DE10114645C1 - Resistiver Sauerstoffsensor - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft einen resistiven Sauerstoffsensor mit einer sauerstoffsensitiven Sensorfunktionsschicht auf der Basis komplexer Metalloxide der allgemeinen Formel DOLLAR A LaCu¶1-x¶Fe¶x¶O¶3-y¶, wobei DOLLAR A La für Lanthan, DOLLAR A Cu für Kupfer, DOLLAR A Fe für Eisen, DOLLAR A O für Sauerstoff, DOLLAR A x für eine Zahl größer als ein Zehntel und kleiner oder gleich fünf Zehntel, d. h. 0,1 < x < 0,5, und DOLLAR A y für das Sauerstoffdefizit, das sich je nach Zusammensetzung aus der Elektroneutralitätsbedingung einstellt, steht.
Description
Die Erfindung betrifft einen resistiven Sauerstoffsensor.
Immer schärfere Abgasgrenzwerte verbunden mit dem Druck zur Reduzierung des
Kraftstoffverbrauches zwingen die Automobilhersteller zu neuen Konzepten für Ver
brennungskraftmaschinen. Es zeigt sich, dass die beiden o. g. Forderungen am be
sten bei einem Betrieb mit Luftüberschuss (Luftzahl λ < 1) miteinander in Einklang
gebracht werden können. Derartige moderne "Magerkonzepte" erfordern eine präzise
Kenntnis des Sauerstoffgehaltes des Abgases. Das Prinzip der herkömmlichen po
tentiometrischen λ-Sonde kann nur mit großem Aufwand für hohe Sauerstoffkonzen
trationen, wie sie in solch magerem Abgas vorkommen, ausgelegt werden.
Um auch im mageren Bereich den Sauerstoffgehalt des Abgases messen zu können,
wurde zum Beispiel in der EP 0 191 627 A1, in der DE 38 41 611 A1 sowie von [1]
vorgeschlagen, amperometrische Sonden nach dem Grenzstromprinzip ("Grenz
stromsonde") aus einem sauerstoffionenleitenden Werkstoff aufzubauen.
Es besteht aber nach der DE-OS 23 34 044 sowie gemäß [2] auch die Möglichkeit,
die Sauerstoffpartialdruckabhängigkeit der elektrischen Leitfähigkeit eines metalloxi
dischen Werkstoffes als Sensoreffekt auszunutzen, und daraus einen Sensor herzu
stellen, aus dessen elektrischem Widerstand R auf den Sauerstoffpartialdruck pO2
des Abgases und daraus auf den Sauerstoffgehalt im Abgas geschlossen werden
kann.
Besonders gründlich wurden dotiertes Titanoxid (TiO2) und Strontiumtitanat (SrTiO3)
untersucht (DE 37 23 051 A1, [2]), da solche Titanoxide aufgrund ihrer chemischen
Stabilität den rauhen Betriebsbedingungen im Abgasstrang eines Verbrennungsmo
tors standhalten können.
Jedoch besitzen Sensoren aufgebaut aus diesen Verbindungen - wie auch aus den
meisten anderen Metalloxiden - eine sehr starke Temperaturabhängigkeit des elektri
schen Widerstandes, die eine aufwendige Heizungsregelung verbunden mit umfang
reichen konstruktiven Maßnahmen, welche die Einflüsse plötzlicher Temperaturände
rungen abmildern, erfordert.
Williams et al. schlugen daher in der EP 0 062 994 A2 vor, im SrTiO3 das Titan (Ti)
teilweise durch Eisen (Fe) zu ersetzen und fanden heraus, dass Sensoren hergestellt
aus der Verbindung SrTi0,7Fe0,3O3-δ in mageren Atmosphären oberhalb 500°C. . .
600°C nahezu keine Temperaturabhängigkeit des elektrischen Widerstandes, aber
eine Sauerstoffpartialdruckabhängigkeit gemäß R~pO2 -1,5 besitzen. Eigene Messun
gen bestätigten dies, zeigten aber, dass die Temperaturunabhängigkeit des elektri
schen Widerstandes nur bei einem Sauerstoffpartialdruck um 10-2 bar (λ ≈ 1,055)
gegeben ist.
In der DE 197 44 316 A1 wird daher dieses auf SrTiO3 basierende Material weiter
verbessert, indem durch gezielte Variation (Dotierung) des Werkstoffes der Sauer
stoffpartialdruckbereich der Temperaturunabhängigkeit variiert werden kann.
Eine weitere Klasse an Werkstoffen für temperaturunabhängige Sauerstoffsensoren
sind Kuprate. So wurde in DE 42 02 146 A1, DE 42 44 723 A1, DE 43 25 183 A1 und
EP 0 553 452 A2 erwogen, auf dotierte oder undotierte Kuprate wie z. B. La2CuO4+y
überzugehen, da deren elektrische Leitfähigkeit gerade im Bereich hoher Sauerstoff
gehalte, d. h. bei λ < 1, von der Temperatur unabhängig ist. Für Anwendungen im
Abgasstrang sind Kuprate aber nicht geeignet, da sie chemisch nicht allzu stabil sind
und sich bei hohen Temperaturen und/oder bei niedrigen Sauerstoffpartialdrücken,
wie z. B. bei kurzzeitigem Betrieb mit "fettem" Gemisch (λ < 1) zersetzen.
Chemisch wesentlich stabiler als Kuprate sind aus der DE 44 18 054 bekannte erdal
kali-dotierte Lanthanferrite. Ihre elektrische Leitfähigkeit weist im Vergleich zu SrTiO3
auch eine geringere Temperaturabhängigkeit im mageren Abgasbereich (λ < 1) auf.
Allerdings besitzen Sensoren, welche aus diesen Materialien hergestellt wurden, eine
größere Temperaturabhängigkeit des elektrischen Widerstandes als Sensoren auf
Kupratbasis.
Nachteilig sowohl an den auf SrTiO3 basierenden Sauerstoffsensoren als auch an
den aus der DE 44 18 054 C1 bekannten Sauerstoffsensoren auf der Basis erdalkali
dotierter Lanthanferrite ist die mangelnde Resistenz gegenüber im Abgas vorhande
nen Schwefeloxidverbindungen.
Im folgenden werden die Probleme, die auftreten, wenn man Sensoren aus Werk
stoffen nach dem bekannten Stand der Technik herstellt, unter Bezugnahme auf die
Fig. 1 und 2 aufgezeigt werden.
Röntgendiffraktometrische Aufnahmen von im Realabgas betriebenen Sensoren
haben gezeigt, dass im Realabgasbetrieb Teile der im Sensor vorhandenen Erdalka
liionen mit den Schwefeloxidverbindungen reagieren und sich Erdalkalisulfate bilden.
Die Fig. 1, ein Vergleich der Röntgendiffraktogramme eines neuen und eines über
lange Zeit im Realabgas gealterten Sensors, der nach DE 197 44 316 A1 hergestellt
wurde, belegt dies. Man erkennt in Fig. 1 im unteren Teilbild die mit "." gekennzeich
neten Maxima des sensitiven Werkstoffes nach DE 197 44 316 A1. Im oberen Teil
bild, einem Röntgendiffraktogramm eines im schwefelhaltigen Abgas gealterten Sen
sors, findet man zusätzlich noch von Erdalkalisulfaten stammende Maxima, die mit
"x" gekennzeichnet wurden. Zusätzlich erkennt man die von der Platinzuleitung
stammenden Maxima, welche mit "*" gekennzeichnet sind. Zufälligerweise liegen die
Maxima von Platin und dem sensitiven Werkstoffes nach DE 197 44 316 A1 sehr
nahe zusammen, so dass man sie kaum unterscheiden kann. Weiterhin erkennt man
im oberen Teilbild noch vom Al2O3-Substrat stammende Maxima.
Parallel mit dieser sogenannten Verschwefelung verändert sich auch die Kennlinie
des Sauerstoffsensors. Seine Temperaturunabhängigkeit geht verloren. Dies ist in
Fig. 2 gezeigt. In der doppelt-logarithmischen Darstellung des Sensorwiderstandes R
über dem Sauerstoffpartialdruck pO2 erkennt man, wie im Fall der unteren Messkur
ven, die am nicht gealterten Sensor aufgenommen wurden, die Kurven für Sensorar
beitstemperaturen von 700°C, 800°C und 900°C praktisch aufeinander liegen. Im
Falle des verschwefelten Sensors (obere Messkurven), stellt man fest, dass sich der
Sensorwiderstand nach oben verschoben hat, dass die Temperaturunabhängigkeit
verschwunden ist und dass der Sensorwiderstand sich wesentlich geringer mit dem
Sauerstoffpartialdruck ändert. Weiterhin nimmt die Einstellkinetik ab. Der im Realab
gas gealterte Sensor wird bei 700°C so langsam, dass die hier verwendete Messzeit
pro Sauerstoffpartialdruckwert nicht mehr ausreichte, um einen stabilen Endwert für
den Sensorwiderstand zu erreichen. Daher wurden hier nur Messwerte für gealterte
Sensoren eingezeichnet, die bei 800°C und 900°C aufgenommen wurden.
Nach den vorstehenden Ausführungen, die den Nachteil des Standes der Technik
dokumentieren, ist es Aufgabe dieser Erfindung, einen Sensorwerkstoff zu schaffen,
dessen elektrischer Widerstand vom Sauerstoffpartialdruck abhängt und dessen
Kennlinie nicht oder nur wenig von der Temperatur abhängt, d. h. der aus dem erfin
dungsgemäßen Werkstoff hergestellte Sensor soll eine temperaturunabhängige und
gleichzeitig sauerstoffpartialdruckabhängige Kennlinie besitzen. Zusätzlich soll der
Sensor gegenüber Schwefeloxidverbindungen, die sich im zu detektierenden Gas
befinden, unempfindlich sein.
Diese Aufgabe wird durch der Sensor nach dem Hauptanspruch 1 gelöst.
Die sauerstoffsensitive Sensorfunktionsschicht besteht aus einem
Werkstoff auf der Basis komplexer Metalloxide der allgemeinen Formel
LaCu1-xFexO3-y, wobei
La für Lanthan
Cu für Kupfen,
Fe für Eisen,
O für Sauerstoff,
x für eine Zahl größer ein Zehntel und kleiner oder gleich fünf Zehntel, d. h. 0,1 < x < 0,5, und
y für das Sauerstoffdefizit, das sich je nach Zusammensetzung aus der Elek troneutralitätsbedingung einstellt, steht, d. h. 0,25 < y < 0,5.
Cu für Kupfen,
Fe für Eisen,
O für Sauerstoff,
x für eine Zahl größer ein Zehntel und kleiner oder gleich fünf Zehntel, d. h. 0,1 < x < 0,5, und
y für das Sauerstoffdefizit, das sich je nach Zusammensetzung aus der Elek troneutralitätsbedingung einstellt, steht, d. h. 0,25 < y < 0,5.
Ausgehend von dieser Grundformel für den erfindungsgemäßen Werkstoff wurde
festgestellt, dass folgende Änderungen in der Zusammensetzung des Werkstoffs
seine Eigenschaften nur unwesentlich ändern, so dass derartige Werkstoffe eben
falls als erfindungsgemäß anzusehen sind:
- - Es wurde festgestellt, dass kleinere Dotierungen im Bereich bis zu 10%, d. h. der Ersatz des dreiwertigen Lanthan durch eines mit anderer Wertigkeit oder der Er satz von Kupfer oder Eisen durch ein Ion mit anderer Wertigkeit die Sensorkennli nien nur unwesentlich verändern.
- - Es ist dem Fachmann auch bekannt, dass üblicherweise Ionen gleicher Wertig keit, welche sich auf dem gleichen Gitterplatz einbauen, erst bei Vorhandensein in sehr großen Mengen (z. B. < 50%) den Werkstoff verändern. Als Beispiel sei der Ersatz von La (dreiwertig) durch ein Lanthanoid mit ähnlichem Ionenradius ge nannt.
- - Es sollte erwähnt werden, dass ein Fachmann die Möglichkeit ins Auge fassen kann, durch die Modifikation des Verhältnisses von La/(Fe + Cu) um den Wert von 1 (z. B. zwischen 0,9 und 1,1) den Werkstoff zu verändern, ohne dass er seine sensitiven Eigenschaften wesentlich verändert.
- - Die Zugabe von Sinterhilfsmitteln ist auch eine dem Fachmann naheliegende Möglichkeit den Werkstoff zu modifizieren, ohne die sensitiven Eigenschaften zu verändern.
Im folgenden wird die Erfindung an ausgewählten Beispielen erläutert. Unter Bezug
nahme auf Messkurven wird die Sauerstoffempfindlichkeit, die Temperaturunabhän
gigkeit der Kennlinie und die Resistenz gegenüber Schwefeloxidverbindungen aufge
zeigt. Es zeigen:
Fig. 1 den Vergleich eines frischen und eines lange Zeit im Realabgas betriebenen
Sensors nach dem Stand der Technik, d. h. auf erdalkalidotierten Titanaten
basierenden Sensors im Röntgendiffraktogramm. Die Sensoren wurden entsprechend
der DE 197 44 316 A1 gefertigt. Diese Figur wurde bereits in der
Beschreibungseinleitung erläutert.
Fig. 2 den Verlauf des elektrischen Widerstandes über dem Sauerstoffgehalt, eines
frischen und eines längere Zeit im Realabgas betriebenen Sensors nach dem
Stand der Technik. Die Sensoren wurden entsprechend der DE 197 44 316 A1
gefertigt. Diese Figur wurde bereits in der Beschreibungseinleitung erläu
tert.
Fig. 3 den Verlauf des elektrischen Widerstandes über dem Sauerstoffpartialdruck
eines erfindungsgemäßen Sensors;
Fig. 4 den Verlauf des elektrischen Widerstandes von erfindungsgemäßen Senso
ren, im Vergleich mit Sensoren, die gemäß dem Stand der Technik, d. h. ent
sprechend der DE 197 44 316 A1 hergestellt wurden.
Fig. 3 zeigt Kennlinien von Sensoren, die aus einem erfindungsgemäßen Werkstoff
hergestellt wurden. Die Sensoren wurden wie in der DE 197 44 316 A1 (dort in Fig. 4)
beschrieben hergestellt, wobei eine Zwischenschicht zwischen Substrat und erfin
dungsgemäßer sensitiver Schicht aufgebracht wurde. Im Gegensatz zur DE 197 44 316 A1
wurde jedoch als sauerstoffsensitives Material der erfindungsgemäße Werk
stoff
LaFe1-xCuxO3-y
gewählt, wobei hier für den Anteil des Kupfers (Index x) Werte von x = 0,1 und x = 0,2
und x = 0,3 gewählt wurden. Der Index y kennzeichnet die sich aufgrund der Elektro
neutralitätsbedingung automatisch einstellende Sauerstoffstöchiometrie. Er liegt bei
den hier betroffenen Elementen bei einem Wert im Bereich 0,25 < y < 0,5. Die Messun
gen fanden bei einer Temperatur von 700°C, 800°C und 900°C statt. Es ist offen
sichtlich, dass die aus diesem Werkstoff hergestellten Sensoren, insbesondere für
Werte von x < 0,1 eine temperaturunabhängige und gleichzeitig sauerstoffpartialdruck
abhängige Kennlinie besitzen. Zwar ist eine absolute Temperaturabhängigkeit nicht in
allen Sauerstoffpartialdruckbereichen erreicht, jedoch existieren Sauerstoffpartial
druckbereiche, in denen praktisch keine Temperaturabhängigkeit mehr existiert. In
den anderen Sauerstoffpartialdruckbereichen ist die Temperaturabhängigkeit des
Sensorwiderstandes sehr gering und für die Anwendungen im Automobilabgas to
lerabel.
Neben den geforderten Eigenschaften sauerstoffpartialdruckabhängige und tempe
raturunabhängige Kennlinie ist der Werkstoff auch gegen Schwefeloxidverbindungen
im Abgas nahezu unempfindlich. Dies verdeutlicht Fig. 4. Hierin wird bei 800°C und
einem Sauerstoffgehalt im Gas von 3,16% der Einfluss von 40 ppm Schwefeldioxid im
Gas, welches sprungförmig zur Zeit t = 0 zugegeben wird, untersucht. 40 ppm Schwe
feldioxid im Gas entsprechen einem unrealistisch hohen Gehalt an Schwefelverbin
dungen von etwa 800 ppm im Kraftstoff. Die Widerstandskurven sind auf R0 = R(t = 0)
normiert dargestellt. Deutlich ist erkennbar, wie der Widerstand des Sensors nach
der DE 197 44 316 A1 aufgrund der Schwefelvergiftung schon innerhalb einer Minute
um über 15% nach oben läuft. Der Widerstand eines aus der erfindungsgemäßen
Substanz gemäß des Hauptanspruches 1 gefertigten Sensors nimmt demgemäß
deutlich weniger zu. Insbesondere bei kleinem x ist eine vernachlässigbare Alterung
zu bemerken. Dies ist um so bemerkenswerter, als heutige Kraftstoffe einen um mehr
als den Faktor zehn geringeren Gehalt an Schwefelverbindungen aufweisen.
Nachdem nun gezeigt ist, dass der erfindungsgemäße Sensorwerkstoff die an ihn
gestellten Anforderungen erfüllt, soll noch kurz ein Beispiel für die Herstellung des
Werkstoffes gegeben werden.
