JP2019100883A - ひずみゲージ - Google Patents
ひずみゲージ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019100883A JP2019100883A JP2017232770A JP2017232770A JP2019100883A JP 2019100883 A JP2019100883 A JP 2019100883A JP 2017232770 A JP2017232770 A JP 2017232770A JP 2017232770 A JP2017232770 A JP 2017232770A JP 2019100883 A JP2019100883 A JP 2019100883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- layer
- strain gauge
- gauge according
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Description
図1は、第1の実施の形態に係るひずみゲージを例示する平面図である。図2は、第1の実施の形態に係るひずみゲージを例示する断面図であり、図1のA−A線に沿う断面を示している。図1及び図2を参照するに、ひずみゲージ1は、基材10と、抵抗体30と、電極40Aとを有している。
Claims (10)
- 可撓性を有する基材と、
前記基材上に、クロムとニッケルの少なくとも一方を含む材料から形成された抵抗体と、
前記抵抗体と電気的に接続された電極と、を有し、
前記電極は、
前記抵抗体の端部から延在する端子部と、
前記端子部上に形成されたプライマー層と、
前記プライマー層上に形成された触媒層と、
前記触媒層上に形成された金属層と、を含むひずみゲージ。 - 前記プライマー層には、導電成分が分散されている請求項1に記載のひずみゲージ。
- 前記プライマー層は、表面が親水性に改質された改質領域を備え、
前記触媒層は、前記改質領域上に形成されている請求項1又は2に記載のひずみゲージ。 - 前記金属層は、無電解めっき層である請求項1乃至3の何れか一項に記載のひずみゲージ。
- 前記抵抗体は、アルファクロムを主成分とする請求項1乃至4の何れか一項に記載のひずみゲージ。
- 前記抵抗体は、アルファクロムを80重量%以上含む請求項5に記載のひずみゲージ。
- 前記抵抗体は、窒化クロムを含む請求項5又は6に記載のひずみゲージ。
- 前記基材の一方の面に、金属、合金、又は、金属の化合物から形成された機能層を有し、
前記抵抗体は、前記機能層の一方の面に形成されている請求項1乃至7の何れか一項に記載のひずみゲージ。 - 前記機能層は、前記抵抗体の結晶成長を促進する機能を有する請求項8に記載のひずみゲージ。
- 前記抵抗体を被覆する絶縁樹脂層を有する請求項1乃至9の何れか一項に記載のひずみゲージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017232770A JP7021922B2 (ja) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | ひずみゲージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017232770A JP7021922B2 (ja) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | ひずみゲージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019100883A true JP2019100883A (ja) | 2019-06-24 |
JP7021922B2 JP7021922B2 (ja) | 2022-02-17 |
Family
ID=66973407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017232770A Active JP7021922B2 (ja) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | ひずみゲージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7021922B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021156815A (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-07 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
JP2021162574A (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-11 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
JP2021162401A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63284441A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-21 | Nec Corp | ロ−ドセル |
JPH06300649A (ja) * | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 薄膜歪抵抗材料とその製造方法及び薄膜歪みセンサ |
JPH10148644A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Tdk Corp | 微小機械素子の製造方法 |
JP2015031633A (ja) * | 2013-08-05 | 2015-02-16 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 歪センサ |
JP2017101983A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 日本写真印刷株式会社 | 多点計測用のひずみセンサとその製造方法 |
-
2017
- 2017-12-04 JP JP2017232770A patent/JP7021922B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63284441A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-21 | Nec Corp | ロ−ドセル |
JPH06300649A (ja) * | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 薄膜歪抵抗材料とその製造方法及び薄膜歪みセンサ |
JPH10148644A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Tdk Corp | 微小機械素子の製造方法 |
JP2015031633A (ja) * | 2013-08-05 | 2015-02-16 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 歪センサ |
JP2017101983A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 日本写真印刷株式会社 | 多点計測用のひずみセンサとその製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021156815A (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-07 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
JP2021162574A (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-11 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
JP7383656B2 (ja) | 2020-03-30 | 2023-11-20 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
JP7469933B2 (ja) | 2020-03-30 | 2024-04-17 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
JP2021162401A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
JP7296338B2 (ja) | 2020-03-31 | 2023-06-22 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7021922B2 (ja) | 2022-02-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11543308B2 (en) | Strain gauge | |
WO2019098048A1 (ja) | ひずみゲージ | |
WO2019088112A1 (ja) | ひずみゲージ | |
JP6793103B2 (ja) | ひずみゲージ | |
WO2019065744A1 (ja) | ひずみゲージ | |
WO2019194129A1 (ja) | ひずみゲージ | |
CN111406196B (zh) | 应变片 | |
WO2019065840A1 (ja) | ひずみゲージ | |
WO2019098047A1 (ja) | ひずみゲージ | |
US20230296457A1 (en) | Strain gauge | |
WO2019098049A1 (ja) | ひずみゲージ | |
JP2023106586A (ja) | ひずみゲージ | |
JP2019100883A (ja) | ひずみゲージ | |
JP2019184344A (ja) | ひずみゲージ及びその製造方法 | |
JP2023118855A (ja) | ひずみゲージ | |
JP2023105037A (ja) | ひずみゲージ | |
WO2019088120A1 (ja) | ひずみゲージ | |
WO2019088119A1 (ja) | ひずみゲージ | |
WO2019102831A1 (ja) | ひずみゲージ、センサモジュール | |
JP2022189613A (ja) | ひずみゲージ | |
JP2021152533A (ja) | ひずみゲージ | |
WO2019065752A1 (ja) | ひずみゲージ、センサモジュール | |
JP7169185B2 (ja) | ひずみゲージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201203 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220111 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7021922 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |