DD216139A1 - Verfahren und tempermagazin zum transportieren von tempergut - Google Patents

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und ein Tempermagazin zum Tempern von vormontierten Bauelementen in einem Temperofen. Ziel und Aufgabe der Erfindung ist es, die Produktivitaet des Temperprozesses zu erhoehen. Weiterhin soll die Qualitaet der getemperten Bauelemente verbessert und ein Tempermagazin fuer variierbare Bauelementebreiten eingesetzt werden. Die in einem Tempermagazin gelagerten vormontierten Bauelemente werden zwischen zwei Transportschritten wechselweise vertikal und horizontal am Ort bewegt. In einem Tempermagazin, das aus genuteten Seitenplatten besteht, die trapezfoermig ausgebildet sind, liegen die Traegerelemente mit den vormontierten Bauelementen gestaffelt und schraeg versetzt an Begrenzungsleisten an. Im Bereich der Nuten der Seitenplatten sind Durchbrueche vorhanden. Der Aufbau des Tempermagazins gestattet eine gleichmaessige Waermeverteilung auf den Bauelementen und durch die zusaetzliche Bewegung des Tempergutes im Temperofen wird die Konvektion verbessert. Die Erfindung wird in der Halbleiterindustrie angewendet.

Description

Verfahren und Tempermagazin zum Transportieren von Tempergut , ". ^;

Anwendungsgebiet der Erfindung -

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und ein Tempermagazin zum'Tränsportieren von Tempergut, bei dem die in Einern Tempermagazin angeordneten, vormontierten Halbleiterbauelemente mit Keramikgehäusen in ,einem Temperofen getempert werden. ~ , . '

Charakteristik der bekannten.technischen Lösungen;

In der Mikroelektronik ist,es erforderlieh, daß das Glaslot zwischen Keramikschalen und Trägerstreifen getempert wird, um eine lange Lebensdauer und, eine hohe Dichtheit der für Halbleiterbauelemente verwendeten Keramikgehäu-r se zu erreichen. ,

In dem DD — WP 109 124 rst ein Durchlauftemperofen beschrieben, bei dem Keramikgehäuse auf parallelen Gleitschienen mittels ei.nes Transportrakels, der durch ein Kurbelgetriebe angetrieben wird, schrittweise durch den Ofeninnenraum bewegt werden. ' . : Von der· Firma BTU ist eine Lösung zum Tempern von Sinzelbauelementen bekannt, bei der diese über ein Förderband durch den Temperofen transportiert werden. , ,

Üin eine hohe Produktivität zu gewährleisten, werden große Aufsteilflächen benötigt.

,Die bekannten Einrichtungen zum Tempern haben komplizierte, störanfällige und mechanisch aufwendige Transporteinrichtungen. Zusätzlich verursachen sie Abrieb im ,Temperraum. Sin weiterer Nachteil besteht darin, daß die, Bauelemente aus Transportmagazinen entnommen werden müssen und einzeln der separaten Transporteinrichtung des Temperofens.übergeben werden. Hach dem Temperprozeß müssen die Transportmägazine erneut . bestückt werden. Bauelementetoleranzen verhindern eine' gleichmäßige Wärmeverteilung; auf den zu tempernden . Bauelementen. . .

Ziel der Erfindung " , ... ' ·' '.

Ziel der Erfindung,ist es,, ein "Verfahren und ein Tem-permagazin, zum Tempern von vormontierten Bauelementen zu entwickeln, bei dem die Produktivität des Temperprozasses erhöht wird.¹ Ebenfalls soll die Qualität der getemperten. Bauelemente verbessert werden. :

Darlegung des· Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und ein Tempermagazin zum Transportieren,von Tempergut zu entwickeln, mit, dem kurze Temperzeiten realisiert werden können. Das Teinpermagazin soll für unterschiedliche Bauelementebreiten einsetzbar sein und eine gleichmäßige Wärmeverteilung über das gesamte, Teapergut ermöglichen. Weiterhin soll die. Stellfläche der Tempereinrichtungverkleinert werden. ' ·

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Zur Lpsung der Aufgabe wird von einem-Verfahren ausgegangen, bei der die in einem Tempermagazin gelagerten vormontierten Bauelemente beim Durchlauf durch den Temperofen zwischen zwei Transportschritten wechselweise vertikal und horizontal am Ort bewegt werden. Das Tempermagazin zur Durchführung des Verfahrens besteht aus genuteten Seitenplatten, die trapezförmig ausgebildet sind. Im Bereich der Suten der Seitenplatten sind Durchbrüche vorhanden, um die konvektive Wärmeübertragung zu verbessern. . _: Die Seit.enplatten haben jeweils an einer der Stirnflächen Begrenzungsleisten, an denen die Trägerelemente mit den vormontierten Bauelementen anliegen. Durch diese Anordnung kommt es zu einer Verwirbelung der nach, oben strömenden Luft.. Durch die zusätzliche Be- : wegung des. Temp er gut es zwischen zwei. Transport's chritten wird die ,Konvektion-und damit dia gleichmäßige .Wärmeverteilung auf den vormontierten Bauelementen verbessert. ' - /'. ·. .: - . . ;

Durch den einfachen Aufbau der Tempermagazine können diese unkompliziert auf unterschiedliche Bauelementebreiten umgerüstet-Werden. Die gestaffelte Anordnung der Trägerelemente im Tempermagazin erlaubt eine , gleichmäßige Wärmeverteilung auf den vormontierten Bauelementen. Das Tempermagazin dient als Singabe— und Ausgabemagazin sowie als Transportmagazin. Die Transport- und Rechtackbewegungen werden über: einen Antriebsmechanismus realisiert.

