DE10117291A1 - Variabler Induktor - Google Patents

Abstract

Ein variabler Induktor umfaßt eine externe Eingangselektrode, eine externe Ausgangselektrode und eine Spule, die durch elektrisches Schalten zumindest zweier Spiralspulenstrukturabschnitte in Reihe zwischen die externe Eingangselektrode und die externe Ausgangselektrode gebildet ist. Zumindest eine Trimmelektrode ist ferner in jedem der Spiralspulenstrukturabschnitte vorgesehen. Ein Ende und das andere Ende jeder Trimmelektrode ist mit dem Spiralspulenstrukturabschnitt bzw. einer Herausführungselektrode verbunden, so daß die Trimmelektrode die Herausführungselektrode und die Spule brückenmäßig verbindet. Die Trimmelektroden sind aufeinanderfolgend, eine nach der anderen, getrimmt, wie z.B. durch Bestrahlen mit einem Laserstrahl, beginnend mit einer Trimmelektrode, die näher an einer Kante ist, wodurch die Induktivität der Spule entsprechend erhöht wird.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf variable Induktoren und insbesondere auf einen variablen Induktor zur Verwendung bei mobilen Kommunikationsgeräten.

Elektronische Geräte, die kompakt sein sollen, insbesondere mobile Kommunikationsgeräte, wie z. B. Mobiltelefone und Auto­ telefone, benötigen kompakte Komponenten, die in ihnen einge­ baut sind. Ferner wird, da die Frequenz, die ein Gerät ver­ wendet, höher wird, die Schaltung komplizierter und eine nur schmale Abweichung und eine strikte Toleranz werden für die Komponenten, die in sie eingebaut sind, benötigt. Tatsächlich weist jedoch jede Komponente die Abweichung auf und es kann sein, daß eine Schaltung, bei der solche Komponenten ledig­ lich angebracht sind, nicht korrekt betrieben werden kann. Um eine solche Unannehmlichkeit zu vermeiden, sind Verfahren entwickelt worden, bei denen variable Komponenten für einige der Komponenten, die die Schaltung bilden, verwendet werden, derart, daß die variablen Komponenten fein eingestellt sind, um die Schaltung korrekt zu betreiben. Ein Verfahren besteht darin, variable Induktoren zu verwenden, üblicherweise einen Induktor mit einem Induktivitätseinstellabschnitt (Trimm- bzw. Abstimmstrukturabschnitt).

Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht eines exemplarischen variablen Induktors 1, der einen Induktivitätseinstellab­ schnitt aufweist. Der variable Induktor 1 umfaßt eine Spiral­ spule 3, die an der Oberfläche eines isolierenden Substrates 2 gebildet ist. Der Induktivitätseinstellabschnitt besteht aus einer Mehrzahl von Trimmelektroden 4, die in einer Lei­ terform angeordnet sind, und befindet sich in einem Bereich, der durch die Spule 3 definiert ist. Ein Ende 3a der Spule 3 ist elektrisch mit einer externen Elektrode 7 verbunden, das andere Ende 3b erstreckt sich über einen Isolatorfilm 5 und ist elektrisch mit einer externen Elektrode 8 verbunden. Die Trimmelektroden 4 werden aufeinanderfolgend, eine nach der anderen, getrimmt, wie z. B. durch Bestrahlen mit einem Laser­ strahl von oberhalb des variablen Induktors 1, so daß die In­ duktivität zwischen der externen Elektrode 7 und der externen Elektrode 8 stufenweise fein eingestellt werden kann.

Fig. 9 ist eine perspektivische Ansicht eines weiteren her­ kömmlichen variablen Induktors 11. Der Induktor 11 umfaßt ei­ ne Spiralspule 13, die an der Oberfläche eines isolierenden Substrates 12 gebildet ist. Ein Induktivitätseinstellab­ schnitt besteht aus Trimmelektroden 14a bis 14d, wobei die Trimmelektroden 14a bis 14d auf halbem Weg der Spule 13 zu der Außenseite eines Bereiches geführt sind, der durch die Spule 13 definiert wird. Die Trimmelektroden 14c und 14d be­ finden sich auf Isolatorfilmen 15 bzw. 15b. Ein Ende 13a der Spule 13 ist elektrisch mit einer externen Elektrode 17 ver­ bunden, das andere Ende 13b erstreckt sich über einen Isola­ torfilm 15c und ist elektrisch mit einer externen Elektrode 18 verbunden. Die Trimmelektroden 14a bis 14d werden aufein­ anderfolgend, eine nach der anderen, getrimmt, so daß die In­ duktivität zwischen der externen Elektrode 17 und der exter­ nen Elektrode 18 eingestellt werden kann.

Der variable Induktor 1, der in Fig. 8 dargestellt ist, weist jedoch einen kleinen Bereich auf, in dem der Induktivitäts­ einstellabschnitt angeordnet ist, wodurch ein kleiner variab­ ler Bereich für die Induktivität geschaffen wird, was es schwierig macht, einen variablen Induktivitätsbereich, der für eine Schaltungseinstellung benötigt wird, zu erlangen. Dies ist so, weil ein Vergrößern des Bereiches, in dem der Induktivitätseinstellabschnitt angeordnet ist, um einen benö­ tigten variablen Bereich zu erhalten, eine Kompaktheit des Induktors verhindert. Ferner ist der variable Induktor 1 ent­ worfen, so daß die Elektroden 4 in einem Bereich angeordnet sind, der durch die Spule 3 definiert wird, wobei die Elek­ troden 4 Hindernisse für ein Magnetfeld werden, das durch die Spule 3 erzeugt wird. Als ein Ergebnis tritt ein Problem auf, daß der Q-Faktor des Induktors 1 reduziert ist.

Andererseits wird bei dem variablen Induktor 11 aus Fig. 9 die Induktivität pro Windung eingestellt, und die Induktivi­ tät ist nicht fein eingestellt. So gab es, selbst wenn der variable Induktor die optimale Induktivität für eine Schal­ tungseinstellung in dem variablen Bereich derselben umfaßt, einen Fall, bei dem der optimale Wert nicht erhalten werden konnte. Zusätzlich macht es der variable Induktor 11 schwer, die Trimmelektroden 14a bis 14d mit einem im wesentlichen einheitlichen Abstand der Spulenlänge zu verbinden, was zu einer Schwierigkeit führt, die Induktivität stufenweise mit einem im wesentlichen konstanten Wert fein einzustellen. Fer­ ner ist, da die Trimmelektroden 14a bis 14d nicht in einer Reihe in der Trimmreihenfolge angeordnet sind, der Trimmvor­ gang beschwerlich, was für eine Massenproduktion nicht geeig­ net ist.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen varia­ blen Induktor zu schaffen, der leichter einstellbar ist.

Diese Aufgabe wird durch einen variablen Induktor gemäß An­ spruch 1 gelöst.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß sie einen variablen Induktor schafft, der einen hohen Q-Faktor und einen breiten variablen Bereich der Induktivität auf­ weist, der leicht fein eingestellt werden kann.

Zu diesem Zweck umfaßt ein variabler Induktor gemäß der vor­ liegenden Erfindung folgende Merkmale: eine externe Eingangs­ elektrode und eine externe Ausgangselektrode; eine Spule, die durch elektrisches Schalten zumindest zweier Spiralspulen­ strukturabschnitte in Reihe zwischen die externe Eingangs­ elektrode und die externe Ausgangselektrode gebildet ist; zu­ mindest eine Trimmelektrode, die in jedem der zumindest zwei Spiralspulenstrukturabschnitten vorgesehen ist, wobei bei je­ der Trimmelektrode ein Ende mit dem Spiralspulenstrukturab­ schnitt verbunden ist; und eine Herausführungselektrode, die mit dem anderen Ende jeder Trimmelektrode verbunden ist, wo­ bei die Herausführungselektrode entweder mit der externen Eingangselektrode oder der externen Ausgangselektrode verbun­ den ist.

Vorzugsweise sind die Trimmelektroden, die in einer Reihe an­ geordnet sind, mit den Spiralspulenstrukturabschnitten ver­ bunden, derart, daß die Trimmelektroden nacheinander, begin­ nend mit einer Trimmelektrode an einem Ende, unterbrochen bzw. durchgeschnitten werden, wodurch die Induktivität der Spule entsprechend erhöht wird.

