DD218685A5

DD218685A5 - Duennschicht-feuchtesensor zur messung der absoluten feuchte und verfahren zu seiner herstellung

Info

Publication number: DD218685A5
Application number: DD84261823A
Authority: DD
Inventors: Wolfgang Woest; Rainer Silbermann; Frank Hegner
Original assignee: Endress Hauser Gmbh Co
Priority date: 1983-04-12
Filing date: 1984-04-10
Publication date: 1985-02-13
Also published as: FR2544498B1; ATA108684A; CH665484A5; FR2544498A1; SE8402031L; AT393741B; DE3313150C1; JPS6040944A; IT8467343A0; IT1180035B; SE450664B; US4530030A; GB2138946B; GB2138946A; GB8406976D0; JPH0517500B2; IT8467343A1; SE8402031D0; US4603455A; NL8401143A

Abstract

Ein Duennschicht-Feuchtesensor zur Messung der absoluten Feuchte mit einer Grundelektrode, einer feuchteempfindlichen dielektrischen Schicht und einer Deckelelektrode ist an der Stirnseite eines elektrisch isolierenden Durchfuehrungskoerpers in Duennschichttechnik gebildet. Die Anschlussleiter sind durch den Durchfuehrungskoerper hindurchgefuehrt und enden in Kontaktflaechen, die gemeinsam mit der Stirnflaeche des Durchfuehrungskoerpers plan geschliffen und poliert sind. Die die Elektroden bildenden Metallschichten werden, vorzugsweise mittels Lochmasken, beim Aufbringen so geformt, dass sie jeweils die Kontaktflaeche des zugehoerigen Anschlussleiters bedecken und mit diesem elektrisch verbunden werden. Der Durchfuehrungskoerper ist in eine Huelse aus einer hochlegierten Nickel-Molybdaen-Verbindung eingesetzt und mit dieser druckfest verbunden.

Description

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Dünnschicht-Feuchtesensor zur Messung der absoluten Feuchte und Verfahren zu seiner Herstellung '

Anwendungsgebiet der Erfindung -

Die Erfindung bezieht sich auf einen Dünnschicht-Feuchtesensor zur Messung der absoluten Feuchte mit einem Durchführungskörper, an dessen Stirnseite eine metallische Grundelektrode, eine feuchteempfindliche dielektrische Schicht und eine metallische Deckelektrode angeordnet sind, und mit wenigstens einem durch den Durchführungskörper hindurchgeführten Durchführungsleiter, der mit einer der beiden Elektroden elektrisch leitend verbunden ist.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen -

Bei einem bekannten Feuchtesensor ist der Durchführungskörper ein an der Stirnseite verschlossenes Aluminiumrohr, das zugleich die Grundelektrode des Feuchtesensors und den elektrischen Anschluß der Grundelektrode bildet. An der Stirnseite ist durch anodische Oxydation des Aluminiums eine Schicht aus porösem Aluminiumoxid gebildet, die das feuchteempfindliche Dielektrikum darstellt. Auf die Aluminiumoxidschicht ist eine Goldschicht aufgedampft, die so dünn ist, daß sie wasserdurchlässig ist. Der Verbindungsleiter zu dieser Goldschicht verläuft durch das Innere des Aluminiumrohres und-ist elektrisch isoliert durch dessen Stirnwand und durch die Aluminiumoxidschicht bis zu der Goldschicht hindurchgeführt. Dieser bekannte Feuchtesensor hat einen sehr robusten und druckfesten Aufbau. Er ist jedoch verhältnismäßig teuer, weil seine Herstellung eine mechanische Präzisionsbearbeitung erfordert. Außerdem besteht der große Nachteil, daß der Feuchtesensor im wesentlichen aus Aluminium besteht, und daß er hinsichtlich des Werkstoffes und der Gewährleistung der Flammendurchschlagssicherheit entlang seines Umfanges im eingebauten Zustand für den Einsatz in explosionsgefährdeten Zonen nur bedingt geeignet ist. Der ganze Durchführungskörper besteht aus Metall und bildet einen der Anschlußleiter. Deshalb weist der Feuchtesensor eine beträchtliche Kapazität gegen Masse auf, so daß er gegen äußere elektromagnetische Wechselfelder anfällig ist.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist es, die vorgenannten Nachteile zu vermeiden. '

