DE102006055621A1 - System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel sowie Flüssigkristalldisplaytafel unter Verwendung desselben - Google Patents

System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel sowie Flüssigkristalldisplaytafel unter Verwendung desselben Download PDF

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Abstract

Es sind ein System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel sowie eine Flüssigkristalldisplaytafel unter Verwendung desselben geschaffen. Das System verfügt über eine erste Ladeeinheit, eine zweite Ladeeinheit, eine erste Bearbeitungseinheit, eine zweite Bearbeitungseinheit und eine Transportlinie. Die erste Ladeeinheit verfügt über zwei Schleusen, und sie führt gleichzeitig die Eingabe und Ausgabe von Substraten aus einer über jede Schleuse geladenen Gruppe von Kassetten aus. Die zweite Ladeeinheit verfügt über zwei Schleusen, und sie führt gleichzeitig die Eingabe und Ausgabe von Substraten aus der anderen Gruppe von über jede Schleuse geladenen Kassetten aus. Die erste Bearbeitungseinheit führt einen Herstellprozess für die über die erste Ladeeinheit eingegebenen Substrate aus, und sie transportiert die Substrate mit abgeschlossenem Prozess zur ersten Ladeeinheit. die zweite Bearbeitungseinheit führt einen Herstellprozess für die über die zweite Ladeeinheit eingegebenen Substrate aus, und sie transportiert die Substrate mit abgeschlossenem Prozess zur zweiten Ladeeinheit. Die Transportlinie transportiert die Substrate.

Description

  • HINTERGRUND
  • Gebiet
  • Die Erfindung betrifft ein Flüssigkristalldisplay, und spezieller betrifft sie ein System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel sowie eine Flüssigkristalldisplaytafel unter Verwendung desselben, wobei eine Verbesserung vorgenommen ist und ein Prozess effizienter und wirtschaftlicher wird, wenn ein Flüssigkristalldisplay hergestellt wird.
  • Beschreibung der Hintergrund bildenden Technik
  • In den letzten Jahren ziehen Flüssigkristalldisplays als Anzeigeeinrichtungen Aufmerksamkeit auf sich. Ein Flüssigkristalldisplay führt eine Anzeigefunktion unter Verwendung elektrischer und optischer Eigenschaften eines in eine Tafel eingefüllten Flüssigkristalls aus. Flüssigkristalldisplays werden dank ihrer Vorteile geringer Größe, geringen Gewichts und niedrigen Energieverbrauchs in weitem Umfang auf verschiedenen Gebieten wie als Computermonitor oder als tragbares Kommunikationsterminal verwendet.
  • Ein Flüssigkristalldisplay wird durch viele Prozesse hergestellt. Daher benötigt ein Flüssigkristalldisplay eine Anzahl von Anlagen zum Ausführen der jeweiligen Prozesse sowie mehrere Bediener zum Bedienen der mehreren Anlagen.
  • So erfordert die Herstellung eines Flüssigkristalldisplays enorme Kosten und ausreichend Platz, wie er für Anlagen und Betriebsabläufe erforderlich ist.
  • Demgemäß sind die Effizienz eines Herstellprozesses und die Verkleinerung der Installationsfläche beim Herstellen eines Flüssigkristalldisplays von Bedeutung. Beispielsweise wurde bei einer Ätzanlage zum Ätzen eines Dünnschichttransistorsubstrats eine einzelne Fertigungsstraße mit Bearbeitungskammern zum stückweisen Beschichten und Belichten zu einer doppelten Fertigungsstraße mit Bearbeitungskammern zum Beschichten und Belichten jeweils zweier Stücke entwickelt. Eine einzelne Fertigungsstraße benötigt eine Bearbeitungszeit von ungefähr 80 Sekunden für ein Substrat. Jedoch benötigt eine doppelte Fertigungsstraße eine Bearbeitungszeit von ungefähr 45 Sekunden, und sie führt im Vergleich zur einzelnen Fertigungsstraße einen effizienten Herstellprozess aus. Außerdem kann die Ausbeute erhöht werden und die Kosten können gesenkt werden, da die Installationsfläche verkleinert werden kann.
  • Nachfolgend wird ein System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß der einschlägigen Technik beschrieben.
