DD231453A1 - Vorrichtung zum abloesen von halbleiter- oder glasbauelementen - Google Patents

Abstract

Vorrichtung zum Abloesen von Halbleiter- oder Glaselementen von durch Mikrotrennsaegen vorbearbeiteten Scheiben, auf flexibler Folie haftend. Durch eine geeignete Gestaltung der mit translatorischem oder rotatorischem Antrieb versehenen Vorrichtung, insbesondere durch Veraenderung der strukturell-geometrischen Verhaeltnisse am Arbeitsspalt und durch Veraenderung der Vortriebsrichtung der Folie wird eine zuverlaessige, reihenweise Abloesung ermoeglicht. Erfindungsgemaess wird ein mit einem Gehemme verbundener Klemmengrundkoerper und ein Klemmjoch verwendet, welche einen elastischen Belag aufweisen und die unterhalb einer mit einer zur Umlenkung speziell ausgebildeten Kante versehenen Platte bewegbar sind. Die Platte weist zur Ausrichtung der Saegelinien Ausrichtlinien auf bzw. es wird bei Verwendung einer nichttransparenten Folie ein transparentes Ausrichtlineal mit einer schneidenartigen Ausrichtkante und/oder Strichmarke verwendet, wobei zur Lagefixierung und Straffung der Folie ein Folienhalter verwendet wird mit der Moeglichkeit einer Magazinierung. Angewendet wird die Vorrichtung zum Abloesen von Elementen, insbesondere zur Hybridschaltkreisherstellung. Fig. 2

Description

Erfinder: Dipl.-Ing· Rainer Hartmann Berlin, 25.07.83

Doris Lindner P 1383

Zustellungsbevollm. :

Institut für Regelungstechnik

im Kombinat VEB EAV/ Berlin-Treptow

"Friedrich Ebert"

1055 Berlin, Storkower Str. 101

Büro für Schutzrechte

Vorrichtung zum Ablösen von Halbleiter- oder Glasbauelementen

H 01 L 21/00

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ablösen von Halbleiter- oder Glaselementen,· beispielsweise Sinzelchips, von einer flachen, durch Mikrotrennsagen vorbearbeiteten Scheibe, z.B· Halbleiter-Wafer, welcher auf einer flexiblen Folie haftet bzw· klebt· Die abgelösten Elemente werden anschließend beim Vereinzeln sortiert und in Magazinen bzw· Ablageeinheiten abgelegt. Die auf diese Ä'eise magazinierten Elemente werden zur Herstellung von Hybridschaltkreisen bzw· Halbleiterbauelementen mit Sichtfenster benötigt·

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen Das allgemein bekannte Mikrotrennsagen als Vereinzelungsverfahren wird bei großen Stückzahlen als produktives Verfahren mit fast 100 %iger-Ausbeute angewendet· Als Sonderfall dieser Technologie ist beirannt, auf Folie geklebte bzw. haftende Halbleiterscheiben mittels Automatik-Chip-Bondem zu vereinzeln· Bevorzugt wird dieses Verfahren bei Vereinzelung von Dioden, Transistoren und niedriglegierten Schaltkreisen· Nachteilig ist hierbei der hohe Justieraufwand, Verschleißerscheinungen an der Durchstoßnadel und dadurch bedingtes Zurückbleiben von Folieresten an der Rückseite der Halbleiterelemente· Für höher

integrierte Bauelemente bzw. relativ größere Chips hat sich das Verfahren bewährt, wobei auf Folie geklebte bzw· haftende Halbleiterscheiben angesägt, gebrochen und anschließend durch das Dehnen der Folie vereinzelt und mittels Durchstoßverfahren abgesammelt werden. Nachteilig ist der hohe technisch-ökonomische Aufwand bei Sinken der Ausbeute pro Scheibe.

In dem DD-WP H 01 L/233 798 wird ein Verfahren und eine Anordnung zum Ablösen und Weiterfördern von auf Folie klebenden bzw. haftenden Halbleiter- bzw. Glaselementen beschrieben, wobei beispielsweise die Halbleiterscheibe in einem der Chipgröße entsprechenden Rast.er-angesägt ist. Hierbei lassen sich die Halbleiter- bzw. Glaselemente mit relativ geringem ökonomischen Aufwand und mit gut beherrschbarer Technik bei nahezu 100 %iger Ausbeute von der Folie ablösen, vereinzeln, sortieren und magazinieren.

