DD216139A1

DD216139A1 - METHOD AND TEMPER MAGAZINE FOR TRANSPORTING TEMPERATURE

Info

Publication number: DD216139A1
Application number: DD25210183A
Authority: DD
Inventors: Peter Petzold; Manfred Fleischhack; Hans Herklotz; Walter Grund; Horst Dieckmann
Original assignee: Mikroelektronik Zt Forsch Tech
Priority date: 1983-06-17
Filing date: 1983-06-17
Publication date: 1984-11-28

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und ein Tempermagazin zum Tempern von vormontierten Bauelementen in einem Temperofen. Ziel und Aufgabe der Erfindung ist es, die Produktivitaet des Temperprozesses zu erhoehen. Weiterhin soll die Qualitaet der getemperten Bauelemente verbessert und ein Tempermagazin fuer variierbare Bauelementebreiten eingesetzt werden. Die in einem Tempermagazin gelagerten vormontierten Bauelemente werden zwischen zwei Transportschritten wechselweise vertikal und horizontal am Ort bewegt. In einem Tempermagazin, das aus genuteten Seitenplatten besteht, die trapezfoermig ausgebildet sind, liegen die Traegerelemente mit den vormontierten Bauelementen gestaffelt und schraeg versetzt an Begrenzungsleisten an. Im Bereich der Nuten der Seitenplatten sind Durchbrueche vorhanden. Der Aufbau des Tempermagazins gestattet eine gleichmaessige Waermeverteilung auf den Bauelementen und durch die zusaetzliche Bewegung des Tempergutes im Temperofen wird die Konvektion verbessert. Die Erfindung wird in der Halbleiterindustrie angewendet.The invention relates to a method and a tempering magazine for annealing of preassembled components in a tempering furnace. The aim and object of the invention is to increase the productivity of the annealing process. Furthermore, the quality of the annealed components is to be improved and a tempering magazine for variable component widths are used. The preassembled components stored in a tempering magazine are alternately moved vertically and horizontally in place between two transport steps. In an annealing magazine, which consists of grooved side plates, which are formed Trapezfoermig, the Traegerelemente are staggered with the pre-assembled components and schraeg offset to boundary strips. Breakthroughs are present in the area of the grooves of the side plates. The construction of the tempering magazine allows a uniform heat distribution on the components and by the additional movement of the tempering in the annealing furnace convection is improved. The invention is used in the semiconductor industry.

Description

Verfahren und Tempermagazin zum Transportieren von Tempergut , ". ^; Method and tempering magazine for transporting temperate, ". ^;

Anwendungsgebiet der Erfindung -Field of application of the invention

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und ein Tempermagazin zum'Tränsportieren von Tempergut, bei dem die in Einern Tempermagazin angeordneten, vormontierten Halbleiterbauelemente mit Keramikgehäusen in ,einem Temperofen getempert werden. ~ , . ' The invention relates to a method and an annealing magazine for the impregnation of tempered material, in which the preassembled semiconductor components arranged in a tempering magazine are tempered with ceramic housings in a tempering furnace. ~,. '

Charakteristik der bekannten.technischen Lösungen; Characteristic of the known technical solutions;

In der Mikroelektronik ist,es erforderlieh, daß das Glaslot zwischen Keramikschalen und Trägerstreifen getempert wird, um eine lange Lebensdauer und, eine hohe Dichtheit der für Halbleiterbauelemente verwendeten Keramikgehäu-r se zu erreichen. , In microelectronics, the glass solder between ceramic shells and carrier strips is required to be tempered to achieve a long life and high density of ceramic shells used for semiconductor devices. .

In dem DD — WP 109 124 rst ein Durchlauftemperofen beschrieben, bei dem Keramikgehäuse auf parallelen Gleitschienen mittels ei.nes Transportrakels, der durch ein Kurbelgetriebe angetrieben wird, schrittweise durch den Ofeninnenraum bewegt werden. ' . : Von der· Firma BTU ist eine Lösung zum Tempern von Sinzelbauelementen bekannt, bei der diese über ein Förderband durch den Temperofen transportiert werden. , ,The DD - WP 109 124 describes a continuous annealing furnace in which the ceramic housing is moved on parallel slide rails step by step through the furnace interior by means of a transporting doctor blade driven by a crank mechanism. '. : From the company BTU a solution for tempering Sinzelbauelementen is known in which they are transported via a conveyor belt through the annealing furnace. ,,

Üin eine hohe Produktivität zu gewährleisten, werden große Aufsteilflächen benötigt.In order to ensure a high productivity, large Aufsteilflächen are needed.

,Die bekannten Einrichtungen zum Tempern haben komplizierte, störanfällige und mechanisch aufwendige Transporteinrichtungen. Zusätzlich verursachen sie Abrieb im ,Temperraum. Sin weiterer Nachteil besteht darin, daß die, Bauelemente aus Transportmagazinen entnommen werden müssen und einzeln der separaten Transporteinrichtung des Temperofens.übergeben werden. Hach dem Temperprozeß müssen die Transportmägazine erneut . bestückt werden. Bauelementetoleranzen verhindern eine' gleichmäßige Wärmeverteilung; auf den zu tempernden . Bauelementen. . .The known devices for tempering have complicated, trouble-prone and mechanically complex transport facilities. In addition, they cause abrasion in the tempering room. Sin further disadvantage is that, components must be removed from transport magazines and individually the separate transport device of the tempering furnace .übergeben. After the annealing process, the transport magazines must again. be fitted. Component tolerances prevent 'uniform heat distribution; on the to be tempered. Components. , ,

Ziel der Erfindung " , ... ' ·' '.Object of the invention " , ... '·''.

Ziel der Erfindung,ist es,, ein "Verfahren und ein Tem-permagazin, zum Tempern von vormontierten Bauelementen zu entwickeln, bei dem die Produktivität des Temperprozasses erhöht wird.¹ Ebenfalls soll die Qualität der getemperten. Bauelemente verbessert werden. :The aim of the invention, it is ,, a "method and a Tem-permagazin to develop tempering of preassembled components, in which productivity is increased Temperprozasses ¹ The quality of the annealed components should also be improved...:

Darlegung des· Wesens der ErfindungPresentation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und ein Tempermagazin zum Transportieren,von Tempergut zu entwickeln, mit, dem kurze Temperzeiten realisiert werden können. Das Teinpermagazin soll für unterschiedliche Bauelementebreiten einsetzbar sein und eine gleichmäßige Wärmeverteilung über das gesamte, Teapergut ermöglichen. Weiterhin soll die. Stellfläche der Tempereinrichtungverkleinert werden. ' ·The invention has for its object to develop a method and a tempering magazine for transporting, of tempering, with, the short annealing times can be realized. The Teinpermagazin should be used for different component widths and allow a uniform heat distribution over the entire Teapergut. Furthermore, the. Footprint of the annealing device are reduced. '·

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Zur Lpsung der Aufgabe wird von einem-Verfahren ausgegangen, bei der die in einem Tempermagazin gelagerten vormontierten Bauelemente beim Durchlauf durch den Temperofen zwischen zwei Transportschritten wechselweise vertikal und horizontal am Ort bewegt werden. Das Tempermagazin zur Durchführung des Verfahrens besteht aus genuteten Seitenplatten, die trapezförmig ausgebildet sind. Im Bereich der Suten der Seitenplatten sind Durchbrüche vorhanden, um die konvektive Wärmeübertragung zu verbessern. . _: Die Seit.enplatten haben jeweils an einer der Stirnflächen Begrenzungsleisten, an denen die Trägerelemente mit den vormontierten Bauelementen anliegen. Durch diese Anordnung kommt es zu einer Verwirbelung der nach, oben strömenden Luft.. Durch die zusätzliche Be- : wegung des. Temp er gut es zwischen zwei. Transport's chritten wird die ,Konvektion-und damit dia gleichmäßige .Wärmeverteilung auf den vormontierten Bauelementen verbessert. ' - /'. ·. .: - . . ; To solve the problem is assumed by a method in which the stored in a tempering magazine pre-assembled components are moved alternately vertically and horizontally in place when passing through the annealing furnace between two transport steps. The tempering magazine for carrying out the method consists of grooved side plates which are trapezoidal. There are openings in the area of the side plate grooves to improve convective heat transfer. , _: The Seit.enplatten each have on one of the end faces boundary strips on which bear the support elements with the pre-assembled components. As a result of this arrangement, there is a turbulence in the air flowing upwards. The additional movement of the air causes it to cool between two. Transport steps are improved, the convection and thus dia uniform .Heat distribution on the pre-assembled components. '- /'. ·. .: -. , ;

Durch den einfachen Aufbau der Tempermagazine können diese unkompliziert auf unterschiedliche Bauelementebreiten umgerüstet-Werden. Die gestaffelte Anordnung der Trägerelemente im Tempermagazin erlaubt eine , gleichmäßige Wärmeverteilung auf den vormontierten Bauelementen. Das Tempermagazin dient als Singabe— und Ausgabemagazin sowie als Transportmagazin. Die Transport- und Rechtackbewegungen werden über: einen Antriebsmechanismus realisiert.Due to the simple design of the Tempermagazine they can easily be converted to different component widths. The staggered arrangement of the carrier elements in the tempering magazine allows a uniform heat distribution on the pre-assembled components. The tempering magazine serves as a singing and dispensing magazine as well as a transport magazine. The transport and Rechtackbewegungen be realized via: a drive mechanism.