Ausführungsbeispiel :. . . .

Die'Erfindung ist.nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. In der zugehörigen Zeichnung zeigen ..^ Fig. 1 eine Durchlauftempereinrichtung Fig. 2 die Seitenansicht der Durchlauftempereinrichtung Fig. 3 ein Tempermagazin : Fig. 4 die Torderansicht des. Tempermagazins Fig.' 5 die Draufsicht des Tempermagazins .'

lach Fig. 1 werden über einen Hubbalken-Schrittförderer 11 die vormontierten Bauelemente 2,. welche. .im .Tempermagazin 1 gestapelt sind, über eine Eingabestation 12 getaktet durch den Temperofen 9 transportiert. Zwischen zwei Transportschritt en,werden die Tempermagazine 1 am Ort wechselweise vertikal und horizontal in der Temperzone 10. fortlaufend, so bewegt, dai3 eine Rechteckbewegung entsteht. Anschließend werden die getemperten,, vormontierten Bauelemente 2 einer Ausgab'est.a-'t'ion 13 übergeben. . _: · ...·'.·

Das Tempermagazin 1 besteht aus genuteten, trapezförmigen Seitenplatten 4 (Fig. 3). Fach Fig. 4 sind die Seitenplatten 4 im Bereich der Hüten 5,mit Durchbrüchen 6 versehen. Die in ,Durchlaufrichtung betrachteten Stirnflächen der Seitenplatten 4 weisen Begrenzungsleisten auf, an denen die in den Nuten 5 geführten, gestaffelt angeordneten Trägerelemente 3 mit den vormontierten Bauelementen Z anliegen. ( Fig.5) Das in Fig. 3 dargestellte Tempermagazin 1 wird durch vier Distanzbolzen 8 auf den Abstand gehalten, · der durch die vormontierten Bauelemente 2 vorgegeben ist. Die beiden unteren Distanzbolzen 8 übernehmen zusätzlich Tragfunktion. Zwischen den Transportschritt en liegt das Tempermagazin 1 mit den unteren Distanzbölzen 8 auf Auflageleisten 14. (Fig. 2) , - ·

Der Abstand, der Nuten .5, in denen die vormontierten Bauelemente 2 gelagert sind, muß,wie in Fig. 4 dargestellt, so groß sein,, daß ausreichend erwärmte Luft an diese gelangen kann. Durch den trapezförmigen Aufbau der S'eitenplatten 4 sind die vormontierten Bauelemente 2 in horizontaler Richtung schräg versetzt im Tempermagazin 1 gelagert.. Dadurch kommt es zur Ausbildung von Gaswirbeln, die die Konvektion in Verbindung mit der Bewegung des Tempergutes im iemperofen 9 begünstigen.

..Um den Wärmedurchsatz und'die gleichmäßige Wärmeverteilung auf den vormontierten Bauelementen 2 zu verbessern,

. sind in den Seitenplatten^:4 Durchbrüche 6 angebracht.

Claims (2)

Srfindungsanspruch · -

1»' Verfahren und Tempermagazin zum Transportieren von Tempergut, vorzugsweise zum Transport von vormontier- ten Bauelementen in einem Temperofen unter Anwendung des Hubbalken-Schrittförder-Prinzips, gekennzeichnet dadurch, daß die in einem Tempermagazin (1) gelagerten

. ' vormontierten Bauelemente (2) beim Durchlauf durch.den Temperofen (9) zwischen zwei Transportschritten wechselweise vertikal und horizontal am Ort bewegt werden»

2. Tempermagazin, zur ,Durchführung des-.Verfahrens nach Punkt 1,-bestehend aus genuteten Seitenplatten und dazugehörigen Distanzbolzen, gekennzeichnet dadurch, daß die Seitenplatten (4) trapezförmig ausgebildet.sind, daß im Bereich der Hüten (5) der Seitenplatten (4) Durchbrüche (6),. vorhanden sind und dia Seitenplatten

s (4) jeweils . an -einer der .Stirnflächen', mit Bgrenzungs-.leisten (7) versehen sind, an denen die ' in-den jSuten -. (5) geführten, gestaffelt angeordneten Trägerelemen- te (3) mit den vormontierten Bauelementen (2) anliegen» ; ' . '- . '.'

-. .- Hierzu 2 Blatt Zeichnungen -