Nachteilig ist hierbei, daß während des Äblösevorganges eine Wölbung der durch den Arbeitsspalt gleitenden Folie nicht auszuschließen ist, wodurch Kantenbeschädigungen und unkontrolliertes Springen der abzulösenden Elemente verursacht werden.

Weiterhin wirkt sich nachteilig aus, daß nur relativ lange Folien verarbeitet werden können. Das schließt die Verarbeitung der in zunehmendem Maße zur Verwendung gelangenden, relativ kurzen Folien aus. Die zwischen den Transportwalzen eingespannte Folie wird meist mit zunehmender Abarbeitung der Halbleiterscheibe schräg gezogen, d.h., daß die Sägelinien dieser nicht parallel zur Ablösekante verlaufen. Das führt zur unerwünschten Ablösung mehrerer Chip-Reihen gleichzeitig schräg von einer Seite her.

Zur Straffung der Folie zwecks Beibehaltung der Ausrichtung des Sägelinienrasters und Vermeidung der unerwünschten Wölbung besitzen bekannte Vorrichtungen Vakuumbohrungen in der Auflagefläche. Nachteilig ist, daß bei Betrieb dieser Vorrichtungen aufwendige Einrichtungen zur Vakuumerzeugung vorhanden sein müssen, wobei sich das Foliestraffen durch Ansaugen in der Praxis als kompliziert und relativ uneffektiv erwies.

Deshalb wird das Straffen der Folie von Hand vorgenommen, weil beim Ablösevorgang in geringem Maße Korrekturen der Ausrichtung der Sägelinien parallel zum Arbeitsspalt nötig sind. Dabei kommt es oft zur Bildung unerwünschter Schrägfalten, welche bei Passieren des Arbeitsspaltes Beschädigungen der Folie zur Folge haben und die gesamte Menge der auf ihr verbliebenen Chips Ausschuß wird, weil ein weiteres Ablösen unmöglich wird.

Ist die Abweichung der Sägelinien von der Parallelität zum Arbeitsspalt zu groß, muß die Folie aus dem Andruck der Transportwalzen gelöst und neu ausgerichtet werden. Dieses geschieht nach der trial-and-error-Methode und ist deshalb zu zeitaufwendig.

Zur Kontrolle des Ablösevorganges und der Güte der abgelösten Halbleiter- oder Glaselemente werden die vorstehend genannten Torrichtungen unter dem Mikroskop benutzt, wobei die optische Achse des Objektivs sich direkt über dem Arbeitsspalt befindet. Der zu lange Kipphebel, von welchem durch seitliches Anheben vereinzelte abgelöste Elemente abgeschüttet werden sollen, kollidiert mit dem öbjektivrand, weshalb entweder dieser oder die als Schneide ausgebildete Ablösekante beschädigt werden kann.

Der Transport der Folie erfolgt zwischen zwei aneinandergedrückten Transportwalzen, wobei eine von beiden mit einem Handrad nur schwergängig bewegt werden kann.

Ziel der Erfindung

Das Ziel der Erfindung besteht darin, mittels der Vorrichtung eine zuverlässige und universelle reihenweise Ablösung von auf Folie haftenden bzw. klebenden Halbleiter- oder Glaselementen zu ermöglichen, den technischen Aufwand durch herstellungsgünstige Gestaltung zu verringern sowie die Handhabung durch anwendungsgerechte Gestaltung zu verbessern.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Entscheidende Mängel der bekannten technischen Lösungen sind bedingt durch die strukturellen Verhältnisse im Arbeitsspalt, durch welchen die Folie beim Ablösevorgang nahezu spielfrei gleitet, durch die senkrechte Zugrichtung der Folie in bezug auf die Oberfläche der Platte, auf welcher sie entlang gleitet und dabei durch Ansaugung mittels Vakuum ungenügend gestrafft wird, wodurch die Folie eine Wölbung bilden kann, die dazu führt, daß die von der angesägten Scheibe abzulösenden Halbleiter- oder Glaselemente fast senkrecht auf die Ablösekante gezogen und durch die Kraftwirkung der gedehnten Folie entweder an den Kanten beschädigt werden und/oder sich plötzlich impulsiv mit hoher Geschwindigkeit von der Kleb- bzw. Haftfolie lösen.