Darlegung des Wesens der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Dünnschicht-Feuchtesensors zur Messung der absoluten Feuchte, der entlang seines Umfanges die beim Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen geforderte Durchschlagssicherheit gewährleistet, weitgehend auf die Verwendung von Aluminium verzichtet und deshalb zum Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen uneingeschränkt geeignet ist, der bei einfacher Herstellung einen sehr robusten und druckfesten Aufbau hat, dessen Kapazität gegen Masse gering ist und bei dem alle Anschlußleiter unabhängig von dem den Feuchtesensor tragenden Durchführungskörper nach außen geführt sind und nicht mit dem zu messenden Medium in Kontakt stehen.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der Durchführungskörper aus elektrisch isolierendem Material besteht, daß wenigstens zwei Durchführungsleiter im Abstand voneinander derart durch den Durchführungskörper hindurchgeführt sind, daß ihre stirnseitigen Kontaktflächen mit der Stirnfläche des Durchführungskörpers abschneiden, daß die Grundelektrode auf einen Teil der Stirnfläche des Durchführungskörpers so aufgebracht ist, daß sie die Kontaktfläche eines Durchführungsleiters bedeckt und mit diesem elektrisch leitend verbunden ist, daß die feuchteempfindliche dielektrische Schicht auf die Grundelektrode aufgebracht ist, und daß die Deckelektrode auf wenigstens einen Teil der feuchteempflichen Schicht und auf wenigstens einen Teil der von der Grundelektrode nicht bedeckten Stirnfläche des Durchführungskörpersso aufgebracht ist, daß sie die Kontaktfläche eines weiteren Durchführungsleiters bedeckt und mit diesem elektrisch leitend verbunden ist.

Die Durchführungsleiter sind mit dem Durchführungskörper hart verlötet. Die Stirnfläche des Durchführungskörpers ist mit

den Lötverbindungen plan geschliffen und poliert. .

Im Durchführungskörper für die Aufnahme jedes Durchführungsleiters ist eien Bohrung gebildet, die sich zur Stirnfläche des Durchführungskörpers hin erweitert. Die Erweiterungen der Bohrungen sind mit dem Hartlot gefüllt. Der Durchführungskörper ist ein Keramikformteil. Das Keramikformteil besteht aus Aluminiumoxid.

Der Durchführungskörper ist in die Öffnung einer Hülse eingesetzt und mit dieser druckfest verbunden. Die Hülse besteht aus einer hochlegierten Nickel-Molybdän-Verbindung. Die Grundelektrode und die Deckelektrode sind durch nach der Dünnschichttechnik aufgebrachte Metallschichten gebildet. Die Grundelektrode besteht aus Aluminium. Die feuchteempfindliche dielektrische Schicht ist eine durch anodische Oberflächenoxydation des Aluminiums als Dünnschicht ausgebildete poröse Aluminiumoxidschicht. Zwischen der Grundelektrode und der darunter befindlichen Kontaktfläche ist eine Diffusions-Sperrschicht angeordnet. Die Diffusions-Sperrschicht besteht aus Titan-Nitrid.

Auf dem über den Kontaktflächen des weiteren Durchführungsleiters liegenden Teil der Deckelektrode ist eine Metallschicht als Kontaktverstärkung angebracht.

Das Verfahren zum Herstellen eines Dünnschicht-Feutesensors zur Messung der absoluten Feuchte nach einem der vorhergehenden Punkte ist dadurch gekennzeichnet, daß in einem Durchführungskörper aus elektrisch isolierendem Material wenigstens zwei axiale Bohrungen im Abstand voneinander gebildet werden, die sich zur Stirnseite des Durchführungskörpers erweitern. In jeder Bohrung ist ein Durchführungsieiterso angeordnet, daß er in die Erweiterung ragt. Jeder Durchführungsleiter wird mittels Hartlot, das die Erweiterung ausfüllt, mit dem Durchführungskörper verbunden. Die Stirnfläche des Durchführungskörpers wird zusammen mit dem in jeder Erweiterung befindlichen Hartlot plan geschliffen und poliert. Auf einen Teil der Stirnfläche wird eine die Grundelektrode bildende Metallschicht so aufgebracht, daß sie mit dem in einer Erweiterung befindlichen Hartlot elektrisch leitend verbunden wird und das in einer anderen Erweiterung befindliche Hartlot nicht bedeckt. Auf der Metallschicht wird eine feuchteempfindliche dielektrische Schicht gebildet. Eine die Deckelektrode bildende weitere Metallschicht wird auf den von der Grundelektrode nicht bedeckten Teil der Stirnfläche und auf wenigstens einen Teil derfeuchteempflindlichen Schicht so aufgebracht, daß sie mit dem in der anderen Erweiterung befindlichen Hartlot elektrisch leitend verbunden wird.

Vor dem Aufbringen der die Goldelektrode bildenden Metallschicht wird eine Diffusions-Sperrschicht aufgebracht.

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Wenigstens auf einen Teil der die Deckelektrode bildenden Metallschicht wird eine weitere Metallschicht als Kontaktverstärkung aufgebracht. Die Schichten des feuchteempfindlichen Systems werden nach Verfahren der Dünnschichttechnik hergestellt. Die Metallschichten werden durch Katodenzerstäubung (Sputtern) aufgebracht oder aufgedampft. Die Formgebung der Metallschichten erfolgt beim Aufbringen durch Lochmasken. Die die Grundelektrode bildende Metallschicht wird aus Aluminium hergestellt. Die feuchteempfindliche dielektrische Schicht wird durch anodische Oxydation der Oberfläche der Aluminiumschicht erzeugt. . ,

Ein besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Feuchtesensors besteht darin, daß das feuchteempfindliche System einschließlich der Grundelektrode in der bekannten Dünnschichttechnik an der Stirnfläche des Durchführungskörpers gebildet werden kann, wobei die Kontaktierung der beiden Elektroden beim Aufbringen der dünnen Metallschichten selbsttätig erfolgt. Die Herstellung ist daher sehr einfach und erfordert keine mechanische Präzisionsbearbeitung. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß keine organischen Stoffe, wie Klebemittel, Lacke usw., verwendet werden, wodurch Feuchtespeicher vermieden werden und der Feuchtesensor weitgehend beständig gegenüber organischen Lösungsmitteln ist, so daß die Funktionssicherheit wesentlich verbessert ist.

Es hat sich überraschenderweise herausgestellt, daß der erfindungsgemäße Dünnschicht-Feuchtesensor auch bei verhältnismäßig großer Dicke der feuchteempfindlichen Schicht, die 0,0006mm und mehr betragen kann, temperaturunabhängig arbeitet und folglich die Messung der absoluten Feuchte ermöglicht.

Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des Dünnschicht-Feuchtesensors nach der Erfindung besteht darin, daß der Durchführungskörper in eine Hülse,aus einer hochlegierten Nickel-Molybdän-Verbindung, z. B. HastelloyiC. eingesetzt und mit dieser druckfest verbunden ist. Diese Ausführungsform erfüllt in besonders guter Weise die Anforderungen, die beim Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen gestellt werden.

Ausführungsbeispiel

Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels

anhand der Zeichnung. In der Zeichnung zeigen: ,

Fig. 1: eine perspektivische Schnittansicht eines Feuchtesensors nach der Erfindung; Fig. 2: einen Querschnitt durch den oberen Teil des Durchführungskörpers und die darauf angebrachten Metallschichten und Fig.3: eine Draufsicht auf den Feuchtesensor von Fig.2.

Der in der Zeichnung dargestellte Feuchtesensor 10 ist in Dünnschichttechnik an der Stirnseite einer druckfesteh Durchführung 12 gebildet.

Die Durchführung 12 besteht aus einem zylindrischen Durchführungskörper 14 aus Isoliermaterial, der in eine Hülse 16 aus einem geeigneten Metall eingesetzt und mit dieser Hülse druckfest verbunden ist, beispielsweise durch eine ¹ Hartlötverbindung 17. Der Durchführungskörper 14 kann ein Keramikformteil sein, beispielsweise aus Aluminiumoxid. Die Hülse 16 besteht vorzugsweise aus einer hochlegierten Nickel-Molybdän-Verbindung, z.B. aus Hastelloy C, und sie kann vernickelt sein. Als Hartlot für die Verbindung 17 zwischen dem Durchführungskörper 14 und der Hülse 16 kann Silberkupfer-Eutektikum verwendet werden.

Der elektrische Anschluß des Feuchtesensors 10 erfolgt über Durchführungsleiter 18; 20, die durch den Durchführungskörper Ί 4 druckfest hindurchgeführt sind. Die Durchführungsleiter 18; 20 sind beispielsweise Stifte aus Kovar.

Der Aufbau des Feuchtesensors 10 wird am besten aus der folgenden Schilderung eines bevorzugten Hersteilungsverfahrens verständlich. .

Das den Durchführungskörper 14 bildende Keramikformteil weist zwei axiale Bohrungen 22; 24 auf (Fig.2), die am stirnseitigen Ende in eine konische Erweiterung 26 bzw. 28 übergehen. Die Durchführungsleiter (Kovarstifte) 18; 20 werden in die Bohrungen 22; 24 so eingeführt, daß sie bis in die konischen Erweiterungen 26; 28 ragen, und sie werden mittels Hartlot 30; 32, das auch die konischen Erweiterungen 26; 28 ausfüllt, druckfest mit dem Durchführungskörper 14 verbunden. Als Hartlot kann wiederum Silberküpfer-Eutektikum verwendet werden. Nach dem Einlöten der Durchführungsleiter 18; 20 wird die . Stirnfläche 34 des Durchführungskörpers 14 zusammen mit den stirnseitigen Lötstellen plan geschliffen und poliert. Das in den konischen Erweiterungen 26; 28 befindliche Hartlot 30; 32 bildet dann stirnseitige Kontaktflächen 36 bzw. 38, die in einer Ebene mit eier Stirnfläche 34 des Durchführungskörpers 14 liegen.

Als nächstes wird auf einen Teil der Stirnfläche 34 des Durchführungskörpers 14 eine dünne Aluminiumschicht 40 so aufgebracht, daß sie die Kontaktfläche 36 bedeckt, jedoch die Kontaktfläche 38 frei läßt. Bei dem dargestellten Äüsführungsbeispiel ist die Aluminiumschicht 40 halbkreisförmig. Das Aufbringen der Aluminiumschicht 40 erfolgt nach einem der bekannten Verfahren der Dünnschichttechnik, beispielsweise durch Katodenzerstäuben (Sputtern) oder Aufdampfen. Die Aluminiumschicht hat eine Dicke von mehr als t/xm, und das Aufbringen erfolgt so, daß eine elektrisch gut leitende Verbindung zwischen der Aluminiumscnicht 40 und der Kontaktfläche 36 erzielt wird. Auf diese Weise ist die Aluminiumschicht 40 galvanisch mit dem Durchführungsleiter 18 verbunden. · -

Es ist vorteilhaft, zwischen der Kontaktfläche 36 und der Aluminiumschicht 40 eine Diffusions-Sperrschicht aus Titan-Nitrid 'oder einem anderen geeigneten Material anzuordnen. Diese Sperrschicht verhindert die Diffusion von Kupfer- und Silberatomen aus dem Hartlot 30 in das Aluminium der Aluminiumschicht 40. Eine derartige Verunreinigung könnte sich beim.anschließenden Anodisierprozeß störend auswirken. Das Aufbringen der Sperrschicht (die in der Zeichnung nicht dargestellt ist) kann ebenfalls nach einem der bekannten Verfahren der Dünnschichttechnik erfolgen, natürlich in einem dem Aufbringen der Aluminiumschicht 40 vorangehenden Arbeitsschritt.

Die Formgebung der Aluminiumschicht 40 und, falls vorhanden, der Sperrschicht kann mit Hilfe einer Lochmaske erfolgen. Dies bedeutet gegenüber der in der Dünnschichttechnik sonst üblichen Formgebung auf photolithographischem Wege eine erhebliche Zeit- und Kostenersparnis. .

Nach der Bildung der Aluminiumschicht 40 wird auf ihrer Oberfläche durch anodische Oxydation eine Schicht 42 von 0,0006 mm Dicke aus porösem Aluminiumoxid erzeugt, das die Aluminiumschicht 40 allseitig umhüllt. Hierfür ist es insbesondere erforderlich, daß die Stirnfläche 34 und die Kontaktfläche 36 plan und eben sind und eine äußerst geringe Rauhigkeit , ι

aufweisen.

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Als nächstes wird eine dünne, wasserdampfdurchlässige Metallschicht 44 so aufgebracht, daß sie die Aiuminiumschicht 40 und die darauf gebildete Aluminiumoxidschicht 42 teilweise überlappt und im übrigen so auf der Stirnfläche 34 des Durchführungskörpers 14 aufliegt, daß sie die frei gelassene Kontaktfläche 38 bedeckt. Die Metallschicht 44 kann aus Gold, Nickel, Chrom oder einem ähnlichen Metall oder auch aus mehreren aufeinanderliegenden Schichten verschiedener Metalle bestehen. Sie wird ebenfalls nach einem der üblichen Verfahren der Dünnschichttechnik aufgebracht, vorzugsweise unter Verwendung einer Lochmaske, wobei wieder darauf zu achten ist, daß eine elektrisch gut leitende Verbindung zwischen de^r Metallschicht 44 und der Kontaktfläche 38 erzielt wird.

Als letztes wird auf den über der Kontaktfläche 38 liegenden Teil der Metallschicht 44 eine Kontaktverstärkungsschicht 46 aufgebracht, die vorzugsweise aus Gold besteht und einen guten elektrischen Kontakt zwischen der Metallschicht 44 und der Kontaktfläche 38 sicherstellt.

Die Aluminiumschich't 40 bildet die Grundelektrode und die Metallschicht 44 die Deckelektrode eines Kondensators, dessen Dielektrikum durch die poröse Aluminiumoxidschicht 42 gebildet ist. Das poröse Aluminiumoxid ist das eigentliche . feuchtigkeitsempfindliche Element des Absolut-Feuchtesensors, da es Wasserdampf aus der Umgebung adsorbiert bzw. an die Umgebung abgibt. Die Impedanz des Kondensators ist von dem Wasserdampfgehalt der Aluminiumoxidschicht 42 abhängig und daher ein Maß für den Wasserdampfgehalt des umgebenden Gases.

Die Hülse 16 wird druckdicht in die Öffnung eines nicht dargestellten Einschraubstückes eingebracht und mit diesem verschweißt. Bei Verwendung des Absolut-Feuchtesensors wird dann das Einschraubstück mittels seines Gewindes in die Wand eines Behälters, Rohres oder sonstigen Raumes eingeschraubt, in dem sich das Medium befindet, dessen Feuchtigkeit gemessen werden soll. Die elektrischen Anschlüsse des den Feuchtesensor bildenden Kondensators sind dann durch den Durchführungskörper 14, mit dem sie druckfest verbunden sind, nach außen geführt, so daß sie mit dem Meßmedium nicht in Berührung kommen. Dem Meßmedium sind nur die in Dünnschichttechnik an der Stirnfläche 34 des Durchführungskörpers gebildeten Bestandteile des Feuchtesensors ausgesetzt. Dadurch sind alle Ursachen für Meßfehler weitgehend beseitigt. Es gibt im Meßraum keine Ecken und Spalten und kein organisches Material, wie Klebestellen, die als Feuchtespeicher wirken und die Messung verfälschen könnten. Die Kapazität des Feuchtesensors gegen Masse und damit die Anfälligkeit gegen äußere elektromagnetische Wechselfelder ist gering. Da die Anschlußleiter nicht mit dem Meßmedium in Berührung kommen, besteht keine Gefahr von Parallelwiderständen, die die hochohmige Messung beeinflussen könnten. Der Aufbau des Feuchtesensors ist äußerst stabil und druckfest, so daß es sich insbesondere für die Verwendung unter extremen Druckbedingungen oder in explosionsgefährdeten Bereichen eignet. Die Herstellung kann ohne mechanische Präzisionsbearbeitung unter Anwendung der herkömmlichen Dünnschichttechnik erfolgen und weitgehend automatisiert werden. Der erfindungsgemäße Feuchtesensor kann natürlich unter Einbeziehung einer Temperaturmessung auch für die Messung der relativen Feuchte angewendet werden. ι

Claims

1. Dünnschicht-Feuchtesensor zur Messung der absoluten Feuchte mit einem Durchführungskörper, an dessen Stirnseite einemetallische Grundeiektrode, eine feuchteempfindliche dielektrische Schicht und eine metallische Deckelektrode angeordnet sind, und mit wenigstens einem durch den Durchführungskörper hindurchgeführten Durchführungsleiter, der mit einer der beiden Elektroden elektrisch leitend verbunden ist, gekennzeichnet dadurch, daß der Durchführungskörper (14) aus elektrisch isolierendem Material besteht, daß wenigstens zwei Durchführungsleiter (18; 20) im Abstand voneinander derart durch den Durchführungskörper (14) hindurchgeführt sind, daß ihre stirnseitigen Kontaktflächen (36; 38) mit der Stirnfläche (34) des Durchführungskörpers (14) abschneiden, daß die Grundelektrode (40) auf einen Teil der Stirnfläche (34) des Durchführungskörpers (14) so aufgebracht ist, daß sie die Kontaktfläche (36) eines Durchführungsleiters (18) bedeckt und mit diesem elektrisch leitend verbunden ist, daß die feuchteempfindliche dielektrische Schicht (42) auf die \ Gründelektrode (40) aufgebracht ist, und daß die Deckelektrode (44) auf wenigstens einen Teil der feuchteempfindlichen Schicht (42) und auf wenigstens einen Teil der von der Grundelektrode (40) nicht bedeckten Stirnfläche (34) des Durchführüngskörpers (14) so aufgebracht ist, daß sie die Kontaktfläche (38) eines weiteren Durchführungsleiters (20) bedeckt und mit diesem elektrisch leitend verbunden ist.

2. Feuchtesensor nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Durchführungsleiter (18; 20) mit dem Durchführungskörper. (14) hart verlötet sind, und daß die Stirnfläche (34) des Durchführungskörpers mit den Lötverbindungen (30; 32) plan geschliffen und poliert ist.

3. Feuchtesensor nach Punkt'2, gekennzeichnet dadurch, daß im Durchführungskörper (14) für die Aufnahme jedes Durchführungsleiters (18; 20) eine Bohrung (22; 24) gebildet ist, die sich zur Stirnfläche (34) des Durchführungskörpers (14) hin erweitert, und daß die Erweiterungen (26; 28) der Bohrungen (22; 24) mit dem Hartlot (30; 32) gefüllt sind.

4. Feuchtesensor nach einem der Punkte 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, daß der Durchführungskörper (.14) ein /_v Keramikformteil ist.

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Erfindungsansprüche:) ' -

5. Feuchtesensor nach Punkt 4, gekennzeichnet dadurch, daß daß Keramikformteil (14) aus Aluminiumoxid besteht.

6. Feuchtesensor nach einem der Punkte 1 bis 5, gekennzeichnet dadurch, daß der Durchführungskörper (14) in die Öffnung einer Hülse (16) eingesetzt und mit dieserdruckfest verbunden ist.

7. Feuchtesensor nach Punkt 6, gekennzeichnet dadurch, daß die Hülse (16) aus einer hochlegierten Nickel-Molybdän-Verbindung besteht.

8. Feuchtesensor nach einem der vorhergehenden Punkte, gekennzeichnet dadurch, daß die Grundeiektrode (40) und die Deckelektrode (44) durch nach der Dünnschichttechnik aufgebrachte Metallschichten gebildet sind.

9. Feuchtesensor nach einem der vorhergehenden Punkte, gekennzeichnet dadurch, daß die Grundelektrode (40) aus Aluminium besteht, und daß die feuchteempfindliche dielektrische Schicht (42) eine durch anodische Oberflächenoxydation des Aluminiums als Dünnschicht ausgebildete poröse Aluminiumoxidschicht ist.

10. Feuchtesensornach einem der vorhergehenden Punkte, gekennzeichnet dadurch, daß die feuchteempfindliche dielektrische Schicht (42) eine Schichtdicke von etwa 0,0006mm besitzt.

11. Feuchtesensor nach den Punkten 9 oder 10, gekennzeichnet dadurch, daß zwischen der Grundelektrode (40) und der darunter befindlichen Kontaktfläche (36) eine Diffusions-Sperrschicht angeordnet ist. „

12. Feuchtesensor nach Punkt 11, gekennzeichnet dadurch, daß die Diffusions-Sperrschicht aus Titan-Nitrid besteht.

13. Feuchtesensor nach einem der vorhergehenden Punkte, gekennzeichnet dadurch, daß auf dem über der Kontaktfläche (38) des weiteren Durchführungsleiters (20) liegenden Teil der Deckelektrode (44) eine Metallschicht (46) als Kontaktverstärkung angebracht ist.

14. Verfahren zum Herstellen eines Dünnscfiicht-Feuchtesensors zur Messung der absoluten Feuchte nach einem der vorhergehenden Punkte, gekennzeichnet dadurch, daß in einem Durchführungskörper (14) aus elektrisch isolierendem Material wenigstens zwei axiale Bohrungen (22; 24) im Abstand voneinander gebildet werden, die sich zur Stirnseite des Durchführungskörpers (14) erweitern, daß in jeder Bohrung ein Durchführungsleiter (18; 20) so angeordnet ist, daß er in die Erweiterung (26; 28) ragt, daß jeder Durchführungsleiter (18; 20) mittels Hartlot (30; 32), das die Erweiterung (26; 28) , ausfüllt, mit dem Durchführungskörper (14) verbunden wird, daß die Stirnfläche (34) des Durchführungskörpers (14) zusammen mit dem in jeder Erweiterung (26; 28) befindlichen Hartlot (30; 32) plan geschliffen und poliert wird, daß auf einen Teil der Stirnfläche (34) eine die Grundeiektrode (40) bildende Metallschicht so aufgebracht wird, daß sie mit dem in einer Erweiterung (26) befindlichen Hartlot (30) elektrisch leitend verbunden wird und das in einer anderen Erweiterung (28) befindliche Hartlot (32) nicht bedeckt, daß auf der Metallschicht (40) eine feuchteempfindliche dielektrische Schicht (42) gebildet wird, und daß eine die Deckelektrode (44) bildende weitere Metallschicht auf den von der Grundeiektrode (40) nicht bedeckten Teil der Stirnfläche (34) und auf wenigstens einen Teil derfeuchteempfindlichen Schicht (42) so aufgebracht wird, daß sie mit dem in der anderen Erweiterung (28) befindlichen Hartlot (32) elektrisch leitend verbunden wird.

15. Verfahren nach Punkt 14, gekennzeichnet dadurch, daß vor dem Aufbringen der die Grundelektrode (40) bildenden Metallschicht eine Diffusions-Sperrschicht aufgebracht wird. ,

.16. Verfahren nach den Punkten 14 oder 15, gekennzeichnet dadurch, daß wenigstens auf einen Teil der die Deckelektrode (44) bildenden Metallschicht eine weitere Metallschicht (46) als Kontaktverstärkung aufgebracht wird.

17. Verfahren nach einem der Punkte 14 bis 16, gekennzeichnet dadurch, daß die Schichten (40; 42; 44; 46) des feuchteempfindlichen Systems nach Verfahren der Dünnschichttechnik hergestellt werden.

18. Verfahren nach Punkt 17, gekennzeichnet dadurch, daß die Metallschichten (40; 44; 46) durch Katodenzerstäubung (Sputtern) aufgebracht werden.

19. Verfahren nach Punkt 17, gekennzeichnet dadurch, daß die Metallschichten (40; 44; 46) aufgedampft werden.

20. Verfahren nach einem der Punkte 17 bis 19, gekennzeichnet dadurch, daß die Formgebung der Metallschichten (40; 44; 46) beim Aufbringen durch Lochmasken erfolgt. ;

21. Verfahren nach einem der Punkte 14 bis 20, gekennzeichnet dadurch, daß die die Grundeiektrode (40) bildende Metallschicht aus Aluminium hergestellt wird, und daß die feuchteempfindliche dielektrische Schicht (42) durch anodische Oxydation der Oberfläche der Aluminiumschicht (40) erzeugt wird. -.

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