DE10043891A1 - Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoff-NanoröhrenInfo
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Abstract
Ein Verfahren zum Herstellen von Kohlenstoff-Nanoröhren aus kohlenstoffhaltigen Verbindungen ist offenbart, bei dem zumindest eine übergangsmetallorganische Verbindung der allgemeinen Formel [(Cp)¶x¶M¶n¶(CO)¶y¶]¶z¶ verwendet wird, wobei Cp eine Cyclopentadienylgruppe oder eine alkylsubstituierte Cyclopentadienylgruppe und M ein Metall der ÜBergangsmetallreihe ist; n = 1, 2, 3; x = 0, 1, 2; y = 0, 1, 2...8; z = 1, 2.
Description
Die Erfindung betrifft die Herstellung von Kohlenstoff-
Nanoröhren.
Abscheideverfahren aus der Gasphase (Chemical Vapor
Deposition, CVD) sind als Herstellungsverfahren unter anderem
auch für Kohlenstoff-Nanoröhren bekannt [1]. Zum Beispiel
haben Dai et al. über die Disproportionierung von
Kohlenstoffmonoxid an in ihrer Größe vorselektierten Mo-
Katalysatoren berichtet [2]. Nach Kong et al. lassen sich
Kohlenstoff-Nanoröhren auch auf speziell mittels Liftoff-
Verfahren strukturierten Oberflächen herstellen [3]. Hier
wird entweder Sputterabscheiden oder selektives Ätzen
verwendet, um eine katalytische Oberfläche auf einem festen
Substrat zu bilden. Der hierbei verwendete
Katalysatorvorläufer ist Fe(NO3)3.9H2O, der auf einer
Aluminiumoxidmatrix als Träger aufgebracht und zusammen mit
MoO2(acac)2 eingesetzt wird. CVD wird sodann mit Methan als
Kohlenstoffquelle durchgeführt.
Kong et al. berichten weiterhin über ein CVD-Verfahren zum
Herstellen von Kohlenstoff-Nanoröhren [4]. Hierbei wird
Methan als Kohlenstoffquelle verwendet und als
Katalysatorvorläufer werden Fe2O3, NiO, CoO, NiO/CoO auf
einer Trägermatrix verwendet.
Bei weiteren bekannten Verfahren zum Herstellen von
Kohlenstoff-Nanoröhren mittels CVD werden dünne
Metallschichten aus z. B. Nickel oder Eisen, anorganische
Salze verschiedener Übergangsmetalle wie Ni, Fe, Y, Co, Ru,
Pt, Mo, die vor der Reaktion zu dem Metallen reduziert
werden, mit und ohne SiO2/Al2O3 als tragende Matrix
eingesetzt.
Die bisher in den Verfahren eingesetzten Katalysatoren
gestatten jedoch die Synthese der Kohlenstoff-Nanoröhren mit
nur mit großem Aufwand.
Somit liegt der Erfindung das Problem zugrunde, ein Verfahren
zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren bereitzustellen,
das die Herstellung der gewünschten Kohlenstoff-Nanoröhren
mit einfachen Mitteln und in größerer Ausbeute ermöglicht.
Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, dass in dem
Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren
Katalysatoren verwendet werden, die eine höhere katalytische
Aktivität besitzen.
Erfindungsgemäß wird obiges Ziel mit einem Verfahren zur
Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren erreicht, bei dem
zumindest eine Übergangsmetallorganische Verbindung der
allgemeinen Formel [(Cp)xMn(CO)y]z verwendet wird, wobei Cp
eine Cyclopentadienylgruppe oder eine alkylsubstituierte
Cyclopentadienylgruppe und M ein Metall der
Übergangsmetallreihe ist; n = 1, 2, 3; x = 0, 1, 2; y = 1, 2. . .8;
z = 1, 2.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann die
Übergangsmetallorganische Verbindung als Vorstufe eines
Katalysators zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren
verwendet werden. Wird die Übergangsmetallorganische
Verbindung einer geeigneten Behandlung, z. B. einem
Heizverfahren unterzogen, so wird sie direkt zur
katalytischen Form aktiviert, was zusätzliche
Reduktionsschritte zu diesem Zweck, wie sie sich bei
herkömmlichen Katalysatoren für Kohlenstoffröhren durch
Einsatz von Wasserstoff oder Kohlenwasserstoffen ergeben,
unnötig macht. Ein wichtiger Vorteil bei einer Aktivierung
solcher Übergangsmetallorganischer Verbindungen besteht
zusätzlich darin, dass der anfangs an dem Metall gebundenen
Kohlenstoff als geeignete Ausgangspezies für die sich
bildenden Kohlenstoff-Nanoröhren dienen kann.
Bevorzugt kann das erfindungsgemäße Verfahren ein
Abscheidungsverfahren aus der Gasphase (Chemical Vapor
Deposition, CVD) sein, bei dem die Übergangsmetallorganische
Verbindung als eine Art Katalysatorvorstufe funktioniert, die
zur katalytisch aktiven Form aktiviert wird.
Als Übergangsmetall in der Übergangsmetallorganischen
Verbindung kann vorzugsweise Fe, Ni, Y, Co, Ru, Pt, Mo, V
oder Mn verwendet werden. Hiervon sind Fe wie beispielsweise
im Komplex [CpFe(CO)2]2, Mn wie beispielsweise im Komplex
CpMn(CO)3, und Co wie beispielsweise im Komplex CpCo2(CO)8
besonders bevorzugt.
Bei dem Verfahren kann es zum Handhaben der Übergangsmetall
organischen Verbindung vorteilhaft sein, diese zunächst in
einem Lösungsmittel zu lösen. Bevorzugt wird zumindest eine
Übergangsmetallorganische Verbindung in einer Konzentration
von 1 mMol/l bis zur Löslichkeitsgrenze in dem betreffenden
Lösungsmittel. Damit dieses Lösungsmittel später vollständig
entfernt werden kann, ist es auch von Vorteil, wenn es ein
leicht verdampfbares Lösungsmittel ist. Als leicht
verdampfbare Lösungsmittel können z. B. die Lösungsmittel
Dichlormethan, Chloroform, Kohlenstofftetrachlorid, THF,
Furan, Et2O, Pentan oder Hexan verwendet werden. Welches
Lösungsmittel verwendet wird, hängt von der Löslichkeit und
der Stabilität der zu lösenden Übergangsmetallorganischen
Verbindung ab. Um das Lösen dieser Verbindung zu fördern,
kann auch eine Mischung zweier oder mehrerer dieser leicht
verdampfbaren Lösungsmittel verwendet werden.
Diese Lösung kann dann nachfolgend auf ein Substrat
aufgebracht werden, wobei als Substrat insbesondere Si und
SiO2 verwendet werden können. Im Rahmen der Erfindung kann
ein solches Aufbringen mit einer Makro- oder Mikropipette,
einer Sprühdüse oder einer Applizierwalze durchgeführt
werden, wobei eine Mikropipette besonders bevorzugt ist. Die
tropfenweise Aufbringung der Lösung auf das Substrat hat
gegenüber der schichtweisen Aufbringung den Vorteil, dass
sich beim Ersteren nach der CVD-Synthese der Kohlenstoff-
Nanoröhren das Syntheseort der fertigen Nanoröhren leichter
feststellen lässt, was die Wiedergewinnung und/oder ggf. die
weitere Aufarbeitung der Kohlenstoff-Nanoröhren wesentlich
vereinfacht.
Im Anschluss an das Aufbringen der die Übergangsmetall
organische Verbindung enthaltende Lösung auf ein Substrat
kann das Lösungsmittel oder die Mischung zweier oder mehrerer
Lösungsmittel verdampft werden. Hierbei ist von Vorteil, wenn
die Verdampfung bei Raumtemperatur oder bei einer Temperatur
erfolgt, die 70°C nicht übersteigt. Bei eventuell schwerer
verdampfbaren Lösungsmittelmischungen kann beim Verdampfen
der umgebende Druck reduziert werden, um höhere Temperaturen
bei der Verdampfung zu vermeiden. Bei der Verdampfung sollen
höhere Temperaturen vermieden werden, damit die
Übergangsmetallorganische Verbindung nicht vorzeitig, d. h.
vor der Abscheidungsreaktion zur katalytisch aktiven Form
aktiviert wird, was sonst die letztendliche Ausbeute an
Kohlenstoff-Nanoröhren beeinträchtigen könnte.
Nach der Verdampfung des Lösungsmittels oder der
Lösungsmittelmischung auf dem Substrat kann erfindungsgemäß
das Substrat in einem Abscheidungsreaktor aufgeheizt werden.
Dies erfolgt bei einer Temperatur, die ausreichend ist, um
die Übergangsmetallorganische Verbindungs-Katalysatorvorstufe
zur katalytisch aktiven Spezies zu aktivieren. Zur
Aktivierung kann es zweckmäßig sein, das Aufheizen des
Substrats bei einer Temperatur von 500-900°C durchzuführen.
So wird gewährleistet, dass die auf dem Substrat aufgebrachte
Übergangsmetallorganische Verbindung effektiv zu ihrer
aktiven Form konvertiert wird. Es ist anzumerken, dass durch
eine solche Aktivierung sofort die katalytisch aktive Spezies
in sehr feiner Verteilung ohne weitere Reduktionsschritte
entsteht.
Nach dem Aufheizen des Substrats im Abscheidungsreaktor kann
im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens der
Abscheidungsreaktor als Vorbereitung auf das nachgeschaltete
Abscheidungsverfahren gesäubert werden. Dies kann
beispielsweise erfolgen, indem der Abscheidungsreaktor mit
einem Spülgas gespült werden. Das zum Spülen des
Abscheidungsreaktors verwendete Spülgas kann ein Inertgas,
vorzugsweise ein Edelgas wie Argon oder N2 sein. Alternativ
kann die Säuberung durch Evakuierung des Abscheidungsreaktors
erfolgen.
Im Anschluss an das Säubern des Abscheidungsreaktors mit
einem Inertgas kann ein für CVD-Verfahren übliches
Reaktionsgas in den Abscheidungsreaktor geleitet werden, z. B.
ein Kohlenwasserstoffgas. Hierbei kommt beispielsweise
Methan, Ethylen, Benzol oder Acetylen in Betracht. Alternativ
zu dem Kohlenwasserstoffreaktionsgas kann erfindungsgemäß
auch Kohlenstoffmonoxid als Reaktionsgas in den
Abscheidungsreaktor geleitet werden. Da bereits durch das
Aufheizen des Substrats die katalytisch reaktive Spezies der
Übergangsmetallorganischen Verbindung gebildet wurde, beginnt
die Abscheidungsreaktion sofort mit Zuschalten des
Reaktionsgases. Um die Abscheidungsreaktion zu begünstigen
soll erfindungsgemäß innerhalb des Abscheidungsreaktor eine
Temperatur von 500 bis 900°C und einen Druck von 1,3 bis
100.000 Pa beibehalten werden.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden
nachfolgend anhand der Fig. 1 beschrieben. In der Zeichnung
zeigt:
Fig. 1A die schematische Darstellung einer Lösung einer gemäß
einem Ausführungsbeispiel der Erfindung als
Katalysatorvorstufe zu verwendenden
Übergangsmetallorganischen Verbindung.
Fig. 1B das Ergebnis einer tropfweisen Aufbringung der Lösung
von Fig. 1A auf einem Substrat.
Fig. 1C das Ergebnis des Verdampfens des Lösungsmittels von
Fig. 1B.
Figs. 1D bis 1F ein Flussdiagramm weiterer Verfahrensschritte
gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.
Fig. 1A zeigt einen Behälter 100 mit einem Lösungsmittel 101,
in dem die nicht oder kaum flüchtige
Übergangsmetallorganische Verbindung 102 bereits gelöst ist.
Das Lösungsmittel 101 ist leicht verdampfbar, d. h. es lässt
sich schon bei Raumtemperatur oder bei einer Temperatur, die
unterhalb 70°C liegt, vollständig verdampfen. Als mögliche
leicht verdampfbare Lösungsmittel können beispielsweise
Dichlormethan, Chloroform, Kohlenstofftetrachlorid, THF,
Furan, Et2O, Pentan, Hexan oder eine Mischung zweier oder
mehrerer dieser Lösungsmittel verwendet werden. Welches
Lösungsmittel bzw. welche Lösungsmittelmischung verwendet
wird, hängt von der Löslichkeit und der Stabilität der
jeweiligen, letztendlich als CVD-Katalysatorvorstufe zu
verwendenden Übergangsmetallorganischen Verbindung ab.
Wichtig ist lediglich, dass das gewählte Lösungsmittel bzw.
die gewählte Lösungsmittelmischung sich bei niedriger
Temperatur, d. h. bei Raumtemperatur oder bei einer
Temperatur, die 70°C nicht übersteigt, vollständig
verdampfen lässt.
Fig. 1B zeigt das Substrat 103 und Tropfen 104 der Lösung aus
Fig. 1A, die auf dem Substrat 103 punktweise aufgebracht
sind. Solche Tropfen 104 können mittels eines herkömmlichen
Makro- oder Mikrodispensiergeräts auf das Substrat
aufgebracht werden.
Alternativ kann die Lösung aus Fig. 1A schichtweise mittels
einer Sprühdüse oder mittels einer Applizierwalze auf das
Substrat 103 aufgebracht werden (nicht gezeigt). Die
tropfenweise Aufbringung der Lösung aus Fig. 1A hat gegenüber
der schichtweisen Aufbringung auf das Substrat 103 (nicht
gezeigt) den Vorteil, dass sich beim Ersteren nach der CVD-
Synthese der Kohlenstoff-Nanoröhren der Syntheseort der
fertigen Nanoröhren leichter feststellen lässt, was die
Wiedergewinnung und/oder ggf. die weitere Aufarbeitung der
Kohlenstoff-Nanoröhren wesentlich vereinfacht.
Fig. 1C zeigt den Zustand des Substrats 103 nach Verdampfen
des leicht verdampfbaren Lösungsmittels 101 bzw. der
Lösungsmittelmischung von dessen Oberfläche. Moleküle der
Übergangsmetallorganischen Verbindung, die nach Aktivierung
letztendlich als Katalysatoren im CVD-Verfahren dienen
sollen, sind schematisch als Punkte 105 auf der Oberfläche
des Substrats 103 dargestellt. Das Verdampfen des leicht
verdampfbaren Lösungsmittels 101 kann je nach Lösungsmittel
entweder bei Raumtemperatur oder bei einer Temperatur, die 70
°C nicht übersteigt, durchgeführt werden. Alternativ können
Kombinationen von niedrigeren Temperaturen und reduzierten
Drucken eingesetzt werden, um das Verdampfen bei niedriger
Temperatur zu ermöglichen. Oberhalb etwa 70°C liegende
Temperaturen sollen zum Verdampfen jedoch vermieden werden,
um eine vorzeitige Aktivierung der Übergangsmetallorganischen
Verbindungen, die später als CVD-Katalysatoren dienen sollen,
zu verhindern.
Es ist anzumerken, dass bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
keine vorherige Strukturierung der Übergangsmetallorganischen
Verbindung vorgesehen ist. Vielmehr ermöglicht das leichte
Pipettieren das einfache Aufbringen der die
Übergangsmetallorganischen Verbindung enthaltenden Lösung auf
das Substrat 103 und damit eine wesentlich vereinfachte
Präparierung des Letzteren als es bisher möglich war. Da die
Übergangsmetallorganischen Verbindungen, die letztendlich als
Katalysatoren bei der CVD-Reaktion dienen sollen, bereits
Kohlenstoffatome in Form der Carbonylgruppe(n), bzw.
Cyclopentadienylgruppe(n) aufweisen, besitzt die
Katalysatorvorstufe selbst eine günstige Zusammensetzung, von
der aus sich Kohlenstoff-Nanoröhren auf dem aktiven
Katalysator ausbilden können. In Verbindung mit der bereits
erwähnten, problemlosen Applizierung der
Übergangsmetallorganischen Verbindung in flüssiger Form auf
die Oberfläche des Substrats 103 wird somit ein Grad des
Streamlinings bei der CVD-Synthese von Kohlenstoff-Nanoröhren
erreicht, der sich gegenüber den arbeits- und zeitintensiven
CVD-Verfahren des Standes der Technik als vorteilhaft
erheblich abhebt.
Figs. 1D bis 1F stellen in Form eines Flussdiagramms die
weiteren Verfahrensschritte gemäß einem Ausführungsform der
Erfindung dar. Nachdem das Substrat 103 mit den darauf
aufgebrachten Übergangsmetallorganischen Verbindungsmolekülen
105 in einem Abscheidungsreaktor angeordnet worden ist, wird
das Substrat 103 aufgeheizt, um die
Übergangsmetallorganischen Verbindungen zu aktivieren
(Schritt 106). Dieses Aufheizen des mit der Lösung auf Fig.
1A behandelten Substrats zum Aktivieren erfolgt bevorzugt bei
500 bis 900°C. Nach Gasspülung mit vorzugsweise einem
Inertgas wie beispielsweise N2 oder Ar (Schritt 107), startet
die Synthese der Kohlenstoff-Nanoröhren sofort mit Zuschalten
des Reaktionsgases, wie beispielsweise Methan, Ethylen,
Acetylen, Benzol oder Kohlenstoffmonoxid (Schritt 108). Dabei
wird die Temperatur bei 500 bis 900°C beibehalten und der
Druck wird auf 1,3 bis 100.000 Pa eingestellt. Auf diese
Weise werden die Kohlenstoff-Nanoröhren gebildet.
Nach der Synthese können die Kohlenstoff-Nanoröhren gewonnen
werden.
In diesem Dokument sind folgende Veröffentlichungen zitiert:
[1] P. M. Ajayan, Nanotubes from Carbon, Chem. Rev. 99, S. 1787-1799, 1999.
[2] H. Dai; A. G. Rinzler; P. Nikolaev; A. Thess; D. T. Colbert; R. E. Smalley, Chem. Phys. Lett. 260, S. 471, 1996.
[3] J. Kong; H. T. Soh; A. M. Cassell; C. F. Quate; H. Dai, Synthesis of individual single-walled carbon nanotubes on patterned silicon wafers, Nature 395, S. 878-881, 1998.
[4] J. Kong; A. M. Cassell; H. Dai, Chemical vapor deposition of methane for single-walled carbon nanotubes, Chem. Phys. Lett. 292, S. 567-574, 1998.
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[4] J. Kong; A. M. Cassell; H. Dai, Chemical vapor deposition of methane for single-walled carbon nanotubes, Chem. Phys. Lett. 292, S. 567-574, 1998.
100
Behälter
101
leicht verdampfbares Lösungsmittel
102
Molekül der im leicht verdampfbaren Lösungsmittel
gelösten Übergangsmetallorganischen Verbindung
103
Substrat
104
auf dem Substrat aufgebrachter Lösungstropfen
105
auf dem Substrat aufgebrachtes Molekül der
Übergangsmetallorganischen Verbindung
106
Aktivierung der Katalysatorvorstufe
107
Säubern des Abscheidungsreaktors
108
Zuführen des Reaktionsgases und Aufheizen des
Abscheidungsreaktors
Claims (27)
1. Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren aus kohlenstoffhaltigen
Verbindungen, bei dem zumindest eine Übergangsmetallorganische Verbindung der
allgemeinen Formel [(Cp)xMn(CO)y]z verwendet wird, wobei Cp eine
Cyclopentadienylgruppe oder eine alkylsubstituierte Cyclopentadienylgruppe und M ein
Metall der Übergangsmetallreihen ist; n = 1, 2, 3; x = 0, 1, 2; y = 0, 1. . .8; z = 1, 2
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die zumindest eine
Übergangsmetallorganische Verbindung der allgemeinen Formel
[(Cp)xMn(CO)y]z mit den in Anspruch 1 angegebenen Definitionen
einem Aktivierungsschritt unterzogen wird, wobei die
katalytisch wirksame Spezies gebildet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die
kohlenstoffhaltigen Verbindungen unter den
Reaktionsbedingungen flüchtig sind.
4. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem das Verfahren ein
Abscheideverfahren aus der Gasphase (Chemical Vapor
Deposition, CVD) ist.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem
als Metall Fe, Ni, Y, Co, Ru, Pt, Mo, V oder Mn verwendet
wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem
Cp die Cyclopentadienylgruppe ist, x = 2, M Fe ist, n = 1, y = 2 und z = 2;
Cp die alkylsubstituierte Cyclopentadienylgruppe ist, x = 1, M Mn ist, y = 3 und z = 1; oder
Cp die alkylsubstituierte Cyclopentadienylgruppe ist, x = 1, M Co ist, y = 8 und z = 1.
Cp die Cyclopentadienylgruppe ist, x = 2, M Fe ist, n = 1, y = 2 und z = 2;
Cp die alkylsubstituierte Cyclopentadienylgruppe ist, x = 1, M Mn ist, y = 3 und z = 1; oder
Cp die alkylsubstituierte Cyclopentadienylgruppe ist, x = 1, M Co ist, y = 8 und z = 1.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, bei dem vor
dem Aktivieren in einem ersten Schritt die Übergangsmetall
organische Verbindung in ein Lösungsmittel gelöst wird, diese
Lösung auf ein Substrat aufgebracht wird und das
Lösungsmittel vom Substrat verdampft wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, bei dem als Lösungsmittel
Dichlormethan, Chloroform, Kohlenstofftetrachlorid, THF,
Furan, Et2O, Pentan, Hexan oder eine Mischung dieser
Lösungsmittel verwendet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 7, bei dem das Aufbringen auf das
Substrat mittels einer Dispensiertechnik erfolgt.
10. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem als Dispensiertechnik
Mikropipettieren verwendet wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche Anspruch 7 bis 10, bei
dem als Substrat Si oder SiO2 verwendet wird.
12. Verfahren nach Anspruch 7, bei dem das Verdampfen des
Lösungsmittels bei einer Temperatur erfolgt, die 70°C nicht
übersteigt.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 12, bei dem das
Verdampfen bei reduziertem Druck erfolgt.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 13, bei dem nach
dem ersten Schritt des Lösens, des Aufbringens und des
Verdampfens als zweiter Schritt der Aktivierungsschritt
erfolgt.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 14, bei dem zum
Aktivieren der Übergangsmetallorganischen Verbindung auf dem
Substrat dieses in einem Abscheidungsreaktor aufgeheizt wird.
16. Verfahren nach Anspruch 15, bei dem das Aufheizen bei
einer Temperatur von 500 bis 900°C durchgeführt erfolgt.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, bei dem
nach dem zweiten Schritt des Aufheizens in einem dritten
Schritt der Abscheidungsreaktor gesäubert wird, ein
Reaktionsgas in den Abscheidungsreaktor geleitet wird und im
Abscheidungsreaktor auf Reaktionsbedingungen eingestellt
wird.
18. Verfahren nach Anspruch 17, bei dem zum Säubern der
Abscheidungsreaktor mit einem Inertgas gespült wird.
19. Verfahren nach Anspruch 18, bei dem als Inertgas ein
Edelgas oder Stickstoff verwendet wird.
20. Verfahren nach Anspruch 19, bei dem als Edelgas Argon
verwendet wird.
21. Verfahren nach Anspruch 17, bei dem zum Säubern der
Abscheidungsreaktor evakuiert wird.
22. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 21, bei dem als
Reaktionsgas ein Kohlenstoff enthaltendes Gas verwendet wird.
23. Verfahren nach Anspruch 22, bei dem als Kohlenstoff
enthaltendes Gas ein Kohlenwasserstoffgas oder Kohlenmonoxid
verwendet wird.
24. Verfahren nach Anspruch 23, bei dem als
Kohlenwasserstoffgas Methan, Ethylen, Benzol oder Acetylen
verwendet wird.
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 24, bei dem das
Einstellen auf Reaktionsbedingungen das Beibehalten der
Temperatur von 500 bis 900°C umfasst.
26. Verfahren nach Anspruch 25, bei dem zusätzlich zu dem
Beibehalten der Temperatur auf einen Druck von 1, 3 bis
100.000 Pa eingestellt wird.
27. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 26, bei dem die
Konzentration der gelösten Übergangsmetallcarbonylverbindung
1 mMol/l bis zur Löslichkeitsgrenze im betreffenden
Lösungsmittels beträgt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10043891A DE10043891A1 (de) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren |
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DE10043891A DE10043891A1 (de) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren |
Publications (1)
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---|---|
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Country Status (1)
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DE (1) | DE10043891A1 (de) |
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