DE10139677A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von extrem ultravioletter Strahlung und weicher Röntgenstrahlung - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von extrem ultravioletter Strahlung und weicher RöntgenstrahlungInfo
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Abstract
Verfahren zum Erzeugen von extrem ultravioletter Strahlung und weicher Röntgenstrahlung mit einer auf dem linken Ast der Paschenkurve betriebenen Gasentladung, insbesondere für die EUV-Lithographie, DOLLAR A bei dem ein Entladungsraum (10) vorbestimmten Gasdrucks und zwei Elektroden (11, 12) verwendet werden, die jeweils eine auf derselben Symmetrieachse (13) gelegene Öffnung (14, 15) haben und die im Verlauf eines Spannungsanstiegs beim Erreichen einer vorbestimmten Zündspannung (U¶z¶) ein im Bereich ihrer Öffnungen (14, 15) gelegenes Plasma (17) ausbilden, das eine Quelle der zu erzeugenden Strahlung (17') ist, DOLLAR A bei dem eine Zündung des Plasmas (17) durch Einflußnahme auf den Gasdruck und/oder durch eine Triggerung erfolgt DOLLAR A und bei dem mit der Zündung des Plasmas (17) ein Energiespeicher mittels der Elektroden (11, 12) Speicherenergie in das Plasma (17) einspeist, dadurch gekennzeichnet, daß die Zündung des Plasmas (17) unter Anwendung eines vorbestimmten Zündverzugs erfolgt.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Er
zeugen von extrem ultravioletter Strahlung mit den Merkmalen
des Oberbegriffs des Anspruchs 1.
Ein Verfahren mit den vorangesprochenen Verfahrens
schritten ist aus der DE-A-197 53 696 bekannt. Das Verfahren
wird mit einer Vorrichtung durchgeführt, die ein den Entla
dungsraum bildendes Elektrodensystem aufweist. Mit diesem
Elektrodensystem wird extrem ultraviolette Strahlung und
weiche Röntgenstrahlung erzeugt, die insbesondere für die
EUV-Lithographie eingesetzt werden. Das Elektrodensystem be
steht aus zwei Elektroden, nämlich einer Kathode und einer
Anode, die jeweils mit einer Öffnung ausgebildet sind. Die
Öffnung ist im wesentlichen ein Loch und beide Öffnungen
liegen auf einer gemeinsamen Symmetrieachse. Die Kathode ist
als Hohlkathode ausgebildet, weist also einen Hohlraum auf.
Dieser wird dazu benutzt, das elektrische Feld in vorbe
stimmter Weise auszubilden. Insbesondere ist die Anordnung
der Elektroden so, daß die Feldlinien im Bereich der Bohr
löcher genügend gestreckt sind, damit der Durchbruchbe
dingung oberhalb einer bestimmten Spannung entsprochen wird.
Der Entladungsraum ist mit Gas gefüllt und der Gasdruck ist
zumindest im Bereich des Elektrodensystems in der Größenord
nung von 1 Pa bis 100 Pa. Die Geometrie der Elektroden und
der Gasdruck sind so gewählt, daß die angestrebte Zündung
des Plasmas auf dem linken Ast der Paschenkurve erfolgt und
infolgedessen kein dielektrischer Durchbruch zwischen den
Elektroden außerhalb der Öffnungen auftritt. Infolge der
Zündung bildet sich ein stromführender Plasmakanal
axialsymmetrischer Form aus, nämlich im Bereich der
Öffnungen der Elektroden. Mit Hilfe des Energiespeichers
wird dazu über diesen Kanal ein Strom geschickt. Die daraus
resultierende Lorentz-Kraft schnürte das Plasma ein. Infolge
dieses Einschnürungseffekts und durch ohmsche Heizung treten
im Plasma sehr hohe Temperaturen auf und es wird Strahlung
sehr kurzer Wellenlänge erzeugt. Die bekannte Vorrichtung
kann EUV-Licht im Wellenlängenbereich von 10-20 nmn
erzeugen.
Für das Verfahren ist wesentlich, daß auf ein Schalt
element zwischen dem Elektrodensystem und dem Energie
speicher grundsätzlich verzichtet werden kann. Daher läßt
sich eine niederinduktive und effektive Einkopplung der
elektrisch gespeicherten Energie in das Elektrodensystem er
reichen. Pulsenergien von wenigen Joule sind ausreichend, um
Strompulse im Bereich von mehreren Kiloampere bis zu einigen
10 Kiloampere auszulösen. Eine Auslösung der Energieeinkopp
lung in die gesteuert oder im Selbstdurchbruch betriebene
Entladung erfolgt unter Abstimmung auf eine vorbestimmte
Zündspannung. Die Zündspannung wird beispielsweise durch die
Gaszusammensetzung, die Temperatur, eine Vorionisierung, die
elektrische Feldverteilung und andere Größen beeinflußt. Sie
kann entsprechend der Paschenkurve mittels des Gasdrucks des
Entladungsgefäßes eingestellt werden. Bis zu dieser Zünd
spannung muß auch der Energiespeicher aufgeladen werden, um
dann im Falle der Zündung möglichst viel Energie in das
Plasma einspeisen zu können.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Ver
fahren mit den eingangs angesprochenen Verfahrensschritten
so zu verbessern, daß die Strahlungsausbeute, also insbeson
dere die Ausbeute an EUV-Licht je Puls verbessert wird, wie
auch die Puls-zu-Puls-Stabilität einer Vielzahl von einander
folgender Entladungen, die bei dem im Impulsbetrieb durchge
führten Verfahren zur Erzeugung des EUV-Lichts ausgenutzt
werden.
Die vorgenannte Aufgabe wird durch die Merkmale des
Kennzeichens des Anspruchs 1 gelöst.
Der Betrieb des Verfahrens mit Zündverzug führt zu
einer Verlängerung des Aufbaus des leitfähigen Plasmas.
