DE102004001027A1

DE102004001027A1 - Wärmeableitungsvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung

Info

Publication number: DE102004001027A1
Application number: DE102004001027A
Authority: DE
Inventors: Chin-Kuang Luo
Original assignee: ARRO SUPERCONDUCTING TECHNOLOG; ARRO SUPERCONDUCTING TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: ARRO SUPERCONDUCTING TECHNOLOG; ARRO SUPERCONDUCTING TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date: 2003-01-06
Filing date: 2004-01-02
Publication date: 2004-10-14
Also published as: TW557350B; TW200412412A; US6725909B1

Abstract

In einer Vorrichtung und einem Verfahren zur Ableitung von Wärme weist eine Kühlrippeneinheit (5) einen Stapel von Rippenplatten (51) auf, von denen jede einen Innenumfang aufweist, der mit einem ringförmigen Abstandshalter (511) versehen ist. Die ringförmigen Abstandshalter (511) der Rippenplatten (51) bilden zusammenwirkend ein Wärmeübertragungsrohr (53), das ein Wärmeübertragungsmedium (7) enthält und das einen oberen Abschnitt, der durch eine Abdeckung (8) verschlossen ist, einen unteren Abschnitt, der auf einem Wärmeübertragungsglied (4) angebracht ist, das auf einer Wärmeerzeugungsquelle (3) angeordnet ist, und eine Rohrinnenseite (531) aufweist, in der eine Kapillareinheit (6) ausgebildet ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Ableitung von Wärme und insbesondere eine Vorrichtung und ein Verfahren zur effizienten Ableitung von Wärme.

Eine herkömmliche Wärmeableitungsvorrichtung weist im allgemeinen einen Wärmeübertragungsrohraufbau, der mit einer Wärmeerzeugungsquelle verbunden ist, und einen Kühlrippenaufbau auf, der auf den Wärmeübertragungsrohraufbau geschoben ist. Der Wärmeübertragungsrohraufbau weist eine Grundplatte, die mit der Wärmeerzeugungsquelle verbunden ist, und ein Wärmeübertragungsrohr auf, das mit der Grundplatte verbunden ist. Der Kühlrippenaufbau weist einen Stapel Wärmeableitungsrippenplatten auf, die auf das Wärmeübertragungsrohr geschoben sind. Jede Rippenplatte weist einen Innenumfang auf, der ein Durchgangsloch definiert, und weist einen ringförmigen Verbindungssitz auf, der an das Wärmeübertragungsrohr angebracht ist und sich vom Umfang nach unten erstreckt, so daß ein Zwischenraum zwischen jedem aneinandergrenzenden Paar der Rippenplatten definiert wird, um als Luftkanal zu dienen.

Wenn im Gebrauch die Arbeitstemperatur der Wärmeerzeugungsquelle (z.B. einer Zentraleinheit) steigt, wird die erzeugte Wärme zum Wärmeübertragungsrohr des Wärmeübertragungsrohraufbaus geleitet und durch die Rippenplatten in die Umgebung abgegeben.

Die oben genannte herkömmliche Wärmeableitungsvorrichtung ist darin nachteilig, daß das Wärmeübertragungsrohr und die Rippenplatten getrennt gebildet werden und eine zeitaufwendige Montagearbeit erfordern, was erhöhte Kosten bedeutet. Voraus gesetzt, daß das Wärmeübertragungsrohr und die Rippenplatten gebildet sind, wird ein verhältnismäßig großer Wärmeübertragungswiderstand im Gebrauch angetroffen, der den Wirkungsgrad der Wärmeübertragung senken wird. Es wird insbesondere festgestellt, daß die Rippenplatten ohne jedes Leitglied ausgebildet sind, um den Luftstrom durch die Luftkanäle zu leiten, um die restliche Wärme um die Rippenplatten abzuleiten. Folglich ist der Wärmeableitungseffekt nicht sehr zufriedenstellend.

Daher ist es die Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Wärmeableitungsvorrichtung bereitzustellen, die die Herstellung erleichtert, die mit reduzierten Kosten hergestellt werden kann, und die eine effiziente Wärmeableitung zuläßt.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zum Herstellen der oben genannten Wärmeableitungsvorrichtung bereitzustellen.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine Wärmeableitungsvorrichtung auf:
ein Wärmeübertragungsglied, das angepaßt ist, auf einer Wärmeerzeugungsquelle angeordnet zu werden;
eine Kühlrippeneinheit, die einen Stapel Wärmeableitungsrippenplatten aufweist, wobei jede der Rippenplatten mit einem Durchgangsloch und einem Umfang ausgebildet ist, der das Durchgangsloch definiert und der mit einem ringförmigen Abstandshalter ausgebildet ist, wobei der ringförmige Abstandshalter einer oberen der Rippenplatten sicher mit dem Umfang einer unteren der Rippenplatten verbunden ist, so daß aneinandergrenzende der Rippenplatten einen vertikalen Zwischenraum dazwischen bilden und so daß die ringförmigen Abstandshalter der Rippenplatten zusammenwirkend ein Wärmeübertragungsrohr bilden, wobei das Wärmeübertragungsrohr eine Rohrinnenseite, einen oberen Abschnitt und einen unteren Abschnitt aufweist, der sicher am Wärmeübertragungsglied angebracht ist;
ein Wärmeübertragungsmedium, das im Wärmeübertragungsrohr enthalten ist;
eine Abdeckung zum Verschließen des oberen Abschnitts des Wärmeübertragungsrohrs; und
eine Kapillareinheit, die in der Rohrinnenseite des Wärmeübertragungsrohrs ausgebildet ist.

