DD243015A1

DD243015A1 - TRANSPORTER

Info

Publication number: DD243015A1
Application number: DD28334685A
Authority: DD
Inventors: Juergen Finger; Fred Buechner
Original assignee: Halbleiterwerk Veb
Priority date: 1985-11-28
Filing date: 1985-11-28
Publication date: 1987-02-18

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung fuer den Transport beliebigen Folienbandmaterials. Diese Vorrichtung kann bei der Bauelementeherstellung in der Halbleiterindustrie sowie in anderen Technikbereichen eingesetzt werden. Das Ziel der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zu schaffen, mit welcher Folienbandmaterial schrittweise mit definierter Schrittlaenge transportiert werden kann, ohne das eine mechanische Beanspruchung der Folienoberflaeche auftritt. Erfindungsgemaess wird die technische Aufgabe dadurch geloest, dass das Folienbandmaterial zwischen zwei Platten (eine Platte entgegen der Folientransportrichtung beweglich, die andere fest) gefuehrt wird. Fuer den Transport der Folie wird ein in Abhaengigkeit von der Bewegungsrichtung der beweglichen Platte wechselseitig angelegtes Vakuum ausgenutzt. Fuer das Anlegen des Vakuums sind die Platten senkrecht zur Folienoberflaeche mit Ansaugbohrungen versehen, die untereinander bis zu einem zentralen Anschluss verbunden sind.The invention relates to a device for the transport of any film strip material. This device can be used in device fabrication in the semiconductor industry as well as in other engineering fields. The object of the invention is to provide a device with which film strip material can be transported stepwise with a defined step length without mechanical loading of the film surface occurring. According to the invention, the technical object is achieved in that the foil strip material is guided between two plates (one plate movable against the direction of the film transport, the other fixed). For the transport of the film, a mutually applied depending on the direction of movement of the movable plate vacuum is utilized. For the application of the vacuum, the plates are provided perpendicular to the film surface with suction holes, which are interconnected to a central terminal.

Description

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Field of application of the invention

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für den Transport von Folienbandmaterial. Diese Vorrichtung kann bei der Bauelementeherstellung in der Halbleitertechnik, aber auch in anderen Technikbereichen, wo Folienbandmaterial gehandhabt werden muß, angewendet werden.The invention relates to a device for the transport of foil strip material. This device can be used in device fabrication in semiconductor technology, but also in other engineering fields where film tape material must be handled.

Characteristic of the known technical solutions

Aus der Technik sind vielfältige Lösungen bekannt, die sich mit dem Transport von Folien oder dünnen Bändern beschäftigen. Am häufigsten werden Lösungen eingesetzt, bei welchen die Folie zwischen zwei Walzen, von denen eine oder auch beide angetrieben werden, transportiert wird. Bei diesem Lösungsprinzip muß ein hoher konstruktiver Aufwand zur Erzeugung der definierten Schrittlänge realisiert werden. Weiterhin wird die Folie durch die nötigen Andruckkräfte so stark belastet, daß es durch Verschmutzungen an den Walzen zu Beschädigungen der Folienoberfläche kommen kann. Ähnliche Nachteile liegen bei der Benutzung von Spann-bzw. Klemmelementen für den Folientransport vor. In DE-OS 2547535 (B65H 17/32) wurde eine Möglichkeit des Folientransportes mittels Flüssigtransport beschrieben. Bei diesem Lösungsverfahren ist die Einstellung bzw. Einhaltung der gewünschten Schrittlänge nur in großen Toleranzbereichen möglich.Various solutions are known in the art, dealing with the transport of films or thin tapes. Solutions are most frequently used in which the film is transported between two rollers, one or both of which are driven. In this solution principle, a high design effort for generating the defined step length must be realized. Furthermore, the film is so much burdened by the necessary pressure forces that it can come to dirt on the rollers damage to the film surface. Similar disadvantages are the use of clamping or. Clamping elements for the film transport before. In DE-OS 2547535 (B65H 17/32) a possibility of film transport by liquid transport has been described. In this solution method, the adjustment or compliance with the desired step length is possible only in large tolerance ranges.

Object of the invention

Das Ziel der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zu schaffen, die es erlaubt, mit einem minimalen mechanischen Aufwand und damit geringen Herstellungskosten eine Folie ohne mechanische Beanspruchung der Oberfläche zu transportieren.The aim of the invention is to provide a device that allows to transport a film without mechanical stress of the surface with a minimum of mechanical effort and thus low production costs.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung für den Transport von Folienmaterial zu schaffen, die es erlaubt, die Folie schrittweise mit definierter Schrittlänge ohne mechanische Beanspruchung des Folienmaterials zu transportieren, wobei die notwendige Vorschubbewegung in Abhängigkeit von einer Nachfolgeeinrichtung (Schneid-, Druck-, Etikettiereinrichtung o.a.) ausgelöst wird.The invention has for its object to provide a device for the transport of film material, which allows to transport the film stepwise with a defined stride length without mechanical stress of the film material, the necessary feed movement in dependence on a successor device (cutting, printing , Labeling oa) is triggered.

Diese Aufgabe wird durch die erfindungsgemäße Vorrichtung gelöst. Sie besteht aus einer in Transportrichtung festen und einer beweglichen Platte, die sich in geringem Abstand zueinander gegenüberliegen. Zwischen beiden Platten befindet sich die zu transportierende Folie. In beiden Platten sind rechtwinklig zur Folienoberfläche Ansaugbohrungen mit geringem Durchmesser angeordnet, die untereinander durch Kanäle in den Platten verbunden sind und jeweils einen zentralen Anschluß besitzen. Während des Betreibens der Vorrichtung liegt an dem zentralen Anschluß der festen Platte ein Vakuum und die Folie zwischen den beiden Platten haftet entsprechend an der festen Platte. Wird ein Transportschritt ausgelöst, wird die bewegliche durch eine entsprechende externe Kraft entgegen der Folientransportrichtung bewegt. Im Endpunkt dieser Bewegung wird ein Umschalten des Vakuums auf die bewegliche Platte ausgelöst, wobei diese Platte bei der Rückbewegung in ihrer Ausgangslage die Folie mitbewegt.This object is achieved by the device according to the invention. It consists of a fixed in the transport direction and a movable plate, which are located at a small distance from each other. Between both plates is the transportable film. In both plates are arranged at right angles to the film surface suction holes with a small diameter, which are interconnected by channels in the plates and each having a central terminal. During operation of the device, a vacuum is applied to the central terminal of the fixed plate and the foil between the two plates adheres to the fixed plate accordingly. If a transport step is triggered, the movable is moved by a corresponding external force against the film transport direction. In the end point of this movement, a switching of the vacuum is triggered on the movable plate, said plate moves along with the return movement in its initial position, the film.

embodiment

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung soll nachstehend anhand des Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. Am zweckmäßigsten läßt sich eine erfindungsgemäße Vorrichtung in Verbindung mit einer Schneidvorrichtung für definiert große Folienbandmaterialstücke anwenden, wobei die Vorrichtung gleichzeitig Transportvorrichtung und Schneide darstellt. Im wesentlichen lassen sich alle Folienmaterialien (Metall-, Papier-, Kunststoffolien u.a.) in beliebiger Abmessung transportieren und schneiden.A device according to the invention will be explained in more detail below with reference to the embodiment. Most conveniently, a device according to the invention can be used in conjunction with a cutting device for defined large pieces of film strip material, wherein the device is simultaneously transporting device and cutting edge. Essentially, all film materials (metal, paper, plastic films, etc.) can be transported and cut in any dimension.

Im folgenden ist eine entsprechende Vorrichtung beschrieben. Zwei Platten 1; 2 liegen so übereinander, daß das entsprechende Folienbandmaterial dazwischen bewegt werden kann. Dies wird erreicht, wenn z.B. in die untere Platte 1 ein Kanal eingearbeitet ist. Beide Platten sind so in einem Rahmengestell 3 befestigt, daß zum Beispiel die obere Platte 2 in Folientransportrichtung fest und die Unterplatte 1 beweglich ist. Die feste Platte 2 ist klappbar, was ein Einlegen der Folie erleichtert. Die bewegliche Platte 1 ist auf zwei im Rahmengestell 3 befestigten Stifte 4 beweglich gelagert und wird durch dahinter liegende Federn 5 an das Rahmengestell 3 (Anschlag nach vorn) gedrückt. In beiden Platten 1; 2 befinden sich senkrecht zur Folienoberfläche flächenmäßig verteilt Ansaugbohrzungen 9, die alle jeweils untereinander verbunden sind und einen zentralen Anschluß haben, so daß beim Anliegen eines Vakuums an eine der beiden Platten 1; 2 das Folienmaterial an der entsprechenden Platte haftet. Diese Variation des Anlegens eines Vakuums (entweder feste oder bewegliche Platte 1) wird für den eigentlichen Folientransport derart ausgenutzt, daß die Folie beim Bewegen der beweglichen Platte 1 durch eine eingeleitete, gerichtete Kraft (zum Beispiel durch einen vorbeibewegten Schneidstempel, ein pneumatisches Bauelement, Zug- oder Druckmagneten o.a.) haftet. Die bewegliche Platte 1 unterläuft die Folie entgegen ihrer Transportrichtung und spult dabei gleichzeitig von der Folienvorratsspule 8 Folienmaterial ab. Im Bewegungsendpunkt wird das Vakuum von der Oberfläche auf die bewegliche Platte 1 umgeschaltet. Wird die Rückbewegung freigegeben, wird die Folie mittransportiert und es steht ein definiertes Stück Folie (entsprechend der Länge der Plattenbewegung) zur Folienbearbeitung (Schneiden...) zur Verfügung. Für die Rückbewegung werden die bei der Erstbewegung (entgegen derTransportrichtung) zusammengedrückten Federn 5 ausgenutzt. Die bewegliche Platte 1 istfür die Kombination mit einer Schneideinrichtung mit einer Schneidkante versehen. Unmittelbar vorder Schneidkante befindet sich eine klappbare Stabilisierungsplattform 6, die den Schneidprozeß unterstützen und eine mögliche Abnahme der geschnittenen Folienstreifen ermöglichen soll.In the following, a corresponding device is described. Two plates 1; 2 are superimposed so that the corresponding foil strip material can be moved therebetween. This is achieved when e.g. in the lower plate 1, a channel is incorporated. Both plates are mounted in a frame 3, that, for example, the upper plate 2 fixed in the direction of film transport and the lower plate 1 is movable. The fixed plate 2 is hinged, which facilitates insertion of the film. The movable plate 1 is movably mounted on two pins 4 fixed in the frame 3 and is pressed by springs 5 located behind it on the frame 3 (stop forward). In both plates 1; 2 are perpendicular to the surface of the film distributed in area Ansaugbohrzungen 9, which are each connected to each other and have a central terminal, so that when a vacuum applied to one of the two plates 1; 2 the film material adheres to the corresponding plate. This variation of the application of a vacuum (either fixed or movable plate 1) is utilized for the actual film transport in such a way that the film is moved when the movable plate 1 is moved by an applied directional force (for example by a passing punch, a pneumatic element, pull - or pressure magnet or the like) adheres. The movable plate 1 passes under the film opposite to its transport direction and simultaneously unwinds from the film supply spool 8 film material. In the movement end point, the vacuum is switched from the surface to the movable plate 1. If the return movement is released, the film is transported and there is a defined piece of film (according to the length of the plate movement) for film processing (cutting ...) available. For the return movement, the springs 5 compressed during the first movement (opposite to the transport direction) are utilized. The movable plate 1 is provided with a cutting edge for combination with a cutter. Immediately before the cutting edge is a folding stabilization platform 6, which support the cutting process and should allow a possible decrease of the cut film strips.

Die in den Platten 1 und 2 eingearbeiteten Ansaugbohrungen 9 sind größenmäßig so angeordnet, daß sie in Transportrichtung kleiner werden. Dadurch soll neben der ständigen Haftung der Folie beim Anliegen des Vakuums gewährleistet werden, daß in der Nähe des Schneidvorganges kein Verzug der Folie durch Hineinwölbung in die Ansaugbohrungen 9 auftritt. Diese Bohrungen 9 lassen sich beim Einbau von Druckwächtern 7 in die Vakuumleitungen zur Folienbandkontrolle benutzen. In der beweglichen Platte ist zur seitlichen Führung der Folie eine Folienbahn 10 eingearbeitet.The intake holes 9 incorporated in the plates 1 and 2 are sized so as to become smaller in the transporting direction. This should be ensured in addition to the constant adhesion of the film when the vacuum is applied, that in the vicinity of the cutting process no delay of the film by concave into the suction holes 9 occurs. These holes 9 can be used when installing pressure switches 7 in the vacuum lines for foil tape control. In the movable plate, a film web 10 is incorporated for lateral guidance of the film.

Claims

Invention claim:

1. Transport device, in particular for the gradual and mechanical stress-free movement of foil strip material, characterized in that the film is between a fixed (2) and a movable (1) plate having perpendicular to the film surface suction holes (9) passing through channels are each connected to a central terminal at which mutually depending on the direction of movement of the movable plate (1) vacuum or atmosphere is applied.

2. Transport device according to item 1, characterized in that the fixed plate (2) is hinged.

3. Transport device according to item 1, characterized in that the movable plate (1) has a cutting edge and that for lateral guidance of the film, a film web (10) is incorporated in the plate (1).

4. Transport device according to the points 1,2 and 3, characterized in that there are at the central terminals of the plates (1) and (2) pressure monitor (7) for film recognition.

5. Transport device according to the items 1 and 3, characterized in that on the movable plate 1 in front of the cutting edge a hinged stabilizing flap (6) is mounted.

6. Transport device according to the points 1.3 and 5, characterized in that the movable plate (1) on two in the frame (3) fixed pins (4) is mounted.

7. Transport device according to item 6, characterized in that the movable plate (1) is pressed by on the pins (4) seated adjustable springs (5) to the follower.

8. Transport device according to item 1, characterized in that the film material on a film supply spool (8) is located and this is fixed on the movable plate (1).

9. Transport device according to item 1, characterized in that the cross section of the suction holes (9) decreases in the direction of the cutting edge.