Damit wird eine Verbesserung der für die Entladung notwen
digen Zylindersymmetrie des niederohmigen Startplasmas er
reicht, also desjenigen Plasmas, das sich im Bereich der
Öffnungen der Elektroden nach Erreichen der Zündspannung
aufbaut. Der Zündverzug führt infolgedessen zu einer Verbes
serung der EUV-Ausbeute/Puls und Puls-zu-Puls-Stabilität. Es
konnte bei einem Verfahren im Bereich eines Impulsbetriebs
von 50 Hz bis 500 Hz eine Steigerung der EUV-Ausbeute um ca.
10 Prozent bei der Wahl eines Zündverzugs von ca. 1 ms beob
achtet werden.
Zur Einflußnahme auf den Zündverzug wird so verfahren,
daß der Zündverzug durch Erhöhung des Gasdrucks verringert
oder durch Verminderung des Gasdrucks vergrößert wird. Der
artige Veränderungen des Gasdrucks lassen sich insbesondere
dann leicht erreichen, wenn das Gas den Bereich des Elektro
densystems durchströmt, beispielsweise um Einfluß auf die
Wiederholfrequenz zu nehmen, also das Verfahren mit höheren
Pulsfrequenzen durchführen zu können.
Um den Zündverzug zu beeinflussen, kann das Verfahren
so durchgeführt werden, daß die Zündung durch ein Auslösen
eines Triggerpulses erfolgt, der an eine auf einen Zündbe
reich des Plasmas Einfluß nehmende Triggerelektrode angelegt
wird. Mit der Triggerung wird die Verteilung von Ladungs
trägern im Zündbereich des Plasmas beeinflußt und damit auch
der Zeitpunkt, zu dem die Zündung dann effektiv erfolgt.
Zweckmäßig ist es, so zu verfahren, daß die Triggerung
zum Erreichen eines vorbestimmten Zündverzugs in Kombination
mit einer Anwendung eines Druckintervalls des Gasdrucks er
folgt. In diesem Fall werden sowohl der Druck, als auch der
Auslösezeitpunkt eingestellt, da die Entladung auch in ge
triggertem Betrieb nur innerhalb eines bestimmten Druckin
tervalls stabil bzw. überhaupt betrieben werden kann.
Im vorbeschriebenen Zusammenhang der Triggerung kann
das Verfahren so durchgeführt werden, daß die Triggerung mit
einem vorbestimmten Triggerdelay angewendet wird. Der Zünd
verzug wird dementsprechend vergrößert.
Die Einkopplung von gespeicherter Energie in eine im
Selbstdurchbruch betriebene Entladung erfolgt mit dem Durch
bruch, also mit der Zündung des Plasmas selbsttätig, wobei
dafür gesorgt sein sollte, daß der Energiespeicher unter Be
rücksichtigung des Pulsbetriebs vor erfolgender Zündung ge
laden ist. Es ist daher erforderlich, Informationen über den
Spannungsanstieg und das Erreichen einer vorbestimmten Zünd
spannung zu haben. Infolgedessen kann das Verfahren so
durchgeführt werden, daß der Spannungsanstieg und/oder das
Erreichen einer vorbestimmten Zündspannung meßtechnisch er
faßt wird/werden, und daß eine Einflußnahme auf den Gasdruck
und/oder auf die Triggerung unter Berücksichtigung des Meß
ergebnisses erfolgt. Erfolgt die Einflußnahme im Rahmen
einer fortlaufenden Regelung, so wird der Gasdruck bzw. ein
Triggerdelay als Stellgröße genutzt. Damit kann der ge
wünschte Zündverzug erreicht bzw. meßtechnisch überwacht
werden.
Es kann auch so verfahren werden, daß der Zündzeitpunkt
meßtechnisch erfaßt wird. Damit wird es möglich, die Zeit zu
erfassen, die zwischen dem Zeitpunkt des Erreichens der
Zündspannung und dem effektiven Zündzeitpunkt verstreicht,
die dem Zündverzug entspricht.
Zur Durchführung der meßtechnischen Erfassung des Zünd
zeitpunkts kann so verfahren werden, daß der Zündzeitpunkt
mittels einer Messung eines Spannungsdifferentials der Elek
trodenspannung und/oder mittels Messung eines Stromdifferen
tials des Elektrodenstroms gemessen wird. Zu Beginn der Zün
dung ändert sich die an den Elektroden anliegende Spannung
abrupt, ebenso wie der in der Entladung fließende Strom. Die
Spannung bricht zusammen und der Strom schwillt an, beides
kann zuverlässig erfaßt werden.
Der Zündverzug kann dadurch geregelt werden, daß die
Zeit zwischen dem Erreichen der vorbestimmten Zündspannung
und dem Zündzeitpunkt gemessen wird, und daß der Gasdruck
mittels des Meßergebnisses dem vorbestimmten Zündverzug ent
sprechend eingestellt wird. Die Zeit zwischen dem Erreichen
der vorbestimmten Zündspannung und dem Zündzeitpunkt wird
beispielsweise analog mittels Integrator oder digital mit
tels Zähler gemessen. Die Zeit wird einem Regler als Meß
größe zugeführt, der dementsprechend den Gasdruck im Sinne
einer Stabilisierung des Zündverzugs einstellt. Es kann über
eine Reihe von Entladungsvorgängen gemittelt werden, also
über eine vorbestimmte Anzahl von Pulsen.
Ein spezielles Verfahren zeichnet sich dadurch aus, daß
eine meßtechnische Erfassung der an den Elektroden anliegen
den Spannung vom Beginn des Spannungsanstiegs über einen
vorbestimmten Zeitraum erfolgt, der einen mutmaßlichen Zünd
zeitpunkt einschließt, wobei für die meßtechnische Erfassung
vorzugweise ein Zündspannungsintegrator verwendet wird. Der
Zeitraum übersteigt also die Zeitdauer, die für den Ladevor
gang bzw. den Spannungsanstieg an den Elektroden benötigt
wird. Infolgedessen kann eine Information über die Zündspan
nung und über den Zündverzug im gleichen Signal ermittelt
werden. Der Zündspannungsintegrator ermöglicht eine Mehrzahl
von Informationen aus dem gleichen Meßsignal.
