DE3421469A1

DE3421469A1 - Verfahren zum anbringen von klebeband auf duennen gegenstaenden

Info

Publication number: DE3421469A1
Application number: DE19843421469
Authority: DE
Inventors: Minoru Ametani; Keigo Funakoshi; Kozo Nomura; Kenji Ibaraki Osaka Ohnishi
Original assignee: Nitto Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1984-06-08
Filing date: 1984-06-08
Publication date: 1985-12-12
Also published as: DE3421469C2

Description

342H69

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Anbringen eines Klebefilms auf der Oberfläche eines dünnen und zerbrechlichen Gegenstandes von runder oder anderer Form, z.B. einer Siliziumscheibe, die als Substrat für eine integrierte Schaltungsanordnung bestimmt ist.

In den Fign. 8 und 9 ist eine Siliziumscheibe 1 als Beispiel eines Gegenstandes veranschaulicht/ auf dem ein Klebefilm 2 mittels einer an der Unterseite des Films befindlichen Klebstoff schicht 3 zum Anhaften gebracht ist. Die Siliziumscheibe 1 hat in Fig. 8 die Form eines Kreises, von dem ein Segment abgeschnitten ist. Die Siliziumscheibe kann aber beispielsweise auch dreieckig, quadratisch oder von anderer Polygonalform sein.

Beim Anbringen eines Klebefilms auf einem Gegenstand, wie einer Siliziumscheibe, war es allgemein üblich, einen breiten Klebefilm an dem Gegenstand zum Anhaften zu bringen und ein mit einer Schneidkante versehenes Werkzeug entlang dem Umfang des Gegenstandes zu bewegen, um den überschüssigen Teil des Klebefilmes entlang dem Umfang abzuschneiden. Dieses konventionelle Vorgehen läßt sich leicht automatisieren, wenn der Gegenstand kreisförmig ist, weil dann das Schneidwerkzeug nur konzentrisch mit Bezug auf den Gegenstand bewegt zu werden braucht. Es ist jedoch schwierig, den Schneidvorgang zu automatisieren, wenn der Gegenstand die Gestalt eines Kreises hat, der teilweise abgeschnitten ist (z.B. entsprechend Fig. 8), oder wenn der Gegenstand dreieckig, quadratisch oder in anderer Weise polygonförmig ist.

Die Rückseite einer Siliziumscheibe muß zuweilen geläppt werden, nachdem der Klebefilm an der anderen Seite aufgebracht ist. Bei diesem Läppvorgang wird ein Wasserstrahl eingesetzt/ mittels dessen ein von dem Umfang der Siliziumscheibe vorstehender Teil des Klebefilms hochgebogen werden und den Läppvorgang behindern könnte. Wenn dagegen der Klebefilm kleiner als die Siliziumscheibe ist und innerhalb des Umfangs der Siliziumscheibe liegt, kann ein über den Umfang des Klebefilms vorragender Teil der Siliziumscheibe von dem Wasserstrahl angehoben werden. Die Siliziumscheibe hätte eine ungenaue Dikke, wenn, sie unter diesen Bedingungen geläppt würde.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Anbringen eines Klebefilms auf einem dünnen Gegenstand zu schaffen, bei dem der Umfang des Klebefilms mit demjenigen des Gegenstandes ausgerichtet ist.

Das erfindungsgemäße Verfahren zum Anbringen eines Klebefilms auf der Oberfläche eines dünnen Gegenstandes ist dadurch gekennzeichnet, daß Klebefilme von vorbestimmter Form auf ein mit einem Trennmittel beschichtetes Band aufgebracht werden und die Klebefilme nacheinander von dem Band abgelöst sowie nacheinander gegen die Oberfläche der Gegenstände angedrückt werden, um sie dort zum Anhaften zu bringen.

Weil die Klebefilme zuvor auf eine exakte Form geschnitten und auf das Band in regelmäßigen Intervallen aufgebracht werden, und weil durch Abbiegen des Bandes oder Ansaugen jedes Klebefilms ein Klebefilm nach dem anderen von dem Band abgelöst wird, vermeidet das erfindungsgemäße Verfahren das Erfordernis, einen überschüssigen Teil der Klebefilme abzu-

schneiden, nachdem die Klebefilme an den Gegenständen zum Anhaften gebracht sind; die Mängel, die herkömmlicherweise bei dem Läppverfahren auftraten, werden ausgeräumt. Damit der Umfang des Klebefilmes mit demjenigen des Gegenstandes exakt übereinstimmt, braucht nur jeder Klebefilm genau zugeschnitten und exakt positioniert zu werden, wenn er auf dem Gegenstand angebracht wird.

