DE102004005233A1

DE102004005233A1 - Infrarotstrahlen-Sperrfilter und Methoden zu dessen Herstellung

Info

Publication number: DE102004005233A1
Application number: DE102004005233A
Authority: DE
Inventors: Yasuhiro Nagoya Kondo
Original assignee: Elmo Co Ltd
Current assignee: Elmo Co Ltd
Priority date: 2003-04-10
Filing date: 2004-02-03
Publication date: 2004-10-28
Anticipated expiration: 2024-02-04
Also published as: JP4404568B2; CN1536377A; JP2004309934A; US20040202897A1; US7157159B2; DE102004005233B4

Abstract

Es werden ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter vom Reflexionstyp und ein damit verbundenes Herstellungsverfahren vorgeschlagen, bei dem Zeit und Kosten reduziert werden und die Herstellungseffizienz verbessert wird. In dem Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 mit einer Multilayer-Membran 200, bestehend aus nicht weniger als 16 aber nicht mehr als 32 Schichten einer dünnen Membran 210 mit hohem Refraktionsindex und einer dünnen Membran 220 mit niedrigem Refraktionsindex, alternierend laminiert und auf dem Glassubstrat 100 gebildet, ist die erste Schicht von der Seite des Glassubstrats 100 eine dünne Membran mit hohem Refraktionsindex und die letzte Schicht eine dünne Membran mit niedrigem Refraktionsindex. Wenn die Muster-Wellenlänge mit lambda gegeben ist, sind die erste und die zweite Schicht mit einer optischen Dichte von nicht weniger als lambda/4 gebildet, die dritte Schicht bis zu einer vorgeschriebenen Schicht mit einer optischen Dichte von nicht weniger als lambda/4, die Schichten zwischen der vorgeschriebenen Schicht und der letzten Schicht mit einer optischen Dichte von nicht weniger als lambda/4 und die letzte Schicht mit einer optischen Dichte von nicht mehr als lambda/4.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Infrarotstrahlen-Sperrfilter, der in einer bildgebenden Vorrichtung, die feste bildgebende Elemente und ähnliches enthält, verwendet wird, und auf dessen Herstellungsverfahren. Die Erfindung bezieht sich speziell auf einen Typ eines reflektiven Infrarotstrahlen-Sperrfilters, der eine optische Multilayermembran verwendet.

Während der menschlichen optischen Sinneswahrnehmung eine ausreichende optische Sensitivität zur Wahrnehmung infraroten Lichts, d. h. Licht mit einer Wellenlänge von ungefähr 700 Nanometern (nm), fehlt, besitzt eine CCD-Vorrichtung (charge coupled device) eine Sensitivität, die ihr ermöglicht, infrarotes Licht von einer Wellenlänge bis zu 1100 nm wahrzu nehmen. Als ein Ergebnis wird ein Infrarotstrahlungsbegrenzungsfilter in einem Bildgebenden Apparat, der feste Bildgebende Elemente wie CCDs verwendet, benutzt. Ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter hat die Eigenschaft, infrarotes Licht aufzuhalten, während sichtbares Licht durchgelassen wird. Folglich kann ein Bildgebender Apparat Bilder mit einer optischen Sensitivität nahe der von Menschen erhalten, während Infrarotlicht von den CCDs oder anderen Vorrichtungen abgehalten wird.

Infrarotstrahlen-Sperrfilter beinhalten Absorptionstyp- und Reflektionstypfilter. In einem Absorptionstyp Infrarotstrahlen-Sperrfilter sind infrarotabsorbierende Metallionen im Glas beinhaltet. Ein Absorptionstypfilter zeigt eine schrittweise Abnahme der Lichtpermeabilität, wenn die Lichtwellenlänge von 550 nm auf 750 nm zunimmt. Diese Eigenschaft der Lichtpermeabilität erlaubt eine natürliche Farbreproduktion mit einer Sensitivität nahe der der menschlichen optischen Sinneswahrnehmung, um eine gute Lichtpermeabilität zu erhalten, muss das aber Glas eine vorgegebene minimale Dicke besitzen. Als ein Ergebnis ist es schwierig, den bildgebenden Apparat in kleiner Größe herzustellen.

Auf der anderen Seite wird in einem Infrarotstrahlen-Sperrfilter vom Reflektionstyp eine optische Multilayermembran, die das Infrarotlicht reflektiert, auf dem Glas geformt. Weil dieser Filtertyp durch Auftragen eines optischen Multilayermembranüberzugs über ein optisches Teil, das im bildgebenden Apparat eingebaut ist, realisiert werden kann, und weil die Multilayermembran dünn ist, ist es einfach, den bildgebenden Apparat kompakt herzustellen. Jedoch fällt die Lichtpermeabilität eines typischen optischen Multilayermebranfilters zwischen dem permeablen Lichtbereich und dem nicht permeablen Lichtbereich scharf ab. Als ein Ergebnis ist es schwierig, eine natürliche Farbreproduktion zu erreichen, die die Sensitivitätscharakteristik der menschlichen optischen Sinneswahrnehmung originalgetreu wiederspiegelt.

Ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter vom Reflektions-Typ, der das oben genannte Lichtpermeabilitätsproblem beseitigt, ist in der herkömmlichen Technik bekannt. Durch Formen einer optischen Multilayermembran mit wenigstens 34 Schichten mit je einer vorgeschriebenen optischen Dicke wird erreicht, dass die Lichtpermeabilität schrittweise abnimmt, wenn die Wellenlänge von 550 nm auf 750 nm zunimmt, in derselben Art wie bei einem AbsorptionstypInfrarotstrahlen-Sperrfilter. Die Technologie wird z. B. in dem japanischen offengelegten Patent Nr. 2000-314808 beschrieben.