Gemäß einem anderen Aspekt weist ein Verfahren zum Herstellen einer Wärmeableitungsvorrichtung auf:

a) Bilden eines Wärmeübertragungsglieds, das angepaßt ist, auf einer Wärmeerzeugungsquelle angeordnet zu werden;
b) Bilden einer Kühlrippeneinheit, die einen Stapel Wärmeableitungsrippenplatten aufweist, wobei jede der Rippenplatten mit einem Durchgangsloch und einem Umfang ausgebildet ist, der das Durchgangsloch definiert und der mit einem ringförmigen Abstandshalter ausgebildet ist, wobei der ringförmige Abstandshalter einer oberen der Rippenplatten mit dem Umfang einer unteren der Rippenplatten verbunden ist, so daß aneinandergrenzende der Rippenplatten einen vertikalen Zwischenraum dazwischen bilden und so daß die ringförmigen Abstandshalter der Rippenplatten zusammenwirkend ein Wärmeübertragungsrohr bilden, wobei das Wärmeübertragungsrohr eine Rohrinnenseite, einen oberen Abschnitt und einen unteren Abschnitt aufweist;
c) Bilden einer Kapillareinheit in der Rohrinnenseite des Wärmeübertragungsrohrs;
d) Anbringen des unteren Abschnitts des Wärmeübertragungsrohrs an das Wärmeübertragungsglied;
e) Bereitstellen eines Wärmeübertragungsmediums im Wärmeübertragungsrohr; und
f) Abdichten des oberen Abschnitts des Wärmeübertragungsrohrs.

Andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung der bevor zugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen deutlich werden. Es zeigen:
1 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht der bevorzugten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Wärmeableitungsvorrichtung in Teilen;
2 eine perspektivische Ansicht der bevorzugten Ausführungsform;
3 eine Schnittansicht der bevorzugten Ausführungsform in einem zusammengebauten Zustand, in der gezeigt wird, daß das Wärmeübertragungsglied einen Pfostenabschnitt mit einer konkaven obersten Wand aufweist;
4 eine Schnittansicht einer modifizierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Wärmeableitungsvorrichtung in einem zusammengebauten Zustand, in der gezeigt wird, daß der Pfostenabschnitt des Wärmeübertragungsglieds eine konvexe oberste Wand aufweist;
5 eine Schnittansicht des Wärmeübertragungsglieds der 4 in einer modifizierten Form, in der eine Kontaktfläche der konvexen obersten Wand so gestaltet ist, daß sie aus einer gerillten Oberfläche besteht;
6 ist ähnlich zu 5 und zeigt, daß die konvexe oberste Wand eine gezahnte Oberfläche aufweist;
7 ist ähnlich zu 5 und zeigt, daß das Wärmeübertragungsglied noch einer weiteren Ausführungsform eine Wandinnenseite aufweist, die mit mindestens einer Kühlmittelrille versehen ist;
8 eine Schnittansicht noch einer anderen modifizierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Wärmeableitungsvorrichtung in einem zusammengebauten Zustand, in der der Pfostenabschnitt des Wärmeübertragungsglieds ein offenes oberstes Ende aufweist, das mit einem Inneren des Wärmeübertragungsrohrs einer Kühlrippeneinheit in Verbindung steht;
9 eine perspektivische Ansicht einer Rippenplatte, die mit mehreren Entlüftungslöchern versehen ist;
10 eine perspektivische Ansicht einer Rippenplatte, die mit einem im wesentlichen elliptischen Durchgangsloch ausgebildet ist;
11 eine schematische Schnittansicht, die eine Kapillareinheit zeigt, die in der Kühlrippeneinheit angeordnet ist;
12 eine Schnittansicht, die eine Abdeckung mit einem Vorsprung darstellt;
13 eine Schnittansicht noch einer anderen modifizierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Wärmeableitungsvorrichtung, in der eine oberste Rippenplatte integral mit einer Abdeckung ausgebildet ist; und
14 einen Ablaufplan, der die bevorzugte Ausführungsform eines Verfahrens zum Herstellen einer erfindungsgemäßen Wärmeableitungsvorrichtung zeigt.
Bezugnehmend auf die 1 bis 3, wird gezeigt, daß die bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Wärmeableitungsvorrichtung 2 zum Anbringen an einer Wärmeerzeugungsquelle 3, wie einer Zentraleinheit (CPU), einer integrierten Schaltung (IC), einem Schaltungsmodul usw. angepaßt ist. In dieser Ausführungsform ist die Wärmeerzeugungsquelle 3 eine Zentraleinheit. Die Wärmeableitungsvorrichtung 2 weist ein Wärmeübertragungsglied 4, eine Kühlrippeneinheit 5, eine Kapillareinheit 6, ein Wärmeübertragungsmedium 7 und eine Abdeckung 8 auf.
Die Kühlrippeneinheit 5 weist einen Stapel von Wärmeableitungsrippenplatten 51 auf, von denen jede mit einem Durchgangsloch 52 und einem Umfang ausgebildet ist, der das Durchgangsloch 52 definiert und der mit einem ringförmigen Abstandshalter 511 ausgebildet ist. Der ringförmige Abstandshalter 511 einer oberen der Rippenplatten 51 ist sicher mit dem Umfang einer unteren der Rippenplatten 51 verbunden, so daß aneinandergrenzende der Rippenplatten 51 einen vertikalen Zwischenraum 54 dazwischen bilden und so daß die ringförmigen Abstandshalter 511 der Rippenplatten 51 zusammenwirkend ein Wärmeübertragungsrohr 53 bilden. Das Wärmeübertragungsrohr 53 weist eine Rohrinnenseite 531, einen oberen Abschnitt mit einer obersten Öffnung 532 und einen unteren Abschnitt auf, der sicher am Wärmeübertragungsglied 4 angebracht ist. Das Wärmeübertragungsmedium 7 ist im Wärmeübertragungsrohr 53 enthalten. Die Rohrinnenseite 531 des Wärmeübertragungsrohrs 53 kann mit einem wärmeleitenden Material 73 beschichtet sein, das dieselbe Zusammensetzung wie jene des Wärmeübertragungsmediums 7 aufweist.
Bezugnehmend auf 1, weist der ringförmige Abstandshalter 511 jeder Rippenplatte 51 ein ringförmiges erstes Abstandshaltersegment 511A, das vom Umfang der jeweiligen Rippenplatte 51 nach unten vorsteht, ein ringförmiges zweites Abstandshaltersegment 511B, das von einem distalen unteren Ende des ersten Abstandshaltersegments 511A radial und nach innen vorsteht, und ein ringförmiges drittes Abstandshaltersegment 511C auf, das von einem distalen radialen inneren Ende des zweiten Abstandshaltersegments 511B nach unten vorsteht. Jede der Rippenplatten 51 weist zwei gegenüberliegende Kantenabschnitte auf, von denen jeder mit einem Sperrflansch 512 ausgebildet ist. Die Sperrflansche 512 einer oberen der Rippenplatten 51 sind sicher mit einer unteren der Rippenplatten 51 verbunden, um zwei gegenüberliegende Seiten des vertikalen Zwischenraums 54 zwischen den oberen und unteren der Rippenplatten 51 zu verschließen. Als solche wird Umgebungsluft so geleitet, daß sie durch die Seiten der vertikalen Zwischenräume 54 in die vertikalen Zwischenräume 54 strömt, die nicht durch die Sperrflansche 512 verschlossen sind, um restliche Wärme um die Rippenplatten 51 in einer effizienten Weise abzuleiten. Es wird angemerkt, daß mindestens einer der ringförmigen Abstandshalter 511 und die Sperrflansche 512 jeder der Rippenplatten 51 zum Schweißen an die angrenzende der Rippenplatten 51 mit Lotmaterial 9 beschichtet sind. Vorzugsweise ist jede der Rippenplatten 51 ferner mit einem Satz Entlüftungslöcher 513 dort hindurch ausgebildet, wie in 9 gezeigt, um die Luftzirkulation durch die vertikalen Zwischenräume 54 zu verbessern und den Widerstand gegen Luftströmungen zu reduzieren. Die Entlüftungslöcher 513 können so gestaltet sein, daß sie rechteckig oder kreisförmig sind oder irgendeine andere geeignete geometrische Form aufweisen. Außerdem kann jede Rippenplatte 51 so gestaltet sein, daß sie ein im wesentlichen elliptisches Durchgangsloch 52' (wie in 10 gezeigt), ein quadratisches Loch oder ein Loch mit irgendeiner geeigneten Form aufweist.
Das Wärmeübertragungsglied 4 besteht aus einem Metall, wie Aluminium und Kupfer, einem Legierungsmetall oder irgendeinem anderen Material mit einer guten Wärmeleitfähigkeit. Das Wärmeübertragungsglied 4 weist einen Basisabschnitt 41, der angepaßt ist, auf der Wärmeerzeugungsquelle 3 angeordnet zu werden, und einen Pfostenabschnitt 42 auf, der sich aufrecht vom Basisabschnitt 41 erstreckt und mit dem unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs 53 sicher verbunden ist. Der Pfostenabschnitt 42 erstreckt sich in den unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs 53 und befindet sich in Abdichtungseingriff mit ihm. Der Pfostenabschnitt 42 ist zum Schweißen an den unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs 53 mit Lotmaterial 9 beschichtet.
Die Kapillareinheit 6 ist in der Rohrinnenseite 531 des Wärmeübertragungsrohrs 53 ausgebildet, und weist eine primäre Kapillarstruktur 61 auf, die an der Rohrinnenseite 531 ausge bildet ist. Bezugnehmend auf 11, kann die Kapillareinheit 6 ferner eine sekundäre Kapillarstruktur 62 aufweisen, die auf der primären Kapillarstruktur 61 angeordnet ist. Die primäre Kapillarstruktur 61 ist eine geraubte Oberfläche, die direkt an der Rohrinnenseite 531 ausgebildet ist. Die geraubte Oberfläche kann eine abgeriebene Oberfläche sein, die unter Verwendung von Sandpapier gebildet wird, oder eine gebürstete Oberfläche, die unter Verwendung einer Drahtbürste gebildet wird. Alternativ wird die primäre Kapillarstruktur 61 direkt an der Rohrinnenseite 531 gebildet, indem ein wärmebehandlungsfähiges Material aufgespritzt wird und das wärmebehandlungsfähige Material einer Wärmebehandlung unterzogen wird. Die sekundäre Kapillarstruktur 62 ist ein Metallnetz, das auf der primären Kapillarstruktur 61 befestigt ist, oder ein streifenförmiges Federglied. Es wird angemerkt, daß die Rohrinnenseite des Wärmeübertragungsrohrs 51 nur mit der primären Kapillarstruktur 61 oder der sekundären Kapillarstruktur 62 ausgebildet sein kann.
Die Abdeckung 8 ist nahe der obersten Öffnung 532 im oberen Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs 53 angeordnet. Die Abdeckung 8 ist zur Füllung des Wärmeübertragungsrohrs 53 mit dem Wärmeübertragungsmedium 7 mit einem Einlaß 81 ausgebildet, der vorzugsweise einen umgekehrten kegelförmigen Querschnitt aufweist. In der Praxis wird das Wärmeübertragungsrohr 53 evakuiert, nachdem das Wärmeübertragungsrohr 53 mit dem Wärmeübertragungsmedium 7 gefüllt ist, um eine vakuumdichte Kammer 530 zu bilden, und wird anschließend versiegelt. Die Abdeckung 8 kann auch so gestaltet sein, daß sie einen Vorsprung aufweist, der sich aus ihr erstreckt, und sich der Einlaß 81 durch den Vorsprung erstreckt, wie in 12 gezeigt.
In dieser Ausführungsform ist der Pfostenabschnitt 42 hohl und begrenzt darin eine vakuumdichte Kammer 421. Die vakuumdichte Kammer 421 enthält darin eine Menge eines Kühlmittelme diums 7A zum Wärmeaustausch. Der Pfostenabschnitt 42 weist eine oberste Wand 425 mit einer Kontaktfläche 422 auf, die in Kontakt mit dem Wärmeübertragungsmedium 7 im Wärmeübertragungsrohr 53 steht. In dieser Ausführungsform ist die oberste Wand 425 konkav.
Bezugnehmend auf 4, ist in einer modifizierten Ausführungsform die oberste Wand 425 des Pfostenabschnitts 42 konvex, und deren Kontaktfläche 422 ist glatt. In anderen Ausführungsformen kann die Kontaktfläche 422 so gestaltet sein, daß sie eine gerillte Oberfläche ist, wie in 5 gezeigt, eine gezahnte Oberfläche ist, wie in 6 gezeigt, oder eine (nicht gezeigte) Kapillarstruktur aufweist, um den Wärmeübertragungsoberflächenbereich zu erhöhen, um die Wärmeableitung zu verbessern.
In einer anderen modifizierten Ausführungsform, die in 7 gezeigt wird, ist das gesamte Wärmeübertragungsglied 4 hohl und begrenzt eine vakuumdichte Kammer 421. Der Basisabschnitt 41 weist eine kontaktherstellende Wand 424 mit einer Wandaußenseite, die angepaßt ist, auf der (nicht gezeigten) Wärmeerzeugungsquelle angeordnet zu werden, und einer Wandinnenseite auf, die der vakuumdichten Kammer 421 gegenüberliegt und die mit mindestens einer Kühlmittelrille 423 ausgebildet ist, die in Fluidverbindung mit der vakuumdichten Kammer 421 steht, so daß, selbst wenn die Wärmeableitungsvorrichtung 2 aus einer aufrechten Position gekippt wird, das Kühlmittelmedium 7A in der Kühlmittelrille 423 gesammelt werden kann, um durch die hohe Temperatur der Wärmeerzeugungsquelle angeregt zu werden, um die Wärmeübertragung zu verbessern.
Bezugnehmend auf 8, ist in einer noch anderen modifizierten Ausführungsform, die ähnlich zur Ausführungsform der 7 ist, das Wärmeübertragungsglied 4 hohl und begrenzt darin eine Kammer 421A, und der Pfostenabschnitt 42 weist ein of fenes oberstes Ende 426 auf, um eine Fluidverbindung zwischen der Kammer 421A und einem Inneren des Wärmeübertragungsrohrs 53 zuzulassen. Als solches kann das Wärmeübertragungsmedium 7 im Wärmeübertragungsrohr 53 in die Kammer 421A und die Kühlmittelrille 423 fließen, um als das Kühlmittelmedium 7A zu dienen.
Die Einschließung des Wärmeübertragungsmediums 7 im Wärmeübertragungsrohr 53 kann abhängig von der Zusammensetzung des Wärmeübertragungsmediums 7 unter Verwendung der folgenden Verfahren durchgeführt werden: (1) Füllen des Wärmeübertragungsrohrs 53 mit dem Wärmeübertragungsmedium 7 bei Normaldruck; (2) Bespritzten der Rohrinnenseite 531 mit dem Wärmeübertragungsmedium 7; (3) Evakuieren des Wärmeübertragungsrohrs 53, um eine vakuumdichte Kammer zu bilden, und Füllen der vakuumdichten Kammer mit einem wärmeleitenden Material, wie Wasser, Methanol, Aceton, Ammoniak, Stickstoff, Natrium, Lithium oder deren Mischungen; und (4) Evakuieren und Füllen des Wärmeübertragungsrohrs 53 mit einem Supraleitermaterial. Das Kühlmittelmedium 7A kann auf ähnliche Weise auch im Wärmeübertragungsglied 4 angeordnet werden. Es wird angemerkt, daß der Ausdruck „Füllen" so aufgefaßt werden kann, daß er „vollständig füllen" oder „teilweise füllen" bedeutet.
Es wird angemerkt, daß jede der Rippenplatten 51 so gestaltet werden kann, daß sie eine Oberfläche aufweist, die durch Aufspritzen oder Eintauchen mit einem wärmeleitenden Material 70 beschichtet wird (siehe 1).
Wenn bezugnehmend auf die 2, 3, 4 und 8 im Gebrauch die Temperatur der Wärmeerzeugungsquelle 3 steigt (wenn zum Beispiel die Zentraleinheit in Betrieb ist), wird das Wärmeübertragungsglied 4 schnell eine große Menge der Wärme nach oben übertragen, um die Wärme abzugeben. Als solches wird das Wärmeübertragungsmedium 7 im Wärmeübertragungsrohr 53 durch die Wärme angeregt. Vorausgesetzt, das Wärmeübertragungsrohr 53 ist evakuiert und befindet sich auf einem verhältnismäßig niedrigen Druck (wobei der Siedepunkt einer Flüssigkeit in einem Vakuum-Niederdruckraum niedriger ist), kann die Wärme, die durch die Wärmeerzeugungsquelle 3 erzeugt wird, schnell über das gesamte Wärmeübertragungsrohr 53 verteilt werden. Zusätzlich kann die gesamte restliche Wärme an den Rippenplatten 51 durch die Umgebungsluft wegbefördert werden, da die Kühlrippeneinheit 5 dazu bestimmt ist, die Umgebungsluft durch die vertikalen Zwischenräume 54 zwischen den Rippenplatten 51 in geführte Richtungen zu leiten (wie durch die Pfeile in 2 angezeigt wird), wodurch die Wärmeübertragungswirkungsgrad erhöht wird.
Zusätzlich gibt es keine Notwendigkeit, ein getrenntes Wärmeübertragungsrohr bereitzustellen, wie im Stand der Technik, da das Wärmeübertragungsrohr 53 durch den Zusammenbau der Rippenplatten 51 gebildet wird, und da das Wärmeübertragungsrohr 53 mit dem Wärmeübertragungsmedium 7 gefüllt wird, wodurch der Herstellungsprozeß vereinfacht wird und die Kosten reduziert werden. Da außerdem das Wärmeübertragungsrohr 53 integral durch die Rippenplatten 51 gebildet wird, ist der Wärmeübertragungswiderstand sehr viel niedriger, als der, der im Stand der Technik angetroffen wird.
13 zeigt noch eine andere modifizierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Wärmeableitungsvorrichtung 2. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von den vorhergehenden Ausführungsformen darin, daß die Abdeckung 8 integral mit einer obersten der Rippenplatten 51 im Stapel ausgebildet ist.
Bezugnehmend auf 14 in Kombination mit den 1 bis 13, wird gezeigt, daß die bevorzugte Ausführungsform eines Verfahrens zum Herstellen der oben genannten Wärmeableitungsvorrichtung 2 die Schritte aufweist: (a) Bilden eines Wärmeübertragungsglieds 4, das angepaßt ist, auf einer Wärmeerzeugungsquelle 3 angeordnet zu werden; (b) Bilden einer Kühlrip peneinheit 5, die einen Stapel Wärmeableitungsrippenplatten 51 aufweist, wobei jede der Rippenplatten 51 mit einem Durchgangsloch 52 und einem Umfang ausgebildet ist, der das Durchgangsloch 52 definiert und der mit einem ringförmigen Abstandshalter 511 ausgebildet ist, wobei der ringförmige Abstandshalter 511 einer oberen der Rippenplatten 51 mit dem Umfang einer unteren der Rippenplatten 51 verbunden ist, so daß aneinandergrenzende der Rippenplatten 51 einen vertikalen Zwischenraum 54 dazwischen bilden und so daß die ringförmigen Abstandshalter 511 der Rippenplatten 51 zusammenwirkend ein Wärmeübertragungsrohr 53 bilden, wobei das Wärmeübertragungsrohr 53 eine Rohrinnenseite 531, einen oberen Abschnitt und einen unteren Abschnitt aufweist; c) Bilden einer Kapillareinheit 6 in der Rohrinnenseite 531 des Wärmeübertragungsrohrs 53; (d) Anbringen des unteren Abschnitts des Wärmeübertragungsrohrs 53 auf dem Wärmeübertragungsglied 4; (e) Bereitstellen eines Wärmeübertragungsmediums 7 im Wärmeübertragungsrohr 53; und (f) Abdichten des oberen Abschnitts des Wärmeübertragungsrohrs 53.
Das Wärmeübertragungsglied 4 ist mit einem Basisabschnitt 41, der angepaßt ist, auf der Wärmeerzeugungsquelle 3 angeordnet zu werden, und einem Pfostenabschnitt 42 ausgebildet, der sich vom Basisabschnitt 41 erstreckt und der mit dem unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs 53 verbunden werden soll. Der Pfostenabschnitt 42 ist in den unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs 53 erweitert und greift in ihn abdichtend ein, und ist an den unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs 53 geschweißt.
In Schritt (a) begrenzt das Wärmeübertragungsglied 4 eine vakuumdichte Kammer 421 darin, und es wird eine Menge eines Kühlmittelmediums 7A in der vakuumdichten Kammer 421 bereitgestellt. Der Basisabschnitt 41 ist mit einer kontaktherstellenden Wand 424 ausgebildet, die eine Wandaußenseite, die angepaßt ist, auf der Wärmeerzeugungsquelle 3 angeordnet zu werden, und eine Wandinnenseite aufweist, die der vakuumdichten Kammer 421 gegenüberliegt und die mit einer Kühlmittelrille 423 ausgebildet ist, die in Fluidverbindung mit der vakuumdichten Kammer 421 steht.
Der Pfostenabschnitt 42 ist mit einer obersten Wand 425 ausgebildet, die eine Kontaktfläche 422 aufweist, die so angeordnet ist, daß sie in Kontakt mit dem Wärmeübertragungsmedium 7 im Wärmeübertragungsrohr 53 steht. Die oberste Wand 425 kann eine konkave oberste Wand oder eine konvexe oberste Wand sein. Die Kontaktfläche 422 der obersten Wand 425 des Pfostenabschnitts 42 kann in einer gerillten Oberfläche oder einer gezahnten Oberfläche ausgebildet sein.
Alternativ ist das Wärmeübertragungsglied 4 hohl und begrenzt eine Kammer 421A darin, wobei der Pfostenabschnitt 42 mit einem offenen obersten Ende 426 ausgebildet ist, um eine Fluidverbindung zwischen der Kammer 421A und einem Inneren des Wärmeübertragungsrohrs 53 zuzulassen.
In Schritt (b) weist der ringförmige Abstandshalter 511 jeder der Rippenplatten 51 ein ringförmiges erstes Abstandshaltersegment 511A, das vom Umfang der Rippenplatte 51 nach unten vorsteht, ein ringförmiges zweites Abstandshaltersegment 511B, das von einem distalen unteren Ende des ersten Abstandshaltersegments 511A radial und nach innen vorsteht, und ein ringförmiges drittes Abstandshaltersegment 511C auf, das von einem distalen radialen inneren Ende des zweiten Abstandshaltersegments 511B nach unten vorsteht.
Jede der Rippenplatten 51 weist gegenüberliegende Kantenabschnitte auf, von denen jeder mit einem Sperrflansch 512 ausgebildet ist, wobei die Sperrflansche 512 einer oberen der Rippenplatten 51 mit einer unteren der Rippenplatten 51 verbunden sind, um gegenüberliegende Seiten des vertikalen Zwischenraums 54 zwischen den oberen und unteren der Rippenplatten 51 zu verschließen.
In Schritt (b) wird mindestens einer des ringförmigen Abstandshalters 511 und der Sperrflansche 512 jeder der Rippenplatten 51 an die angrenzende der Rippenplatten 51 geschweißt. Jede der Rippenplatten 51 ist ferner mit einem Satz Entlüftungslöcher 513 dort hindurch ausgebildet. Außerdem weist jede der Rippenplatten 51 eine Oberfläche auf, die mit einem wärmeleitenden Material 70 beschichtet ist.
Das Wärmeübertragungsrohr 53 wird vor dem Abdichten evakuiert, und die Rohrinnenseite 531 ist mit einem wärmeleitenden Material 70 beschichtet.
In Schritt (c) wird eine primäre Kapillarstruktur 61 auf der Rohrinnenseite 531 gebildet, und eine sekundäre Kapillarstruktur 62 wird auf der primären Kapillarstruktur 61 angeordnet. Die primäre Kapillarstruktur 61 ist eine geraubte Oberfläche, die direkt auf der Rohrinnenseite 532 durch Abreiben oder Bürsten gebildet wird. Alternativ wird die primäre Kapillarstruktur 61 direkt auf der Rohrinnenseite 531 gebildet, indem ein wärmebehandlungsfähiges Material aufgespritzt wird und das wärmebehandlungsfähige Material einer Wärmebehandlung unterzogen wird. Die sekundäre Kapillarstruktur 62 kann ein Metallnetz sein, das auf der primären Kapillarstruktur 61 befestigt wird.

Claims

Wärmeableitungsvorrichtung (2), gekennzeichnet durch: ein Wärmeübertragungsglied (4), das angepaßt ist, auf einer Wärmeerzeugungsquelle (3) angeordnet zu werden; eine Kühlrippeneinheit (5), die einen Stapel Wärmeableitungsrippenplatten (51) aufweist, wobei jede der Rippenplatten (51) mit einem Durchgangsloch (52, 52') und einem Umfang ausgebildet ist, der das Durchgangsloch (52, 52') definiert und der mit einem ringförmigen Abstandshalter (511) ausgebildet ist, wobei der ringförmige Abstandshalter (511) einer oberen der Rippenplatten (51) sicher mit dem Umfang einer unteren der Rippenplatten (51) verbunden ist, so daß aneinandergrenzende der Rippenplatten (51) einen vertikalen Zwischenraum dazwischen bilden und so daß die ringförmigen Abstandshalter (511) der Rippenplatten (51) zusammenwirkend ein Wärmeübertragungsrohr (53) bilden, wobei das Wärmeübertragungsrohr (53) eine Rohrinnenseite (531), einen oberen Abschnitt und einen unteren Abschnitt aufweist, der sicher an dem Wärmeübertragungsglied (4) angebracht ist; ein Wärmeübertragungsmedium (7), das im Wärmeübertragungsrohr (53) enthalten ist; eine Abdeckung (8) zum Verschließen des oberen Abschnitts des Wärmeübertragungsrohrs (53); und eine Kapillareinheit (6), die in der Rohrinnenseite (531) des Wärmeübertragungsrohrs (53) ausgebildet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Wärmeübertragungsglied (4) einen Basisabschnitt (41), der angepaßt ist, auf der Wärmeerzeugungsquelle (3) angeordnet zu werden, und einen Pfostenabschnitt (42) aufweist, der sich vom Basisabschnitt (41) erstreckt und sicher mit dem unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs (53) verbunden ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 2, ferner dadurch gekennzeichnet, daß sich der Pfostenabschnitt (42) in den unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs (53) erstreckt und mit ihm in Abdichtungseingriff steht.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 3, ferner dadurch gekennzeichnet, daß der Pfostenabschnitt (42) zum Schweißen an den unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs (53) mit einem Lotmaterial (9) beschichtet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 3, ferner dadurch gekennzeichnet, daß das Wärmeübertragungsglied (4) hohl ist und eine vakuumdichte Kammer (421) darin begrenzt.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 5, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die vakuumdichte Kammer (421) zum Wärmeaustausch darin eine Menge eines Kühlmittelmediums (7A) enthält.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 6, ferner dadurch gekennzeichnet, daß der Basisabschnitt (41) eine kontaktherstellende Wand (424) mit einer Wandaußenseite, die angepaßt ist, auf der Wärmeerzeugungsquelle (3) angeordnet zu werden, und einer Wandinnenseite aufweist, die der va kuumdichten Kammer (421) gegenüberliegt und die mit einer Kühlmittelrille (423) ausgebildet ist, die in Fluidverbindung mit der vakuumdichten Kammer (421) steht.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 6, ferner dadurch gekennzeichnet, daß der Pfostenabschnitt (42) eine konkave oberste Wand (425) aufweist, die mit dem Wärmeübertragungsmedium (7) im Wärmeübertragungsrohr (53) in Kontakt steht.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 6, ferner dadurch gekennzeichnet, daß der Pfostenabschnitt (42) eine konvexe oberste Wand (425) aufweist, die mit dem Wärmeübertragungsmedium (7) im Wärmeübertragungsrohr (53) in Kontakt steht.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 3, ferner dadurch gekennzeichnet, daß das Wärmeübertragungsglied (4) hohl ist und eine Kammer (421A) darin begrenzt, wobei der Pfostenabschnitt (42) ein offenes oberstes Ende (26) aufweist, um eine Fluidverbindung zwischen der Kammer (421A) und einem Inneren des Wärmeübertragungsrohrs (53) zuzulassen.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 6, ferner dadurch gekennzeichnet, daß der Pfostenabschnitt (42) eine oberste Wand (425) mit einer Kontaktfläche (422) aufweist, die in Kontakt mit dem Wärmeübertragungsmedium (7) im Wärmeübertragungsrohr (53) steht.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 11, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktfläche (422) der ober sten Wand (425) des Pfostenabschnitts (42) eine gezahnte Oberfläche ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 11, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktfläche (422) der obersten Wand (425) des Pfostenabschnitts (42) eine gerillte Oberfläche ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der ringförmige Abstandshalter (511) ein ringförmiges erstes Abstandshaltersegment (511A), das vom Umfang der Rippenplatte (51) nach unten vorsteht, ein ringförmiges zweites Abstandshaltersegment (511B), das von einem distalen unteren Ende des ersten Abstandshaltersegments (511A) radial und nach innen vorsteht, und ein ringförmiges drittes Abstandshaltersegment (511C) aufweist, das von einem distalen radialen inneren Ende des zweiten Abstandshaltersegments (511B) nach unten vorsteht.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Rippenplatten (51) gegenüberliegende Kantenabschnitte aufweist, von denen jede mit einem Sperrflansch (512) ausgebildet ist, wobei die Sperrflansche (512) einer oberen der Rippenplatten (51) sicher mit einer unteren der Rippenplatten (51) verbunden sind, um gegenüberliegende Seiten des vertikalen Zwischenraums (54) zwischen den oberen und unteren der Rippenplatten (51) zu verschließen.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer des ringförmigen Abstandshalters (511) und der Sperrflansche (512) jeder der Rippenplatten (51) zum Schweißen an die angrenzende der Rippenplatten (51) mit einem Lotmaterial (9) beschichtet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung (8) mit einem Einlaß (81) zum Füllen des Wärmeübertragungsrohrs (53) mit dem Wärmeübertragungsmedium (7) ausgebildet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung (8) integral mit einer obersten der Rippenplatten (51) im Stapel ausgebildet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Rippenplatten (51) ferner mit einem Satz Entlüftungslöcher (513) dort hindurch ausgebildet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Rippenplatten (51) eine Oberfläche aufweist, die mit einem wärmeleitenden Material (70) beschichtet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Rohrinnenseite (531) mit einem wärmeleitenden Material (70) beschichtet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Wärmeübertragungsrohr (53) eine vakuumdichte Kammer (530) begrenzt.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapillareinheit (6) eine primäre Kapillarstruktur (61) aufweist, die auf der Rohrinnenseite (531) ausgebildet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 23, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die Kapillareinheit (5) ferner eine sekundäre Kapillarstruktur (62) aufweist, die auf der primären Kapillarstruktur (61) angeordnet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 23, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die primäre Kapillarstruktur (61) eine gerauhte Oberfläche ist, die direkt auf der Rohrinnenseite (531) ausgebildet ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 25, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die gerauhte Oberfläche eine abgeriebene Oberfläche ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 25, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die gerauhte Oberfläche eine gebürstete Oberfläche ist.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 23, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die primäre Kapillarstruktur direkt auf der Rohrinnenseite (531) gebildet wird, indem ein wärmebehandlungsfähiges Material aufgespritzt wird und das wärmebehandlungsfähige Material einer Wärmebehandlung unterzogen wird.
Wärmeableitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 24, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die sekundäre Kapillarstruktur (62) ein Metallnetz ist, das an der primären Kapillarstruktur (61) befestigt ist.
Verfahren zum Herstellen einer Wärmeableitungsvorrichtung (2), gekennzeichnet durch: a) Bilden eines Wärmeübertragungsglieds (4), das angepaßt ist, auf einer Wärmeerzeugungsquelle (3) angeordnet zu werden; b) Bilden einer Kühlrippeneinheit (5), die einen Stapel Wärmeableitungsrippenplatten (51) aufweist, wobei jede der Rippenplatten (51) mit einem Durchgangsloch (52) und einem Umfang ausgebildet ist, der das Durchgangsloch (52) definiert und der mit einem ringförmigen Abstandshalter (511) ausgebildet ist, wobei der ringförmige Abstandshalter (511) einer oberen der Rippenplatten (51) mit dem Umfang einer unteren der Rippenplatten (51) verbunden ist, so daß aneinandergrenzende der Rippenplatten (51) einen vertikalen Zwischenraum (54) dazwischen bilden und so daß die ringförmigen Abstandshalter (511) der Rippenplatten (51) zusammenwirkend ein Wärmeübertragungsrohr (53) bilden, wobei das Wärmeübertragungsrohr (53) eine Rohrinnenseite (531), einen oberen Abschnitt und einen unteren Abschnitt aufweist; c) Bilden einer Kapillareinheit (6) im inneren Rohr des Wärmeübertragungsrohrs (53); d) Anbringen des unteren Abschnitts des Wärmeübertragungsrohrs (53) auf dem Wärmeübertragungsglied (4); e) Bereitstellen eines Wärmeübertragungsmediums (7) im Wärmeübertragungsrohr (53); und f) Abdichten des oberen Abschnitts des Wärmeübertragungsrohrs (53).
Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt a) das Wärmeübertragungsglied (4) mit einem Basisabschnitt (41), der angepaßt ist, auf der Wärmeerzeugungsquelle (3) angeordnet zu werden, und einem Pfostenabschnitt (42) ausgebildet ist, der sich vom Basisabschnitt (41) erstreckt und der mit dem unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs (53) verbunden werden soll.
Verfahren nach Anspruch 31, ferner dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt d) der Pfostenabschnitt (42) in den unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs (53) erweitert ist und abdichtend eingreift.
Verfahren nach Anspruch 32, ferner dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt d) der Pfostenabschnitt (42) an den unteren Abschnitt des Wärmeübertragungsrohrs (53) geschweißt wird.
