DE10153358A1

DE10153358A1 - Elektroakustischer Wandler vom Flach- bzw. Flächenantriebstyp

Info

Publication number: DE10153358A1
Application number: DE10153358A
Authority: DE
Inventors: Akira Hara; Kunio Kondo
Original assignee: Foster Electric Co Ltd
Current assignee: Foster Electric Co Ltd
Priority date: 2000-11-02
Filing date: 2001-10-29
Publication date: 2002-05-29
Anticipated expiration: 2021-10-30
Also published as: DE10153358B4; JP2002142289A; US20020061116A1; JP4500426B2; US6845166B2

Abstract

Es ist ein elektroakustischer Wandler vom Flach- bzw. Flächenantriebstyp offenbart, der eine Membranschicht mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmuster (203) sowie einen Magnetkreis aufweist. Auf der Membran (200) ist eine Vibrationsdämpfungsschicht (271) vorgesehen. Die Membran (200) ist durch Ausbilden einer Dünnfilmschicht (273) aus leitendem Metall auf einer Basisschicht (201) über einer Verbindungs- bzw. Bondingschicht (271) hergestellt, und das Leitungsmuster (203) ist aus der Dünnfilmschicht (273) mittels eines Ätzvorgangs ausgebildet, wobei die Bondingschicht (271) als die Vibrationsdämpfungsschicht fungiert. Durch das Vorsehen der Vibrationsdämpfungsschicht (271) kommt es nicht zu einer problematischen abrupten Dämpfung bzw. Abschwächung, wenn die Membran (200) vibriert.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen elektroakustischen Wandler vom Flächenantriebstyp, der einen Membranfilm bzw. eine Membranschicht mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmuster und einen Magnetkreis aufweist.

Die folgende Beschreibung beschreibt einen elektro akustischen Wandler vom Flächenantriebstyp nach dem Stand der Technik mit Bezug auf Fig. 10.

Mehrere stabartige Magnete 3 sind gleichmäßig oder annähernd gleichmäßig innerhalb eines Gehäuses eines Jochs 1, dessen obere Seite bzw. Fläche eine offene Seite ist, voneinander beabstandet. Wie in der Zeichnung dargestellt ist, sind diese Magnete 3 so angeordnet, daß die Magnetisierungsrichtungen der benachbarten Magnete 3 einander entgegengesetzt sind, wodurch das Joch 1 und die Magnete 3 einen Magnetkreis bilden.

Eine Membran 5, die aus einem Film bzw. einer (dünnen) Schicht 6 und auf der Schicht 6 ausgebildeten Leitungsmustern 7 besteht, ist vorgesehen, um die Oberseite des Jochs 1 zu bedecken.

In Fig. 10 zur Erklärung des Standes der Technik sind die Leitungsmuster 7 nur auf einer Oberfläche der Schicht 6 vorgesehen. Es ist jedoch anzumerken, daß die Leitungsmuster 7 je nach Bedarf auch auf beiden Ober flächen der Schicht 6 vorgesehen sein können.

Die Leitungsmuster 7 weisen Abschnitte 7a auf, die sich unter rechten Winkeln mit über entgegengesetzten Polaritäten der Magnete 3 entstehenden Magnetflüssen schneiden.

Wenn Strom durch die Leitungsmuster 7 fließt, üben folglich die Leitungsmuster 7 eine Antriebskraft an den Abschnitten 7a aus, die sich unter rechten Winkeln mit den Magnetflüssen schneiden. Falls der Strom ein Wechsel strom ist, vibriert die Membran 5, und der elektro akustische Wandler wirkt als Lautsprecher.

Ferner wird, falls die Membran 5 durch Luftvibrationen vibriert, Strom in den Leitungsmustern 7 erzeugt, und der elektroakustische Wandler wirkt dann als Mikrophon.

Der elektroakustische Wandler vom Flächenantriebstyp, der wie oben angeordnet ist, weist folgende Probleme auf.

