JPS6040944A - 爆発の危険のある領域における絶対湿度を測定するための薄膜湿度センサ - Google Patents
爆発の危険のある領域における絶対湿度を測定するための薄膜湿度センサInfo
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- JPS6040944A JPS6040944A JP59071935A JP7193584A JPS6040944A JP S6040944 A JPS6040944 A JP S6040944A JP 59071935 A JP59071935 A JP 59071935A JP 7193584 A JP7193584 A JP 7193584A JP S6040944 A JPS6040944 A JP S6040944A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、金属ベース電極、感湿性の誘電膜および金属
被薇電極がその端面に配置されたブッシングブロック、
および、このブッシングブロックを貫通し、これら２つ
の電極の１方に導電性に接続された最低１つのＩＪ −
ＩＦ線を有する、絶対湿度を測定するための薄膜湿度セ
ンサおよびその製造法に関する。
被薇電極がその端面に配置されたブッシングブロック、
および、このブッシングブロックを貫通し、これら２つ
の電極の１方に導電性に接続された最低１つのＩＪ −
ＩＦ線を有する、絶対湿度を測定するための薄膜湿度セ
ンサおよびその製造法に関する。
公知の湿度センサの場合、ブッシングブロックが端面の
密閉されたアルミニウム管でアリ、これが同時に湿度セ
ンサのベース電極および、このベース電極の電気的接続
を形成する。端面に、アルミニウムを陽極酸化すること
により多孔質の酸化アルミニウムより成る薄膜が形成さ
れ、この薄膜が感湿性の誘電体をなす。この酸化アルミ
ニウム膜へ、透水性である程度に薄い金薄膜が蒸着され
る。この金薄膜までの接続線が、アルミニウム管の内部
を経て延びかつその端壁を経て電気的に絶縁されかつ酸
化アルミニウム膜を金薄膜まで貫通する。
密閉されたアルミニウム管でアリ、これが同時に湿度セ
ンサのベース電極および、このベース電極の電気的接続
を形成する。端面に、アルミニウムを陽極酸化すること
により多孔質の酸化アルミニウムより成る薄膜が形成さ
れ、この薄膜が感湿性の誘電体をなす。この酸化アルミ
ニウム膜へ、透水性である程度に薄い金薄膜が蒸着され
る。この金薄膜までの接続線が、アルミニウム管の内部
を経て延びかつその端壁を経て電気的に絶縁されかつ酸
化アルミニウム膜を金薄膜まで貫通する。
この公知の湿度センサは、極めて強固かつ耐圧性の構造
を有する。しかしながらこのものは、その製造が機械的
な精密加工を必要とするので比較的高価である。さらに
、この湿度センサは大体においてアルミニウムより成り
、かつこれが、４Ｊ質の点、および取イ」けられた状態
でその外周に沿い透失安全性を保証する点で、爆発の惧
れある領域で使用するには条件付きで適当であるにすぎ
ないという大きい欠点がある。ブッシングブロック全体
が、金属より成りかつ１方の接続線を形成する。従って
、この湿度センサは著るしい対地容量を有し、従ってこ
れは外的な交番電磁界に対し鋭敏である。
を有する。しかしながらこのものは、その製造が機械的
な精密加工を必要とするので比較的高価である。さらに
、この湿度センサは大体においてアルミニウムより成り
、かつこれが、４Ｊ質の点、および取イ」けられた状態
でその外周に沿い透失安全性を保証する点で、爆発の惧
れある領域で使用するには条件付きで適当であるにすぎ
ないという大きい欠点がある。ブッシングブロック全体
が、金属より成りかつ１方の接続線を形成する。従って
、この湿度センサは著るしい対地容量を有し、従ってこ
れは外的な交番電磁界に対し鋭敏である。
本発明の課題は、その外周に沿い、爆発の惧れある領域
で使用する場合に所要の透失安全性を保証し、十分にア
ルミニウムの使用をなくしかつ従って爆発の惧れある領
域で使用するのに適当であり、簡単な製造で強固かつ耐
圧性で対地容量のわずかな構造を有し、かつこの構造で
ＩＪ−１’ｉ全体が、この湿度センサを支持するシツシ
ングブロックと無関係に外方へ導かれ、かつ測定すべき
媒体と接触することのない、絶対湿度測定用の薄膜湿度
センサをつくり出すことである。
で使用する場合に所要の透失安全性を保証し、十分にア
ルミニウムの使用をなくしかつ従って爆発の惧れある領
域で使用するのに適当であり、簡単な製造で強固かつ耐
圧性で対地容量のわずかな構造を有し、かつこの構造で
ＩＪ−１’ｉ全体が、この湿度センサを支持するシツシ
ングブロックと無関係に外方へ導かれ、かつ測定すべき
媒体と接触することのない、絶対湿度測定用の薄膜湿度
センサをつくり出すことである。
本発明によれば、この課題が、ブッシングブロックが電
気絶縁相打より成り、最低２つのリード線が、相互に距
離をおいて、それらの端面（ＩＩ ｉｆ触面がブッシン
グブロックの端面と同一平面にあるようにブッシングブ
ロックを貫通し、ベース電極が、ブッシングブロックの
端面の１部分に、１方のリード線の接触面を被覆しかつ
このり一１線と導電性に接続するように施こされ、感湿
性の誘電膜がベース電極へ施こされ、かつ、被覆電極が
、この感湿膜の最低１部分および、４−ス醒極により被
覆されざるブッシングブロックの端面の最低１部分に、
もう１つのリード線の接触面を被覆しかつこのＩＪ−１
’線と導電性に接続するように施こされることにより解
決される。
気絶縁相打より成り、最低２つのリード線が、相互に距
離をおいて、それらの端面（ＩＩ ｉｆ触面がブッシン
グブロックの端面と同一平面にあるようにブッシングブ
ロックを貫通し、ベース電極が、ブッシングブロックの
端面の１部分に、１方のリード線の接触面を被覆しかつ
このり一１線と導電性に接続するように施こされ、感湿
性の誘電膜がベース電極へ施こされ、かつ、被覆電極が
、この感湿膜の最低１部分および、４−ス醒極により被
覆されざるブッシングブロックの端面の最低１部分に、
もう１つのリード線の接触面を被覆しかつこのＩＪ−１
’線と導電性に接続するように施こされることにより解
決される。
本発明による湿度センサの特別な利点は、この感湿装置
が、ベース電極を含め公知の薄膜技術でブッシングブロ
ックの端面に形成されることができ、その場合２つの電
極の接触が薄い金属膜を施こす際に自動的に行なわれる
ことである。従って、製造が極めて簡単でありかつ機械
的な精密加工を必要としない。もう１つの利点は、接着
剤、塗料等のような有機物質が使用されず、それにより
湿気貯蔵が回避されかつ湿度センサが有機溶剤に対し十
分安定であり、その結果機能安定性が著るしく改善され
ることである。
が、ベース電極を含め公知の薄膜技術でブッシングブロ
ックの端面に形成されることができ、その場合２つの電
極の接触が薄い金属膜を施こす際に自動的に行なわれる
ことである。従って、製造が極めて簡単でありかつ機械
的な精密加工を必要としない。もう１つの利点は、接着
剤、塗料等のような有機物質が使用されず、それにより
湿気貯蔵が回避されかつ湿度センサが有機溶剤に対し十
分安定であり、その結果機能安定性が著るしく改善され
ることである。
意外にも、本発明による薄膜湿度センサは、０．０００
６ ｍｒｎおよびそれ以上であることのある比較的大き
い厚さの感湿膜の場合でも温度と無関係に作動しかつそ
の結果絶対湿度の測定を可能にすると判明した。
６ ｍｒｎおよびそれ以上であることのある比較的大き
い厚さの感湿膜の場合でも温度と無関係に作動しかつそ
の結果絶対湿度の測定を可能にすると判明した。
本発明による薄膜湿度センサの殊に有利な実１（Ｍ 例
は、ブッシングブロックが、高合金のニッケルーモリブ
デン化合物、例えば〕・ステロイＣ（Ｈａｓｔｅｌｌｏ
ｙ Ｏ）より成るスリーブ中へ挿入されかつこれと耐圧
性に結合されていることである。殊に有利に、この実施
例が、爆発の惧れある領域で使用する際に課せられる要
求性能を満たす。
は、ブッシングブロックが、高合金のニッケルーモリブ
デン化合物、例えば〕・ステロイＣ（Ｈａｓｔｅｌｌｏ
ｙ Ｏ）より成るスリーブ中へ挿入されかつこれと耐圧
性に結合されていることである。殊に有利に、この実施
例が、爆発の惧れある領域で使用する際に課せられる要
求性能を満たす。
本発明による湿度センサを有利に発展させた他の実施例
を他の従属請求項に、並びにその有利な製造法を特許請
求の範囲第１４項およびその従属請求項に示す。
を他の従属請求項に、並びにその有利な製造法を特許請
求の範囲第１４項およびその従属請求項に示す。
以下に、本発明を図面実施例につき詳説する。
図面に示した湿度センサ１０は、薄膜技術で耐圧性ブッ
シング１２の端面に形成されている。
シング１２の端面に形成されている。
ブッシング１２は、絶縁材料より成る円筒形のシツシン
グブロック１４が、適当な金属より成るスリーブ１６中
へ挿入されかつこのスリーブＧこ、例えば硬ろう接合１
７により耐圧性に結合されて成る。ブッシングブロック
】４は、例えば酸化アルミニウムより成るセラミック成
形体であることができる。有利に、スリーブ１６ハ、高
合金のニッケルーモリブデン化合物、例えばハステロイ
Ｃより成りかつニッケルメッキされていることができる
。ブッシングブロック１４およびスリーブ１６間を接合
１７するための硬ろうとして、銀銅共融混合物が使用さ
れることができる。
グブロック１４が、適当な金属より成るスリーブ１６中
へ挿入されかつこのスリーブＧこ、例えば硬ろう接合１
７により耐圧性に結合されて成る。ブッシングブロック
】４は、例えば酸化アルミニウムより成るセラミック成
形体であることができる。有利に、スリーブ１６ハ、高
合金のニッケルーモリブデン化合物、例えばハステロイ
Ｃより成りかつニッケルメッキされていることができる
。ブッシングブロック１４およびスリーブ１６間を接合
１７するための硬ろうとして、銀銅共融混合物が使用さ
れることができる。
湿度センサ１０の電気的接続は、ブッシングブロック１
４を耐圧性に貫通するリード線１８．２０を経て行なわ
れる。リード線１８．２０は、例えばコパール（Ｋｏｖ
ａｒ ）より成る口・ンド、である。
４を耐圧性に貫通するリード線１８．２０を経て行なわ
れる。リード線１８．２０は、例えばコパール（Ｋｏｖ
ａｒ ）より成る口・ンド、である。
湿度センサ１０の構造を、以下の有利な製造法につき詳
述する。
述する。
ブッシングブロック１４を形成するセラミック成形体は
２つの軸方向穿孔２２．２４を有し、これら穿孔が端面
側終端部で円錐形の拡大部２６ないしは２８へ移行する
（第２図）。１」−ド線（コパールロツド）１８．２０
を、これら穿孔２２．２４中へ、円錐形拡大部２６ 、
２８中にまで突出するように導入し、かつこれらを、円
ｃＩＦ形拡大部２６．２８をも充填する硬ろつ３０．３
２によりブッシングブロック１４に耐圧性に結合する。
２つの軸方向穿孔２２．２４を有し、これら穿孔が端面
側終端部で円錐形の拡大部２６ないしは２８へ移行する
（第２図）。１」−ド線（コパールロツド）１８．２０
を、これら穿孔２２．２４中へ、円錐形拡大部２６ 、
２８中にまで突出するように導入し、かつこれらを、円
ｃＩＦ形拡大部２６．２８をも充填する硬ろつ３０．３
２によりブッシングブロック１４に耐圧性に結合する。
さらに、硬ろうとして、銀銅共融混合物を使用すること
ができる。リード線１８．２０をろう付けした後、シツ
シングブロックの端面３４を端面側のろう付は部と一緒
Ｇこ平面研削および研磨する。この場合、円錐形拡大部
２６．２８中に配置された硬ろう３０，３２が、ブッシ
ングブロック１４の端面３４とともに１つの平面中に配
置された端面側接触面３６ないしは３８を形成する。
ができる。リード線１８．２０をろう付けした後、シツ
シングブロックの端面３４を端面側のろう付は部と一緒
Ｇこ平面研削および研磨する。この場合、円錐形拡大部
２６．２８中に配置された硬ろう３０，３２が、ブッシ
ングブロック１４の端面３４とともに１つの平面中に配
置された端面側接触面３６ないしは３８を形成する。
次イテ、ブッシングブロック１４の端面３４の１部分へ
、薄いアルミニウム膜４０を、接触面３６を被覆するが
、但し接触面３８が露出するように施こす。図面に示し
た実施例の場合、アルミニウム膜４０が半円形である。
、薄いアルミニウム膜４０を、接触面３６を被覆するが
、但し接触面３８が露出するように施こす。図面に示し
た実施例の場合、アルミニウム膜４０が半円形である。
アルミニウム膜４０のコーチングは、薄膜技術の公知の
方法、例えば陰極ス・ξツタリングまたは蒸着により行
なわれる。このアルミニウム膜は１廂を上廻る厚さを有
し、かつコーチングが、アルミニウム膜４０および接触
面３６間の良導電性接合が得られるように行なわれる。
方法、例えば陰極ス・ξツタリングまたは蒸着により行
なわれる。このアルミニウム膜は１廂を上廻る厚さを有
し、かつコーチングが、アルミニウム膜４０および接触
面３６間の良導電性接合が得られるように行なわれる。
この方法で、アルミニウム膜４０がリード線１８に電％
的ニ接続される。
的ニ接続される。
接触面３６およびアルミニウム膜４０間に、窒化チタニ
ウムまたは他の適当な材料より成る拡散防止層を配置す
るのが有利である。この防止層が、硬ろう３０からアル
ミニウム膜４０のアルミニウム中への銅−および銀原子
の拡散を阻止する。このような不純分が、引続く陽極酸
化工程に際し翁害に作用することがあった。同じく、防
止層（図示せず）のコーチングが、薄膜技術の公知の方
法により、明白にアルミニウム１４４０のコーチングに
先行する作業工程で行なわれる。
ウムまたは他の適当な材料より成る拡散防止層を配置す
るのが有利である。この防止層が、硬ろう３０からアル
ミニウム膜４０のアルミニウム中への銅−および銀原子
の拡散を阻止する。このような不純分が、引続く陽極酸
化工程に際し翁害に作用することがあった。同じく、防
止層（図示せず）のコーチングが、薄膜技術の公知の方
法により、明白にアルミニウム１４４０のコーチングに
先行する作業工程で行なわれる。
アルミニウム膜４０および、配置された場合には防止層
の賦形が有孔マスクを使用し行なわれることができる。
の賦形が有孔マスクを使用し行なわれることができる。
このことは、さもなければ薄膜技術で常用のフオ） Ｉ
Ｊソゲラフ法による賦形と比べ著るしい時間−おにび費
用節減を表わす。
Ｊソゲラフ法による賦形と比べ著るしい時間−おにび費
用節減を表わす。
アルミニウム膜４０を形成した後、その表面に陽極酸化
により、アルミニウム膜４０を全面的に被覆する多孔質
の酸化アルミニウムより成る０、０００６ ｍｍ厚の薄
膜４２を形成する。とくにこのため、端面３４および接
触面３６が平面および平滑でありかつ極めてわずかな粗
面度を有する必要がある。
により、アルミニウム膜４０を全面的に被覆する多孔質
の酸化アルミニウムより成る０、０００６ ｍｍ厚の薄
膜４２を形成する。とくにこのため、端面３４および接
触面３６が平面および平滑でありかつ極めてわずかな粗
面度を有する必要がある。
次いで、水蒸気透過性の薄い金属膜４４を、アルミニウ
ム膜４０およびその上に形成された酸化アルミニウム膜
４２を部分的に被覆しかつさらにブッシングブロック】
４の端面３４に接触し、従って露出せる接触面３８を被
覆するように施こす。金属膜４４は、金、ニッケル、ク
ロムまたは類似の金属より成るか、あるいはまた重なり
合った種々の金属の多数の層より成ることができる。同
じく、この金属膜は、薄膜技術の常法により、有利に有
孔マスクの使用下に施こされるが、七〇゛場合再び、金
属膜４４および接触面３８間の良導電性接合が得られる
ように留意すべきである。
ム膜４０およびその上に形成された酸化アルミニウム膜
４２を部分的に被覆しかつさらにブッシングブロック】
４の端面３４に接触し、従って露出せる接触面３８を被
覆するように施こす。金属膜４４は、金、ニッケル、ク
ロムまたは類似の金属より成るか、あるいはまた重なり
合った種々の金属の多数の層より成ることができる。同
じく、この金属膜は、薄膜技術の常法により、有利に有
孔マスクの使用下に施こされるが、七〇゛場合再び、金
属膜４４および接触面３８間の良導電性接合が得られる
ように留意すべきである。
最後に、接触面３８上に配置された部分の金属膜４４へ
接触補強膜４６を施こすが、この補強膜４６が有利に金
より成りかつ金属膜４４および接触面３８間の良好な″
電気的接触を保証するＯ アルミニウム膜４０がベース電極を形成し、かつ金属膜
４４が、その誘電体が多孔質の酸化アルミニウム膜４２
により形成されたコンデンサの被覆電極を形成する。多
孔質の酸化アルミニウムは、これが水蒸気を環境から吸
着するかないしは環境へ放出するので、絶対湿度センサ
のｌな感湿性素子である。このコンデンサのインピーダ
ンスが、酸化アルミニウム膜４２の含水率に依存し、従
ってこれは環境ガスの含水率の尺度である。
接触補強膜４６を施こすが、この補強膜４６が有利に金
より成りかつ金属膜４４および接触面３８間の良好な″
電気的接触を保証するＯ アルミニウム膜４０がベース電極を形成し、かつ金属膜
４４が、その誘電体が多孔質の酸化アルミニウム膜４２
により形成されたコンデンサの被覆電極を形成する。多
孔質の酸化アルミニウムは、これが水蒸気を環境から吸
着するかないしは環境へ放出するので、絶対湿度センサ
のｌな感湿性素子である。このコンデンサのインピーダ
ンスが、酸化アルミニウム膜４２の含水率に依存し、従
ってこれは環境ガスの含水率の尺度である。
スリーブ１６は、図示せざるねじ込み部材の孔中へ収容
されかつこれに気密に溶接される。
されかつこれに気密に溶接される。
その後に、絶対湿度センサを使用する場合、ねじ込み部
イ、４が、湿度の測定されるべき媒体が配置された容器
、管または他の空間の壁中へそのねじによりねじ込まれ
る。この場合、湿度センサを形成するコンデンサの導電
線が、これらが耐圧性に結合されたブッシングブロック
１４を経て外方へ導かれ、その結果これら導電線は被測
定媒体と接触することがない。被測定媒体には、薄膜技
術でブッシングブロックの端面３４に形成された、湿度
センサの構成要素が曝されるにすぎない。これにより、
測定誤差の全ての原因が十分に除去される。測定室中に
、コーナーおよびスリットがなく、かつ有機材料、例え
ば、湿気貯蔵部として作用しかつ測定値を劣化させるこ
とのあった接着部がない。この湿度センサの対地容量お
よび従って外的な交番電磁場に幻する感度がわずかであ
る。リード線が被測定媒体と接触しないので、高抵抗率
測定に影響することのあった並列抵抗の惧れかない。こ
の湿度センサの構造は極めて安定かつ耐圧性であり、そ
の結果これは、顕著な圧力条件下または爆発のおそれあ
る領域中で使用するのにとくに」薗当である。製造が、
機械的な精密加工なしに従来の薄膜技術の使用下に行な
われかつ十分に自動化されることができる。明白に、本
発明による湿度センサは、温度測定の包含下に相対湿度
の測定にも使用されることができる。
イ、４が、湿度の測定されるべき媒体が配置された容器
、管または他の空間の壁中へそのねじによりねじ込まれ
る。この場合、湿度センサを形成するコンデンサの導電
線が、これらが耐圧性に結合されたブッシングブロック
１４を経て外方へ導かれ、その結果これら導電線は被測
定媒体と接触することがない。被測定媒体には、薄膜技
術でブッシングブロックの端面３４に形成された、湿度
センサの構成要素が曝されるにすぎない。これにより、
測定誤差の全ての原因が十分に除去される。測定室中に
、コーナーおよびスリットがなく、かつ有機材料、例え
ば、湿気貯蔵部として作用しかつ測定値を劣化させるこ
とのあった接着部がない。この湿度センサの対地容量お
よび従って外的な交番電磁場に幻する感度がわずかであ
る。リード線が被測定媒体と接触しないので、高抵抗率
測定に影響することのあった並列抵抗の惧れかない。こ
の湿度センサの構造は極めて安定かつ耐圧性であり、そ
の結果これは、顕著な圧力条件下または爆発のおそれあ
る領域中で使用するのにとくに」薗当である。製造が、
機械的な精密加工なしに従来の薄膜技術の使用下に行な
われかつ十分に自動化されることができる。明白に、本
発明による湿度センサは、温度測定の包含下に相対湿度
の測定にも使用されることができる。
第１図は本発明による装置の１実施例の構造を縦断して
示す斜視図、第２図は第１図の装置の上部薄膜構造を詳
示する縦断面図、および第３図は第２図の装置の平面図
である。 １０・・・本発明による湿度センサ、１２・・・耐圧性
ブッシング、１４・・・ブッシングブロック、１６・・
スリーブ、１７・・・硬ろう接合、１８．２０・・・リ
ード線、２２．２４・・・軸方向穿孔、２６゜２８・・
・円錐形拡大部、３０．３２・・・硬ろう、３４・・・
ブロックの端面、３６．３８・・・端面側接触面、４０
・・・アルミニウム膜（ベース電極）、４２・・・多孔
質の酸化アルミニウム膜、４４・・金属膜（被覆電極）
、４６・・・接触補強膜図面の浄魯（内容に変更なし） Ｆｉｇ、１ ０ 第１頁の続き ０発 明 者 ライナー・ジルパーマ ドイツ連邦共和
国シン ユトラーセ ４２ ＠発 明 者 フランク・ヘグナー ドイツ連邦共和国
シヨプフハイム・ファールナウアー シ ョプフハイムΦタールシュトラーセ 手続補正書（方式） 昭和５９年８月２３日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第７１９３５号２、
発明の名称 絶対湿度測定用の薄膜湿度センナおよびその製造法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 エンドレス・ラント・ハウザー・ゲゼル／ヤフ
ト・ミツト・ペンユレンクテル・ノツソング・ラント・
コンノミニー４、代理人
示す斜視図、第２図は第１図の装置の上部薄膜構造を詳
示する縦断面図、および第３図は第２図の装置の平面図
である。 １０・・・本発明による湿度センサ、１２・・・耐圧性
ブッシング、１４・・・ブッシングブロック、１６・・
スリーブ、１７・・・硬ろう接合、１８．２０・・・リ
ード線、２２．２４・・・軸方向穿孔、２６゜２８・・
・円錐形拡大部、３０．３２・・・硬ろう、３４・・・
ブロックの端面、３６．３８・・・端面側接触面、４０
・・・アルミニウム膜（ベース電極）、４２・・・多孔
質の酸化アルミニウム膜、４４・・金属膜（被覆電極）
、４６・・・接触補強膜図面の浄魯（内容に変更なし） Ｆｉｇ、１ ０ 第１頁の続き ０発 明 者 ライナー・ジルパーマ ドイツ連邦共和
国シン ユトラーセ ４２ ＠発 明 者 フランク・ヘグナー ドイツ連邦共和国
シヨプフハイム・ファールナウアー シ ョプフハイムΦタールシュトラーセ 手続補正書（方式） 昭和５９年８月２３日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第７１９３５号２、
発明の名称 絶対湿度測定用の薄膜湿度センナおよびその製造法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 エンドレス・ラント・ハウザー・ゲゼル／ヤフ
ト・ミツト・ペンユレンクテル・ノツソング・ラント・
コンノミニー４、代理人
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 金属ベース電極、感湿性の誘電膜および金属被Ｎ電
極がその端面に配置されたブッシングブロック、および
、このブッシングブロックを貫通し、これら２つの電極
の１方に４電性に接続された最低１つのリード線を有す
る湿度センサにおいて、ブッシングブロック（１４）が
電気絶縁材料より成り、最低２つのリード線（１ｓ、２
ｏ）が、相互に距離をおいて、それらの端面側接触面（
３６，３８）がブッシングブロック（１４）の端面（３
４）と同一平面にあるようにブッシングブロック（１４
）を貫通せしめられ、ペース電極（４０）が、ブッシン
グブロック（１４）の端面（３４）の１部分に、この電
極がＩＪ −ｐ線（１８）の接触面（３６）を被覆しか
っこのリード線と導電性に接続するように施こされ、感
湿性の誘電膜（４２）がペース電極（４０）に施こされ
、かつ、被覆″電極（４４）が、感湿膜（４２）の最低
１部分および、ベース電極（４０）により被覆されざる
、ブッシングブロック（１４）の端面（３４）の最低１
部分に、もう１つのリード線（２ｏ）の接触面（３８）
を被覆しかつこのり一１線と導電性に接続するように施
こされていることを特徴とする絶対湿度測定用の薄膜湿
度センサ。 ２ リード線（１８，２０）がブッシングブロック（１
４）に強固にろう付けされ、がっ、ブッシングブロック
の端面（３４）とろう付は結合部（３０，３２）とが平
面に研削および研磨されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の絶対湿度測定用の薄膜湿度センサ
。 ３、 ブッシングブロック（１４）中に、それぞれのリ
ード線（１８，２０）を収容するため、シツシングブロ
ック（１４）の端面（３４）へ向は拡大する穿孔（２２
，２４）が形成され、かつ、これら穿孔（２２，２４）
の拡大部（２６，２８）に硬ろう（３０，３２）が充填
されていることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
の絶対湿度測定用の薄膜湿度センサ。 ４ シツシングブロック（１４）がセラミック成形体で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項から第３項
までのいずれが１項にＪど載の絶対湿度測定用の薄膜湿
度センサ。 ５ セラミック成形体（１４）が酸化アルミニウムより
成ることを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の絶対
湿度測定用の薄膜湿度センサ。 ６ ブッシングブロック（１４）が、スリーブ（１６）
の孔中へ挿入されかっこのスリーブと耐圧性に結合され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項から第５
項までのいずれか１項に記載の絶対湿度測定用の薄膜湿
度センサ。 ７ スリーブ（１６）が、高合金のニッケルーモリブデ
ン化合物より成ることを特徴とする特許請求の範囲第６
項記載の絶対湿度測定用の薄膜湿度センサ。 ８、 ベース電極（４０）および被覆電極（４４）が、
薄膜技術により施こされた金属膜により形成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第７項まで
のいずれか１項に記載の絶対湿度測定用の薄膜湿度セン
サ。 ９ ベース屯ｔｔｚ（＜ｏ）がアルミニウムよす成り、
かつ、感湿性の誘電膜（４２）が、アルミニウムを陽極
表面酸化することにより薄膜として形成された多孔質の
酸化アルミニウム層であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項から第８項までのいずれか１項に記載の絶対
湿度測定用の薄膜湿度センサ。 １０ 感湿性の誘電膜（４２）が、膜厚約０．０００６
ｍｍを有することを特徴とする特許請求の範囲第１項か
ら＠９項までのいずれが１項に記載の絶対湿度測定用の
薄膜湿度センサ。 １１ヘース電極（４０）および、その下に配置された接
触面（３６）間に、拡散防止層が配置されていることを
特徴とする特許請求の範囲第９または第１０項のいずれ
か１項に記載の絶対湿度測定用の薄膜湿度センサ。 １２ 拡散防止層が窒化チタニウムより成ることを特徴
とする特許請求の範囲第１１項記載の絶対湿度測定用の
薄膜湿度センサ。 １３、被覆電極（４４）の、他のリード線（２０）の接
触面（３８）上に配置された部分に、金属膜（４６）が
接触補強部として数句けられていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項から第１２項までのいずれか１項に
記載の絶対湿度測定用の薄膜湿度センサ。 １４ 金属ベース電極、感湿性の誘電膜および金属被覆
電極がその端面に配置されたシツシングブロック、およ
び、このブッシングブロックを貫通し、これら２つの電
極の１方に導電性に接続された最低１つのリード線を有
し、ブッシングブロックが電気絶縁材料より成り、最低
２つのリード線が、相互に距離をおいて、それらの端面
側接触面がブッシングブロックの端面と同一平面にある
ようにシツシングブロックを貫通せしめられ、ベース電
極が、ブッシングブロックの端面の１部分に、この電極
がリード線の接触面を被覆しかっこのリード線と導電性
に接続するように施こされ、感湿性の誘電膜がベース電
極に施こされ、がっ、被覆電極が、感湿膜の最低１部分
および、べ〜スミ極により被覆されざる、ブッシングブ
ロックの端面の最低１部分に、もう１つのリード線の接
触面を被覆しかっこのリード線と導′屯性に接続するよ
つに施こされている薄膜湿度センサを製造するに当り、
’ｒｌＨ気絶縁拐料より成るブッシングブロック（］４
）中に、ブッシングブロック（１４）の端面へ向は拡大
する最低２つの軸方向穿孔（２２，２４）を相互に距離
をおいて形成し、それぞれの穿孔中にリード線（１８，
２０）を、この！ｌ ｐｆｇが拡大部（２６，２８）中
へ突出するように配置し、それぞれのリード線（１８，
２０）を、拡大部（２６、２，８）を充填する映ろう（
ａｏ、ａ２）によりブッシングブロック（１４）に結合
し、ブッシングブロック（１４）の端面（３４）を、そ
れぞれの拡大部（２６，２８）中に配置された硬ろう（
３０，３２）と−緒に平面に研削および研磨し、端面（
３４）の１部分へ、ベース電極（４０）を形成する金属
膜を、この金属膜が拡大部（２６）中に配置された硬ろ
う（３０）に導電性に接続されかつ他の拡大部（２８）
中に配置された映ろう（３２）を被覆せざるように施こ
し、金属膜（４０）に感湿性の誘電膜（４２）を形成し
、かつ、被覆電極（４４）を形成するもう１つの金属膜
を、端面（３４）の、ベース電極（４０）により被覆さ
れざる部分および感湿膜（４２）の最低１部分に、この
金属膜が他の拡大部（２８）中に配置された硬ろう（３
２）と導電性に接続されるように施こすことを特徴とす
る絶対湿度測定用の薄膜湿度センサの製造法。 １５、ベース電極（４ｏ）を形成する金属膜を施こす前
に拡散防止層が施こされることを特徴とする特許請求の
範囲第１４項記載の絶対湿度測定用の薄膜湿度センサの
製造法。 １６ 被覆電極（４４）を形成する金属膜の１部分に最
低もう１つの金属膜（４６）が接触補強部として施こさ
れることを特徴とする特許請求の範囲第１４または第１
５項のいずれか１項に記載の絶対湿度測定用の薄膜湿度
センサの製造法。 １７ この感湿装置の薄膜（４０，４２，４４゜４６）
が薄膜技術の方法により製造されることを特徴とする特
許請求の範囲第１４項から第１６項のいずれか１項に記
載の絶対湿度測定用の薄膜湿度センサの製造法。 １８ 金属膜（４０，４４，４６）が陰極スノξツタリ
ングにより施こされることを特徴とする特許請求の範囲
第１７項記載の絶対湿度測定用の薄膜湿度センサの製造
法。 １９ 金属膜（４０，４４，４６）が蒸着されることを
特徴とする特許請求の範囲第１７項記載の絶対湿度測定
用の薄膜湿度センサの製造法。 ２０ 金属膜（４０，４４，４６）の賦形が、コーチン
グの際に有孔マスクにより行なわれることを特徴とする
特許請求の範囲第１７項から第１９項までのいずれか１
項に記載の絶対湿度測定用の薄膜湿度センサの製造法。 ２１、ベース電極（４０）を形成する金属膜がアルミニ
ウムから製造され、かつ、感湿性の誘電［（４２）が、
アルミニウム（４０）の表面を陽極酸化することにより
形成されることを特徴とする特許請求の範囲第１４項か
ら第２０項までのいずれか１項に記載の絶対湿度測定用
の薄膜湿度センサの製造法。
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