Es werden La2O3, Fe2O3 und CuO so eingewogen, dass das gewünschte Stöchio
metrieverhältnis erzielt wird. Optional können noch Oxide oder Carbonate von Do
panten zugegeben werden. Da La2O3 hygroskopisch ist, wird es zuvor bei ca. 850°C
geglüht und anschließend heiß eingewogen. Ein typischer Ansatz von etwa 50 g Roh
pulver wird dann in einen Mahlbecher zusammen mit einem Mahlmedium, wozu
beispielsweise ein Lösungsmittel wie z. B. Cyclohexan oder Isopropanol verwendet
wird, gefüllt, mit Mahlkugeln z. B. aus Achat, Durchmesser 10 mm bei einer Anzahl
von 50 Stück bzw. ein geringerer Kugeldurchmesser bei entsprechend größerer
Mahlkugelstückzahl versetzt und ein bis vier Stunden lang in einer Planetenkugel
mühle vermischt. Das derart vermischte Mahlgut wird getrocknet, von den Mahlku
geln getrennt, in einen Tiegel gefüllt und in einem Ofen in Luftatmosphäre bei 1200°C
bis 1300°C einige Stunden lang gebrannt. Das abgekühlte Pulver weist dann die
gewünschte Materialzusammensetzung auf, was z. B. durch Röntgendiffraktometrie
nachgewiesen wird. Ein derart gebranntes Pulver muss noch mittels eines weiteren
Mahlschrittes zerkleinert werden, um eine für den weiteren Sensorherstellprozess
geeignete Pulverkorngrößenverteilung zu besitzen. Ein typischer Mahlvorgang wird
ähnlich wie oben beschrieben ausgeführt, jedoch werden andere Mahlkugeln einge
setzt. Ebenso kann eine Zerkleinerung des Pulvers in einer Attritormühle oder einer
Ringspaltkugelmühle erfolgen. Das getrocknete und von den Mahlkugeln getrennte
Pulver wird dann zur Sensorherstellung benutzt.
Aus den nach Beispiel 1 hergestellten Ausgangsmaterialien werden Sensoren wie
folgt hergestellt. Die Pulver werden in eine geeignete Form gebracht, evtl. kann dazu
auch ein geeigneter Binder benutzt werden, falls nötig verpresst und in Luft gesintert.
Typische Abmaße eines Sinterkörpers sind 25 mm × 3 mm × 0,2 mm. Dieser Sensor
körper wird dann mit Platindrähtchen kontaktiert, welche mit einer Platineinbrennpa
ste fixiert werden. Die Platineinbrennpaste kann bei z. B. 1050°C eingebrannt werden.
Es werden zwei, drei oder vier solcher Platinelektroden aufgebracht. Entsprechend
erfolgt dann die Widerstandsmessung mittels Zweidraht-, Dreidraht- oder Vierdraht
messung. Eine einfache Heizung, bestehend aus einem Heizdraht und einer elektri
schen Isolierung, die erforderlich ist, um Sensor und Heizung voneinander zu tren
nen, muss noch angebracht werden, um eine zu niedrige Temperatur des Abgases
auszugleichen, und um den Sensor möglichst frühzeitig auf Betriebstemperatur zu
bringen. Zuletzt wird der Sensor in ein geeignetes Schutzgehäuse eingebracht.
Alternativ kann ein erfindungsgemäßer Sensor in Dickschichttechnik aufgebaut wer
den. Die Pulver aus den nach dem oben genannten Prozess hergestellten Aus
gangsmaterialien werden mit geeigneten Medien versetzt, die das Ausgangsmaterial
siebdruckfähig machen. Auf ein Substrat z. B. aus Al2O3 oder ZrO2 werden in Sieb
drucktechnik entsprechende Anschlussbahnen etwa aus Gold oder Platin gedruckt,
um den Sensorwiderstand in Zweidraht-, Dreidraht- oder Vierdrahtanordnung messen
zu können. Diese Bahnen werden typischerweise in einer Luftatmosphäre einge
brannt. Darauf wird die Sensorschicht gedruckt und ebenfalls eingebrannt. Auf die
Rückseite des Sensors wird noch eine Heizschicht aufgebracht, welche die oben
beschriebenen Funktionen besitzt. An die Elektroden der Messbahnen und der Heiz
bahnen werden Zuleitungen angebracht. Der Aufbau erfolgt entsprechend der DE 197 44 316 A1,
Fig. 4. Ein geeignetes, mit elektrischen Durchführungen versehenes
Gehäuse sorgt für mechanische Stabilität und schützt den Sensor.
Alternativ kann ein solcher, in Dickschichttechnik aus dem erfindungsgemäßen
Werkstoff hergestellter Sensor auch mit einer Zwischenschicht zwischen Substrat
und Funktionsschicht versehen werden. Dabei haben sich die in der DE 100 19 979
erwähnten Materialien, insbesondere Spinelle, z. B. SrAl2O4, als Zwischenschicht
bewährt.
Die Zwischenschicht ist insbesondere für die Herstellung der Sensoren von Bedeu
tung. Es hat sich nämlich gezeigt, dass bei Herstellverfahren, die einen Brennprozess
durchlaufen, die ursprünglich vorhandene Temperaturunabhängigkeit der Sensor
funktionsschicht wieder verloren geht. Bei Verwendung der Zwischenschicht kann
dieser negative Effekt vermieden werden.
[1] Kleitz M., Siebert E., Fabry P., Fouletier J.: Solid-State Electrochemical Sen
sors.
In: Sensors. A comprehensive Survey. Chemical and Biochemical Sensors Part I. Göpel W. et al. (Hrsg.), VCH-Verlag, Weinheim, 1991, Seite 341-428.
[2] Schönauer U.: Dickschicht Sauerstoffsensoren auf der Basis keramischer Halbleiter. Technisches Messen 56 [6] 260-263, 1989.
In: Sensors. A comprehensive Survey. Chemical and Biochemical Sensors Part I. Göpel W. et al. (Hrsg.), VCH-Verlag, Weinheim, 1991, Seite 341-428.
[2] Schönauer U.: Dickschicht Sauerstoffsensoren auf der Basis keramischer Halbleiter. Technisches Messen 56 [6] 260-263, 1989.
Claims (8)
1. Resistiver Sauerstoffsensor mit einer sauerstoffsensitiven Sensorfunktionsschicht
auf der Basis komplexer Metalloxide der allgemeinen Formel
LaCu1-xFexO3-y, wobei
La für Lanthan
Cu für Kupfer,
Fe für Eisen,
O für Sauerstoff,
x für eine Zahl größer ein Zehntel und kleiner oder gleich fünf Zehntel, d. h. 0,1 < x ≦ 0,5, und
y für das Sauerstoffdefizit, das sich je nach Zusammensetzung aus der Elek troneutralitätsbedingung einstellt.
LaCu1-xFexO3-y, wobei
La für Lanthan
Cu für Kupfer,
Fe für Eisen,
O für Sauerstoff,
x für eine Zahl größer ein Zehntel und kleiner oder gleich fünf Zehntel, d. h. 0,1 < x ≦ 0,5, und
y für das Sauerstoffdefizit, das sich je nach Zusammensetzung aus der Elek troneutralitätsbedingung einstellt.
2. Resistiver Sauerstoffsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
maximal 10% der La-Ionen und/oder der Cu-Ionen und/oder der Fe-Ionen durch
ein anderes Ion mit unterschiedlicher Wertigkeit ersetzt sind.
3. Resistiver Sauerstoffsensor nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass maximal 50% der La-Ionen und/oder der Cu-
Ionen und/oder der Fe-Ionen durch ein anderes Ion mit glei
cher Wertigkeit ersetzt sind.
4. Resistiver Sauerstoffsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass das Verhältnis La/(Fe + Cu) anstatt 1 größer als 0,9 oder
kleiner als 1,1 ist.
5. Resistiver Sauerstoffsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass er Sinterhilfsmittel enthält.
6. Resistiver Sauerstoffsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass er ein Substrat umfasst, wobei zwischen Substrat und
Sensorfunktionsschicht eine Zwischenschicht vorhanden ist.
7. Resistiver Sauerstoffsensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass
die Zwischenschicht aus SrAl2O4 besteht.
8. Resistiver Sauerstoffsensor nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet,
dass das Substrat aus Al2O3, MgO, ZrO2 oder AIN besteht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001114645 DE10114645C1 (de) | 2001-03-24 | 2001-03-24 | Resistiver Sauerstoffsensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001114645 DE10114645C1 (de) | 2001-03-24 | 2001-03-24 | Resistiver Sauerstoffsensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10114645C1 true DE10114645C1 (de) | 2003-01-02 |
Family
ID=7678969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2001114645 Expired - Fee Related DE10114645C1 (de) | 2001-03-24 | 2001-03-24 | Resistiver Sauerstoffsensor |
Country Status (1)
Country | Link |
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