JP2019095338A - ひずみゲージ、センサモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1の実施の形態に係るひずみゲージを例示する平面図である。図2は、第1の実施の形態に係るひずみゲージを例示する断面図であり、図1のA−A線に沿う断面を示している。図1及び図2を参照するに、ひずみゲージ1は、基材10と、抵抗体30と、端子部41とを有している。
第1の実施の形態の変形例1では、第1の実施の形態とは異なるリード線接続部を有するひずみゲージの例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第1の実施の形態の変形例2では、第1の実施の形態とは異なるリード線接続部を有するひずみゲージの他の例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例2において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第1の実施の形態の変形例3では、第1の実施の形態とは異なるリード線接続部を有するひずみゲージの更に他の例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例3において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第1の実施の形態の変形例4では、第1の実施の形態とは異なるリード線接続部を有するひずみゲージの更に他の例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例4において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第1の実施の形態の変形例5では、第1の実施の形態とは異なるリード線接続部を有するひずみゲージの更に他の例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例5において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第2の実施の形態では、ひずみゲージを用いたセンサモジュールの例を示す。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
なお、センサモジュール5において、ひずみゲージ1に代えて、ひずみゲージ1A、1B、1C、1D、又は1Eを用いてもよい。
第2の実施の形態の変形例1では、第2の実施の形態とは異なるセンサモジュールの例を示す。なお、第2の実施の形態の変形例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第2の実施の形態の変形例2では、第2の実施の形態とは異なるセンサモジュールの他の例を示す。なお、第2の実施の形態の変形例2において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
Claims (15)
- 可撓性を有する基材と、
前記基材上に、クロムとニッケルの少なくとも一方を含む材料から形成された抵抗体と、
前記抵抗体と電気的に接続された電極と、
前記電極及び前記基材に形成されたリード線接続部と、を有し、
前記リード線接続部は、前記電極を貫通する貫通孔と、前記貫通孔と連通して前記基材に設けられた凹部と、を備えているひずみゲージ。 - 可撓性を有する基材と、
前記基材上に、クロムとニッケルの少なくとも一方を含む材料から形成された抵抗体と、
前記抵抗体と電気的に接続された電極と、
前記電極及び前記基材に形成されたリード線接続部と、を有し、
前記リード線接続部は、前記基材に設けられた凹部と、平面視で前記凹部の周囲に位置する前記電極が前記凹部内に延在し、少なくとも前記凹部の側壁を被覆して形成された延在部と、を備えているひずみゲージ。 - 前記電極の前記貫通孔の周辺部に位置する領域は、前記電極の他の領域の表面から環状に突出している請求項1に記載のひずみゲージ。
- 前記凹部の底面は、前記基材内に存在する請求項1乃至3の何れか一項に記載のひずみゲージ。
- 前記基材の前記抵抗体とは反対側に絶縁層が形成され、
前記凹部の底面は、前記絶縁層の表面により形成されている請求項1乃至3の何れか一項に記載のひずみゲージ。 - 前記抵抗体は、アルファクロムを主成分とする請求項1乃至5の何れか一項に記載のひずみゲージ。
- 前記抵抗体は、アルファクロムを80重量%以上含む請求項6に記載のひずみゲージ。
- 前記抵抗体は、窒化クロムを含む請求項6又は7に記載のひずみゲージ。
- 前記基材の一方の面に、金属、合金、又は、金属の化合物から形成された機能層を有し、
前記抵抗体は、前記機能層の一方の面に形成されている請求項1乃至8の何れか一項に記載のひずみゲージ。 - 前記機能層は、前記抵抗体の結晶成長を促進する機能を有する請求項9に記載のひずみゲージ。
- 前記抵抗体を被覆する絶縁樹脂層を有する請求項1乃至10の何れか一項に記載のひずみゲージ。
- 請求項1乃至11の何れか一項に記載のひずみゲージと、
前記電極と電気的に接続されたリード線と、を有し、
前記リード線接続部の前記凹部内に前記リード線の端部が挿入され、接合材を介して前記電極と電気的に接続されているセンサモジュール。 - 請求項1乃至11の何れか一項に記載のひずみゲージと、
前記基材の他方の面側に設けられた起歪体と、を有するセンサモジュール。 - ひずみゲージと、接着層を介して前記ひずみゲージに設けられた起歪体と、を有するセンサモジュールであって、
前記ひずみゲージは、
可撓性を有する基材と、
前記基材上に、クロムとニッケルの少なくとも一方を含む材料から形成された抵抗体と、
前記抵抗体と電気的に接続された電極と、
前記電極及び前記基材に形成されたリード線接続部と、を有し、
前記リード線接続部は、前記基材に設けられた凹部と、平面視で前記凹部の周囲に位置する前記電極が前記凹部内に延在し、前記凹部の側壁を被覆して形成された延在部と、を備え、
前記凹部の底面は、前記基材の前記抵抗体とは反対側に設けられた前記接着層の表面により形成されているセンサモジュール。 - 前記電極と電気的に接続されたリード線を有し、
前記リード線接続部の前記凹部内に前記リード線の端部が挿入され、接合材を介して前記電極と電気的に接続されている請求項13又は14に記載のセンサモジュール。
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