Ausführungsbeispiel :. . . .Embodiment:. , , ,

Die'Erfindung ist.nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. In der zugehörigen Zeichnung zeigen ..^ Fig. 1 eine Durchlauftempereinrichtung Fig. 2 die Seitenansicht der Durchlauftempereinrichtung Fig. 3 ein Tempermagazin : Fig. 4 die Torderansicht des. Tempermagazins Fig.' 5 die Draufsicht des Tempermagazins .' The invention is explained in more detail below with reference to an exemplary embodiment. 2 shows the side view of the continuous tempering device FIG. 3 shows an annealing magazine: FIG. 4 shows the gate view of the tempering magazine FIG. 5 the top view of the tempering magazine.

lach Fig. 1 werden über einen Hubbalken-Schrittförderer 11 die vormontierten Bauelemente 2,. welche. .im .Tempermagazin 1 gestapelt sind, über eine Eingabestation 12 getaktet durch den Temperofen 9 transportiert. Zwischen zwei Transportschritt en,werden die Tempermagazine 1 am Ort wechselweise vertikal und horizontal in der Temperzone 10. fortlaufend, so bewegt, dai3 eine Rechteckbewegung entsteht. Anschließend werden die getemperten,, vormontierten Bauelemente 2 einer Ausgab'est.a-'t'ion 13 übergeben. . _: · ...·'.·1, the preassembled components 2, 2 are via a walking beam step conveyor 11. Which. .im. Tempering magazine 1 are stacked, transported via an input station 12 clocked by the annealing furnace 9. Between two transport steps, the tempering magazines 1 are alternately moved vertically and horizontally in the annealing zone 10, so that a rectangular movement occurs. Subsequently, the annealed, preassembled components 2 are transferred to an output stage 13. , _: · ... · '· ·

Das Tempermagazin 1 besteht aus genuteten, trapezförmigen Seitenplatten 4 (Fig. 3). Fach Fig. 4 sind die Seitenplatten 4 im Bereich der Hüten 5,mit Durchbrüchen 6 versehen. Die in ,Durchlaufrichtung betrachteten Stirnflächen der Seitenplatten 4 weisen Begrenzungsleisten auf, an denen die in den Nuten 5 geführten, gestaffelt angeordneten Trägerelemente 3 mit den vormontierten Bauelementen Z anliegen. ( Fig.5) Das in Fig. 3 dargestellte Tempermagazin 1 wird durch vier Distanzbolzen 8 auf den Abstand gehalten, · der durch die vormontierten Bauelemente 2 vorgegeben ist. Die beiden unteren Distanzbolzen 8 übernehmen zusätzlich Tragfunktion. Zwischen den Transportschritt en liegt das Tempermagazin 1 mit den unteren Distanzbölzen 8 auf Auflageleisten 14. (Fig. 2) , - ·The tempering magazine 1 consists of grooved, trapezoidal side plates 4 (FIG. 3). Tray Fig. 4, the side plates 4 in the field of hats 5, provided with openings 6. The viewed in the direction of passage end faces of the side plates 4 have boundary strips on which the guided in the grooves 5, staggered support elements 3 abut with the pre-assembled components Z. (FIG. 5) The tempering magazine 1 shown in FIG. 3 is held by four spacer bolts 8 at the distance predetermined by the pre-assembled components 2. The two lower spacer bolts 8 take over additional support function. Between the transport steps en the tempering magazine 1 is located with the lower spacer blocks 8 on support strips 14. (Fig. 2), - ·

Der Abstand, der Nuten .5, in denen die vormontierten Bauelemente 2 gelagert sind, muß,wie in Fig. 4 dargestellt, so groß sein,, daß ausreichend erwärmte Luft an diese gelangen kann. Durch den trapezförmigen Aufbau der S'eitenplatten 4 sind die vormontierten Bauelemente 2 in horizontaler Richtung schräg versetzt im Tempermagazin 1 gelagert.. Dadurch kommt es zur Ausbildung von Gaswirbeln, die die Konvektion in Verbindung mit der Bewegung des Tempergutes im iemperofen 9 begünstigen.The distance, the grooves .5, in which the pre-assembled components 2 are mounted, must, as shown in Fig. 4, be so large that sufficiently heated air can reach them. Due to the trapezoidal structure of the S'eitenplatten 4, the preassembled components 2 are mounted obliquely offset in the horizontal direction in the tempering magazine 1. This results in the formation of gas vortices that promote convection in conjunction with the movement of the tempering in iemperofen 9.

..Um den Wärmedurchsatz und'die gleichmäßige Wärmeverteilung auf den vormontierten Bauelementen 2 zu verbessern,In order to improve the heat throughput and the uniform heat distribution on the preassembled components 2,

. sind in den Seitenplatten^:4 Durchbrüche 6 angebracht., are in the side plates ^: 4 openings 6 attached.

Claims

Claim for service · -

Method and tempering magazine for transporting material to be tempered, preferably for transporting preassembled components in a tempering furnace using the lifting bar stepping principle, characterized in that the in a tempering magazine (1) mounted

, 'preassembled components (2) as they pass through the annealing furnace (9) alternately moved vertically and horizontally between two transport steps »

2. tempering magazine, for, implementation of the. -Process according to item 1, consisting of grooved side plates and associated spacer bolts, characterized in that the side plates (4) trapezoidal ausgebildet.sind that in the region of the hats (5) of the side plates (4 ) Breakthroughs (6) ,. are present and dia side plates

s (4) respectively. at one of the 'end faces', are provided with boundary strips (7), at which the 'in the' grooves -. (5) guided guided, staggered carrier elements (3) with the pre-assembled components (2) abut »; '. '-. '.'

-. .- For this 2 sheets drawings -