DE10003812B4 - Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers - Google Patents

Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers Download PDF

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Abstract

Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers, der eine Zellenmatrix mit mehreren Einheitszellen umfasst, wobei
– jede Einheitszelle einen ersten Schalttransistor (T1), der mit seinem Sourceanschluss mit einer ersten Bitleitung (Bit_n) verbunden ist, und einen zweiten Schalttransistor (T2), der mit seinem Sourceanschluß mit einer zweiten Bitleitung (Bit_n+1) verbunden ist, aufweist, wobei der Drainanschluss des ersten Schalttransistors (T1) mit einem Anschluss eines ersten ferroelektrischen Kondensators (FC1) und der Drainanschluss des zweiten Schalttransistors (T2) mit einem Anschluss eines zweiten ferroelektrischen Kondensators (FC2) verbunden ist, und wobei das Gate des ersten Schalttransistors (T1) und der andere Anschluss des zweiten ferroelektrischen Kondensators (FC2) mit einer ersten Wortleitung eines Splitwortleitungspaares (SWL1, SWL2) verbunden ist und das Gate des zweiten Schalttransistors (T2) und der andere Anschluss des ersten ferroelektrischen Kondensators (FC1) mit einer zweiten Wortleitung des Splitwortleitungspaares (SWL1, SWL2) verbunden ist, oder
– jede Einheitszelle als Mehrfach-NAND-Zelle eine Anzahl von n+1 in Reihe geschalteten...

Description

  • Die Erfindung betrifft das Gebiet der Halbleiterspeicher und insbesondere eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers.
  • Der ferroelektrische Speicher, d. h. ein ferroelektrischer Schreib-Lese-Speicher (FRAM), der im allgemeinen eine Datenverarbeitungsgeschwindigkeit besitzt, die ähnlich jener eines als Halbleiterspeicher in großem Umfang verwendeten dynamischen Schreib-Lese-Speichers (DRAM) ist, der Daten selbst ohne Spannungsversorgung halten kann, findet als Speicher der nächsten Generation Beachtung. Der FRAM, d. h. ein Speicher mit einer Struktur ähnlich derjenigen des DRAM, besitzt einen Kondensator aus einem ferroelektrischen Material, um die hohe Restpolarisation des ferroelektrischen Materials zu nutzen. Die Restpolarisation ermöglicht das Halten von Daten selbst dann, wenn kein elektrisches Feld mehr anliegt. 1 zeigt eine Kennlinie einer Hystereseschleife eines allgemeinen ferroelektrischen Materials. Es ist bekannt, daß eine durch ein elektrisches Feld induzierte Polarisation nicht gelöscht wird, sondern daß ein bestimmter Betrag (d- und a-Zustände) zurückbleibt, selbst wenn das elektrische Feld nicht mehr anliegt, weil die Restpolarisation (oder spontane Polarisation) vorhanden ist. Die d- und a-Zustände entsprechen bei einer Anwendung auf Speicher den Werten "1" bzw. "0".
  • Mit Bezug auf die Zeichnung wird ein herkömmlicher nichtflüchtiger ferroelektrischer Speicher erläutert.
  • 2 zeigt ein System einer Einheitszelle des herkömmlichen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers. Wie in 2 gezeigt ist, ist das System der Einheitszelle des herkömmlichen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers mit einer Bitleitung B/L, die in einer Richtung verläuft, mit einer Wortleitung W/L, die zur Bitleitung senkrecht ist, mit einer Plattenleitung P/L, die in einem Abstand von der Wortleitung W/L und parallel zu dieser verläuft, einem Transistor T1, dessen Gate mit der Wortleitung verbunden ist und dessen Source mit der Bitleitung verbunden ist, und einem ferroelektrischen Kondensator FC1, wovon ein erster Anschluß mit einem Drain des Transistors T1 verbunden ist und ein zweiter Anschluß mit der Plattenleitung P/L verbunden ist, versehen.
  • Nun wird eine Schaltung zum Ansteuern des herkömmlichen ferroelektrischen Speichers erläutert. Die 3A und 3B zeigen eine Schaltung zum Ansteuern des herkömmlichen ferroelektrischen Speichers. Die Schaltung zum Ansteuern des herkömmlichen ferroelektrischen Speichers mit 1T/1C-Struktur (Struktur mit einem Transistor und einem ferroelektrischen Kondensator) ist versehen mit einem Referenzspannungsgenerator 1 zum Erzeugen einer Referenzspannung, einem Referenzspannungsstabilisator 2 mit mehreren Transistoren Q1–Q4 und einem Kondensator C1 zum Stabilisieren der Referenzspannungen auf zwei benachbarten Bitleitungen, einem ersten Referenzspannungsspeicher 3 mit mehreren Transistoren Q6–Q7 und mit Kondensatoren C2–C3, auf deren benachbarten Bitleitungen logische Werte "1" bzw. "0" gespeichert sind, einem ersten Entzerrer 4 mit einem Transistor Q5 zum Entzerren zweier benachbarter Bitleitungen, einer ersten Hauptzellenmatrix 5, die mit unterschiedlichen Wortleitungen und Plattenleitungen zum Speichern von Daten verbunden ist, einem ersten Leseverstärker 6 mit mehreren Transistoren Q10–Q15, einem P-Leseverstärker PSA und dergleichen zum Lesen von Daten in Zellen, die aus den mehreren Zellen in der ersten Hauptzellenmatrix 5 durch die Wortleitung ausgewählt werden, einer zweiten Hauptzellenmatrix 7, die mit verschiedenen Wortleitungen und Plattenleitungen verbunden ist, um Daten zu speichern, einem zweiten Referenzspannungsspeicher 8 mit mehreren Transistoren Q28–Q29 und Kondensatoren C9–C10, die Referenzspannungen mit logischen Werten "1" bzw. "0", die in benachbarten Bitleitungen gespeichert sind, besitzen, einem zweiten Leseverstärker 9 mit mehreren Transistoren Q16–Q25, und einem N-Leseverstärker NSA und dergleichen zum Lesen und Weiterleiten von in der zweiten Hauptzellenmatrix 7 befindlichen Daten.
  • Die Dateneingabe-/Datenausgabeoperation des herkömmlichen ferroelektrischen Speichers wird nun erläutert. 4 zeigt einen Zeitablaufplan einer Schreibmodus-Operation des ferroelektrischen Speichers, während 5 einen Zeitablaufplan einer Lesemodus-Operation des herkömmlichen ferroelektrischen Speichers zeigt.
  • Wenn beim Schreiben ein externes Chipfreigabesignal (CSBpad) von "hoch" nach "tief" freigegeben wird und gleichzeitig ein Schreibfreigabesignal (WEBpad) von "hoch" nach "tief" übergeht, wird der Schreibmodus gestartet. Wenn eine Adressendecodierung im Schreibmodus beginnt, geht ein an eine betreffende Wortleitung angelegter Impuls von "tief" nach "hoch" über, um eine Zelle aus zuwählen. Während einer Periode, in der die Wortleitung auf "hoch" gehalten wird, wird daher an eine betreffende Plattenleitung für eine Periode ein "Hoch"-Signal angelegt, woraufhin in der folgende Periode ein "Tief"-Signal angelegt wird. Um in die ausgewählte Zelle einen logischen Wert "1" oder "0" zu schreiben, wird an eine betreffende Bitleitung ein "Hoch"- oder "Tief"-Signal, das mit dem Schreibfreigabesignal WEBpad synchronisiert ist, angelegt. Das heißt, falls in einer Periode, in der ein an die Wortleitung angelegtes Signal "hoch" ist, an die Bitleitung ein "Hoch"-Signal angelegt wird und das an die Plattenleitung angelegte Signal "tief" ist, wird in den ferroelektrischen Kondensator ein logischer Wert "1" geschrieben. Falls hingegen an die Bitleitung ein "Tief"-Signal angelegt wird und das an die Plattenleitung angelegte Signal "hoch" ist, wird in den ferroelektrischen Kondensator ein logischer Wert "0" geschrieben.
  • Nun wird die Leseoperation für Daten, die in der Zelle durch die obenbeschriebene Schreibmodus-Operation gespeichert wurden, erläutert.