Des weiteren kann das Verfahren dahingehend modifiziert
werden, daß eine meßtechnische Erfassung der an den Elektro
den anliegenden Spannung eine Speicherung des erreichten
Zündspannungswertes bis zum Beginn des darauffolgenden Span
nungsanstiegs umfaßt. Die Speicherung erfolgt beispielsweise
mit einer Sample-and-Hold-Schaltung.
Zweckmäßigerweise kann so verfahren werden, daß der
Ladezustand einer direkt an die Elektroden als Energie
speicher angeschlossenen Kondensatorbank während eines Span
nungsanstiegs fortlaufend überwacht wird, und daß nach einem
Erreichen der vorbestimmten Zündspannung eine Triggerung be
darfsweise mit dem vorbestimmten Triggerdelay durchgeführt
wird. Informationen über den Ladezustand der Kondensatorbank
können mit einer geeigneten Elektronik erhalten und ausge
wertet werden. Sie bilden die Grundlage dafür, daß das Ver
fahren nach einer der vorbeschriebenen Strategien betrieben
werden kann, bei der auf den Gasdruck und/oder auf die Aus
lösung eines Triggerpulses Einfluß genommen wird.
Bei manchen Hochspannungskondensatoren hängt deren
Kapazität stark von der Temperatur ab. In solchen Fällen muß
darauf geachtet werden, daß die Energie des Kondensators zum
Zündzeitpunkt konstant gehalten wird. Hierbei kommt es dann
also nicht auf ein Konstanthalten der Zündspannung an, viel
mehr muß die vorbestimmte Zündspannung unter Durchführung
einer Korrekturrechnung korrigiert werden. Für eine solche
Korrekturrechnung kann man die Temperatur des Kondensators
messen, oder die Kapazität über die Dauer der Laderampe der
angelegten Ladespannung, um dann entsprechend zu korrigie
ren.
Ein spezielles Verfahren zeichnet sich dadurch aus, daß
eine Triggerung mittels einer auf Ladungsträger eines Elek
trodenzwischenraums einwirkenden Triggerelektrode durchge
führt wird, indem deren in Bezug auf eine Kathode ausgebil
detes Sperrpotential verringert wird. Auf diese Weise kann
ein Triggerpuls zu einem vorbestimmbaren Zeitpunkt erreicht
werden, um so Einfluß auf den Zündverzug zu nehmen.
Im Hinblick auf eine hohe EUV-Lichtausbeute kann so
verfahren werden, daß der Energiespeicher unter Verzicht auf
eine nach dem Erlöschen des Plasmas vollständig erfolgende
Rekombination des Gases bis zum Erreichen einer vorbestimm
ten Zündspannung aufgeladen wird. Dadurch kann insbesondere
die Wiederholfrequenz gesteigert werden, wobei der
Energiespeicher in kürzeren Zeitabständen wieder aufgeladen
werden kann.
Dabei ist es auch möglich, daß zwischen den Elektroden
im Zeitraum zwischen zwei zu erzeugende Strahlung ausbilden
den Plasmaentladungen ein hochohmiges Plasma brennen gelas
sen wird. Das hochohmige Plasma führt zu besseren Bedingun
gen für ein Startplasma der Hochstromentladung.
Die Erfindung bezieht auch auf eine Vorrichtung mit den
Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 17. Eine derartige
Vorrichtung soll insbesondere für die Durchführung von vor
stehend beschriebenen Verfahren dahingehend verbessert wer
den, daß eine hohe Lebensdauer und eine gute Kühlbarkeit der
Elektroden gewährleistet ist. Die vorstehend beschriebene
Aufgabe wird durch die Merkmale des Kennzeichenteils des An
spruchs 17 gelöst. Die Ausbildung der Triggerelektrode als
Wand gewährleistet auch im Falle eines temperatur- und
plasmabedingten Abtrags von Werkstoff eine lange Haltbarkeit
und ihre großen Flächen sind gut zu kühlen, was wiederum
einer hohen Lebensdauer zu Gute kommt. Zugleich gewährlei
stet die Anordnung der Triggerelektrode in einem vorbestimm
ten Abstand von der Öffnung der ersten Elektrode, daß die
für die Feldausbildung erforderliche Formgebung des elektri
schen Feldes mittels der ersten Elektrode gewährleistet
werden kann.
Im vorstehenden Sinne ist es vorteilhaft, die Vorrich
tung so auszubilden, daß die erste Elektrode als Hohlelek
trode ausgebildet ist, und daß die Triggerelektrode als Wand
oder Wandabschnitt in der Geometrie dieser Hohlelektrode
ausgebildet ist. Es ergibt sich eine entsprechende Verein
fachung des Elektrodenaufbaus.
Wenn die Triggerelektrode als der Hohlelektrode paral
lele, deren Öffnung gegenüberliegende Rückwand ausgebildet
ist, wird die Vereinfachung des Elektrodenaufbaus besonders
gefördert. Insbesondere lassen sich in Bezug auf die Symme
trieachse der Bohrungen der Elektrode symmetrische Ausge
staltungen des Elektrodensystems erreichen.
Es ist zu bevorzugen, daß die Triggerelektrode eine in
der Symmetrieachse angeordnete Durchtrittsöffnung aufweist.
Damit kann vermieden werden, daß bei Entladung auftretende
Teilchenstrahlungen und damit verbundene gepulste Ströme von
typischerweise einigen 10 Ampere über die Triggerelektrode
in unerwünschter Weise auf die Triggerelektronik fließen.
Für den Aufbau einer Hohlelektrode ist es vorteilhaft,
die Vorrichtung so auszubilden, daß die Triggerelektrode
topfförmig ausgebildet ist, und daß eine auf einem Topfboden
senkrechte Topfachse mit der Symmetrieachse der Elektroden
gleichliegt.
Ein vereinfachter Aufbau ergibt sich dadurch, daß die
Triggerelektrode mit der ersten Elektrode über einen Iso
lator zusammengebaut ist. Der Isolator gestattet es, die
erste Elektrode einerseits und die Triggerelektrode anderer
seits auf unterschiedlichen elektrischen Potentialen zu hal
ten.
Die vorbeschriebene Ausgestaltung der Vorrichtung kann
dahingehend spezifiziert werden, daß die erste Elektrode
einen zu ihrer Öffnung konzentrischen Ringbund aufweist, der
den Isolator überlappend an die Triggerelektrode angrenzt
oder in eine Ringausnehmung der Triggerelektrode eingreift,
jeweils unter Wahrung eines potentialtrennenden Abstands.
Auf diese Weise kann eine Bedampfung und ein Kurzschluß des
Isolators vermieden werden.
Die Erfindung wird anhand einer Zeichnung erläutert. Es
zeigt:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Elek
trodensystems,
Fig. 2, Fig. 3 diagrammartige Darstellungen des Span
nungsverlaufs an den Elektroden des Elektro
densystems für einen Zündvorgang eines Plas
mas bei Impulsbetrieb, und
Fig. 4, Fig. 5 unterschiedlich ausgestaltete Elektro
denausbildungen.
Fig. 1 zeigt schematisch die Ausbildung eines in einem
Entladungsraum 10 angeordneten Elektrodensystem. Der Entla
dungsraum 10 ist mit Gas vorbestimmten Gasdrucks gefüllt und
kann von der schematischen Darstellung, von geeignet ausge
bildeten Elektroden des Elektrodensystems selbst gebildet
sein. Der Gasdruck ist einstellbar. Die zum Einstellen des
Gasdrucks erforderliche Ausrüstung des Entladungsgefäßes 10
und eine hierauf abgestimmte Ausformung des Elektroden
systems ist vorhanden, aber nicht dargestellt.
Es sind zwei Elektroden 11, 12 vorhanden. Die Elektrode
12 ist als Anode mit einer zentralen Öffnung 15 ausgebildet,
die sich von einem Elektrodenzwischenraum 22 ausgehend ko
nisch erweitert.
Die Elektrode 11 ist als Kathode ausgebildet, und zwar
als Hohlkathode mit einem Hohlraum 23, der über eine Öffnung
14 der Kathode an den Elektrodenzwischenraum 22 angeschlos
sen ist. Die Öffnungen 14, 15 fluchten und bilden eine Symme
trieachse 13 des Elektrodensystems. Die Elektroden 11, 12
sind gegeneinander isoliert. Ein hierzu dienender Isolator
29 bestimmt den Elektrodenabstand.
Das Elektrodensystem ist infolge der vorbeschriebenen
Ausgestaltung in der Lage, beim Anlegen einer elektrischen
Hochspannung im Bereich von beispielsweise einigen 10 kV
Feldlinien auszubilden, die jedenfalls im Bereich des Elek
trodenzwischenraums 22 geradlinig und parallel zu der Symme
trieachse 13 verlaufen. Wird die Spannung von einem vorbe
stimmten tiefen Wert ausgehend impulsmäßig gesteigert, so
ergibt sich eine Laderampe bzw. ein Spannungsanstieg 16 ge
mäß den Fig. 2, 3. Es kommt zu Ionisationsvorgängen, die
sich aufgrund der Feldstärkeverhältnisse im Elekroden
zwischenraum 22 konzentrieren. Hierzu sind der Spannungsan
stieg 16 und der Gasdruck so aufeinander abgestimmt, daß es
infolge der Ionisierung zu einer Gasentladung auf dem linken
Ast der Paschenkurve kommt, bei der ein Plasmakanal bzw.
dessen Plasma nicht über eine einzige kurzzeitige Elektro
nenlawine aufgebaut wird, sondern mehrstufig über Sekundär
ionisationsprozesse. Infolgedessen ist die Plasmaverteilung
bereits in der Startphase in hohem Maße zylindersymmetrisch,
wie es die schematische Darstellung des Plasmas in der Fig. 1
zum Ausdruck bringen soll. Das sich ausbildende Plasma 17
ist eine Quelle der zu erzeugenden Strahlung 17'.
Es versteht sich, daß eine Zündung des Plasmas 17 erst
möglich ist, wenn eine Zündspannung Uz erreicht ist. Bei der
Erfindung wird nun dafür gesorgt, daß ein Zündverzug 18 auf
tritt. Infolgedessen liegt der Zündzeitpunkt tz trotz des
Vorhandenseins der Zündspannung Uz entsprechend später. Die
Größe des Zündverzugs 18 wird durch Steuerung des Gasdrucks
reguliert. Die Größe des Zündverzugs bewegt sich bei typi
schen Dauern im Bereich von wenigen Microsekunden bis zu
einigen Millisekunden. Der Zündverzug führt zu einer Verlän
gerung des Aufbaus des leitfähigen Plasmas. Dadurch wird
eine Verbesserung der Zylindersymmetrie des Plasmas 17 er
reicht.
Das nach Zündverzug ausgebildete Plasma kann als Start
plasma bezeichnet werden. Es kann der Energieeinkopplung aus
einem Energiespeicher im Selbstdurchbruchbetrieb dienen.
Fig. 1 zeigt eine Kondensatorbank 21 als Energiespeicher, der
sich nach Erreichen der vorbestimmten Zündspannung und Zünd
verzug entlädt und dabei ermöglicht, Strompulse im zweistel
ligen Kiloampere-Bereich in das Plasma einzuspeisen. Die
sich infolgedessen ausbildenden Lorentz-Kräfte des Magnetfel
des schnüren das Plasma ein, so daß es zu einer hohen
Leuchtdichte kommt und insbesondere zur Ausbildung extrem
ultravioletter Strahlung und weicher Röntgenstrahlung, die
insbesondere für die EUV-Lithographie die erforderlichen
Wellenlängen aufweist.
Statt einer Einflußnahme auf den Zündverzug 18 über den
Gasdruck kann auch zusätzlich eine Einflußnahme über eine
Triggerelektrode erfolgen. Mit einer Triggerelektrode 19
kann erreicht werden, daß trotz des Erreichens einer vorbe
stimmten Zündspannung Uz ein zur Entladung erfolgender
Durchbruch zwischen den Elektroden 11, 12 noch nicht erfolgt.
