DE102006022823B4 - Anordnung zur Erzeugung von EUV-Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas - Google Patents
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Abstract
dadurch gekennzeichnet, dass
– eine erste und eine zweite innere Elektrodenplatte (331, 332) zur geordneten Anbringung einer Vielzahl von Anoden (311) und Katoden (312) vorhanden sind, wobei die beiden inneren Elektrodenplatten (331, 332) über eine Isolationsschicht (333) fest miteinander verbunden, rotierbar gelagert sind und entsprechend der Anzahl der Entladungseinheiten (31, 32) elektrisch leitende Bereiche aufweisen, und
– eine erste und eine zweite äußere Elektrodenplatte (341, 342) beiderseits der inneren Elektrodenplatten (331, 332) drehfest angeordnet sind, wobei mindestens ein Teil einer der äußeren Elektrodenplatten (341, 342) in Richtung der Drehachse (334) derart verschiebbar ist, dass
• in...
Description
- Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Erzeugung von extrem ultravioletter (EUV-)Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas mit einer Vielzahl von Entladungseinheiten, die jeweils eine Anode und eine Katode aufweisen und entlang einer Kreislinie um eine Drehachse rotierbar angeordnet sind, um sie nacheinander zur Erzeugung eines EUV-emittierenden Plasmas in eine optischen Achse der Strahlungsquelle zu bringen, insbesondere zur Herstellung langlebiger Quellen mit hoher durchschnittlicher EUV-Strahlungsleistung für den Einsatz in der Halbleiterlithographie.
- Auf dem Gebiet der gasentladungsangeregten EUV-Strahlungsquellen sind verschiedene Entladungskonfigurationen bekannt geworden, die ein im EUV-Bereich leuchtendes Plasma erzeugen.
- Das sind im Wesentlichen z-Pinch-Anordnungen mit Vorionisation (z. B.
US 6,414,438 B1 ), Plasma-Fokus-Anordnungen (vgl.US 2002/0014599 A1 WO 03/087867 A2 US 6,728,337 B2 ,US 6,567,499 B2 ,WO 02/102122 A1 US 6,389,106 B1 ,WO 02/082872 A1 US 2003/0053593 A1 US 6,232,613 B1 ). Weiterhin existieren Variationen der genannten Entladungstypen (z. B. die sog. Hyperzykloiden-Pinch-Entladung gemäßUS 4,042,848 A ) und Anordnungen, die Elemente verschiedener dieser Entladungstypen vereinen. - Allen Anordnungen ist gemeinsam, dass eine gepulste Hochstromentladung von > 10 kA in einem Gas bestimmter Dichte gezündet wird und als Folge der magnetischen Kräfte und der dissipierten Leistung im ionisierten Gas lokal ein sehr heißes (kBT > 30 eV) und dichtes Plasma erzeugt wird.
- Für den Einsatz in der EUV-Lithographie unter Produktionsbedingungen müssen die Strahlungsquellen speziellen Anforderungen genügen:
1. Wellenlänge (±1%) 13,5 nm 2. Strahlungsleistung (im Zwischenfokus) 115 W 3. Pulsfolgefrequenz 7–10 kHz 4. Dosisstabilität (gemittelt über 50 Impulse) 0,3% 5. Lebensdauer der Kollektoroptik 6 Monate 7. Lebensdauer des Elektrodensystems 6 Monate - Aus verschiedenen Gründen erfüllen die oben genannten Anordnungen diese Anforderungen nur in einzelnen Punkten. Vor allem die mit einem Elektrodensystem erreichbare Elektrodenlebensdauer ist noch weit von der gewünschten Spezifikation entfernt.
- Im Stand der Technik der EUV-Strahlungsquellen auf Basis eines Gasentladungsplasmas ist es seit langem bekannt und üblich, die Elektroden mit filigranen Kühlstrukturen effektiv zu kühlen, um die Erschmelzung und Erosion der Elektrodenoberflächen zu vermeiden bzw. einzuschränken.
- Bei höheren Impulsfrequenzen, wie sie zur Steigerung der durchschnittlichen Ausgangsleistung der EUV-Quelle erforderlich sind, kann aber trotz Kühlung die Wärme nicht ausreichend schnell von den Elektrodenoberflächen abgeführt werden, so dass nach zusätzlichen Möglichkeiten gesucht werden muss, die die Elektrodenlebensdauer verlängern.
- Eine erste Variante zur Erhöhung der Elektrodenlebensdauer ist in der
WO 2005/101924 A1 - Eine zweite Variante langlebiger Elektrodenanordnungen wird in der
EP 1 401 248 A2 beschrieben, bei der eine Strahlungsquelle mit einer Vielzahl von Entladungselementen (Elektrodenkonfigurationen) ausgestattet ist, die drehbar um eine Achse revolverähnlich so angeordnet sind, dass ständig im Wechsel ein Element aus einer Vielzahl von Entladungselementen in die optische Achse der Strahlungsquelle eingebracht werden kann, um einen Plasmapinch als Strahlungsquellort zu erzeugen. Dabei sind die Entladungselemente so gestaltet, dass sie sich zwischen drehbaren, mit Löchern versehenen Elektrodenplatten befinden, wobei die Löcher die Apertur für die zwischen den Entladungselementen vom Plasmapinch emittierte Strahlung bilden. Angesteuert wird jeweils nur dasjenige Entladungselement, das sich in der optischen Achse (wie in einem Revolver in einer sogenannten „Schussposition”) befindet, so dass jedes Entladungselement nur kurzzeitig belastet wird und danach über mehrere Entladungszyklen Zeit hat, um die optimalen Entladungsbedingungen wieder herzustellen. Nachteilig an dieser Anordnung ist allerdings der erforderliche schnelle Elektrodenwechsel, der – selbst wenn ein und dasselbe Entladungselements für eine Serie von Entladungsimpulsen (einen so genannten Burst) beibehalten wird – stets zu Problemen bei der Elektrodenkontaktierung und Vakuumabdichtung führt. Ein geeignetes Konzept zur elektrischen Kontaktierung und Kühlung ist nicht erkennbar. - Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine neuartige Möglichkeit zur Erzeugung von EUV-Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas mit hohen Impulsraten (über 5 kHz) anzugeben, bei der trotz hoher thermischer Belastung der Elektroden ein Langzeit-Betrieb der Strahlungsquelle gewährleistet ist.