Ein weiterer Mangel besteht darin, daß die Sägelinien der Scheibe aus Halbleiter- oder Glasmaterial, auf der Folie klebend bzw· haftend, nicht genau parallel zum Arbeitsspalt ausgerichtet werden kann und eine Fixierung der Lage der Sägelinien beim Einspannen und Vortrieb nicht möglich ist und die fertigungsbedingte Abweichung der Berührungslinie der die Folie transportierenden Walzen von der parallelen Lage zur Ablösekante somit zur schrägen Ablösung mehrerer Elementereihen gleichzeitig führt· Zur Verhinderung dieses Effektes muß die parallele Ausrichtung der Sägelinien mit Hand während des Folievortriebes korrigiert werden, wobei die Bildung von Schrägfalten, die bei Passieren der scharfen Ablösekante zu Folieschäden führen können, nicht auszuschließen ist. Ist die Abweichung der Sägelinien von der Parallelität zum Arbeitsspalt zu groß, muß die Folie nach der zeitaufwendigen trial-and-error-Methode aus- und anschließend eingespannt werden, bis eine günstige Ausrichtung der Sägelinien erreicht ist·

Da der Betrieb der bekannten Vorrichtungen unter dem Mikroskop erfolgen muß, kommt es bei seitlichem Anheben des Kipphebels, um abgelöste Elemente abzuschütten, bedingt durch dessen Länge, entsprechend dem relativ großen Durchmesser der größtmöglichen abzuarbeitenden Scheibe ausgelegt, zur Kollision mit dem Mikroskopobjektivrand, wodurch dieser oder die scharfe. Ablösekante des Kipphebels beschädigt werden kann.

Die abgelösten Halbleiter- oder Glaselemente werden von der über der Ablösekante befindlichen Auflagefläche aufgenommen, über relativ weite Wege transportiert und in palettenförmigen Magazinen mit entsprechenden Aufnahmefächern abgelegt. Die Wiederherstellung lokaler Formationen entsprechend den Verhältnissen der ursprünglichen Scheibenstruktur ist nur iqit hohem Aufwand auf das Magazin übertragbar. Daraus resultiert die technische Aufgabenstellung, durch geeignete Gestaltung der mit translatorischem oder rotatorischen Antrieb versehenen Vorrichtung, insbesondere durch Veränderung der strukturell-geometrischen Verhältnisse am Arbeitsspalt, durch Veränderung der Vortriebrichtung der Folie und der davon abhängigen Realisierung des Folientransportes eine zuverlässige Ablösung der auf Folie klebenden bzw· haftenden Halbleiter- oder Glaselemente und deren nachfolgende Magazinierung zu ermöglichen. Gleichzeitig sollen durch geeignete Mittel die Sägelinien der auf der Folie klebenden bzw. haftenden Scheibe parallel zum Arbeitsspalt ausgerichtet und diese Ausrichtung fixiert werden sowie während des Ablösevorganges ohne Verwendung von Vakuum beibehalten bleiben, wobei die Folie ständig gleichmäßig gestrafft bleibt·

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß unter Verwendung einer an sich bekannten Platte, auf welcher die Folie aufliegt und gleitet und von dort aus durch einen parallelen, relativ engen Arbeitsspalt gezogen wird, die auf der Folie klebenden bzw. haftenden Halbleiter- oder Glasbauelemente an einer bekannten Ablösekante von der Folie reihenweise abgelöst werden. Dabei werden ein Klemmengrundkörper und ein relativ zu ihm bewegliches Klemmjoch verwendet. Der Klemmengrundkörper und das Klemmjoch besitzen einen elastischen Belag an einem oder beiden Berührungsflächen, zwischen welchen form- und kraftschlüssig durch Festdrehen einer Klemmutter das Ende der Folie eingeklemmt wird.