Die Erfindung ist im folgenden anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Teilansicht ei

nes Bandes, das mehrere entsprechend dem Verfahren nach der Erfindung anzubringende Klebefilme trägt;

Fig. 2 einen lotrechten Frontschnitt einer

Ausführungsform einer Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach der Erfindung;

Fig. 3 eine Draufsicht auf die Vorrichtung

nach Fig. 2;

Fign. 4 und 5 in größerem Maßstab Teilfrontschnit

te der Vorrichtung gemäß Fig. 2;

Fig. 6 in größerem Maßstab eine Frontansicht

einer weiteren Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens;

Fig. 7 in größerem Maßstab eine lotrech

te Seitenansicht eines Teils der Vorrichtung nach Fig. 6;

Fig. 8 eine Draufsicht auf ein Ausfüh

rungsbeispiel eines Gegenstandes, auf den ein Klebefilm aufgebracht wurde; und

Fig. 9 in größerem Maßstab einen lotrech

ten. Schnitt durch einen Teil des Gegenstandes gemäß Fig. 8.

Ein Trennmittel wird auf die eine Seite eines in Fig. 1 dargestellten Bandes 11 aufgebracht, auf dem Klebefilme 12 in regelmäßigen Intervallen angeordnet sind. In das Band 11 können Positionierlöcher eingestanzt sein. Die Klebefilme 12 sind aus einem auf seiner einen Seite mit einer Klebstoffschicht versehenen Filmstreifen auf eine exakte Form geschnitten. Sie werden auf das Band 11 mit der Klebstoffschicht aufgelegt. Entsprechend einer abgewandelten Ausführungsform kann ein auf das Band 11 aufgebrachter Filmstreifen so geschnitten werden, daß nur die erforderlichen Teile in Form von Klebefilmen 12 verbleiben, während alle nicht notwendigen Teile beseitigt werden.

Die in den Fign. 2 und 3 veranschaulichte Vorrichtung zur Durchführung des vorliegenden Verfahrens ist versehen mit einem Maschinengestell 15, einem auf dem Maschinengestell 15 sitzenden Magazin 17 zur Aufnahme einer Mehrzahl von Gegenständen 16, beispielsweise Siliziumscheiben, die so gesta-

3A2H69

pelt sind, daß regelmäßige Abstände zwischen benachbarten Gegenständen verbleiben, einer mit einem endlosen Förderband ausgestatteten Abnahmeeinheit 19, einer mittels eines nichtveranschaulichten Motors angetriebenen Riemenscheibe 20 zum Antreiben des endlosen Förderbandes 18, einem unter dem Magazin 17 sitzenden Träger 21, der mittels einer Hubvorrichtung 22 entsprechend einer regelmäßigen Teilung abgesenkt werden kann, um dem endlosen Förderband 18 einen Gegenstand 16 nach dem anderen zuzuführen, einer seitlich mit Bezug auf das Maschinengestell 15 angeordneten Box 25 und zwei Spindeln 26, 27, die an der Seite der Box 25 angeordnet sind.

Das die Klebefilme 12 tragende Band 11 wird von der Spindel 26 abgewickelt, während das Band 11, nachdem die Klebefilme 12 abgelöst sind, auf der Spindel 27 aufgewickelt wird.

An der Box 25 befindet sich eine Führungsrolle 28; unter der Führungsrolle 28 sitzt eine Führung 29. Das von der Spindel 26 abgewickelte Band 11 läuft um die Führungsrolle 28 herum und wird an einer messerartigen Kante 30 der Führung 29 unter einem spitzen Winkel abgebogen. Dann läuft das Band 11 zwischen zwei Abnahmerollen 31 hindurch, um schließlich auf der Spindel 27 aufgewickelt zu werden.

Für die zwecks Ausrichtung mit einer Sehnenkante 14 versehenen Gegenstände 16 sind vor dem Magazin 17 nichtveranschaulichte Positioniermittel vorhanden, zu denen eine Mehrzahl von lotrechten rotierenden Stangen gehört. Auf diese Weise werden die Gegenstände so positioniert, daß ihre Sehnenkante 14 eine gewünschte Richtung einnimmt, beispielsweise nach vorne weist.

Eine Unterdruck-Saugeinheit 32, bei der es sich um einen in seiner Oberseite mit zahlreichen Sauglöchern versehenen Hohlkörper handelt, sitzt unter der Führung 29. Die Saugeinheit wird von einem Rahmen 50 (Fig. 7) aufgenommen, der an seiner Oberseite mit einer Ausnehmung versehen ist. Die Saugeinheit 32 ist über ein Ventil mit einer Vakuumpumpe verbunden.

Entsprechend den Fign. 4 und 5 befindet sich vor der Saugeinheit 32 ein Anschlag 33, der mittels eines Luftzylinders oder eines Elektromagneten angehoben und abgesenkt werden kann. Wenn sich der Anschlag 33.in seiner obersten Stellung befindet, wird das endlose Förderband 18 angetrieben, um einen Gegenstand 16 zu der Saugeinheit 32 zu bringen. Das Förderband 18 wird angehalten, wenn die Sehnenkante 14 des Gegenstands 16 gegen den Anschlag 33 trifft. Gleichzeitig beginnt die Saugeinheit 32, den Gegenstand 16 anzusaugen, um ihn in der betreffenden Position zu halten.

Wenn im Betrieb die Spindel 27 und die Abnahmerollen 31 angetrieben werden, wird auf das Band 11 Zug ausgeübt, und das Band wird mittels der Führung 29 unter einem spitzen Winkel abgebogen. Dabei wird der Klebefilm 12 von dem Band 11 teilweise abgelöst. Wenn die Sehnenkante 13 des Klebefilms 12 auf den Anschlag 33 trifft, kommt sie mit dem Sehnenkantenteil 14 des Gegenstands 16 in richtiger Ausrichtung in Kontakt.

Dann wird der Anschlag 33 abgesenkt, und die Saugeinheit 32 gibt den Gegenstand 16 frei. Weil auf das Band 11 weiterhin Zug ausgeübt wird, bewegt sich der Klebefilm 12 zusammen mit dem Gegenstand 16 vor. Die Kantenteile des Klebefilms 12 und des Gegenstandes 16 kommen zwischen zwei Abnahmerollen 35 zu

liegen, mittels deren der Klebefilm 12 und der Gegenstand 16 gegeneinander gedrückt und vorwärts bewegt werden, wobei der Klebefilm in korrekter Ausrichtung zum Anhaften an dem Gegenstand gebracht wird. Der mit dem Klebefilm versehene Gegenstand wird mittels eines Förderbandes 36 in ein Magazin 37 befördert.

Das Magazin 37, das ähnlich dem Magazin 17 ist, befindet sich über einem Träger 39, der mittels einer Hubvorrichtung 38 angehoben und abgesenkt werden kann. Der Träger 39 bewegt sich um einen Teilschritt jedesmal dann nach oben, wenn ein Gegenstand 16 mit aufgebrachtem Klebefilm 12 in das Magazin 37 gelangt.

Bei der in den Fign. 6 und 7 veranschaulichten abgewandelten Ausführungsform hat die Führung 29 eine geradlinige Oberseite, und der Klebefilm 12 wird mittels eines Saugkopfs 40 angesaugt und von dem Band 11 abgelöst. Der Saugkopf 40 wird von einem Rahmen 51 aufgenommen, der an seinem unteren Ende mit einer Ausnehmung versehen ist und der in eine dem Rahmen 50. gegenüberliegende Stellung gebracht werden kann. Der Saugkopf 40 läßt sich mittels einer Hubvorrichtung 42, beispielsweise in Form eines an der Unterseite eines Schlittens 41 angebrachten Luftzylinders oder Elektromagneten, anheben und absenken. Der Schlitten kann entlang einer Führungsschiene 43 mittels eines Luftzylinders oder einer Förderspindel vorbewegt und zurückbewegt werden. Bei dem Saugkopf 40 handelt es sich um einen Hohlkörper, der an seiner Unterseite mit zahlreichen Sauglöchern versehen ist und der mit einer Vakuumpumpe über ein Ventil in Verbindung steht.

Im Betrieb wird der Saugkopf 40 abgesenkt, bis er den Klebefilm 12 berührt, der auf dem sich auf der Führung 29 bewegenden Band 11 sitzt. Der Klebefilm 12 wird dann mittels des Saugkopfes 40 angesaugt und abgelöst. Während sich das Band 11 bewegt, bewegt sich auch der Schlitten 41 in Pfeilrichtung, während der Klebefilm 12 von dem Saugkopf 40 angesaugt wird. Das Band 11 läuft in Pfeilrichtung, während es auf der Spindel aufgewickelt wird.

Der Schlitten 41 hält an, wenn der den Klebefilm 12 ansaugende Saugkopf 40 über der Saugeinheit 32 zu stehen kommt. Zu diesem Zeitpunkt ist der Gegenstand 16 mittels des endlosen Förderbandes 18 bereits auf die Saugeinheit 32 befördert worden, und der Gegenstand wird dort durch die Saugkraft der Saugeinheit 32 festgehalten. Der Saugkopf 40 senkt sich dann in die in Fig. 6 strichpunktiert dargestellte Stellung ab, so daß der von dem Saugkopf 40 angesaugte Klebefilm 12 mittels seiner Klebstoffschicht zum Anhaften an dem Gegenstand 16 gebracht wird. Wenn dieses Verfahren durchgeführt wird, während aus dem Hohlraum, der von den zusammengebrachten Rahmen 50 und 51 gebildet wird, Luft abgesaugt wird, kann verläßlich verhindert werden, daß Luftblasen und Staub zwischen den Klebefilm 12 und den Gegenstand 16 gelangen.

Dann wird der von den aneinander anliegenden Rahmen 50 und 51 gebildete Hohlraum von dem betreffenden Unterdruck wieder auf Atmosphärendruck gebracht. Die Saugeinheit 32 hört auf, Saugkraft auf den Gegenstand 16 auszuüben. Der Saugkopf 40 wird dann etwas angehoben, während er den auf dem Gegenstand 16 anhaftenden Klebefilm 12 hält. Nachdem der Schlitten 41 so weit bewegt ist, daß er über dem Förderband 36 zu stehen kommt, wird der Saugkopf 40 abgesenkt, um den Gegenstand 16

342H69

auf das Förderband 36 aufzusetzen. Der Saugkopf hört dann
auf. Saugkraft auf den Gegenstand 16 auszuüben. Der Gegenstand 16 bleibt auf dem Förderband 36. Der Saugkopf 4 0
fährt hoch und kehrt zusammen mit dem Schlitten 41 in seine Ausgangsstellung zurück. Mit Ausnahme des in den Fign.
6 und-7 dargestellten Aufbaus entspricht diese Ausführungsform dem ersten Ausführungsbeispiel.

In den Zeichnungen ist der besseren Übersicht halber der
Klebefilm 12 kleiner als der Gegenstand 16 dargestellt.
Vorzugsweise stimmt jedoch die tatsächliche Größe des Klebefilms 12 mit derjenigen einer Siliziumscheibe im wesentlichen überein.

Claims

PATENTANWALT DlPL-ING. GERHARD SCHWAN ELFENSTRASSE 32 - D-8000 MÜNCHFN 83 342U69 Nitto Electric Industrial Co., Ltd. 1-2, Shimohozumi 1-chome, Ibaraki-shi, Osaka, Japan Verfahren zum Anbringen von Klebeband auf dünnen Gegenständen Patentansprüche

1. Verfahren zum Anbringen eines Klebefilms auf einem dünnen Gegenstand, z.B. einer Siliziumscheibe, dadurch gekennzeichnet, daß auf die erforderliche Form zugeschnittene Klebefilme in regelmäßigen Intervallen zum Anhaften auf einem Band gebracht werden, auf dessen eine Seite ein Trennmittel aufgebracht wird, die Klebefilme nacheinander von dem Band abgelöst werden, und die Klebefilme nacheinander zum Anhaften auf den Gegenständen gebracht werden, indem jeder Klebefilm gegen die Oberfläche des betreffenden Gegenstands angedrückt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Klebefilme von dem Band abgelöst wird, indem das Band bei auf der Oberseite des Bandes befindlichem Klebefilm unter einem spitzen Winkel abgebogen wird, während an dem Band gezogen wird, und daß der abgelöste Klebefilm an dem Gegenstand angebracht wird, indem er gegen den Gegenstand gepreßt wird.

FERNSPRECHER: 089/6012039 ■ TELEX= 522589 elpa i · KABEL: ELECTRICPATENT MÜNCHEN

342U69

3. Verfahren nach Anspruch T, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Klebefilme von dem Band abgelöst wird, indem durch. Unterdruck eine Saugkraft aufgebracht wird, und daß der abgelöste Klebefilm an dem Gegenstand angebracht wird, indem er gegen den Gegenstand gepreßt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Gegenstand durch Saugkraft in Position gehalten wird, während der abgelöste Klebefilm auf den Gegenstand aufgebracht wird.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Gegenstand durch Saugkraft in Position gehalten wird, während der abgelöste Klebefilm auf den Gegenstand aufgebracht und gegen ihn angepreßt wird.