- Erfindungsgemäß wird die Aufgabe bei einer Strahlungsquelle zur Erzeugung von extrem ultravioletter (EUV-)Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas mit einer Vielzahl von Entladungseinheiten, die jeweils eine Anode und eine Katode aufweisen und entlang einer Kreislinie um eine Drehachse rotierbar angeordnet sind, um sie nacheinander zur Erzeugung eines EUV-emittierenden Plasmas in eine optischen Achse der Strahlungsquelle zu bringen, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste und eine zweite innere Elektrodenplatte zur geordneten Anbringung einer Vielzahl von Anoden und Katoden vorhanden sind, wobei die beiden inneren Elektrodenplatten über eine Isolationsschicht fest miteinander verbunden, rotierbar gelagert sind und entsprechend der Anzahl der Entladungseinheiten elektrisch leitende Bereiche aufweisen, und dass eine erste und eine zweite äußere Elektrodenplatte beiderseits der inneren Elektrodenplatten drehfest angeordnet sind, wobei mindestens ein Teil einer der äußeren Elektrodenplatten in Richtung der Drehachse derart verschiebbar ist, dass in einer ersten Stellung mindestens der Teil der inneren Elektrodenplatten, der die in der optischen Achse befindliche Entladungseinheit umgibt, zwischen den äußeren Elektrodenplatten arretiert und elektrisch kontaktiert ist und in einer zweiten Stellung die inneren Elektrodenplatten für deren Drehung zum Austausch der in der optischen Achse befindlichen Entladungseinheit gegen eine weitere der Entladungseinheiten freigegeben sind.
- Vorteilhaft bilden die mit einer Vielzahl von Entladungseinheiten bestückten inneren Elektrodenplatten ein kompaktes Revolverrad, bei dem nur die auf der optischen Achse befindliche Entladungseinheit aktiv ist.
- Das Revolverrad ist zweckmäßig mit geeigneten Ausnehmungen zur Aufnahme der Entladungseinheiten aus Anode, Katode und dazwischen angeordnetem Isolator versehen, wobei die Entladungseinheiten durch die konstante relative Position von Anoden und Katoden definierte Entladungsräume darstellen, die innerhalb des Revolverrades definiert angeordnet und einfach austauschbar sind. Dabei hat das Revolverrad vorteilhaft einen Durchmesser, der an die Anzahl der Entladungseinheiten, die in Abhängigkeit von der gewünschten Lebensdauer des gesamten Elektrodensystems des Revolverrades gewählt ist, angepasst ist.
- Es ist ferner von Vorteil, wenn das Revolverrad vollständig in einem evakuierten Gehäuse angeordnet ist, das durch die äußeren Elektrodenplatten und an deren Peripherie abgebrachte bewegliche Wände gebildet ist, wobei zur Vakuumabdichtung des beweglichen Gehäuses an der Peripherie der äußeren Elektrodenplatten mindestens ein Dichtbalg vorgesehen ist.
- Die inneren Elektrodenplatten bestehen zweckmäßig zumindest teilweise aus elektrisch und thermisch sehr gut leitendem Material, wobei wenigstens um die Entladungseinheiten herum isolierende Bereiche vorzugsweise koaxial angeordnet sind, um die einzelnen Entladungseinheiten elektrisch voneinander zu separieren.
- Vorteilhaft ist das Revolverrad als Sandwich-Struktur verschiedener Materialien ausgeführt, wobei nur einzelne Lagen eine hohe elektrische Leitfähigkeit besitzen.
- Zur Gewichtsersparnis weisen die inneren Elektrodenplatten zweckmäßig Durchbrüche auf oder sind teilweise mit Speichen ausgeführt.
- Strompfade zur Einkopplung der Impulsspannung in die Entladungseinheit sind vorteilhaft innerhalb der äußeren und der inneren Elektrodenplatten in gleicher Weise mittels geeigneter isolierender Bereiche definiert so vorgegeben, dass der Strom symmetrisch zur optischen Achse der aktiven Entladungseinheit und über große Kontaktflächen oder Zuleitungen mit großen Querschnitten auf möglichst kurzen und symmetrischen Pfaden die äußeren und inneren Elektrodenplatten durchfließt. Dabei die isolierenden Bereiche in äußerer und innerer Elektrodenplatte vorzugsweise konzentrisch zur optischen Achse der Entladungseinheiten ausgeführt.
- Die elektrische Kontaktierung der elektrisch leitenden Bereiche (innerhalb der isolierenden Bereiche) der inneren Anoden- und Katodenplatten mit den äußeren Elektrodenplatten ist vorteilhaft über fest installierte flexible Leitungen realisiert, kann aber auch zweckmäßig durch Anpressen gegenüberliegender Kontaktflächen der äußeren Elektrodenplatten oder durch leitfähige elastische Stempel hergestellt werden. Vorteilhaft herrscht zwischen den äußeren Elektrodenplatten ein Vakuum, so dass das Anpressen der äußeren Elektrodenplatten an die inneren Elektrodenplatten verstärkt und der elektrische Kontakt verbessert ist.
- Des Weiteren sind für die elektrische Kontaktierung federnde Schleifkontakte, die an den äußeren Elektrodenplatten oder an den elektrisch leitenden Bereichen der inneren Elektrodenplatten befestigt sind, geeignet.
- Vorteilhaft ist mindestens ein Teil einer äußeren Elektrodenplatte in Richtung der Drehachse verschiebbar, wobei zwischen den äußeren Elektrodenplatten eine vakuumdichte flexible Verbindung angeordnet ist, um bei Bewegung in Richtung der Drehachse das Vakuum zwischen den äußeren Elektrodenplatten aufrecht zu erhalten. Dabei ist die vakuumdichte flexible Verbindung zwischen den äußeren Elektrodenplatten vorzugsweise ein metallischer Wellbalg.
- Zum Verschieben des Teils einer der äußeren Elektrodenplatten ist zweckmäßig ein hydraulischer, pneumatischer oder elektrischer Linearantrieb vorhanden.
- Zum Drehen des Revolverrades der inneren Elektrodenplatten ist vorzugsweise ein direkt an der Drehachse angreifender Rotationsantrieb vorhanden, wobei dieser erst nach Verschieben mindestens einer äußeren Elektrodenplatte in Richtung der Drehachse und damit verbundenem Lösen der Presskontaktierung der äußeren mit den inneren Elektrodenplatten zum Drehen des Revolverrades zuschaltbar ist. Dabei ist der Rotationsantrieb zweckmäßig außerhalb des evakuierten Gehäuses für das Revolverrad angeordnet und weist zur Durchführung der Drehachse durch mindestens eine der äußeren Elektrodenplatten hindurch eine spezielle Drehdurchführung auf.
- In einer weiteren vorteilhaften Gestaltung ist der Rotationsantrieb innerhalb des evakuierten Gehäuses für das Revolverrad angeordnet. Dabei ist er vorzugsweise als ein an der Peripherie des Revolverrades angreifender Direktantrieb ausgeführt.
- Um die aktive Entladungseinheit nach Drehung des Revolverrades in der optischen Achse der Strahlungsquelle zu justieren und zu fixieren, sind zweckmäßig an gegenüberliegenden Oberflächen der inneren und äußeren Elektrodenplatten einerseits konische Zentrierungsstifte und andererseits entsprechende Zentrierungslöcher zur Ausrichtung der aktiven Entladungseinheit in der optischen Achse vorhanden.
- Vorteilhaft sind die Zentrierungsstifte in Richtung der Drehachse beweglich und vorzugsweise pneumatisch bedienbar.
- Es erweist sich als vorteilhaft, wenn das Drehen des Revolverrades zum Wechseln der in der optischen Achse befindlichen Entladungseinheit nach Ablauf ihrer Lebensdauer (aufgrund von Elektrodenabbrand) innerhalb einer Belichtungspause für den Wechsel eines zu belichtenden Wafers durchgeführt wird. Dadurch gibt es im Prozess der lithographischen Belichtung von aufeinanderfolgenden Wafern keinerlei Verzögerung Eine weitere Steigerung der Lebensdauer des gesamten Elektrodensystems wird erreicht, wenn in einem von der in der optischen Achse aktiven Entladungseinheit abgewandten Bereich einer der äußeren Elektrodenplatten ein Wartungsflansch für einen Eingriffsmechanismus vorhanden ist, der für Wartung oder Austausch von verschlissenen Entladungseinheiten vorgesehen ist, wobei dieser Bereich elektrisch und vakuumtechnisch vom Bereich der aktiven Entladungseinheit der inneren Elektrodenplatten abgeteilt ist.
- Mindestens ein Teil des Impulsgenerators wird vorteilhaft außerhalb der äußeren Elektrodenplatten angeordnet und ist zusammen mit einer der äußeren Elektrodenplatten in Richtung der Drehachse verschiebbar, um eine niederinduktive Ankopplung an die aktive Entladungseinheit zu gewährleisten.
- Eine für Gasentladungsquellen häufig verwendete Vorionisationseinheit wird vorzugsweise außerhalb der äußeren Elektrodenplatten entlang der verlängerten optischen Achse entgegengesetzt zu Kollektoroptik und Debrisfiltern der Strahlungsquelle angeordnet. Dabei weist die aktive Entladungseinheit vorteilhaft einen Gaseinlass für die Zufuhr des Arbeitsmediums auf, der sich in der äußeren Elektrodenplatte entlang der rückwärtig verlängerten optischen Achse befindet.
- Zur Erhöhung der Elektrodenlebensdauer ist zweckmäßig wenigstens die aktive Entladungseinheit von Kühlflüssigkeit durchströmt, wobei die Kühlkanäle mindestens innerhalb der inneren, aber auch innerhalb der äußeren Elektrodenplatten angeordnet sein können.
- Dazu sind in einer ersten Variante für die Kühlmittelzufuhr zu den Kühlleitungen der inneren Elektrodenplatten Kühlleitungen in der Drehachse angeordnet.
- In einer zweiten Variante werden für die Kühlmittelzufuhr zu den Kühlleitungen der inneren Elektrodenplatten starre Kühlleitungen durch das Vakuum geführt, wobei eine Kühlleitungsverbindung durch Anpressen der starren Kühlleitungen an die entsprechenden Öffnungen der innerhalb der inneren Elektrodenplatten angeordneten Kühlkanäle vorgesehen ist.
- In einer dritten Variante werden flexible Kühlleitungen durch das Vakuum geführt, wobei eine Kühlmittelübertragung durch Steckkupplungen in entsprechende Öffnungen der innerhalb der inneren Elektrodenplatten angeordneten Kühlkanäle vorgesehen ist.
- Als Kühlmittel wird zweckmäßig eine Kühlflüssigkeit niedriger Viskosität, geringer elektrischer Leitfähigkeit und hoher Wärmekapazität, vorzugsweise deionisiertes Wasser, Galden oder ein niederviskoses Öl, verwendet.
- Mit der erfindungsgemäßen Lösung ist es möglich, EUV-Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas mit hohen Impulsraten (über 5 kHz) zu erzeugen, bei der trotz der hohen thermischen Belastung des Elektrodensystems ein ununterbrochener Betrieb der EUV-Quelle über eine geforderte Lebensdauer (6 Monate) gewährleistet ist.
- Die Erfindung soll nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Die Zeichnungen zeigen:
-
1 : eine Prinzipdarstellung der Erfindung mit arretierten inneren Elektrodenplatten in Betriebsstellung für eine aktivierte Entladungseinheit, -
2 : eine Prinzipdarstellung der Erfindung mit gelösten äußeren Elektrodenplatten zur Freigabe der Drehbewegung der inneren Elektrodenplatten (Revolverrad) zum Wechsel der Entladungseinheit, -
3 : eine Prinzipdarstellung eines Revolverrades (Draufsicht und Querschnitt) mit austauschbarer Entladungseinheit, -
4 : eine Darstellung eines Teils des Revolverrades mit komplett austauschbarer Entladungseinheit und integrierten Kühlkanälen, -
5 : eine Gestaltung des Elektrodensystems mit der Möglichkeit des Bewegens nur eines Teiles der äußeren Katodenplatte, -
6 : eine Ausführung des Elektrodensystems mit Faltenbälgen zum vakuumdichten elektrischen Trennen und Verbinden der äußeren mit den inneren Elektrodenplatten, -
7 : eine Ausführungsform des Revolverrades (Draufsicht) mit integrierten flexiblen Kühlschläuchen, -
8 : eine Gestaltung des Elektrodensystems unter Verwendung einer Kühlung mit in der Rotationsachse integrierten Kühlkanälen und, -
9 : eine Variante des Elektrodensystems mit integrierten Kühlkanälen, die Steckkupplungen zum Trennen und Verbinden der Kühlkanäle aufweisen. - Der grundlegende Aufbau der Strahlungsquelle – wie in
1 und2 in unterschiedlichen Arbeitszuständen dargestellt – enthält im Wesentlichen eine Vakuumkammer11 mit Pumpsystem12 sowie, auf einer optischen Achse2 aufgereiht, eine aktive Entladungseinheit31 zur Erzeugung eines Plasmas13 , ein Debrisfiltersystem14 und eine Kollektoroptik15 , und entspricht einer üblichen Gasentladungsanordnung, z. B. mit z-Pinch oder einer Hohlkatodenentladung. Die Besonderheit der erfindungsgemäßen Strahlungsquelle liegt in einem speziellen Elektrodensystem3 für den Austausch (den Ersatz) der in der optischen Achse2 befindlichen aktiven Entladungseinheit31 . Dabei ist die aktive Entladungseinheit31 zusammen mit weiteren (baugleichen) Entladungseinheiten32 Teil eines an sich bekannten Revolverrades33 zum sukzessiven Austauschen der in der optischen Achse2 befindlichen aktiven Entladungseinheit31 durch eine der weiteren Entladungseinheiten32 . Der Austausch erfolgt nach „Abbrand” der Elektrodenanordnung der Entladungseinheit31 , d. h. nach einer festgelegten Anzahl von Impulsen (z. B. einige 108 bis 109 Impulse), nach der sich infolge von Elektrodenerosion die Entladungsbedingungen deutlich verschlechtern, wird ein Mechanismus in Gang gesetzt, der die verbrauchten Elektroden, die starr als eine Entladungseinheit31 aus Anode311 , Katode312 und einem Isolator313 konfiguriert sind, durch eine weitere (neue) baugleiche Entladungseinheit32 ersetzt. Für den Elektrodenwechsel ist im Revolverrad33 eine Vielzahl von Entladungseinheiten32 auf einer Kreisbahn rotierbar angebracht. - Der Umfang des Revolverrades
33 und die Anzahl der Entladungseinheiten31 und32 werden anhand der geforderten Lebensdauer des Elektrodensystems3 gewählt, wobei es im Sinne der Erfindung nützlich ist, ebenfalls die Lebensdauern der einzelnen Entladungseinheiten31 und32 zu maximieren. Der Wechsel der Entladungseinheit31 gegen weitere Entladungseinheiten32 geschieht nur in Belichtungspausen der Strahlungsquelle1 , vorzugsweise während eines Waferwechsels, innerhalb einer angeschlossenen Belichtungsanlage, so dass der Elektrodentausch keinen Zeitverlust innerhalb der Belichtungsprozedur einer Produktionsanlage für Halbleiter-Schaltkreise verursacht. - Das Elektrodensystem
3 besteht aus zwei inneren Elektrodenplatten331 und332 (nachfolgend – ohne Beschränkung der Allgemeinheit – innere Anodenplatte331 und innere Katodenplatte332 genannt), die mit einer durchschlagfesten Isolationsschicht333 starr miteinander verbunden sind und das Revolverrad33 mit den kreisförmig angeordneten Entladungseinheiten31 ,32 bilden, sowie einem evakuierten Gehäuse34 , das aus zwei äußeren Elektrodenplatten341 und342 (nachfolgend – ohne Beschränkung der Allgemeinheit – äußere Anodenplatte341 und äußere Katodenplatte342 genannt) mit isolierenden Bereichen343 und umlaufend geschlossenem Dichtbalg344 (Wellbalg) gebildet wird. - Das Gehäuse
34 umschließt das Revolverrad33 und ist – zumindest im Bereich der optischen Achse2 – mit der Vakuumkammer11 der Strahlungsquelle1 verbunden. - Die äußeren Anoden- und Katodenplatten
341 und342 sind in Richtung der optischen Achse2 bzw. der Drehachse334 des Revolverrades33 derart verschiebbar, dass in einer Austauschstellung gemäß2 ein Freiraum im Gehäuse34 vorhanden ist, so dass das Revolverrad33 , angetrieben über die Drehachse334 von einem Rotationsantrieb335 , um einen definierten Winkel gedreht werden kann, der eine der weiteren Entladungseinheiten32 in die Position der optischen Achse2 fährt, um die zuletzt aktive Entladungseinheit31 zu ersetzen (auszutauschen). - In einer Betriebsstellung (gemäß
1 ), die durch einen Linearantrieb345 die äußeren Elektrodenplatten341 und342 aufeinander zu bewegt, wird das Revolverrad33 zwischen beiden äußeren Elektrodenplatten341 und342 eingeklemmt und arretiert. Dabei wird die innere Anodenplatte331 mit der äußeren Anodenplatte341 und die innere Katodenplatte332 mit der äußeren Katodenplatte342 elektrisch kontaktiert, so dass mindestens bei der aktiven Entladungseinheit31 zwischen deren Anode311 und deren Katode312 eine Gasentladung durch das Arbeitsmedium gezündet und des Plasmas13 erzeugt wird. Das Arbeitsmedium wird über einen Gaseinlass346 durch die Katodenplatte342 hindurch in die Entladungseinheit31 eingeströmt. Vorzugsweise ist dem Gaseinlass346 eine Vorionisationseinheit16 vorgeordnet, um z. B. mittels Oberflächengleitentladung eine Vorionisation des Arbeitsmediums zu erreichen. Durch diese Positionierung und die Tatsache, dass der restliche Bereich um die aktive Entladungseinheit31 durch geeignete Dichtungen, etwa O-Ringe, beim Zusammendrücken der äußeren Elektrodenplatten341 und342 abgedichtet werden kann, werden parasitäre Entladungen in diesen Bereichen vermieden. Die für die Vorionisation erforderliche Gaszufuhr erfolgt über ein Einlassrohr17 , die notwendige Spannungszuleitungen sind von einem Vorionisationsimpulsgenerator4 an die Vorionisationseinheit16 geführt. - Ein Impulsgenerator
5 zur Erzeugung der Hochspannung für die Gasentladungen in der Entladungseinheit31 ist mit den äußeren Elektrodenplatten341 und342 verbunden. Dabei ist es nützlich, wenn der Impulsgenerator5 teilweise mit der beweglichen äußeren Katodenplatte342 mitbewegt wird, um eine niederinduktive Ankopplung des Elektrodensystems3 an den Impulsgenerator5 zu gewährleisten. Vorzugsweise sind sogar Teile des Impulsgenerators5 , z. B. Kondensatoren, in das Revolverrad33 integriert (nicht gezeichnet). - Das Revolverrad
33 besteht – wie in3 als Draufsicht und im Axialschnitt dargestellt – aus zwei drehbaren Elektrodenplatten331 und332 , die über die Isolationsschicht333 starr miteinander verbunden sind. Die beiden Elektrodenplatten331 und332 bestehen mindestens in der Umgebung der Entladungseinheiten31 ,32 aus einem Metall oder einer Legierung mit hoher elektrischer Leitfähigkeit – und soweit für die unabhängige Funktion der Entladungseinheiten31 ,32 notwendig, zumindest stückweise aus einem isolierenden Bereich339 – und besitzen Bohrungen336 zur Aufnahme der Anoden311 und Katoden312 der Entladungseinheiten31 und32 . Es ist allerdings auch eine Sandwich-Struktur verschiedener Materialien realisierbar, wodurch (z. B. zur Gewichtsersparnis) nur einzelne Lagen eine hohe elektrische Leitfähigkeit besitzen. Zur Gewichtsersparnis ist es ebenfalls sinnvoll, Teile des Revolverrades33 z. B. als Speichen auszuführen. - Durch die Anbringung geeignet geformter Isolatorbereiche
339 kann der Strompfad vom Impulsgenerator5 zu Anode311 und Katode312 so definiert vorgegeben werden, dass der Strom möglichst symmetrisch zur optischen Achse2 fließt und der Strompfad niederinduktiv, d. h. so kurz wie möglich und mit großen Kontaktflächen bzw. Zuleitungen mit großen Querschnitten, ausgeführt ist. Dies wird – wie z. B. für die innere Anodenplatte331 in der Draufsicht von3 gezeigt – für jede der Entladungseinheiten31 ,32 durch Einsatz eines koaxial-ringförmigen isolierenden Bereichs339 realisiert, der konzentrisch zur optischen Achse2 der Entladungseinheit31 angeordnet ist und in dessen Innenraum die Stromzufuhr erfolgt. - Zur Einhaltung der notwendigen Toleranzen werden vor dem Einbau in das Revolverrad
33 die Entladungseinheit31 und damit die Einzelelektroden311 und312 gegenüber der Drehachse334 justiert und im Revolverrad33 befestigt, so dass sie nicht mehr unabhängig voneinander bewegt werden können, wie aus4 ersichtlich. Der Typ der eingesetzten Entladungseinheiten31 bzw.32 ist dabei beliebig wählbar und kann die gesamte Bandbreite bekannter Elektrodensystem-Typen (Z-Pinch-, Hohlkatoden-, Plasmafokus- und andere der o. g. Anordnungen) umfassen. - Die Drehung des Revolverrades
33 geschieht manuell oder durch einen Rotationsantrieb335 , der sich je nach Ausführung innerhalb oder außerhalb des Gehäuses34 befinden kann. Befindet sich der Rotationsantrieb335 außerhalb des Gehäuses34 , kommt eine Vakuumdurchführung für die Drehachse334 zum Einsatz. Die Drehachse334 , auf der das Revolverrad33 sitzt, kann dabei entweder auf einer oder auch auf beiden Seiten des Gehäuses34 gelagert sein. - Gemäß der Ausführung nach
3 beruhen die elektrische Kontaktierung der Entladungseinheiten31 und32 und deren gleichzeitige genaue Positionierung bezüglich der Kollektoroptik15 auf einer zusätzlichen linear beweglichen Lagerung des Revolverrades33 und der linear beweglichen äußeren Katodenplatte342 . Bevor das Revolverrad33 gedreht wird, wird die bewegliche äußere Katodenplatte342 von der äußeren Anodenplatte341 in Richtung der Drehachse334 wegbewegt, wie schematisch in1 dargestellt. Dabei wird auch das Revolverrad33 ausgerückt, so dass geeignete Zentrierstifte347 aus Zentrierlöchern337 herausbewegt und eine Drehung des Revolverrades33 mit deren Elektroden311 und312 möglich ist. Das Vakuum im Gehäuse34 wird dabei durch einen variablen Dichtbalg344 , z. B. Metallwellbalg, aufrechterhalten. Nach der Drehung werden die bewegliche äußere Katodenplatte342 und das Revolverrad33 linear zurückbewegt und nehmen dann die Stellung gemäß2 ein. Der elektrische Kontakt wird durch Anpressen der äußeren Anodenplatte341 an die innere Anodenplatte331 einerseits sowie andererseits der beweglichen äußeren Katodenplatte342 an die innere Katodenplatte332 des Revolverrades33 hergestellt. Das Anpressen wird durch das Vakuum im Gehäuse34 unterstützt. - Für das Anpressen und Lösen der äußeren Elektrodenplatten
341 ,342 an die bzw. von den inneren Elektrodenplatten331 ,332 ist es nicht notwendig, dass die gesamte äußere Katodenplatte342 bewegt wird. - Wie in einer Ausführung nach
5 dargestellt, ist eine Konfiguration realisierbar, bei denen nur ein zur optischen Achse2 symmetrischer Elektrodenteil348 der äußeren Katodenplatte342 bewegt werden muss. Bei dieser Ausführung ist das Gehäuse34 starr und weist eine Öffnung349 zum Einschieben des beweglichen Elektrodenteils348 auf. - Zur Realisierung der Bewegung des Revolverrades
33 gegen die äußere Anodenplatte341 und des beweglichen Elektrodenteils348 gegen das Revolverrad33 ist um die Öffnung349 des (in diesem Beispiel: starren) Gehäuses34 ein Wellbalg338 angeordnet, der die Vakuumabdichtung des starren Gehäuses34 bei Verschiebung des Elektrodenteils348 von der äußeren Katodenplatte342 ins Innere des Gehäuses34 gewährleistet. Der bewegliche Elektrodenteil348 ist dazu direkt mit dem Linearantrieb345 gekoppelt und vorzugsweise wiederum mit einer Vorionisationseinheit16 und einer niederinduktiven Ankopplung18 des Impulsgenerators5 ausgestattet. - In einem anderen Ausführungsbeispiel, wie in
6 gezeigt, wird der elektrische Kontakt6 zur aktiven Entladungseinheit31 dadurch hergestellt, dass bei einem Elektrodensystem3 mit unbeweglichem Gehäuse34 elastische Stempel61 gegen die inneren Anoden- und Katodenplatten331 und332 des Revolverrades33 gepresst werden. Diese Stempel61 bestehen z. B. aus zwei (um die optische Achse2 ) koaxialen metallischen Wellbälgen mit hoher elektrischer Leitfähigkeit, zwischen die unter hohem Druck ein Gas oder eine Flüssigkeit eingeleitet wird, um sie in Richtung der optischen Achse2 linear zu expandieren. Durch Ablassen des Gases oder der Flüssigkeit werden die Stempel61 dann wieder kontrahiert. Zur Erhöhung der elektrischen Leitfähigkeit können die Stempel61 außen oder innen mit einem flexiblen Geflecht eines Metalls mit hoher Leitfähigkeit, etwa Kupfer, versehen werden. In einer alternativen Ausführung können die Stempel61 auch mit einem Metall hoher Leitfähigkeit, etwa Kupfer, z. B. galvanisch beschichtet sein. - Die Stempel
61 werden direkt zur Kontaktierung der inneren Elektrodenplatten331 und332 verwendet, ohne dass eine der inneren oder äußeren Elektrodenplatten331 ,332 bzw.341 ,342 linear gegeneinander bewegt werden. Aus diesem Grund werden bewegliche, vorzugsweise pneumatische betätigte, Zentrierstifte347 verwendet, um diese in die Zentrierlöcher337 zur Positionierung und Arretierung des Revolverrades33 einzuschieben. - Eine weitere Art der niederinduktiven Kontaktierung ist im Beispiel nach
7 durch eine Anzahl flexibler Kabel62 (ohne Beschränkung der Allgemeinheit nur zwei gezeichnet) gezeigt. Die niederinduktive Kopplung wird insbesondere durch mehrere parallele Kabel62 erreicht werden. Die Kabel62 sind dabei so zu bemessen, dass sie fast eine komplette Umdrehung des Revolverrades33 ermöglichen, um jede der Entladungseinheiten31 ,32 in die Position der optischen Achse12 bewegen zu können. Die elektrische Kontaktierung im Sinne der Erfindung kann alternativ auch über Schleifkontakte oder Bäder mit flüssigem Metall (nicht dargestellt), in die die inneren Elektrodenplatten331 und332 eintauchen, hergestellt werden. - Für den Betrieb bei hoher Ausgangsleistung muss zumindest die gerade aktive Entladungseinheit
31 effektiv gekühlt werden. Das Kühlmittel selbst besitzt vorzugsweise eine hohe Wärmekapazität, einen hohen Siedepunkt, eine niedrige Viskosität sowie eine niedrige elektrische Leitfähigkeit. Solche Kühlmittel sind z. B. deionisiertes Wasser, Galden oder Öle niedriger Viskosität. - Dazu können prinzipiell bekannte Hochleistungskühlsysteme, z. B. Hochdruck-Kühlsysteme mit Einsätzen aus porösem Metall und geeigneten Kühlflüssigkeiten adaptiert werden. Diese Anpassungen betreffen im Wesentlichen den Anschluss der Kühlleitungen an das Revolverrad
33 . - Eine mögliche Realisierung des Kühlsystems
7 , wie in8 dargestellt, enthält koaxiale Kühlleitungen71 , die durch die Drehachse334 des Revolverrades33 verlaufen. Die Verteilung an die einzelnen Teilkühlkreisläufe der Entladungseinheiten31 ,32 geschieht durch geeignet innerhalb des Revolverrads33 verlaufende, von der Hauptzuleitung in der Drehachse334 abzweigende, Kühlleitungen72 im Revolverrad33 . Außen an der Drehachse334 zum Rotationsantrieb335 sind die Kühlmittelanschlüsse durch begrenzt mitdrehbare Anschlussleitungen73 (nicht detailliert gezeichnet) oder durch Drehdurchführungen74 , z. B. mit Radialwellendichtungen, verwirklicht. - Eine andere Ausführung des Kühlsystems
7 gemäß9 verwendet zum Anschluss des Kühlmittels kommerziell verfügbare Steckkupplungen75 , die ohne Austritt von Kühlflüssigkeit im Vakuum gelöst und wieder hergestellt werden können, um in die im Revolverrad33 integrierten Kühlkanäle76 den Kühlmittelumlauf zu gewährleisten. Um eventuelles Austreten von Kühlflüssigkeit von Vornherein auszuschließen, kann das Kühlsystem7 vor dem Lösen der Steckkupplungen75 mit einem Gas unter erhöhtem Druck (bevorzugt mit einem wasserfreien Gas) ausgespült bzw. ausgeblasen werden. - Des Weiteren ist auch Kühlmittelanschluss durch eine oder mehrere flexible Schlauchleitungen realisierbar in Analogie zu der in
7 für den elektrischen Anschluss gezeigten Art. Die Ankopplung geschieht dabei – wie in9 stilisiert dargestellt – beispielsweise mit Steckkupplungen75 an Kühlleitungen72 , wie sie in der Schnittdarstellung von3 unten für eine nicht in der optischen Achse2 befindliche Entladungseinheit32 gezeigt ist. - Für eine effiziente Wärmeabfuhr kann es nützlich (ökonomisch) sein, wenn durch geeignete Mechanismen sichergestellt wird, dass nur die aktive Entladungseinheit
31 gekühlt wird. Dies wird in einer Ausführung mit Steckkupplungen75 fast automatisch durch die Verwendung von separaten Teilkühlkreisläufen (siehe Kühlkanal72 in3 rechts unten) mit eigenen Steckkupplungen75 für die einzelnen Entladungseinheiten31 ,32 erreicht. - Für andere Ausführungen der Erfindung kann die Abtrennung der nicht benötigten Teilkühlkreisläufe z. B. durch von außen pneumatisch betätigte Ventile (nicht gezeigt) erfolgen, die sich z. B. durch externen Druck öffnen oder schließen lassen.
- Der Wartungsflansch
8 dient zum Auswechseln ausgebrannter Entladungseinheiten31 ,32 . Dies kann entweder aufeinanderfolgend auf dem gesamten Revolverrad33 im Ruhezustand der Strahlungsquelle1 geschehen oder – mit geeigneter vakuumtechnischer Separation (nicht gezeigt) einiger Entladungseinheiten32 – bei laufendem Betrieb der aktiven Entladungseinheit31 . -
- 1
- Strahlungsquelle
- 11
- Vakuumkammer
- 12
- Pumpsystem
- 13
- Plasma
- 14
- Debrisfiltersystem
- 15
- Kollektoroptik
- 16
- Vorionisationseinheit
- 17
- Einlassrohr
- 18
- niederinduktive Ankopplung
- 2
- optische Achse
- 3
- Elektrodensystem
- 31
- (aktive) Entladungseinheit
- 311
- Anode
- 312
- Katode
- 313
- Isolator
- 32
- (weitere) Entladungseinheiten
- 33
- Revolverrad
- 331
- innere Anodenplatte
- 332
- innere Katodenplatte
- 333
- Isolationsschicht
- 334
- Drehachse
- 335
- Rotationsantrieb
- 336
- Bohrung (zur Aufnahme der Entladungseinheit)
- 337
- Zentrierlöcher
- 338
- Wellbalg
- 339
- isolierende Bereiche
- 34
- Gehäuse
- 341
- äußere Anodenplatte
- 342
- äußere Katodenplatte
- 343
- isolierenden Bereichen
- 344
- Dichtbalg
- 345
- Linearantrieb
- 346
- Gaseinlass
- 347
- Zentrierstifte
- 348
- (beweglicher) Elektrodenteil
- 349
- Öffnung (des Elektrodengehäuses)
- 4
- Vorionisationsimpulsgenerator
- 5
- Impulsgenerator
- 6
- elektrischer Kontakt
- 61
- elastische Stempel
- 62
- flexible Kabel
- 7
- Kühlsystem
- 71
- Kühlleitungen in der Drehachse
- 72
- Kühlleitungen im Revolverrad
- 73
- mitdrehbare Anschlussleitungen
- 74
- Drehdurchführungen
- 75
- Steckkupplungen
- 76
- integrierte Kühlkanäle
- 8
- Wartungsflansch
Claims (39)
- Strahlungsquelle zur Erzeugung von extrem ultravioletter (EUV-)Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas mit einer Vielzahl von Entladungseinheiten, die jeweils eine Anode und eine Katode aufweisen und entlang einer Kreislinie um eine Drehachse rotierbar angeordnet sind, um sie nacheinander zur Erzeugung eines EUV-emittierenden Plasmas in eine optischen Achse der Strahlungsquelle zu bringen, dadurch gekennzeichnet, dass – eine erste und eine zweite innere Elektrodenplatte (
331 ,332 ) zur geordneten Anbringung einer Vielzahl von Anoden (311 ) und Katoden (312 ) vorhanden sind, wobei die beiden inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) über eine Isolationsschicht (333 ) fest miteinander verbunden, rotierbar gelagert sind und entsprechend der Anzahl der Entladungseinheiten (31 ,32 ) elektrisch leitende Bereiche aufweisen, und – eine erste und eine zweite äußere Elektrodenplatte (341 ,342 ) beiderseits der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) drehfest angeordnet sind, wobei mindestens ein Teil einer der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) in Richtung der Drehachse (334 ) derart verschiebbar ist, dass • in einer ersten Stellung mindestens der Teil der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ), der die in der optischen Achse (2 ) befindliche Entladungseinheit (31 ) umgibt, zwischen den äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) arretiert und elektrisch kontaktiert ist und • in einer zweiten Stellung die inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) für deren Drehung zum Austausch der in der optischen Achse befindlichen Entladungseinheit (31 ) gegen eine weitere der Entladungseinheiten (32 ) freigegeben sind. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die mit einer Vielzahl von Entladungseinheiten (
31 ,32 ) bestückten inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) ein kompaktes Revolverrad (33 ) bilden, bei dem nur die auf der optischen Achse (2 ) befindliche Entladungseinheit (31 ) aktiv ist. - Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Revolverrad (
33 ) mit geeigneten Ausnehmungen (336 ) zur Aufnahme der Entladungseinheiten (31 ,32 ) aus Anode (311 ), Katode (312 ) und dazwischen angeordnetem Isolator (313 ) versehen ist, wobei die Entladungseinheiten (31 ,32 ) durch die konstante relative Position von Anoden (311 ) und Katoden (312 ) definierte Entladungsräume darstellen, die innerhalb des Revolverrades (33 ) definiert angeordnet und einfach austauschbar sind. - Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Revolverrad (
33 ) einen Durchmesser aufweist, der an die Anzahl der Entladungseinheiten (31 ,32 ), die in Abhängigkeit von der gewünschten Lebensdauer der gesamten Entladungseinheiten (31 ,32 ) des Revolverrades (33 ) gewählt ist, angepasst ist. - Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Revolverrad (
33 ) vollständig in einem evakuierten Gehäuse (34 ) angeordnet ist, das durch die äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) und an deren Peripherie abgebrachte bewegliche Wände gebildet ist, wobei zur Vakuumabdichtung des beweglichen Gehäuses (34 ) an der Peripherie der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) mindestens ein Dichtbalg (344 ) vorgesehen ist. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die inneren Elektrodenplatten (
331 ,332 ) mindestens teilweise aus elektrisch und thermisch sehr gut leitendem Material bestehen, wobei mindestens um die Entladungseinheiten (31 ,32 ) isolierende Bereiche (339 ) so angeordnet sind, dass die einzelnen Entladungseinheiten (31 ,32 ) elektrisch voneinander getrennt sind. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die inneren und äußeren Elektrodenplatten (
331 ,332 ,341 ,342 ) zu einem Revolverrad zusammengefügt und als Sandwich-Struktur verschiedener Materialien ausgebildet sind, wobei nur einzelne Lagen eine hohe elektrische Leitfähigkeit besitzen. - Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass Strompfade zur Einkopplung der Impulsspannung in die Entladungseinheit (
31 ) innerhalb der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) und der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) mittels geeigneter isolierender Bereiche (339 ,343 ) definiert so vorgegeben sind, dass der Strom symmetrisch zur optischen Achse (2 ) der aktiven Entladungseinheit (31 ) und über große Kontaktflächen oder Zuleitungen mit großen Querschnitten auf möglichst kurzen Wegen die äußeren und inneren Elektrodenplatten (341 ,342 ,331 ,332 ) durchfließt. - Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die isolierenden Bereiche (
339 ,343 ) zur Definition der Strompfade koaxial zur optischen Achse (2 ) der Entladungseinheit (31 ) ausgeführt sind. - Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die inneren Elektrodenplatten (
331 ,332 ) Durchbrüche zur Gewichtsersparnis aufweisen. - Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die inneren Elektrodenplatten (
331 ,332 ) teilweise mit Speichen ausgeführt sind. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Kontaktierung der elektrisch leitenden Bereiche der inneren Elektrodenplatten (
331 ,332 ) durch Anpressen gegenüberliegender elektrischer Kontakte (6 ) der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) realisiert ist. - Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den äußeren Elektrodenplatten (
341 ,342 ) ein Vakuum herrscht, so dass der Anpressdruck der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) an die inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) verstärkt und der elektrische Kontakt (6 ) verbessert ist. - Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Kontaktierung über leitfähige elastische Stempel (
61 ) hergestellt ist. - Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Kontaktierung über federnde Schleifkontakte, die an den äußeren Elektrodenplatten (
341 ,342 ) befestigt sind, hergestellt ist. - Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Kontaktierung über federnde Schleifkontakte, die an den inneren Elektrodenplatten (
331 ,332 ) befestigt sind, hergestellt ist. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Kontaktierung der elektrisch leitenden Bereiche der inneren Elektrodenplatten (
331 ,332 ) mit den äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) über fest installierte flexible Kabel (62 ) realisiert ist. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Teil einer äußeren Elektrodenplatte (
341 ,342 ) in Richtung der Drehachse (334 ) verschiebbar ist, wobei mindestens eine vakuumdichte flexible Verbindung (344 ;338 ) zwischen den äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) angeordnet ist, um bei Bewegung in Richtung der Drehachse (334 ) das Vakuum zwischen den äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) aufrecht zu erhalten. - Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die vakuumdichte flexible Verbindung zwischen den äußeren Elektrodenplatten (
341 ,342 ) ein metallischer Dichtbalg (344 ;338 ) ist. - Anordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass zum Verschieben des mindestens einen Elektrodenteils (
348 ) einer der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) ein hydraulischer, pneumatischer oder elektrischer Linearantrieb (345 ) vorhanden ist. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein direkt an der Drehachse (
334 ) angreifender Rotationsantrieb (335 ) vorhanden ist, wobei dieser erst nach Verschieben mindestens einer äußeren Elektrodenplatte (341 ,342 ) in Richtung der Drehachse (334 ) und damit verbundenem Lösen der Presskontaktierung der äußeren mit den inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ;341 ,342 ) zum Drehen des Revolverrades (33 ) zuschaltbar ist. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Rotationsantrieb (
335 ) außerhalb des evakuierten Gehäuses (34 ) für das Revolverrad (33 ) angeordnet ist. - Anordnung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass zur Durchführung der Drehachse (
334 ) durch mindestens eine der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) hindurch eine spezielle Vakuumdurchführung vorhanden ist. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Rotationsantrieb (
335 ) innerhalb des evakuierten Gehäuses (34 ) für das Revolverrad (33 ) angeordnet ist. - Anordnung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Rotationsantrieb (
335 ) ein an der Peripherie des Revolverrades (33 ) angreifender Direktantrieb ist. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an gegenüberliegenden Oberflächen der inneren und äußeren Elektrodenplatten (
331 ,332 ;341 ,342 ) einerseits konische Zentrierungsstifte (347 ) und andererseits entsprechende Zentrierlöcher (337 ) zur Ausrichtung der aktiven Entladungseinheit (31 ) in der optischen Achse (2 ) vorhanden sind, um die aktive Entladungseinheit (31 ) nach Drehung des Revolverrades (33 ) in der optischen Achse (2 ) der Strahlungsquelle (1 ) zu justieren und zu fixieren. - Anordnung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass die Zentrierungsstifte (
347 ) parallel zur Richtung der Drehachse (334 ) beweglich sind. - Anordnung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass die Zentrierungsstifte (
347 ) pneumatisch beweglich sind. - Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Drehen des Revolverrades (
33 ) zum Wechseln der in der optischen Achse (2 ) befindlichen Entladungseinheit (31 ) nach Ablauf ihrer Lebensdauer innerhalb einer Belichtungspause der Strahlungsquelle (1 ) vorgesehen ist. - Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass in einem von der in der optischen Achse (
2 ) aktiven Entladungseinheit (31 ) abgewandten Bereich einer der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) ein Wartungsflansch (8 ) für einen Eingriffsmechanismus vorhanden ist, der für Wartung oder Austausch von verschlissenen Entladungseinheiten (32 ) vorgesehen ist, wobei dieser Bereich elektrisch und vakuumtechnisch vom Bereich der aktiven Entladungseinheit (31 ) der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) abgetrennt ist. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Teil des Impulsgenerators (
5 ) außerhalb äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) angeordnet ist und zusammen mit einer der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) in Richtung der Drehachse (334 ) verschiebbar ist, um eine niederinduktive Ankopplung (18 ) an die Entladungseinheiten (31 ,32 ) herzustellen. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vorionisationseinheit (
4 ) außerhalb der äußeren Elektrodenplatten (341 ,342 ) entlang der verlängerten optische Achse (2 ) entgegengesetzt zu Kollektoroptik (15 ) und Debrisfiltersystem (14 ) der Strahlungsquelle (1 ) angeordnet ist. - Anordnung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, dass die aktive Entladungseinheit (
31 ) einen Gaseinlass (346 ) für die Zufuhr des Arbeitsmediums aufweist, der sich in der äußeren Elektrodenplatte (341 ,342 ) entlang der rückwärtig verlängerten optischen Achse (2 ) befindet. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens die aktive Entladungseinheit (
31 ) von Kühlflüssigkeit durchströmt ist, wobei die Kühlkanäle (72 ,76 ) mindestens innerhalb der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) angeordnet sind. - Anordnung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass für die Kühlmittelzufuhr zu den Kühlleitungen (
72 ,76 ) der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) Kühlleitungen (71 ) in der Drehachse (334 ) angeordnet sind. - Anordnung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass für die Kühlmittelzufuhr zu den Kühlleitungen (
72 ,76 ) der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) starre Kühlleitungen durch das Vakuum geführt sind, wobei eine Kühlleitungsverbindung durch Anpressen der starren Kühlleitungen an die entsprechenden Öffnungen der innerhalb der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) angeordneten Kühlkanäle (72 ,76 ) vorgesehen ist. - Anordnung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass für die Kühlmittelzufuhr zu den Kühlleitungen (
72 ,76 ) der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) flexible Kühlleitungen durch das Vakuum geführt sind, wobei eine Kühlmittelübertragung durch Steckkupplungen (75 ) an entsprechende Öffnungen der innerhalb der inneren Elektrodenplatten (331 ,332 ) angeordneten Kühlkanäle (72 ,76 ) vorgesehen ist. - Anordnung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlflüssigkeit niedrige Viskosität, geringe elektrische Leitfähigkeit und hohe Wärmekapazität aufweist.
- Anordnung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlflüssigkeit deionisiertes Wasser, Galden oder ein niederviskoses Öl ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200610022823 DE102006022823B4 (de) | 2006-05-12 | 2006-05-12 | Anordnung zur Erzeugung von EUV-Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200610022823 DE102006022823B4 (de) | 2006-05-12 | 2006-05-12 | Anordnung zur Erzeugung von EUV-Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102006022823A1 DE102006022823A1 (de) | 2007-11-22 |
DE102006022823B4 true DE102006022823B4 (de) | 2010-03-25 |
Family
ID=38607837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200610022823 Expired - Fee Related DE102006022823B4 (de) | 2006-05-12 | 2006-05-12 | Anordnung zur Erzeugung von EUV-Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102006022823B4 (de) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Publication date |
---|---|
DE102006022823A1 (de) | 2007-11-22 |
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R082 | Change of representative |
Representative=s name: PATENTANWAELTE OEHMKE UND KOLLEGEN, 07743 JENA, DE Representative=s name: PATENTANWAELTE OEHMKE UND KOLLEGEN, DE |
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R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA, JP Free format text: FORMER OWNER: XTREME TECHNOLOGIES GMBH, 37077 GOETTINGEN, DE Effective date: 20110712 |
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Representative=s name: PATENTANWAELTE OEHMKE UND KOLLEGEN, DE Effective date: 20110712 |
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R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA, JP Free format text: FORMER OWNER: XTREME TECHNOLOGIES GMBH, 52074 AACHEN, DE Effective date: 20131114 |
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Representative=s name: PATENTANWAELTE OEHMKE UND KOLLEGEN, DE Effective date: 20131114 |
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