DE1014759B

DE1014759B - Gasdruckmessvorrichtung

Info

Publication number: DE1014759B
Application number: DEE7155A
Authority: DE
Inventors: Roy Carl Gauger
Original assignee: Consolidated Electrodynamics Corp
Current assignee: Consolidated Electrodynamics Corp
Priority date: 1952-05-03
Filing date: 1953-04-30
Publication date: 1957-08-29
Also published as: US2745059A; NL89670C; NL177954B; GB742076A

Description

DEUTSCHES

Die Erfindung betrifft eine Meßvorrichtung zum Bestimmen des Gasdruckes durch Messung der Stromstärke bei einer Gasentladung mit kalter Kathode.

Bei den üblichen Meßvorrichtungen, die nach dem Prinzip einer kalten Kathodenentladung wirken, wird eine Entladung durch ein magnetisches Feld abgelenkt. Eine derartige Meßvorrichtung besteht beispielsweise aus einem Entladungsrohr, das eine Eingangsöffnung für das Meßgas aufweist. In dem Entladungsrohr sind zwei plattenförmige Kathoden parallel zueinander angeordnet. Der Zwischenraum zwischen den Kathoden wird von einem auf den Platten im wesentlichen senkrecht stehenden, Bündel magnetischer Feldlinien durchsetzt, die von einem in dem Entladungsrohr angeordneten Magnet erzeugt werden. In der Mitte der beiden plattenförmigen Kathoden ist außerdem eine schleifenförmige Anode vorgesehen, die das magnetische Kraftlinienbündel umschließt.

Die von der einen plattenförmigen Kathode frei werdenden Elektronen werden aus ihrer Bewegungsrichtung auf die Anode durch das magnetische Kraftlinienbündel abgelenkt und schlagen dementsprechend einen schraubenförmig gewundenen Weg zur gegenüberliegenden Kathodenplatte ein. Von dieser werden sie wieder auf die erste Kathodenplatte zurückgeworfen. Ein gewisser Prozentsatz der Elektronen gelangt nach und nach auf die Anode, wobei jedoch der zurückgelegte Weg im Durchschnitt um ein Vielfaches größer ist als dem Abstand Anode--Kathode entsprechen würde. Dementsprechend ist auch die Wahrscheinlichkeit für einen Zusammenstoß mit einem Gasmolekül und dementsprechend die Bildung positiver Ionen wesentlich vergrößert.

Die Entladungsstromstärke wird durch ein geeignetes, im Entladungsstromkreis liegendes Strommeßgerät gemessen. Im allgemeinen ist das Strommeßgerät mit einer in Druckeinheiten geeichten Skala versehen. Wenn dies nicht der Fall ist, läßt sich die Umrechnung in Druckeinheiten mittels der bekannten Umrechnungstabellen schnell und leicht durchführen.

Derartige Meßvorrichtungen, weisen eine gute Meßempfindlichkeit im Druckbereich unter 10 μ Hg auf, jedoch eine sehr beschränkte Empfindlichkeit bei höheren Drücken. Aus diesem Grunde mußte man bisher eine zweite Druckmeßvorrichtung, die in höheren Druckbereichen empfindlich war, zusätzlich zu dem Kalten-Kathoden-Entladungsrohr verwenden, wenn beispielsweise Druckmessungen über dem Gesamtbereich unter 400 μ Hg erwünscht waren.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßvorrichtung zu schaffen, die über den gesamten technisch bedeutsamen Druckbereich unter 400 μ Hg gut empfindlich ist, so daß man praktisch nicht mehr Gasdruckmeßvorrichtung

Anmelder:

Consolidated Electrodynamics
Corporation, Pasadena, Calif. (V. St. A.)

Vertreter: Dr.-Ing. W. Wolff, Patentanwalt,
Stuttgart N, Lange Str. 51

Beanspruchte Priorität:
V. St. ν. Amerika vom 3. Mai 1952

Roy Carl Gauger, Rochester, N. Y. (V. St. A.),
ist als Erfinder genannt worden

wie bisher eine zweite Druckmeßvorrichtung, die in Bereichen größeren Druckes empfindlich ist, benötigt.

Diese Aufgabe ist gemäß der Erfindung bei einer Meßvorrichtung mit kalter Kathode der oben beschriebenen Art durch Mittel zum Umpolen der Polarität beider Elektroden gelöst. Dadurch wird infolge der an sich bekannten Tatsache, daß die auch unter dem Namen Penning-Vakuummeter bekannte Meßvorrichtung einen Gleichrichtereffekt aufweist, der Stromdurchgang gedrosselt, wenn die Elektrode mit der kleineren Oberfläche Kathode ist, so. daß dadurch der Meßbereich auf Drücke oberhalb von 10 μ Hg erweitert werden kann. Damit ist aber die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe gelöst. Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin,, daß durch das Umpolen der Elektroden diese von selbst gereinigt werden.

Die Umkehrung der Polarität der Elektroden bringt eine Ionenreinigung des abgesprühten Elektrodenmaterials mit sich, das sonst das Entladungsrohr verunreinigen würde und zu fehlerhaften Meßergebnissen infolge von Gasausbrüchen aus den abgesprühten Materialteilchen führen würde.

Die Maßnahme gemäß der Erfindung lag dem Fachmann auch nicht nahe, da das Bestreben der Fachwelt immer dahin ging, die Empfindlichkeit der Meßvorrichtung bei möglichst kleinen Drücken zu steigern. Zu diesem Zwecke mußte aber die Elektrode mit der größeren Oberfläche als Kathode vorgesehen werden. Es ist zwar bei einer entsprechenden Meßvorrichtung mit geheizter Kathode bekannt, die Elektrode mit der kleineren Oberfläche als Kathode zu wählen. Diese

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Maßnahme wurde jedoch lediglich aus dem Grunde zwei vollwandigen Metallkörpern 24, die Ln Ausnehgetroffen, weil die Beheizung der Kathode einfacher mungen der Röhre 22 eingelassen sind. Jeder der ist, wenn sie eine möglichst kleine Oberfläche aufweist. Metallkörper 24 weist eine im wesentlichen parallel Dem Fachmann wurde durch diese bekannte Meßvor- zur Achse der Röhre 22 verlaufende plane Stirnfläche richtung auf jeden Fall der Gedanke nicht nahegelegt, 5 auf. Die von der schleifenförmigen Elektrode 16 aufbei einer Meßvorrichtung mit kalter Kathode die gespannte Fläche liegt parallel zu den Stirnflächen Elektrode mit der kleineren Oberfläche als Kathode der Metallkörper 24. Die Metallkörper 24 stehen also vorzusehen. Es ist daher für die Fachwelt über- einander so gegenüber, daß die Flächennormalen ihrer raschend, daß durch eine einfache Umpolung der Stirnseiten durch die schleifenförmige Elektrode 16 Elektroden der bekannten. Meßvorrichtung im Meß- io hindurchtreten.

bereich wesentlich erweitert werden kann. Ein ringförmiger Magnet 25 ist um die Röhre 22

In der Zeichnung ist eine bevorzugte Ausführungs- so angeordnet, daß er die durch die Röhre hindurchform einer Druckmeßvorrichtung gemäß der Erfin- tretenden Metallkörper 24 berührt. Die Metallkörper dung beispielsweise dargestellt. Es zeigt 24 wirken so als Polstücke des Magnetes 25. Die

Fig. 1 eine teilweise ausgebrochene und geschnittene 15 magnetischen Kraftlinien des Magnetes 25 verlaufen Seitenansicht eines Kalten-Kathoden-Entladungs- also von einem der Metallkörper 24 in den Entrohres, . ladungsraum durch die schleifenförmige Elektrode 16

..... Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie H-II in Fig. 1 in den anderen Metallkörper 24 und. schließen sich und über dem Magnetring. Der Magnet 25 hat jedoch

Fig. 3 einen Schaltplan. 20 keine unmittelbare Berührung mit der Röhre 22.

Die dargestellte Druckmeßvorrichtung besteht im Der Magnet 25 wird seinerseits von einem Metallwesentlichen aus einem Kalten-Kathoden-Entladungs- mantel 29 umgeben, der zum Schutz des Magnetes rohr, das an das zu evakuierende System angeschlossen dient. Bei der dargestellten bevorzugten Ausfühwerden kann, und aus einem in dem Stromkreis des rungsform besteht der Mantel 29 aus einem Stirnring Entladungsrohres liegenden. Meßgerät zur Bestim- 25 30, der an die Röhre 22 in der Nähe des abgeschlossemungpder Entladungsstromstärke. nen Endes derselben angeschweißt ist, und aus einem

Wie aus dem Schaltplan in Fig. 3 ersichtlich ist, Gehäusemantel 31 aus Metall, Gummi oder einem ansind das Entladungsrohr 10 und ein Mikroampere- deren geeigneten Material, der den Magnet 25 und dein meter 11 parallel in einem Stromkreis mit Zuleitungen größeren Teil der Röhre 22 in sich aufnimmt. Der 12 geschaltet. Die Zuleitungen 12 sind über einen 30 Gehäusemantel 31 weist an seinem einen Ende einen Ausschalter 13 beispielsweise an einem 115-Volt- gefalteten Rand 32 auf, der an der Röhre 22 in der Wechselstromkreis angeschlossen. Zwischen! dem Nähe der Leitung 27 anliegt. Zwischen dem Rand 32 Schalter 13, dem Rohr 10 und dem Mikroampere- und einem auf den Magnet 25 aufgesetzten, abgemeter 11 liegt ein Umkehrschalter 14, mittels dessen schrägten Ring 35 ist ein Dichtungsring 36 eingedie Richtung des den Elektroden 16 und 17 des Ent- 35 preßt. Ein Abschlußdeckel 37 umgibt den den keraladungsrohres 10 zugeführten Stromes umgekehrt mischen Isolationskörper 28 aufnehmenden unteren werden kann. Außerdem sind Umformer 18 und Teil der Vorrichtung. Der Deckel 37 besteht aus einem Gleichrichter 19 vorgesehen, die die für den Betrieb Zylindermantel 38, der an den Stirnring 30 des Mandes ' Entladungsrohres erforderlichen Spannungen tels 29 angeschweißt ist, und aus einer abnehmbaren Hefern. Eine Reihe von Widerständen 20 im Meß- 40 Kappe 39, die durch Schrauben 40 an dem Zylinder-•kreis des Mikroamperemeters erlauben eine gute Ab- mantel 38 befestigt ist. ■;

•lesung über einen größeren Entladungsstrombereich. I_n den Zylindermantel 38 des Deckels 37 ist ein !-

..■ Das in dem Schaltplan, in Fig. 3 schematisch dar- Gewindebolzen 42 eingeschweißt, durch den die Zugestellte Entladungsrohr ist in den Fig. 1 und 2 in führungsleitung zur schleifenförmigen. Elektrode 16 ^:' Einzelheiten dargestellt. Es besteht im wesentlichen 4-5 verlegt ist. Das Entladungsrohr 10 wird in den Strom- -aus einer Röhre 22, die den Entladungsraum um- kreis durch die Leitungen 43 und 44 geschaltet, die -schließt. In den Innenraum der Röhre 22 mündet bei die schleifenförmige Elektrode 16 und die platten- -23 eine Leitung 27, über die der Entladungsraum mit förmige Elektrode 17 mit dem Umkehrschalter 14 ver- ; •dem zu messenden Gas gefüllt wird. Eine in der Röhre binden. Bei der dargestellten bevorzugten Aüsfüh-•22 angeordnete Elektrode 17 weist zwei plattenförmige 50 rungsform tritt die Leitung 43 durch den Gewinde-'Teile 24 auf, die einander parallel gegenüberstehen. bolzen 42 in den Deckel 37 und ist dort mit dem aus Ein Magnet 25 ist so angeordnet, daß sein magne- dem keramischen Isolationskörper 28 hervorstehen- ' tischer Fluß den Entladungsraum von der einen Elek- den Ende der schleifenförmigen Elektrode 16 verbuntrodenplatte 24 zur anderen Elektrodenplatte 24 den. Die Zuführungsleitung 43 ist durch einen Kabeldurchsetzt. Das von dem Magnet erzeugte Kraft- 55 mantel aus Gummi oder plastischem Isolationsmate- :linienbündel wird von einer schleifenförmigen Elek- _rj_ai umgeben. Die Leitung 44 wird mit der plattentrode 16 umschlossen. förmigen Elektrode. 17 dadurch verbunden, daß ihr