  • Falls das externe Chipfreigabesignal CSBpad von "hoch" nach "tief" freigegeben wird, werden sämtliche Bitleitungen auf "tiefe" Spannung gelegt, bevor eine betreffende Wortleitung gewählt wird. Das heißt, wie in 3A und 3B gezeigt ist, falls an den Entzerrer 4 ein "Hoch"-Signal angelegt wird und an die Transistoren Q18 und Q19 ein "Hoch"-Signal angelegt wird, werden die Bitleitungen auf eine "tiefe" Spannung Vss gelegt, da die Bitleitungen über den Transistor Q19 geerdet sind. Ferner sperren die Transistoren Q5, Q18 und Q19, so daß die Bitleitungen gesperrt werden, ferner wird eine Adresse decodiert, die auf einer betreffenden Wortleitung ein "Tief"-Signal hervorruft, um ein "Hoch"-Signal zu übertragen, um eine betreffende Zelle zu wählen. An die Plattenleitung der ausgewählten Zelle wird ein "Hoch"-Signal angelegt, um eine Dateneinheit, die einem logischen Wert "1" entspricht und im ferroelektrischen Speicher gespeichert ist, zu öffnen. Falls sich im ferroelektrischen Speicher ein logischer Wert "0" befindet, wird ein dem logischen Wert "0" entsprechendes Datum nicht geöffnet. Die nicht geöffneten Daten und die geöffneten Daten schaffen Werte, die gemäß der obengenannten Hystereseschleife voneinander verschieden sind, so daß der Leseverstärker einen logischen Wert "1" oder "0" liest. Der Fall geöffneter Daten ist ein Fall, in dem sich der Wert in der Hystereseschleife von 1 von "d" nach "f" ändert, während der Fall nicht geöffneter Daten ein Fall ist, in dem sich der Wert in der Hystereschleife von 1 von "a" nach "f" ändert. Falls daher der Leseverstärker nach Verstreichen einer bestimmten Zeitperiode freigegeben wird, wird im Fall der geöffneten Daten ein logischer Wert "1" verstärkt bereitgestellt, während im Fall nicht geöffneter Daten ein logischer Wert "0" bereitgestellt wird. Nachdem der Leseverstärker in dieser Weise Daten bereitgestellt hat, wird, da ursprüngliche Daten wiedergewonnen werden sollen, die Plattenleitung in einem Zustand, indem an eine betreffende Wortleitung ein "Hoch"-Signal angelegt wird, von "hoch" nach "tief" gesperrt.
  • Bei dem obenbeschriebenen herkömmlichen ferroelektrischen Speicher besteht das folgende Problem: Die häufige Verwendung einer Referenzzelle, die beim Lesen von Hauptzellen mehrere hundert Mal häufiger als die Hauptzellen erforderlich ist, in einem Zustand, in dem die ferroelektrische Eigenschaft nicht vollkommen sichergestellt ist, so dass die Referenzzelle viel häufiger als die Hauptzellen betrieben wird, hat eine schnelle Verschlechterung der Referenzzelle zur Folge, was eine Spannungsinstabilität, eine Verschlechterung der Funktionseigenschaften der Vorrichtung und eine kurze Lebensdauer zur Folge hat.
  • Die DE 198 46 264 A1 (Stand der Technik nach PatG § 3(2)) zeigt einen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speicher, der eine Zellenmatrix mit mehreren Einheitszellen umfasst, wobei jede Einheitszelle einen ersten Schalttransistor, der mit seinem Sourceanschluss mit einer ersten Bitleitung verbunden ist, und einen zweiten Schalttransistor, der mit seinem Sourceanschluss mit einer zweiten Bitleitung verbunden ist, aufweist, wobei der Drainanschluss des ersten Schalttransistors mit einem Anschluss eines ersten ferroelektrischen Kondensators und der Drainanschluss des zweiten Schalttransistors mit einem Anschluss eines zweiten ferroelektrischen Kondensators verbunden ist, und wobei das Gate des ersten Schalttransistors und der andere Anschluss des zweiten ferroelektrischen Kondensators mit einer ersten Wortleitung eines Splitwortleitungspaares verbunden ist und das Gate des zweiten Schalttransistors und der andere Anschluss des ersten ferroelektrischen Kondensators mit einer zweiten Wortleitung des Splitwortleitungspaares verbunden ist.
  • Die DE 198 46 264 A1 beschreibt darüber hinaus einen Wortleitungs-Treibersteuersignal-Generator zum Erzeugen von Treibersignalen, die an die erste bzw. zweite Wortleitung eines Split-Wortleitungspaares direkt angelegt werden. Eine Schaltung des Wortleitungs-Treibersteuersignal-Generators umfasst einen ersten Wortleitungs-Treibersignal-Generator, der am ersten und zweiten Adressendecodiersignal eine NAND-Operator ausführt und durch Invertieren des Ausgangssignals dieser NAND-Operation das erste Treibersignal erzeugt, das an die erste Wortleitung eines Split-Wortleitungspaares anzulegen ist, und einen zweiten Wortleitungs-Treibersignal-Generator, der am ersten und dritten Adressendecodiersignal eine NAND-Operation durchführt und durch Invertieren des Ausgangssignals dieser NAND-Operation das zweite Treibersignal erzeugt, dass an die zweite Wortleitung eines Split-Wortleitungspaares anzulegen ist. Sowohl der erste als auch der zweite Wortleitungs-Treibersignal-Generator sind mit einem NAND-Gatter und einem Inverter in Verbindung mit dem Ausgangsanschluss desselben versehen.
  • Die DE 199 54 845 A1 (Stand der Technik nach PatG § 3(2)) beschreibt eine nichtflüchtige Speicherzelle vom NAND-Typ, wobei die Speicherzelle eine Anzahl N von in Reihe geschalteten Transistoren, eine Bitleitung, mit der ein Eingangsschluss eines ersten Transistors und ein Ausgangsanschluss eines N-ten Transistors unter den N Transistoren verbunden sind, Wortleitungen, die jeweils mit Gates der Transistoren mit Ausnahme des N-ten Transistors verbunden sind, eine Signalleitung, die mit dem Gate des N-ten Transistors verbunden ist und so angeschlossen ist, dass an sie nur in einem Schreib- oder in einem Wiedereinspeichermodus ein Aktivierungssignal angelegt wird und ferroelektrische Kondensatoren, die jeweils sowohl mit den Wortleitungen als auch den Ausgangsanschlüssen der Transistoren verbunden sind, aufweist. Hierbei werden zum Ansteuern der Speicherzellen vom NAND-Typ jeweils Hilfstreiber verwendet, wobei ein Hilfstreiber eine erste Steuerung mit einer Reihenschaltung von NMOS-Transistoren, die mit einer globalen Wortleitung verbunden ist, und eine zweite Steuerung mit NMOS-Transistoren zum Weiterleiten von Ansteuersignalen vom X-Lokaldecodierer an die Wortleitungen, die aufeinanderfolgend durch Drainspannungen der Transistoren der ersten Steuerung gesteuert werden, beinhaltet.
  • Die US 5,148,401 A beschreibt Split-Wortleitungspaare für konventionelle DRAMs. Der Begriff Split-Wortleitungspaar wird in dieser Schrift jedoch für einen anderen Typ von Wortleitungspaaren als in der vorliegenden Erfindung gebraucht. Bei diesem DRAM ersetzt die Verwendung einer zweiten Wortleitung eines Split-Wortleitungspaares nicht die Plattenleitung, sondern diese dient zur Ansteuerung eines zweiten Speicherzellenarrays, wobei die Speicherzellen jeweils mit ungeradzahligen Wortleitungsabschnitten und ersten Bitleitungen der Bitleitungspaare bzw. mit geradzahligen Wortleitungsabschnitten und zweiten Bitleitungen der Bitleitungspaare sowie der Plattenleitung verbunden sind. Hierbei kann beispielsweise eine Wortleitung durch eine entsprechende Ausgabeleitung von einem Reihendecoder mittels PMOS-Transistoren auf ein festes Potential, das höher als die Versorgungsspannung ist, gehoben werden.
  • Die US 5,706,245 A beschreibt eine Wortleitungsdecodierschaltung eines Halbleiterspeichers. Hierbei wird mit Bezug auf den Artikel von K. Noda et al., "A boosted dual word-line decoding scheme for 256 MB DRAMs", Symposium on VLSI Circuits Digest of Technical Papers, 1992, Seiten 112–113 ein konventioneller DRAM mit einer zugehörigen üblichen Wortleitungstreiberanordnung beschrieben. Die Schaltung eines Unterwortleitungstreibers weist hierbei Transistoren auf, die durch eine Hauptwortleitung und eine zweite Hauptwortleitung gesteuert werden, um das Potential einer Bitleitung und einer inversen Bitleitung auf ein definiertes Potential zu ziehen.
  • Die US 5,751,626 A beschreibt einen ferroelektrischen Speicher unter Verwendung von ferroelektrischen Referenzzellen. Hierbei werden Ausgleichstransistoren verwendet, um das Potential von Bitleitungspaaren durch Steuerung des Plattenelektrodenpotentials aneinander anzugleichen. Darüber hinaus werden N-Kanaltransistoren verwendet, um die Bitleitungen mittels der Steuerung des Plattenelektrodenpotentials entweder auf Masse herunterzuziehen oder einen bestimmten Abschnitt der Bitleitungen elektrisch zu isolieren.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers zu schaffen, durch die eine fälschliche Auswahl oder Ansteuerung der Speicherzellen durch Restspannungen auf den Wortleitungen vermieden und die Layoutfläche effektiv genutzt wird.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch die Schaltung nach Anspruch 1. Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden deutlich beim Lesen der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen, die auf die Zeichnung Bezug nimmt; es zeigen:
  • 1 die bereits erwähnte Kennlinie einer allgemeinen ferroelektrischen Hystereseschleife;
  • 2 das bereits erwähnte Einheitszellen-System eines herkömmlichen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers;
  • 3A, 3B die bereits erwähnte Schaltungsanordnung zum Ansteuern des herkömmlichen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers;
  • 4 den bereits erwähnten Zeitablaufplan zur Erläuterung des Schreibmodus eines herkömmlichen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers;
  • 5 den bereits erwähnten Zeitablaufplan zur Erläuterung des Lesemodus eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers;
  • 6 ein herkömmliches Zellenmatrixsystem zur Erläuterung einer Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfin dung;
  • 7 ein herkömmliches Einheitszellensystem in der Hauptzellenmatrix nach 6;
  • 8A, 8B herkömmliche Einheitszellen einer 1T/1C-Struktur, die von einer in 7 gezeigten 2T/2C-Struktur getrennt ist;
  • 9 ein herkömmliches System für eine effektive Nutzung eines Layouts auf der Basis des in 6 gezeigten Systems;
  • 10 eine Einzelheit des Systems nach 9, wobei das System auf den Split-Wortleitungstreiber nach 6 zentriert ist;
  • 11 eine Beziehung zwischen den Signalen LC1 und LC2 vom lokalen Controller und vom Neben-Treiber nach 9;
  • 12 den "A"-Teil in 11 im einzelnen, wobei eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung gezeigt ist;
  • 13 einen Zeitablaufplan zur Erläuterung der Funktionsweise der Schaltung nach 12;
  • 14 eine erfindungsgemäße Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers mit mehreren Split-Wortleitungspaaren;
  • 15 eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;
  • 16 eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer dritten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;
  • 17 ein System einer bekannten allgemeinen 4-NAND-Zelle;
  • 18 ein herkömmliches Zellenmatrixsystem eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers des 4-NAND-Typs;
  • 19 eine Einzelheit von 18, wobei das gezeigte Zellenmatrixsystem auf den Wortleitungstreiber zentriert ist;
  • 20 eine Einzelheit des "B"-Teils in 19, wobei Verbindungen zwischen Signalen vom lokalen X-Decodierer und einem Neben-Treiber gezeigt sind;
  • 21 eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;
  • 22 eine Beziehung zwischen der Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung und der Zellenmatrix im einzelnen; und
  • 23 eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer fünften bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
  • Nun werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung, wovon in der beigefügten Zeichnung Beispiele gezeigt sind, im einzelnen beschrieben. 6 zeigt ein herkömmliches Zellenmatrixsystem zur Erläuterung einer Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
  • In 6 enthält eine herkömmliche Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers eine Hauptzellenmatrix 61 mit mehreren Nebenzellenmatrizen, einen globalen X-Decodierer 63 auf einer Seite der Hauptzellenmatrix 61, einen Split-Wortleitungstreiber 65 auf der anderen Seite der Hauptzellenmatrix 61, einen Bitleitungs-Controller 67 unter der Hauptzellenmatrix 61 sowie einen lokalen Con troller 69 unter dem Split-Wortleitungstreiber 65, der LC1- und LC2-Signale erzeugt, die an die Split-Wortleitung angelegt werden. Die Hauptzellenmatrix 61 enthält eine Referenzzellenmatrix und besitzt mehrere Einheitszellen.
  • In 7 ist eine herkömmliche Einheitszelle gezeigt. Die Einheitszelle enthält eine erste Split-Wortleitung SWL1, die in einer Richtung verläuft, eine zweite Split-Wortleitung SWL2, die in einem Abstand von der ersten Split-Wortleitung SWL1 und parallel zu dieser verläuft, eine erste Bitleitung Bit_n und eine zweite Bitleitung Bit_n+1, die in einer die ersten und zweiten Split-Wortleitungen SWL1 bzw. SWL2 kreuzenden Richtung verlaufen, einen ersten Schalttransistor T1, dessen Gateanschluß mit der ersten Split-Wortleitung SWL1 verbunden ist, dessen Sourceanschluß mit der ersten Bitleitung Bit_n verbunden ist und dessen Drainanschluß mit einer Seite des ersten ferroelektrischen Kondensators FC1 (wovon ein Anschluß auf der anderen Seite mit der zweiten Split-Wortleitung SWL2 verbunden ist) verbunden ist, sowie einen zweiten Schalttransistor T2, dessen Gateanschluß mit der zweiten Split-Wortleitung SWL2 verbunden ist, dessen Sourceanschluß mit der zweiten Bitleitung Bit_n+1 verbunden ist und dessen Drainanschluß mit einem Anschluß eines zweiten ferroelektrischen Kondensators FC2 verbunden ist. Der andere Anschluß des zweiten ferroelektrischen Kondensators FC2 ist mit der ersten Split-Wortleitung SWL1 verbunden. Daher enthält die Einheitszelle zwei Split-Wortleitungen, zwei Bitleitungen sowie zwei Schalttransistoren und zwei ferroelektrische Kondensatoren, die zwischen die Bitleitungen und die Split-Wortleitungen geschaltet sind.
  • Die 8A und 8B zeigen herkömmliche Einheitszellen einer 1T/1C-Struktur, die von der in 7 gezeigten 2T/2C-Struktur getrennt ist. Wenn die Einheitszellen in den 8A und 8B kombiniert werden, wird eine Speicherzelle mit zwei ein Paar bildenden Einheitszellen erhalten.
  • In 8A enthält eine der Einheitszellen C111 in dem einen Paar Speicherzellen eine erste Split-Wortleitung SWL1, eine zweite Split-Wortleitung SWL2, die in einem Abstand von der ersten Split-Wortleitung SWL1 und parallel zu dieser verläuft, eine erste Bitleitung Bit_n, die in einer die ersten und zweiten Split-Wortleitungen SWL1 und SWL2 kreuzenden Richtung verläuft, einen ersten Schalttransistor T1, dessen Gateanschluß mit der ersten Split-Wortleitung SWL1 verbunden ist und dessen Sourceanschluß mit der ersten Bitleitung Bit_n verbunden ist, sowie einen ersten ferroelektrischen Kondensator FC1, der zwischen den Drainanschluß des ersten Schalttransistors T1 und der zweiten Split-Wortleitung SWL2 geschaltet ist.
  • In 8B enthält die andere der Einheitszellen C121 in dem einen Paar Speicherzellen eine erste Split-Wortleitung SWL1 und eine zweite Split-Wortleitung SWL2, eine zweite Bitleitung Bit_n+1, die in einer die ersten und zweiten Split-Wortleitungen kreuzenden Richtung angeordnet ist, einen zweiten Schalttransistor T2, dessen Gateanschluß mit der zweiten Split-Wortleitung SWL2 verbunden ist und dessen Sourceanschluß mit der zweiten Bitleitung Bit_n+1 verbunden ist, sowie einen zweiten ferroelektrischen Kondensator FC2, der zwischen dem Drain des zweiten Schalttransistors T2 und der ersten Split-Wortleitung SWL1 angeordnet ist.
  • Durch Verdoppeln des in 6 gezeigten herkömmlichen Systems kann das in 9 gezeigte System erhalten werden. 9 zeigt ein System, das auf dem in 6 gezeigten System basiert und die Layoutfläche effektiv nutzt.
  • Wie in 9 gezeigt ist, enthält das herkömmliche System einen globalen X-Decodierer 63, eine erste Hauptzellenmatrix 61, die auf einer Seite des globalen X-Decodierers 63 gebildet ist, einen ersten Split-Wortleitungstreiber 65, der auf einer Seite der ersten Hauptzellenmatrix 61 gebildet ist, einen zweiten Split-Wortleitungstreiber 65a, der auf einer Seite des ersten Split-Wortleitungstreibers 65 gebildet ist, eine zweite Hauptzellenmatrix 61a, die auf einer Seite des zweiten Split-Wortleitungstreibers 65a gebildet ist, einen ersten Bitleitungs-Controller 67, der unter der ersten Hauptzellenmatrix 61 gebildet ist, einen ersten lokalen Controller 69, der unter dem ersten Split-Wortleitungstreiber 65 gebildet ist, einen zweiten lokalen Controller 69a, der unter dem zweiten Split-Wortleitungstreiber 65a gebildet ist, und einen zweiten Bitleitungs-Controller 67a, der unter der zweiten Hauptzellenmatrix 61a gebildet ist; dieses System ist mehrfach vorgesehen. Daher ist ein globaler X-Decodierer 63 für die beiden Hauptzellenmatrizen 61 und 61a und die beiden Split-Wortleitungstreiber 65 und 65a vorgesehen.
  • 10 zeigt eine Einzelheit des in 9 gezeigten Systems, wobei das System genauer so gezeigt ist, dass es auf den Split-Wortleitungstreiber von 6 zentriert. Wie gezeigt ist, sind die beiden Split-Wortleitungstreiber 65 und 65a nebeneinander angeordnet. Jeder der ersten und zweiten Split-Wortleitungs treiber 65 und 65a besitzen mehrere Neben-Treiber SD. Die Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers der Erfindung steht mit dem Neben-Treiber in Beziehung. Der globale X-Decodierer 63 steuert mehrere globale Wortleitungen GWL1, GWL2, ..., GWLn. Der Neben-Treiber SD ist mit jeder globalen Wortleitung verbunden. Jeder der Split-Wortleitungstreiber 65 und 65a ist mit so vielen Neben-Treibern SD versehen, wie globale Wortleitungen vorhanden sind. Jede globale Wortleitung GWL1–GWLn ist sowohl mit dem Neben-Treiber des ersten Split-Wortleitungstreibers 65 als auch mit dem Neben-Treiber des zweiten Split-Wortleitungstreibers 65a verbunden.
  • 11 zeigt eine Beziehung zwischen den Signalen LC1 und LC2 vom lokalen Controller und vom Neben-Treiber SD, die in 9 gezeigt sind. In 11 geben die Neben-Treiber SD des ersten Split-Wortleitungstreibers 65 und des zweiten Split-Wortleitungstreibers 65a als Antwort auf ein Signal auf einer globalen Wortleitung GWL vom (nicht gezeigten) globalen X-Decodierer Signale LC1 und LC2 vom ersten lokalen Controller 69 in die ersten bzw. zweiten Split-Wortleitungen SWL1 und SWL2 der ersten Hauptzellenmatrix 61 ein und geben Signale LC1 und LC2 vom zweiten lokalen Controller 69a in die ersten und zweiten Split-Wortleitungen SWL1 und SWL2 der zweiten Hauptzellenmatrix 61a ein.
  • Eine Schaltung zum Ansteuern des nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird nun im einzelnen erläutert. 12 zeigt den "A"-Teil in 11 genauer, wobei eine Schaltung zum Ansteuern des nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung gezeigt ist. Die Ansteuerungsschaltung nach 12 ist eine von mehreren Ansteuerungsschaltungen in dem Split-Wortleitungstreiber.
  • In 12 enthält die Ansteuerungsschaltung eine X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 120 mit einem ersten Transistor T1 und einem zweiten Transistor T2, die mit der globalen Wortleitung GWLn vom globalen X-Decodierer 63 verbunden ist, eine Split-Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 121 mit einem dritten Transistor T3 und einem vierten Transistor T4, die so beschaffen sind, daß sie durch Drain-Spannungen entsprechender Transistoren in einer Reihe gesteuert werden, um zwei Steuersignale LC1 und LC2 vom zweiten lokalen Controller 69a in die erste Split-Wortleitung SWL1 bzw. in die zweite Split-Wortleitung SWL2 in einer Reihe einzugeben, sowie eine Nebenleitung 123 mit einem fünften Transistor T5, der zwischen die erste Split-Wortleitung SWL1 und die globale Wortleitung GWL geschaltet ist, sowie einem sechsten Transistor T6, der zwischen die zweite Split-Wortleitung SWL2 und die globale Wortleitung GWL geschaltet ist. Die Gates der ersten und zweiten Transistoren T1 und T2 und der fünften und sechsten Transistoren T5 und T6 werden durch eine Leistungsquellenspannung PWR versorgt, wobei jeder Transistor einen NMOS-Transistor aufweist.
  • Nun wird die Funktionsweise der obenbeschriebenen Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung erläutert.
  • Wenn die globale Wortleitung GWL hoch ist und sämtliche Signale LC1 und LC2 vom zweiten lokalen Controller 69a "hoch" sind, wird der dritte Transistor T3 durchgeschaltet, falls ein Drain-Knoten N1 des ersten Transistors T1 nach "hoch" übergeht. Daher wird an die erste Split-Wortleitung SWL1 über den dritten Transistor T3 ein Hochpegelsignal LC1 angelegt. Falls dann der Drain-Knoten N2 des zweiten Transistors T2 zu hohem Pegel übergeht, wird der vierte Transistor T4 durchgeschaltet, um das LC2-Signal an die zweite Split-Wortleitung SWL2 anzulegen. Die Nebenleitung 122, die den fünften Transistor T5 und den sechsten Transistor T6 enthält, dient dazu, ein schwebendes Potential der ersten Split-Wortleitung SWL1 und der zweiten Split-Wortleitung SWL2 umzuleiten. Das heißt, dass sowohl die globale Wortleitung GWL1 als auch die Signale LC1 und LC2 Tiefpegel besitzen und dass die erste Split-Wortleitung SWL1 und die zweite Split-Wortleitung SWL2 in einem schwebenden Zustand sind, wenn das in den ersten und zweiten Split-Wortleitungen induzierte schwebende Potential durch die fünften und sechsten Transistoren T5 bzw. T6 zur globalen Wortleitung GWL umgeleitet wird. Die fünften und sechsten Transistoren T5 und T6, die NMOS-Transistoren mit sehr niedrigen Treiberströmen sind, werden stets durchgeschaltet gehalten. Indem somit verhindert wird, dass die ersten und zweiten Split-Wortleitungen SWL1 und SWL2 einen schwebenden Zustand annehmen, kann eine unnötige Wahl der Zellendaten vermieden werden, um die Möglichkeit zu beseitigen, dass die unnötig gewählten Zellendaten für tatsächliche Daten als Rauschen wirken.
  • 13 zeigt einen Zeitablaufplan zur Erläuterung der Funktionsweise der Schaltung nach 12.
  • Unter der Annahme, daß ein globales Wortleitungssignal GWL vom globalen X-Decodierer 63 von der Periode t1 bis zur Periode t5 einen hohen Pegel besitzt, wodurch die ersten und zweiten Transistoren T1 und T2 in der X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 120 durchgeschaltet werden, wird für die Drain-Knoten N1 und N2 der ersten und zweiten Transistoren T1 und T2 ein Hochpegel-Signal bereitgestellt. Da die LC1 und LC2-Signale in der Periode t1 Tiefpegel besitzen, haben die LC1- und LC2-Signale keinerlei Einfluß auf den Drain-Knoten N1 des ersten Transistors T1 bzw. auf den Drain-Knoten N2 des zweiten Transistors T2. Falls dann die LC1- und LC2-Signale in der Periode t2 zum Hochpegel wechseln, werden die dritten und vierten Transistoren T3 bzw. T4 durch die Drain-Knoten N1 und N2 der ersten und zweiten Transistoren T1 bzw. T2 durchgeschaltet. Daher werden die LC1- und LC2-Signale mit Hochpegel über die dritten und vierten Transistoren T3 und T4 an die erste Split-Wortleitung SWL1 bzw. an die zweite Split-Wortleitung SWL2 angelegt. Da zwischen den Sources der dritten und vierten Transistoren T3 und T4 in der Split-Wortleitungsansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 121 und dem Drain-Knoten N1 und N2 der ersten und zweiten Transistoren T1 und T2 jeweils eine Kapazitätskomponente vorhanden ist, werden hierbei Spannungen an den Drain-Knoten N1 und N2 als Spannungen auf LC1 und LC2 erhöht, so daß eine Spannungserhöhung für die ersten und zweiten Split-Wortleitungen SWL1 und SWL2 erfolgt. Da die ersten und zweiten Transistoren T1 bzw. T2 für die erhöhten Spannungen des Drain-Knotens N1 und des Drain-Knotens N2 gesperrt sind, bleiben die erhöhten Spannungen unverändert, selbst wenn die Spannungen an den Drain-Knoten N1 und N2 erhöht werden. Wenn die erhöhten Spannungen Vboost genannt werden, kann am dritten und am vierten Transistor T3 bzw. T4 eine Spannung bereitgestellt werden, die durch Vboost–Vtn gegeben ist. Die Spannung Vtn ist eine Schwellenspannung eines NMOS-Transistors. Am Ende können das LC1-Signal und das LC2-Signal für die ersten und zweiten Split-Wortleitungen SWL1 und SWL2 ohne Verlust von Vtn und unabhängig von den LC1- und LC2-Spannungen bereitgestellt werden. Falls in der Periode t3 nur das LC1-Signal auf Tiefpegel übergeht, geht auch der Pegel der ersten Split-Wortleitung SWL1 auf Tiefpegel über, wodurch die Spannung am Drain-Knoten N1 des ersten Transistors T1 in den Zustand der Periode t1 zurückkehrt. Da der zweite Transistor T2 gegenüber der Spannung des Drain-Knotens N2 gesperrt gehalten wird, wird die erhöhte Spannung Vboost selbst in diesem Zustand unverändert gehalten, wodurch das LC2-Signal für die zweite Split-Wortleitung SWL2 ohne Spannungsverlust bereitgestellt werden kann. Dann geht in der Periode t4 das LC1-Signal erneut zum Hochpegel über, während das LC2-Signal zu Tiefpegel übergeht. Falls das LC2-Signal zum Tiefpegel übergeht, geht auch die Spannung der zweiten Split-Wortleitung SWL2 zum Tiefpegel über. Falls das LC1-Signal zum Hochpegel übergeht, geht auch die Spannung der ersten Split-Wortleitung SWL1 von Tiefpegel zu Hochpegel über. Daher wird der Drain-Knoten N1 des ersten Transistors T1 erneut auf die erhöhte Spannung Vboost erhöht. Da die Spannung des Drain-Knotens N1, die den Pegel der erhöhten Spannung besitzt, durch die ersten und zweiten Transistoren T1 und T2 blockiert wird, wird das LC1-Signal für die erste Split-Wortleitung SWL1 ohne Spannungsverlust bereitgestellt. In einer Periode t5 gehen beide Signale LC1 und LC2 auf Tiefpegel über, wodurch die ersten und zweiten Split-Wortleitungen SWL1 und SWL2 gesperrt werden. Falls die LC1- und LC2-Signale auf Tiefpegel übergehen, gehen die Spannungen der Drain-Knoten N1 und N2 auf Tiefpegel über, was erneut durch die globale Wortleitung GWL gesteuert wird. Dann geht in einer Periode t6 eine ausgewählte globale Wortleitung auf Tiefpegel über, wodurch die betreffende Zeilenadresse gesperrt wird.
  • Falls das in 12 gezeigte System mehrfach vorgesehen ist, kann ein System wie in 14 gezeigt erhalten werden. 14 zeigt eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers mit mehreren Split-Wortleitungspaaren.
  • In 14 enthält die Schaltung eine X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 120 mit mehreren NMOS-Transistoren T1, T2, ..., Tn, die mit einer globalen Wortleitung GWL in Reihe geschaltet sind, eine Split-Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 121 mit mehreren NMOS-Transistoren zum Weiterleiten von Steuersignalen LC1_1, LC2_1, LC1_2, LC2_2, ..., LC1_n, LC2_n vom lokalen Controller an mehrere Paare erster und zweiter Split-Wortleitungen SWL_1, SWL2_1, SWL1_2, SWL2_2, ..., SWL1_n, SWL2_n unter der Steuerung von Drain-Spannungen der jeweiligen NMOS-Transistoren T1, T2, ..., Tn, sowie eine Nebenleitung 122 mit mehreren NMOS-Transistoren, die zwischen die Drains der NMOS-Transistoren in der Split-Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 121 und die globale Wortleitung GWL geschaltet sind, um ein auf der jeweiligen Split-Wortleitung vorhandenes schwebendes Potential umzuleiten.
  • 15 zeigt eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. Während in der ersten Ausführungsform die ersten und die zweiten Transistoren T1 und T2 mit der globalen Wortleitung GWL in Serie geschaltet sind, sind in der zweiten Ausführungsform die ersten und die zweiten Transistoren T1 und T2 mit der globalen Wortleitung GWL parallelgeschaltet. Eine Erläuterung des Systems der zweiten Ausführungsform wird weggelassen, da das System mit demjenigen der ersten Ausführungsform mit Ausnahme der ersten und zweiten Transistoren T1 und T2 übereinstimmt. Da somit die ersten und zweiten Transistoren T1 und T2 mit der globalen Wortleitung GWL parallelgeschaltet sind, ist dafür gesorgt, daß die Spannung am Drain-Knoten N2 des zweiten Transistors T2 hoch genug ist, um den vierten Transistor T4 durchzuschalten. Falls die Spannung des Drain-Knotens N2 durch den zweiten Transistor T2 nicht weit genug erhöht wird, kann der vierte Transistor T4 nicht geeignet durchgeschaltet werden, so daß das LC2-Signal nicht geeignet an die zweite Split-Wortleitung angelegt werden kann.
  • Obwohl nicht gezeigt, ist die Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der zweiten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung auf einen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speicher mit mehreren Split-Wortleitungspaaren wie in 14 gezeigt anwendbar.
  • Die obigen Schaltungen zum Ansteuern eines nichtflüchtigen Speichers gemäß den ersten und zweiten Ausführungsformen der Erfindung stellen den Fall dar, in dem der erste Split-Wortleitungstreiber 65 und der zweite Split-Wortleitungstreiber 65a wie in 11 gezeigt getrennt vorhanden sind. Falls die ersten und zweiten Split-Wortleitungstreiber 65 und 65a nicht getrennt vorhanden sind, sondern als ein einziger Split-Wortleitungstreiber vorhanden sind, der sowohl die erste Hauptzellenmatrix 61 als auch die zweite Hauptzellenmatrix 61a bedient, können die Neben-Treiber in einem System wie in 16 gezeigt angeordnet sein. 16 zeigt eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer dritten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. Vor der Erläuterung dieser Zeichnung wird darauf hingewiesen, daß SWL1_L, SWL2_L Split-Wortleitungen bezeichnen, die mit der ersten Hauptzellenmatrix 61 in dem System nach 11 verbunden sind, während SWL1_R, SWL2_R Split-Wortleitungen bezeichnen, die mit der zweiten Hauptzellenmatrix 61a verbunden sind. Ferner bezeichnen LC1_L und LC2_L Steuersignale vom ersten lokalen Controller 69, während LC1_R und LC2_R Steuersignale vom zweiten lokalen Controller 69a bezeichnen.
  • In 16 enthält die Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer dritten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung eine globale Wortleitung GWL, die in einer Richtung verläuft und mit dem globalen X-Decodierer 63 verbunden ist, eine X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 120 mit einem ersten Transistor T1 und einem zweiten Transistor T2, die mit der globalen Wortleitung GWL in Reihe geschaltet sind, eine erste Split-Wortleitungs-Ansteuerungsignal-Weiterleitungseinrichtung (121) mit einem dritten Transistor T3 zum Anlegen des LC1_L-Signals an SWL1_L durch Steuern der Spannung des Drain-Knotens N1 des ersten Transistors T1 und einem vierten Transistor T3 zum Anlegen des LC2_L-Signals an SWL2_L durch Steuern der Spannung am Drain-Knoten N2 des zweiten Transistors T2, eine zweite Split-Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 121b mit einem fünften Transistor T5 zum Anlegen des LC1_R-Signals an SWL1_R durch Steuern der Spannung am Drain-Knoten N1 des ersten Transistors T1 und einem sechsten Transistor T6 zum Anlegen des LC2_R-Signals an SWL2_R durch Steuern der Spannung am Drain-Knoten N2 des zweiten Transistors T2, eine erste Nebenleitung 122a mit einem siebten Transistor, der zwischen die globale Wortleitung GWL und SWL1_L geschaltet ist, und einem achten Transistor, der zwischen die globale Wortleitung GWL und SWL2_L geschaltet ist, eine zweite Nebenleitung 122b mit einem neunten Transistor T9, der zwischen die globale Wortleitung GWL und SWL1_R geschaltet ist, und einen zehnten Transistor, der zwischen die globale Wortleitung GWL und SWL2_R geschaltet ist. Die erste und die zweite Nebenleitung besitzen NMOS-Transistoren, die sehr niedrige Treiberströme besitzen, um jeweilige schwebende Potentiale der Split-Wortleitungen umzuleiten. Da die obige Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der dritten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung auf ihren beiden Seiten zwei Hauptzellenmatrizen besitzt (eine erste Hauptzellenmatrix und eine zweite Hauptzellenmatrix), kann das Layout effektiver genutzt werden. Da die Signale LC1_L, LC2_2, LC1_R und LC2_R nicht gleichzeitig zum Hochpegel übergehen können, kann an die Split-Wortleitungen SWL1_L, SWL2_L, SWL1_R und SWL2_R nicht gleichzeitig das Hochpegel-Signal angelegt werden. Die Schaltung zum Ansteuern des Speichers gemäß der dritten Ausführungsform kann auch auf einen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speicher mit mehreren Split-Wortleitungspaaren wie in 14 gezeigt angewendet werden.
  • Die obigen Schaltungen zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß den ersten bis dritten bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung stellen Fälle dar, in denen die Schaltungen auf einen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speicher mit Split-Wortleitungen angewendet werden.
  • 17 zeigt ein herkömmliches System einer Zelle eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers des NAND-Typs, um eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zu erläutern. Während die Schaltungen gemäß den ersten bis dritten Ausführungsformen Fälle darstellen, in denen die Schaltungen auf einen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speicher mit Split-Wortleitungen angewendet werden, stellt die Schaltung gemäß der vierten bevorzugten Ausführungsform den Fall dar, in dem die Schaltung auf einen nichtflüchtigen ferroelektrischen Speicher mit herkömmlichen Zellen des NAND-Typs angewendet wird. 17 zeigt eine Zelle des NAND-Typs eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers, etwa eine Zelle eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers eines 4-NAND-Typs.
  • In 17 sind NMOS-Transistoren T1, T2, ..., T5 in Reihe geschaltet, ferner verläuft in einer Richtung, längs derer die Transistoren ausgebildet sind, eine Bitleitung B/L. Die Source des ersten Transistors T1 und der Drain des letzten Transistors T5 sind mit der Bitleitung B/L verbunden. Eine Wortleitung W/L ist mit dem Gate jedes der Transistoren verbunden, ferner ist eine WEC-Signalleitung mit einem Gate des letzten Transistors T5 verbunden. Das WEC-Signal ist im Lesemodus im gesperrten Zustand und lediglich im Schreibmodus in einem freigegebenen Zustand. Zwischen die Wortleitungen W/L1, ..., WL/4, die mit den Gates der Transistoren T1, T2, T3 und T4 verbunden sind, und die Drains derselben Transistoren sind ferroelektrische Kondensatoren FC1, ..., FC4 geschaltet, wobei der letzte Transistor T5 keinen ferroelektrischen Kondensator besitzt. Eine Speicherzellenmatrix kann geschaffen werden durch mehrfaches Vorsehen von nichtflüchtigen Speicherzellen des 4-NAND-Typs. Statt des in 17 gezeigten 4-NAND-Typs kann die Speicherzelle durch einen 2-NAND-Typ, einen 3-NAND-Typ oder einen n-NAND-Typ geschaffen werden. Um die Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung zu erläutern, wird ein System einer Zellenmatrix aus Zellen des 4-NAND-Typs beschrieben.
  • 18 zeigt ein herkömmliches Zellenmatrixsystem eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers des 4-NAND-Typs. In 18 enthält das Zellenmatrixsystem des nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers des 4-NAND-Typs einen globalen X-Decodierer 81, eine erste Speicherzellenmatrix 83, die auf einer Seite des globalen X-Decodierers 81 gebildet ist, einen ersten Wortleitungstreiber 85, der auf einer Seite der ersten Hauptzellenmatrix 83 gebildet ist, einen zweiten Wortleitungstreiber 85a, der auf einer Seite des ersten Wortleitungstreibers 85 gebildet ist, eine zweite Hauptzellenmatrix 83a, die auf einer Seite des zweiten Wortleitungstreibers 85a gebildet ist, einen Bitleitungs-Controller 87, der unter der ersten Hauptzellenmatrix 83 gebildet ist, einen ersten lokalen X-Decodierer 89, der unter dem ersten Wortleitungstreiber 85 auf einer Seite des ersten Bitleitungs-Controllers 87 gebildet ist, einen zweiten lokalen X-Decodierer 89a, der auf einer Seite des ersten X-Decodierers 89 gebildet ist, und einen zweiten Bitleitungs-Controller 87a, der unter der zweiten Hauptzellenmatrix 83a auf einer Seite des zweiten lokalen X-Decodierers 89a gebildet ist. Das System ist mehrfach vorgesehen, wobei die ersten und zweiten Hauptzellenmatrizen 83 und 83a als eine Hauptzellenmatrix bzw. als eine Referenzzellenmatrix dienen, wovon jede mehrere Einheitszellen besitzt. Die Einheitszelle ist eine nichtflüchtige ferroelektrische Speicherzelle des NAND-Typs wie etwa des 4-NAND-Typs oder des Mehrfach-NAND-Typs. Der globale X-Decodierer 81 steuert mehrere globale Wortleitungen GWL. Die ersten und zweiten lokalen X-Decodierer 89 und 89a stellen Freigabesignale LXDEC1–LXDECn für die Freigabe der Wortleitungen der Zelle des NAND-Typs in einer Folge sowie ein WEC-Signal bereit. Die ersten und zweiten Wortleitungstreiber 85 bzw. 85a besitzen mehrere Neben-Treiber, wovon jeder mit der globalen Wortleitung GWL verbunden ist.
  • 19 zeigt eine Einzelheit von 18, wobei das Zellenmatrixsystem genauer so gezeigt ist, dass es auf den Wortleitungstreiber zentriert ist. In 19 sind der erste Wortleitungstreiber 85 und der zweite Wortleitungstreiber 85a parallel angeordnet, wobei auf ihren gegenüberliegenden Seiten die erste Hauptzellenmatrix 83 und die zweite Hauptzellenmatrix 83a angeordnet sind, um das Layout effektiv zu nutzen. Wie in der Zeichnung gezeigt ist, besitzen die ersten und zweiten Wortleitungstreiber 85 und 85a mehrere Neben-Treiber. Der globale X-Decodierer 81 besitzt mehrere globale Wortleitungen GWL1, GWL2, ..., GWL_n, die mit ihm verbunden sind. Jede der globalen Wortleitungen ist mit einem Neben-Treiber SD verbunden. Die ersten und zweiten Wortleitungstreiber 85 und 85a besitzen so viele Neben-Treiber, wie globale Wortleitungen vorhanden sind. Ferner ist jede globale Wortleitung sowohl mit dem Neben-Treiber des ersten Wortleitungstreibers 85 als auch mit dem Neben-Treiber des zweiten Wortleitungstreibers 85a verbunden.
  • 20 zeigt eine Einzelheit des "B"-Teils in 19, wobei Verbindungen zwischen Signalen von einem lokalen X-Decodierer und einem Neben-Treiber gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung gezeigt sind.
  • In 20 arbeitet der Neben-Treiber gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung als Antwort auf das Signal auf der globalen Wortleitung GWL vom globalen X-Decodierer, um die Signale LXDEC1–LXDEC4 und WEC vom lokalen X-Decodierer an die Wortleitungen WL1–WL4 in einer Folge anzulegen. Das WEC-Signal ist ein Signal, das nur in einem Schreibmodus oder in einem Neuspeichermodus freigegeben ist.
  • 21 zeigt eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. Die in 21 gezeigte Treiberschaltung ist ein genaues System des in 20 gezeigten Neben-Treibers. In 21 enthält der Neben-Treiber eine X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 210 mit vier NMOS-Transistoren T1, T2, T3 und T4, die mit der globalen Wortleitung GWL, die ihrerseits mit dem (nicht gezeigten) globalen X-Decodierer verbunden ist, in Reihe geschaltet sind, eine Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 211 mit NMOS-Transistoren T5, T6, T7 und T8, die durch eine Drain-Spannung der jeweiligen Transistoren in einer Folge gesteuert werden können, um an die Wortleitungen WL1–WL4 in einer Folge die Signale LXDEC1–LXDEC4 vom lokalen X-Decodierer (nicht gezeigt) anzulegen, und eine Nebenleitung 212 mit NMOS-Transistoren T9, T10, T11 und T12, die zwischen den Drain-Anschluß jedes der NMOS-Transistoren T5, T6, T7 und T8 und die globale Wortleitung GWL geschaltet sind, um das schwebende Potential auf jeder Wortleitung umzuleiten. Der lokale X-Decodierer stellt ein WEC-Signal zusammen mit den Signalen LXDEC1 bis LXDEC4 bereit. Der Drain des NMOS-Transistors T4 in der X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 210 ist mit einem ersten Schalttransistor TS1 verbunden, ferner ist ein zweiter Schalttransistor TS2 vor gesehen, um das WEC-Signal unter der Steuerung der Drain-Spannung des ersten Schalttransistors TS1 zu schalten.
  • In der Schaltung eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden die NMOS-Transistoren T5–T8 in der Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 211, die mit dem Drains der NMOS-Transistoren T1–T4 verbunden sind, in einer Folge durchgeschaltet, da die NMOS-Transistoren T1–T4 in der X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 210 in einer Folge durchgeschaltet werden, wodurch die Signale LXDEC1 bis LXDEC4 im lokalen X-Decodierer an die Wortleitungen WL1–WL4 in einer Folge angelegt werden und schließlich das WEC-Signal angelegt wird. Die Nebenleitung 212 mit den NMOS-Transistoren T9–T12, die zwischen die globalen Wortleitungen GWL und jede der Wortleitungen WL1–WL4 geschaltet sind, leitet ein schwebendes Potential auf jede Wortleitung WL1–WL4 um. Das heißt, wenn sowohl die globale Wortleitung GWL als auch die Signale LXDEC1 bis LXDEC4 Tiefpegel besitzen, sind die Wortleitungen WL1–WL4 schwebend, wenn die Nebenleitung 212 das in der Wortleitung induzierte schwebende Potential über die NMOS-Transistoren T9, T10, T11 und T12 zur globalen Wortleitung GWL umleitet. Die NMOS-Transistoren T9–T12 besitzen sehr niedrige Treiberströme und werden stets durchgeschaltet gehalten. Somit kann dadurch, dass verhindert wird, dass die Wortleitungen WL1–WL4 schwebend sind, eine unerwünschte Wahl von Zellendaten verhindert werden, so dass im voraus verhindert wird, dass unerwünschte Daten als Rauschen auf wirkliche Daten einwirken. Da 21 den Fall darstellt, in dem die Einheitszelle vom 4-NAND-Typ ist, stellt der lokale X-Decodierer dann, wenn die Einheitszelle vom n-NAND-Typ ist, die Signale LXDEC1 bis LXDECn zusammen mit dem WEC-Signal bereit. Außerdem sind in der X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 210 n NMOS-Transistoren, die mit der globalen Wortleitung GWL in Reihe geschaltet sind, vorgesehen; in der Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 211 sind n NMOS-Transistoren, die mit den Drains der obigen n NMOS-Transistoren verbunden sind, vorgesehen.
  • Nun wird die Funktionsweise der Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung erläutert.
  • Wenn die globale Wortleitung GWL freigegeben ist, wird der Transistor T1 durchgeschaltet, wodurch der Drain des Transistors T1 zum Hochpegel übergeht und der Transistor T5 durchgeschaltet wird. Daher wird das LXDEC1-Signal vom lokalen X-Decodierer für die Wortleitung WL1 über den Transistor T5 bereitgestellt, wodurch die Wortleitung WL1 freigeben wird. Hierbei werden die restlichen Transistoren in einem gesperrten Zustand gehalten. Da die Wortleitung WL1 freigegeben ist, werden die im ferroelektrischen Kondensator FC1 gespeicherten Daten über den NMOS-Transistor T1 an die Bitleitung geliefert. Gemäß dem gleichen Prozeß werden die Transistoren T2, T3 und T4 nacheinander durchgeschaltet und werden Daten, die in den ferroelektrischen Kondensatoren FC2, FC3 und FC4 gespeichert sind, nacheinander gelesen.
  • 22 zeigt die Beziehung zwischen der Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der vierten Ausführungsform und der Zellenmatrix im einzelnen. In 22 verläuft eine globale Wortleitung GWL_n in einer Zeilenrichtung, ferner verlaufen mehrere Bitleitungen ..., B/L_n–1, B/L_n in einer die globale Wortleitung kreuzenden Richtung. Eine 4-NAND-Zelle ist entsprechend mit jeder Bitleitung verbunden, ferner ist eine X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 210 mit vier NMOS-Transistoren T1–T4 mit der globalen Wortleitung GWL_n verbunden. Mit den Drains der NMOS-Transistoren T1–T4 ist eine Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 211 mit vier NMOS-Transistoren T5–T8, die Steuersignale vom lokalen X-Decodierer an die Wortleitungen WL1–WL4 der Hauptzellenmatrix anlegen, verbunden. Ferner ist eine Nebenleitung 212 mit vier NMOS-Transistoren T9–T12 zwischen die globale Wortleitung GWL und die Drains der NMOS-Transistoren T5–T8 in der Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 211 geschaltet, um die schwebenden Potentiale der Wortleitungen WL1–WL4 umzuleiten. Wie in der Zeichnung gezeigt ist, wird vom lokalen X-Decodierer ein WEC-Signal zusammen mit den Signalen LXDEC1 bis LXDEC4 bereitgestellt, das in einem Lesemodus gesperrt und nur in einem Schreibmodus freigegeben ist. Der Drain des vierten NMOS-Transistors T4 in der X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 210 ist mit einem ersten Schalttransistor TS1 verbunden, ferner ist ein weiterer, zweiter Schalttransistor TS2 vorgesehen, der das WEC-Signal unter der Steuerung der Drain-Spannung des ersten Schalttransistors TS1 an eine WEC-Leitung der Hauptzellenmatrix schaltet.
  • 23 zeigt eine Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer fünften bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. In 23 enthält die Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß einer fünften bevorzugten Ausführungsform der Erfindung eine globale Wortleitung GWL, eine X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung 210 mit vier NMOS-Transistoren T1 bis T4, die zur globalen Wortleitung GWL parallelgeschaltet sind und nacheinander durchgeschaltet werden können, eine Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung 211 mit vier NMOS-Transistoren T5–T8, deren Gates mit den Drains der obigen NMOS-Transistoren T1–T4 verbunden sind, um Signale LXDEC1 bis LXDEC4 vom lokalen X-Decodierer durch die Drain-Spannungen nacheinander an die Wortleitungen WL1–WL4 anzulegen, eine Nebenleitung 212 mit vier NMOS-Transistoren T9–T12 zwischen den Wortleitungen und der globalen Wortleitung GWL, um schwebende Potentiale auf den Wortleitungen umzuleiten, einen ersten Schalttransistor TS1, der mit der globalen Wortleitung GWL und mit den vier NMOS-Transistoren T1–T4 verbunden ist, und einen zweiten Schalttransistor TS2, der ein WEC-Signal durch die Steuerung einer Drain-Spannung des ersten Schalttransistors TS1 schaltet. Die NMOS-Transistoren T1–T4, T9–T12, TS1 und TS2 werden stets durchgeschaltet gehalten. Im Vergleich zu der vierten Ausführungsform sind in der fünften Ausführungsform die NMOS-Transistoren T1–T4 zur globalen Wortleitung GWL parallelgeschaltet, so dass der Drain-Knoten N4 des Transistors T4 eine ausreichend hohe Spannung besitzt, um den Transistor T8 durchzuschalten. Falls der Drain-Knoten N2 durch den Transistor T4 nicht auf einen ausreichend hohen Pegel angehoben wird, kann der Transistor T8 nicht angemessen durchgeschaltet werden, was verhindert, dass das LXDEC4-Signal an die Wortleitung WL4 geeignet angelegt wird.
  • Wie erläutert worden ist, besitzt die Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers gemäß der Erfindung die folgenden Vorteile:
    • 1. Durch Decodieren von Zeilen-Adressensignalen beim globalen X-Decodierer, durch Vorsehen, dass sämtliche Zeilen in den Zellenmatrizen gemeinsame Adressensignale besitzen, und durch Vorsehen, dass die Zeilen-Controller (erste, zweite oder dritte Ausführungsform) oder der Zeilen-X-Decodierer (vierte oder fünfte Ausführungsform) eine Zellen-Wortleitung wählen, kann das System des Wortleitungstreibers vereinfacht werden.
    • 2. Die effektive Nutzung eines Layoutbereichs ermöglicht die Minimierung der Gesamtfläche, was für die Integration günstig ist.
    • 3. Die Wortleitungstreiber, die ausschließlich aus NMOS-Transistoren aufgebaut sind, können die Stromtreiberfähigkeit bei gleicher Größe im Vergleich zu dem Fall, in dem PMOS-Transistoren verwendet werden, verbessern.
    • 4. Die lokalen Steuersignale LC1, LC2, LC3, ... oder die Steuersignale LXDEC1, LXDEC2, ... vom lokalen X-Decodierer können an die Wortleitungen unverändert ohne Verlust lediglich mittels der NMOS-Transistoren ohne Verlust von Vtn angelegt werden.

Claims (8)

  1. Schaltung zum Ansteuern eines nichtflüchtigen ferroelektrischen Speichers, der eine Zellenmatrix mit mehreren Einheitszellen umfasst, wobei – jede Einheitszelle einen ersten Schalttransistor (T1), der mit seinem Sourceanschluss mit einer ersten Bitleitung (Bit_n) verbunden ist, und einen zweiten Schalttransistor (T2), der mit seinem Sourceanschluß mit einer zweiten Bitleitung (Bit_n+1) verbunden ist, aufweist, wobei der Drainanschluss des ersten Schalttransistors (T1) mit einem Anschluss eines ersten ferroelektrischen Kondensators (FC1) und der Drainanschluss des zweiten Schalttransistors (T2) mit einem Anschluss eines zweiten ferroelektrischen Kondensators (FC2) verbunden ist, und wobei das Gate des ersten Schalttransistors (T1) und der andere Anschluss des zweiten ferroelektrischen Kondensators (FC2) mit einer ersten Wortleitung eines Splitwortleitungspaares (SWL1, SWL2) verbunden ist und das Gate des zweiten Schalttransistors (T2) und der andere Anschluss des ersten ferroelektrischen Kondensators (FC1) mit einer zweiten Wortleitung des Splitwortleitungspaares (SWL1, SWL2) verbunden ist, oder – jede Einheitszelle als Mehrfach-NAND-Zelle eine Anzahl von n+1 in Reihe geschalteten Transistoren (T1, T2, T3, T4, T5) und eine Anzahl von n ferroelektrischen Kondensatoren (FC1, FC2, FC3, FC4) aufweist, wobei – die Source oder der Drain des ersten Transistors (T1) und der Drain oder die Source des letzten Transistors (T5) mit einer Bitleitung (B/L), – die Gates des ersten bis vorletzten Transistors (T1, T2, T3, T4) mit einer entsprechenden Wortleitung (WL1, WL2, WL3, WL4), und – das Gate des letzten Transistors (T5) mit einer Signalleitung (WEC) verbunden ist, wobei jeder der ferroelektrischen Kondensatoren (FC1, FC2, FC3, FC4) mit dem Gate und dem Drain oder Source eines zugehörigen Transistors (T1, T2, T3, T4) verbunden ist; mit: – zumindest einer globalen Wortleitung (GWL), die durch einen globalen X-Decodierer (63; 81) gesteuert wird; – einer X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung (120; 210) mit mehreren Transistoren (T1, T2), die mit der globalen Wortleitung (GWL) verbunden sind und an deren Gates eine Versorgungsspannung (PWR) anliegt; – einer Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung (121; 121a, 121b; 211), die mehrere Transistoren (T3, T4) besitzt, wovon jeder ein Ansteuerungssignal (LC1, LC2; LC1_L, LC2_L, LC1_R, LC2_R; LXDEC1, LXDEC2, LXDEC3, LXDEC4) zum Ansteuern der Wortleitungen (SWL1, SWL2; WL1, WL2, WL3, WL4) unter der Steuerung einer Ausgangsspannung des entsprechenden Transistors (T3, T4) der X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung (120; 210) weiterleitet; und – einer Nebenleitung (122; 122a, 122b; 212), die mehrere Transistoren (T5, T6) mit sehr niedrigen Treiberströmen im Vergleich zu den Transistoren (T3, T4) der Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung (121; 121a, 121b; 211) besitzt, an deren Gates die Versorgungsspannung (PWR) anliegt und die jeweils zwischen einer der Wortleitungen und der globalen Wortleitung (GWL) liegen, um die Wortleitungen (SWL1, SWL2; WL1, WL2, WL3, WL4) auf das Potential der globalen Wortleitung (GWL) zu ziehen, wenn die Wortleitungs-Ansteuerungsignal-Weiterleitungseinrichtung (121; 121a, 121b; 211) nicht betrieben wird.
  2. Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Transistoren NMOS-Transistoren sind.
  3. Schaltung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Transistoren (T1, T2) der X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung (120; 210) in Reihe geschaltet sind.
  4. Schaltung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Transistoren (T1, T2) in der X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung (120; 210) parallel geschaltet sind.
  5. Schaltung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Ansteuerung einer linken und rechten Zellenmatrix eine Split-Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung (121a) zum Anlegen eines Ansteuerungssignals an die ersten und zweiten Split-Wortleitungen (SWL1_L, SWL2_L) der linken Zellenmatrix und eine Split-Wortleitungs-Ansteuerungsignal-Weiterleitungseinrichtung (121b) zum Anlegen eines Ansteuerungssignals an die ersten und zweiten Split-Wortleitungen (SWL1_R, SWL2_R) der rechten Zellenmatrix die X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung (120) mit mehreren Transistoren (T1, T2), die mit der globalen Wortleitung (GWL) in Reihe geschaltet sind, gemeinsam besitzen.
  6. Schaltung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Ansteuerung von Mehrfach-NAND-Zellen der globale X-Decodierer (81) ferner zusammen mit mehreren Wortleitungs-Ansteuerungssignalen ein Signal (WEC) be reitstellt, das in einem Lesemodus gesperrt gehalten wird und nur in einem Schreibmodus freigegeben wird.
  7. Schaltung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch einen Schalttransistor (TS2), der in einer letzten Stufe der mehreren Transistoren (T5, T6, T7, T8) in der Wortleitungs-Ansteuerungssignal-Weiterleitungseinrichtung (211) angeordnet ist, um das nur in einem Schreibmodus freigegebene WEC-Signal wahlweise an eine WEC-Leitung anzulegen, die zusammen mit den mehreren Wortleitungen vorhanden ist.
  8. Schaltung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch einen Schalttransistor (TS1), der in einer letzten Stufe der mehreren Transistoren (T1, T2, T3, T4) in der X-Adressensignal-Weiterleitungseinrichtung (210) angeordnet ist, um den Schalttransistor (TS2) so zu steuern, dass er das WEC-Signal an die WEC-Leitung anlegt.
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