DE10064977C1 - Vorrichtung zum Herstellen von dünnen Glasscheiben - Google Patents

Vorrichtung zum Herstellen von dünnen Glasscheiben

Info

Publication number
DE10064977C1
DE10064977C1 DE10064977A DE10064977A DE10064977C1 DE 10064977 C1 DE10064977 C1 DE 10064977C1 DE 10064977 A DE10064977 A DE 10064977A DE 10064977 A DE10064977 A DE 10064977A DE 10064977 C1 DE10064977 C1 DE 10064977C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
nozzle
glass
guide body
furnace
segmented
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE10064977A
Other languages
English (en)
Inventor
Rudolf Mueller
Horst Loch
Dirk Sprenger
Jose Zimmer
Holger Wegener
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schott AG
Original Assignee
Schott Glaswerke AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE10064977A priority Critical patent/DE10064977C1/de
Application filed by Schott Glaswerke AG filed Critical Schott Glaswerke AG
Priority to DE50113041T priority patent/DE50113041D1/de
Priority to KR1020037008116A priority patent/KR100821932B1/ko
Priority to EP01985876A priority patent/EP1347944B1/de
Priority to PCT/EP2001/014654 priority patent/WO2002051757A2/de
Priority to JP2002552862A priority patent/JP4383050B2/ja
Priority to AU2002235774A priority patent/AU2002235774A1/en
Priority to US10/451,559 priority patent/US20040065115A1/en
Priority to CNB018212476A priority patent/CN100361912C/zh
Priority to TW090131056A priority patent/TWI238149B/zh
Priority to MYPI20015849A priority patent/MY136294A/en
Application granted granted Critical
Publication of DE10064977C1 publication Critical patent/DE10064977C1/de
Priority to HK05103097A priority patent/HK1070345A1/xx
Priority to US11/867,424 priority patent/US7735338B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C03B17/067—Forming glass sheets combined with thermal conditioning of the sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets
    • C03B17/064—Forming glass sheets by the overflow downdraw fusion process; Isopipes therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)