Jedoch muss dieser Typ eines Infrarotstrahlen-Sperrfilters vom Reflektions-Typ eine aus mindestens 34 dünnen Membranschichten zusammengesetzte optische Multilayermembran darstellen. Folglich haben Abweichungen in der optischen Dicke, die auftreten, wenn die verschiedenen dünnen Membranlayer geformt werden, einen signifikanten Effekt auf die Lichtpermeabilität der optischen Multilayermembran als Ganzes und machen es schwer, ein Produkt mit einer stabilen Lichtpermeabilität herzustellen. Als ein Ergebnis ist es kosten- und zeitaufwendig, diesen Typ eines Infrarotstrahlen-Sperrfilters herzustellen.

Die vorliegende Erfindung wurde in Hinblick auf das Vorangegangene entwickelt und ein Ziel ist es, einen Reflektions-Typ Infrarotstrahlen-Sperrfilter und ein damit verbundene Herstellungsverfahren bereitzustellen, das die Kosten und Zeit, die für die Herstellung benötigt werden, reduziert und die Herstellungseffizienz erhöht.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Um das oben genannte Ziel zu erreichen, ist der Infrarotstrahlen-Sperrfilter der vorliegenden Erfindung ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter mit einem transparenten Substrat und einer Multilayermembran, die multiple dünne Membranen mit hohem Refraktionsindex aus einem Material mit hohem Refraktionsindex und multiple dünne Membranen mit einem geringen Refraktionsindex aus einem Material mit geringem Refraktionsindex enthält, die in abwechselnder Weise auf das Substrat gelegt werden, wobei die Multilayermembran nicht weniger als 16, aber nicht mehr als 32 dünne Membranen besitzt und die erste Schicht der Multilayermembran von einer Seite des transparenten Substrats eine der dünnen Membranen mit hohem Refraktionsindex ist und diese mit einer optischen Dicke von nicht weniger als λ/4 geformt ist; die zweite Schicht der Multilayermembran mit einer optischen Dicke nicht weniger als λ/4 geformt ist; jede Schicht von der dritten Schicht bis zu einer vorgeschriebenen Schicht der Multilayermembran mit einer optischen Dicke von nicht mehr als λ/4 geformt ist; jede Schicht der vorgeschriebenen Schicht und der letzten Schicht der Multilayermembran mit einer optischen Dicke von nicht weniger als λ/4 geformt ist; und die letzte Schicht eine jener dünnen Membranen mit niedrigen Refraktionsindex ist und mit einer optischen Dicke von nicht mehr als λ/4 geformt ist, wobei λ die Musterwellenlänge repräsentiert.

Durch Benutzen dieses Infrarotstrahlen-Sperrfilters kann ein schrittweises Abfallen der Lichtpermeabilitätscharakteristik dann, wenn die Wellenlänge von 550 nm auf 750 nm ansteigt, durch Anwenden einer optischen Multilayermembran mit nicht weniger als 16 aber nicht mehr als 32 Schichten erreicht werden. Als ein Ergebnis kann der Effekt der Abweichungen in der optischen Dicke der dünnen Membranschichten während ihres Formens auf die Lichtpermeabilität (der Multilayermembran als Ganzes) im Vergleich zum konventionellen Infrarotstrahlenbegrenzungsfilfter mit 34 oder mehr Schichten reduziert werden. Als ein Ergebnis kann die Schwierigkeit der Herstellung eines stabilen Produktes gemindert werden, wodurch die bei der Herstellung des Infrarotstrahlen-Sperrfilters benötigte Zeit und Kosten reduziert werden und die Herstellungseffizienz gesteigert wird.

Der Infrarotstrahlen-Sperrfilter der vorliegenden Erfindung mit dem obengenannten Aufbau kann auch den im folgenden beschriebenen Aufbau besitzen. Die vorgeschriebene Schicht kann die sechste oder siebente Schicht der Multilayermembran von der Seite des transparenten Substrats sein. Entsprechend diesen Typs von Infrarotstrahlen-Sperrfiltern kann eine Lichtpermeabilitätcharakteristik näher der des menschlichen, optischen Wahrnehmungssinns erhalten werden.

Außerdem kann eine dünne Membran mit einem mittleren Refraktionsindex bestehend aus einem Material mit einem mittleren Reflektionsindex zwischen das transparente Substrat und die Multilayermembran gelegt werden. Entsprechend diesen Typs eines Infrarotstrahlen-Sperrfilters kann, da die Multilayermembran einfach mit einem Entferner von dem transparenten Substrat entfernt werden kann, die Membran auch im Falle eines Defekts beim Formprozess der Multilayermembran wieder reformiert werden. Darüber hinaus kann die Adhäsion zwischen dem transparenten Substrat und der Multilayermembran erhöht werden. Weiterhin können Fluktuationen in der Lichtpermeabilität innerhalb des sichtbaren Lichtbereichs aufgrund von Unterschieden in den Refraktionsindices des transparenten Substrats und der ersten dünnen Membranschicht mit hohem Refraktionsindex vermieden werden.

Die dünnen Membranschichten mit hohem Refraktionsindex können aus TiO₂ hergestellt werden, während die dünnen Membranschichten mit geringem Refraktionsindex aus SiO₂ oder MgF₂ hergestellt werden. Die dünne Membran mit einem mittleren Refraktionsindex kann aus Al₂O₃. Die Techniken zum Formen einer Membran unter Benutzung dieser Materialien sind weithin bekannt und in der konventionellen Technik implementiert. Als ein Ergebnis kann das Herstellen unter Benutzung existierender Ausrüstungen ohne Bedarf für eine spezielle Formtechnologie durchgeführt werden.

