CN1536377A - 红外线截止滤镜及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能够减少制造时间和费用、提高制造效率的反射型红外线截止滤镜及其制造方法。在玻璃衬底(100)上形成红外线截止滤镜(10)，包括由高折射率薄膜(210)和低折射率薄膜(220)互相交替层叠许多层而形成的16层以上32层以下的多层膜(200)，从玻璃衬底(100)一侧开始，第1层是高折射率薄膜(210)，最终层是低折射率薄膜(220)，并且，当将设计波长设为λ时，第1层及第2层以(λ/4)以上的光学膜厚、第3层至指定的层以(λ/4)以下的光学膜厚、指定的层和最终层之间的层以(λ/4)以上的光学膜厚、以及最终层以(λ/4)以下的光学膜厚分别成膜。
Description
技术领域
本发明涉及用于具有固体摄像元件等的摄像器材的红外线截止滤镜及其制造方法，尤其是涉及使用光学多层膜的反射型红外线截止滤镜及其制造方法。
背景技术
相对于感觉不到波长超过700纳米(以下记为nm)的红外线的人类视觉的敏感特性，CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)具有能够感测到波长直到1100nm的红外线的敏感特性。因此，有必要在具有CCD等固体摄像元件的摄像器材中使用红外线截止滤镜。该红外线截止滤镜具有使可见光透过并阻止红外线透过的特性。因此，摄像器材可抑制根据CCD等的红外线的摄像，从而能够得到与人类视觉的敏感特性相近的图像。
红外线截止滤镜包括吸收型和反射型。其中，吸收型红外线截止滤镜，在镜片中含有吸收红外线的金属离子。这种吸收型红外线截止滤镜具有从波长550nm到750nm之间透过率逐渐下降的特性。虽然通过该透过率特性能够再现接近人类视觉敏感特性的自然颜色，但为了得到良好的透过率特性，需要把镜片的厚度加工到规定厚度以上。其结果很难使摄像器材小型化。
另一方面，反射型红外线截止滤镜在镜片上形成有反射红外线的光学多层膜。这种反射型红外线截止滤镜可以通过在摄像器材所具有的其他光学部件上涂上多层膜来实现，同时由于多层膜的厚度也很薄，因此，很容易实现摄像器材的小型化。但是，普通的光学多层膜虑镜具有从透过波段到非透过波段之间透过率急剧下降的透过率特性。其结果导致了难以再现接近人类视觉敏感特性的自然颜色的问题。
目前，已有解决了上述透过率特性问题的反射型红外线截止滤镜。该红外线截止滤镜通过对34层以上的光学多层膜的每层分别以规定的光学膜厚进行成膜，从而具有与吸收型红外线截止滤镜相同的、从波长550nm到750nm之间透过率逐渐下降的透过率特性。例如日本特开2000-314808号专利公报公开了这种技术。
然而，这种反射型红外线截止滤镜需要通过34层以上的、很多的薄膜的层来构成光学多层膜。因此，各层在成膜时所产生的光学膜厚偏差会对光学多层膜整体的透过率特性产生很大影响。其结果是，难以制造出具有稳定的透过率特性的产品。由此，导致制造红外线截止滤镜所需的时间、费用增加的问题。
发明内容
本发明是为解决上述问题而进行的，其目的是提供一种红外线截止滤镜及其制造方法，以便能够减少制造所需的时间和费用，并提高制造效率。
为了解决上述问题，本发明的红外线截止滤镜是一种在透明衬底上形成的多层膜的红外线截止滤镜，其中，所述多层膜是通过由高折射率材料构成的高折射率薄膜和由低折射率材料构成的低折射率薄膜互相交替层叠许多层而形成的，其特征在于：所述多层膜是由16层以上32层以下的所述薄膜的层构成；从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第1层是所述高折射率薄膜；所述多层膜的最终层是所述低折射率薄膜；当将设计波长设为λ时，从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第1层及第2层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜，从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第3层至指定的层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜，所述指定的层和所述最终层之间的层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜，所述最终层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜。
根据该红外线截止滤镜，即使只通过16层以上32层以下的光学多层膜，也能够得到从波长550nm到750nm之间透过率逐渐下降的透过率特性。因此，与层叠了34层以上光学薄膜的现有红外线截止滤镜相比，能够抑制各层在成膜时所产生的光学膜厚偏差对透过率特性的影响。其结果能够减小制造稳定产品的难度。从而，能够减少制造红外线截止滤镜所需的时间和费用，并能够提高制造效率。
具有上述结构的本发明的红外线截止滤镜，也可以采用以下形式。所述指定的层可以是从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第6层或者第7层。根据该红外线截止滤镜，能够得到更接近于人类视觉的透过率特性。
此外，也可以在所述透明衬底和所述多层膜之间设置由中等折射率材料形成的中等折射率薄膜。根据该红外线截止滤镜，由于使用剥离材料可以很容易地将透明衬底和多层膜分离，所以，即使在多层膜的成膜失败后，也能够容易地进行再成膜。此外，还能够提高透明衬底和多层膜之间的粘着力。此外，可以抑制由透明衬底和第1层的高折射率薄膜的折射率差而引起的可见波段中的透过率的波纹。
此外，所述高折射率薄膜可由TiO2构成，所述低折射率薄膜可由SiO2或者MgF2构成。此外，所述中等折射率薄膜也可以由Al2O3构成。而且，这些材料的成膜技术都是公知的。因此，无需使用特殊的成膜技术而仅利用现有设备就能够进行制造。
此外，本发明的红外线截止滤镜的制造方法是在透明衬底上形成多层膜，其中，所述多层膜是通过由高折射率材料构成的高折射率薄膜和由低折射率材料构成的低折射率薄膜互相交替层叠许多层而形成的，该制造方法的特征在于：该方法具有在所述透明衬底上层叠用于构成16层以上32层以下的所述多层膜的所述薄膜的步骤；当将设计波长设为λ时，从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第1层，以(λ/4)以上的光学膜厚形成所述高折射率薄膜；从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第2层，以(λ/4)以上的光学膜厚形成所述低折射率薄膜；从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第3层至指定的层，以(λ/4)以下的光学膜厚形成各自的所述薄膜；所述指定的层和从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的最终层之间的层，以(λ/4)以上的光学膜厚形成各自的所述薄膜；所述最终层以(λ/4)以下的光学膜厚形成所述低折射率薄膜。
根据该红外线截止滤镜的制造方法，可以通过形成16层以上32层以下的光学多层膜来制造具有从波长550nm到750nm之间透过率逐渐下降的透过率特性的红外线截止滤镜。因此，与层叠了34层以上光学薄膜的现有红外线截止滤镜相比，能够抑制各层在成膜时所产生的光学膜厚偏差对透过率特性的影响。其结果能够减小制造稳定产品的难度。从而，能够减少制造红外线截止滤镜所需的时间和费用，并能够提高制造效率。
附图说明
图1是第1至第6实施例的红外线截止滤镜10的简要结构说明图。
图2是构成第1实施例的16层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。
图3是构成第2实施例的18层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。
图4是构成第3实施例的20层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。
图5是构成第4实施例的22层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。
图6是构成第5实施例的24层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。
图7是构成第6实施例的26层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。
图8是具有第1至第6实施例中的多层膜200的各红外线截止滤镜10的透过率特性说明图。
图9是构成第7实施例的18层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。
图10是构成第8实施例的20层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。
图11是具有第7及第8实施例中的多层膜200的各红外线截止滤镜10的透过率特性说明图。
图12是第9实施例的红外线截止滤镜30的简要结构说明图。
图13是构成第9实施例中的一层中等折射率薄膜300和20层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。
图14是第9实施例的红外线截止滤镜30的透过率特性说明图。
图15是红外线截止滤镜30的制造步骤的简要说明图。
具体实施方式
为了使上述的本发明的结构及作用更加清楚，下面，对适用本发明的红外线截止滤镜的一个实施方式进行说明。
首先，对本发明一个实施方式的第1至第6实施例的红外线截止滤镜10进行说明。图1是第1至第6实施例的红外线截止滤镜10的简要结构说明图。红外线截止滤镜10是在玻璃衬底100上形成多层膜200而构成的，其中，所述多层膜200是通过由高折射率材料构成的高折射率薄膜210和由低折射率材料构成的低折射率薄膜220互相交替层叠许多层而形成的。该多层膜200由16层以上26层以下的上述薄膜的层构成。从玻璃衬底100一侧开始算起，多层膜200的第1层是高折射率薄膜210，最终层(图1中所示的是第n层)是低折射率薄膜220。即，多层膜200由16以上32以下的偶数的层构成，在这些层中，奇数层是高折射率薄膜210，偶数层是低折射率薄膜220。在以下的说明中，将构成多层膜200的薄膜层，从玻璃衬底100一侧开始分别称为第1层、第2层、……、最终层。
玻璃衬底100是透明的水晶。此外，该玻璃衬底100也可以是光学低通滤波器等光学部件。高折射率薄膜210使用二氧化钛(TiO2)作为高折射率材料。低折射率薄膜220使用二氧化硅(SiO2)作为低折射率材料。
接着，对构成第1至第6实施例中的多层膜200的各薄膜的光学膜厚进行说明。图2是构成第1实施例的16层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。图3是构成第2实施例的18层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。图4是构成第3实施例的20层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。图5是构成第4实施例的22层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。图6是构成第5实施例的24层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。图7是构成第6实施例的26层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。在图2至图7中，在构成多层膜200的薄膜的每一层都标注了“层”、“材料”、“光学膜厚”。该“光学膜厚”的值表示的是将各层内部的光的波长设为1时的厚度。
构成图2至图7所示的多层膜200的各薄膜将设计波长λ设为750nm，并用以(λ/4)为基准的光学膜厚成膜。多层膜200的第1层及第2层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜。第3层至指定的层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜。所述指定的层，在图4所示的第3实施例的20层的多层膜200中是第7层，而在第3实施例以外的其他多层膜200中是第6层。该指定的层和最终层之间的层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜。最终层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜。此外，各层的物理膜厚用“(设计波长λ)×(光学膜厚)/(薄膜材料的折射率)”来表示。这里，已知二氧化钛(TiO2)的折射率大约是2.3，二氧化硅(SiO2)的折射率大约是1.46。
下面，对第1至第6实施例的红外线截止滤镜10的透过率特性进行说明。图8是具有第1至第6实施例中的多层膜200的各红外线截止滤镜10的透过率特性说明图。在图8中，横轴表示光的波长，纵轴表示透过率。图8中的曲线La～Lf表示具有图2至图7所示的多层膜200的各红外线截止滤镜10的透过率特性。图8中的曲线Lg表示吸收型红外线截止滤镜的透过率特性。即，曲线Lg表示对于再现接近于人类视觉敏感特性的自然色来说理想的透过率特性。
如图8所示，各红外线截止滤镜10的透过率特性La～Lf，在波长波段400～550nm之间透过率为90％以上。在波长波段550～750nm之间透过率逐渐下降，并在波长波段750～1050nm之间透过率降到约10％以下。这样，第1至第6实施例中的红外线截止滤镜10的透过率特性La～Lf具有与吸收型红外线截止滤镜的透过特性Lg几乎相同的特性。此外，从图8可知，越是由较多薄膜层构成的多层膜200就越能够抑制透过率特性的波纹(ripple)。
根据以上说明的第1至第6实施例的红外线截止滤镜10，即使只通过16层以上26层以下的多层膜200，也能够得到从波长550nm到750nm之间透过率逐渐下降的透过率特性。因此，与层叠了34层以上光学薄膜的现有红外线截止滤镜相比，能够抑制各层在成膜时所产生的光学膜厚偏差对透过率特性的影响。其结果能够减小制造稳定产品的难度。从而，可减少制造红外线截止滤镜所需的时间和费用，并能够提高制造效率。此外，在第1至第6实施例中，虽然只示出了16层以上26层以下的多层膜200，但在28层以上32层以下的多层膜200中，也能够得到同样的透过率特性。而且，各层的光学膜厚的值并不局限于图2至图7所示的值，根据想要得到的透过率特性、制造效率等，可以在上述各层的膜厚条件范围内进行各种改变。
接着，对第7及第8实施例的红外线截止滤镜10进行说明。对于第7及第8实施例的红外线截止滤镜10，除了在低折射率薄膜220使用氟化镁(MgF2)作为低折射率材料的这一点与第2及第3实施例不同外，其他的结构均相同。第7及第8实施例的红外线截止滤镜10的简要结构如上述图1所示。在高折射率薄膜210中，使用二氧化钛(TiO2)作为高折射率材料。在低折射率薄膜210中，使用氟化镁(MgF2)作为低折射率材料以代替二氧化硅(SiO2)。
下面，对构成第7及第8实施例的多层膜200的各薄膜的光学膜厚进行说明。图9是构成第7实施例的18层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。图10是构成第8实施例的20层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。在图9至图10中，在构成多层膜200的薄膜的每一层都标注了“层”、“材料”、“光学膜厚”。该“光学膜厚”的值表示的是将各层内部的光的波长设为1时的厚度。
构成图9及图10中所示的多层膜200的各薄膜将设计波长λ设为750nm，并用以(λ/4)为基准的光学膜厚成膜。多层膜200的第1层及第2层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜。第3层至第6层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜。第6层和最终层之间的层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜。最终层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜。此外，各层的物理膜厚用“(设计波长λ)×(光学膜厚)/(薄膜材料的折射率)”来表示。这里，已知二氧化钛(TiO2)的折射率大约是2.3，氟化美(MgF2)的折射率大约是1.38。
下面，对第7及第8实施例的红外线截止滤镜10的透过率特性进行说明。图11是具有第7及第8实施例中的多层膜200的各红外线截止滤镜10的透过率特性说明图。在图11中，横轴表示光的波长，纵轴表示透过率。图11中的曲线Lh表示具有图9所示的第7实施例的多层膜200的各红外线截止滤镜10的透过率特性。图11中的曲线Li表示具有图10所示的第8实施例的多层膜200的红外线截止滤镜10的透过率特性。图11中的曲线Lg表示吸收型红外线截止滤镜的透过率特性。
如图11所示，第7及第8实施例中的红外线截止滤镜10的透过率特性Lh、Li，在波长波段400～550nm之间透过率为90％以上。在波长波段550～750nm之间透过率逐渐下降，并在波长波段750～1050nm之间透过率降到约10％以下。这样，第7及第8实施例中的红外线截止滤镜10的透过率特性Lh、Li具有与吸收型红外线截止滤镜的透过特性Lg几乎相同的特性。
根据以上说明的第7及第8实施例的红外线截止滤镜10，可以产生和第1至第6实施例相同的效果。此外，在第7及第8实施例中，虽然只示出了18层及20层的多层膜200，但在1 6层及22层以上32层以下的多层膜200中，也能够得到同样的透过率特性。此外，各层的光学膜厚的值并不局限于图9及图10所示的值，根据想要得到的透过率特性、制造效率等，可以在上述各层的膜厚条件范围内进行各种改变。
接着，对第9实施例的红外线截止滤镜30进行说明。图12是第9实施例的红外线截止滤镜30的简要结构说明图。第9实施例的红外线截止滤镜30，除了在玻璃衬底100和多层膜200之间设置了由中等折射率材料形成的中等折射率薄膜300的这一点与第3实施例中的红外线截止滤镜10不同外，其余结构均相同。在中等折射率薄膜300中使用氧化铝(Al2O3)作为中等折射率材料。
接着，对构成第9实施例中的多层膜200的各薄膜的光学膜厚进行说明。图13是构成第9实施例中的一层中等折射率薄膜300和20层的多层膜200的各薄膜的光学膜厚的说明图。在图13中，在构成多层膜200的薄膜的每一层都标注了“层”、“材料”、“光学膜厚”。该“光学膜厚”的值表示的是将各层内部的光的波长设为1时的厚度。
构成图13所示的多层膜200的各薄膜将设计波长λ设为750nm，并用以(λ/4)为基准的光学膜厚成膜。中等折射率薄膜300以(λ/4)以下的光学膜厚成膜。多层膜200的第1层及第2层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜。第3层至第6层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜。第6层至最终层之间的层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜。最终层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜。此外，各层的物理膜厚用“(设计波长λ)×(光学膜厚)/(薄膜材料的折射率)”来表示。这里，已知二氧化钛(TiO2)的折射率大约是2.3，二氧化硅(SiO2)的折射率大约是1.46，氧化铝(Al2O3)的折射率大约是1.64。
接着，对第9实施例的红外线截止滤镜30的透过率特性进行说明。图14是第9实施例的红外线截止滤镜30的透过率特性说明图。在图14中，横轴表示光的波长，纵轴表示透过率。图14中的曲线Lc表示图8所示的第3实施例的20层红外线截止滤镜10的透过率特性。图14中的曲线Lc*表示图13所示的第9实施例的21层红外线截止滤镜30的透过率特性。图14中的曲线Lg表示吸收型红外线截止滤镜的透过率特性。
如图14所示，红外线截止滤镜30的透过率特性Lc*，在波长波段400～550nm之间透过率为90％以上。在波长波段550～750nm之间透过率逐渐下降，并在波长波段750～1050nm之间透过率降到约10％以下。这样，第9实施例中的红外线截止滤镜30的透过率特性Lc*具有与吸收型红外线截止滤镜的透过特性Lg几乎相同的特性。而且，红外线截止滤镜30的透过率特性Lc*与第3实施例中的红外线截止滤镜10的透过率特性Lc相比，在波长波段400～550nm的可见光区域内其透过率的波纹小。
根据以上说明的第9实施例的红外线截止滤镜30，可以获得和第3实施例相同的效果，并能够抑制由玻璃衬底100和第1层的高折射率薄膜210的折射率差值而引起的可见波段中的透过率的波纹。此外，还可以使用剥离材料很容易地分离玻璃衬底100和多层膜200。其结果是，即使在多层膜200的成膜失败后，也能够容易地进行再成膜。同时，还能够提高玻璃衬底100和多层膜200之间的粘着力。此外，虽然第9实施例是在第3实施例的20层红外线截止滤镜10中设置了中等折射率薄膜300，但是，在16层以上32层以下的第1至第8实施例中的红外线截止滤镜10中设置中等折射率薄膜300时，也能够获得相同的效果。此外，各层的光学膜厚的值并不局限于图13所示的值，根据想要得到的透过率特性、制造效率等，可以在上述各层的膜厚条件范围内进行各种改变。
接着，对图12所示实施例的红外线截止滤镜30的制造方法进行说明。图15是红外线截止滤镜30的制造步骤的简要说明图。在该制造步骤中，使用二氧化钛(TiO2)作为高折射率薄膜210的材料，使用二氧化硅(SiO2)作为低折射率薄膜220的材料，使用氧化铝(Al2O3)作为中等折射率膜300的材料。
在制造红外线截止滤镜30时，首先，准备玻璃衬底100(步骤S100)。然后，在准备好的玻璃衬底100上以规定的膜厚(例如，图13所示的光学膜厚)形成中等折射率膜300(步骤S200)。此外，若省略该中等折射率膜300的成膜步骤(步骤200)，则可制造出图1所示的红外线截止滤镜10。
形成中等折射率膜300以后(步骤S200)，在该中等折射率膜300上以(λ/4)以上的光学膜厚形成第1层的高折射率膜210(步骤S300)。然后，在该第1层的高折射率膜210上，以(λ/4)以上的光学膜厚形成第2层的低折射率膜220(步骤S400)。
然后，在第2层的低折射率膜220上，从第3层开始至指定的层(在图13所示的例子中是第6层)，以(λ/4)以下的光学膜厚相互交替形成高折射率膜210及低折射率膜220(步骤S500)，并在该指定的层和最终层之间的层(在图13所示的例子中是从第7层到第19层)以(λ/4)以上的光学膜厚互相交替形成高折射率膜210及低折射率膜220(步骤S600)。
之后，以(λ/4)以下的光学膜厚形成最终层的低折射率膜220(步骤S700)，从而完成红外线截止滤镜30。
以上，对本发明的具体实施方式进行了说明，但是本发明并不局限于此，可在不脱离本发明宗旨的范围内以各种方式实施本发明。例如，玻璃衬底100并不局限于水晶，可以是任一种折射率小于高折射率材料的衬底，并且不一定要与光学部件构成一体，也可以是单一的红外线截止滤镜。此外，高折射率材料并不局限于二氧化钛(TiO2)，还可以使用五氧化钽(Ta2O5)、二氧化锆(ZrO2)、二氧化铪(HfO2)。此外，低折射率材料还可以使用二氧化硅(SiO2)、氟化镁(MgF2)等。此外，还可以使用作为中等折射率材料的氧化铝(Al2O3)来代替低折射率材料。此外，这些材料不仅可以单独使用而且还可以混合使用。
Claims (12)
1.一种红外线截止滤镜，该红外线截止滤镜在透明衬底上形成有多层膜，其中，所述多层膜是通过由高折射率材料构成的高折射率薄膜和由低折射率材料构成的低折射率薄膜互相交替层叠许多层而形成的，其特征在于：
所述多层膜是由16层以上32层以下的所述薄膜的层构成；
从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第1层是所述高折射率薄膜；
所述多层膜的最终层是所述低折射率薄膜；
当将设计波长设为λ时，
从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第1层及第2层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜，
从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第3层至指定的层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜，
所述指定的层和所述最终层之间的层以(λ/4)以上的光学膜厚成膜，
所述最终层以(λ/4)以下的光学膜厚成膜。
2.如权利要求1所述的红外线截止滤镜，其特征在于：
所述指定的层是从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第6层或者第7层。
3.如权利要求1所述的红外线截止滤镜，其特征在于：
所述高折射率薄膜由TiO2构成，所述低折射率薄膜由SiO2或者MgF2构成。
4.如权利要求1所述的红外线截止滤镜，其特征在于：
在所述透明衬底和所述多层膜之间设有由中等折射率材料构成的中等折射率薄膜。
5.如权利要求1所述的红外线截止滤镜，其特征在于：
在所述透明衬底和所述多层膜之间设有由Al2O3构成的中等折射率薄膜。
6.如权利要求1所述的红外线截止滤镜，其特征在于：
具有从波长550nm到750nm之间透过率逐渐下降的透过率特性。
7.一种红外线截止滤镜的制造方法，所述红外线截止滤镜在透明衬底上形成有多层膜，其中，所述多层膜是通过由高折射率材料构成的高折射率薄膜和由低折射率材料构成的低折射率薄膜互相交替层叠许多层而形成的，该制造方法的特征在于：
具有在所述透明衬底上层叠构成16层以上32层以下的所述多层膜的所述薄膜的步骤；
当将设计波长设为λ时，
从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第1层，以(λ/4)以上的光学膜厚形成所述高折射率薄膜，
从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第2层，以(λ/4)以上的光学膜厚形成所述低折射率薄膜，
从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第3层至指定的层，以(λ/4)以下的光学膜厚形成各自的所述薄膜，
所述指定的层和从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的最终层之间的层，以(λ/4)以上的光学膜厚形成各自的所述薄膜，
所述最终层，以(λ/4)以下的光学膜厚形成所述低折射率薄膜。
8.如权利要求7所述的红外线截止滤镜的制造方法，其特征在于：
将从所述透明衬底一侧开始的所述多层膜的第6层或者第7层设为所述指定的层。
9.如权利要求7所述的红外线截止滤镜的制造方法，其特征在于：
形成由TiO2构成的所述高折射率薄膜，形成由SiO2或者MgF2构成的所述低折射率薄膜。
10.如权利要求7所述的红外线截止滤镜的制造方法，其特征在于：
在所述透明衬底和所述多层膜之间形成由中等折射率材料构成的中等折射率薄膜。
11.如权利要求7所述的红外线截止滤镜的制造方法，其特征在于：
在所述透明衬底和所述多层膜之间形成由Al2O3构成的中等折射率薄膜。
12.如权利要求7所述的红外线截止滤镜的制造方法，其特征在于：
该红外线截止滤镜具有从波长550nm至750nm之间透过率逐渐下降的透过率特性。
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