DE10050529B4 - Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop, Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop und Scanmikroskop - Google Patents

Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop, Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop und Scanmikroskop Download PDF

Info

Publication number
DE10050529B4
DE10050529B4 DE10050529.5A DE10050529A DE10050529B4 DE 10050529 B4 DE10050529 B4 DE 10050529B4 DE 10050529 A DE10050529 A DE 10050529A DE 10050529 B4 DE10050529 B4 DE 10050529B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
interest
beam deflection
scanning
deflection device
microscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Revoked
Application number
DE10050529.5A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10050529A1 (de
Inventor
Dr. Engelhardt Johann
Dr. Knebel Werner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems CMS GmbH
Original Assignee
Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7659522&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE10050529(B4) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Leica Microsystems CMS GmbH filed Critical Leica Microsystems CMS GmbH
Priority to DE10050529.5A priority Critical patent/DE10050529B4/de
Priority to GB0123392A priority patent/GB2369739B/en
Priority to JP2001310089A priority patent/JP4198347B2/ja
Priority to US09/974,014 priority patent/US6580554B2/en
Publication of DE10050529A1 publication Critical patent/DE10050529A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10050529B4 publication Critical patent/DE10050529B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Revoked legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Image Input (AREA)

Abstract

Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop mit folgenden Schritten:
• Aufnehmen eines Voransichtsbildes (7);
• Markieren mindestens eines interessierenden Bereichs (27, 29) im Voransichtsbild (7);
• Verschieben des Scanfeldes (31, 33) auf den interessierenden Bereich (27, 29) mittels einer ersten Strahlablenkeinrichtung (43, 67, 78); und
• Aufnehmen eines Bildes durch mäanderförmiges Abtasten des interessierenden Bereichs (27, 29) mit einer zweiten Strahlablenkeinrichtung (49, 72, 82, 94),
dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung (72, 78, 82, 94) mit je zwei Strahlablenkmodulen (71 und 75, 81 und 83, 77 und 79, 93 und 95) ausgestaltet sind und dass die Strahlablenkmodule (71 und 75, 81 und 83, 77 und 79, 93 und 95) durch einen kardanisch aufgehängten Spiegel oder einen Mikrospiegel oder einen Akusto-Optischen-Deflektor oder einen Galvanometerspiegel oder ein resonant schwingendes Spiegelsystem gebildet sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abtastung einzelner Bereiche in der Scanmikroskopie. Wobei die interessierende Bereiche über das gesamte Bildfeld verteilt sind. Dabei kann unter Beibehaltung der Scanbewegung schnell zwischen den einzelnen interessierenden Bereichen gewechselt werden. Dabei kann die Scanbewegung durch eine geeignete Bewegung eines Scanspiegels durchgeführt werden.
  • Des weiteren betrifft die Erfindung eine Anordnung zur Strahlsteuerung in der Scanmikroskopie.
  • Hinzu kommt, dass die Erfindung ein Scanmikroskop betrifft, das eine Anordnung zur Strahlsteuerung umfasst, die es erlaubt unter Beibehaltung der Scanbewegung schnell zwischen den einzelnen interessierenden Bereichen zu wechseln. Das Scanmikroskop kann auch als konfokales Mikroskop ausgestaltet sein. Im besonderen wird im Scanmikroskop von einem Beleuchtungssystem erzeugten Lichtstrahl unter Zwischenschaltung mehrerer optischer Mittel über ein Objekt führt und mindestens einen Detektor, der über die mehreren optischen Mittel ein vom Objekt ausgehendes Licht empfängt.
  • In der Scanmikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus des Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so daß ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt, wobei sowohl schnelle resonante als auch langsamere (genauere) nichtresonante Galvanometer-Stellelemente zum Einsatz kommen. Um eine Probe in der Objektebene abzutasten ist es wichtig, daß die Drehachsen der Spiegel in oder zumindest nahe bei einer zur Fokusebene konjugierten Ebene liegen, die auch als Fourierebene bezeichnet wird. Eine mögliche Strahlablenkeinrichtung, die die Anforderungen an eine telezentrische Abbildung erfüllt, ist beispielsweise aus der DE 196 54 210 A1 bekannt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
  • Aus der Scanning-Ophthalmoskopie sind weitere Beispiele für die Verwendung von Strahlablenkeinrichtungen bekannt:
    In DE 197 33 995 A1 weist dabei das Scanning-Ophthalmoskop die Möglichkeit auf, während der Untersuchung den abzuscannenden Bereich in Größe und Position zu verändern.
  • In US 5 430 509 A wird ein Scanning-Ophthalmoskop mit drei oder mehr hintereinandergeschalteten Mitteln zur Durchführung der Scanbewegung offenbart.
  • Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet.
  • Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog. Anregungsblende – fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird über einen Strahlteiler eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so daß man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt.
  • Idealerweise beschreibt die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem Objekt einen das gesamte Bildfeld ausfüllenden Mäander. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position, anschließend x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung auf die nächste abzutastende Zeile schwenken und dann bei konstanter y-Position diese Zeile in negative x-Richtung abtasten u. s. w.). Bei hohen Strahlablenkgeschwindigkeiten kommt es auf Grund der Massenträgheit der ablenkenden bewegten Bauteile, beispielsweise der Galvanometerwelle und der Spiegel, zu Abweichungen von der Idealbahn. Tatsächlich beschreibt die Scanbahn des Lichtstrahles bei brauchbaren Scanraten (> 100 Hz) eine Sinuskurve, was sogar eine Korrektur der sich daraus ergebenden Abweichungen vom Idealfall nötig werden lässt.
  • Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in festen Zeitabständen während des Abtastvorganges gemessen und so Rasterpunkt für Rasterpunkt abgetastet. Der Messwert muss eindeutig der dazugehörigen Scanposition zugeordnet werden, um aus den Messdaten ein Bild erzeugen zu können. Zweckmäßiger Weise werden hierfür die Zustandsdaten der Verstellelemente der Strahlablenkeinrichtung laufend mitgemessen oder, was allerdings weniger genau ist, direkt die Steuersolldaten der Strahlablenkeinrichtung verwendet.
  • Bei einigen mikroskopischen Anwendungen ist der Benutzer nur an Informationen über einzelne Bereiche innerhalb des Bildfeldes interessiert, während die umgebenden Probenbereiche nicht interessieren. Die interessierenden Bereiche sollen darüber hinaus möglichst schnell hintereinander abgetastet werden.
  • Mit den bekannten Anordnungen ist eine Abtastung einzelner interessierender Probenbereiche nur eingeschränkt möglich. Eine Abtastung des gesamten Bildfeldes und anschließende Selektion der Daten der interessierenden Bereiche ist hinsichtlich der geforderten schnellen aufeinanderfolgenden Informationsgewinnung über die interessierenden Bereiche wenn überhaupt nur eingeschränkt einsetzbar.
  • Besser ist die Lösung, die einzelnen interessierenden Bereiche sequentiell abzutasten. Es ist prinzipiell möglich, die Strahlablenkeinrichtung so anzusteuern, daß jeder der interessierenden Bereiche für sich beispielsweise mäanderförmig abgetastet wird und die nicht interessierenden Umgebungsbereiche nicht abgetastet werden. Diese Vorgehensweise ist jedoch nur dann möglich, wenn die Strahlablenkeinrichtung es erlaubt, den Abtastlichtstrahl gezielt zu steuern und gezielt auf einzelne Punkte im Bildfeld zu lenken.
  • Insbesondere bei der Verwendung resonant arbeitender Strahlablenkeinrichtungen, die beispielsweise auf der Verwendung von resonanten Galvanometern oder Mikrospiegeln beruhen, ist dies nicht möglich; denn diese Strahlablenkeinrichtungen arbeiten ausschließlich mit der jeweiligen baulich bedingten Resonanzfrequenz. Ein „Parken” des Lichtstrahles in einem Bereich des Bildfeldes ist nicht möglich. Auch bei schnell ablenkende nicht resonant arbeitende Strahlablenkeinrichtungen treten hinsichtlich der gezielten Positionierbarkeit Schwierigkeiten auf, da die Stellelemente aufgrund ihrer Trägheit nur verzögert auf ein Ansteuersignal reagieren.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren Abtastung mikroskopischer Präparate mit einem Lichtstrahl anzugeben, die die aufgezeigten Probleme löst.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gelöst mit folgenden Schritte:
    • • Aufnehmen eines Voransichtsbildes;
    • • Markieren mindestens eines interessierenden Bereichs im Voransichtsbild;
    • • Verschieben des Scanfeldes auf den interessierenden Bereich mittels einer ersten Strahlablenkeinrichtung; und
    • • Aufnehmen eines Bildes durch mäanderförmiges Abtasten des interessierenden Bereichs mit einer zweiten Strahlablenkeinrichtung,
    dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung mit je zwei Strahlablenkmodulen ausgestaltet sind und dass die Strahlablenkmodule durch einen kardanisch aufgehängten Spiegel oder einen Mikrospiegel oder einen Akusto-Optischen-Deflektor oder einen Galvanometerspiegel oder ein resonant schwingendes Spiegelsystem gebildet sind.
  • Erfindungsgemäß ist erkannt worden, daß man auf die Verwendung von schnellen oder resonanten Strahlablenkeinrichtungen nicht zu verzichten braucht, wenn man das von der ersten Strahlablenkeinrichtung überstrichene Scanfeld mit Hilfe einer weiteren geeigneten Strahlablenkeinrichtung, die eine exakte Positionierung erlaubt, innerhalb des Bildfeldes auf die interessierenden Bereiche verschiebt.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es eine Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop zu schaffen, die es ermöglicht schnell zwischen mehreren interessierenden Bereichen einer Probe zu wechseln und dabei nach einem konstanten Muster Information von interessierenden Bereichen zu sammeln.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop wobei das Scanmikroskop Mittel zum Aufnehmen und Darstellen eines Voransichtsbildes und eine Mikroskopoptik umfasst und wobei die Anordnung
    • • Mittel zum Markieren mindestens eines interessierenden Bereichs im Voransichtsbild;
    • • eine erste Strahlablenkeinrichtung zum Verschieben des Scanfeldes auf den interessierenden Bereich; und
    • • eine zweite Strahlablenkeinrichtung zur mäanderförmigen Abtastung innerhalb des Scanfeldes umfasst,
    dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung mit je zwei Strahlablenkmodulen ausgestaltet sind und dass die Strahlablenkmodule durch einen kardanisch aufgehängten Spiegel oder einen Mikrospiegel oder einen Akusto-Optischen-Deflektor oder einen Galvanometerspiegel oder ein resonant schwingendes Spiegelsystem gebildet sind.
  • In einer besonderen Ausführungsform ist erfindungsgemäß eine Abbildungsoptik zwischen den Strahlablenkeinrichtungen vorgesehen, um das Prinzip der telezentrischen Abtastung zu gewährleisten.
  • Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, Scanmikroskop zu schaffen, das eine schnelle sequentielle Abtastung von interessierenden Probenbereichen ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Scanmikroskop, das
    • • Mittel zum Markieren mindestens eines interessierenden Bereichs im Voransichtsbild;
    • • eine erste Strahlablenkeinrichtung zum Verschieben des Scanfeldes auf den interessierenden Bereich; und
    • • eine zweite Strahlablenkeinrichtung zur mäanderförmigen Abtastung innerhalb des Scanfeldes umfasst,
    dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung mit je zwei Strahlablenkmodulen ausgestaltet sind und dass die Strahlablenkmodule durch einen kardanisch aufgehängten Spiegel oder einen Mikrospiegel oder einen Akusto-Optischen-Deflektor oder einen Galvanometerspiegel oder ein resonant schwingendes Spiegelsystem gebildet sind.
  • Die Erfindung hat den Vorteil, dass man auf die Verwendung von schnellen oder resonanten Strahlablenkeinrichtungen nicht zu verzichten braucht, wenn man das von der ersten Strahlablenkeinrichtung überstrichene Scanfeld mit Hilfe einer zweiten geeigneten Strahlablenkeinrichtung, die eine exakte Positionierung erlaubt, innerhalb des Bildfeldes auf die interessierenden Bereiche verschiebt. Idealerweise beschreibt die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem Objekt eine Rechteckkurve (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position, anschließend x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung auf die nächste abzutastende Zeile schwenken und dann bei konstanter y-Position diese Zeile in negative x-Richtung abtasten u. s. w.). Die Abtastbahn weicht bei zunehmend höherer Abtastgeschwindigkeit mehr und mehr von der Rechteckform ab. Dieses Phänomen ist im Wesentlichen auf die Massenträgheit der bewegten Elemente zurückzuführen. Bei schnellem Abtasten ähnelt die Abtastbahn eher einer Sinuskurve. Das Scanfeld wird dabei derart von dem Lichtstrahl überstrichen, dass die Umkehrpunkte der sinusförmigen Bahn außerhalb des interessierenden Bereichs liegen. Somit beschreibt der Abtastlichtstrahl auf dem interessierenden Bereich annähernd geradlinige Bahnen.
  • In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung der Auswahl der interessierenden Bereiche
  • 2 eine schematische Darstellung des Verlaufs der Abtastbahn
  • 3 ein Scanmikroskop mit der erfindungsgemäßen Anordnung
  • 4 ein erfindungsgemäßes Scanmikroskop,
  • 5 eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Scanmikroskops und
  • 6 eine weitere Ausführungsform des Scanmikroskops mit einer erfindungsgemäßen Anordnung.
  • 1 zeigt einen PC 1 mit einem Monitor 3 und einer Cursorsteuerung 5. In einer Ausbildungsform ist die Cursorsteuerung 5 eine Computermaus. Weitere Möglichkeiten für eine Cursorsteuerung 5 sind z. B. ein Joystick, ein Trackball oder jede andere denkbare Einrichtung zur Cursorsteuerung. Auf dem Monitor wird ein Voransichtsbild 7 des gesamten Bildfeldes 19 dargestellt. Mit Hilfe des Computermaus werden an Hand des Mauszeigers 9 die Bildausschnitte 11, 13 der interessierenden Bereiche 27, 29 markiert. Die Markierung ist Form vom Umrandungslinien 15, 17 dargestellt.
  • 2 zeigt eine schematische Darstellung des Verlaufs der Abtastbahn, die sich aus den Teilabtastbahnen 21, 23 und 25 zusammensetzt. Die Teilabtastbahnen 21 und 25 werden von einer schnellen, resonanten Strahlablenkeinrichtung verursacht, während die Teilabtastbahn 23 von einer Strahlablenkeinrichtung zur gezielten Positionierung verursacht ist. Der interessierende Bereich 27 wird von der Teilabtastbahn 21 durchzogen, während der interessierende Bereich 29 von der Teilabtastbahn 25 durchzogen wird. Es werden folglich sequentiell die Scanfelder 31 und 33 abgetastet. Durch die Verschiebung der Scanfelder 31, 33 mit Hilfe der zweiten Strahlablenkeinrichtung zur gezielten Positionierung wir die Teilabtastbahn 23 überstrichen.
  • 3 zeigt schematisch ein konfokales Scanmikroskop. Der von einem Beleuchtungssystem 35 kommende Lichtstrahl 37 wird von einem Strahlteiler 39 über den Umlenkspiegel 41 zur ersten Strahlablenkeinrichtung 43 zur gezielten Positionierung reflektiert, die einen nicht gezeigten kardanisch aufgehängten Scanspiegel beinhaltet und zur Verschiebung des Scanfeldes in einer zur Beleuchtungsrichtung senkrechten Ebene dient. Über eine Zwischenabbildung mit Hilfe einer Abbildungsoptik 47, die ein Zwischenfokusebene 45 erzeugt, gelangt der Lichtstrahl 37 zur zweiten Strahlablenkeinrichtung 49, die als K-Spiegel (siehe DE 196 54 210 ) ausgeführt ist und zwei nicht gezeigte resonante Galvanometer beinhaltet. Die zweite Strahlablenkeinrichtung 49 dient zur mäanderförmigen Abtastung innerhalb des Scanfeldes. Die Größe eines Scanfeldes kann durch Festlegung der Auslenkwinkel der Galvanometer variiert werden. Der Lichtstrahl 37 wird folglich über die Scanlinse 55, die Optik 57 und durch die Mikroskopoptik 51 hindurch über bzw. durch die Probe 53 geführt. Der Lichtstrahl 37 wird bei nicht transparenten Objekten 15 über die Objektoberfläche geführt. Bei biologischen Proben (Präparaten) oder transparenten Proben kann der Lichtstrahl 37 auch durch die Probe 53 geführt werden. Dies bedeutet, dass aus verschiedenen Fokusebenen der Probe 53 nacheinander durch den Fokus des Lichtstrahls 37 abgetastet werden. Das von der Probe 53 ausgehende Detektionslicht 59 gelangt auf umgekehrtem Lichtweg über die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung 43, 49 zurück zum Strahlteiler 39, passiert diesen, um anschließend mit Detektor 61 nachgewiesen zu werden. Der Detektor 61 umfasst einen Photomultiplier, der die detektieren Lichtinformationen in elektrische Signale übersetzt. Die nachträgliche Zusammensetzung der Signale und Zuordnung zu den jeweiligen Abtastpositionen ergibt dann ein dreidimensionales Bild des interessierenden Bereichs 27, 29 der Probe 53. Das bei einem konfokalen Scanmikroskop üblicherweise vorgesehene Beleuchtungspinhole 63 und das Detektionspinhole 65 sind der Vollständigkeit halber schematisch eingezeichnet. Weggelassen sind wegen der besseren Anschaulichkeit hingegen einige optische Elemente zur Führung und Formung der Lichtstrahlen. Diese sind einem auf diesem Gebiet tätigen Fachmann hinlänglich bekannt.
  • 4 zeigt ein konfokales Scanmikroskop mit einer ersten Strahlablenkeinrichtung 67 zur gezielten Positionierung, die. Zur schnellen Abtastung des Scanfeldes ist die zweite Strahlablenkeinrichtung 72 vorgesehen, die aus einem ersten und einem zweiten Strahlablenkmodul 71 und 75 gebildet ist. Beide Strahlablenkmodule 71 und 75 können z. B. je einen resonant schwingenden Mikrospiegel beinhalten. Zwischen der ersten Strahlablenkeinrichtungen 67, und dem ersten und zweiten Strahlablenkmodul 71 und 75 sind zur Aufrechterhaltung des telezentrischen Prinzips die Abbildungsoptiken 69, 73 vorgesehen.
  • 5 zeigt ein konfokales Scanmikroskop mit insgesamt vier Strahlablenkmodule 77, 79, 81, 83, die auf jeweils zwei Strahlablenkeinrichtungen 78 und 82 verteilt sind. Die Strahlablenkmodule 77 und 81 lenken in x-Richtung ab, während die Strahlablenkmodule 79 und 83 in y-Richtung ablenken. Die Strahlablenkeinrichtung 78 dient zur Positionierung des Scanfeldes 31, 33. Sie beinhaltet z. B. nicht resonant arbeitende Galvanometer. Die Strahlablenkeinrichtung 82 arbeitet resonant und dient zur mäanderförmigen Abtastung des Scanfeldes 31, 33. Die Strahlablenkmodule 77, 79 und 81, 83 sind nahe den zur Fokusebene der Mikroskopoptik 51 konjugierten Ebenen 89 bzw. 87 angeordnet. Zur Wahrung des telezentrischen Prinzips ist die Abbildungsoptik 85 vorgesehen.
  • 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines konfokalen Scanmikroskops. Zur Positionierung des Scanfeldes 31, 33 dient hier der kardanisch aufgehängte, nicht resonant angetriebene Spiegel 91. Der in y-Richtung ablenkende, von einem resonanten Galvanometer angetriebene Spiegel 93 und der in x-Richtung ablenkende, von einem resonanten Galvanometer angetriebene Spiegel 95 sind zur Wahrung des telezentrischen Abtastprinzips nahe der zur Fokusebene der Mikroskopoptik 51 konjugierten Ebene 99 angeordnet. Zwischen Spiegel 93 und 91 befindet sich die Abbildungsoptik 98, die aus den Optiken 97 und 101 zusammengesetzt ist und die im Drehpunkt des Spiegels 91 eine weitere zur Fokusebene der Mikroskopoptik 51 konjugierte Ebene 99 erzeugt. Die zweite Strahlablenkeinrichtung 94 besteht in diesem Ausführungsbeispiel aus den Spiegeln 93 und 95.
  • Die erste Strahlablenkeinrichtung 43, 67, 78 und/oder zweite Strahlablenkeinrichtung 49, 72, 82, 94 beinhaltet unter anderem einen kardanisch aufgehängte Spiegel oder einen Mikrospiegel oder einen Akusto-Optischen-Deflektor oder einen Galvanometerspiegel oder ein resonant schwingendes Spiegelsystem.
  • Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    PC
    3
    Monitor
    5
    Cursorsteuerung
    7
    Voransichtsbild
    9
    Mauszeiger
    11
    Bildausschnitt
    13
    Bildausschnitt
    15
    Umrandungslinie
    17
    Umrandungslinie
    19
    Bildfeld
    21
    Teilabtastbahn
    23
    Teilabtastbahn
    25
    Teilabtastbahn
    27
    interessierender Bereich
    29
    interessierender Bereich
    31
    Scanfeld
    33
    Scanfeld
    35
    Beleuchtungssystem
    37
    Lichtstrahl
    39
    Strahlteiler
    41
    Umlenkspiegel
    43
    erste Strahlablenkeinrichtung
    45
    Zwischenfokusebene
    47
    Abbildungsoptik
    49
    zweite Strahlablenkeinrichtung
    51
    Mikroskopoptik
    53
    Probe
    55
    Scanlinse
    57
    Optik
    59
    Detektionslicht
    61
    Detektor
    63
    Beleuchtungspinhole
    65
    Detektionspinhole
    67
    erste Strahlablenkeinrichtung
    69
    Abbildungsoptik
    71
    erstes Strahlablenkmodul
    72
    zweite Strahlablenkeinrichtung
    73
    Abbildungsoptik
    75
    zweites Strahlablenkmodul
    77
    erstes Strahlablenkmodul
    78
    erste Strahlablenkeinrichtung
    79
    zweites Strahlablenkmodul
    81
    erstes Strahlablenkmodul
    82
    zweite Strahlablenkeinrichtung
    83
    zweites Strahlablenkmodul
    85
    Abbildungsoptik
    87
    konjugierte Ebene
    89
    konjugierte Ebene
    91
    Spiegel
    93
    Spiegel
    94
    zweite Strahlablenkeinrichtung
    95
    Spiegel
    97
    Optik
    98
    Abbildungsoptik
    99
    konjugierte Ebene
    101
    Optik

Claims (11)

  1. Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop mit folgenden Schritten: • Aufnehmen eines Voransichtsbildes (7); • Markieren mindestens eines interessierenden Bereichs (27, 29) im Voransichtsbild (7); • Verschieben des Scanfeldes (31, 33) auf den interessierenden Bereich (27, 29) mittels einer ersten Strahlablenkeinrichtung (43, 67, 78); und • Aufnehmen eines Bildes durch mäanderförmiges Abtasten des interessierenden Bereichs (27, 29) mit einer zweiten Strahlablenkeinrichtung (49, 72, 82, 94), dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung (72, 78, 82, 94) mit je zwei Strahlablenkmodulen (71 und 75, 81 und 83, 77 und 79, 93 und 95) ausgestaltet sind und dass die Strahlablenkmodule (71 und 75, 81 und 83, 77 und 79, 93 und 95) durch einen kardanisch aufgehängten Spiegel oder einen Mikrospiegel oder einen Akusto-Optischen-Deflektor oder einen Galvanometerspiegel oder ein resonant schwingendes Spiegelsystem gebildet sind.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen weiteren Schritt, wobei die erste Strahlablenkeinrichtung (43, 67, 78) das mäanderförmige Abtasten eines interessierenden Bereichs (27) in das mäanderförmige Abtasten eines weiteren interessierenden Bereichs (29) überführt.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das mäanderförmige Abtasten der interessierenden Bereiche (27, 29) nach einer definierten Reihenfolge abläuft und dabei Information aus den interessierenden Bereichen (27, 29) aufnimmt.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Reihenfolge des mäanderförmigen Abtastens der interessierenden Bereiche (27, 29) benutzerdefiniert ist.
  5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Reihenfolge des mäanderförmigen Abtastens der interessierenden Bereiche (27, 29) automatisch aufgrund der aus den interessierenden Bereichen (27, 29) gewonnenen Information erfolgt.
  6. Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop, wobei das Scanmikroskop Mittel zum Aufnehmen und Darstellen (3) eines Voransichtsbildes (7) und eine Mikroskopoptik (51) umfasst und wobei die Anordnung • Mittel zum Markieren (5) mindestens eines interessierendan Bereichs (27, 29) im Voransichtsbild (7); • eine erste Strahlablenkeinrichtung (43, 67, 78) zum Verschieben des Scanfeldes (31, 33) auf den interessierenden Bereich (27, 29); und • eine zweite Strahlablenkeinrichtung (49, 72, 94) zur mäanderförmigen Abtastung innerhalb des Scanfeldes (31, 33), umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung (72, 78, 82, 94) mit je zwei Strahlablenkmodulen (71 und 75, 81 und 83, 77 und 79, 93 und 95) ausgestaltet sind und dass die Strahlablenkmodule (71 und 75, 81 und 83, 77 und 79, 93 und 95) durch einen kardanisch aufgehängten Spiegel oder einen Mikrospiegel oder einen Akusto-Optischen-Deflektor oder einen Galvanometerspiegel oder ein resonant schwingendes Spiegelsystem gebildet sind.
  7. Anordnung zur Strahlsteuerung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Strahlablenkeinrichtung (43, 67, 78) das mäanderförmige Abtasten eines interessierenden Bereichs (27) in das mäanderförmige Abtasten eines weiteren interessierenden Bereichs (29) überführt.
  8. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Strahlablenkeinrichtung (43, 67, 78) im wesentlichen in der Nähe einer zur Fokusebene der Mikroskopoptik (51) konjugierten Ebene (87, 89, 99) angeordnet ist.
  9. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Strahlablenkeinrichtung (49, 72, 82, 94), im wesentlichen in der Nähe einer zur Fokusebene der Mikroskopoptik (51) konjugierten Ebene (87, 89, 99) angeordnet ist.
  10. Anordnung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten Strahlablenkeinrichtung (43, 67, 78) und zweiten Strahlablenkeinrichtung (49, 72, 82, 94) eine Abbildungsoptik (47, 69, 85, 98) vorgesehen ist.
  11. Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten Strahlablenkeinrichtung (43, 67, 78) und zweiten Strahlablenkeinrichtung (49, 72, 82, 94) eine Relay-Optik vorgesehen ist.
DE10050529.5A 2000-10-11 2000-10-11 Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop, Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop und Scanmikroskop Revoked DE10050529B4 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10050529.5A DE10050529B4 (de) 2000-10-11 2000-10-11 Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop, Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop und Scanmikroskop
GB0123392A GB2369739B (en) 2000-10-11 2001-09-28 Method for beam control in a scanning microscope, arrangement for beam control in a scanning microscope, and scanning microscope
JP2001310089A JP4198347B2 (ja) 2000-10-11 2001-10-05 走査型顕微鏡におけるビーム制御のための装置
US09/974,014 US6580554B2 (en) 2000-10-11 2001-10-10 Method for beam control in a scanning microscope, arrangement for beam control in a scanning microscope, and scanning microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10050529.5A DE10050529B4 (de) 2000-10-11 2000-10-11 Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop, Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop und Scanmikroskop

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10050529A1 DE10050529A1 (de) 2002-04-18
DE10050529B4 true DE10050529B4 (de) 2016-06-09

Family

ID=7659522

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10050529.5A Revoked DE10050529B4 (de) 2000-10-11 2000-10-11 Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop, Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop und Scanmikroskop

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6580554B2 (de)
JP (1) JP4198347B2 (de)
DE (1) DE10050529B4 (de)
GB (1) GB2369739B (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019038407A1 (de) 2017-08-25 2019-02-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische anordnung zum scannen von anregungsstrahlung und/oder manipulationsstrahlung in einem laser-scanning-mikroskop und laser-scanning-mikroskop
DE102017119479A1 (de) 2017-08-25 2019-02-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Anordnung zum Scannen von Anregungsstrahlung und/oder Manipulationsstrahlung in einem Laser-Scanning-Mikroskop und Laser-Scanning-Mikroskop
US11703670B2 (en) 2017-08-25 2023-07-18 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optical assembly for scanning excitation radiation and/or manipulation radiation in a laser scanning microscope, and laser scanning microscope

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19654208C2 (de) * 1996-12-24 2001-05-10 Leica Microsystems Mikroskop
GB0224067D0 (en) * 2002-10-16 2002-11-27 Perkinelmer Uk Ltd Improvements in and relating to imaging
JP4885429B2 (ja) * 2004-05-13 2012-02-29 オリンパス株式会社 光刺激装置および光走査型観察装置
US20070171502A1 (en) * 2004-10-19 2007-07-26 Leica Microsystems Cms Gmbh Beam deflector and scanning microscope
AU2005317850B2 (en) 2004-12-22 2011-05-12 Perkinelmer Singapore Pte Ltd. A method and apparatus for analysing a dynamic sample
US9055867B2 (en) 2005-05-12 2015-06-16 Caliber Imaging & Diagnostics, Inc. Confocal scanning microscope having optical and scanning systems which provide a handheld imaging head
JP5179099B2 (ja) * 2006-06-22 2013-04-10 オリンパス株式会社 光刺激用照明装置および顕微鏡装置
JP5014061B2 (ja) * 2007-10-22 2012-08-29 日本分光株式会社 顕微測定装置
JP2009145566A (ja) * 2007-12-13 2009-07-02 Nikon Corp レーザ走査型顕微鏡およびスキャナ駆動装置
DE102009049050B4 (de) * 2009-10-12 2011-07-21 Leica Microsystems CMS GmbH, 35578 Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren einer Lichtleistung eines Beleuchtungslichtstrahls und Mikroskop
DE102010026571B4 (de) 2010-07-07 2022-05-12 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Scan-Einrichtung
DE102011114500B4 (de) * 2011-09-29 2022-05-05 Fei Company Mikroskopvorrichtung
EP3538941A4 (de) 2016-11-10 2020-06-17 The Trustees of Columbia University in the City of New York Schnelles hochauflösendes bildgebungsverfahren für grosse proben
DE102018118699A1 (de) 2018-08-01 2020-02-06 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Scanneranordnung für optische Strahlung
US10641659B2 (en) * 2018-08-14 2020-05-05 Shimadzu Corporation Infrared microscope with adjustable connection optical system
CN113228221B (zh) * 2018-12-28 2024-04-26 Asml荷兰有限公司 通过多射束设备的个体射束控向的经改善扫描效率
EP3751326A1 (de) 2019-06-14 2020-12-16 Leica Microsystems CMS GmbH Verfahren und mikroskop zur bildgebung einer probe
CA3151215A1 (en) * 2021-03-19 2022-09-19 Thorlabs, Inc Compact laser scanning microscope system

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5430509A (en) * 1993-03-16 1995-07-04 Kowa Company Ltd. Scanning laser ophthalmoscope
DE19654210A1 (de) * 1996-12-24 1998-06-25 Leica Lasertechnik Optische Anordnung zum Scannen eines Strahls in zwei im wesentlichen senkrecht zueinander liegenden Achsen
DE19733995A1 (de) * 1997-08-06 1999-02-11 Zeiss Carl Jena Gmbh Laser-Scanning-Ophthalmoskop

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8402340A (nl) * 1984-07-25 1986-02-17 Philips Nv Microscoop voor niet-gedifferentieerde fase-beeldvorming.
NL8700612A (nl) * 1987-03-13 1988-10-03 Tno Confocale laserscanning microscoop.
US4827125A (en) * 1987-04-29 1989-05-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Department Of Health And Human Services Confocal scanning laser microscope having no moving parts
JPS63306413A (ja) * 1987-06-09 1988-12-14 Olympus Optical Co Ltd 走査型光学顕微鏡
JPH02309881A (ja) * 1989-05-25 1990-12-25 Osamu Sakamoto 指示用ビームの走査制御装置
JPH10172490A (ja) * 1996-12-10 1998-06-26 Hitachi Ltd 走査電子顕微鏡
DE19714221A1 (de) * 1997-04-07 1998-10-08 Zeiss Carl Fa Konfokales Mikroskop mit einem motorischen Scanningtisch
DE19829981C2 (de) * 1998-07-04 2002-10-17 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur konfokalen Mikroskopie

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5430509A (en) * 1993-03-16 1995-07-04 Kowa Company Ltd. Scanning laser ophthalmoscope
DE19654210A1 (de) * 1996-12-24 1998-06-25 Leica Lasertechnik Optische Anordnung zum Scannen eines Strahls in zwei im wesentlichen senkrecht zueinander liegenden Achsen
DE19733995A1 (de) * 1997-08-06 1999-02-11 Zeiss Carl Jena Gmbh Laser-Scanning-Ophthalmoskop

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019038407A1 (de) 2017-08-25 2019-02-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische anordnung zum scannen von anregungsstrahlung und/oder manipulationsstrahlung in einem laser-scanning-mikroskop und laser-scanning-mikroskop
DE102017119479A1 (de) 2017-08-25 2019-02-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Anordnung zum Scannen von Anregungsstrahlung und/oder Manipulationsstrahlung in einem Laser-Scanning-Mikroskop und Laser-Scanning-Mikroskop
DE102017119480A1 (de) 2017-08-25 2019-02-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Anordnung zum Scannen von Anregungsstrahlung und/oder Manipulationsstrahlung in einem Laser-Scanning-Mikroskop und Laser-Scanning-Mikroskop
WO2019038404A1 (de) 2017-08-25 2019-02-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische anordnung zum scannen von anregungsstrahlung und/oder manipulationsstrahlung in einem laser-scanning-mikroskop und laser-scanning-mikroskop
US11422347B2 (en) 2017-08-25 2022-08-23 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optical assembly for scanning excitation radiation and/or manipulation radiation in a laser scanning microscope, and laser scanning microscope
US11525989B2 (en) 2017-08-25 2022-12-13 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optical assembly for scanning excitation radiation and/or manipulation radiation in a laser scanning microscope, and laser scanning microscope
US11703670B2 (en) 2017-08-25 2023-07-18 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optical assembly for scanning excitation radiation and/or manipulation radiation in a laser scanning microscope, and laser scanning microscope

Also Published As

Publication number Publication date
JP4198347B2 (ja) 2008-12-17
DE10050529A1 (de) 2002-04-18
US6580554B2 (en) 2003-06-17
US20020041439A1 (en) 2002-04-11
JP2002196249A (ja) 2002-07-12
GB2369739A (en) 2002-06-05
GB0123392D0 (en) 2001-11-21
GB2369739B (en) 2002-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10050529B4 (de) Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop, Anordnung zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop und Scanmikroskop
EP1186930B1 (de) Vorrichtung zur Untersuchung und Manipulation von mikroskopischen Objekten
EP2107408B1 (de) Mikroskop mit der Beobachtungsrichtung senkrecht zur Beleuchtungsrichtung
DE69418726T2 (de) Laserabtastmikroskop mit grossem vergrösserungsbereich
DE102005047200B4 (de) Verfahren zur Korrektur einer Steuerung eines optischen Scanners in einer Vorrichtung zur scannenden Abbildung einer Probe und Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes einer Probe durch Abscannen der Probe
DE10043992B4 (de) Verfahren zur Untersuchung einer Probe und konfokales Scan-Mikroskop
DE10038622A1 (de) Scan-Mikroskop,optische Anordnung und Verfahren zur Bildaufnahme in der Scan-Mikroskopie
WO2014072049A1 (de) Lichtmikroskop und mikroskopieverfahren
DE102013017468B4 (de) Verfahren zum Erstellen eines Mikroskopbildes und Mikroskopievorrichtung
DE102010007727A1 (de) Vorrichtung nach Art eines Scan-Mikroskops, Vorrichtung in Form einer Baueinheit für ein Mikroskop und Verfahren und Vorrichtung zum optischen Abtasten einer oder mehrerer Proben
WO2000037983A1 (de) Verfahren zum auffinden, zur aufnahme und gegebenenfalls zur auswertung von objektstrukturen
DE10139920B4 (de) Scanmikroskop und Verfahren zum Scannen eines Objekts
DE102017214189A1 (de) Verfahren zum Betrieb einer Mikroskopieranordnung und Mikroskopieranordnung mit einem ersten Mikroskop und mindestens einem weiteren Mikroskop
EP1178344B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bildentzerrung in der Scanmikroskopie und Scanmikroskop
EP3992687B1 (de) Mikroskop und verfahren zur lichtfeldmikroskopie mit lichtblattanregung sowie zur konfokalen mikroskopie
DE4113279C2 (de) Konfokales optisches Rastermikroskop
EP1315012A1 (de) Scanmikroskop, Verfahren zur Scanmikroskopie und Bandpassfilter
DE102014118025B4 (de) Vorrichtung zur Lichtblattmikroskopie
DE10233549B4 (de) Scanmikroskop mit Manipulationslichtstrahl und Verfahren zur Scanmikroskopie
EP1209504B1 (de) Verfahren und eine Anordnung zur Abtastung mikroskopischer Objekte mit einer Scaneinrichtung
DE102004011770B4 (de) Mikroskop
DE102004032952A1 (de) Rastermikroskop und Verfahren zur Untersuchung von biologischen Proben mit einem Rastermikroskop
DE20205079U1 (de) Variable Lochblende und konfokales Scanmikroskop
DE10247249A1 (de) Scanmikroskop mit einem Spiegel zur Einkopplung eines Manipulationslichtstrahls
DE102017103252B3 (de) Verfahren zur mikroskopischen Rasterbeleuchtung

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH, 35578 WETZLAR, DE

8110 Request for examination paragraph 44
R082 Change of representative

Representative=s name: SCHAUMBURG & PARTNER PATENTANWAELTE GBR, DE

Representative=s name: SCHAUMBURG & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE

Representative=s name: SCHAUMBURG UND PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE

R018 Grant decision by examination section/examining division
R026 Opposition filed against patent
R037 Decision of examining division or of federal patent court revoking patent now final