DD243015A1

DD243015A1 - Transportvorrichtung

Info

Publication number: DD243015A1
Application number: DD28334685A
Authority: DD
Inventors: Juergen Finger; Fred Buechner
Original assignee: Halbleiterwerk Veb
Priority date: 1985-11-28
Filing date: 1985-11-28
Publication date: 1987-02-18

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung fuer den Transport beliebigen Folienbandmaterials. Diese Vorrichtung kann bei der Bauelementeherstellung in der Halbleiterindustrie sowie in anderen Technikbereichen eingesetzt werden. Das Ziel der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zu schaffen, mit welcher Folienbandmaterial schrittweise mit definierter Schrittlaenge transportiert werden kann, ohne das eine mechanische Beanspruchung der Folienoberflaeche auftritt. Erfindungsgemaess wird die technische Aufgabe dadurch geloest, dass das Folienbandmaterial zwischen zwei Platten (eine Platte entgegen der Folientransportrichtung beweglich, die andere fest) gefuehrt wird. Fuer den Transport der Folie wird ein in Abhaengigkeit von der Bewegungsrichtung der beweglichen Platte wechselseitig angelegtes Vakuum ausgenutzt. Fuer das Anlegen des Vakuums sind die Platten senkrecht zur Folienoberflaeche mit Ansaugbohrungen versehen, die untereinander bis zu einem zentralen Anschluss verbunden sind.

Description

Hierzu 1 Seite Zeichnung

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für den Transport von Folienbandmaterial. Diese Vorrichtung kann bei der Bauelementeherstellung in der Halbleitertechnik, aber auch in anderen Technikbereichen, wo Folienbandmaterial gehandhabt werden muß, angewendet werden.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Aus der Technik sind vielfältige Lösungen bekannt, die sich mit dem Transport von Folien oder dünnen Bändern beschäftigen. Am häufigsten werden Lösungen eingesetzt, bei welchen die Folie zwischen zwei Walzen, von denen eine oder auch beide angetrieben werden, transportiert wird. Bei diesem Lösungsprinzip muß ein hoher konstruktiver Aufwand zur Erzeugung der definierten Schrittlänge realisiert werden. Weiterhin wird die Folie durch die nötigen Andruckkräfte so stark belastet, daß es durch Verschmutzungen an den Walzen zu Beschädigungen der Folienoberfläche kommen kann. Ähnliche Nachteile liegen bei der Benutzung von Spann-bzw. Klemmelementen für den Folientransport vor. In DE-OS 2547535 (B65H 17/32) wurde eine Möglichkeit des Folientransportes mittels Flüssigtransport beschrieben. Bei diesem Lösungsverfahren ist die Einstellung bzw. Einhaltung der gewünschten Schrittlänge nur in großen Toleranzbereichen möglich.

Ziel der Erfindung

Das Ziel der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zu schaffen, die es erlaubt, mit einem minimalen mechanischen Aufwand und damit geringen Herstellungskosten eine Folie ohne mechanische Beanspruchung der Oberfläche zu transportieren.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung für den Transport von Folienmaterial zu schaffen, die es erlaubt, die Folie schrittweise mit definierter Schrittlänge ohne mechanische Beanspruchung des Folienmaterials zu transportieren, wobei die notwendige Vorschubbewegung in Abhängigkeit von einer Nachfolgeeinrichtung (Schneid-, Druck-, Etikettiereinrichtung o.a.) ausgelöst wird.

Diese Aufgabe wird durch die erfindungsgemäße Vorrichtung gelöst. Sie besteht aus einer in Transportrichtung festen und einer beweglichen Platte, die sich in geringem Abstand zueinander gegenüberliegen. Zwischen beiden Platten befindet sich die zu transportierende Folie. In beiden Platten sind rechtwinklig zur Folienoberfläche Ansaugbohrungen mit geringem Durchmesser angeordnet, die untereinander durch Kanäle in den Platten verbunden sind und jeweils einen zentralen Anschluß besitzen. Während des Betreibens der Vorrichtung liegt an dem zentralen Anschluß der festen Platte ein Vakuum und die Folie zwischen den beiden Platten haftet entsprechend an der festen Platte. Wird ein Transportschritt ausgelöst, wird die bewegliche durch eine entsprechende externe Kraft entgegen der Folientransportrichtung bewegt. Im Endpunkt dieser Bewegung wird ein Umschalten des Vakuums auf die bewegliche Platte ausgelöst, wobei diese Platte bei der Rückbewegung in ihrer Ausgangslage die Folie mitbewegt.

Ausführungsbeispiel

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung soll nachstehend anhand des Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. Am zweckmäßigsten läßt sich eine erfindungsgemäße Vorrichtung in Verbindung mit einer Schneidvorrichtung für definiert große Folienbandmaterialstücke anwenden, wobei die Vorrichtung gleichzeitig Transportvorrichtung und Schneide darstellt. Im wesentlichen lassen sich alle Folienmaterialien (Metall-, Papier-, Kunststoffolien u.a.) in beliebiger Abmessung transportieren und schneiden.

Im folgenden ist eine entsprechende Vorrichtung beschrieben. Zwei Platten 1; 2 liegen so übereinander, daß das entsprechende Folienbandmaterial dazwischen bewegt werden kann. Dies wird erreicht, wenn z.B. in die untere Platte 1 ein Kanal eingearbeitet ist. Beide Platten sind so in einem Rahmengestell 3 befestigt, daß zum Beispiel die obere Platte 2 in Folientransportrichtung fest und die Unterplatte 1 beweglich ist. Die feste Platte 2 ist klappbar, was ein Einlegen der Folie erleichtert. Die bewegliche Platte 1 ist auf zwei im Rahmengestell 3 befestigten Stifte 4 beweglich gelagert und wird durch dahinter liegende Federn 5 an das Rahmengestell 3 (Anschlag nach vorn) gedrückt. In beiden Platten 1; 2 befinden sich senkrecht zur Folienoberfläche flächenmäßig verteilt Ansaugbohrzungen 9, die alle jeweils untereinander verbunden sind und einen zentralen Anschluß haben, so daß beim Anliegen eines Vakuums an eine der beiden Platten 1; 2 das Folienmaterial an der entsprechenden Platte haftet. Diese Variation des Anlegens eines Vakuums (entweder feste oder bewegliche Platte 1) wird für den eigentlichen Folientransport derart ausgenutzt, daß die Folie beim Bewegen der beweglichen Platte 1 durch eine eingeleitete, gerichtete Kraft (zum Beispiel durch einen vorbeibewegten Schneidstempel, ein pneumatisches Bauelement, Zug- oder Druckmagneten o.a.) haftet. Die bewegliche Platte 1 unterläuft die Folie entgegen ihrer Transportrichtung und spult dabei gleichzeitig von der Folienvorratsspule 8 Folienmaterial ab. Im Bewegungsendpunkt wird das Vakuum von der Oberfläche auf die bewegliche Platte 1 umgeschaltet. Wird die Rückbewegung freigegeben, wird die Folie mittransportiert und es steht ein definiertes Stück Folie (entsprechend der Länge der Plattenbewegung) zur Folienbearbeitung (Schneiden...) zur Verfügung. Für die Rückbewegung werden die bei der Erstbewegung (entgegen derTransportrichtung) zusammengedrückten Federn 5 ausgenutzt. Die bewegliche Platte 1 istfür die Kombination mit einer Schneideinrichtung mit einer Schneidkante versehen. Unmittelbar vorder Schneidkante befindet sich eine klappbare Stabilisierungsplattform 6, die den Schneidprozeß unterstützen und eine mögliche Abnahme der geschnittenen Folienstreifen ermöglichen soll.

Die in den Platten 1 und 2 eingearbeiteten Ansaugbohrungen 9 sind größenmäßig so angeordnet, daß sie in Transportrichtung kleiner werden. Dadurch soll neben der ständigen Haftung der Folie beim Anliegen des Vakuums gewährleistet werden, daß in der Nähe des Schneidvorganges kein Verzug der Folie durch Hineinwölbung in die Ansaugbohrungen 9 auftritt. Diese Bohrungen 9 lassen sich beim Einbau von Druckwächtern 7 in die Vakuumleitungen zur Folienbandkontrolle benutzen. In der beweglichen Platte ist zur seitlichen Führung der Folie eine Folienbahn 10 eingearbeitet.

Claims

Erfindungsanspruch:

1. Transportvorrichtung, insbesondere für die schrittweise und mechanisch belastungsfreie Bewegung von Folienbandmaterial, gekennzeichnet dadurch, daß sich die Folie zwischen einer festen (2) und einer beweglichen (1) Platte befindet, welche senkrecht zur Folienoberfläche Ansaugbohrungen (9) besitzen, die durch Kanäle jeweils zu einem zentralen Anschluß verbunden sind, an denen wechselseitig in Abhängigkeit der Bewegungsrichtung der beweglichen Platte (1) Vakuum oder Atmosphäre anliegt.
2. Transportvorrichtung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die feste Platte (2) aufklappbar ist.
3. Transportvorrichtung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die bewegliche Platte (1) eine Schneidkante besitzt und daß zur seitlichen Führung der Folie eine Folienbahn (10) in die Platte (1) eingearbeitet ist.
4. Transportvorrichtung nach den Punkten 1,2 und 3, gekennzeichnet dadurch, daß sich an den zentralen Anschlüssen der Platten (1) und (2) Druckwächter (7) zur Folienerkennung befinden.
5. Transportvorrichtung nach den Punkten 1 und 3, gekennzeichnet dadurch, daß an der beweglichen Platte 1 vor der Schneidkante eine abklappbare Stabilisierungsklappe (6) angebracht ist.
6. Transportvorrichtung nach den Punkten 1,3 und 5, gekennzeichnet dadurch, daß die bewegliche Platte (1) auf zwei im Rahmengestell (3) befestigten Stiften (4) gelagert ist.
7. Transportvorrichtung nach Punkt 6, gekennzeichnet dadurch, daß die bewegliche Platte (1) durch auf den Stiften (4) sitzenden einstellbaren Federn (5) an die Nachfolgeeinrichtung gedrückt ist.
8. Transportvorrichtung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß das Folienmaterial auf einer Folienvorratsspule (8) sich befindet und diese auf der beweglichen Platte (1) befestigt ist.
9. Transportvorrichtung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß sich der Querschnitt der Ansaugbohrungen (9) in Richtung der Schneidkante verringert.