Die Röhre 22 des Entladungsrohres 10 besteht vor- Ende in den Gewindebolzen 42, der aus Metall oder /zugsweise aus Metall. Ein Ende der Röhre 22 ist ver- einem anderen leitenden Material besteht, eingespreizt ■schlossen, das andere Ende ist an den verlängerten 60 _wi_rd. Der Strom fließt so von der Leitung 44 durch Rohrstutzenhals 27 angeschweißt. Das Meßgas diffun- den Gewindebolzen 42 in den Deckel 37 und durch die diert durch die Öffnung'23 der Leitung 27 aus dem zu Röhre 22 zu den Elektroden 24. Der keramische Isomessenden System in den innerhalb der Röhre 22 ge- lationskörper 28 dient zur Isolierung der schleifen- " legenen Entladungsraum. förmigen Elektrode 16 gegen die Röhre 22. Das Ende

In die Stirnwand der Röhre 22 ist ein keramischer 65 der Leitung 44 wird an den Gewindebolzen 42 durch Isolationskörper 28 eingelassen, der zur Durchführung eine Kappe 48 und eine Feder 49 angedrückt, und Befestigung der schlaifenförmigen, in den Ent- Die in einem Rohr 46 verlaufenden. Leitungen 43

'ladungsraum hineinragenden Elektrode 16 dient. Die und 44 sind, an den Umkehrschalter 14 so aage-,'::' "andere Elektrode 17, die der Plattenelektrode eines schlossen, daß jede von ihnen sowohl positiv als aÄtäl :|| -normalen Entladungsrohres entspricht, besteht aus 7° negativ gegenüber der anderen vorgespannt werfen' 'jl

kann. So. kann beispielsweise die schleifenförmige Elektrode 16, wie bei den bekannten Entladungsrohren, positiv vorgespannt werden, so· daß sie also· eine Anode bildet, wogegen die Elektroden 24 als eine wesentlich größere Oberfläche als die Anode aufweisende Kathode arbeiten. Durch Umkehrung des Schalters 14 wird die schleifenförmige Elektrode 16 negativ vorgespannt, so daß sie als Kathode dient, während die plattenförmige Elektrode 24 als Anode

Gleichrichters 19 liegt und dementsprechend zur Kathode wird und die die größere Oberfläche aufweisenden plattenförmigen Elektroden 24 zur Anode werden. In diesem Betriebszustand zeigt die Meßvorrichtung 5 eine gute Empfindlichkeit im Bereich von etwa 10 bis etwa 400 μ Hg. Auf diese Weise erreicht die Meßvorrichtung gemäß der Erfinfidung einen wesentlich größeren Meßbereich als die üblichen, nach dem Prinzip einer kalten Kathodenentladung wirkenden Druck

dient. Der Umkehrschalter 14 liegt in dem Strom- io meßvorrichtungen. Die Meßvorrichtung gemäß der

kreis, wie in dem Schaltplan in Fig. 3 dargestellt. Erfindung kann bis hinauf in den Druckbereich

Die Wirkungsweise und Bedienung der Meßvor- mechanischer Pumpen verwendet werden,

richtung gemäß der Erfindung ist nun folgende: Eine Begründung für den Umstand, daß die Meß-

Die Vorrichtung wird an einen üblichen Wechsel- vorrichtung gemäß der Erfindung auch in höheren

Stromkreis mittels der Leitungen 12 angeschlossen. 15 Druckbereichen, mit Erfolg verwendet werden kann,

Das Ausgangsrohr 27 des Entladungsrohres 10 wird also in einem Betriebszustand, bei dem die Schleifen-

an das System, dessen Gasdruck zu bestimmen ist, elektrode negativ ist, kann noch nicht gegeben werden,

angeschlossen. Die Diffusion des Gases in das Ent- Nichtsdestoweniger arbeitet die Meßvorrichtung ge-

ladungsrohr 22 ist dabei auch bei hochevakuierten maß der Erfindung über einen weiten Druckbereich

Systemen so groß, daß der sich innerhalb der Röhre 20 mit ausgezeichneter Empfindlichkeit. In den bekann-

22 befindende Entladungsraum sich sehr rasch im ten Kalten-Kathoden-Entladungsrohren sammelt sich

Druckgleichgewicht mit dem auszumessenden System mit der Zeit absprühendes Kathodenmaterial an, das

befindet. Wenn der Gasdruck des zu messenden die Wirkungsweise des Rohres durch Gasaustritt her-