  • Die 1A ist ein schematisches Diagramm zum Veranschaulichen des Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß der einschlägigen Technik. Die 1B ist ein Diagramm zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Betreiben des in der 1A dargestellten Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel.
  • Gemäß der 1A besteht das System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel aus einer doppelten Fertigungsstraße, wobei eine Bearbeitungsstraße zum Laden eines Substrats vor dem Ausführen jedes Herstellprozesses sowie eine Bearbeitungsstraße zum Entladen eines Substrats nach dem Ausführen des Herstellprozesses voneinander getrennt sind.
  • Anders gesagt, verfügt das System zum Herstellen einer Flüssigkristalltafel gemäß der einschlägigen Technik über eine Ladeeinheit 110, eine Reinigungseinheit 120, Beschichtungseinheiten 130-1 und 130-2, Belichtungseinheiten 150-1 und 150-2, eine Entwicklungseinheit 160, eine Prüfeinheit 170 und eine Entladeeinheit 180.
  • Nachfolgend wird der Betrieb des auf die obige Weise aufgebauten Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel beschrieben.
  • Wenn die Substrate über die Ladeeinheit 110 mit zwei Schleusen zugeführt werden, wird jedes derselben in der Reinigungseinheit 120, den Beschichtungseinheiten 130-1 und 130-2, den Belichtungseinheiten 150-1 und 150-2, der Entwicklungseinheit 160 und der Prüfeinheit 170 automatisch bearbeitet. Die Substrate, für die der Prozess abgeschlossen wurde, werden durch die Entladeeinheit 180 erneut in eine Kassette geladen und ausgegeben.
  • Wenn in diesem System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß der einschlägigen Technik, wie es unter (A) in der 1B dargestellt ist, die Ladeeinheit 110 eine Kassette (befüllte Kassette)
    Figure 00030001
    lädt, die mit zu bearbeitenden Substraten beladen ist, werden diese in eine hintere Bearbeitungskammer eingegeben. Bei Abschluss des Eingabevorgangs wird die leere Kassette
    Figure 00030002
    ausgegeben und durch eine andere Kassette (befüllte Kassette) ersetzt, in die Substrate geladen sind.
  • In ähnlicher Weise lädt, wie es in (B) der 1B
    Figure 00030003
    dargestellt ist, die Entladeeinheit 180 die Substrate, für die der Prozess abgeschlossen ist, in die leere Kassette. Wenn die leere Kassette vollständig mit Substraten befüllt ist, wird die mit Substraten beladene Kassette (befüllte Kassette) ausgegeben und durch eine leere Kassette ersetzt, um in diese Substrate zu laden, für die der Prozess abgeschlossen wurde.
  • Jedoch besteht beim System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß der einschlägigen Technik ein Mangel dahingehend, dass zwei Beschichtungseinheiten 130-1 und 130-2 oder zwei Belichtungseinheiten 150-1 und 150-2 jeweils denselben Prozess ausführen sollten.
  • Wenn das Substrat, für das der Prozess abgeschlossen wurde, einen Mangel zeigt, wird Ermittlung dahingehend, ob ein für das fehlerhafte Substrat ausgeführter Prozess in jeder Kammer der zwei Beschichtungseinheiten 130-1 und 130-2 oder der zwei Belichtungseinheiten 150-1 und 150-2 ausgeführt wird, nicht auf Substrat bezogener oder Kassetten bezogener Grundlage ausgeführt. So besteht ein Mangel dahingehend, dass der Grund für den Fehler nicht genau analysiert werden kann.
  • Außerdem besteht ein Nachteil dahingehend, dass es schwierig ist, den Verlauf des Herstellprozesses zu erfassen.
  • Die 2A ist ein schematisches Diagramm zum Veranschaulichen des Aufbaus eines anderen Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß der einschlägigen Technik. Die 2B ist ein Diagramm zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Betreiben des in der 2A dargestellten Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel.
  • Das System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel ist ein solches mit doppelter Fertigungsstraße, in dem Prozesse des Ladens und Entladens eines Substrats integriert sind, abweichend vom System, bei dem die Prozesse des Ladens und Entladens eines Substrats getrennt sind.