Ein mit einer Triggerelektrode 19 gemäß Fig. 4, 5 zum Beispiel
erreichbarer Triggerdelay 20 ist in Fig. 3 dargestellt. Er
addiert sich zum Zündverzug 18. Eine Beeinflussung eines Ge
samtzündverzugs durch einen Triggerdelay 20 ist insbesondere
deswegen vorteilhaft, weil Meßtechnik benutzt werden kann,
um exaktere Zündzeitpunkte tz zu erreichen. Das gilt sowohl
für den Fall, daß der Gasentladungsbetrieb im Selbstdurch
bruch erfolgt, als auch bei Einsatz eines Schaltelements
zwischen Elektrodensystem und Kondensatorbank. Das Schalt
element erlaubt es, eine Spannung an das Elektrodensystem
anzulegen, die größer als die für den Selbstdurchbruchbe
trieb erforderliche Zündspannung Uz ist. Man kann in letzte
rem Fall dann mit höheren Gasdrücken arbeiten, was zu höhe
ren Intensitäten der emittierten Strahlung führt.
Es ist zweckmäßig, den Zündzeitpunkt zu messen, insbe
sondere wenn mit dem Ladegerät eine höhere Spannung an dem
Elektrodensystem zugelassen wird, als die vorbestimmte Zünd
spannung Uz. Die an das Elektrodensystem gelegte Spannung,
also der Verlauf eines Spannungsanstiegs 16 kann erfaßt wer
den, zum Beispiel durch eine Erfassung der zeitlichen Ände
rung der an den Elektroden 11, 12 anliegenden Spannung. Es
erfolgt eine dU/dt-Messung. Auch eine dI/dt-Messung kann er
folgen, also eine Erfassung der zeitlichen Änderung des Ent
ladestroms. Strom und Spannung ändern sich bei Erreichen des
Zündzeitpunkts tz schlagartig. Dabei kann die Zeit zwischen
dem Erreichen der vorbestimmten Zündspannung Uz und dem
Zündzeitpunkt zum Beispiel analog mittels eines Integrators
oder digital mittels eines Zählers gemessen werden. Diese
Zeit wird einem Regler als Meßgröße zugeführt, der daraufhin
den Gasdruck im Sinne einer Stabilisierung des Zündverzugs
18 beeinflußt. Das gilt auch für den Fall der Anwendung
eines Triggerdelays 20.
Eine Durchführung der Messung kann beispielsweise mit
einem Zündspannungsintegrator erfolgen, der die dem eigent
lichen Regler vorgeschaltete Aufbereitung der Meßgröße Hoch
spannung bzw. Spannung an dem Elektrodensystem bzw. der Kon
densatorbank übernimmt. Dabei integriert der Zündspannungs
integrator die an den Elektroden 11, 12 anliegende herunter
geteilte Hochspannung und registriert deren Endwert über
einen Sample-and-Hold bis zum nächsten Ladevorgang. Der In
tegrationsvorgang beginnt mit dem Ladevorgang, also mit dem
Anstieg der an die Elektroden 11, 12 gelegten elektrischen
Spannung, und wird bis zu einer über einen Timer festgeleg
ten Zeitdauer fortgeführt. Diese Zeitdauer ist in der Regel
länger, als der eigentliche Ladevorgang, so daß damit auch
die gewünschte Information über die Größe des Zündverzugs
ermittelt werden kann. Zusätzliche nichtlineare Glieder, wie
zum Beispiel Radizierer, können eingesetzt werden, um die
Übertragungskennlinie zu verbessern. Damit werden also In
formationen über den Zündverzug gewonnen, wie auch über die
Zündspannung, und zwar mit dem gleichen Meßsignal. Im Gegen
satz zu einem Peakdetektor, der Zündspannung ermittelt, ist
das Verfahren völlig unempfindlich gegenüber Störspitzen,
die zum Beispiel vom Hochspannungsgenerator herrühren. Eine
Elektronik ist zur Zündzeitpunkterkennung nicht er
forderlich.
Falls das Verfahren ohne Triggerelektrode durchgeführt
wird, kann der Zündzeitpunkt tz nur über die Höhe des Gas
drucks bestimmt werden. Bei einem Verfahren mit Triggerelek
trode kann das vorbeschriebene Triggerdelay benutzt werden,
um den Zündzeitpunkt, bedarfsweise in Kombination mit einer
Auswahl des geeigneten Gasdrucks festzulegen. Dabei wird der
Ladezustand der Kondensatorbank 21 über eine Auswerteelek
tronik bestimmt, beispielsweise mit Hilfe des oben beschrie
benen Zündspannungsintegrators. Eine Triggerung mit Hilfe
der Triggerelektrode führt dazu, daß trotz des Erreichens
der Zündspannung Uz eine das Entladen der Kondensatorbank 21
herbeiführende Plasmaausbildung noch nicht erfolgt. Erst im
Falle der Triggerung wird gezündet, also im Falle des Aus
lösen eines Triggerpulses nach vorbestimmtem Triggerdelay
20. Stellgröße kann auch hier der Gasdruck sein, der zum
Beispiel über ein elektronisches Einlaßventil eingestellt
wird. Wird die Haltespannung nach einer vorgegebenen Ausle
sezeit nicht erreicht, muß der Gasdruck verringert werden.
Im anderen Fall muß der Gasdruck bei Ausbleiben einer Zün
dung nach einem Triggerpuls erhöht werden. Regelgröße ist
bei diesem Verfahren mit Triggerelektrode letztlich der
Zündverzug, das heißt die Zeit zwischen dem Auslösen des
Triggerpulses und dem Spannungszusammenbruch. Der Druck wird
dann so eingestellt, daß der Zündverzug innerhalb einer ge
wissen Toleranz konstant gehalten wird.
Der in Fig. 3 angegebene Triggerdelay 20 ist dort exem
plarisch auf den Zeitpunkt des Erreichens der vorbestimmten
Zündspannung Uz bezogen. Prinzipiell kann auch jeder Zeit
punkt vorher gewählt werden, der mit einer geeigneten Elek
tronik bestimmt werden kann, beispielsweise der Beginn des
Ladevorgangs oder das Erreichen eines vorbestimmten Werts
für die Ladespannung.
In den Fig. 4, 5 sind beispielsweise Ausgestaltungen
von Triggerelektroden dargestellt. Die Triggerelektroden 19
sind der Kathode 11 benachbart, und zwar auf der der Anode
12 abgewendeten Seite der Kathode 11. Hier sind sie mit der
Kathode 11 über einen Isolator 26 zusammengebaut, wobei Mit
tel zum Zusammenhalt der Elektrode 11, des Isolators 26 und
der Triggerelektrode 19 nicht dargestellt sind.
Allen Ausführungsformen der Triggerelektrode ist ge
meinsam, daß sie in Bezug auf die Symmetrieachse 13 symme
trisch angeordnet sind. Alle Ausführungsformen haben eine
Achse, die mit der Symmetrieachse 13 fluchtet. Dabei ist die
Triggerelektrode 19 als Wand bzw. als Wandabschnitt ausge
bildet. Sie liegt in einem vorbestimmten Abstand von der
Öffnung 14 der Elektrode 11. Damit kann zugleich erreicht
werden, daß die Elektrode 11 als Hohlelektrode ausgebildet
ist, beispielsweise als Hohlkathode. Die Triggerelektrode 19
bildet dann im wesentlichen die Rückwand der Kathode. Eine
solche Rückwand ist im Falle Fig. 4 eine Wand 29 und im Fall
der Fig. 5 ein Topfboden 19' der topfförmigen Triggerelektro
de 19.
Die topfförmige Ausbildung der Triggerelektrode 19
zeigt, daß diese nicht nur Rückwand der Elektrode 11 sein
kann, sondern auch Seitenwand des zu umgrenzenden Raums 23
dieser Hohlelektrode. Es ist auch vorstellbar, daß die Trig
gerelektrode 19 ausschließlich Seitenwandabschnitt einer
Elektrode 11 ist, die im übrigen an Elektroden- bzw. Katho
denpotential liegt.
Fig. 4 veranschaulicht, daß die Triggerelektrode 19 mit
einer Durchtrittsöffnung 24 versehen sein kann, die dem
Durchtritt von Teilchenstrahlen dient, die sich gemäß der
Elektrodenausbildung vornehmlich im Bereich der Symmetrie
achse ausbilden. Mit einer derartigen Durchtrittsöffnung
kann eine Belastung der Triggerelektronik in annehmbaren
Grenzen gehalten werden. Die Teilchenstrahlen werden von den
Teilen des Elektrodensystems aufgenommen, die auf dem Poten
tial der Kathode liegen. Eine Durchtrittsöffnung 24 ist auch
im Falle der Fig. 5 anwendbar.
In Fig. 4 sind der Durchtrittsöffnung 24 parallele Boh
rungen 24' dargestellt. Diese Bohrungen 24' können als Gas
bohrungen dienen, nämlich zum Durchtritt von Gas im Sinne
eines Gaseinlasses. Im Sinne einer solchen Gasdurchströmung
bzw. im Sinne eines Gaseinlasses kann auch die Durchtritts
öffnung 24 genutzt werden. Beides ist insbesondere dann vor
teilhaft, wenn das Elektrodensystem selbst den Entladungsraum
10 bildet.
Im Fall der in den Raum 23 hineinragenden Gasentladung
ist mit einer Bedampfung des Isolators 26 mit Metalldampf zu
rechnen. Eine solche könnte zu einem Kurzschluß des Isola
tors 26 führen. Um diesen gegen auftretenden Metalldampf ab
zuschirmen, ist die Elektrode 11 mit einem Ringbund 27 ver
sehen, der konzentrisch zu der Öffnung 14 angeordnet ist und
den torusförmigen Isolator 26 überlappt. Außerdem ist die
Triggerelektrode 19 mit einer Ringausnehmung 28 versehen.
Der Ringbund 27 greift in die Ringausnehmung 28 ein. Dabei
wird ein potentialtrennender Abstand gewahrt, der jedoch we
gen der normalerweise geringen Potentialunterschiede
zwischen der Kathode 11 und Triggerelektrode 19 nur klein zu
sein braucht.
Triggerelektroden gemäß Fig. 4, 5 sind auch in Verbindung
mit einer Hohlanode möglich. In diesem Fall müßte das Licht
des Plasmas 17 aus der Elektrode 11 bzw. aus der Hohlkathode
ausgekoppelt werden. Es ist allerdings vorteilhafter, das
Licht anodenseitig auszukoppeln, wie es Fig. 1 zeigt, und die
Kathode mit negativer Hochspannung zu betreiben, da so De
bris aus Sputtern und Hochfrequenzentladungen in dem einem
Beobachter zugewandten Teil des Elektrodensystems besser
vermieden werden können.
Das Potential der Triggerelektrode 19 wird vor dem Aus
lösen eines Triggerpulses und damit vor dem Auslösen einer
niederohmigen Plasmaentladung so gewählt, daß Ladungsträger
aus der Hohlelektrode bzw. Hohlkathode und dem Elektroden
zwischenraum im Bohrlochbereich abgezogen werden. Das er
folgt beispielsweise durch das Anlegen einer gegenüber dem
Kathodenpotential positiven Spannung von typischerweise ei
nigen 100 V an die Triggerelektrode 19. Ein Triggerpuls wird
dann ausgelöst, indem das Potential der Triggerelektrode auf
das der Kathode heruntergezogen wird oder indem an die Trig
gerelektrode 19 ein negatives Potential angelegt wird. Typi
sche Zeitkonstanten für eine Veränderung des Potentials der
Triggerelektrode 19 liegen dabei vorteilhaft im Bereich ei
niger Nanosekunden bis zu einigen 100 ns.
Um hohe Lichtausbeuten zu erreichen, wird angestrebt,
die Wiederholfrequenz der Entladungen möglichst hqch zu hal
ten, nämlich im Bereich mehrerer kHz und vorzugsweise ober
halb von 10 kHz. Hier setzen die erforderlichen Wiederver
festigungszeiten bzw. Rekombinationszeiten des Plasmas Gren
zen. Diese Grenzen sind abhängig von der Gasart, mit der das
Verfahren betrieben wird. Im Hinblick auf eine hohe Strah
lungsausbeute im EUV-Bereich ist die Anwendung von Xenon von
besonderem Interesse. Bei einem Betrieb mit reinem Xenon
sind Wiederholfrequenzen oberhalb von etwa 1 kHz bei
typischen Pulsenergien im Bereich von 1 Joule bis 10 Joule
bei Betrieb im Selbstdurchbruch kaum zu erreichen. Es ist
daher anzustreben, Maßnahmen zur Beschleunigung der Wieder
verfestigung durchzuführen.
Als eine Möglichkeit sei das Beimischen von Gasen
genannt. Eine schnellere Rekombination des Plasmas nach Ent
ladung der Kondensatorbank kann durch Beimischung von Gasen
erreicht werden, wie zum Beispiel Luft, synthetische Luft,
Stickstoff, Sauerstoff oder Halogene.
Außerdem kann der Abtransport von geladenen Teilchen
aus dem Bereich der Öffnungen 14, 15 durch geeignete Gasströ
mung unterstützt werden. Vorteilhaft ist dabei Strömung mit
Gaseinlaß über die Kathode und/oder über den Elektroden
zwischenraum und mit Gasevakuierung über die Anode, die
gemäß Fig. 1 die dem Beobachter zugewandte Elektrode ist. Mit
einer solchen Gasströmung kann Druckabfall im Bereich der
Anode bzw. im Bereich einer Hohlanode erzeugt werden. Mit
derartigen Druckgradienten ist es möglich, das Plasma 17 zu
verlagern, um dadurch eine erhöhte Transmission für die EUV-
Strahlung in der Beobachtungsstrecke bis zum Anwender zu er
reichen.
Weitere Maßnahmen zur Steigerung der Wiederholfrequenz
lassen sich in Zusammenhang mit der Kondensatorbank 21
durchführen. Dabei wird davon ausgegangen, daß der Aufbau
des niederohmigen Plasmas je nach Bedingungen bis zu mehreren
100 Mikrosekunden dauert. Die Kondensatorbank 21 kann nun
schneller aufgeladen werden, als es dieser Aufbauzeit des
niederohmigen Plasmas entspricht. Infolgedessen kann auf
eine vollständige Rekombination des Plasmas verzichtet wer
den. Es ist darüber hinaus sogar möglich, zwischen zwei Ent
ladungen ein hochohmiges Plasma im Bereich der Öffnungen
14, 15 brennen zu lassen, was zu besseren Bedingungen für ein
Startplasma der Hochstromentladung führen kann.
Claims (24)
1. Verfahren zum Erzeugen von extrem ultravioletter Strah
lung und weicher Röntgenstrahlung mit einer auf dem
linken Ast der Paschenkurve betriebenen Gasentladung,
insbesondere für die EUV-Lithographie,
bei dem ein Entladungsraum (10) vorbestimmten Gasdrucks und zwei Elektroden (11, 12) verwendet werden, die je weils eine auf derselben Symmetrieachse (13) gelegene Öffnung (14, 15) haben, und die im Verlauf eines Span nungsanstiegs (16) beim Erreichen einer vorbestimmten Zündspannung (Uz) ein im Bereich ihrer Öffnungen (14, 15) gelegenes Plasma (17) ausbilden, das eine Quelle der zu erzeugenden Strahlung (17') ist,
bei dem eine Zündung des Plasmas (17) durch Einflußnah me auf den Gasdruck und/oder durch eine Triggerung er folgt,
und bei dem mit der Zündung des Plasmas (17) ein Ener giespeicher mittels der Elektroden (11, 12) Speicherener gie in das Plasma (17) einspeist, dadurch gekenn zeichnet, daß die Zündung des Plasmas (17) unter An wendung eines vorbestimmten Zündverzugs (18) erfolgt.
bei dem ein Entladungsraum (10) vorbestimmten Gasdrucks und zwei Elektroden (11, 12) verwendet werden, die je weils eine auf derselben Symmetrieachse (13) gelegene Öffnung (14, 15) haben, und die im Verlauf eines Span nungsanstiegs (16) beim Erreichen einer vorbestimmten Zündspannung (Uz) ein im Bereich ihrer Öffnungen (14, 15) gelegenes Plasma (17) ausbilden, das eine Quelle der zu erzeugenden Strahlung (17') ist,
bei dem eine Zündung des Plasmas (17) durch Einflußnah me auf den Gasdruck und/oder durch eine Triggerung er folgt,
und bei dem mit der Zündung des Plasmas (17) ein Ener giespeicher mittels der Elektroden (11, 12) Speicherener gie in das Plasma (17) einspeist, dadurch gekenn zeichnet, daß die Zündung des Plasmas (17) unter An wendung eines vorbestimmten Zündverzugs (18) erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Zündverzug (18) durch Erhöhung des Gasdrucks
verringert oder durch Verminderung des Gasdrucks ver
größert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Zündung durch ein Auslösen eines
Triggerpulses erfolgt, der an eine auf einen Zündbe
reich des Plasmas (17) Einfluß nehmende Triggerelektro
de (19) angelegt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Triggerung zum Erreichen
eines vorbestimmten Zündverzugs (18) in Kombination mit
einer Anwendung eines Druckintervalls des Gasdrucks
erfolgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die Triggerung mit einem vorbe
stimmten Triggerdelay (20) angewendet wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß der Spannungsanstieg (16)
und/oder das Erreichen einer vorbestimmten Zündspannung
(Uz) meßtechnisch erfaßt wird/werden, und daß eine Ein
flußnahme auf den Gasdruck und/oder auf die Triggerung
unter Berücksichtigung des Meßergebnisses erfolgt.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß der Zündzeitpunkt (tz) meßtech
nisch erfaßt wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß der Zündzeitpunkt (tz) mittels
einer Messung eines Spannungsdifferentials (dU/dt) der
Elektrodenspannung (U) und/oder mittels Messung eines
Stromdifferentials (dI/dt) des Elektrodenstroms gemes
sen wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zeit zwischen dem Erreichen
der vorbestimmten Zündspannung (Uz) und dem Zündzeit
punkt (tz) gemessen wird, und daß der Gasdruck mittels
des Meßergebnisses dem vorbestimmten Zündverzug (18)
entsprechend eingestellt wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß eine meßtechnische Erfassung der
an den Elektroden (11, 12) anliegenden Spannung vom Be
ginn des Spannungsanstiegs (16) über einen vorbestimm
ten Zeitraum erfolgt, der einen mutmaßlichen Zündzeit
punkt (tz) einschließt, wobei für die meßtechnische Er
fassung vorzugsweise ein Zündspannungsintegrator ver
wendet wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß eine meßtechnische Erfassung der
an den Elektroden (11, 12) anliegenden Spannung (U) eine
Speicherung des erreichten Zündspannungswertes (Uz) bis
zum Beginn des darauffolgenden Spannungsanstiegs (16)
umfaßt.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß der Ladezustand einer direkt an
die Elektroden als Energiespeicher angeschlossenen Kon
densatorbank (21) während eines Spannungsanstiegs (16)
fortlaufend überwacht wird, und daß nach einem Er
reichen der vorbestimmten Zündspannung (Uz) eine Trig
gerung bedarfsweise mit dem vorbestimmten Triggerdelay
(20) durchgeführt wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch
gekennzeichnet, daß die vorbestimmte Zündspannung
(Uz) in Abhängigkeit von mindestens einem Kapazitäts
parameter einer Kondensatorbank (21) korrigiert wird.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Triggerung mittels einer auf
Ladungsträger eines Elektrodenzwischenraums (22) ein
wirkenden Triggerelektrode (19) durchgeführt wird, in
dem deren in Bezug auf eine Kathode ausgebildetes
Sperrpotential verringert wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch
gekennzeichnet, daß der Energiespeicher unter Ver
zicht auf eine nach dem Erlöschen des Plasmas (17)
vollständig erfolgende Rekombination des Gases bis zum
Erreichen einer vorbestimmten Zündspannung (Uz) aufge
laden wird.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen den Elektroden (11, 12) im Zeitraum zwi
schen zwei zu erzeugende Strahlung ausbildenden Plasma
entladungen ein hochohmiges Plasma brennen gelassen
wird.
17. Vorrichtung zum Erzeugen von extrem ultravioletter
Strahlung und weicher Röntgenstrahlung mit einer auf
dem linken Ast der Paschenkurve betriebenen Gasentla
dung,
bei der ein Entladungsraum (10) vorbestimmten Gasdrucks und zwei Elektroden (11, 12) vorhanden sind, die jeweils eine auf derselben Symmetrieachse (13) gelegene Öffnung haben (14, 15), und die im Verlauf eines Spannungs anstiegs (16) beim Erreichen einer vorbestimmten Zünd spannung (Uz) einen im Bereich ihrer Öffnungen (14, 15) gelegenes Plasma (17) aufweisen, das eine Quelle der zu erzeugenden Strahlung (17') ist,
bei der in einem an eine erste Elektrode (11) angren zenden Raum (23) eine Triggerelektrode (19) für eine durch Triggerung erfolgende Zündung des Plasmas (17) vorhanden ist,
insbesondere zur Durchführung eines Verfahrens nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß die Triggerelektrode (19) als Wand (29) ausgebildet ist, die zumindest flächenab schnittsweise einen vorbestimmten Abstand von der Öff nung (14) der ersten Elektrode (11) aufweist.
bei der ein Entladungsraum (10) vorbestimmten Gasdrucks und zwei Elektroden (11, 12) vorhanden sind, die jeweils eine auf derselben Symmetrieachse (13) gelegene Öffnung haben (14, 15), und die im Verlauf eines Spannungs anstiegs (16) beim Erreichen einer vorbestimmten Zünd spannung (Uz) einen im Bereich ihrer Öffnungen (14, 15) gelegenes Plasma (17) aufweisen, das eine Quelle der zu erzeugenden Strahlung (17') ist,
bei der in einem an eine erste Elektrode (11) angren zenden Raum (23) eine Triggerelektrode (19) für eine durch Triggerung erfolgende Zündung des Plasmas (17) vorhanden ist,
insbesondere zur Durchführung eines Verfahrens nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß die Triggerelektrode (19) als Wand (29) ausgebildet ist, die zumindest flächenab schnittsweise einen vorbestimmten Abstand von der Öff nung (14) der ersten Elektrode (11) aufweist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich
net, daß die erste Elektrode (11) als Hohlelektrode
ausgebildet ist, und daß die Triggerelektrode (19) als
Wand oder Wandabschnitt in der Geometrie dieser Hohl
elektrode ausgebildet ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Triggerelektrode (19) als der Hohl
elektrode parallele, deren Öffnung (14) gegenüberlie
gende Rückwand ausgebildet ist.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, da
durch gekennzeichnet, daß die Triggerelektrode (19)
eine in der Symmetrieachse (13) angeordnete Durch
trittsöffnung (24) aufweist.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet,
daß die Durchtrittsöffnung (24) und/oder der Symmetrie
achse (13) parallele Bohrungen (24') als Gaseinlaß aus
gebildet ist/sind.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 21, da
durch gekennzeichnet, daß die Triggerelektrode (19)
topfförmig ausgebildet ist, und daß eine auf einem
Topfboden (19') senkrechte Topfachse (25) mit der Sym
metrieachse (13) der Elektroden (11, 12) gleichliegt.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 22, da
durch gekennzeichnet, daß die Triggerelektrode (19)
mit der ersten Elektrode (11) über einen Isolator (26)
zusammengebaut ist.
24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 23, da
durch gekennzeichnet, daß die erste Elektrode (11)
einen zu ihrer Öffnung (14) konzentrischen Ringbund
(27) aufweist, der den Isolator (26) überlappend an die
Triggerelektrode (19) angrenzt oder in eine Ringausneh
mung (28) der Triggerelektrode (19) eingreift, jeweils
unter Wahrung eines potentialtrennenden Abstands.
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