Verfahren nach Anspruch 32, ferner dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt a) das Wärmeübertragungsglied (4) hohl ist und eine vakuumdichte Kammer (421) darin begrenzt.
Verfahren nach Anspruch 34, ferner dadurch gekennzeichnet, daß Schritt a) den Teilschritt aufweist, eine Menge eines Kühlmittelmediums (7A) in der vakuumdichten Kammer (421) bereitzustellen.
Verfahren nach Anspruch 35, ferner dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt a) der Basisabschnitt (41) mit einer kontaktherstellenden Wand (424) ausgebildet ist, die eine Wandaußenseite, die angepaßt ist, auf der Wärmeerzeugungsquelle (3) angeordnet zu werden, und eine Wandinnenseite aufweist, die der vakuumdichten Kammer (421) gegenüberliegt und die mit einer Kühlmittelrille (423) ausgebildet ist, die in Fluidverbindung mit der vakuumdichten Kammer (421) steht.
Verfahren nach Anspruch 35, ferner dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt a) der Pfostenabschnitt (42) mit einer konkaven obersten Wand (425) ausgebildet ist, um in Kontakt mit dem Wärmeübertragungsmedium (7) im Wärmeübertragungsrohr (53) angeordnet zu werden.
Verfahren nach Anspruch 35, ferner dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt a) der Pfostenabschnitt (42) mit einer konvexen obersten Wand (425) ausgebildet ist, um in Kontakt mit dem Wärmeübertragungsmedium (7) im Wärmeübertragungsrohr (53) angeordnet zu werden.
Verfahren nach Anspruch 32, ferner dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt a) das Wärmeübertragungsglied (4) hohl ist und eine Kammer (421A) darin begrenzt, wobei der Pfostenabschnitt (42) mit einem offenen obersten Ende (426) ausgebildet ist, um eine Fluidverbindung zwischen der Kammer (421A) und einem Inneren des Wärmeübertragungsrohrs (53) zuzulassen.
Verfahren nach Anspruch 35, ferner dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt a) der Pfostenabschnitt (42) mit einer obersten Wand (425) ausgebildet ist, die eine Kontaktfläche (422) aufweist, die in Kontakt mit dem Wärmeübertragungsmedium (7) im Wärmeübertragungsrohr (53) angeordnet werden soll.
Verfahren nach Anspruch 40, ferner dadurch gekennzeichnet, daß Schritt a) den Teilschritt aufweist, die Kontaktfläche (422) der obersten Wand (425) des Pfostenabschnitts (42) in einer gezahnten Oberfläche auszubilden.
Verfahren nach Anspruch 40, ferner dadurch gekennzeichnet, daß Schritt a) den Teilschritt aufweist, die Kontaktfläche (422) der obersten Wand (425) des Pfostenabschnitts (42) in einer gerillten Oberfläche auszubilden.
Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt b) der ringförmige Abstandshalter (511) ein ringförmiges erstes Abstandshaltersegment (511A), das vom Umfang der Rippenplatte (51) nach unten vorsteht, ein ringförmiges zweites Abstandshaltersegment (511B), das von einem distalen unteren Ende des ersten Abstandshaltersegments (511A) radial und nach innen vorsteht, und ein ringförmiges drittes Abstandshaltersegment (511C) aufweist, das von einem distalen radialen inneren Ende des zweiten Abstandshaltersegments (511B) nach unten vorsteht.
Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt b) jede der Rippenplatten (51) gegenüberliegende Kantenabschnitte aufweist, von denen jeder mit einem Sperrflansch (512) ausgebildet ist, wobei die Sperrflansche (512) einer oberen der Rippenplatten (51) mit einer unteren der Rippenplatten (51) so verbunden sind, daß gegenüberliegende Seiten des vertikalen Zwischenraums (54) zwischen den oberen und unteren der Rippenplatten (51) verschlossen sind.
Verfahren nach Anspruch 44, ferner dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt b) mindestens einer des ringförmigen Abstandshalters (511) und die Sperrflansche (512) jeder der Rippenplatten (51) an die angrenzende der Rippenplatten (51) geschweißt werden.
Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß in Schritt b) jede der Rippenplatten (51) ferner mit einem Satz Entlüftungslöcher (513) dort hindurch ausgebildet ist.
Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß Schritt b) den Teilschritt aufweist, eine Oberfläche jeder der Rippenplatten (51) mit einem wärmeleitenden Material (70) zu beschichten.
Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß Schritt b) den Teilschritt aufweist, die Rohrinnenseite (531) mit einem wärmeleitenden Material (70) zu beschichten.
Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß das Wärmeübertragungsrohr (53) vor dem Abdichten evakuiert wird.
Verfahren nach Anspruch 30, wobei Schritt c) den Teilschritt aufweist, eine primäre Kapillarstruktur (61) auf der Rohrinnenseite (531) zu bilden.
Verfahren nach Anspruch 50, ferner dadurch gekennzeichnet, daß Schritt c) den Teilschritt aufweist, eine sekundäre Kapillarstruktur (62) auf der primären Kapillarstruktur (61) anzuordnen.
Verfahren nach Anspruch 50, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die primäre Kapillarstruktur (61) eine geraubte Oberfläche ist, die direkt auf der Rohrinnenseite (531) gebildet wird.
Verfahren nach Anspruch. 52, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die geraubte Oberfläche durch Abreiben gebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 52, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die geraubte Oberfläche durch Bürsten gebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 50, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die primäre Kapillarstruktur (61) direkt an der Rohrinnenseite (531) gebildet wird, indem ein wärmebehandlungsfähiges Material aufgespritzt wird und das wärmebehandlungsfähige Material einer Wärmebehandlung unterzogen wird.
Verfahren nach Anspruch 51, ferner dadurch gekennzeichnet, daß die sekundäre Kapillarstruktur (62) ein Metallnetz ist, das auf der primären Kapillarstruktur (61) befestigt wird.