Systems in, der Größenordnung von unter 10 μ Hg absetzt. Die Umkehr der Polarität der Elektroden in

liegt, wird der Umkehrschalter 14 so eingestellt, daß 25 der Meßvorrichtung gemäß der Erfindung bewirkt

die schleifenförmige Elektrode auf der positiven Seite eine Ionenreinigung des Rohres. Man gewinnt also

des Gleichrichters 19 liegt, während die platten- auch den Vorteil, daß sich das Entladungsrohr selbst

förmige Elektrode 17 negativ vorgespannt wird. In reinigt.

dieser Schaltung arbeitet das Entladungsrohr wie ein Die in den Fig. 1 und 2 dargestellte bevorzugte normales Entladungsrohr mit kalter Kathode, Die aus 30 Ausführungsform des Entladungsrohres weist die den plattenförmigen Elektroden 24 austretenden Vorteile auf, daß sie weitgehend stoßfest ist und nicht Elektronen werden von der Anode in den Entladungs- leicht beschädigt werden kann. Das Entladungsrohr raum gesaugt. Dabei wirkt auf die Elektronen, das erlaubt außerdem ein zweckmäßiges Einschalten in magnetische Kraftlinienbündel, das auf den Stirn- den Stromkreis. Bei den bekannten. Entladungssenkrecht 35 rohren.

Seiten der plattenförmigen Elektroden 24 steht und also zur kürzesten Verbindung der plattenförmigen Elektroden zu der schleifenförmigen Elektrode 16 einen Winkel einschließt. Die Elektronen werden aus ihrer Bahn zur Anode abgelenkt und

sitzt der Magnet im Entladungsrohr fest. Demgegenüber ist bei der Meßvorrichtung gemäß der Erfindung der Magnet außerhalb des Entladungsrohres, jedoch innerhalb des Mantels desselben lösbar vorzugsweise so befestigt, daß er den Mantel des

schlagen einen schraubenförmig gewundenen Weg zu 40 Entladungsrohres nicht berührt. Auf diese Weise der ihrer Austrittselektrode gegenüberliegenden. Elek- wird der Mantel des Entladungsrohres nicht magnetrodenplatte ein, von der sie bei Aufprall reflektiert tisiert, so daß an ihm auch keine Eisenteile, wie sie werden. Die Elektronen finden nach und nach ihren an den Arbeitsplätzen herumliegen, hängenbleiben Weg zur Anode, wobei sie jedoch im Durchschnitt können. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist einen wesentlich längeren Weg zurückgelegt haben, als 45 das Entladungsrohr selbst und sein Mantel aus AIudies der Fall wäre, wenn sie nicht von den niagne- minium, Kupfer od. dgl. gefertigt. Die Befestigung tischen Feldlinien abgelenkt würden. Dement- des Magnetes zwischen den. Wänden des Entladungssprechend ist auch die Wahrscheinlichkeit, daß sie rohres hat den Vorteil, daß Eisenteilchen, die sich mit den Gasmolekülen des Entladungsraumes zusam- innerhalb des Entladungsraumes an den Elektrodenmenstoßen, wesentlich größer. Bei einem Zusammen- ₅₀ platten sammeln, leicht entfernt werden können, instoß eines Elektrons mit einem Gasmolekül wird ein dem der Mantel des Entladungsrohres und der positives Ion gebildet, das zur Kathode wandert und Magnet abgenommen werden, wobei die Elektrodendabei einen Entladungsstrom hervorruft. Die Inten- platten demagnetisiert werden,. Ebenso wie in den. besität des Entladungsstromes ist also eine Funktion kannten Kalten-Kathoden-Entladungsmeßvorrichtunder Anzahl der Gasmoleküle in dem Entladungsraum 55 gen werden bei der Meßvorrichtung gemäß der Er- und dementsprechend ein Maß für den Gasdruck in findung die besten Ergebnisse erzielt, wenn die Elekdem zu prüfenden. System. Der Entladungsstrom troden. so angeordnet sind, daß das magnetische wird durch das im Entladungsstromkreis liegende Kraftlinienbündel in einem Winkel von wenigstens Mikroamperemeter bestimmt, das zweckmäßigerweise 40° zu der kürzesten Linie zwischen den plattenunmittelbar in Gasdrücken, geeicht ist. Die dem 60 förmigen Elektroden und der schleifenförmigen Mikroamperemeter vorgeschalteten Widerstände 20 Elektrode verläuft. Des weiteren ist die Schleifen

ermöglichen eine größere Ablesegenauigkeit über einen weiteren Entladungsstrombereich. Wenn das Meßgerät in dieser Weise wirkt, können Drücke mit guter Ablesegenauigkeit im Druckbereich unter 65 10 μ Hg bestimmt werden.