Zwischen den Berührungsflächen des Klemmengrundkörpers und des Klemmjoches ist über ihre gesamte Breite die Folie eingeklemmt und wird durch Bewegung des Klemmengrundkörpers unter eine Platte gezogen durch eine von Hand oder rotatorischem Schrittmotor

getriebene Spindel in Verbindung mit einer mit dem Klemmengrundkörper verbundenen Mutter, die erfindungsgemäß eine Federmutter ist und gemeinsam mit der Spindel ein Gehemme darstellt·

Wird die eingeklemmte Folie durch Betätigung des Spindelantriebes unter die Platte., welche aus ferromagnetischem Material besteht, gezogen, gleitet sie im Arbeitsspalt über eine wulstartige Kante dieser Platte und wird dabei unter eine Ablösekante gelenkt ·

Befinden sich die Scheiben aus angesägtem Halbleiter- oder Glasmaterial auf transparenten Folien, können die Sägelinien entlang von auf der Platte befindlichen Ausrichtlinien genau parallel zur Kante, die eine Seite des Arbeitsspaltes darstellt, ausgerichtet werden·

Werden Halbleiter- oder Glasscheiben auf nichttransparenten Folien verarbeitet, wird auf die Platte über die Scheibe ein Ausrichtlineal gesetzt· Durch definiertes Aufsetzen auf der Platte ist eine schneidenartige Kante und/oder eine dazu parallele Strichmarke genau parallel zum Arbeitsspalt ausgerichtet, weshalb durch Fluchtung entlang dieser die Ausrichtung des Sägelinienrasters genau parallel zur Kante erfolgen kann·

Ist der Ausrichtvorgang beendet, wird die Lage der Folie durch Aufsetzen eines Foliehalters fixiert. Erfindungsgemäß erfolgt die Fixierung durch Kraftwirkung zwischen aufgesetztem magnetischen Foliehalter und ferromagnetischer Platte. Die lagefixierte Folie liegt mit einem Ende in dem relativ großen Zwischenraum zwischen der Kante der Platte und dem von dieser abgekippten Ablöser, wird geglättet zwischen die Berührungsflächen des Klemmengrundkörpers und des Klemmjoches gebracht und durch Rechtsdrehen der Klemmutter zwischen beiden festgeklemmt. Der Ablöser wird nun an die Kante der Platte gekippt, wobei zwischen dessen Ablösekante und der Kante die Folie liegt.

Wird der Antrieb betätigt, gleitet die Folie durch den Arbeitsspalt und wird durch den aufgesetzten Foliehalter gestrafft. Der Antrieb wird dann unterbrochen, wenn eine Reihe Halbleiter- oder Glasbauelemente durch die Ablösekante abgelöst ist und auf einer

über ihr liegenden Auflagefläche liegen bleibt. Von dort aus werden aussortierte abgelöste Elemente in Aufnabmefächer eines Magazinstreifens in einer Schräge des Ablösers liegend geschoben. Der gefüllte Magazinstreifen wird an seinen Handhabeflächen aufgenommen und durch Stifte einer Palette, gedacht zur Aufnahme mehrerer gefüllter Magazinstreifen, lagegesichert· Bevor ein leerer Magazinstreifen in die Schräge eingelegt wird, werden unbrauchbare abgelöste Elemente auf eine Ablage des Ablösers gebracht und durch Kippung des Ablösers, welcher anschließend wieder an die Folie geklappt wird,,abgeschüttet· Dieser Vorgang wird für jede Reihe der abzulösenden Elemente wiederholt·

Ist eine Palette vollständig mit gefüllten Magazinstreifen belegt, kann eine leere Palette auf sie gelegt werden bis diese mit gefüllten Magazinstreifen belegt ist· Zweckmäßig werden bis zu fünf gefüllte Paletten übereinander gestapelt, obenauf mit einecn Deckel abgeschlossen und durch Aufsetzen einer Klammer untereinander fest verbunden und stellen somit ein in sich geschlossenes Magazin dar·

Der an den Seitenwänden in Höhe und längs geführte Klemmengrund körper in Verbindung mit der durch das Klemmj och festgeklemmten Folie kann erfindungsgemäß anstelle eines Spindeltriebes in Verbindung mit einer Federmutter zweckmäßig mit Hilfe eines Zugmittelgetriebes, z.B· Zahnriemen- oder Seilgetriebe,oder eines gesteuerten Pneumatik- oder Hydraulikzylinders oder eines flachen Linear-Schrittmotors unterhalb der Platte bewegt werden.

Ausführungsbeispiel

Nachstehend soll die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. Die zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Fig.=1: Vorrichtung mit den erfindungsgemäßen Funktionselementen ohne die zweite Seitenwand in der Stellung, daß die Folie ausgerichtet, lagefixiert und geklemmt werden kann

Fig, 2: Vorrichtung mit den erfindungsgemäBen Funktionselementen ohne die zweite Seitenwand beim Ablösevorgang

Fig. 3: Foliehalter Fig· 4: Ausrichtlineal

Fig. 5: Magazin in völlig bestücktem und in sich geschlossenem Zustand

Fig. 6: Palette mit eingelegtem Magazinstreifen

Die Vorrichtung wird unter dem Mikroskop zwecks Beobachtung der Ausrichtung der Folie 1, des Ablösevorganges und zur Gütekontrolle der abgelösten Elemente 1b gehandhabt. Die Vorrichtung besteht aus einer Platte 2, die auf zwei Seitenwänden 10 befestigt ist· Zwischen den Seitenwänden 10 ist eine Querplatte 20 angeordnet, in der unterhalb der Platte 2 eine Spindel 8 drehbar gelagert und in Längsrichtung nicht verschiebbar ist· In die Gewinderille der Spindel 8 greifen die Federn 7a der Federmutter ein, wobei die Federmutter 7 mit dem zwischen den Seitenwänden 10 seitlich durch die Griffe 14 in der Höhe in den Führungsbahnen 10a geführten Klemmengrundkorper 4 verbunden ist. Die Kante 2b bildet mit der Ablösekante 3a des Ablösers 3 den Arbeitsspalt, durch welchen die Folie 1 fast spielfrei gleitet· Ablöser 3 ist in den Seitenwänden 10 drehbar gelagert und kann somit von der Kante 2b entfernt werden·

Zur Ablösung der auf der Folie 1 haftenden bzw. klebenden Halbleiter- oder Glaselementen, beispielsweise von Einzelchips einer dünnen Halbleiter-Wafer-Scheibe, muß die Vorrichtung zum Einklemmen der Folie 1 vorbereitet werden. Deshalb wird der Ablöser 3 in die in Fig. 2 dargestellte Lage gebracht, durch Linksdrehen die Klemmutter 5a an den Anschlag 5h bewegt und das Klemmjoch 5 "bis an die Kiemmutter 5a geschoben. So ist ein relativ breiter Spalt zwischen Klemmjoch 5 und dem elastischen Belag 4a des Klemmengrundkörpers 4 hergestellt.

Die Folie 1 mit einer in senkrecht zueinander verlaufenden Rasterlinien angesägten Scheibe aus abzulösenden Elementen 1a wird auf der Platte 2 abgelegt und ausgerichtet. Klebt bzw.

haftet die Scheibe abzulösender Elemente 1a an einer transparenten Folie 1 sind durch die Folie 1 hindurch die zur Kante 2b parallel verlaufenden Ausrichtlinien 2a sichtbar. Ist eine Übereinstimmung des Verlaufes einer Sägelinie auf der Scheibe abzulösender Elemente 1a mit einer Ausrichtlinie 2a erreicht, sind alle Sägelinien genau parallel zu Kante 2b ausgerichtet·

Falls die abzulösenden Elemente auf nichttransparenter Folie 1 kleben bzw. haften, wird zur parallelen Ausrichtung der Sägelinien zur Kante.2b ein Lineal 12 mit Führungsschienen 13 verwendet. Über die auf der Platte 2 aufliegende Folie 1 wird das Lineal 12 so aufgelegt, daß es mit seinen Führungsschienen 13 auf die Oberfläche.-der Platte 2 gesetzt wird und gleichzeitig seitlich spielfrei geführt ist. So aufgesetzt verläuft die Ausrichtkante 12a bzw. Strichmarke 12 b parallel zur Kante 2b. Hierbei befindet sich das transparente Lineal 12 in relativ geringem Abstand von der Oberfläche der abzulösenden Elemente 1a. Durch Fluchtung kann bei vorsichtiger Manipulation an der Folie 1 eine Übereinstimmung des Verlaufes der Sägelinien mit der Ausrichtkante 12 a oder Strichmarke 12b hergestellt werden, so daß die Sägelinien ebenfalls parallel zur Kante 2b verlaufen.

Nach Beendigung des Ausrichtvorganges wird die erreichte Lage durch Aufsetzen eines Foliehalters, bestehend aus einer Griffschiene 11 und einem Magneten 11a, fixiert. Dabei wird die Folie 1 durch die Kraftwirkung des flächigen Magneten 11a auf die ferromagnetische Platte 2 auf deren Oberfläche gedrückt und festgehalten. Dadurch ist eine Bedingung erfüllt, daß die abzulösenden Elemente 1a genau reihenweise und nicht schräg an der Ablösekante abgestreift werden.

Wenn der Ausricht- und Fixiervorgang abgeschlossen ist, wird das über die Kante 2b hängende Ende der Folie 1 geglättet zwischen den elastischen Belag 4a und Klemmjoch 5 gebracht und durch Rechtsdrehen von Kiemmutter 5a das Klennnjoch 5 am Klemmengrundkörper 4 mittels elastischem Belag 4a form- und kraftschlüssig geklemmt. Die prismatische Form der Berührungsflächen von elastischem Belag 4a und Klemmjoch 5 bewirkt ein sicheres Klemmen

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der Folie 1 über die gesamte Breite, womit eine Faltenbildung beim Ablösevorgang vermieden wird· Durch die Kraftwirkung des Magneten 11a auf die Folie 1 verbleibt diese auch während der Manipulationen beim Klemmvorgang in ihrer fixierten Lage. Nach dem Einklemmen der Folie 1 wird der Ablöser 3 io die in Fig. 1 dargestellte Lage bewegt, womit sich die Folie 1 über ihre gesamte Breite Im Arbeitsspalt befindet. Danach wird in der Schräge 3c ein Magazinstreifen 15 eingelegt, der aus einer bereitstehenden, mit leeren Magazinstreifen 15 bestückten Palette 16 entnommen wurde. Danach erfolgt die Ablösung der Elemente. Dazu wird die Spindel 8 durch den Antrieb 9 entweder von Hand oder rotatorischem Schrittmotor in eine Rechtsdrehung versetzt, wodurch die starr mit dem Klemmengrundkörper 4- verbundene Federmutter 7 diesen gemeinsam mit der eingeklemmten Folie 1 unter die Platte 2 zieht, wobei gleichzeitig die abzulösenden Elemente 1a zu Kante 2b hin bewegt werden. Dabei strafft der an der Griffschiene 11 aufgenommene, auf die Folie 1 aufgesetzte und sich mitbewegende Foliehalter diese, weshalb an der Kante 2b die Folie 1 keine Wölbung bzw. Schrägfalten ausbilden kann. Die Kante 2b ist so ausgebildet, daß die Folie 1 von der Oberfläche der Platte 2 aus erst über eine rechtwinklige Kante und dann über eine hervorstehende, abgerundete bzw. wulstartige Kante unter die Platte 2 in Richtung des Spindelantriebes gleitet. Dadurch wird die Folie 1 innerhalb des Arbeitsspaltes nicht senkrecht nach unten gezogen, sondern unter die Ablösekante 3a geleitet, weshalb sich die abzulösenden Elemente 1a leicht und sicher von der Folie 1 lösen lassen. Zusätzlich wird eine Folienwölbung an der Kante 2b verhindert.

Durch Rechtsdrehung der Spindel 8 gelangt die vordere Kante der ersten Reihe der abzulösenden Elemente 1a nur relativ langsam in die Nähe der Ablösekante 3a. Soll die erste Reihe schneller ablösebereit sein, kann der Schnellvortrieb betätigt werden, welcher dadurch realisiert wird, daß die Federmutter 7 und die Spindel 8 ein Gehemme darstellen. Die Federmutter 7 ist so gestaltet, daß die Spindel 8 mit sehr großem Spiel in einer Durchgangsbohrung bewegbar ist. Senkrecht dazu sind Bohrungen angeordnet, in welchen zwei im Abstand der Gewindesteigung angeordnete Federstäbe mit kleinem Durchmesser die Federn 7a lagern. _K

Weiterhin senkrecht zur Ebene der Durchgangsbohrung und der Bohrungen für die Federn 7a befindet sich aittig eine durchgehende Freimachung, welche mit ihrer Ausdehnung für die Federn 7a die federnde Länge bestimmt. Wird die Federautter 7 niit dem Klemmengrundkörper 4 starr verbunden und ait gewissem Kraftaufwand an den in beiden Führungsbahnen 10a geführten Griffen 14 über die Spindel 8 geschoben, gleiten beide Federn 7a bei kurzzeitigein Einrasten in der Gewinderille über deren Gewinde. Ist die erste Reihe der abzulösenden Elemente 1a in gewünschter Nähe der Ablösekante 3a, wird die Krafteinwirkung an den Griffen 14 unterbrochen und der Antrieb 9 betätigt, wobei die Federn 7a kraftschlüssig in die Gewinderille eingreifen und die Federmutter 7 wie eine übliche Mutter funktioniert und den Klemmengrundkörper 4 bewegt und somit die Folie 1 weiterbewegt bis an der Äblösekante 3a die erste Reihe der abzulösenden Elemente 1a vollständig abgeschält ist und auf der Auflagefläche 3b aufliegt.

Die abgelösten Elemente 1b werden auf Güte unter dem Mikroskop untersucht, die verwendbaren Elemente entsprechend ihrer Lage innerhalb der abgelösten Reihe in die Aufnahmefächer 15a eingeordnet, wonach der gefüllte Magazinstreifen 15 an seinen 'Handhabeflächen 15b aufgenommen und durch je zwei Stifte 17 lagegesichert in die Palette 16 abgelegt wird. Reihe für Reihe werden alle verwendbaren abgelösten Elemente 1b von der auf der Folie 1 klebenden bzw. haftenden Scheibe auf diese Weise abgelöst, danach im Magazinstreifen 15 eingeordnet und in Paletten 16 abgelegt, wobei diese mit gefüllten Magazinstreifen 15 belegt übereinander gestapelt werden. Auf die oberste Palette 16 wird danach ein Deckel 18 aufgelegt und mittels der Klammer 19 zu einem in sich geschlossenen Magazin verbunden. Die o. g. Art und Weise der Magazinierung, beispielsweise von Transistor-Chips, ermöglicht auf einfachem Wege die Beibehaltung lokaler Formatio-, nen entsprechend den Verhältnissen der ursprünglichen Anordnung der Einzelchips auf einer vorher elektronisch ausgemessenen Scheibe innerhalb des Magazins. Deshalb sind Einzelchips eines bestimmten Distriktes der Scheibe leicht anhand der Lage innerhalb des Magazins wiedererkennbar. Nachdem die gefüllten Magazinstreifen 15 in die Palette 15 abgelegt sind, werden die auf

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der Auflagefläche 3b verbliebenen, nichtverwendbaren abgelösten Elemente 1b auf die leerstehende Schräge 3o bzw. Ablage 3d gebracht und durch Kippung des Ablösers 3 abgeschüttet· Danach wird der Ablöser 3 an die an der Kante 2b anliegende Folie 1 geklappt, womit die Vorrichtung mit einem leeren Magazinstreifen 15 in der Schräge 3c eingelegt zur Ablösung einer weiteren Reihe abzulösender Elemente 1a bereit ist.

Wenn eine Scheibe abzulösender Elemente 1a vollständig abgesammelt ist, wird der Ablöser 3 ϊώ die in der Pig· 1 dargestellten Lage gekippt und der Klemmengrundkorper 4 bis unter die Kante 2b bewegt, entweder durch den Schnellvortrieb durch Krafteinwirkung an den Griffen 14, wobei die Pedernmtter 7 über das Gewinde der Spindel 8 gleitet und die Spindel 8 durch das Gewinderohr 6 geführt wird oder durch Betätigung des Antriebes 9· Danach wird durch Linksdrehung der auf dem Gewinderohr beweglichen Kiemmutter 7 das Klemmgoch 5 vom Klemmengrundkörper 4 gelöst und somit die Folie 1 entklemmt. Die abgearbeitete Folie 1 kann danach entnommen und der Ablösevorgang wiederholt werden·

Claims (2)

1. Erfindungsanspruch

   1. Vorrichtung zum Ablösen von Halbleiter- oder Glasbauelementen unter Verwendung einer Auflageplatte für Folie und zwei zueinander justierten, parallel in bestimmtem Abstand gegenüberliegenden Kanten, gekennzeichnet dadurch, daß ein Klemmengrundkorper (4) und ein Klemmjoch (5) verwendet wird, wobei der Klemmengrundkorper (4) und/oder das Klemmjoch (5) einen elastischen Belag (4a) enthält, daß die Berührungsflächen dieser prismatisch, beispielsweise v- oder u-förmig, oder zylindrisch ausgebildet sind, daß der Klemmengrundkorper (4) gemeinsam mit dem Klemmjoch (5) unterhalb einer Platte (2) bewegbar ist und der Klemmengrundkörp'er (4) mit einem Gehemme, bestehend aus einer Federal utter (7) und Spindel (8) verbunden ist und daß die Spindel (8) von einem Antrieb (9) entweder von Hand oder rotatorischem Schrittmotor angetrieben wird, daß die aus ferromagnetischem Material bestehende Platte (2) eine zur Umlenkung speziell ausgebildete Kante (2b) aufweist, daß bei Verwendung von transparenter Folie (1) die Platte (2) zur Ausrichtung der Sägelinien, der als runde Scheibe vorliegenden abzulösenden Elemente (1a), beispielsweise Halbleiter-Chips, Ausrichtlinien (2a) aufweist und/oder daß bei Verwendung nichttransparenter Folie (1) ein Lineal (12) mit einer schneidenartigen Ausrichtkante (12a) aus nichttransparentem und/oder transparentem Material mit einer oder mehreren Strichmarken (12b) und Führungsschienen (13) zur Ausrichtung vorgesehen ist, daß zur Lagefixierung der ausgerichteten Folie (1) und zur Straffung der Folie (1) während des Ablösens der abzulösenden Elemente (1a) ein Foliehalter, bestehend aus einer Griffschiene (11) und einem Magneten (11a), verwendet wird, daß eine Schräge (3c) an einem an sich bekannten Kipphebel mit Ablösekante zur Aufnahme eines Magazinstreifens (15) sowie für aussortierte abgelöste Elemente (1b), beispielsweise Einzelchips, eine Ablage (3d) besitzt, daß der Magazinstreifen (15) Aufnahmefächer (15a) zur Aufnahme ausgewählter abgelöster Elemente (1b) enthält und an zwei Handhabeflächen

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   aufnehaibar und in einer Palette (16) ablegbar ist, daß die Palette (16) mehrere Stifte (17) zur Aufnahme einzelner Magazinstreifen (15) enthält, daß mehrere Paletten (16) mit gefüllten Magazinstreifen (15) "belegt, stapelbar sind, mit einem Deckel (18) verschließbar und mittels Klammer (19) arretierbar ein in sich geschlossenes Magazin darstellen·
2. 2. Vorrichtung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß anstelle des Spindelantriebes (7» 8, 9) ®in Zugmittelgetriebe, beispielsweise ein Zahnriemen- oder Seilgetriebe, ein gesteuerter Pneumatik- bzw. Hydraulikzylinder oder ein linearer Schrittmotor verwendet

   Hierzu 4- Seiten Zeichnungen