JP5014061B2 - 顕微測定装置 - Google Patents
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Description
そこで、予め複数箇所の光学情報取得エリアを設定可能とし、エリアの設定を一括して行ったあとに順次各設定済エリアのデータを取得していく手法も開発されている。
、ステージ駆動によりエリア位置を設定するのは、操作者のストレスとなる場合もあった。
試料の現位置に手観察可能な視野内で、試料面画像を観察画像として表示する観察画像表示手段と、
前記観察画像に重畳して現測定光軸位置及び測定予定エリアを表示する光軸表示手段と、
前記測定予定エリアを拡張、縮小、変形、移動し、測定エリアの設定を行うことのできるエリア設定手段と、
測定開始指示により、前記一または複数の設定済測定エリアの測定を順次行う光学情報取得手段と、
を備えたことを特徴とする。
複数の設定済エリアを記憶し、且つ現観察画像上に表示可能な設定済エリアを表示するエリア記憶・表示手段を備えることが好適である。
測定予定エリアは、該エリア内をマッピング測定するマッピング測定予定エリアであり、
設定済測定エリアは、設定済マッピング測定エリアであることが好適である。
また、前記装置において、
観察画像表示手段は、試料面を目視観察する観察光学系を有し、該観察光学系の観察光軸を試料面上で固定し、固定観察光軸で観察可能な視野内で、試料面画像を観察画像として表示するものであることが好適である。
図1は一実施形態にかかる顕微測定装置の概略構成が示されている。
同図に示す顕微測定装置は、フーリエ変換型顕微赤外分光光度計10に適用されている。
同図に示すように、コンピュータ36は画像出力手段40の出力する観察画像をディスプレイ42上に表示する観察画像表示手段44と、前記観察画像表示手段44により表示された観察画像上で、現在の光軸位置及びマッピング測定予定エリア枠を表示する光軸位置表示手段46と、該光軸位置で光学情報取得エリアをマウス47等により拡大、縮小、変形、移動することで設定可能な光学情報取得エリア設定手段48と、該エリア設定手段48により設定された設定済エリアの光軸位置情報、エリア情報、測定条件等をハードディスク49等に記憶し、且つ観察画像上に表示するエリア記憶・表示手段50と、エリア設定が終了した後に複数設定されたエリアについて順次マッピング測定を行い、スペクトル情報出力手段51より取得する光学情報取得手段52とを備える。
このように本発明によれば、一の視野領域上の複数エリアについて順次マッピング測定を行うことができ、時間を要するマッピング測定を一括して行うことができる。
なお、本発明において、自動ステージを使用した場合にも、視野領域間の移動のみをステージ移動により行い、各視野領域内での光軸移動は光軸コントローラを介して行うことで、ステージの頻繁な移動に伴う誤差の累積を防止することができる。
22 検出側スキャンミラ(光軸変更手段)
24 照射側スキャンミラー(光軸変更手段)
40 観察画像出力手段
44 観察画像表示手段
46 光軸位置表示手段
48 光学情報取得エリア設定手段
50 エリア記憶・表示手段
52 光学情報取得手段
Claims (3)
- 試料面上で測定光軸を移動させることにより、所望部位の光学情報取得を行う光学測定装置において、
前記試料面上に照射される光源からの光の照射領域を、反射面の向きを変更することで調整する照射側スキャンミラーと、
前記試料面上の特定部位からの反射光のみが、検出器に入射されるよう、反射面の向きを変更することで調整する検出側スキャンミラーと、
試料の現時点での光軸位置にて観察可能な視野内で、試料表面を観察画像として表示する観察画像表示手段と、
前記観察画像に重畳して現在観察中の測定光軸位置及び光学情報取得予定エリアを表示する光軸表示手段と、
前記光学情報取得予定エリアを拡張、縮小、変形、移動し、マッピング測定エリアの設定を行うことのできる光学情報取得エリア設定手段と、
前記光学情報取得エリア設定手段により設定された設定済測定エリアの光軸位置情報、エリア情報、測定条件を記憶し、且つ現在観察中の観察画像上に表示可能な設定済エリアを表示するエリア記憶・表示手段と
測定開始指示により、前記一または複数の設定済測定エリアの測定を順次行う光学情報取得手段と、
を備えたことを特徴とする顕微測定装置。 - 請求項1記載の装置において、
測定予定エリアは、該エリア内をマッピング測定するマッピング測定予定エリアであり、
設定済測定エリアは、設定済マッピング測定エリアであることを特徴とする顕微測定装置。 - 請求項1または2記載の装置において、
観察画像表示手段は、試料面を目視観察可能とする観察光学系を有し、該目視観察光学系の観察光軸を試料面上で固定し、固定観察光軸で観察可能な視野内で、試料面画像を観察画像として表示するものであることを特徴とする顕微測定装置。
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