1. Da die Membran 5 aus einer äußerst dünnen Schicht mit den darauf ausgebildeten Leitungsmustern 7 besteht, ist eine Vibrations-Dämpfungswirkung der Schicht selbst so gering, daß es leicht zu einer problematischen abrupten Dämpfung bzw. Abschwächung kommt.
2. Um als elektroakustischer Wandler wirksam zu arbeiten, ist es vorzuziehen, die Länge zu vergrößern und die Anzahl der Abschnitte 7a, die sich unter rechten Winkeln mit den Magnetflüssen der Leitungsmuster 7 schneiden, zu erhöhen. Andererseits ist eine Biegesteifigkeit in einer Richtung (einer durch einen Großbuchstaben A in der Zeichnung angegebenen Richtung: Magnetspaltrichtung), die sich unter rechten Winkeln mit den Magnetflüssen der Membran 5 schneidet, groß im Vergleich zur Biegesteifigkeit in einer (anderen) Richtung (einer Richtung, die durch einen Großbuchstaben B in der Zeichnung angegeben ist), die sich unter rechten Winkeln mit der Magnetspaltrichtung schneidet, und es besteht ein erheblicher Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den beiden Richtungen, was oft die Vibrationen der Membran 5 nachteilig beeinflußt.
3. Falls die Leitungsmuster 7 auf beiden Ober flächen des Films bzw. der (dünnen) Schicht 6 ausgebildet sind, werden die Leitungsmuster 7 an den betreffenden Oberflächen, durch die Oberflächen gesehen, an derselben Position ausgebildet. Dies macht den oben beschriebenen Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen A und B noch größer.
4. Da die die Membran 5 bildende Schicht 6 so dünn ist, daß die Membran 5 von sich aus ihre Form nicht beibehalten kann, muß auf die Membran 5 während der Positionierung und der Montage konstant eine Zugkraft aufgebracht werden, was eine unzureichende Verarbeitbarkeit ergibt.

Die vorliegende Erfindung wurde getätigt, um die obigen Probleme zu lösen, und hat daher eine erste Aufgabe, einen elektroakustischen Wandler vom Flach- bzw. Flächenantriebstyp bereitzustellen, bei dem die Membran kaum eine problematische abrupte Dämpfung verursacht, so daß eine Verzerrung vermindert wird.

Ein zweiter Aspekt der vorliegenden Erfindung ist es, einen elektroakustischen Wandler vom Flach- bzw. Flächenantriebstyp bereitzustellen, bei dem die Membran einen geringen Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen aufweist, so daß eine Verzerrung vermindert wird.

Ein dritter Aspekt der Erfindung ist es, einen elektroakustischen Wandler vom Flächenantriebstyp bereit zustellen, mit dem die Be- bzw. Verarbeitbarkeit der Anordnung verbessert wird.

Um die obigen Aufgaben zu erfüllen, wird nach einem ersten Aspekt der Erfindung ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp bereitgestellt, der mit einer dünnen Schicht aus einer Membran mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmuster und einem Magnetkreis ausgestattet ist, wobei eine Vibrationsdämpfungsschicht auf der Membran vorgesehen ist.

Durch das Vorsehen der Vibrationsdämpfungsschicht auf der Membran kommt es nicht zu einer problematischen abrupten Dämpfung, wenn die Membran vibriert.

Nach einem zweiten Aspekt der Erfindung wird ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp bereit gestellt, wobei die Membran durch Ausbilden einer Dünn filmschicht leitenden Metalls auf einer Basisschicht über eine Verbindungs- oder Bondingschicht und Ausbilden des Leitungsmusters aus der Dünnfilmschicht mittels Ätzen erzeugt wird, und wobei die Bondingschicht als Vibrationsdämpfungsschicht fungiert.

Durch Verwenden der Bondingschicht als Vibrationsdämpfungsschicht muß keine separate Vibrationsdämpfungsschicht vorgesehen werden, wodurch Kosteneinsparungen möglich sind.

Nach einem dritten Aspekt der Erfindung wird ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp bereit gestellt, der mit einer Membranschicht mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmustet und einem Magnetkreis ausgestattet ist, wobei das Leitungsmuster spulenförmig ist und ein Antriebskraft-Erzeugungsabschnitt des Leitungsmusters in einer zickzackförmigen Art in bezug auf eine Richtung (nachstehend gelegentlich als Magnet spaltrichtung bezeichnet) ausgebildet ist, die sich unter rechten Winkeln mit einer Richtung eines Magnetflusses des Magnetkreises längs einer planaren Richtung der Membranschicht schneidet.

Durch Ausbilden des Antriebskraft-Erzeugungs abschnitts des Leitungsmusters in einer zickzackförmigen Art in bezug auf eine Richtung, die sich unter rechten Winkeln mit einer Richtung eines Magnetflusses des Magnetkreises längs einer planaren Richtung der Membranschicht schneidet, wird die Biegesteifigkeit in der Magnetspaltrichtung verringert und folglich ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen, und damit die Verzerrung, vermindert.

Nach einem vierten Aspekt der Erfindung wird ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp bereit gestellt, wobei das spulenförmige Leitungsmuster auf beiden Oberflächen der Membranschicht an einer gleichen Stelle vorgesehen ist und zickzackförmige Abschnitte der Antriebskraft-Erzeugungsabschnitte auf betreffenden Ober flächen zusammen, durch die Membranschicht betrachtet, ein Gittermuster bilden.

Selbst wenn das spulenförmige Leitungsmuster auf beiden Oberflächen der Membranschicht an der gleichen Stelle vorgesehen ist, bilden die Zickzackabschnitte der Antriebskraft-Erzeugungsabschnitte auf den betreffenden Oberflächen zusammen, durch die Membranschicht betrachtet, ein Gittermuster. Daher wird die Biegesteifigkeit in der Magnetspaltrichtung reduziert und infolgedessen ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran ebenso wie die Verzerrung vermindert.

Nach einem fünften Aspekt der Erfindung wird ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp bereit gestellt, der mit einer Membranschicht mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmuster sowie einem Magnetkreis versehen ist, wobei das Leitungsmuster in einer zickzack förmigen Art in bezug auf eine Richtung ausgebildet ist, die sich unter rechten Winkeln mit einer Magnetspalt richtung schneidet.

Durch Ausbilden des Leitungsmusters in einer zick zackförmigen Art in bezug auf eine sich unter rechten Winkeln mit der Magnetspaltrichtung schneidenden Richtung gibt es einen nur geringen Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran, und folglich wird die Verzerrung vermindert.

Nach einem sechsten Aspekt der Erfindung wird ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp bereit gestellt, wobei das Leitungsmuster auf beiden Oberflächen der Membranschicht vorgesehen ist und Zickzackabschnitte auf den Leitungsmustern auf den betreffenden Oberflächen zusammen, durch die Membranschicht betrachtet, ein Gittermuster bilden.

Durch Vorsehen des Leitungsmusters auf beiden Ober flächen der Membranschicht derart, daß die Zickzack abschnitte der Leitungsmuster auf den betreffenden Ober flächen zusammen, durch die Membranschicht gesehen, ein Gittermuster bilden, wird ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran und damit die Verzerrung verringert.

Nach einem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp bereitgestellt, der mit einer Membranschicht mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmuster und einem Magnetkreis versehen ist, wobei ein Verstärkungsabschnitt an einem Umfang der Membran vorgesehen ist.

Durch Vorsehen des Verstärkungsabschnitts am Umfang der Membran wird ermöglicht, daß die Membran ihre Form von sich aus hält, wodurch die Be- und Verarbeitbarkeit der Membrananordnung verbessert wird.

Nach einem achten Aspekt der Erfindung wird ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp bereit gestellt, wobei der Verstärkungsabschnitt mit dem Leitungsmuster ausgebildet wird.

Durch Ausbilden des Verstärkungsabschnitts mit dem Leitungsmuster wird die Produktivität erhöht.

Nach einem neunten Aspekt der Erfindung wird ein elektroakustischer Wandler vöm Flächenantriebstyp bereit gestellt, wobei der Verstärkungsabschnitt mit einem Positionierungsloch zur Verwendung mit der Membran versehen ist.

Durch Versehen des Verstärkungsabschnitts mit einem Positionierungsloch zur Verwendung mit der Membran wird die Produktivität erhöht.

Nach einem zehnten Aspekt der Erfindung wird ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp bereit gestellt, wobei der Verstärkungsabschnitt mit einem Klemmloch zur Verwendung mit der Membran versehen ist.

Durch Verwenden des Verstärkungsabschnitts mit einem Klemmloch zur Verwendung mit der Membran wird die Produktivität erhöht.

Im folgenden wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1A und 1B Ansichten zur Erläuterung der Herstellungsschritte von Leitungsmustern auf einer Membran eines Ausführungsbeispiels,

Fig. 2 eine Draufsicht auf einen elektro akustischen Wandler vom Flach- bzw. Flächenantriebstyp eines Ausführungsbeispiels,

Fig. 3 eine Schnittansicht längs der Linien A-A von Fig. 2,

Fig. 4 eine Draufsicht auf die Membran von Fig. 2,

Fig. 5 eine Ansicht zur Erläuterung von Leitungs mustern auf einer Oberfläche der Membran von Fig. 4,

Fig. 6 eine Ansicht zur Erläuterung von Leitungs mustern auf der anderen Oberfläche der Membran von Fig. 4,

Fig. 7 eine vergrößerte Ansicht eines Abschnitts B in der Membran von Fig. 4, durch die Membran betrachtet,

Fig. 8 eine Ansicht zur Darstellung von Frequenz charakteristika des elektroakustischen Wandlers vom Flächenantriebstyp eines Ausführungsbeispiel und derjenigen eines elektroakustischen Wandlers vom Flächenantriebstyp nach dem Stand der Technik, wenn beide als Lautsprecher verwendet werden,

Fig. 9 eine Ansicht zur Erläuterung eines weiteren Ausführungsbeispiels, und

Fig. 10 eine Ansicht zur Darstellung einer Anordnung eines elektroakustischen Wandlers vom Flächenantriebstyp nach dem Stand der Technik.

Die folgende Beschreibung erläutert Ausführungs beispiele der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen.

Gesamtanordnung

Zunächst erläutert die folgende Beschreibung mit Bezug auf die Fig. 2 und 3 eine Gesamtanordnung eines elektroakustischen Wandlers vom Flächenantriebstyp des vorliegenden Ausführungsbeispiels. Fig. 2 ist eine Drauf sicht und Fig. 3 eine Schnittansicht längs der Linie A-A von Fig. 2.

Gemäß diesen Figuren umfaßt ein Gehäuse 100 einen ersten Gehäuseteil 101, dessen eine Fläche bzw. Seite als offene Seite 101a ausgeführt ist, und einen zweiten Gehäuseteil 103 dessen eine Seite als offene Seite 103a ausgeführt ist. Der erste Gehäuseteil 101 und der zweite Gehäuseteil 103 halten zwischen sich sandwichartig eine Membran 200, wobei die offene Seite 101a des ersten Gehäuseteils 101 und die offene Seite 103a des zweiten Gehäuseteils 103 einander gegenüberliegen.

Jeder erste Magnetkreis 311 ist aus einem Joch 303 und einem in einer ersten Richtung magnetisierten, stab artigen Magneten 305 zusammengesetzt, und ist in einem von dem ersten Gehäuseteil 101 und der Membran 200 umgebenen Raum vorgesehen.

Jeder zweite Magnetkreis 321 ist aus einem Joch 313 und einem in einer zweiten Richtung magnetisierten, stabartigen Magneten 315 zusammensetzt, und ist in einem durch den zweiten Gehäuseteil 103 und die Membran 200 umgebenen Raum vorgesehen.

Um durch die Membran 200 erzeugte Luftvibrationen nach außen zu befördern und Luftvibrationen von außen zur Membran 200 zu befördern, sind Langlöcher 303a und 313a zwischen den die ersten Magnetkreise 311 bildenden, benachbarten Jochen 303 bzw. zwischen den die zweiten Magnetkreise 321 bildenden benachbarten Jochen 313 vorgesehen, während Langlöcher 101b und 103b an den ersten bzw. zweiten Gehäusen 101 bzw. 103 derart vorgesehen sind, daß die Langlöcher 303a und 101b einander gegenüberliegen, während die Langlöcher 313a und 103b einander gegenüberliegen.

Der erste Gehäuseteil 101 ist auch mit Positionierungszapfen 111 versehen, die in im zweiten Gehäuseteil 103 ausgebildete Löcher 113 passen.

Ferner ist der erste Gehäuseteil 101 mit Löchern 121 an seinem Umfang versehen, und der zweite Gehäuseteil 103 ist mit Schraubgewindelöchern 133 an seinem Umfang versehen, so daß diese den Löchern 121 im ersten Gehäuse teil 101 gegenüberliegen. In die Löcher 121 werden (nicht dargestellte) Klemmschrauben eingeführt und in Verschraubungseingriff mit den Schraubgewindelöchern 133 gebracht, wodurch der erste Gehäuseteil 101 und der zweite Gehäuseteil 103 zu einem Körper zusammengefügt werden.

Der zweite Gehäuseteil 103 ist mit Befestigungs löchern 143 zur Verwendung beim Befestigen des elektro akustischen Wandlers versehen.

Membran

Als nächstes erläutert die folgende Beschreibung die Membran 200 unter Bezugnahme auf Fig. 4.

Die Membran 200 wird durch Ausbilden einer Dünnfilm schicht aus leitendem Metall auf einer Basisschicht 201 und Ausbilden spulenförmiger Leitungsmuster 203 aus der Dünnfilmschicht mittels Ätzen erzeugt.

Zusätzlich wird die Membran 200 an ihrer Peripherie mit einem Verstärkungsabschnitt 205 versehen, der zusammen mit den Leitungsmustern gebildet wird, wenn diese gebildet werden. Der Verstärkungsabschnitt 205 ist mit Positionierungslöchern 211 versehen, in welche die Positionierungszapfen 111 des ersten Gehäuseteils 101 eingeführt werden, sowie mit Klemmlöchern 213, in welche die Klemmschrauben eingesetzt werden.

Leitungsmuster

Als nächstes werden unter Bezugnahme auf Fig. 5 die auf einer Oberfläche der Membran 200 ausgebildeten Leitungsmuster 203 beschrieben.

Im Fall der spulenförmigen Leitungsmuster 203 werden Abschnitte, die sich unter rechten Winkeln mit Magnet flüssen schneiden, die durch die ersten und zweiten Magnetkreise 311 und 321 gebildet werden, wenn Strom durch die Leitungsmuster 203 fließt, d. h., die Antriebs kraft-Erzeugungsabschnitte 203a, in einer zickzack förmigen Art und Weise in bezug auf eine Richtung (Magnetspaltrichtung G) ausgebildet, die sich unter rechten Winkeln mit der Richtung der Magnetflüsse der Magnetkreise längs der planaren Richtung der Membran 200 schneiden.

Desgleichen werden Abschnitte, die sich unter rechten Winkeln mit der Magnetspaltrichtung G der Leitungsmuster 203 schneiden, d. h. keine Antriebskraft erzeugende Abschnitte 203b, in einer zickzackförmigen Art ausgebildet.

Ferner ist ein Zickzackmuster 204, das in einer zickzackförmigen Art und Weise in bezug auf die Magnet spaltrichtung G ausgebildet ist, innerhalb jedes spulen förmigen Leitungsmusters 203 vorgesehen.

Andererseits sind Leitungsmuster 203' gemäß Fig. 6 auf der anderen Oberfläche der Membran 200 an der gleichen Stelle ausgebildet, um den Leitungsmustern 203 gegenüber zu liegen.

In den Fig. 5 und 6 bezeichnen die Bezugsziffern 206 und 206' zweiteilige Leitungsabschnitte, welche die Leitungsmuster 203 und die anderen Leitungsmuster 203' elektrisch miteinander verbinden.

Die Leitungsmuster 203' unterscheiden sich von den auf einer Oberfläche der Membran 200 ausgebildeten Leitungsmustern 203 in den Zickzackrichtungen. Gemäß Fig. 7 bilden die Zickzackabschnitte der betreffenden Oberflächen zusammen, durch die Membran 200 betrachtet, ein Gittermuster.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel weisen die Zickzackmuster einen um 45 Grad nach oben gerichteten Anstieg auf, so daß die Zickzackmuster in hoher Dichte effektiv gebildet werden können.

Als nächstes wird in der folgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die Fig. 1A und 1B ein Herstellungs verfahren der Membran 200 des vorliegenden Ausführungs beispiels beschrieben.

1. Eine Dünnfilmschicht 273 aus leitendem Metall (z. B. Kupfer) wird auf einer Basisschicht 201 mittels einer Verbindungs- bzw. Bondingschicht 271 gebildet (Fig. 1A).
2. Mittels eines Ätzvorgangs werden Leitungs muster 203 ausgebildet, während die Bondingschicht 271 intakt belassen wird (Fig. 1B).

Die Funktionsweisen gemäß der obigen Anordnung sind wie folgt. Wenn durch die Leitungsmuster 203 und 203' Strom fließt, üben die Leitungsmuster 203 und 203' eine Antriebskraft an den Antriebskraft-Erzeugungs abschnitten 203a und 203a' aus, die sich unter rechten Winkeln mit den Magnetflüssen schneiden. Falls der Strom ein Wechselstrom ist, vibriert die Membran 200 und der elektroakustische Wandler funktioniert als Lautsprecher.