Folglich sind zumindest zwei Spiralspulenstrukturabschnitte elektrisch in Reihe zwischen die externe Eingangselektrode und die externe Ausgangselektrode geschaltet, um eine Spule zu bilden, wobei die Trimmelektroden in der Trimmreihenfolge angeordnet sein können. Dies erleichtert den Trimmvorgang und vermeidet eine solche Unannehmlichkeit wie irrtümliches Schneiden während des Trimmens, wodurch ein zuverlässigeres Trimmen geschaffen wird. Dies ermöglicht ferner einen breite­ ren variablen Induktivitätsbereich, der für eine Schaltungs­ einstellung benötigt wird. Die Trimmelektroden werden aufein­ anderfolgend, eine nach der anderen, getrimmt (durchgeschnit­ ten), so daß die Induktivität der Spule stufenweise mit einem konstanten Wert fein eingestellt werden kann.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines variablen Induk­ tors gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegen­ den Erfindung;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht des variablen Induk­ tors, der während eines nächsten Verfahrens herge­ stellt wird;

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht des variablen Konduk­ torelements, das während eines nächsten Verfahrens hergestellt wird;

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht des äußeren Erscheinungsbildes des resultierenden variablen Induktors gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht, die anzeigt, daß ei­ nige der Trimmelektroden getrimmt sind, so daß die Induktivität des variablen Induktors, der in Fig. 4 dargestellt ist, eingestellt werden kann;

Fig. 6 einen Graph, der einen variablen Induktivitätsbe­ reich des variablen Induktors aus Fig. 4 zeigt;

Fig. 7 eine Draufsicht einer Modifizierung des variablen Induktors gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht eines herkömmlichen variablen Induktors; und

Fig. 9 eine perspektivische Ansicht eines weiteren her­ kömmlichen Induktors.

Bezugnehmend auf Fig. 1 sind eine Spule 22 und eine Heraus­ führungselektrode 25 an der oberen Oberfläche eines isolie­ renden Substrates 21, das poliert wurde, um glatt zu sein, durch ein Dickfilmdrucken oder Dünnfilmbilden, wie z. B. Zer­ stäuben (Sputtern) und Aufbringung, gebildet.

Dickfilmdrucken ist ein Verfahren, das das Bereitstellen ei­ nes Siebs, das z. B. Öffnungen in einer gewünschten Struktur aufweist, über der oberen Oberfläche des isolierenden Sub­ strates 21 und das Aufbringen einer leitfähigen Paste auf das Sieb umfaßt, um relativ dicke Leiter (bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Spule 22 und die Herausführungselek­ trode 25) in einer gewünschten Struktur bei Abschnitten der oberen Oberfläche des isolierenden Substrates 21 zu bilden, die von den Öffnungen in dem Sieb freiliegen.

Dünnfilmbilden kann ein unten beschriebenes Verfahren umfas­ sen. Ein relativ dünner leitfähiger Film wird auf im wesent­ lichen der gesamten oberen Oberfläche des isolierenden Sub­ strates 21 gebildet und ein Resistfilm, wie z. B. ein licht­ empfindlicher Harzfilm, wird dann auf im wesentlichen dem ge­ samten leitfähigen Film durch Aufschleuderbeschichten (Spin­ coating) oder Drucken gebildet. Ein Maskenfilm, der eine vor­ bestimmte Abbildungsstruktur aufweist, überlagert die obere Oberfläche des Resistfilms und ein gewünschter Abschnitt des Resistfilms wird dann haltbar gemacht, indem er z. B. UV- Strahlen ausgesetzt wird. Der Resistfilm wird abgelöst, wobei der haltbar gemachte Abschnitt zurückbleibt, und der freilie­ gende Abschnitt des leitfähigen Films wird entfernt, um einen Leiter (bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Spule 22 und die Herausführungselektrode 25) in einer gewünschten Struktur zu bilden. Danach wird der haltbar gemachte Re­ sistfilm entfernt.

Eine weitere mögliche Bildung kann ein Verfahren sein, das das Aufbringen einer lichtempfindlichen leitfähigen Faste auf die obere Oberfläche des isolierenden Substrates 21 und das Abdecken derselben mit einem Maskenfilm, der eine vorbestimm­ te Abbildungsstruktur aufweist, gefolgt von Belichtung und Entwicklung, umfaßt.

Die Spule 22 ist durch elektrisches Schalten zweier Spiral­ spulenstrukturabschnitte 23 und 24 in Reihe gebildet. Die Spulenstrukturabschnitte 23 und 24 sind Seite an Seite in der longitudinalen Richtung des isolierenden Substrates 21 ange­ ordnet. Ein Ende der Herausführungselektrode 25 liegt auf der rechten Seite des isolierenden Substrates 21 frei, wie in Fig. 1 ersichtlich ist.

Die Materialien des isolierenden Substrates 21 umfassen Glas, Glaskeramik, Aluminiumoxid, Ferrit, Si und SiO₂. Die Materia­ lien der Spule 22 und der Herausführungselektrode 25 umfassen Ag, Ag-Pd, Cu, Ni, und Al.

Bezugnehmend auf Fig. 2 ist ein isolierender Schutzfilm 30 gebildet, der Öffnungen 30a bis 30l aufweist. Insbesondere wird die gesamte obere Oberfläche des isolierenden Substrates 21 durch Aufschleuderbeschichten oder Drucken mit einem flüs­ sigen isolierenden Material überzogen, das dann getrocknet und gebrannt wird, um den isolierenden Schutzfilm 30 zu bil­ den. Die isolierenden Materialien, die hier verwendet werden, umfassen ein lichtempfindliches Polyimidharz und eine licht­ empfindliche Glaspaste. Dann überlagert ein Maskenfilm, der eine vorbestimmte Abbildungsstruktur aufweist, die obere Oberfläche des isolierenden Schutzfilms 30 und der gewünschte Abschnitt des isolierenden Schutzfilms 30 wird haltbar ge­ macht, indem er z. B. UV-Strahlen ausgesetzt wird. Der nicht haltbar gemachte Teil des isolierenden Schutzfilms 30 wird dann entfernt, so daß die Öffnungen 30a bis 30l erscheinen können. Freiliegend in der Öffnung 30a ist ein Ende 22a der Spule 22, die sich in dem Spiralspulenstrukturabschnitt 23 befindet. Das andere Ende 22b der Spule 22, die sich in dem Spiralspulenstrukturabschnitt 24 befindet, liegt in der Öff­ nung 30g frei. Vorbestimmte Abschnitte der Spule 22 wiederum liegen in den Öffnungen 30b bis 30f frei und vorbestimmte Ab­ schnitte der Herausführungselektrode 25 in den Öffnungen 30h bis 30l.

Bezugnehmend auf Fig. 3 sind Trimmelektroden 31a bis 31e und Herausführungselektroden 35 und 36 durch Dickfilmdrucken oder Dünnfilmbilden, wie z. B. Zerstäuben und Aufbringung, gebil­ det, ähnlich dem Fall, bei dem die Spule 22 gebildet wird. Die Herausführungselektrode 35 ist elektrisch mit dem Ende 22a der Spule 22 über die Öffnung 30a in dem isolierenden Schutzfilm 30 verbunden. Die Herausführungselektrode 36 ist elektrisch mit dem Ende 22b der Spule 22 über die Öffnung 30g verbunden. Ebenso sind die einen Enden der Trimmelektroden 31a bis 31e elektrisch mit den vorbestimmten Abschnitten der Spule 22 über die jeweiligen Öffnungen 30b bis 30f in dem isolierenden Schutzfilm 30 verbunden. Die anderen Enden der Trimmelektroden 31a bis 31e sind elektrisch mit den vorbe­ stimmten Abschnitten der Herausführungselektrode 25 über die jeweiligen Öffnungen 30h bis 30l verbunden.

Wie in Fig. 3 zu sehen ist, sind die Trimmelektroden 31a bis 31e in einer Reihe in einer Leiterform an der hinteren Seite des isolierenden Substrates 21 angeordnet, d. h. an der Seite der Spule 22 angeordnet, um die Herausführungselektrode 25 und die Spule 22 brückenmäßig zu verbinden. Die Herausfüh­ rungselektrode 35 liegt auf der linken Seite des isolierenden Substrates 21 frei, während die Herausführungselektrode 36 auf der rechten Seite des isolierenden Substrates 21 frei­ liegt.

Wie in Fig. 4 gezeigt, wird die gesamte obere Oberfläche des isolierenden Substrates 21 durch Aufschleuderbeschichten oder Drucken mit dem flüssigen isolierenden Material überzogen, wobei das Ergebnis getrocknet und gebrannt wird, so daß der isolierende Schutzfilm 30 die Trimmelektroden 31a bis 31e und die Herausführungselektroden 35 und 36 überlagert. Dann sind externe Elektroden 37 und 38 an den Enden des isolierenden Substrates 21 in der longitudinalen Richtung gebildet. Die externe Elektrode 37 ist elektrisch mit der Herausführungs­ elektrode 35 verbunden und die externe Elektrode 38 ist elek­ trisch mit den Herausführungselektroden 25 und 36 verbunden. Die externen Elektroden 37 und 38 sind durch Aufbringen einer leitfähigen Paste aus Ag, Ag-Pd, Cu, NiCr, NiCu, Ni oder der­ gleichen und durch Brennen des Ergebnisses, gefolgt von elek­ trolytischem Naß-Typ-Plattieren, gebildet, um Metallfilme aus Ni, Sn, Sn-Pb oder dergleichen zu bilden. Die externen Elek­ troden 37 und 38 können andernfalls durch Zerstäuben oder Aufbringung gebildet werden.

Der erhaltene variable Induktor 39 umfaßt eine Schaltung, in der die Spule 22 und der Induktivitätseinstellabschnitt (die Trimmelektroden 31a bis 31e) elektrisch auf dem isolierenden Substrat 21 verbunden sind. Da nur ein Bruchteil der Trimm­ elektroden 31a bis 31e in dem Bereich auf dem Substrat 21, der durch die Spule 22 definiert ist, angeordnet ist, wird das Magnetfeld, das durch die Spule 22 erzeugt wird, weniger durch die Trimmelektroden 31a bis 31e blockiert. Deshalb wird der Induktor 39 mit einem hohen Q-Faktor erreicht.

Nachdem der variable Induktor 30 an einer gedruckten Platine oder dergleichen angebracht ist, werden die Trimmelektroden 31a bis 31e getrimmt. Insbesondere wird, z. B. durch Bestrah­ len mit einem Laserstrahl von oberhalb des variablen Induk­ tors 39, wie in Fig. 5 gezeigt, eine Trimmrille 40 in dem va­ riablen Induktor 39 gebildet. Die Trimmelektroden 31a bis 31e werden aufeinanderfolgend, eine nach der anderen, in der Rei­ henfolge durchgeschnitten, die mit der Trimmelektrode 31a, die sich an einem Ende befindet, beginnt, usw. Es wird ange­ merkt, daß Fig. 5 zeigt, daß die zwei Trimmelektroden 31a und 31b durchgeschnitten sind. So kann die Induktivität zwischen den externen Elektroden 37 und 38 stufenweise mit einem kon­ stanten Wert nach und nach erhöht werden.

Fig. 6 ist ein Graph, der das Meßergebnis bei einer Indukti­ vitätsänderung bezüglich des variablen Induktors 39 zeigt, der Abmessungen von 2,0 mm × 1,25 mm aufweist, wie durch die durchgezogenen Linie 45 angezeigt. Zum Vergleich wird in Fig. 6 das Meßergebnis bei dem herkömmlichen variablen Induktor 11, der in Fig. 9 dargestellt ist, durch die gestrichelte Li­ nie 46 gezeigt. Der variable Induktor 39 des vorliegenden Ausführungsbeispiels weist einen breiten variablen Bereich von einer niedrigen Induktivität von ca. 3 nH bis zu einer hohen Induktivität von ca. 15 nH auf. Im Gegensatz dazu weist der herkömmliche variable Induktor 11 einen schmaleren varia­ blen Bereich einer relativ hohen Induktivität von ca. 9 bis 15 nH auf.

Da der variable Induktor 39 mit der Spule 22 ausgestattet ist, die aus zwei Spiralspulenstrukturabschnitten 23 und 24 gebildet ist, mit denen die Trimmelektroden 31a und 31b bzw. 31d und 31e verbunden sind, können die Trimmelektroden 31a bis 31e in der Trimmreihenfolge angeordnet sein, wodurch der Trimmvorgang erleichtert wird. Zusätzlich können die Trimm­ elektroden 31a bis 31e mit einem im wesentlichen einheitli­ chen Abstand der Spulenlänge verbunden sein, wodurch die In­ duktivität schrittweise, nämlich linear, mit einem im wesent­ lichen konstanten Wert feineingestellt werden kann.

Um die Induktivität feiner einzustellen, kann die Zahl der Trimmelektroden 31a bis 31e erhöht werden. Die Trimmelektro­ den 31a bis 31e werden nicht nur mit einem Laserstrahl, son­ dern mit irgendeiner Einrichtung, wie z. B. Sandstrahlen, ge­ trimmt. Es genügt, wenn jede der Trimmelektroden 31a bis 31e elektrisch durchgeschnitten wird, wobei es sein kann, daß die Trimmrille 40 keine physisch ausgenommene Konfiguration auf­ weist. Insbesondere kann, wenn der isolierende Schutzfilm 30 aus Glas oder Glaskeramik besteht, wegen der Bestrahlung mit Laserstrahlen geschmolzenes Glas in die getrimmten Abschnitte eindringen, um Schutzfilme nach dem Trimmen zu bilden. Dies verhindert, daß getrimmte Elektrodenabschnitte freiliegen.

Der variable Induktor gemäß der vorliegenden Erfindung ist nicht auf das gezeigte Ausführungsbeispiel beschränkt, wobei eine Vielzahl von Modifizierungen gemacht werden kann, ohne von der Wesensart und dem Schutzbereich der Erfindung abzu­ weichen.

Jede Zahl von Spiralspulenstrukturabschnitten, jedoch mehr als eine, die eine Spule bilden, kann angenommen werden, wo­ bei die Spule 22 z. B. aus drei Spiralspulenstrukturabschnit­ ten 54, 55 und 56 gebildet sein kann, die elektrisch in Reihe geschaltet sind, wie in Fig. 7 dargestellt. In Fig. 7 sind acht Trimmelektroden 31a bis 31h und Relaisstrukturabschnitte 61 und 62, durch die die Spulenstrukturabschnitte 54 bis 56 in Reihe geschaltet sind, gezeigt. Eine Herausführungselek­ trode 63 wird verwendet, um die Spule 22 mit der externen Elektrode 38 zu verbinden. Folglich kann durch eine erhöhte Zahl von Spiralspulenstrukturabschnitten die Induktivität feiner eingestellt werden.

Es ist nicht notwendig, die Trimmelektroden 31a bis 31h mit allen Spulenstrukturabschnitten 54 bis 56 zu verbinden, wobei z. B. die Trimmelektroden 31g und 31h weggelassen werden kön­ nen, so daß keine Trimmelektrode mit dem Spulenstrukturab­ schnitt 56 verbunden ist.

Die gezeigten Ausführungsbeispiele wurden bezüglich des Falls der Einzelproduktion beschrieben. Für eine Massenproduktion umfaßt ein effektiver Lösungsansatz das Herstellen einer Mut­ terplatine (Wafer), die eine Mehrzahl von variablen Indukto­ ren aufweist, und das Schneiden der Mutterplatine für alle Produktabmessungen in Stücke durch Techniken, wie z. B. Ver­ einzeln, Ritzen und Brechen, und unter Verwendung eines La­ sers während der letzten Stufe.

Der variable Induktor kann auch entworfen sein, so daß eine gedruckte Platine, auf der eine Schaltungsstruktur gebildet wurde, mehr als eine Spiralspulenstruktur aufweist, die di­ rekt darauf gebildet ist.

Claims (3)

1. Variabler Induktor (39) mit folgenden Merkmalen:
einer externen Eingangselektrode (37);
einer externen Ausgangselektrode (38);
einer Spule (22), die durch elektrisches Schalten zumin­ dest zweier Spiralspulenstrukturabschnitte (23, 24, 54, 55, 56) in Reihe zwischen die externe Eingangselektrode und die externe Ausgangselektrode gebildet ist;
zumindest einer Trimmelektrode (31a bis 31l), die in je­ dem der zumindest zwei Spiralspulenstrukturabschnitten vorgesehen ist, wobei ein Ende jeder Trimmelektrode mit dem Spiralspulenstrukturabschnitt (23, 24, 54, 55, 56) verbunden ist; und
einer Herausführungselektrode (25, 35, 36, 63), die mit dem anderen Ende jeder Trimmelektrode verbunden ist, wobei die Herausführungselektrode (25, 35, 36, 63) ent­ weder mit der externen Eingangselektrode oder der exter­ nen Ausgangselektrode verbunden ist.

2. Variabler Induktor (39) gemäß Anspruch 1, bei dem die Trimmelektroden (31a bis 31l) in einer Reihe angeordnet sind.

3. Variabler Induktor (39) gemäß Anspruch 2, bei dem die Trimmelektroden (31a bis 31l), die in einer Reihe ange­ ordnet sind, mit den Spiralspulenstrukturabschnitten (23, 24, 54, 55, 56) verbunden sind, derart, daß die Trimmelektroden aufeinanderfolgend, beginnend mit einer Trimmelektrode an einem Ende, durchgeschnitten sind, wo­ bei die Induktivität der Spule (22) entsprechend erhöht ist.