Wenn in dem zu prüfenden System der Gasdruck über 10 μ liegt, wird der Schalter 14 umgelegt, so daß nun die schleifenförmige, die geringere Oberfläche

aufweisende Elektrode. 16 an der negativen Seite des 7° rungen selbst anpassen.

elektrode zweckmäßigerweise so dimensioniert, daß sie zwar das magnetische Kraftlinienbündel umschließt, jedoch außerhalb desselben liegt.

Die beschriebenen Ausführungsformen lassen eine Reihe von Abwandlungen zu. Da eine spezielle Ausführungsform in allen Einzelheiten beschrieben wurde, kann der Fachmann, die Meßvorrichtung gemäß der Erfindung jeweils den gegebenen. Anforde-

Für die in den nachfolgenden Patentansprüchen 2 und 3 enthaltenen Merkmale wird der Patentschutz nur in Verbindung mit dem Gegenstand des Patentanspruches 1 nachgesucht.

Claims

5 Patentansprüche:

1. Meß vorrichtung zum Bestimmen des Gasdruckes durch Messung der Stromstärke bei einer Gasentladung mit kalter Kathode, bestehend aus einem Entladungsrohr mit einer öffnung zum Einführen des Gases in den Entladungsraum und zwei im Entladungsraum angeordnete Elektroden mit wesentlich verschieden großen Oberflächen sowie Mitteln, zum Erzeugen magnetischer Kraftlinien im Entladungsraum, wobei diese Kraftlinien mit den kürzesten Wegen zwischen den beiden Elektroden Winkel bilden, gekennzeichnet durch Mittel (14) zum Umpolen der Polarität beider Elektroden (16 und 17).

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine (17) der Elektroden aus zwei mit ihren parallelen Stirnflächen einander gegenüberstehenden und einen Entladungsraum einschließenden Elektrodenteilen (24) besteht, zwischen, denen eine eine wesentlich kleinere Oberfläche als die erstgenannte Elektrode (17) aufweisende, schleifenförmige zweite Elektrode (16) angeordnet ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (25) so angeordnet ist, daß sein Kraftfluß über die Elektrodenteile (24) senkrecht zu deren Stirnflächen so verläuft, daß die schleifenförmige Elektrode (16) das magnetische Kraftlinienbündel umschließt, jedoch außerhalb desselben liegt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, gekennzeichnet durch ein doppelwandiges Entladungsrohr.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Entladungsrohr (10) aus zwei hohlzylindrischen, konzentrischen Rohrmänteln. (22, 29) besteht, zwischen denen ein Ringmagnet (25) konzentrisch so angeordnet ist, daß das Kraftlinienbündel seiner Pole (24) im Winkel zu den kürzesten Wegen zwischen, den als Anode und Kathode dienenden Elektroden (16, 17) verläuft.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch ge*- kennzeichnet, daß die einander gegenüberstehenden Elektrodenteile (24) durch den inneren Rohrmantel (22) durchgeführt sind und an dem Ringmagneten (25) als dessen Polstücke (24) anliegen.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Rohrmäntel (22, 29) aus elektrisch leitendem Material besteht.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Rohrmantel (22) an seiner einen Stirnseite die Meßgaseintrittsöffnung und an seiner anderen verschlossenen Stirnseite einen Durchführungsisolationskörper (28) zur Halterung und Durchführung der schleifenförmigen Elektrode (16) a&iweist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch einen Umschalter (14), durch den für einen Druckbereich unter 10 μ Hg die Elektrode (17) mit der größeren Oberfläche als Kathode und die Elektrode. (16) mit der kleineren Oberfläche als Anode und umgekehrt für einen Druckbereich von etwa 1,0 bis 400 μ Hg die Elektrode (17) mit der größeren Oberfläche als Anode und die Elektrode (16) mit der kleineren Oberfläche als Kathode schalt^ bar ist.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 369 326;
deutsche Patentanmeldung A 1220 IX/42k;
USA.-Patentschrift Nr. 2 197 079;
Jaeckel, »Kleinste Drucke, ihre Messung und Erzeugung«, Springer (1950), S. 71.

Entgegengehaltene ältere Rechte:
Deutsches Patent Nr. 893 416.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen