DE102005042762B4 - Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung - Google Patents
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004261880A JP4421980B2 (ja) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | 連続成膜装置 |
JP2004-261880 | 2004-09-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102005042762A1 DE102005042762A1 (de) | 2006-04-06 |
DE102005042762B4 true DE102005042762B4 (de) | 2016-10-20 |
Family
ID=36062337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102005042762.6A Active DE102005042762B4 (de) | 2004-09-09 | 2005-09-08 | Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4421980B2 (ja) |
DE (1) | DE102005042762B4 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4573272B2 (ja) * | 2006-07-26 | 2010-11-04 | 株式会社神戸製鋼所 | 連続成膜装置 |
DE102007009615A1 (de) | 2007-02-26 | 2008-08-28 | Leybold Optics Gmbh | Anlage und Verfahren zur Vakuumbehandlung von bandförmigen Substraten |
DE102008018396A1 (de) | 2008-04-10 | 2009-10-15 | Leybold Optics Gmbh | Vakuum-Beschichtungsanlage |
JP2010018828A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 真空蒸着装置 |
JP5241383B2 (ja) | 2008-08-27 | 2013-07-17 | 株式会社神戸製鋼所 | 連続成膜装置 |
JP5794519B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2015-10-14 | 国立大学法人富山大学 | 複合膜の成膜装置及び成膜方法 |
DE102012104013A1 (de) | 2012-05-08 | 2013-11-14 | Schmid Vacuum Technology Gmbh | Hochvakuumanlage und Verfahren zum Evakuieren |
JP5969953B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2016-08-17 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置 |
DE102013105824B4 (de) * | 2013-06-06 | 2017-07-13 | Von Ardenne Gmbh | Prozessanordnung und Verfahren zum Betreiben einer Prozessanordnung |
JP2016191127A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社神戸製鋼所 | 隔壁構造体およびそれを備えた成膜装置 |
JP6408949B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2018-10-17 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置 |
CN110643969A (zh) * | 2018-06-27 | 2020-01-03 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 一种真空蒸镀设备 |
DE102019007935B4 (de) | 2019-11-14 | 2023-06-29 | Elfolion Gmbh | Verfahren zum Bearbeiten flexibler Substrate und Vakuumbearbeitungsanlage zur Umsetzung des Verfahrens |
CN113684462B (zh) * | 2021-07-29 | 2023-07-21 | 苏州道一至诚纳米材料技术有限公司 | 双面往复镀膜装置 |
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-
2004
- 2004-09-09 JP JP2004261880A patent/JP4421980B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-09-08 DE DE102005042762.6A patent/DE102005042762B4/de active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4421980B2 (ja) | 2010-02-24 |
DE102005042762A1 (de) | 2006-04-06 |
JP2006077284A (ja) | 2006-03-23 |
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Legal Events
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8125 | Change of the main classification |
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|
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