  • Gemäß der 2A verfügt das System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel über eine erste Ladeeinheit 210 und eine zweite Ladeeinheit 215 mit jeweils drei Schleusen, eine Reinigungseinheit 220, eine erste Beschichtungseinheit 230, eine zweite Beschichtungseinheit 235, eine erste Belichtungseinheit 250, eine zweite Belichtungseinheit 255, eine Entwicklungseinheit 260, eine Prüfeinheit 270 und Transportlinien 280 und 285.
  • Anders gesagt, verfügt dieses System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel über eine Konstruktion, bei der die erste Ladeeinheit 210 und die zweite Ladeeinheit 215 der 2B gemeinsam das Laden und Entladen eines Substrats ausführen, und es ist Produktion aus zwei Arten von Kassetten über die Ladeeinheiten 210 und 215 möglich. Jede der Ladeeinheiten 210 und 215 benötigt angesichts des Ladens und Entladens der Substrate und des Austauschs oder Nichtaustauschs einer Kassette mindestens drei Schleusen.
  • Bei diesem System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel werden die über die Ladeeinheit eingegebenen Substrate nur über eine spezifizierte Beschichtungseinheit und Belichtungseinheit unter der ersten Beschichtungseinheit 230 und der zweiten Beschichtungseinheit 235 sowie der ersten Belichtungseinheit 250 und der zweiten Belichtungseinheit 255 bearbeitet werden.
  • Demgemäß können die Beschichtungseinheiten 230 und 235 sowie die Belichtungseinheiten 250 und 255 jeweils voneinander verschiedene Prozesse ausführen. So besteht ein Vorteil dahingehend, dass die Prozesse effektiver ausgeführt werden können und dass auch der Grund eines fehlerhaften Substrats analysiert werden kann, da es einfach ist, den Prozessverlauf jedes Substrats zu erfassen.
  • Jedoch benötigt, wie es in der 2B dargestellt ist, dieses System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gesonderte Schleusen zum gleichmäßigen Laden/Entladen der Substrate aus der Kassette sowie die Austauschschleuse. Daher sollte jede der Ladeeinheiten 210 und 215 über mindestens drei Schleusen verfügen.
  • Auch sind die Transportlinien 280 und 285 erforderlich, die die jeweiligen Schleusen mit Bearbeitungskammern verbinden. Dies vergrößert die Installationsfläche der Gesamtanlage in übermäßiger Weise und verringert den Nutzungsgrad eines Raums.
    •
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • Demgemäß liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel sowie eine Flüssigkristalldisplaytafel unter Verwendung desselben zu schaffen, wobei Schleusen zum Laden und Entladen eines Substrats beim Herstellen eines Flüssigkristalldisplays zu einer einzelnen Schleuse integriert sind, um dadurch die Installationsfläche einer Gesamtanlage zu verkleinern und einen effizienteren Betrieb zu ermöglichen.
  • Auch liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel sowie eine Flüssigkristalldisplaytafel unter Verwendung desselben zu schaffen, wobei ein Herstellprozess entsprechend einer vorbestimmten Prozessabfolge ausgeführt wird, ohne dass zu verarbeitende Substratmodelle zu unterscheiden wären, was es ermöglicht, den Grund für einen Produktfehler zu analysieren, wenn ein solcher entsteht.
  • Gemäß einer ersten Erscheinungsform ist ein System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel geschaffen. Das System verfügt über eine erste Ladeeinheit, eine zweite Ladeeinheit, eine erste Bearbeitungseinheit, eine zweite Bearbeitungseinheit und eine Transportlinie. Die erste Ladeeinheit verfügt über zwei Schleusen, und es werden aus einer Gruppe von durch jede Schleuse geladenen Kassetten gleichzeitig Substrate eingegeben und ausgegeben. Die zweite Ladeeinheit verfügt über zwei Schleusen, und es werden von einer anderen Gruppe von Kassetten, die über jede Schleuse geladen wurde, Substrate gleichzeitig eingegeben und ausgegeben. Die erste Bearbeitungseinheit führt einen Herstellprozess für die über die erste Ladeeinheit eingegebenen Substrate aus, und sie überträgt die Substrate mit abgeschlossenem Prozess an die erste Ladeeinheit. Die zweite Bearbeitungseinheit führt einen Herstellprozess für die über die zweite Ladeeinheit eingegebenen Substrate aus, und sie überträgt die Substrate mit abgeschlossenem Prozess an die zweite Ladeeinheit. Die Transportlinie transportiert die Substrate.
  • Es ist zu beachten, dass sowohl die vorstehende allgemeine Beschreibung als auch die folgende detaillierte Beschreibung beispielhaft und erläuternd sind und dazu vorgesehen sind, für eine weitere Erläuterung der beanspruchten Erfindung zu sorgen.
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  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die folgenden Zeichnungen, in denen gleiche Zahlen gleiche Elemente kennzeichnen, beschrieben.
  • 1A ist ein schematisches Diagramm zum Veranschaulichen eines Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß der einschlägigen Technik;
  • 1B ist ein Diagramm zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Betreiben des in der 1A dargestellten Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel;
  • 2A ist ein schematisches Diagramm zum Veranschaulichen des Aufbaus eines anderen System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß der einschlägigen Technik;
  • 2B ist ein Diagramm zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Betreiben des in der 2A dargestellten Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel;
  • 3 ist ein Diagramm zum Veranschaulichen des Aufbaus eines Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung;
  • 4 ist ein schematisches Diagramm zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Handhaben einer Schleuse in einem System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung;
  • 5 ist ein Diagramm zum Veranschaulichen des Betriebs zum Eingeben und Ausgeben eines Substrats in einer Ladeeinheit eines Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung; und
  • 6 ist ein Diagramm zum Veranschaulichen eines Gesamtprozesses in einem System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Nun werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen auf detailliertere Weise beschrieben.
  • Die 3 ist ein Diagramm zum Veranschaulichen des Aufbaus eines Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung. Die 4 ist ein schematisches Diagramm zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Handhaben einer Schleuse im System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung. Die 5 ist ein Diagramm zum Veranschaulichen eines Betriebsablaufs zum Eingeben und Ausgeben eines Substrats in einer Ladeeinheit des Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung.
  • Gemäß der 3 verfügt das System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel über eine erste Ladeeinheit 310, eine zweite Ladeeinheit 315, eine Reinigungseinheit 320, eine erste Beschichtungseinheit 330, eine zweite Beschichtungseinheit 335, einen ersten Puffer 340, einen zweiter Puffer 345, eine erste Belichtungseinheit 350, eine zweite Belichtungseinheit 355, eine Entwicklungseinheit 360, eine Prüfeinheit 370 sowie Transportlinien 380 und 385.
  • Die erste Ladeeinheit 310 und die zweite Ladeeinheit 315 verfügen jeweils über zwei Schleusen (a, b).
  • Prozesse zum Laden und Entladen eines Substrats aus einer Kassette können alle an einer Schleuse (a, b) ausgeführt werden. Insbesondere können Prozesse zum Laden und Entladen der Substrate aus derselben Kassette gleichzeitig ausgeführt werden.
  • Gemäß detaillierter Bezugnahme auf die 4 sind bei der vorliegenden Erfindung eine Ladeschleuse 410 und eine Entladeschleuse 420 zu einer Schleuse 400 integriert, so dass Substrate gleichzeitig aus derselben Kassette eingegeben und ausgegeben werden können, abweichend von der einschlägigen Technik, bei der die Ladeschleuse 410 und die Entladeschleuse 420 getrennt betrieben werden, so dass ein Substrat über die Ladeschleuse 410 in eine hintere Bearbeitungskammer eingegeben wird und ein Substrat, für das ein Herstellprozess abgeschlossen ist, über die Entladeschleuse 420 ausgegeben wird.
  • Dadurch kann die Minimalanzahl der zum Laden und Entladen von Substraten benötigten Schleusen verringert werden, um dadurch die Installationsfläche der gesamten Anlage im Vergleich zu einem herkömmlichen System zu verkleinern.
  • Wenn die in die Kassette geladenen Substrate über jede Schleuse (a, b) eingegeben werden, wodurch ein Raum zum Laden eines Substrats in der Kassette geschaffen ist, wie es in der 5 dargestellt ist, können die erste Ladeeinheit 310 und die zweite Ladeeinheit 315 Substrate mit abgeschlossenem Prozess in den Raum der Kassette selbst dann ausgeben und laden, wenn die Kassette gerade einen Ladevorgang erfährt.
  • Wenn die mit Substraten beladene Kassette (befüllte Kassette) über jede Schleuse (a, b) der ersten Ladeeinheit 310 und der zweiten Ladeeinheit 315 zugeführt wird, werden die geladenen Substrate eingegeben und bearbeitet, und die Substrate mit abgeschlossenem Prozess werden erneut in den Raum der Kassette geladen, um dadurch die Kassette auszugeben, in die das Substrat mit abgeschlossenem Prozess geladen ist.
  • Anders gesagt, können die erste Ladeeinheit 310 und die zweite Ladeeinheit 315 die Substrate aus einer Kassette gleichzeitig eingeben und ausgeben, ohne dass die Kassette zum Eingeben und Ausgeben der Substrate gesondert zu betreiben wäre. Demgemäß befinden sich die Kassetten, wenn sie an der ersten Ladeeinheit 310 und der zweiten Ladeeinheit 315 geladen und entladen werden, in einem Zustand, in dem die Substrate immer geladen sind.
  • Die aus einer vorbestimmten Kassette eingegebenen Substrate müssen nicht notwendigerweise wieder in dieselbe Kassette ausgegeben werden. Wenn ein sequenzieller Prozess kontinuierlich ausgeführt wird, sind die Substrate, wie sie aus einer Kassette eingegeben und in sie ausgegeben werden, unvermeidlicher Weise voneinander verschieden.
  • Selbst in diesem Fall können jedoch die erste Ladeeinheit 310 und die zweite Ladeeinheit 315 nur ein Substrat laden/entladen, das über eine spezifizierte Bearbeitungskammer (beispielsweise die erste Beschichtungseinheit 330 und die erste Belichtungseinheit 350) bearbeitet wurde, was es ermöglicht, gleichzeitig zwei verschiedene Prozesse auszuführen und den Prozessverlauf eines Substrats mit abgeschlossenem Prozess zu erfassen.
  • Die Reinigungseinheit 320 reinigt die über die erste Ladeeinheit 310 und die zweite Ladeeinheit 315 angegebenen Substrate, um dadurch organische Stoffe und Fremdmaterialien von einer Substratfläche zu entfernen.
  • Die erste Beschichtungseinheit 330 und die zweite Beschichtungseinheit 335 sind Bearbeitungskammern zum Auftragen eines Fotoresists auf ein Substrat zugeordnet. Beschichtungsverfahren können in Schlitzverfahren, Schleuderverfahren und Tintenstrahl-Druckverfahren unterteilt werden.
  • Die erste Belichtungseinheit 350 und die zweite Belichtungseinheit 355 erzeugen auf dem mit dem Fotoresist beschichteten Substrat ein Maskenmuster.
  • Der erste Puffer 340 und der zweite Puffer 342 sind Bereitschaftslinien für einen Wartevorgang, bis die Substrate in die erste Belichtungseinheit 350 und die zweite Belichtungseinheit 355 eingegeben werden.
  • Die Entwicklungseinheit 360 entfernt einen durch die erste Belichtungseinheit 350 oder die zweite Belichtungseinheit 355 belichteten Abschnitt des Substrats.
  • Die Prüfeinheit 370 prüft ein durch die früheren Bearbeitungskammern laufendes Substrat und erfasst einen Mangel wie eine Verschmutzung.
  • Dieses System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung wird wie folgt betrieben.
  • Die 6 ist ein Diagramm zum Veranschaulichen des Gesamtprozesses im System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung.
  • Gemäß der 6 werden die über die erste Ladeeinheit 310 und die zweite Ladeeinheit 315 angegebenen Substrate durch die Reinigungseinheit 320 gereinigt, und dann werden sie zur ersten Beschichtungseinheit 330 bzw. zur zweiten Beschichtungseinheit 335 weitergeleitet. Wenn das von der ersten Ladeeinheit 310 gelieferte Substrat an die erste Beschichtungseinheit 330 geliefert wird, sollte das von der zweiten Ladeeinheit 350 gelieferte Substrat zur zweiten Beschichtungseinheit 335 geliefert werden. Wenn das von der ersten Ladeeinheit 310 gelieferte an die zweite Beschichtungseinheit 335 geliefert wird, sollte das von der zweiten Ladeeinheit 315 gelieferte Substrat an die erste Beschichtungseinheit 330 geliefert werden. Dies gilt identisch für die erste Belichtungseinheit 350 und die zweite Belichtungseinheit 355. Es ist eine kontinuierliche und zwangsweise Anwendung wünschenswert, bis ein Systemverwalter eine andere Einstellung vornimmt.
  • Im ersten Puffer 340 und im zweiten Puffer 345 warten die Substrate auf Belichtungsprozesse durch die erste Belichtungseinheit 350 bzw. die zweite Belichtungseinheit 355.
  • Als Nächstes werden die Substrate, für die die Belichtungsprozesse unter Verwendung der ersten Belichtungseinheit 350 und der zweiten Belichtungseinheit 355 abgeschlossen sind, erneut über die Entwicklungseinheit 360 und die Prüfeinheit 370 zur zunächst entladenen ersten Ladeeinheit 310 oder zweiten Ladeeinheit 315 transportiert, und sie werden in die bereitstehende Kassette geladen und ausgegeben.
  • Eine erste Transportlinie 380 kann das Substrat zwischen der zweiten Ladeeinheit 315 und der Reinigungseinheit 320 sowie zwischen der Prüfeinheit 370 und der ersten Ladeeinheit 310 transportieren. Eine zweite Transportlinie 385 kann das Substrat zwischen der ersten Beschichtungseinheit 330 oder der zweiten Beschichtungseinheit 335 und dem zweiten Puffer 345 sowie zwischen der ersten Belichtungseinheit 350 und der Entwicklungseinheit 360 transportieren.
  • Nun werden ein Aufbau und eine Funktion der durch die obigen Prozesse hergestellten Flüssigkristalldisplaytafel kurz wie folgt beschrieben.
  • Die Flüssigkristalldisplaytafel verfügt, was jedoch nicht dargestellt ist, über ein unteres Substrat, ein oberes Substrat und einen zwischen den beiden Substraten vorhandenen Flüssigkristall.
  • Das untere Substrat verfügt über eine Gateleitung, eine Datenleitung, einen Dünnschichttransistor und eine Pixelelektrode.
  • Das obere Substrat wird so auf dem unteren Substrat positioniert, dass es diesem zugewandt ist, und es verfügt über ein Farbfilter, eine Schwarzmatrix und eine gemeinsame Elektrode.
  • Das untere Substrat verfügt über eine Vielzahl von Gateleitungen und Datenleitungen, die als m×n-Matrix angeordnet sind. Die Dünnschichttransistoren, also Schaltelemente, sind an Schnittstellen der Vielzahl von Gateleitungen und Datenleitungen ausgebildet.
  • Der Dünnschichttransistor verfügt über eine Gateelektrode, eine Sourceelektrode, eine Drainelektrode, eine aktive Schicht und eine Schicht für ohmschen Kontakt. Die Drainelektrode ist mit der Pixelelektrode verbunden, und sie bildet ein Einheitspixel. Anders gesagt, arbeitet der Dünnschichttransistor so, dass ein synchron mit einem Torsignal an die Datenleitung gelegtes Datensignal von der Sourceelektrode über die Schicht für ohmschen Kontakt und die aktive Schicht an die Drainelektrode übertragen werden kann, wenn das Torsignal über die Gateleitung an die Gateelektrode angelegt wird.
  • Genauer gesagt, wird, wenn das Datensignal an die Sourceelektrode gelegt wird, eine Spannung an die mit der Drainelektrode verbundene Pixelelektrode gelegt, um dadurch zwischen dieser und der gemeinsamen Elektrode eine Spannungsdifferenz zu erzeugen. Die Spannungsdifferenz zwischen der Pixelelektrode und der gemeinsamen Elektrode sorgt für eine Änderung einer Molekülanordnung eines dazwischen eingefügten Flüssigkristalls. Die Änderung der Molekülanordnung sorgt für eine Änderung des Umfangs der Lichttransmission in einem Pixel, und zwischen den Pixeln wird abhängig von der Differenz zwischen den auf Pixelbasis angelegten Datensignalen eine Farbdifferenz erzeugt. Die Farbdifferenz kann dazu verwendet werden, ein Bild eines Flüssigkristalldisplays zu steuern.
  • Das an die Gateleitung angelegte Torsignal und das an die Datenleitung angelegte Datensignal werden unter Verwendung einer Treiberschaltung wie eines Gatetreibers und eines Datentreibers erzeugt. Ein Tape-Carrier-Package (TCP) kann die Treiberschaltung mit der Flüssigkristalldisplaytafel verbinden.
  • Das Farbfilter und die gemeinsame Elektrode können, wie oben beschrieben, am oberen Substrat vorhanden sein, jedoch können ihre Positionen abhängig vom Ansteuerungsverfahren des Flüssigkristalldisplays variieren. Genauer gesagt, ist bei einem im Modus mit horizontalem Schalten (IPS) arbeitenden Flüssigkristalldisplay die gemeinsame Elektrode am unteren Substrat ausgebildet. Das Farbfilter ist bei einem Flüssigkristalldisplay, das in einem Color-Filter-On-Array(COA)-Modus arbeitet, am unteren Substrat ausgebildet.
  • Wie oben beschrieben, kann beim System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel und bei einer Flüssigkristalldisplaytafel unter Verwendung desselben derselbe Prozess wie durch eine Ladeeinheit mit drei Schleusen unter Verwendung einer Ladeeinheit mit zwei Schleusen ausgeführt werden.
  • Demgemäß besteht ein Vorteil dahingehend, dass die Effizienz des Prozesses in Bezug auf die Fläche stark erhöht ist, wodurch die Ausbeute verbessert ist und die Kosten gesenkt sind.
  • Nachdem die Erfindung auf diese Weise beschrieben wurde, ist es ersichtlich, dass sie auf viele Arten variiert werden kann. Derartige Variationen sind nicht als Abweichung vom Grundgedanken und Schutzumfang der Erfindung anzusehen, und alle Modifizierungen, wie sie dem Fachmann ersichtlich sind, sollen im Schutzumfang der folgenden Ansprüche enthalten sein.

Claims (9)

  1. System zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel, mit: einer ersten Ladeeinheit mit zwei Schleusen zum gleichzeitigen Eingeben und Ausgeben von Substraten aus einer Gruppe von über jede Schleuse geladenen Kassetten; einer zweiten Ladeeinheit mit zwei Schleusen zum gleichzeitigen Eingeben und Ausgeben von Substraten aus einer anderen Gruppe von Kassetten, wie sie über jede Schleuse geladen werden; einer ersten Bearbeitungseinheit zum Ausführen eines Herstellprozesses für die über die erste Ladeeinheit eingegebenen Substrate und zum Transportieren der Substrate mit abgeschlossenem Prozess zur ersten Ladeeinheit; einer zweiten Bearbeitungseinheit zum Ausführen eines Herstellprozesses für die über die zweite Ladeeinheit eingegebenen Substrate und zum Transportieren der Substrate mit abgeschlossenem Prozess zur zweiten Ladeeinheit; und einer Transportlinie zum Transportieren der Substrate.
  2. System nach Anspruch 1, ferner mit einer gemeinsamen Bearbeitungseinheit zum gemeinsamen Ausführen eines Herstellprozesses für die von der ersten Eingabe-Ladeeinheit und der zweiten Eingabe-Ladeeinheit eingegebenen Substrate.
  3. System nach Anspruch 1, bei dem die erste Ladeeinheit und die zweite Ladeeinheit Substrate aus derselben Kassette gleichzeitig eingeben und ausgeben.
  4. System nach Anspruch 3, bei dem die aus derselben Kassette eingegebenen und ausgegebenen Substrate voneinander verschieden sind.
  5. System nach Anspruch 3, bei dem die von derselben Kassette eingegebenen und ausgegebenen Substrate einander gleich sind.
  6. System nach Anspruch 1, bei dem die erste Bearbeitungseinheit und die zweite Bearbeitungseinheit jeweils über eine Beschichtungseinheit und eine Belichtungseinheit verfügen.
  7. System nach Anspruch 2, bei dem die gemeinsame Bearbeitungseinheit eine Reinigungseinheit und eine Prüfeinheit aufweist.
  8. System nach Anspruch 1, bei dem die erste Bearbeitungseinheit und die zweite Bearbeitungseinheit gleichzeitig jeweils voneinander verschiedene Herstellprozesse ausführen.
  9. Flüssigkristalldisplaytafel, die unter Verwendung eines Systems zum Herstellen einer Flüssigkristalldisplaytafel, wie es im Anspruch 1 beansprucht ist, hergestellt wurde.
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