DE10048195A1 - Gassensor - Google Patents
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Abstract
Gassensor (S), der mindestens einen gassensitiven Bereich (2), welcher auf einem Substrat (1) aufgebracht ist, und mindestens einen diffusionsoffenen Teilbereich aufweist.
Description
Die Erfindung betrifft einen Gassensor, eine Verwendung des
selben sowie ein Verfahren zur Gasdetektion.
Ein Gassensor zur Detektion eines Gases ("Zielgases") weist
häufig eine Querempfindlichkeit auf ein anderes Gas ("Stör
gas") auf. Beispielsweise kann bei einem chemischen Gassensor
auf der Basis von Festelektrolytketten bzw. halbleitenden Me
talloxiden bei einer gewünschten Detektion des Zielgases Koh
lenwasserstoff und/oder Stickoxid eine Querempfindlichkeit
auf eine wechselnde Konzentration des Störgases O2 vorhanden
sein, wie sie z. B. in einem Abgas auftritt. Dies führt zu
einer Einschränkung in der Messgenauigkeit des Gassensors o
der verhindert in einem Abgas mit einem oszillierenden O2-
Partialdruck (λ = 1 Regelung) sogar zeitweise dessen Einsatz,
wenn der Sensor zur Messung der Zielgase auf eine bestimmte
O2-Konzentration angewiesen ist.
Der Einsatz eines Gassensors zur Detektion von Kohlenwasser
stoffen und/oder Stickoxiden, insbesondere in Abgasen von
Kraftfahrzeugen, war daher bisher nur unter einer der folgen
den Einschränkungen möglich:
- - Verwendung einer Diskriminierung der Sensorsignale nach dem zum Zeitpunkt der Messung herrschenden O2-Partialdruck mit Verwurf der Messdaten, wenn die O2-Konzentration cO2 einen bestimmten Toleranzbereich, typischerweise 1% < cO2 < 10%, unter- bzw. überschreitet. Dazu notwendig ist ein Re ferenzsensor, der nur auf Sauerstoff reagiert, und der sich am selben Ort wie der eigentliche Gassensor befindet.
- - Einsatz einer elektrochemischen O2-Pumpzelle zur Aufberei tung des Messgases durch Einstellen einer definierten O2- Konzentration im Messgas lokal im Bereich des Gassensors. Dieses Konzept führt jedoch zu einem komplexen Sensorauf bau, die integrierte Kavitäten und Kanäle besitzen und deshalb aufwendig und teuer in der Herstellung sind. Zudem bedarf die elektronische Signalauswertung und Regelung der O2-Pumpzellen einer eigenen Kalibrierung für jedes herge stellte Sensorelement.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Möglich
keit zur Gasdetektion mit vereinfachter Regulierung des Stör
gases bereitzustellen.
Diese Aufgabe wird durch einen Gassensor nach Anspruch 1, ei
ne Verwendung nach Anspruch 10 und durch ein Verfahren nach
Anspruch 11 gelöst.
Dazu weist der Gassensor mindestens einen gassensitiven Be
reich auf, welcher auf einem Substrat aufgebracht ist. Das
Substrat ist mindestens in einem Teilbereich diffusionsoffen,
so dass durch den porösen Teilbereich mindestens ein Störgas
durch das Substrat zum gassensitiven Bereich diffundieren
kann.
Dabei ist es nicht notwendig, dass das Substrat vollständig
diffusionsoffen ist, sondern es kann auch nur in einem oder
mehreren Teilbereichen diffusionsoffen sein, beispielsweise
zur Herstellung einer erhöhten Festigkeit. Als Material des
Substrats kommt z. B. Al2O3, Al2MgO4 oder ZrO2 in Frage.
Der Gassensor beinhaltet weiterhin sämtliche dem Fachmann be
kannten Vorrichtungen zum Betrieb des Gassensors, wie bei
spielsweise Messelektroden oder, bei beheizten Gassensoren,
Heizungselemente und/oder Temperaturfühler.
Selbstverständlich kann der Gassensor zur Diffusion auch meh
rerer Störgase geeignet sein, deren Zusammensetzung oder Vor
handensein sich nach dem einzelnen Anwendungsfall ausrichtet,
beispielsweise, aber nicht eingeschränkt auf, Sauerstoff. Es
ist auch möglich, die dem gassensitiven Bereich entgegenge
setzte Oberfläche des Substrats einer kontrollierten, mit ei
nem oder mehreren Störgasen angereicherten Atmosphäre auszu
setzen.
Der Gassensor weist den Vorteil auf, dass er sehr einfach
aufgebaut und kompakt herstellbar ist. Auf spezielle Pump
systeme oder Zufuhrkanäle kann verzichtet werden.
Es ist vorteilhaft, wenn der mindestens eine diffusionsoffene
Teilbereich zur Ermöglichung einer Diffusion porös ist. Dabei
wird es insbesondere bevorzugt, wenn die Porosität des Sub
strats zwischen 10% und 40% liegt, insbesondere zwischen 20%
und 30%.
Es ist zur wirksameren Anreicherung des Raums um den gassen
sitiven Bereich vorteilhaft, wenn auf dem Substrat eine gas
dichte Deckschicht aufgebracht ist, welche den gassensitiven
Bereich überdeckt. Selbstverständlich braucht diese gasdichte
Deckschicht nicht nur unmittelbar auf dem Substrat angebracht
zu sein, sondern es reicht auch eine mittelbare Auftragung,
beispielsweise auf mehreren Zwischenschichten. Zweck dieser
Deckschicht ist es, das durch das Substrat zum gassensitiven
Bereich hindurchdiffundierende Störgas gegen Strömungen zu
schützen, so dass es nicht sofort von einem Luftstrom wegge
tragen wird. Durch die Deckschicht wird vielmehr der Raum um
den gassensitiven Bereich mit dem Störgas vermehrt angerei
chert. Damit weiterhin das zu detektierende Gas, beispiels
weise Stickoxid oder Kohlenwasserstoff in einem Abgas, zum
gassensitiven Bereich gelangen kann, ist in der Deckschicht
eine Apertur eingebracht.
Dabei ist es besonders vorteilhaft, wenn der gassensitive Be
reich sich an der Stelle der höchsten Konzentration des Stör
gases innerhalb der Deckschicht befindet. Dies kann bei
spielsweise dadurch erreicht werden, dass der gassensitive
Bereich sich mittig unter der Deckschicht und gegenüberliegend
der Apertur befindet. Dadurch wird ein vergleichsweise
konstanter Strom von Störgas von den Seiten innerhalb der
Deckschicht zum Zentrum, an dem sich der gassensitive Bereich
und die Apertur befindet, aufrecht erhalten.
Es wird auch bevorzugt, wenn zwischen dem gassensitiven Be
reich und der Deckschicht eine gasdurchlässige Isolierschicht
vorhanden ist.
Insbesondere wird ein Gassensor bevorzugt, bei dem der gas
sensitive Bereich in Form einer Schicht aus halbleitendem Me
talloxid ausgeführt ist, zum Beispiel als Hochtemperatur-
Metalloxidsensor. Ein solcher beheizbarer Metalloxid-Sensor
beinhaltet typischerweise kammförmige Messelektroden sowie
eine Heizung, jeweils aus Platin.
Der Gassensor wird typischerweise einer auszumessenden Gas
atmosphäre ausgesetzt, z. B. einem Abgas, während gleichzei
tig durch den diffusionsoffen Bereich des Substrats das Stör
gas zum gassensitiven Bereich diffundieren kann. Dabei ist
implizit enthalten, dass der Gassensor so angebracht ist,
dass er sich nicht vollständig in der auszumessenden Gasatmo
sphäre befindet, sondern mit der dem gassensitiven Bereich
entgegengesetzten Oberfläche des Substrats an eine andere,
das Störgas in höheren Konzentrationen enthaltende, Gasatmo
sphäre grenzt, beispielsweise Luft.
Eine Verwendung eines solchen Gassensors ist besonders sinn
voll zur Detektion von Kohlenwasserstoffen und/oder Stickoxi
den in einem Abgas, wobei mindestens Sauerstoff als Störgas
durch das Substrat zum gassensitiven Bereich diffundiert.
Insbesondere bei der Abgasregelung ergibt sich ein Vorteil
gegenüber den bisher zu diesem Zweck bekannten und aufwendi
gen oder in ihrem Einsatz nur eingeschränkt nutzbaren Metho
den.
Dabei ist es insbesondere vorteilhaft, wenn der Gassensor in
eine Wand eines Abgasrohres oder eines anderen das Abgas auf
nehmenden Behältnisses eingebaut ist. Dies geschieht in ein
facher Weise so, dass der Gassensor mit seinem gassensitiven
Bereich durch eine Aussparung des Abgasrohres gesteckt wird,
so dass eine Oberfläche des Substrats noch der Luft ausge
setzt ist.
Insbesondere günstig ist ein so eingebauter Gassensor zur Ab
gasregelung in einem Kraftfahrzeug, beispielsweise als Teil
einer Lambda-Sonde, oder als Teil einer Heizanlage, bei
spielsweise in Ein- oder Mehrfamilienhäusern oder auch in
kommerziellen Heizkraftwerken.
Die Erfindung ist nicht auf einen bestimmten Sensortyp einge
schränkt, also z. B. halbleitend und/oder beheizbar, noch auf
den Anwendungsfall der Abgas-Diagnose. Auch ist die Erfindung
nicht auf Sauerstoff als Störgases beschränkt. Vielmehr kann
der Gassensor je nach Anwendungsfall flexibel und vielseitig
ausgelegt und/oder angebracht werden.
In den folgenden Ausführungsbeispielen wird der Gassensor an
hand eines Hochtemperatur-Metalloxid-Gassensors zur Detektion
von Kohlenwasserstoffen und/oder Stickoxiden in einem Abgas
schematisch näher dargestellt.
Fig. 1 zeigt einen in einem Abgasrohr eingebauten Gassensor,
Fig. 2 zeigt diesen Gassensor vergrößert.
Fig. 1 zeigt als Schnittdarstellung in Seitenansicht ein Ab
gasrohr 5, innerhalb dessen Abgas E strömt (angedeutet durch
den mittig dargestellten, von links nach rechts führenden
Pfeil). Das Abgas E enthält als Zielgase Z Kohlenwasserstoffe
und/oder Stickoxide. Das Abgasrohr 5 wiederum befindet sich
in einer Umgebungsatmosphäre aus Luft L, die das Störgas G
Sauerstoff in höherer Konzentration enthält als das Abgas E.
Eine solche Konfiguration ist typisch, beispielsweise am Aus
puffrohr eines Kraftfahrzeugs.
Der Gassensor S ist in eine Aussparung des Auspuffrohrs 5
eingelassen, so dass der gassensitive Bereich 2 des Gassen
sors S vom Abgas E umströmt wird. Das poröse Substrat 1 hält
den gassensitiven Bereich 2 und ist mit seiner dem gassensi
tiven Bereich 2 entgegengesetzten Unterseite der Luft L aus
gesetzt. Durch das poröse Substrat 1 diffundiert mindestens
der in der Luft L vorhandene Sauerstoff O2 an die im Abgas E
ausgesetzte Oberfläche (kleine von oben nach unten weisende
Pfeile) und erzeugt dort eine laminare Grenzschicht LZ mit
erhöhter O2-Konzentration.
Mit einer solchen Anordnung ist es möglich, eine Gasdetektion
auch unter geringem oder oszillierendem O2-Partialdruck (λ =
1-Regelung) im Abgas E durchzuführen.
Die Porosität des Substrats 1 beträgt 10 bis 40%, vorzugs
weise 20% bis 30%. Durch die gegenüber dem gassensitiven
Bereich 2 groß ausgeführte Fläche des Substrats 1 kann der
Sauerstoff wegen des O2-Konzentrationsunterschiedes von der
Luftseite zur Abgasseite des Substrats 1 diffundieren, so
dass das Abgas E im Bereich der gassensitiven Schicht 2 mit
ca. 2-5% Sauerstoff angereichert wird. Eine typische Diffu
sionsgeschwindigkeit für die O2-Moleküle liegt im Bereich von
1-10 cm/s, womit sich eine Teilchenstromdichte von ca. 1 mol.s-1cm-2
erreichen lässt.
Fig. 2 zeigt als Schnittdarstellung in Seitenansicht einen
Gassensor S mit Deckschicht 4.
Die gasdichte Deckschicht 4 ist großflächig über dem gassen
sitiven Bereich 2 angebracht und mit einer diffusionsoffenen
porösen Isolierschicht 3 ausgefüllt. Dem gassensitiven Be
reich 2 gegenüberliegend ist in die Deckschicht 4 eine defi
nierte Gaseintrittsöffnung (Apertur) 5 eingebracht.
Die Deckschicht 4 verhindert, dass der eindiffundierende Sau
erstoff nicht sofort vom Abgasstrom, der mit einer typischen
Geschwindigkeit von 10-100 m/s durch das Abgasrohr 5 strömt,
davongetragen wird. Zudem ist das Vorhandensein der Deck
schicht 4 vorteilhaft für die Sauerstoffversorgung des gas
sensitiven Bereichs 2, weil der Sauerstoff, der durch das
Substrat 1 diffundiert ist, zwingend an dem gassensitiven Be
reich 2 vorbeiströmt und so an einem vorzeitigen Entweichen
in das Abgas E gehindert wird.
In diesem Ausführungsbeispiel diffundiert O2 in die Isolier
schicht 3, innerhalb der sich zur Mitte des Substrats 1 hin
eine zunehmende O2-Konzentration ergibt (die Richtung des
Sauerstoffflusses in der Isolierschicht 3 wird durch die waa
gerechten Pfeile symbolisiert).
Durch das Verhältnis der Größe der Apertur 5 im Vergleich zur
Fläche des porösen Substrats 1 unter der Deckschicht 4 wird
eine O2-Konzentration am gassensitiven Bereich 2 eingestellt,
und es kann ein Unterschied zwischen der O2-Diffusions
geschwindigkeit und der Geschwindigkeit des Abgases E ausge
glichen werden.
Das folgende Berechnungsbeispiel soll die Wirkungsweise des
Gassensors S verdeutlichen:
Aus einem Diffusionskoeffizienten D von O2 in N2 von D = 1 cm2/s und einer Dicke h des Substrats 1 von h = 0,5 cm folgt bei weitgehender Gültigkeit des Fickschen Gesetzes, nämlich J = -D dn/dx, wobei dn = 1 mol und dx = h beträgt, dass sich ein Teilchenstrom J = 2 molcm-2s-1 ergibt, wobei die Porosität des Substrats 1 nicht berücksichtigt ist.
Aus einem Diffusionskoeffizienten D von O2 in N2 von D = 1 cm2/s und einer Dicke h des Substrats 1 von h = 0,5 cm folgt bei weitgehender Gültigkeit des Fickschen Gesetzes, nämlich J = -D dn/dx, wobei dn = 1 mol und dx = h beträgt, dass sich ein Teilchenstrom J = 2 molcm-2s-1 ergibt, wobei die Porosität des Substrats 1 nicht berücksichtigt ist.
Unter der Annahme, dass am gassensitiven Bereich 2 eine O2-
Konzentration cO2 = 5% benötigt wird, ergibt sich ein dazu
notwendiges Verhältnis des eindiffundierten O2 zum Abgas E
von 1 zu 19 bzw. 1 zu 20 in der Summe. Übertragen auf die
Diffusionsgeschwindigkeit von O2 von Vdiff(O2) = 1-10 cm/s er
gibt sich eine tolerierbare Geschwindigkeit des Abgases E von
VE = 0,2-2 m/s. Demgegenüber beträgt die reale Geschwindig
keit VE des Abgases E typischerweise 10-100 m/s, ist also um
den Faktor 50 schneller.
Durch den Einsatz einer Deckschicht 4 mit Apertur 5 bei einer
Fläche des Substrats 1 von 1 cm2 und einer Fläche der Apertur
5 von 1 mm2 lässt sich eine signifikante Erhöhung der O2-
Konzentration erreichen. Dadurch wird eine Anpassung der Sau
erstoffzufuhr an die Geschwindigkeit VAbgas des Abgases E mög
lich.
Ein solcher Gassensor S wird üblicherweise in Dickschicht-
Technologie aufgebaut und enthält neben Elektroden zur Leit
fähigkeitsbestimmung des gassensitiven Bereichs 2 eine Heiz
struktur und einen Temperaturfühler.
Das Substrat 1 lässt sich mit geringem Aufwand in eine Lamb
dasonden-Verschraubung integrieren. Ein entsprechendes Gewin
de kann mit geringem Aufwand an einem beliebigen Ort der Ab
gasanlage vorgesehen werden. Eine typische, aber nicht not
wendige, flache Bauform, die sich aus der üblichen Verwendung
eines flächigen Substrats 1 ergibt, bedingt zusammen mit der
entsprechenden Gasanströmung, dass ein solcher Gassensor in
einer Abgasanlage in der Regel ohne geometrische Einschrän
kungen eingeplant werden kann. Dadurch kann der Gassensor S
auch an einem Ort montiert werden, der anderen Abgassoden
bisher unzugänglich war.
Weil die Menge an Sauerstoff, die durch die Diffusion in das
Abgas E gelangt, nur ca. 1/1000 der Menge des Abgases E ent
spricht, ist eine Installation des Gassensors auch vor einem
Katalysator möglich, weil das Abgas E in seiner Gesamtheit
durch eine geringe zusätzliche Menge an Sauerstoff kaum be
einträchtigt wird. Dadurch eröffnet sich u. a. die Möglichkeit,
mit zwei Gassensoren S vor und nach dem Katalysator ei
ne Differenzmessung durchzuführen.
Ein bevorzugt verwendeter Gassensor S, der als Material des
gassensitiven Bereichs 2 bevorzugt ein halbleitendes Metall
oxid verwendet, wird auf typische Temperaturen von ca. 700°C
beheizt. Beim Betrieb eines solchen beheizten Gassensors S in
einem Kraftfahrzeug ist eine Betriebsbereitschaft zur Kataly
satorüberwachung gemäß der Norm OBD II sofort ab Motorstart
wichtig. Dazu kann die Sensoraufheizung beispielsweise durch
Öffnen der Fahrertür, durch Öffnen der Zentralverriegelung
oder Belastung des Fahrersitzes initiiert werden.
Claims (13)
1. Gassensor (S), aufweisend
mindestens einen gassensitiven Bereich (2), der auf einem
Substrat (1) aufgebracht ist,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Substrat (1) mindestens einen diffusionsoffenen Teil
bereich aufweist.
2. Gassensor (S) nach Anspruch 1, bei dem
der mindestens eine diffusionsoffene Teilbereich eine Porosi
tät aufweist.
3. Gassensor (S) nach Anspruch 2, bei dem
die Porosität zwischen 10% und 40% liegt.
4. Gassensor (S) nach Anspruch 3, bei dem
die Porosität zwischen 20% und 30% liegt.
5. Gassensor (S) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei
dem auf dem Substrat (1) mittelbar oder unmittelbar eine gas
dichte Deckschicht (4) aufgebracht ist, die den gassensitiven
Bereich (2) überdeckt, und in welcher eine Apertur (5) vorhan
den ist.
6. Gassensor (S) nach Anspruch 5, bei dem
zwischen dem gassensitiven Bereich (2) und der Deckschicht
(4) eine gasdurchlässige Isolierschicht (3) vorhanden ist.
7. Gassensor (S) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei
dem der gassensitive Bereich (2) in Form einer Schicht aus
halbleitendem Metalloxid ausgeführt ist.
8. Gassensor (S) zur Detektion von Kohlenwasserstoffen
und/oder Stickoxiden in einem Abgas (E), bei dem mindestens
Sauerstoff durch das Substrat (1) diffundieren kann.
9. Gassensor (S) nach Anspruch 8, der so in eine Wand eines
Abgasrohrs (5) einbaubar ist, dass der gassensitive Bereich
(2) einem Abgas (E) aussetzbar ist, und der poröse Teilbe
reich des Substrats (1) mindestens teilweise der das Abgas
rohr (5) umgebenden Atmosphäre, insbesondere Luft, aussetzbar
ist.
10. Verwendung eines Gassensors (S) nach einem der Ansprüche
8 oder 9 zur Abgasregelung in einem Kraftfahrzeug oder einer
Heizanlage
11. Verfahren zur Gasdetektion, bei dem
ein gassensitiver Bereich (2) einer auszumessenden Gasatmo
sphäre ausgesetzt wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
durch ein den gassensitiven Bereich (2) tragendes Substrat
(1) mindestens ein Störgas (G) zum gassensitiven Bereich (2)
diffundiert.
12. Verfahren nach Anspruch 11, bei dem
das Störgas (G) innerhalb einer den gassensitiven Bereich (2)
teilweise überdeckenden gasdichten Deckschicht (4) angerei
chert wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, bei dem
das Störgas (G) vom Substrat (1) zu mindestens einer in der
Deckschicht (4) vorhandenen Apertur (5) strömt, wobei
der gassensitive Bereich (2) sich im Bereich der höchsten
Konzentration des Störgases (G) befindet.
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DE (1) | DE10048195C2 (de) |
WO (1) | WO2002027311A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202004015180U1 (de) * | 2004-09-30 | 2006-02-09 | T.E.M.! Technologische Entwicklungen Und Management Gmbh | Sensorsystem zum Zwecke der Detektion von Gasen und Dämpfen |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008001394A1 (de) * | 2008-04-25 | 2009-10-29 | Robert Bosch Gmbh | Abgastaugliche Schutzschichten für Hochtemperatursensoren |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4844788A (en) * | 1987-11-04 | 1989-07-04 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Wide-range air/fuel ratio sensor and detector using the same |
DE4344828A1 (de) * | 1993-12-28 | 1995-06-29 | Oehmi Forsch & Ingtech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Feststoffpartikeln enthaltenden Flüssigkeiten |
DE19549147A1 (de) * | 1995-12-29 | 1997-07-03 | Siemens Ag | Gassensor |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5644837A (en) * | 1979-09-21 | 1981-04-24 | Hitachi Ltd | Preparing method for oxygen concentration measuring element |
US4477403A (en) * | 1983-05-26 | 1984-10-16 | Teledyne Industries, Inc. | Method of making an electrochemical sensor |
US4571285A (en) * | 1984-05-29 | 1986-02-18 | Fujikura Ltd. | Oxygen sensor for and method of determining concentration of oxygen |
JP2509905B2 (ja) * | 1985-02-06 | 1996-06-26 | 株式会社日立製作所 | 空燃比センサ |
US5302274A (en) * | 1990-04-16 | 1994-04-12 | Minitech Co. | Electrochemical gas sensor cells using three dimensional sensing electrodes |
GB9422334D0 (en) * | 1994-11-04 | 1994-12-21 | Central Research Lab Ltd | Gas sensor |
JP3499421B2 (ja) * | 1996-12-02 | 2004-02-23 | 日本特殊陶業株式会社 | NOxガス濃度測定方法及びNOxガス濃度検出器 |
JP3546919B2 (ja) * | 1998-01-30 | 2004-07-28 | 株式会社豊田中央研究所 | 窒素酸化物及び酸素検出センサ |
-
2000
- 2000-09-28 DE DE10048195A patent/DE10048195C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-09-28 EP EP01978186A patent/EP1322945A1/de not_active Withdrawn
- 2001-09-28 WO PCT/DE2001/003733 patent/WO2002027311A1/de not_active Application Discontinuation
- 2001-09-28 JP JP2002530639A patent/JP2004510159A/ja not_active Withdrawn
- 2001-09-28 US US10/381,799 patent/US20040094415A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4844788A (en) * | 1987-11-04 | 1989-07-04 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Wide-range air/fuel ratio sensor and detector using the same |
DE4344828A1 (de) * | 1993-12-28 | 1995-06-29 | Oehmi Forsch & Ingtech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Feststoffpartikeln enthaltenden Flüssigkeiten |
DE19549147A1 (de) * | 1995-12-29 | 1997-07-03 | Siemens Ag | Gassensor |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202004015180U1 (de) * | 2004-09-30 | 2006-02-09 | T.E.M.! Technologische Entwicklungen Und Management Gmbh | Sensorsystem zum Zwecke der Detektion von Gasen und Dämpfen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10048195C2 (de) | 2002-11-14 |
JP2004510159A (ja) | 2004-04-02 |
WO2002027311A1 (de) | 2002-04-04 |
US20040094415A1 (en) | 2004-05-20 |
EP1322945A1 (de) | 2003-07-02 |
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