Abstract

Es wird ein Verfahren zum Herstellen von dünnen Glasscheiben, insbesondere von Glasscheiben mit einer Dicke unter 1 mm durch Ziehen eines dünnen Glasbandes vertikal nach unten beschrieben, bei dem aus einer Schmelzwanne über einen Zulauf eine Glasschmelze am Ziehtank mit einem mindestens eine Schlitzdüse aufweisenden Düsensystem zugeführt wird. Durch die Länge und den Querschnitt des Zulaufs sowie über die Viskosität der im Zulauf befindlichen Glasschmelze wird der Gesamtdurchsatz eingestellt. Über die Geometrie des Düsensystems sowie über die Viskosität der im Düsensystem befindlichen Glasschmelze wird der Durchsatz pro Längeneinheit in Querrichtung des Glasbandes (sogenannter Liniendurchsatz) eingestellt. Diese Einstellungen werden derart vorgenommen, daß das Glas beim Austritt aus dem Düsensystem die Unterseite der Schlitzdüse im Bereich der Abrißkante nicht benetzt. Es wird auch eine Vorrichtung zur Herstellung von dünnen Glasscheiben beschrieben, bei dem der Zulauf (1), der Ziehtank (6) und das Düsensystem ein geschlossenes System bilden. Der Zulauf (1) weist ein Rohr (2) mit segmentierten Rohrabschnitten (2a, b, c) auf, wobei das Rohr (2) eine Länge von 2 m bis 5 m und einen Querschnitt von 50 mm bis 80 mm aufweist, wobei der Rohrquerschnitt eine Kreisform aufweist. Der Ziehtank weist ein in vertikaler und Querrichtung segmentiertes Beheizungssystem (9) auf.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Herstellen von Glasscheiben, insbesondere von Glasscheiben mit einer Dicke unter 3 mm, insbesondere unter 1 mm gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Solche Dünnglasscheiben werden als Substratglas bei elektronischen Geräten, wie z. B. für Displays (tragbare Telefone, Flachbildschirme etc.) und digitalen Massenspeichern von Rechnern, eingesetzt. Deshalb sind höchste Anforderungen an die innere Qualität des Glases, die im wesentlichen durch Blasen und Einschlüsse bestimmt wird, an die Sauberkeit, an die Qualität der Oberflächengeometrie, die im wesentlichen durch die Feinwelligkeit (Waviness) und durch die Abweichungen von der Ebenheit (Warp) bestimmt wird, an die Bruchfestigkeit und gegebenenfalls an das geringe Gewicht zu stellen.
Bei der Verwendung als Substratglas für Displays durchlaufen die Gläser beim Kunden einen thermischen Fertigungsprozeß nahe der Glasübergangstemperatur. Dabei muß die Formstabilität der Glassubstrate erhalten bleiben. Deshalb werden als Substratgläser Spezialgläser oder auch Glaskeramiken mit erhöhten Glasübergangstemperaturen eingesetzt, die meist eine erhöhte Kristallisationsneigung sowie einen untypischen Viskositätsverlauf in Abhängigkeit von der Temperatur aufweisen. Somit erfordern diese Gläser höhere Verarbeitungstemperaturen als die Standardgläser.
Da es sich bei diesen Anwendungen um Massenprodukte handelt, müssen die Glasscheiben möglichst kostengünstig gefertigt werden. D. h. eine hohe Prozeßstabilität mit geringen Rüst- und Stillstandszeiten bei hohen Durchsätzen und niedrigem Verschnitt, die durch Glasfehler und im Bortenbereich verursacht werden, ist anzustreben. Außerdem sind die Kundenanforderungen bezüglich der Sauberkeit der Oberfläche und der Qualität der Oberflächengeometrie weitgehend zu erfüllen, so daß die kostenaufwendigen Prozeßschritte der Nachverarbeitung, wie z. B. Schleifen und Polieren entfallen oder reduziert werden können.
Bei den bisher bekannten Ziehverfahren werden die oben genannten Anforderungen bezüglich der Produktqualität und der Wirtschaftlichkeit nur zum Teil erfüllt.
Bei den Herstellungsverfahren unterscheidet man zwischen Ziehverfahren mit und ohne Ziehdüse.
Bei dem Ziehverfahren ohne Ziehdüse, wie dies beispielsweise in der US 3,338,696 beschrieben wird, wird ein Trog verwendet, in den die Glasschmelze eingeleitet wird. Die Glasschmelze tritt über die Oberkante der Trogwände aus und läuft an den Außenseiten des keilförmigen Troges nach unten. Im Scheitelpunkt fließen die so gebildeten Glasfilme zusammen und werden nach unten abgezogen. Der keramische Trog ist zur Verminderung der Korrosion mit Platin verkleidet.
Bei diesen Verfahren wird der Gesamtdurchsatz im wesentlichen durch den Zulauf zwischen Schmelzwanne und Trog bestimmt. Der sogenannte Liniendurchsatz, worunter der Durchsatz pro Längeneinheit quer zur Ziehrichtung des Glasbandes verstanden wird, wird durch den Glasfluß im Trog, den Glasstand im Bereich der Überlaufkante des Troges, durch die Geometrie der Überlaufkante und durch die Zähigkeit des Glases eingestellt. Eine sehr exakte Temperaturregelung ist notwendig, die unter 0,1°C liegen muß.
Format- oder Durchsatzänderungen fordern eine Anpassung der Geometrie des Ziehtroges, insbesondere für den Glasfuß im Trog. Da das Anfahren eines neuen Ziehtroges bis zu einer Woche oder mehr dauert, ist die gewünschte Flexibilität der Fertigung somit nur eingeschränkt gegeben.
Die Korrosion der Trogkanten kann nicht durch Kippen oder Strecken des Troges kompensiert werden. Der Trog muß ersetzt und der Prozeß muß wieder angefahren werden.
Zur Einstellung eines breiten Glasbandes mit schmalen Borten muß das Glasband durch sogenannte Bortenroller im Randbereich quer zur Bandrichtung gestreckt werden. Die Bortenroller erhöhen die Komplexität des Fertigungsprozesses.
Bei den Ziehverfahren mit Schlitzdüse unterscheidet man solche mit und ohne Leit- oder Verdrängungskörper.
Bei dem beispielsweise in SU 617.390 beschriebenen Verfahren mit einer Schlitzdüse ohne Leitkörper läuft das Glas aus der Arbeits- oder Abstehwanne beidseits über die gegeneinander gerichteten Wände eines Überlaufs aus feuerfestem Material ab. Die beiden so entstehenden Glasfilme fließen oberhalb einer Düse zusammen und werden anschließend nach unten abgezogen. Die Regelung des Durchsatzes erfolgt über die Glasstandshöhe an den Überlaufkanten. Dies kann entweder durch eine Änderung des Glasstandes in der Arbeitswanne oder aber durch ein tieferes Eintauchen des Überlaufsteins geschehen.
Mit dem Verfahren mit Schlitzdüse ohne Leitkörper können die erhöhten Anforderungen an die Oberflächenqualität, insbesondere an die Feinwelligkeit (Waviness) nicht erfüllt werden. Aufgrund der kurzen Verweilzeiten des Glases im Ziehzwiebelbereich und aufgrund der hohen Zähigkeit des Glases heilen die Unebenheiten nicht aus.
Bestimmte Verarbeitungstemperaturen dürfen wegen der Zunahme der Instabilitäten im Ziehzwiebelbereich bei Unterschreitung kritischer Zähigkeiten der Glasschmelze ebenfalls nicht überschritten werden. Somit können Spezialgläser mit erhöhter Kristallisationsneigung mit den bekannten Ziehverfahren ohne Leitkörper nicht gefertigt werden.
Durch den Einsatz einer Schlitzdüse mit Innenleitkörper werden die oben beschriebenen Nachteile zum Teil vermieden.
In der US 1,759,229 wird ein Ziehverfahren zur Herstellung von Flachglas beschrieben, bei dem Glas durch eine im Boden einer Arbeits- oder Abstehwanne angebrachte Schlitzdüse auf einen Verdrängungskörper mit rombenförmigem Querschnitt fließt und über diesen nach unten abgezogen wird. Der Verdrängungskörper ist unterhalb der Schlitzdüse in eine sich nach unten aufweitende Aussparung eingepaßt. Die Glasbadtiefe der Arbeits- oder Abstehwanne nimmt zu den Enden der Schlitzdüse zu. Sowohl die Düse als auch der Verdrängungskörper können konturiert sein. Wesentlich ist hierbei, daß der Düsenschlitz sich zu den Rändern verbreitert sowie daß der eingesetzte, ausrichtbare Verdrängungskörper in der Mitte nach oben gebogen sein kann.
Der untere, keilförmige Teil des Verdrängungskörpers ist mit einer Einhausung versehen, in der quer zur Ziehrichtung angebrachte Heiz- oder Kühlelemente vorhanden sein können. Die Temperaturen des Verdrängungskörpers können durch Strömungen der Temperiermedien eingestellt werden.
Der Glasfluß wird über die Geometrie der Düse und des Verdrängungskörpers, das durch das in der Arbeits- oder Abstehwanne vorhandene Temperaturniveau und Profil sowie die Position des Verdrängungskörpers relativ zur Düse beeinflußt. Der Verdrängungskörper hat unter anderem die Aufgabe, die Temperaturen des Glases quer zur Ziehrichtung zu vergleichmäßigen, damit Flachglas mit vorgegebenen Abmessungen und einem gleichmäßigen Erscheinungsbild hergestellt wird.
Aus der DE-AS 15 96 484 ist eine Vorrichtung bekannt, die einen Homogenisierungsbehälter umfaßt, der über eine geschlossene und beheizbare Rinne mit einem Ziehofen verbunden ist. Der Ziehofen ist mit einer aus Platin gefertigten, mit einem unteren Schlitz versehenen Düse ausgestattet. Unterhalb der Düse ist ein Leitkörper in Form einer vertikal angeordneten Platte vorgesehen. Die aus der Düse austretende Glasschmelze läuft beidseitig an dem Leitkörper herunter und vereinigt sich am unteren Ende zu einem Glasband.
Zur Wärmeabfuhr von innen sind in dem Leitkörper Bohrungen vorgesehen, durch die Kühlmittel geführt werden kann. Ferner sind an dem unteren Teil des Leitkörpers außen Kühlkörper angebracht. Mittels Stellschrauben ist der Leitkörper in der Höhe verstellbar.
In JP 2-217.327 wird eine Vorrichtung zum Herstellen von Flachglas beschrieben, bei der das Glas durch eine im Boden eines Speisers oder einer Arbeitswanne angebrachten Schlitzes nach unten abgezogen wird. Die Schlitzdüse kann indirekt beheizt werden. Der Glaszufluß wird mit Hilfe eines oberhalb des Schlitzes befindlichen Plungers abgestoppt. Zur Stabilisierung des Glasbandes ist in der Ziehdüse ein plattenförmiger, an den Seiten gehaltener und der Lage justierbarer Innenleitkörper angeordnet, dessen oberer Abschnitt in die Ziehdüse hineinragt und dessen unterer Teil eingehaust ist.
Mit den bekannten Verfahren mit Schlitzdüse und Leitkörper können nicht die hervorragenden Oberflächenqualitäten wie bei den bekannten Ziehverfahren ohne Schlitzdüse erreicht werden. Insbesondere bei hohen Liniendurchsätzen und hohen Verarbeitungstemperaturen reichen die Verweilzeiten des Glasfilms auf dem Leitkörper nicht aus, die Feinwelligkeit der Oberfläche auszuheilen, die durch die Benetzung der Düse im Bereich der Abrißkante verursacht wurde.
Bei dem bekannten Verfahren mit Schlitzdüse mit und ohne Leitkörper sind die Einstellungen des Gesamtdurchsatzes und die Einstellung des Liniendurchsatzes (Dickenverteilung quer zur Zielrichtung) miteinander gekoppelt.
Bei Format- oder Durchsatzänderungen ist die Düsengeometrie und die Temperaturführung im Bereich der Düse immer wieder neu, im allgemeinen empirisch einzustellen. Die Anfahrprozesse dauern lange und die gewünschte Flexibilität der Fertigung ist nur eingeschränkt gegeben.
Zur Einstellung der spezifikationsgerechten Dickenverteilung sind definierte Temperaturprofile quer zur Ziehrichtung im Bereich der Düse einzustellen. Die dem Glasband aufgeprägten Temperaturprofile können bis zur Feinkühlzone nur teilweise ausgeglichen werden. Dies kann zu einer unzulässigen Verformung des Glasbandes (Warp) bei der Abkühlung auf Raumtemperatur führen.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung bereitzustellen, mit dem u. a. Gläser mit starker Kristallisationsneigung oder Glaskeramiken verarbeitet werden können, wobei die Qualitiät der dünnen Glasscheiben verbessert und die Produktivität gesteigert werden soll.
Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung gemäß der Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.
Hierbei bilden der Zulauf, der Ziehtank und das Düsensystem ein geschlossenes System. Der Zulauf kann aus einer Platinlegierung oder aus ff-Material (Feuerfest-Material) bestehen und segmentierte direkte oder indirekt beheizte oder gekühlte Rohrabschnitte aufweisen. Das Rohr oder Rohrsystem hat eine Länge von 2 m bis 5 m und einen runden Querschnitt mit einem Durchmesser zwischen 50 mm und 80 mm.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden die beschriebenen Anforderungen bezüglich der Produktqualität und der Wirtschaftlichkeit erfüllt.
