gate-Leitungen
mit den Daten-Leitungen gebildet.
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Jeder
der TFTs weist eine Gate-Elektrode auf, die jeweils von jeder Gate-Leitung
hervorragt, eine isolierende Schicht, die auf der Gate-Elektrode gebildet
ist, eine Halbleiterschicht, die auf einem der Gate-Elektrode entsprechenden
Teil der isolierenden Schicht gebildet wird, und eine Source-Elektrode
und eine Drain-Elektrode, die voneinander auf der Halbleiterschicht
getrennt angeordnet sind.
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Danach
wird eine transparente Elektrode, die elektrisch mit dem TFT verbunden
ist, in dem zweiten Bereich gebildet, und eine Reflexions-Elektrode,
die mit dem TFT verbunden ist, wird in dem ersten Bereich gebildet.
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An
diesem Punkt kann die transparente Elektrode unter der Reflexions-Elektrode
gebildet werden.
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Eine
Verbindungselektrode zum elektrischen Verbinden der transparenten
Elektrode mit der Reflexions-Elektrode wird auf der zweiten Speicherelektrode
gebildet. Die Verbindungselektrode kann aus demselben Material gebildet
werden wie das Material der transparenten Elektrode in der gleichen
Schicht.
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Ebenso
wird ein zweites Substrat dem ersten Substrat gegenüber und
ihm zugewandt angeordnet, und eine LC-Schicht wird zwischen dem
ersten Substrat und dem zweiten Substrat eingefügt.
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Hier
können
ferner zusätzlich
Unebenheitsstrukturen unter der Reflexions-Elektrode gebildet werden.
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Unterdessen
kann der erste Bereich ein Reflexionsbereich sein, der zweite Bereich
kann ein Transmissionsbereich sein, und ferner kann ein dritter
Bereich gebildet werden.
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Der
erste Bereich, der zweite Bereich und der dritte Bereich können im
Wesentlichen die gleiche Fläche
aufweisen, und der zweite Bereich und der dritte Bereich können Transmissionsbereiche darstellen.
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Eine
Verbindungselektrode zum elektrischen Verbinden der transparenten
Elektrode oder der Reflexions-Elektrode, die in aneinander angrenzenden Bereichen
gebildet sind, kann in einem Grenzbereich zwischen dem ersten Bereich,
dem zweiten Bereich und dem dritten Bereich gebildet werden.
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Ebenso
wird ferner eine dritte Speicherelektrode unter der Verbindungselektrode
gebildet, so dass die Kapazität
der Speicherkondensatoren in dem Pixelbereich ausreichend sichergestellt
werden kann.
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Eine
dielektrische Vorwölbung
kann ferner auf dem zweiten Substrat gebildet werden. Die dielektrische
Vorwölbung
wird in einem Grenzbereich zwischen den Bereichen gebildet, so dass
eine Steuerrichtung der LC-Moleküle
festgelegt ist.
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Ebenso
kann in der transflektiven LCD-Vorrichtung eine Zelllücke des
zweiten Bereichs im Wesentlichen doppelt so groß sein wie die Zelllücke des ersten
Bereichs, ist jedoch nicht darauf beschränkt.
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Das
zweite Substrat weist ferner eine Schwarzmatrix auf, die an einer
Position gebildet ist, die einem benachbarten Bereich des Pixel
entspricht, und weist Farbfilter auf, die in Bereichen gebildet sind,
die Pixelbereichen entsprechen.
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Die
transflektive LCD-Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
verbessert ein Aperturverhältnis,
indem eine Fläche
des Transmissionsbereichs vergrößert ist
gegenüber
der Fläche
des Reflexionsbereichs.
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Ebenso
stellt die vorliegende Erfindung die Gesamtspeicherkapazität sicher,
verbessert eine Eigenschaft der Bildqualität und verbessert eine Eigenschaft
des Betrachtungswinkels, indem eine Mehrbereichs-Struktur gebildet
wird und indem ein Speicherkondensator zwischen jeweiligen Bereichen
einer transflektiven LCD-Vorrichtung mit VA-Modus gebildet wird.
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Es
ist offensichtlich für
den Fachmann, dass verschieden Änderungen
und Variationen der vorliegenden Erfindung gemacht werden können. Also
ist es beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung die Änderungen
und Variationen dieser Erfindung abdeckt, sofern sie sich innerhalb
des Anwendungsbereichs der beigefügten Ansprüche und ihrer Äquivalenten
befinden.