Das Herstellungsverfahren für den Infrarotstrahlen-Sperrfilter der vorliegenden Erfindung ist ein Herstellungsverfahren für einen Infrarotstrahlen-Sperrfilter mit einem transparenten Substrat und einer Multilayermembran, die multiple, dünne Membranen mit einem hohen Refraktionsindex aus einem Material mit einem hohen Refraktionsindex und multiple dünne Membran mit einem geringen Refraktionsindex aus einem Material mit geringem Refraktionsindex beinhaltet, die Multilayermembran dünne Membranschichten von nicht weniger als 16 aber nicht mehr als 32 besitzt, die Methode die Schritte umfasst: Formen einer ersten Schicht in der ersten Position auf dem transparenten Substrat mit einem Material mit hohen Refraktionsindex und die eine optische Dicke von nicht weniger als λ/4 besitzt; Formen einer zweiten Schicht in der zweiten Position auf dem transparenten Substrat mit einem Material mit geringem Refraktionsindex und die eine optische Dicke von nicht weniger als λ/4 besitzt; Formen von mehreren Schichten von einer dritten Schicht zu einer vorgeschriebenen Schicht mit einem Material mit hohen Refraktionsindex und mit Material mit einem geringen Refraktionsindex, die in abwechselnder Weise gelegt werden und wobei jede Schicht eine optische Dicke von nicht mehr als λ/4 besitzt; Formen von mehreren Schichten zwischen der vorgeschriebenen Schicht und einer letzten Schicht in der letzten Position auf dem transparenten Substrat mit einem Material mit hohem Refraktionsindex und einem Material mit geringem Refraktionsindex, die in abwechselnder Weise gelegt sind und wobei jede Schicht eine optische Dicke von nicht weniger als λ/4 besitzt; und Formen einer letzten Schicht mit einem Material mit geringem Refraktionsindex, die eine optische Dicke von nicht mehr als λ/4 besitzt, wobei λ eine Musterwellenlänge repräsentiert.

Entsprechend dieses Herstellungsverfahrens für eine Infrarotstrahlen-Sperrfilter, kann ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter mit einer schrittweise abfallenden Lichtpermeabilitätcharakteristik bei Ansteigen der Wellenlänge von 550 nm bis 750 nm durch Formen einer Multilayermembran mit nicht weniger als 16 aber nicht mehr als 32 Schichten hergestellt werden. Deshalb kann der Effekt von Abweichungen in der optischen Dicke der dünnen Membranschichten während ihres Formprozesses auf die Lichtpermeabilität (der Multilayermembran als Ganzes) im Vergleich mit konventionellen Infrarotstrahlen-Sperrfilter mit 34 oder mehr Schichten reduziert werden. Als ein Ergebnis kann die Schwierigkeit des Herstellens eines stabilen Produktes gemildert werden, wodurch die für die Herstellung des Infrarotstrahlen-Sperrfilters benötigte Zeit und Kosten reduziert werden und die Herstellungseffizienz ansteigt.

1 zeigt den Grundaufbau des Infrarotstrahlen-Sperrfilters der ersten bis sechsten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung;
2 zeigt ein Beispiel der optischen Dicken der dünnen Membranschichten mit einer 16-Schichten Multilayermembran 200 der ersten Ausgestaltung;
3 zeigt ein Beispiel der optischen Dicken der dünnen Membranschichten mit einer 18-Schichten Multilayermembran 200 einer zweiten Ausgestaltung;
4 zeigt ein Beispiel der optischen Dicke der dünnen Membranschichten mit einer 20-Schichten Multilayermembran 200 einer dritten Ausgestaltung;
5 zeigt ein Beispiel der optischen Dicke der dünnen Membranschichten mit einer 22-Schichten Multilayermembran 200 einer dritten Ausgestaltung;
6 zeigt ein Beispiel der optischen Dicke der dünnen Membranschichten mit einer 24-Schichten Multilayermembran 200 einer dritten Ausgestaltung;
7 zeigt ein Beispiel der optischen Dicke der dünnen Membranschichten mit einer 26-Schichten Multilayermembran 200 einer dritten Ausgestaltung;
8 zeigt die Lichtpermeabilitätcharakteristika der verschiedenen Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10, die in den Multilayermembran 200 enthalten sind, die in der ersten bis sechsten Ausgestaltung beschrieben sind;
9 zeigt ein Bespiel der optischen Dicke der dünnen Membranschichten mit einer 18-Schichten Multilayermembran 200 einer siebenten Ausgestaltung;
10 zeigt ein Beispiel der optischen Dicken der dünnen Membranschichten mit einer 20-Schichten Multilayermembran 200 einer achten Ausgestaltung;
11 zeigt die Lichtpermeabilitätcharakteristika der verschiedenen Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10, die in den in der siebenten und achten Ausgestaltungen beschriebenen Multilayermembran 200 beinhaltet sind;
12 zeigt den grundlegenden Aufbau eines Infrarotstrahlen-Sperrfilters 30 einer neunten Ausgestaltung;
13 zeigt ein Beispiel der optischen Dicken der dünnen Membranschichten mit der einen Schicht einer dünnen Membran mit einem mittleren Refraktionsindex 300 und einer 20-Schichten Multilayermembran 200 einer neunten Ausgestaltung;
14 zeigt die Lichtpermeabilitätcharakteristika des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 30 der neunten Ausgestaltung; und
15 zeigt die grundlegenden Schritte des Herstellungsverfahrens für den Infrarotstrahlen-Sperrfilter 30.
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSGESTALTUNGEN
Um den Aufbau und das Handeln der oben beschriebenen vorliegenden Erfindung weiter zu erklären, werden im folgenden Ausgestaltungen des Infrarotstrahlen-Sperrfilters, der die vorliegende Erfindung nutzt, beschrieben.
Zunächst werden die Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der ersten bis sechsten Ausgestaltung, die einen Aspekt der vorliegenden Erfindung beinhalten, beschrieben. 1 ist eine erklärende Zeichnung, die den grundliegenden Aufbau der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der ersten bis sechsten Ausgestaltung zeigt. Ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter ist durch Formen einer Multilayermembran 200, die aus multiplen Schichten einer dünnen Membran mit hohen Refraktionsindex 210 hergestellt aus einem Material mit hohen Refraktionsindex und einer dünnen Membran mit niedrigem Refraktionsindex 210, hergestellt aus einem Material mit geringem Refraktionsindex zusammengesetzt ist, zusammengesetzt, die in abwechselnder Weise auf das Glassubstrat 100 laminiert ist. Diese Multilayermembran 200 ist aus nicht weniger als 16 aber nicht mehr als 26 dieser dünnen Membranen zusammengesetzt. Die erste Schicht der Multi layermembran 200 von der Seite des Glassubstrats 100 ist eine dünne Membranschicht mit einem hohen Refraktionsindex 210, während die letzte Schicht (die n-te Schicht, gezeigt in 1) eine dünne Membranschicht mit einem geringen Refraktionsindex 220 ist. In anderen Worten ist die Multilayermembran 200 aus einer geraden Anzahl von nicht weniger als 16 aber nicht mehr als 32 Schichten zusammengesetzt und unter diesen Schichten sind die Schichten mit einer geraden Nummer dünne Membranen mit einem hohen Refraktionsindex und die Schichten mit einer ungeraden Nummer dünne Membranen mit einem geringen Refraktionsindex 220. In der folgenden Beschreibung werden die dünnen Membranschichten, die die Multilayermembran 200 zusammensetzen, der Reihe nach als die erste, die zweite etc. Schicht bis zur letzten Schicht von der Seite des Glassubstrats 100 bezeichnen.
Das Glassubstrat 100 besteht aus transparentem Kristall. Dieses Glassubstrat 100 kann auch eine optische Komponente, wie ein optischer Low-Pass-Filter, darstellen. Titandioxid (TiO₂) wird als Material mit einem hohen Refraktionsindex für die dünnen Membranen mit hohem Refraktionsindex 210 verwendet. Siliziumdioxid (SiO₂) wird als Material mit einem niedrigen Refraktionsindex für die dünnen Membranen mit einem geringen Refraktionsindex 220 verwendet. Die optischen Dicken der verschiedenen, dünnen Membranen, die die Multilayermembran 200 in der ersten bis sechsten Ausgestaltung aufbauen, wird nun beschrieben. 2 zeigt ein Beispiel der optischen Dicken der dünnen Membranschichten, die eine 16-Schichten Multilayermembran 200 der ersten Ausgestaltung umfassen. 3 zeigt ebenso die zweite Ausgestaltung mit einer 18-Schichten Multilayermembran 200. 4 zeigt die dritte Ausgestaltung mit einer 20-Schichten Multilayermembran 200. 5 zeigt die vierte Ausgestaltung mit einer 22-Schichten Multilayermembran 200. 6 zeigt die fünfte Ausgestaltung mit einer 24-Schichten Multilayermembran 200. 7 zeigt die zeigt die sechste Ausgestaltung mit einer 26-Schichten Multilayermembran 200. In den 2 – 7 sind für jede dünne Membranschicht, die Multilayermembran 200 umfasst, in „Schicht", „Material" und „optische Dicke" gezeigt. Der Wert für den „optische Dicke"-Parameter zeigt die optische Dicke der Schicht, wobei die Wellenlänge des Lichts innerhalb jeder Schicht mit „1" angenommen wird.
Die in 2 bis 7 gezeigten dünnen Membranen, die die Multilayermembran 200 aufweisen, sind mit einer optischen Dicke von ungefähr λ/4 geformt, basierend auf einer Musterwellenlänge λ von 750 nm. Die erste und zweite Schicht der Multilayermembran sind mit einer optischen Dicke von λ/4 oder höher geformt. Schichten von der dritten Schicht bis zu einer vorgeschriebenen Schicht sind mit einer optischen Dicke von λ/4 oder niedriger geformt. Die vor geschriebene Schicht ist die siebente Schicht in der 20-Schichten Multilayermembran 200 der dritten Ausgestaltung gezeigten 4 und die sechste Schicht in der Multilayermembran 200 in allen anderen Ausgestaltungen, außer der dritten Ausgestaltung. Die Schichten zwischen der vorgeschriebenen Schicht und der letzten Schicht sind mit einer optischen Dicke von λ/4 oder höher geformt. Die letzte Schicht ist mit einer optischen Dicke von λ/4 oder geringer geformt. Die physikalische Dicke einer jeden Schicht ist ausgedrückt als {Musterwellenlänge λ} x {optische Dicke} / {Refraktionsindex des Material der dünnen Membran}. Hier ist der Refraktionsindex von Titandioxid (TiO₂) bekannt als „ungefähr 2,3" und der Refraktionsindex Siliziumdioxid (SiO₂) bekannt als „ungefähr 1,46".
Die Lichtpermeabilitätschaxakteristik des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 10 der ersten bis sechsten Ausgestaltung wird nun beschrieben. 8 ist eine beschreibende Zeichnung, die die Lichtpermeabilitätscharakteristika der verschiedenen Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10, die die Multilayermembran 200 der ersten bis sechsten Ausgestaltung beinhaltet, zeigt. In 8 wird die Lichtwellenlänge auf der horizontalen Axis und die Lichtpermeabilität auf der vertikalen Axis dargestellt. Die Kurven La bis Lf in 8 zeigen die Lichtpermeabilitätscharakteristika der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10, die die in 2 bis 7 gezeigten Multilayermembran 200 beinhalten. Die Kurve Lg in 8 zeigt die Lichtpermeabilitätscharakteristik eines Infraxotstrahlen-Sperrfilter vom Adsorptionstyp. In anderen Worten zeigt die Kurve Lg die ideale Lichtpermeabilitätscharakteristik für die annähernd der Sensitivität der menschlichen optischen Sinneswahrnehmung annähernden natürlichen Farbwiedergabe.
Wie in 8 dargestellt, zeigen die Lichtpermeabilitätscharakteristika der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 eine Lichtpermeabilität von wenigstens 90 % Licht im Wellenlängenband von 400 bis 550 nm. Die Lichtpermeabilität sinkt schrittweise im Wellenlängenband von 550 bis 750 nm und fällt auf 10 % oder weniger im Wellenlängenband von 750 – 1050 nm. Folglich sind die Lichtpermeabilitätscharakteristika La bis Lf der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der ersten bis sechsten Ausgestaltung essentiell identisch zu der Lichtpermeabilitätscharakteristik des Adsorptionstyp Infrarotstrahlen-Sperrfilters. Aufgrund von 8 ist klar, dass, wenn die Nummer der dünnen Membranschichten in der Multilayermembran 200 ansteigt, der Grad an Fluktuation in der Lichtpermeabilitätscharakteristik sinkt.
Entsprechend der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der oben beschriebenen ersten bis sechsten Ausgestaltung kann eine Lichtpermeabilitätscharakteristik, bei der eine Lichtpermeabilität schrittweise sinkt, wenn die Wellenlänge von 550 nm bis 750 nm ansteigt, durch Benutzen einer Multilayermembran 200 mit nicht weniger als 16, aber nicht mehr als 26 Schichten erreicht werden. Folglich kann der Effekt von Abweichungen der optischen Dicken der dünnen Membranschichten während der Membranherstellung auf die Lichtpermeabilitätscharakteristik im Vergleich mit konventionellen Infrarotstrahlen-Sperrfiltern mit 34 oder mehr Schichten reduziert werden. Als ein Ergebnis kann die Schwierigkeit des Herstellens eines stabilen Produktes gemildert werden, wodurch die bei der Herstellung des Infrarotstrahlen-Sperrfilters benötigte Zeit und Kosten reduziert werden und die Herstellungseffizienz steigt. Die erste bis sechste Ausgestaltung zeigte eine Multilayermembran 200 mit zwischen nicht mehr als 16, aber nicht weniger als 26 Schichten, aber dieselbe Lichtpermeabilitätscharakteristik kann mit einer Multilayermembran 200 mit nicht weniger als 28 aber nicht mehr als 32 Schichten erreicht werden. Darüber hinaus sind die Werte der optischen Dicken für die verschiedenen Schichten nicht auf die in den 2 bis 7 beschriebenen Werte begrenzt und können innerhalb der oben beschriebenen Bedingungen für die Membrandicken frei geändert werden im Hinblick auf die gewünschte Lichtpermeabilitätscharakteristik und Herstellungseffizienz.
Die Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der siebenten und achten Ausgestaltung werden nun beschrieben. Die Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der siebenten und achten Ausgestaltung unterscheiden sich von der zweiten und dritten Ausgestaltung dadurch, dass Magnesiumfluorid (MgF₂) als Material mit geringem Refraktionsindex in den dünnen Membranen mit geringem Refraktionsindex verwendet werden, ist aber in den übrigen Aspekten identisch. Der grundlegende Aufbau des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 10 der siebenten und achten Ausgestaltung ist in 1 dargestellt. Titandioxid (TiO₂) wird in den dünnen Membranen mit hohem Refraktionsindex 210 als Material mit hohem Refraktionsindex verwendet. Magnesiumfluorid (MgF₂) wird als Material mit geringem Refraktionsindex in den dünnen Membranen mit geringem Refraktionsindex 220 anstelle von Siliziumdioxid (SiO₂) verwendet.
Die optischen Dicken der verschiedenen dünnen Membranen, die die Multilayermembran 200 der siebenten und achten Ausgestaltung umfassen, wird nun beschrieben. 9 ist eine erklärende Zeichnung, die ein Beispiel der optischen Dicken der dünnen Membranen, die eine 18-Schichten Multilayermembran 200 der siebenten Ausgestaltung umfassen, zeigt. 10 ist eine erklärende Zeichnung, die ein Beispiel der optischen Dicken der dünnen Membranen, die eine 20-Schichten Multilayermembran 200 der achten Ausgestaltung umfassen, zeigt. In den 9 und 10 werden für jede dünne Membranschicht, die die Multilayermembran 200 um fasst, „Schicht", „Material" und „optische Dicke" gezeigt. Der Wert für den „optische Dicke"-Parameter zeigt die Dicke der Schicht, wobei die Wellenlänge des Lichts innerhalb jeder Schicht mit „1" angenommen wird.
Die dünnen Membranen, die die in 9 und 10 gezeigten Multilayermembran 200 umfassen, sind mit einer optischen Dicke von ungefähr λ/4 geformt, basierend auf einer Musterwellenlänge λ/4 von 750 nm. Die erste und die zweite Schicht der Multilayermembran 200 sind mit einer optischen Dicke von λ/4 oder höher geformt. Die dritte bis sechste Schicht sind mit einer optischen Dicke von λ/4 oder geringer geformt. Die Schichten zwischen der sechsten und der letzten Schicht sind mit einer optischen Dicke von λ/4 oder höher geformt. Die letzte Schicht ist mit einer optischen Dicke von λ/4 oder geringer geformt. Die physikalische Dicke einer jeden Schicht ist ausgedrückt als {Musterwellenlänge λ} × {optische Dicke} / {Refraktionsindex des Material der dünnen Membran}. Hier ist der Refraktionsindex von Titandioxid (TiO₂) bekannt als „ungefähr 2,3" und der Refraktionsindex von Magnesiumfluorid (MgF₂) bekannt als „ungefähr 1,38".