Die Vorrichtung verbindet die Vorteile der Ziehverfahren mit Düse und die Vorteile der Ziehverfahren ohne Düse. Dies bedeutet, daß Glasdicken von 20 µm bis 3000 µm bei einer guten Dickenverteilung in Quer- und Ziehrichtung mit Dickenschwankungen < 20 µm und einer geringen Bortenbreite eingestellt werden können. Darüber hinaus wird eine hervorragende Oberflächenqualität erreicht, d. h. die Waviness liegt unter 20 nm. Außerdem ist der Warp äußerst niedrig. Es sind hohe Verarbeitungstemperaturen und niedrige Verarbeitungszähigkeiten (5 × 103 bis 3 × 104 dPas) zur Fertigung auch von kristallisationsempfindlichen Gläsern oder Glaskeramiken möglich. Ferner ist eine große Flexibilität bezüglich der Formate möglich, deren Breite zwischen 300 mm und 2000 mm eingestellt werden kann. Ferner sind hohe Liniendurchsätze (Masse Glas pro Bandbreite pro Zeit < 5 g/(mm × min) bei großer Prozeßstabilität erreichbar. Die Nachteile des Ziehverfahrens mit und ohne Düsen werden dagegen weitgehend vermieden.
Der Gesamtdurchsatz wird durch die Länge und den Querschnitt des Zulaufs sowie über die Viskosität der im Zulauf befindlichen Glasschmelze eingestellt. Andererseits wird der Durchsatz pro Längeneinheit in Querrichtung zum Glasband (Liniendurchsatz) zur definierten Dickeneinstellung durch die Geometrie des Düsensystems sowie über die Viskosität der Glasschmelze entlang der Düse eingestellt. Der Druck der Glasschmelze, der durch den Niveauunterschied zwischen der Höhe der freien Oberfläche der Glasschmelze und der Höhe des Düsensystems entsteht, fällt durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen im wesentlichen im Zulauf ab. Der Druckabfall im Bereich des Düsensystems ist gering, so daß sich die Glasschmelze beim Austritt aus der Schlitzdüse nur unwesentlich aufweitet. Die Benetzung der Düse im Bereich der Abrißkante wird reduziert. Durch die reduzierende Benetzung der Schlitzdüse im Bereich der Abrißkante werden verbesserte Oberflächenqualitäten im Vergleich zu den bekannten Ziehverfahren mit Düsen erreicht.
Das Rohr ist vorzugsweise vertikal angeordnet.
Im Rohr wird der benötigte Zähigkeitsverlauf des Glases durch die Kombination der Beheizung und Kühlung eingestellt. Am Ende des Zulaufs wird das Glas in den Ziehtank eingespeist.
Im Ziehtank wird die Glasschmelze quer zur Ziehrichtung gleichmäßig verteilt. Der Ziehtank ist ein Behältnis aus vorzugsweise einer Platinlegierung, in dem der geforderte Zähigkeitsverlauf des Glases durch eine Kombination der Beheizung und Kühlung eingestellt wird. Das Glas wird unterhalb des Ziehtanks dem Düsensystem zugeführt.
Die Einstellung des Gesamtdurchsatzes ist von der Einstellung des Liniendurchsatzes weitgehend entkoppelt. Der Gesamtdurchsatz wird durch die definierte Beheizung und Kühlung des Zulaufs eingestellt. Der Liniendurchsatz und damit die Dickenverteilung quer zur Bandrichtung wird eingestellt durch die definierte Beheizung und Kühlung der Ziehtanksegmente, der Schlitzdüse und des Leitkörpers. Dies bedeutet, daß Änderungen des Druckabfalls im Bereich des Ziehtanks und der Düsen, z. B. verursacht durch Temperaturänderungen in diesem Bereich, den Gesamtdurchsatz nur unwesentlich beeinflussen. Damit wird die Stabilität des Gesamtdurchsatzes und damit die Konstanz der Dickenverteilung des Glasbandes in Z-Richtung (s. Koordinatensystem in Fig. 1) erhöht. Durch die Entkopplung der unterschiedlichen Prozeßschritte wird die Prozeßführung vereinfacht. Die Zeiten für Einfahrprozesse werden reduziert und die Flexibilität der Fertigung, z. B. Änderungen des Gesamtdurchsatzes oder Änderungen der Glasbanddicke, werden durch Erweiterungen der Prozeßfenster im Vergleich zu den bekannten Ziehverfahren erhöht. Die Anlagen müssen nicht jeweils den geänderten Geometrien des Glasbandes oder geänderten Prozeßparametern angepaßt werden.
Das Düsensystem weist vorzugsweise eine bzw. zwei Schlitzdüsen und gegebenenfalls einen Leitkörper aus einer Platinlegierung auf. Die Schlitzdüsen weisen vorzugsweise eine Heizung auf. Der Leitkörper kann eine nach unten spitz zulaufende Platte aus einer Platinlegierung sein und weist vorzugsweise eine Heizung und bei Bedarf eine Kühlung auf. Die Einstellung des homogenen Liniendurchsatzes erfolgt durch die definierte Beheizung und Kühlung des Ziehtanks, der Schlitzdüse und des Leitkörpers.
Obwohl auch ohne Leitkörper gute Ergebnisse bezüglich der Oberflächenqualität erzielt werden, kann durch Einsatz eines Leitkörpers eine weitere Verbesserung erzielt werden. Der Glasschmelzefluß wird beim Durchlauf durch die Schlitzdüse mittels des Leitkörpers geteilt. Die Glasschmelze fließt beidseitig an dem Leitkörper nach unten. Die beiden Glasfilme schmelzen am unteren Ende des Leitkörpers wieder zu einem Glasband zusammen.
Die Verweilzeit und die Viskosität der Glasfilme wird auf dem Leitkörper derart eingestellt, daß Abweichungen von der idealen Oberflächenkontur nahezu vollständig ausheilen. Um dies zu erreichen, werden die Glasfilme selektiv am Leitkörper geheizt und/oder gekühlt.
Durch die lange Verweilzeit der beiden Glasfilme am Leitkörper bei geringer Zähigkeit des Glases heilen Abweichungen von der idealen Oberflächenkontur aufgrund der Oberflächenspannungen fast vollständig aus. Es wird eine Oberflächenqualität erreicht, die vergleichbar mit der Oberflächenqualität des düsenfreien Ziehverfahrens ist. (Waviness < 20 mm).
Die Schlitzbreite zwischen der Schlitzdüse und dem Leitkörper kann beispielsweise jeweils 10 mm betragen. Die Dicke der beiden Glasfilme beträgt beispielsweise jeweils 8 mm. Das heißt, die beiden Glasfilme benetzen die Schlitzdüse von unten nicht.
Die Qualitätsanforderungen an die Geometrie der Abrißkante der Schlitzdüse sind im Vergleich zu bekannten Ziehverfahren mit Düse gering. Deshalb können die Düsen im Gegensatz zu den bekannten Ziehverfahren auch nach dem Abstoppen mehrmals eingesetzt werden. Die Fertigungskosten werden somit reduziert.
Aufgrund der Stabilisierung der Glasfilme durch den Leitkörper und der raschen Kühlung nach dem Verschmelzen der beiden Glasfilme in der Ziehzwiebel können die Verarbeitungstemperaturen deutlich höher (≧ 100 K) als bei den Ziehverfahren mit Düse ohne Leitkörper gewählt werden und sind somit vergleichbar mit den Verarbeitungstemperaturen in den düsenfreien Ziehverfahren. Die Erhöhung der Verarbeitungstemperaturen ermöglicht die Fertigung von Spezialgläsern mit starker Kristallisationsneigung oder von Glaskeramiken.
Das Glasband wird im Bereich der Ziehzwiebel vorzugsweise selektiv gekühlt.
Durch die Stabilisierung der Glasfilme durch den Leitkörper und der schnellen Abkühlung des Glases im Bereich der Ziehzwiebel ist die Glasmasse im Bereich der Ziehzwiebel gering. Damit können Liniendurchsätze bis zu 5 g/(mm × min) bei hoher Prozeßstabilität eingestellt werden. Bei den oben angegebenen Temperatureinstellungen werden z. B. Liniendurchsätze von 3,5 g/(mm × min) erreicht. Hierdurch wird die Produktivität entscheidend verbessert.
Der Leitkörper ist vertikal in der Schlitzdüse angeordnet und ragt vorzugsweise durch den Schlitz der Schlitzdüse in den Ziehtank. Der Glasfluß wird durch den Leitkörper schon im Ziehtank in Y-Richtung (s. Koordinatensystem in Fig. 1) geteilt. Dadurch und zusätzlich durch ein äußeres Justagesystem, mit dem der Leitkörper in X-Y-Richtung, bei Bedarf auch in Z-Richtung zur Lage des Düsenschlitzes justiert werden kann, werden gleiche Glasfilmdicken gewährleistet. Möglichst gleiche Glasfilmdicken sind notwendig, um kleine Warp-Werte sicherzustellen.
Vorzugsweise weist der Leitkörper Seitenbegrenzungen auf. Durch die Seitenbegrenzung des Leitkörpers und durch die Temperaturführung im Bereich der Kühlsysteme des Düsenofens kann der Prozeß so geführt werden, daß die Breite der Borten und somit die Glasverluste hinreichend klein sind. Auf eine inhomogene Temperaturführung im Düsenbereich und auf Bortenroller, zur Einstellung der gewünschten Breite, kann verzichtet werden. Durch die Verbesserung der Ausbeute wird die Produktivität erhöht.
Zusätzlich kann die Geradheit des Leitkörpers insbesondere für große Bandbreiten und lange Prozeßzeiten durch das Anlegen einer Zugkraft in X-Richtung sichergestellt werden. Damit können große Bandbreiten mit langer Fertigungsdauer hergestellt werden, was die Produktivität wiederum entscheidend verbessert.
Unterhalb der Schlitzdüse schließt sich der Düsenofen an. Der Leitkörper ragt vorzugsweise in den Düsenofen hinein. Der Düsenofen verfügt vorzugsweise über eine Beheizungseinrichtung und über zwei Kühlsysteme.
Geringe Inhomogenitäten des Liniendurchsatzes führen ggf. zu kleinen Dickenschwankungen quer zur Ziehrichtung des Glasbandes. Die Dickenverteilung kann durch das in X-Richtung segmentierte Kühlsystem des Düsenofens unterhalb des Hauptkühlers korrigiert werden. Dazu werden bei Bedarf verschiedene Zonen des Glasbandes geringfügig unterschiedlich abgekühlt, so daß die Verstreckung des Glasbandes in Z-Richtung für heißere Glaszonen größer ist als für kältere Glaszonen. Damit wird bei der Verstreckung des Glasbandes die Reduzierung der Dicke der kälteren Zonen im Vergleich zur Reduzierung der Dicke der wärmeren Zonen moderat verringert. Im Düsenofen können durch die segmentierten Heiz- und Kühlelemente somit definierte Temperaturprofile in Bandrichtung und quer zur Bandrichtung eingestellt werden. Die Ausbeute bezüglich des Qualitätsmerkmals Dickenverteilung wird somit erhöht.
Zur definierten Einstellung der Verweildauer des Glasfilms am Leitkörper kann der Leitkörper direkt beheizt und gekühlt werden. Hierzu weist der Leitkörper eine vorzugsweise Heizeinrichtung und/oder Kühleinrichtung auf. Zusätzlich können die Glasfilme beidseitig durch die segmentierte Beheizungseinrichtung des Düsenofens beheizt werden.
Der Düsenofen weist im Bereich des Leitkörpers vorzugsweise gegenüberliegende Strahlplatten auf.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist der Düsenofen unterhalb der Strahlplatten mindestens eine in den Ofenschacht verschiebbare Schotte auf.
Durch die Ausbildung einer kleinen Ziehzwiebel wird dem Glas direkt unterhalb des Leitkörpers durch zwei Kühlsysteme, eine Hauptkühlung und eine segmetierte Kühlung unterhalb der Hauptkühlung, Wärme entzogen. Dabei führt die Hauptkühlung den wesentlichen Anteil der Wärmemenge ab. Die in X-Richtung fein segmentierte Kühlung stellt die Korrektur geringer Dickenschwankungen verursacht durch das Düsensystem sicher.
Unterhalb des Düsenofens schließt sich vorzugsweise ein Walzenofen mit Walzenschacht an, der eine in X- und Y-Richtung segmentierte Heiz- und Kühleinrichtung aufweist.
Das Glasband wird vertikal nach unten und ggf. quer zur Bandrichtung verstreckt. Die dazu notwendigen Ziehwalzen oder Ziehrollenpaare und Warprollen oder Warprollenpaare befinden sich unterhalb des Düsenofens gegebenenfalls im Walzenofen, im Ziehschacht oder in der Ziehmaschine.
Vorrichtungsmäßig wird das Glasband bei Bedarf im viskoseelastischen Zustand durch Walzen oder Rollen unter dem Düsenofen quer zur Bandrichtung so gestreckt, daß das Glasband plan und spannungsfrei den im Ziehschacht befindlichen Kühleinrichtungen zugeführt wird. Dadurch können ggf. Abweichungen von der Planität, die im Heißformgebungsbereich verursacht wurden, korrigiert werden. Außerdem wird durch die Walzen oder Rollen der Durchgriff der Verformung aus dem elastischen Bereich im Heißformbereich verhindert. Die Walzen oder Rollen befinden sich in einem Walzenofen oder im Ziehschacht, in dem durch segmentierte Heiz- und Kühlelemente definierte Temperaturprofile in Bandrichtung quer zur Bandrichtung eingestellt werden können. Dadurch wird die Ausbeute bezüglich des Qualitätsmerkmals Warp erhöht.