Ferner wird, falls die Membran 200 durch Luft vibrationen vibriert, ein Strom an den Leitungs mustern 203 und 203' erzeugt, und der elektroakustische Wandler funktioniert als Mikrophon.

Gemäß der obigen Anordnung können folgende Vorteile erzielt werden.

1. Es kommt zu keiner problematischen abrupten Dämpfung bzw. Abschwächung, wenn die Membran 200 vibriert, da die in der Membran 200 belassene Bondingschicht 271 als Vibrationsdämpfungsschicht fungiert.
2. Es können Kosten eingespart werden, da es durch die Verwendung der Bondingschicht 271 als Vibrations dämpfungsschicht nicht nötig ist, eine separate Vibrationsdämpfungsschicht vorzusehen.
3. Eine Verzerrung wird durch Ausbilden der Antriebskraft-Erzeugungsabschnitte 203a und 203a' der Leitungsmuster 203 und 203' auf der Membran 200 in einer zickzackförmigen Art und Weise in bezug auf die Magnet spaltrichtung G vermindert, da dadurch die Biegesteifigkeit in der Magnetspaltrichtung G und damit ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen verringert wird.
4. Eine Verzerrung wird selbst dann vermindert, wenn die spulenförmigen Leitungsmuster 203 und 203' jeweils auf beiden Oberflächen der Membran 200 vorgesehen werden, um einander gegenüberzuliegen, da die Zickzack abschnitte der Antriebskraft-Erzeugungsabschnitte 203a und 203a' auf der betreffenden Oberfläche zusammen, durch die Membran 200 gesehen, ein Gittermuster gemäß Fig. 7 bilden. Folglich wird die Biegesteifigkeit in der Magnet spaltrichtung G und damit ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran 200 reduziert.
5. Eine Verzerrung wird durch Ausbilden der Abschnitte, die sich unter rechten Winkeln mit der Magnetspaltrichtung G der Leitungsmuster 203 und 203' schneiden, d. h. der keine Antriebskraft erzeugenden Abschnitte 203b und 203b', in einer zickzackförmigen Art und Weise ebenso vermindert, weil dadurch die Biegesteifigkeit in einer Richtung, die sich unter rechten Winkeln mit der Magnetspaltrichtung G schneidet, reduziert wird, und damit auch ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran 200.
6. Die Ver- und Bearbeitbarkeit der Anordnung der Membran 200 wird verbessert, da die Membran 200 ihre Form durch Vorsehen des Verstärkungsabschnitts 205 am Umfang der Membran 200 von sich aus beibehalten kann.
7. Die Produktivität wird durch Ausbilden des Verstärkungsabschnitts 205 mit den Leitungsmustern 203 und 203' verbessert.
8. Die Produktivität wird durch Vorsehen des Verstärkungsabschnitts 205 mit den Positionierungs löchern 211 zur Verwendung mit der Membran 200 verbessert.
9. Die Produktivität wird durch Vorsehen des Verstärkungsabschnitts 205 mit den Klemmlöchern 213 zur Verwendung mit der Membran 200 verbessert.

Fig. 8 ist eine Ansicht zur Darstellung von Frequenzcharakteristika, wenn der elektroakustische Wandler vom Flächenantriebstyp des vorliegenden Ausführungsbeispiels und ein elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp nach dem Stand der Technik als Lautsprecher verwendet werden.

In der Figur gibt eine durchgezogene Linie 1 das vorliegende Ausführungsbeispiel an, und eine unter brochene Linie 2 gibt den Stand der Technik an. Die Zeichnung zeigt auf, daß im Stand der Technik ein(e) abrupte(r) Dämpfung bzw. Abfall, der/die in einem Bereich von 1000 Hz bis 5000 Hz stattfindet, zu beobachten ist, daß eine solche abrupte Dämpfung oder ein so abrupter Abfall im vorliegenden Ausführungsbeispiel jedoch unterdrückt wird.

Es ist anzumerken, daß die vorliegende Erfindung nicht auf das obige Ausführungsbeispiel beschränkt ist. Die im obigen Ausführungsbeispiel verwendeten Leitungs muster waren spulenförmig, es können jedoch auch Leitungsmuster der in Fig. 9 gezeigten Form verwendet werden.

In Fig. 9 sind Magnetkreise 500, die aus Jochen 503 und in der gleichen Richtung magnetisierten, stabartigen Magneten 505 zusammengesetzt sind, in der gleichen Art und Weise angeordnet wie beim obigen Ausführungsbeispiel, und eine Richtung G, die durch einen Pfeil angedeutet ist, ist die Magnetspaltrichtung.

Leitungsmuster 551 (durchgezogene Linie) sind auf einer Oberfläche einer Membran 550 in zickzackförmiger Art in bezug auf eine Richtung ausgebildet, die sich unter rechten Winkeln mit der Magnetspaltrichtung G schneidet, und Leitungsmuster 551' (unterbrochene Linie) sind ebenfalls auf der anderen Oberfläche in einer zickzackförmigen Art in bezug auf die Richtung ausgebildet, die sich unter rechten Winkeln mit der Magnetspaltrichtung G schneidet.

Ferner sind die Leitungsmuster 551 und die anderen Leitungsmuster 551' so eingestellt, daß ihre Zickzack abschnitte zusammen, durch die Membran 550 betrachtet, ein Gittermuster bilden.

Außerdem sind die Leitungsmuster 551 und die anderen Leitungsmuster 551' durch zweiseitige leitende Abschnitte 552 elektrisch miteinander verbunden.

Gemäß der obigen Anordnung können folgende Vorteile erzielt werden.

1. Eine Verzerrung wird durch Ausbilden der Leitungsmuster 551 und 551' in einer zickzackförmigen Art in bezug auf die Richtung, die sich unter rechten Winkeln mit der Magnetspaltrichtung G schneidet, vermindert, weil dadurch nur ein geringer Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran 550 vorhanden ist.
2. Eine Verzerrung wird selbst dann vermindert, wenn die Leitungsmuster 551 und 551' jeweils auf den beiden Oberflächen der Membran 550 vorgesehen sind, da die Zickzackabschnitte der Leitungsmuster 551 und 551' auf den betreffenden Oberflächen zusammen, durch die Membran 550 betrachtet, ein Gittermuster bilden, und infolgedessen ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran 550 verringert wird.

Wie erläutert wurde, kommt es gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung durch Vorsehen der Vibrationsdämpfungsschicht auf der Membran zu keiner problematischen abrupten Dämpfung, wenn die Membran vibriert.

Gemäß dem zweiten Aspekt der Erfindung muß durch Verwendung der Verbindungs- bzw. Bondingschicht als Vibrationsdämpfungsschicht keine separate Vibrationsdämpfungsschicht vorgesehen werden, wodurch es möglich wird, Kosten einzusparen.

Gemäß dem dritten Aspekt der Erfindung wird durch Ausbilden des Antriebskraft-Erzeugungsabschnitts des Leitungsmusters in einer zickzackförmigen Art in bezug auf eine Richtung (Magnetspaltrichtung), die sich unter rechten Winkeln mit einer Richtung eines Magnetflusses des Magnetkreises entlang einer planaren Richtung der Membranschicht schneidet, die Biegesteifigkeit in der Magnetspaltrichtung verringert, und infolgedessen wird ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen und damit die Verzerrung geringer.

Gemäß dem vierten Aspekt der Erfindung bilden selbst dann, wenn das spulenförmige Leitungsmuster auf beiden Oberflächen der Membran einander entgegengesetzt vorgesehen ist, Zickzackabschnitte der Antriebskraft- Erzeugungsabschnitte auf den betreffenden Oberflächen zusammen, durch die Membranschicht betrachtet, ein Gittermuster. Die Biegesteifigkeit in der Magnetspalt richtung wird somit reduziert, und infolgedessen wird ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran ebenso wie die Verzerrung vermindert.

Gemäß dem fünften Aspekt der Erfindung gibt es durch Ausbilden des Leitungsmusters in einer zickzackförmigen Art in bezug auf eine Richtung, die sich unter rechten Winkeln mit der Magnetspaltrichtung schneidet, nur einen geringen Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran, und infolgedessen wird die Verzerrung vermindert.

Gemäß dem sechsten Aspekt der Erfindung wird durch Vorsehen des Leitungsmusters auf den beiden Oberflächen der Membranschicht derart, daß Zickzackabschnitte der Leitungsmuster auf den betreffenden Oberflächen zusammen, durch die Membranschicht betrachtet, ein Gittermuster bilden, ein Unterschied in der Biegesteifigkeit zwischen den Richtungen der Membran ebenso wie die Verzerrung vermindert.

Gemäß dem siebten Aspekt der Erfindung wird durch Vorsehen des Verstärkungsabschnitts an dem Umfang der Membran ermöglicht, daß die Membran ihre Form von sich aus beibehält, wodurch die Verarbeitbarkeit und Handhabbarkeit der Membrananordnung verbessert wird.

Gemäß dem achten Aspekt der Erfindung wird durch Ausbilden des Verstärkungsabschnitts mit dem Leitungs muster die Produktivität verbessert.

Gemäß dem neunten Aspekt der Erfindung wird durch Vorsehen des Verstärkungsabschnitts mit einem Positionierungsloch zur Verwendung mit der Membran die Produktivität verbessert.

Gemäß dem zehnten Aspekt der Erfindung wird durch Vorsehen des Verstärkungsabschnitts mit einem Klemmloch zur Verwendung mit der Membran die Produktivität verbessert.

Claims

1. Elektroakustischer Wandler vom Flach- bzw. Flächenantriebstyp, der eine Membranschicht mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmuster und einen Magnetkreis aufweist, wobei eine Vibrationsdämpfungsschicht auf der Membran vorgesehen ist.

2. Elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp gemäß Anspruch 1, wobei:
die Membran durch Ausbilden einer Dünnfilmschicht aus leitendem Metall auf einer Basisschicht über einer Verbindungs- bzw. Bondingschicht hergestellt ist und das Leitungsmuster aus der Dünnfilmschicht mittels eines Ätzvorgangs ausgebildet ist, und
die Bondingschicht als die Vibrationsdämpfungs schicht fungiert.

3. Elektroakustischer Wandler vom Flachantriebs- bzw. Flächenantriebstyp mit einer Membranschicht mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmuster und einem Magnetkreis, wobei:
das Leitungsmuster spulenförmig ist, und
ein Antriebskraft-Erzeugungsabschnitt des Leitungs musters in einer zickzackförmigen Art und Weise in bezug auf eine Richtung ausgebildet ist, die sich unter rechten Winkeln mit einer Richtung eines Magnetflusses des Magnetkreises entlang einer planaren Richtung der Membranschicht schneidet.

4. Elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp gemäß Anspruch 3, wobei:
das spulenförmige Leitungsmuster auf beiden Oberflächen der Membranschicht an einer gleichen Stelle vorgesehen ist, und
Zickzackabschnitte der Antriebskraft-Erzeugungs abschnitte auf betreffenden Oberflächen zusammen, durch die Membranschicht betrachtet, ein Gittermuster bilden.

5. Elektroakustischer Wandler vom Flach- bzw. Flächenantriebstyp, der eine Membranschicht mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmuster und einen Magnetkreis aufweist, wobei das Leitungsmuster in einer zickzackförmigen Weise in bezug auf eine Richtung, die sich unter rechten Winkeln mit einer Magnetspaltrichtung schneidet, ausgebildet ist.

6. Elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp gemäß Anspruch 5, wobei:
das Leitungsmuster auf beiden Oberflächen der Membranschicht vorgesehen ist, und
Zickzackabschnitte der Leitungsmuster auf betreffenden Oberflächen zusammen, durch die Membran schicht betrachtet, ein Gittermuster bilden.

7. Elektroakustischer Wandler vom Flach- bzw. Flächenantriebstyp mit einer Membranschicht mit einem darauf ausgebildeten Leitungsmuster und einem Magnetkreis, wobei ein Verstärkungsabschnitt am Umfang der Membran vorgesehen ist.

8. Elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp gemäß Anspruch 7, wobei der Verstärkungsabschnitt mit dem Leitungsmuster ausgebildet ist bzw. wird.

9. Elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp gemäß Anspruch 7 oder 8, wobei der Verstärkungsabschnitt mit einem Positionierungsloch zur Verwendung mit der Membran versehen ist.

10. Elektroakustischer Wandler vom Flächenantriebstyp gemäß einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei der Verstärkungsabschnitt mit einem Klemmloch zur Verwendung mit der Membran versehen ist.