Die Lichtpermeabilitätscharakteristika der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der siebenten und achten Ausgestaltung werden nun beschrieben. 11 ist eine erklärende Zeichnung, die die Lichtpermeabilitätscharakteristika der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10, die die Multilayermembranen 200 der siebenten und achten Ausgestaltung beinhalten, zeigt. In 11 wird die Lichtwellenlänge auf der horizontalen Axis und die Lichtpermeabilität auf der vertikalen Axis dargestellt. Die Kurve Lh in 11 zeigt die Lichtpermeabilitätscharakteristik und des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 10, der die Multilayermembran 200 der in 9 gezeigten siebenten Ausgestaltung beinhaltet. Die Kurve Li in Fig. zeigt die Lichtpermeabilitätscharakteristik des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 10, der die Multilayermembran 200 der in 10 gezeigten achten Ausgestaltung beinhaltet. Die Kurve Lg in 11 zeigt die Lichtpermeabilitätscharakteristik eines Adsorptionstyp Infrarotstrahlen-Sperrfilters.
Wie in 11 dargestellt, zeigen die Lichtpermeabilitätscharakteristika der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der siebenten und achten Ausgestaltung eine Lichtpermeabilität von wenigstens 90 % für Licht im Wellenlängenband von 400 bis 550 nm. Die Lichtpermeabilität sinkt schrittweise im Wellenlängenband von 550 – 750 nm und fallt auf 10 % oder geringer im Wellenlängenband von 750 bis 1050 nm. Folglich sind die Lichtpermeabilitätscharakteristika Lh und Li der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der siebenten und achten Ausgestaltung essentiell identisch zu der Lichtpermeabilitätscharakteristik La des Adsorptionstyp Infrarotstrahlen-Sperrfilters. Entsprechend den oben beschriebenen Infrarotstrahlen-Sperrfiltern 10 der sieben und achten Ausgestaltung kann eine mit der ersten bis sechsten Ausgestaltung erhaltenen äquivalente Lichtpermeabilitätscharakteristik erreicht werden. Während die siebente und die achte Ausgestaltung eine aus 18 oder 20 Schichten zusammengesetzte Multilayermembran 200 einbezieht, kann dieselbe Lichtpermeabilitätscharakteristik durch Benutzung einer Multilayermembran 200, die aus 16 Schichten oder ebenso nicht weniger als 22 aber nicht mehr als 32 Schichten besteht, erreicht werden. Darüber hinaus sind die Werte der optischen Dicke für die verschiedenen Schichten nicht auf die in den 9 und 10 beschriebenen Werte begrenzt und können mit Hinblick auf die gewünschte Lichtpermeabilitätscharakteristik und die Herstellungseffizienz innerhalb der oben beschriebenen Membrandickebedingung frei geändert werden.
Der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 30 der neunten Ausgestaltung wird nun beschrieben. 12 ist eine beschreibende Zeichnung, die den grundlegenden Aufbau des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 30 der neunten Ausgestaltung zeigt. Der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 30 der neunten Ausgestaltung unterscheidet sich vom Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der dritten Ausgestaltung dadurch, dass eine dünne Membran mit einem mittleren Refraktionsindex 300, hergestellt aus einem Material mit einem mittleren Refraktionsindex, zwischen das Glassubstrat 100 und die Multilayermembran 200 gelegt wird, aber in allen anderen Aspekten identisch ist. Aluminiumoxid (Al₂O₃) wird als Material mit mittlerem Refraktionsindex in der dünnen Membran mit mittlerem Refraktionsindex 300 verwendet.
Die optischen Dicken der verschiedenen dünnen Membran, die die Multilayermembran 200 der neunten Ausgestaltung umfasst, werden nun beschrieben. 13 ist eine erklärende Zeichnung, die ein Beispiel der optischen Dicken der dünnen Membranen, die die eine Schicht einer dünnen Membran mit einem mittleren Refraktionsindex 300 und die 20 Schichten der Multilayermembran 200 der neunten Ausgestaltung umfassen. In 13 werden für jede dünne Membranschicht, die die Multilayermembran 200 umfasst, „Schicht", „Material" und „optische Dicke" gezeigt. Der Wert für den „optische Dicke" Parameter zeigt die Dicke der Schicht, wobei die Wellenlänge des Lichts in jeder Schicht als „1" angesehen wird.
Die dünnen Membranen, die die in 13 gezeigte Multilayermembran 200 umfassen, sind mit einer optischen Dicke von ungefähr λ/4 geformt, basierend auf einer Musterwellenlänge λ von 750 nm. Die dünne Membran mit einem mittleren Refraktionsindex 300 ist mit einer optischen Dicke von λ/4 oder weniger geformt. Die erste und die zweite Schicht der Multilayermembran 200 sind mit einer optischen Dicke von λ/4 oder mehr geformt. Die dritte bis sechste Schicht sind mit einer optischen Dicke von λ/4 oder weniger geformt. Die Schicht zwischen der sechsten und der letzten Schicht sind mit einer optischen Dicke von λ/4 oder mehr geformt. Die letzte Schicht ist mit einer optischen Dicke von λ/4 oder weniger geformt. Die physikalische Dicke einer jeden Schicht ist angegeben als {Musterwellenlänge λ} × {optische Dicke} / {Refraktionsindex des Materials des dünnen Membran}. Hier ist der Refraktionsindex von Titandioxid (TiO₂) bekannt als „ungefähr 2,3", der Refraktionsindex von Siliziumdioxid (SiO₂) ist bekannt als „ungefähr 1,46" und der Refraktionsindex von Aluminiumoxid (Al₂O₃) ist bekannt als „ungefähr 1,64".
Die Lichtpermeabilitätscharakteristik des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 30 der neunten Ausgestaltung wird nun beschrieben. 14 ist eine beschreibende Zeichnung, die die Lichtpermeabilitätscharakteristik des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 30 der neunten Ausgestaltung zeigt. In 14 ist die Lichtwellenlänge auf der horizontalen Achse und die Lichtpermeabilität auf der vertikalen Achse abgebildet. Die Kurve Lc in 14 zeigt die Lichtpermeabilitätscharakteristik des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 10, der die 20 Schichten Multilayermembran 200 der in 8 gezeigten dritten Ausgestaltung beinhaltet. Die Kurve Lc^* in 14 zeigt die Lichtpermeabilitätscharakteristik des 21 Schichten-Infrarotstrahlen-Sperrfilters 30, der in 13 gezeigten neunten Ausgestaltung. Die Kurve Lg in 14 zeigt die Lichtpermeabilitätscharakteristik eines Absorptionstyp Infrarotstrahlen-Sperrfilters.
Wie in 14 dargestellt, zeigt die Lichtpermeabilitätscharakteristik Lc^* des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 30 der neunten Ausgestaltung einer Lichtpermeabilität von wenigstens 90% für Licht in dem Wellenlängenband von 400-550 nm. Die Lichtpermeabilität nimmt schrittweise in dem Wellenlängenband von 550-750 nm ab und fällt auf 10% oder weniger im Wellenlängenband von 750 bis 1050 nm. Folglich ist die Lichtpermeabilitätscharakteristik Lc* des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 30 der neunten Ausgestaltung essentiell identisch zur Lichtpermeabilitätscharakteristik Lg des Absorptionstyp Infrarotstrahlen-Sperrfilters. Darüber hinaus zeigt die Lichtpermeabilitätscharakteristik Lc^* des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 30 weniger Kräuselung innerhalb des 400-550 nm sichtbaren Sichtbereichs als die Lichtpermeabilitätscharakteristik Lc des Infrarotstrahlen-Sperrfilters 10 der dritten Ausgestaltung.
Entsprechend dem Infrarotstrahlen-Sperrfilter 30 der oben beschriebenen neunten Ausgestaltung, kann derselbe Effekt erhalten werden, der mit der dritten Ausgestaltung erhalten wurde und Fluktuationen in der Lichtpermeabilität innerhalb des sichtbaren Lichtspektrumbereichs aufgrund von Unterschieden in den Refraktionsindizes des transparenten Substrats 100 und der ersten dünnen Membranschicht mit hohem Refraktionsindex 210 können verhindert werden. Da die Multilayermembran 200 vom transparenten Substrat 100 mit einem Entferner leicht entfernt werden kann, kann die Membran zusätzlich im Falle eines Defekts in der Formgebung der Multilayermembran 200 leicht wieder hergestellt werden. Darüber hinaus kann die Adhäsion zwischen dem transparenten Substrat 100 und der Multilayermembran 200 gesteigert werden. In der neunten Ausgestaltung wurde eine dünne Membran mit einem mittleren Refraktionsindex 300 in den 20 Schichten Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der dritten Ausgestaltung eingesetzt, aber derselbe Effekt kann erhalten werden, wenn die dünne Membran mit dem mittleren Refraktionsindex 300 in die Infrarotstrahlen-Sperrfilter 10 der ersten bis achten Ausgestaltung mit nicht weniger als 16 aber nicht mehr als 32 Schichten eingesetzt wird. Zusätzlich sind die optischen Dickewerte der verschiedenen Schichten nicht auf die in der 13 gezeigten Werte beschränkt und können im Hinblick auf die gewünschte Lichtpermeabilitätscharakteristik und Herstellungseffizienz innerhalb der oben beschriebenen Membrandickebedingung verändert werden.
Im Folgenden wird das Herstellungsverfahren für den Infrarotstrahlen-Sperrfilter 30 der in 12 gezeigten Ausgestaltung beschrieben. 15 ist eine beschreibende Zeichnung, die die grundlegenden Schritte des Herstellungsprozesses für den Infrarotstrahlen-Sperrfilter 30 zeigt. In diesem Herstellungsprozess wird Titandioxid (TiO₂) in den dünnen Membranen mit hohem Refraktionsindex 210 als Material mit hohem Refraktionsindex, Siliziumdioxid (SiO₂) in den dünnen Membranen mit niedrigem Refraktionsindex 220 als Material mit niedrigem Refraktionsindex und Aluminiumoxid (Al₂O₃) in den dünnen Membranen mit mittlerem Refraktionsindex 300 als Material mit mittlerem Refraktionsindex verwendet.
Während der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 30 hergestellt wird, wird zunächst das Glassubstrat 100 vorbereitet (Schritt S100). Eine dünne Membran mit einem mittleren Refraktionsindex wird auf dem vorbereiteten Glassubstrat 100 mit einer vorgeschriebenen Membrandicke (wie die in 13 gezeigten optischen Dicken) geformt) (Schritt S200). Der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 20 der 1 kann auch ohne diesen Schritt des Formens einer dünnen Membran mit mittlerem Refraktionsindex 300 hergestellt werden (Schritt S200).
Nachdem die dünne Membran mit dem mittleren Refraktionsindex 300 geformt wurde (Schritt S200), wird eine erste Schicht darstellende dünne Membran mit hohem Refraktionsindex 200 auf dieser dünnen Membran mit mittlerem Refraktionsindex 300 mit einer optischen Dicke von weniger als λ/4 geformt (Schritt S300). Dann wird eine eine zweite Schicht darstellende dünne Membran mit einem geringen Refraktionsindex auf der ersten Schicht der dünnen Membran mit hohem Refraktionsindex 210 mit einer optischen Dicke von nicht mehr als λ/4 geformt (Schritt S400).
Als nächstes werden von der dritten Schicht bis zu einer vorgeschriebenen Schicht (die sechste Schicht in dem in 13 gezeigten Beispiel) dünne Membran mit hohem Refraktionsindex 210 und dünne Membranen mit niedrigem Refraktionsindex 220 mit einer Dicke von nicht mehr als λ/4 auf die zweite Schicht der dünnen Membran mit geringem Refraktionsindex 220 in abwechselnder Weise geformt (Schritt S500) und die Schichten zwischen der vorgeschriebenen Schicht und der letzten Schicht (die siebente bis 19te Schicht in dem in 13 gezeigten Beispiel) werden in abwechselnder Weise mit einer optischen Dicke von nicht weniger als λ/4 geformt (Schritt S600).
Der Infrarotstrahlen-Sperrfilter 30 wird dann vervollständigt durch Formen einer dünnen Membran mit einem niedrigen Refraktionsindex 220 als letzte Schicht mit einer optischen Dicke von nicht mehr als λ/4.
Während die Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung oben beschrieben wurden, ist die vorliegende Erfindung in keiner Weise auf diese Ausgestaltungen begrenzt und verschiedene Implementationen der Erfindung sind natürlich innerhalb des notwendigen Bereiches möglich. Zum Beispiel braucht das Glassubstrat nicht aus Kristall hergestellt werden und kann durch ein jedes Material, das einen Refraktionsindex, der geringer ist als der des Materials mit hohem Refraktionsindex hergestellt werden. Darüber hinaus braucht die vorliegende Erfindung nicht mit einer optischen Komponente integriert geformt sein und kann einen unabhängigen Infrarotstrahlen-Sperrfilter umfassen. Zusätzlich braucht das Material mit hohem Refraktionsindex nicht Titandioxid darstellen und kann stattdessen Tantalpentoxid (Ta₂O₅), Zirkoniumdioxid (TiO₂), Hafniumdioxid (HfO₂) oder ähnliches sein. Das Material mit geringem Refraktionsindex: kann Siliziumdioxid (SiO₂), Magnesiumfluorid (MgF₂) oder ähnliches darstellen. Aluminiumoxid (Al₂O₃), ein Material mit mittlerem Refraktionsindex, kann anstelle des Materials mit geringem Refraktionsindex verwendet werden. Diese Materialien können einzeln oder in Kombination verwendet werden.

Claims

Ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) mit einem transparenten Substrat (100) und einer Multilayer-Membran (200), die zahlreiche dünne Membranen mit einem hohen Refraktionsindex (210) eines Materials mit einem hohen Refraktionsindex und zahlreiche dünnen Membranen mit einem niedrigen Refraktionsindex (220) eines Materials mit einem niedrigen Refraktionsindex enthält, die auf dem transparenten Substrat (100) in alternierender Art aufgelegt sind, und die Multilayer-Membran (200) (200) nicht weniger als 16 aber auch nicht mehr als 32 dünne Membranschichten (210, 220) besitzt, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Schicht der Multilayer-Membran (200) auf einer Seite des transparenten Substrats (100) eine der dünnen Membranen mit hohem Refraktionsindex (210) ist und mit einer optischen Dichte von nicht weniger als λ/4 gebildet ist; die zweite Schicht der Multilayer-Membran (200) mit einer optischen Dichte von nicht weniger als λ/4 gebildet ist; jede Schicht von der dritte Schicht bis zu einer vorgegebenen Schicht der Multilayer-Membran (200) mit einer Schicht von nicht mehr als λ/4 gebildet ist; jede Schicht zwischen der vorgegebenen Schicht und der letzten Schicht der Multilayer-Membran (200) mit einer optischen Dichte von nicht mehr als λ/4 gebildet ist und die letzte Schicht eine der dünnen Membranen mit niedrigem Refraktionsindex (220) ist und mit einer optischen Dichte mit nicht mehr als λ/4 gebildet ist, wobei λ eine Muster-Wellenlänge ist.
Ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebene Schicht die sechste oder siebente Schicht der Multilayer-Membran (200) von der Seite des transparenten Substrats (100) ist.
Ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die dünnen Membranen mit niedrigem Refraktionsindex (220) aus TiO₂ und die dünnen Membranen mit hohem Refraktionsindex (210) aus SiO₂ oder MgF₂ hergestellt werden.
Ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine aus einem Material mit einem mittleren Refraktionsindex bestehende dünne Membran mit einem mittleren Refraktionsindex (300) zwischen das transparente Substrat (100) und die dünne Multilayer-Membran (200) gesetzt ist.
Ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine aus Al₂O₃ bestehende dünne Membran mit einem mittleren Refraktionsindex (300) zwischen das transparente Substrat (100) und die Multilayer-Membran (200) gesetzt ist.
Ein Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Filter (10) eine Lichtpermeabilitätscharakteristik hat, bei der die Lichtpermeabilität schrittweise sinkt, wenn die Wellenlänge des Lichts von 550 nm auf 750 nm steigt.
Ein Herstellungsverfahren für einen Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) mit einem transparenten Substrat (100) und eine Multilayer-Membran (200), die zahlreiche dünne Membranen mit hohem Refraktionsindex (210) eines Materials mit hohem Refraktionsindex und zahlreiche dünne Membranen mit niedrigem Refraktionsindex (220) eines Materials mit niedrigem Refraktionsindex beinhaltet, und die Multilayer-Membran (200) dünne Membranschichten (210, 220) von nicht weniger als 16 aber auch nicht mehr als 32 besitzt, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: Bilden einer ersten Schicht in der ersten Position auf dem transparenten Substrat (100) mit einem Material mit hohem Refraktionsindex und mit einer optischen Dicht von nicht weniger als λ/4; Bilden einer zweiten Schicht in der zweiten Position auf dem transparenten Substrat (100) mit einem Material mit einem niedrigen Refraktionsindex und mit einer optischen Dichte von nicht weniger als λ/4; Bilden von mehreren Schichten von der dritten Schicht bis zu einer vorgegebenen Schicht mit einem Material mit hohem Refraktionsindex und mit niedrigem Refraktionsindex, die in alternierender Art gelegt werden, jede Schicht mit einer optischen Dichte von nicht mehr als λ/4; Bilden von mehreren Schichten zwischen der vorgegebenen und einer letzten Schicht in der letzten Position auf dem transparenten Substrat (100) mit einem Material mit hohem Refraktionsindex und mit niedrigem Refraktionsindex, die in alternierender Art gelegt werden, jede Schicht mit einer optischen Dichte von nicht weniger als λ/4 und Bilden der letzten Schicht mit einem Material mit niedrigem Refraktionsindex (220) und einer optischen Dichte von nicht mehr als λ/4, dadurch gekennzeichnet, dass λ eine Muster-Wellenlänge ist.
Ein Herstellungsverfahren für einen Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die vorgegebene Schicht die sechste oder siebente Schicht der Multilayer-Membran (200) auf der Seite des transparenten Substrats (100) ist.
Ein Herstellungsverfahren für einen Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die dünnen Membranen mit niedrigem Refraktionsindex (220) aus TiO₂ gebildet sind und die dünnen Membranen mit hohem Refraktionsindex (210) aus SiO₂ oder MgF₂ gebildet sind.
Ein Herstellungsverfahren für einen Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die aus einem Material mit mittlerem Refraktionsindex bestehende dünne Membran mit mittlerem Refraktionsindex (300) zwischen dem transparenten Substrat (100) und der Multilayer-Membran (200) angeordnet ist.
Ein Herstellungsverfahren für einen Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die aus Al₂O₃ bestehende dünnen Membran mit mittlerem Refraktionsindex (300) zwischen dem transparenten Substrat (100) und der Multilayer-Membran (200) angeordnet ist.
Ein Herstellungsverfahren für einen Infrarotstrahlen-Sperrfilter (10) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Filter eine Lichtpermeabilitätscharakteristik hat, bei der die Permeabilität schrittweise abnimmt, wenn die Wellenlänge des Lichts von 550 rm auf 750 nm zunimmt.