Die Ziehwalzen dienen zur Einstellung der Dicke. Mit den Warprollen wird die notwendige Planität des Glasbandes und der späteren Glasscheiben sichergestellt.
Das Glasband durch die Ziehwalzen mit einer Geschwindigkeit von z. B. 1,6 m/min so verstreckt, daß bei einem Liniendurchsatz von 3,5 g (min × mm) und einem Bruttobereich von ca. 800 mm ein Glasband mit einer Dicke im Nettobereich von 0,7 mm entsteht.
Vorzugsweise wird das Glasband beim Anfahrprozeß mit Ziehwalzen unter dem Düsenofen angezogen. Dadurch wird die Dauer des Anfahrens deutlich verringert.
Der Düsenofen kann zur Vereinfachung des Anfahrprozesses quer zur Bandrichtung geöffnet werden. Der Anfahrprozeß wird somit erleichtert.
Auch der Walzenofen kann zur Vereinfachung des Anfahrprozesses quer zur Bandrichtung geöffnet werden.
Die Ziehgeschwindigkeit der Ziehwalzen ist entsprechend der online gemessenen Dicke des Glasbandes regelbar. Vorzugsweise wird die Dicke des Glasbandes kontinuierlich gemessen, wobei mittels der gemessenen Dickenwerte die Ziehgeschwindigkeit gesteuert wird.
Die Onlinedickenmessung wird vorzugsweise nach der Kühlung des Glases durchgeführt. Dadurch wird die Ausbeute bezüglich des Qualitätsmerkmals mittlerer Dicken erhöht.
Falls bei großen Banddicken, d. h. großen Bandgewicht und geringe Ziehkraft, die notwendigen Ziehkräfte zur Einstellung der geforderten Dicke kleiner sind als das Bandgewicht, können die Ziehwalzen einen Teil des Bandgewichtes kompensieren. Sie sind dann bevorzugt im Walzenofen oder im Ziehschacht anzuordnen.
Der Ziehschacht kann zur Vereinfachung des Anfahrprozesses nach unten oder seitlich ausgefahren werden. Während der Produktion wird der Ziehschacht von unten an den Walzenofen angedockt. Der Anfahrprozeß wird somit ebenfalls erleichtert.
Bevorzugte Verwendungen der nach dem Verfahren hergestellten Glasscheiben sind Substratgläser in elektronischen Geräten wie z. B. Displays (tragbare Telefone, Flachbildschirme, etc.) oder Substratgläser für Massenspeicher von Rechnern.
Beispielhafte Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Vertikalschnitt durch die Vorrichtung und
Fig. 2 einen Vertikalschnitt durch den Bereich der Schlitzdüse in vergrößerter Darstellung.
In den Fig. 1 und 2 ist ein Koordinatensystem zur Festlegung der Raumrichtungen eingezeichnet. Hierbei bedeuten die X-Richtung die Richtung der Glasbandbreite, die Y-Richtung die Richtung senkrecht zur idealen Bandoberfläche (Glasbanddicke) und die Z-Richtung die Richtung in Ziehrichtung.
In der Fig. 1 ist die Vorrichtung im Vertikalschnitt mit den Abschnitten Zulauf 1, Ziehtank 6, Düsenofen 18, Walzenofen 25 und Ziehschacht 32 schematisch dargestellt.
Durch den Zulauf 1 wird die Glasschmelze aus einem nicht dargestellten Homogenisierungssystem in den Ziehtank 6 eingespeist. Der Zulauf 1 besteht aus einem in vertikaler Richtung angeordneten Rohr 2. Das Rohr 2 besteht aus einer Platinlegierung oder aus ff-Material, das symmetrisch direkt oder indirekt beheizte oder gekühlte Rohrabschnitte 2a, b, c aufweist und ist segmentiert. Entsprechend den Rohrabschnitten 2a, b, c ist eine entsprechend segmentierte Beheizungseinrichtung 3 und eine segmentierte Kühleinrichtung 4 vorgesehen, die über eine Isolierung 5 gegenüber der Umgebung abgeschirmt sind. Die Beheizung 3 erfolgt durch eine direkte oder indirekte elektrische Beheizung. Die Kühleinrichtung 4 besteht aus Kühlrohren, durch das ein Kühlmedium geleitet wird. Die Kühlrohre umgreifen die Segmente des Rohres 2 und sind an entsprechende Kühlaggregate angeschlossen.
Der sich nach unten an die Zulaufrinne 1 anschließende Ziehtank 6 weist einen Glasverteiler 7 aus einer Platinlegierung auf, der vertikal nach unten in die Glaszuführung 8 übergeht, die ebenfalls aus einer Platinlegierung besteht. Der Glasverteiler 7 dient zur Verteilung der Glasschmelze über die gesamte Länge der Schlitzdüse 11, die noch im einzelnen beschrieben wird. Der Ziehtank 6 besitzt ein ebenfalls in vertikaler Richtung und in Querrichtung segmentiertes Beheizungssystem 9. Die Beheizung kann direkt oder indirekt als elektrische Beheizung ausgeführt sein. Außen ist der Ziehtank 6 mit einer Isolierung 10 umgeben.
An der Unterseite des Ziehtanks 6 befindet sich das Düsensystem mit der Schlitzdüse 11, den Dichtungen 12 und 13 und dem Leitkörper 16. Die Schlitzdüse und der Leitkörper bestehen aus einer Platinlegierung. Die Schlitzdüse 11 wird durch die Düsenhalterung 14 von unten gegen den Ziehtank 6 gepreßt. Die Dichtung 12 und die flexible Dichtung 13 gewährleisten den Kraft- und Formschluß.
Die Schlitzdüse 11 wird elektrisch mittels der in der Düsenhalterung 14 angeordneten Heizung 15 direkt oder indirekt beheizt. Zur Optimierung der Glasströmung kann bei Bedarf oberhalb der Schlitzdüse 11 eine weitere Schlitzdüse aus einer Platinlegierung angeordnet sein (nicht abgebildet).
In der Schlitzdüse 11 ist, wie in der Fig. 2 dargestellt ist, ein Leitkörper 16 aus einer Platinlegierung angeordnet, der aus einem plattenförmigen Element besteht, das am unteren Ende spitz zuläuft. Der Leitkörper 16 hat gegebenenfalls eine Seitenbegrenzung 17 und ist in X-, Y-, Z-Richtung justierbar angeordnet, was in den Fig. 1 und 2 nicht dargestellt ist. Der Leitkörper 16 verfügt ferner über eine direkte elektrische Beheizung, gegebenenfalls auch über eine Kühleinrichtung.
Die beiden Glasfilme, die aus der Schlitzdüse 11 an den Außenseiten des Leitkörpers 16 vertikal nach unten fließen, vereinigen sich an dem spitz zulaufenden unteren Ende zu einem gemeinsamen Glasband. Die Glasfilme auf dem Leitkörper, die Ziehzwiebel und der Verstreckungsbereich des Glasbandes befinden sich zwischen den Strahlplatten 19 des Düsenofens 18, der im oberen Teil über eine elektrische Beheizung 20 und im unteren Teil über Kühlsysteme 23 und 24 verfügt. Die Strahlplatten 19 schirmen die Beheizung zur Verbesserung der Temperaturhomogenität vom Glasband ab.
Mit einer in Y-Richtung beweglichen Schotte 22 in Höhe der Ziehzwiebel kann die Abfuhr der Wärme aus dem Glasband durch die Kühlsysteme 23, 24 reguliert werden. Unterhalb der Schotte 22 befindet sich die Hauptkühlung 23 zur Einstellung der Temperatur des Glasbandes im Bereich der Ziehzwiebel. Das in X-Richtung segmentierte Kühlsystem 24 dient zur Einstellung der Dickenverteilung in Querrichtung des Glasbandes. Der Düsenofen 18 ist nach außen mittels der Isolierung 21 isoliert. Zur Erleichterung des Anfahrprozesses kann der Düsenofen gegebenenfalls in Y-Richtung geöffnet werden.
Unterhalb des Düsenofens 18 befindet sich der Walzenofen 25 mit Walzenschacht 26. Der Walzenofen 25 verfügt über eine in X- und Z-Richtung segmentierte, elektrische Heizeinrichtung 27 und über eine in X- und Z-Richtung segmentierte Kühleinrichtung 28. Zur Verbesserung der Temperaturhomogenität schirmt der Walzenschacht 26 die Heizeinrichtung vom Glasband ab. Im Walzenofen 25 sind die Warprollen 29 angeordnet, die durch Schrägstellung oder eine spezielle Profilierung das Glasband in X-Richtung zur Einstellung der geforderten Ebenheit verstrecken. Im Walzenofen 25 befinden sich außerdem ein oder mehrere Ziehwalzenpaare 30, die das Band in Z-Richtung zur Einstellung der geforderten Dicke definiert verstrecken. Der Walzenofen 25 ist nach außen mittels der Isolierung 31 isoliert. Zur Erleichterung des Anfahrprozesses kann der Walzenofen 25 gegebenenfalls in Y-Richtung geöffnet werden.
Unterhalb des Walzenofens 25 befindet sich der Ziehschacht 32. Der Ziehschacht 32 verfügt über eine in X- und Z-Richtung segmentierte, elektrische Beheizung 35 und über eine in X- und Z-Richtung segmentierte Kühleinrichtung 36. Zur Verbesserung der Temperaturhomogenität schirmt der Strahlschacht 33 die Beheizung 35 vom Glasband ab. Zur Unterbindung undefinierter Konvektion befinden sich im Strahlschacht bewegliche Schotten 34. Gegebenenfalls sind im Ziehschacht 32 Stabilisierungsrollen 37 angeordnet, die die Position des Glasbandes in Y-Richtung stabilisieren. Der Ziehschacht 32 ist nach außen isoliert (Isolierung 38).
Zur Erleichterung des Anfahrprozesses kann der Ziehschacht 32 gegebenenfalls in Y-Richtung geöffnet werden oder stirnseitig angeordnete Türen können geöffnet werden. Außerdem wird der Ziehschacht 32 zur Erleichterung der Rüstvorgänge nach unten ausgefahren. Zur Produktion wird der Ziehschacht 32 von unten an den Walzenofen 25 angedockt.
Der Walzenofen 25 kann auch entfallen. Bei nichtvorhandenem Walzenofen befinden sich die Warprollen 29 oder die Ziehwalzen 30 gegebenenfalls im Ziehschacht 32. Bei geringen Wanddicken, d. h. bei kleinem Bandgewicht und kleinen Ziehkräften können bei kurzen Ziehschächten 32 die Ziehwalzen 30 und die Stabilisierungsrollen 37 im Ziehschacht entfallen. Dann befinden sich die Ziehwalzen 30 unter dem Ziehschacht 32.
Alle Beheizungssysteme werden elektrisch betrieben. Die Kühlsysteme werden mittels durchfließender Flüssigkeiten oder gasförmiger Medien gekühlt.
Nachfolgend wird ein Beispiel für die Herstellung von Substratglas für TFT- Displays beschrieben.
Glas
Alkalifreies Borosilikat-Glas mit Tg < 700°C, Dichte < 2,5 g/cm3 und thermischer Ausdehnung < 37 × 10-7/K
Qualitätsmerkmale bezüglich der Geometrie
Länge: 670 mm
Breite: 590 mm
Dicke: 0,7 mm
Dickenverteilung: < 0,025 mm
Warp: < 0,5 mm
Waviness: < 50 nm
Prozeßführung Zulauf
Die Glastemperaturen im Zulauf werden zwischen Tg + 670 K und Tg + 590 K (entlang des Zulaufs monoton fallend) eingestellt. Der Gesamtdurchsatz beträgt dann 2,8 kg/min.
Ziehtank, Düsensystem und Beheizung Düsenofen
Die Glastemperaturen im Ziehtank 6 werden zwischen Tg + 590 K und Tg + 570 K, die Glastemperaturen an der Schlitzdüse 11 zwischen Tg + 570 K und Tg + 550 K und am Leitkörper 16 zwischen Tg + 560 K und Tg + 540 K eingestellt. Damit ergibt sich ein homogener Liniendurchsatz quer zum Glasband von 3,5 g/(min × mm). Die Dicke der Glasfilme auf dem Leitkörper 16 beträgt jeweils 8 mm. Bei einer Schlitzbreite (Abstand zwischen Schlitzdüse 11 und Leitkörper 16) von jeweils 10 mm benetzen die Glasfilme auf den Leitkörper 16 somit nicht die Unterseite der Schlitzdüse 11.
Kühlung Düsenofen und Walzenofen
Die Hauptkühleinrichtung 23 (Kühlmedium Wasser) kühlt das Glas im Ziehzwiebelbereich auf ca. Tg + 290 K ab. Dabei wird das Glas durch die Ziehwalzen 30 des Walzenofens 25 mit einer Ziehgeschwindigkeit von 1,6 m/min verstreckt, so daß ein Glasband mit einer Bruttobreite von 800 mm und einer Dicke von 0,7 mm entsteht. Die segmentierte Kühleinrichtung 23, 24 (Kühlmedium Wasser/Luft) wird so eingestellt, daß die geforderte Dickenverteilung sicher erreicht wird. Mit der segmentierten Heizung und Kühlung des Walzenofens 25 wird das Glasband homogen auf Tg + 140 K abgekühlt.
Ziehschacht
Mit der segmentierten Heizung und Kühlung des Ziehschachtes 32 wird das Glasband in der ersten Schnellkühlzone auf Tg + 50 K abgekühlt, dann in der Feinkühlzone zur Einstellung der permanenten Kühlkörperspannungen auf Tg - 50 K feingekühlt und dann in der zweiten Schnellkühlzone B rasch auf 450 K abgekühlt. Im Ziehschacht 32 und unterhalb des Ziehschachtes befinden sich weitere Walzen, die die Position des Glasbandes im und unterhalb des Ziehschachtes 32 stabilisieren. Nach dem Austemperieren und Ablängen werden die Anforderungen an den Warp erreicht.
Bezugszeichen
1
Zulauf
2
Rohr
2
a, b, c Rohrabschnitt
3
Beheizungseinrichtung
4
Kühleinrichtung
5
Isolierung
6
Ziehtank
7
Glasverteiler
8
Glaszuführung
9
Beheizungssystem
10
Isolierung
11
Schlitzdüse
12
Dichtung
13
flexible Dichtung
14
Düsenhalterung
15
Heizung
16
Leitkörper
17
Seitenbegrenzung
18
Düsenofen
19
Strahlplatten
20
Beheizung
21
Isolierung
22
Schotte
23
Hauptkühlung
24
segmentiertes Kühlsystem
25
Walzenofen
26
Walzenschacht
27
Heizeinrichtung
28
Kühleinrichtung
29
Warprollen
30
Ziehwalzen
31
Isolierung
32
Ziehschacht
33
Strahlschacht
34
Schotte
35
Beheizung
36
Kühleinrichtung
37
Stabilisierungsrollen
38
Isolierung

Claims (20)

1. Vorrichtung zur Herstellung von dünnen Glasscheiben, insbesondere von Glasscheiben mit einer Dicke unter 3 mm, mit einer Schmelzwanne, einem Homogenisierungssystem, einem Zulauf und einem Ziehtank, wobei der Ziehtank ein Düsensystem mit mindestens einer Schlitzdüse aufweist, dadurch gekennzeichnet,
daß der Zulauf (1), der Ziehtank (6) und das Düsensystem ein geschlossenes System bilden,
daß der Zulauf (1) ein Rohr (2) mit segmentierten Rohrabschnitten (2a, b, c) aufweist, wobei das Rohr (2) eine Länge von 2 bis 5 m und einen Querschnitt von 50 mm bis 80 mm aufweist, wobei der Rohrquerschnitt eine Kreisform aufweist, und
daß der Ziehtank (6) ein in vertikaler und Querrichtung segmentiertes Beheizungssystem (9) aufweist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (2) vertikal angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Zulauf (1) eine segmentierte Beheizungs- und Kühleinrichtung (3, 4) aufweist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schlitzdüse (11) eine Heizung (15) aufweist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß in der Schlitzdüse (11) mindestens ein Leitkörper (16) vertikal angeordnet ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitkörper (16) eine nach unten spitz zulaufende Platte aus einer Platinlegierung ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitkörper (16) nach oben über die Schlitzdüse (11) hinausragt.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitkörper (16) Seitenbegrenzungen (17) aufweist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitkörper (16) in X-, Y- und Z-Richtung justierbar ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitkörper (16) durch Anlegen einer Zugkraft in X-Richtung streckbar ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitkörper (16) eine Heizeinrichtung und/oder Kühleinrichtung aufweist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß sich unterhalb der Schlitzdüse (11) ein Düsenofen (18) mit segmentierter Heiz- und Kühleinrichtung (20, 23, 24) anschließt.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenofen (18) an den dem Leitkörper (16) gegenüberliegenden Flächen Strahlplatten (19) aufweist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenofen (18) unterhalb der Strahlplatten (19) mindestens eine verschiebbare Schotte (22) aufweist.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenofen (18) Mittel zum Öffnen quer zur Bandrichtung aufweist.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß sich unterhalb des Düsenofens (18) ein Walzenofen (25) mit Walzenschacht (26) anschließt, der eine in X- und Z-Richtung segmentierte Heiz- und Kühleinrichtung (27, 28) aufweist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß im Walzenschacht (26) mindestens ein Warprollenpaar (29) und/oder Ziehrollenpaar (30) angeordnet ist.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Walzenofen (25) Mittel zum Öffnen quer zur Bandrichtung aufweist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Ziehgeschwindigkeit der Ziehwalzen (30) entsprechend der online gemessenen Dicke des Glasbandes regelbar ist.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Ziehschacht nach unten oder seitlich aus- und einfahrbar ist.
DE10064977A 2000-12-23 2000-12-23 Vorrichtung zum Herstellen von dünnen Glasscheiben Expired - Fee Related DE10064977C1 (de)

Priority Applications (13)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10064977A DE10064977C1 (de) 2000-12-23 2000-12-23 Vorrichtung zum Herstellen von dünnen Glasscheiben
CNB018212476A CN100361912C (zh) 2000-12-23 2001-12-13 薄玻璃板的制造方法和装置
EP01985876A EP1347944B1 (de) 2000-12-23 2001-12-13 Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dünnen glasscheiben
PCT/EP2001/014654 WO2002051757A2 (de) 2000-12-23 2001-12-13 Verfahren und vorrichtung zum herstellung von dünnen glasscheiben
JP2002552862A JP4383050B2 (ja) 2000-12-23 2001-12-13 薄ガラス板製造方法及び装置
AU2002235774A AU2002235774A1 (en) 2000-12-23 2001-12-13 Method and device for producing thin glass panes
DE50113041T DE50113041D1 (de) 2000-12-23 2001-12-13 Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dünnen glasscheiben
KR1020037008116A KR100821932B1 (ko) 2000-12-23 2001-12-13 박판 유리 제조방법 및 제조장치
US10/451,559 US20040065115A1 (en) 2000-12-23 2001-12-13 Method and device for producing thin glass panes
TW090131056A TWI238149B (en) 2000-12-23 2001-12-14 Method and apparatus for manufacturing thin glass panes
MYPI20015849A MY136294A (en) 2000-12-23 2001-12-22 Method and device for producing thin glass panes
HK05103097A HK1070345A1 (en) 2000-12-23 2005-04-12 Method and device for producing thin glass panes
US11/867,424 US7735338B2 (en) 2000-12-23 2007-10-04 Method and device for producing thin glass panes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10064977A DE10064977C1 (de) 2000-12-23 2000-12-23 Vorrichtung zum Herstellen von dünnen Glasscheiben

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10064977C1 true DE10064977C1 (de) 2002-10-02

Family

ID=7668952

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10064977A Expired - Fee Related DE10064977C1 (de) 2000-12-23 2000-12-23 Vorrichtung zum Herstellen von dünnen Glasscheiben
DE50113041T Expired - Lifetime DE50113041D1 (de) 2000-12-23 2001-12-13 Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dünnen glasscheiben

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50113041T Expired - Lifetime DE50113041D1 (de) 2000-12-23 2001-12-13 Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dünnen glasscheiben

Country Status (11)

Country Link
US (2) US20040065115A1 (de)
EP (1) EP1347944B1 (de)
JP (1) JP4383050B2 (de)
KR (1) KR100821932B1 (de)
CN (1) CN100361912C (de)
AU (1) AU2002235774A1 (de)
DE (2) DE10064977C1 (de)
HK (1) HK1070345A1 (de)
MY (1) MY136294A (de)
TW (1) TWI238149B (de)
WO (1) WO2002051757A2 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10348098A1 (de) * 2003-10-11 2005-05-19 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Rohren oder Stäben
DE102004007560A1 (de) * 2004-02-17 2005-09-01 Schott Ag Vorrichtung und Ziehtank zur Herstellung von dünnen Glasscheiben
DE102008063554A1 (de) * 2008-12-05 2010-06-10 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Flachglas mit variierender Dicke
WO2012101202A1 (de) 2011-01-28 2012-08-02 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren und vorrichtung zum ziehen eines quarzglasstrangs
EP3770125A1 (de) 2019-07-24 2021-01-27 Schott Ag Vorrichtung und verfahren zur herstellung von glasbändern

Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101073783B1 (ko) * 2003-11-28 2011-10-13 코닝 인코포레이티드 저 뒤틀림 평판 글라스의 제조방법
DE102004052568B4 (de) * 2004-10-29 2012-02-02 Schott Ag Dünnglas-Substrat und Verfahren zur Herstellung von Dünnglas
EP2077254B1 (de) * 2006-10-24 2013-06-05 Nippon Electric Glass Co., Ltd. Vorrichtung und verfahren zur herstellung eines glasbands
JP5076443B2 (ja) * 2006-10-24 2012-11-21 日本電気硝子株式会社 ガラスリボンの製造装置及びその製造方法
JP4621996B2 (ja) * 2007-04-24 2011-02-02 日本電気硝子株式会社 ガラス板製造方法およびガラス板製造設備
JP2010527891A (ja) * 2007-05-18 2010-08-19 コーニング インコーポレイテッド ガラス製造プロセスにおける含有物を最小化する方法及び装置
US7717254B2 (en) * 2008-05-29 2010-05-18 Corning Incorporated Glass sheet guidance system and method for guiding glass sheets
CN101348320B (zh) * 2008-09-16 2010-06-02 陕西彩虹电子玻璃有限公司 一种消除显示器平板玻璃条纹缺陷的方法及搅拌装置
US8713967B2 (en) * 2008-11-21 2014-05-06 Corning Incorporated Stable glass sheet and method for making same
DE102009008292B4 (de) 2009-02-10 2014-09-25 Schott Ag Kondensator und Verfahren zur Herstellung eines solchen
EP2226299B1 (de) 2009-02-23 2018-01-24 Corning Incorporated Glasherstellungssystem und Verfahren zur Formung einer hochqualitativen, dünnen Glasscheibe
DE102009015089B4 (de) * 2009-03-31 2012-05-24 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Keramisierung von Gläsern, Glaskeramikartikel und seine Verwendung
EP2258664A1 (de) * 2009-06-04 2010-12-08 Corning Incorporated Vertikale Rollvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Glasbandes
US8117868B2 (en) * 2009-07-27 2012-02-21 Corning Incorporated Apparatus and methods for making glass
JP5644129B2 (ja) * 2010-02-12 2014-12-24 日本電気硝子株式会社 強化板ガラス及びその製造方法
JP5652742B2 (ja) * 2010-02-12 2015-01-14 日本電気硝子株式会社 強化板ガラス及びその製造方法
JP5656080B2 (ja) * 2010-03-23 2015-01-21 日本電気硝子株式会社 ガラス基板の製造方法
KR101383605B1 (ko) * 2010-08-11 2014-04-11 주식회사 엘지화학 플로트 유리 제조용 플로트 배스 및 플로트 배스 냉각 방법
KR101383604B1 (ko) * 2010-08-12 2014-04-11 주식회사 엘지화학 플로트 유리 제조용 플로트 배스 및 플로트 배스 냉각 방법
JP5669006B2 (ja) * 2010-10-19 2015-02-12 日本電気硝子株式会社 帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置
DE102014109831B4 (de) 2014-07-14 2017-12-28 Schott Ag Hochbrechende Dünngläser
DE102014109832B4 (de) 2014-07-14 2017-12-28 Schott Ag Hochbrechende Dünngläser
US8973402B2 (en) * 2010-10-29 2015-03-10 Corning Incorporated Overflow down-draw with improved glass melt velocity and thickness distribution
US8528365B2 (en) * 2011-02-24 2013-09-10 Corning Incorporated Apparatus for removing volatilized materials from an enclosed space in a glass making process
JP6052910B2 (ja) * 2011-05-31 2016-12-27 コーニング インコーポレイテッド 精密ガラスロール成形プロセスおよび装置
US20120318020A1 (en) * 2011-06-17 2012-12-20 Robert Delia Apparatus and methods for producing a glass ribbon
CN103204630B (zh) 2011-07-01 2020-06-09 安瀚视特控股株式会社 平面显示器用玻璃基板及其制造方法
US8794036B2 (en) * 2011-08-23 2014-08-05 Corning Incorporated Apparatus and method for separating a glass sheet from a moving ribbon of glass
DE102011082000A1 (de) 2011-09-01 2013-03-07 Schott Ag Energieübertragungskabel und Verfahren zur Herstellung eines solchen
DE102011084128A1 (de) 2011-10-07 2013-04-11 Schott Ag Verfahren zum Schneiden eines Dünnglases mit spezieller Ausbildung der Kante
DE102011084129A1 (de) 2011-10-07 2013-04-11 Schott Ag Glasfolie mit speziell ausgebildeter Kante
DE102011084132A1 (de) 2011-10-07 2013-04-11 Schott Ag Glasrolle
DE102011084131A1 (de) 2011-10-07 2013-04-11 Schott Ag Glasfolie mit speziell ausgebildeter Kante
TWI570075B (zh) * 2012-05-31 2017-02-11 康寧公司 製造玻璃帶的玻璃製造設備及方法
DE102012215149A1 (de) 2012-08-27 2014-03-20 Schott Ag Glassubstratband
US9038418B2 (en) 2012-09-25 2015-05-26 Corning Incorporated Apparatuses for manufacturing glass and methods of managing pulling forces applied to glass ribbon
US20140168546A1 (en) 2012-12-13 2014-06-19 3M Innovative Properties Company Curved Automatic-Darkening Filter
DE102013102848B3 (de) * 2013-03-20 2014-02-06 Schott Ag Hochbrechende Dünngläser, Verfahren zu deren Herstellung, Schichtverbund und Verwendung
DE102013215654A1 (de) 2013-08-08 2015-02-12 Schott Ag Verpackungseinheit für ein auf einen Wickelkern aufgerolltes Glas
DE102015001177A1 (de) 2014-03-10 2015-09-10 Schott Ag Verpackungseinheit
DE102014106817A1 (de) 2014-05-14 2015-11-19 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Dünnglas-Bands und verfahrensgemäß hergestelltes Dünnglas-Band
DE102016115297A1 (de) 2016-08-17 2018-02-22 Schott Ag Dünnes Glasprodukt und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102018111543A1 (de) 2017-05-22 2018-11-22 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Dickenkontrolle eines Materialbands
WO2019018670A1 (en) * 2017-07-21 2019-01-24 Corning Incorporated METHOD AND APPARATUS FOR HEAT TRANSFER OF ADJUSTABLE GLASS TAPE
DE102019120065A1 (de) * 2019-07-24 2021-01-28 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Glasbändern
US11912608B2 (en) 2019-10-01 2024-02-27 Owens-Brockway Glass Container Inc. Glass manufacturing
WO2021231124A1 (en) * 2020-05-13 2021-11-18 Corning Incorporated Glass molding apparatus including adjustable cooling nozzles and methods of using the same
CN111807684B (zh) * 2020-07-01 2023-07-07 彩虹显示器件股份有限公司 一种溢流砖成型质量稳定的控制方法
EP4208414A1 (de) * 2020-09-02 2023-07-12 Corning Incorporated Vorrichtung und verfahren zur verbesserung der eigenschaften von gezogenem glas
CN112358168A (zh) * 2020-10-10 2021-02-12 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 一种tft-lcd液晶玻璃厚度调整装置及其使用方法
CN112340965B (zh) * 2020-12-08 2024-08-09 河北省沙河玻璃技术研究院 一种柔性玻璃的生产装置及生产方法
CN116040923A (zh) * 2022-12-21 2023-05-02 河北光兴半导体技术有限公司 超薄玻璃制造装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1759229A (en) * 1928-02-01 1930-05-20 Libbey Owens Glass Co Method and apparatus for drawing sheet glass
US1829639A (en) * 1922-10-12 1931-10-27 Libbey Owens Ford Glass Co Method and apparatus for drawing sheet glass
US3338696A (en) * 1964-05-06 1967-08-29 Corning Glass Works Sheet forming apparatus
DE1596484B1 (de) * 1967-07-18 1971-10-28 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Vorrichtung zum herstellen von scheiben aus glas durch aus ziehen nach unten
JPH02217327A (ja) * 1989-02-15 1990-08-30 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス板製造方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1673907A (en) * 1928-06-19 of toledo
US1697227A (en) * 1921-02-10 1929-01-01 Danner Edward Sheet-glass-forming apparatus and method
DE1056794B (de) * 1956-02-07 1959-05-06 Jenaer Glaswerk Schott &. Gen., Mainz Vorrichtung zur Regelung des Durchflusses geschmolzenen Glases in einer einen Wannenofen und einen Homogenisierungsbehälter verbindenden heizbaren Rohrleitung
US3410675A (en) * 1965-04-15 1968-11-12 Corning Glass Works Glass rod and tube forming with controlled dimensional uniformity
US3275429A (en) * 1965-09-29 1966-09-27 Javaux Gustave Glass processing apparatus including a reciprocating roller
US4525194A (en) * 1983-06-06 1985-06-25 Rudoi Boris L Apparatus for simultaneous production of double glass panels
DE59805431D1 (de) * 1997-07-04 2002-10-10 Starshine Glastechnologie Gmbh Verfahren zur weiterverarbeitung von kleinen glaspartikeln
EP1048628A1 (de) * 1999-04-30 2000-11-02 Schott Glas Polymerbeschichtete Dünnglasfoliensubstrate
DE19918936A1 (de) * 1999-04-27 2000-11-02 Schott Glas Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Einzelglasscheiben
DE19939789A1 (de) * 1999-08-21 2001-02-22 Schott Glas Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und deren Verwendungen

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1829639A (en) * 1922-10-12 1931-10-27 Libbey Owens Ford Glass Co Method and apparatus for drawing sheet glass
US1759229A (en) * 1928-02-01 1930-05-20 Libbey Owens Glass Co Method and apparatus for drawing sheet glass
US3338696A (en) * 1964-05-06 1967-08-29 Corning Glass Works Sheet forming apparatus
DE1596484B1 (de) * 1967-07-18 1971-10-28 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Vorrichtung zum herstellen von scheiben aus glas durch aus ziehen nach unten
JPH02217327A (ja) * 1989-02-15 1990-08-30 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス板製造方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10348098A1 (de) * 2003-10-11 2005-05-19 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Rohren oder Stäben
DE10348098B4 (de) * 2003-10-11 2006-04-20 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Rohren oder Stäben sowie Verwendung
DE102004007560A1 (de) * 2004-02-17 2005-09-01 Schott Ag Vorrichtung und Ziehtank zur Herstellung von dünnen Glasscheiben
DE102004007560B4 (de) * 2004-02-17 2006-02-09 Schott Ag Vorrichtung und Ziehtank zur Herstellung von dünnen Glasscheiben
DE102008063554A1 (de) * 2008-12-05 2010-06-10 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Flachglas mit variierender Dicke
WO2012101202A1 (de) 2011-01-28 2012-08-02 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren und vorrichtung zum ziehen eines quarzglasstrangs
US9242887B2 (en) 2011-01-28 2016-01-26 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method and apparatus for drawing a quartz glass strand
EP3770125A1 (de) 2019-07-24 2021-01-27 Schott Ag Vorrichtung und verfahren zur herstellung von glasbändern
DE102019120064A1 (de) * 2019-07-24 2021-01-28 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Glasbändern
US20210024399A1 (en) * 2019-07-24 2021-01-28 Schott Ag Apparatus and method for producing glass ribbons
EP4368585A2 (de) 2019-07-24 2024-05-15 Schott Ag Vorrichtung und verfahren zur herstellung von glasbändern

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002051757A3 (de) 2002-10-10
EP1347944B1 (de) 2007-09-19
US7735338B2 (en) 2010-06-15
KR20030069190A (ko) 2003-08-25
DE50113041D1 (de) 2007-10-31
JP4383050B2 (ja) 2009-12-16
CN100361912C (zh) 2008-01-16
US20080184741A1 (en) 2008-08-07
AU2002235774A1 (en) 2002-07-08
CN1537081A (zh) 2004-10-13
WO2002051757A2 (de) 2002-07-04
KR100821932B1 (ko) 2008-04-15
TWI238149B (en) 2005-08-21
HK1070345A1 (en) 2005-06-17
JP2004523452A (ja) 2004-08-05
MY136294A (en) 2008-09-30
EP1347944A2 (de) 2003-10-01
US20040065115A1 (en) 2004-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10064977C1 (de) Vorrichtung zum Herstellen von dünnen Glasscheiben
DE102013109443B4 (de) Verfahren zum Ziehen von Glasbändern
DE102014100750B4 (de) Verfahren zur Herstellung von Glaskomponenten
DE102018111543A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Dickenkontrolle eines Materialbands
WO2020104497A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dünnglas sowie dünnglasband
EP1874697B2 (de) Vorrichtung zum überführen von glasschmelze auf ein floatbad
DE102013105734B4 (de) Verfahren zum Wiederziehen von Glas
DE102013203624B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen einer Oberflächenglasschicht und Glaswanne oder -rinne mit einer solchen Vorrichtung
DE3111484C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Glasfasern
DE102004023726B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturkontrolle bei der Glasherstellung
EP2358647B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von flachglas
DE10348098A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Rohren oder Stäben
DE102004007560B4 (de) Vorrichtung und Ziehtank zur Herstellung von dünnen Glasscheiben
DE1225826B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Glas in Bandform
EP3770124A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur herstellung von glasbändern
DE10229344B4 (de) Apparat für die Herstellung von dünnem Flachglas
EP3770125A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur herstellung von glasbändern
DE3407697C2 (de)
DE3142567A1 (de) Verfahren zur herstellung duenner glasschichten
DE3327475A1 (de) Verfahren zur herstellung von tafelglas
WO2022189222A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum ziehen von dünnglasbändern
DE102004019014A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Abkühlung und Entspannung von dünnem Flachglas
DE1596553C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung mineralischer Fäden oder Fasern nach dem Direktschmelzverfahren
CN118026503A (zh) 一种基板玻璃厚度调控方法和设备
DE1596553B2 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung mineralischer faeden oder fasern nach dem direktschmelzverfahren

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of patent without earlier publication of application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: SCHOTT AG, 55122 MAINZ, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: MEHLER ACHLER PATENTANWAELTE PARTNERSCHAFT MBB, DE

Representative=s name: MEHLER ACHLER PATENTANWAELTE, 65185 WIESBADEN, DE

Representative=s name: MEHLER ACHLER PATENTANWAELTE, DE

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee