DD147781A3 - Vorrichtung zum bestrahlen mittels elektronen - Google Patents

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DD147781A3
DD147781A3 DD79215173A DD21517379A DD147781A3 DD 147781 A3 DD147781 A3 DD 147781A3 DD 79215173 A DD79215173 A DD 79215173A DD 21517379 A DD21517379 A DD 21517379A DD 147781 A3 DD147781 A3 DD 147781A3
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drum
irradiation
electrons
irradiated
transport system
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DD79215173A
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English (en)
Inventor
Wasilii A Gluchich
Michail P Swinin
Michail T Fedodow
Wladimir P Schirokow
Konstantin D Pismannik
Alexander I Schtschegoljew
Adolf Heger
Rudolf Hanke
Helmar Paessler
Original Assignee
Wasilii A Gluchich
Michail P Swinin
Michail T Fedodow
Shirokov Vladimir P
Konstantin D Pismannik
Alexander I Schtschegoljew
Adolf Heger
Rudolf Hanke
Helmar Paessler
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Publication date
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2037Exposure with X-ray radiation or corpuscular radiation, through a mask with a pattern opaque to that radiation
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K5/00Irradiation devices
    • G21K5/02Irradiation devices having no beam-forming means
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K5/00Irradiation devices
    • G21K5/10Irradiation devices with provision for relative movement of beam source and object to be irradiated

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bestrahlen mittels Elektronen, wobei aufwickelbare Flaechengebilde, beispielsweise textile Flaechengebilde oder polymere Folien bestrahlt werden. Die Vorrichtung wird benutzt zur partiellen Bestrahlung von Flaechengebilden zwecks partieller Modifizierung (Musterung u.ae.). Infolge der Anordnung der Strahlungsquelle im Inneren einer als Transportsystem einer Anlage ausgebildeten Trommel mit Durchbruechen (Schablone) werden die Abmessungen verringert sowie die gleiche Geschwindigkeit von Schablone und zu bestrahlendem Flaechengebilde gewaehrleistet.

Description

Vorrichtung zum Bestrahlen mittels Elektronen
Anwendungsgebiet der Erfindung
Die Erfindung, betrifft eine Vorrichtung zum Bestrahlen mittels Elektronen, wobei aufwickelbare Flächengebilde, beispielsweise textile Flächengebilde oder polymere Folien mittels Elektronen bestrahlt werden. Die Vorrichtung wird zur Partialbestrahlung von Flächengebilden oder Folien benutzt·
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen Bekannt sind Vorrichtungen zur einlagigen Strahlenmodifi-
zierung von Materialien mit einer Flächenmasse bis 150 mg/cm mit Hilfe eines Elektronenstrahls mit einer Energie von 0,1 - 0,3 MeV (S, Ju. Krülow, J. J. Buslajew, 0* J* Kotschetow "Samosaschtschennaja ustanowka dlja radiazionnowo modifizirowanija tkanei..."
Vortrag auf dem Allunionsseminar, WdNCh UdSSR, 16. - 20.5.73
S. V. Uablo a. E. P. Tripp "low energy electron process applications" Radiat. Phys.Chem. 1977, Vol. 9 p.ρ 325-352, Pergaraon Press, Großbrit.
A. W. Laritschew, A. P. Teterewkow, "Obesnetschenie radiazionnoi besopasnocti ..."
Vortrag auf der 1. Allunionskonferenz über die Anwendung von Beschleunigern... 1. - 3· 2. 1971 Leningrad);,
9 Λ/Α Ml -IQ 7 C * V η-/.·
Heben einem Elektronenbeschleuniger und einer Vorrichtung für den Austritt der beschleunigten Elektronen in die Atmosphäre gehört zu den Anlagen ein Transportsystem für die Beförderung des Materials in die und aus der Bestrahlungszone sowie der Strahlenschutz für die Sicherheit des Bedienungspersonals·
Derartige Anlagen gestatten die einseitige Bestrahlung des Materials, das sich unter dem Elektronenstrahl in senkrechter Richtung zur großen Folienabmessung des Austrittsfensters hinwegbewegt·
Eine der kompliziertesten Baugruppen solcher Anlagen ist die Baugruppe zur Beförderung des Materials in die Bestrahlungszone mit Gewährleistung der erforderlichen Lokalisation der .Bremsstrahlung in der Abschirmung·
Eine Abart bekannter Anlagen ist die Anlage zur Strukturierung von Flächengebilden durch Bestrahlung mittels beschleunigter Elektronen, bei der sich ein endloses Band (Schablone) zwischen der Folie des Austrittsfensters des Elektronenbeschleunigers und dem zu bestrahlenden Material bewegt, wobei dieses Band sich im Winkel zur Bewegungsrichtung des Materials bewegt (DD-PS 104 824, DE-PS 2 255 5?3).
Hierbei ist entsprechend den Prozeßbedingungen eine exakt abgestimmte Bewegung des zu bestrahlenden Materials und des Schablonenbandes erforderlich· Die genannten Besonderheiten bestimmen die Kompliziertheit der Konstruktion und die beträchtlichen Abmessungen derartiger Anlagen·
Bekannt ist auch eine als Prototyp vorgeschlagene Anlage (SU-UR 467 526), bei der mittels Leitwalzen, die zwischen den Bahnen des endlosen Schablonenbandes angebracht sind, eine dreifache Änderung der Bewegungsrichtung des zu bestrahlenden
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Materials erfolgt, wobei sich in der Bestrahlungszone Material und Band parallel bewegen. Ungeachtet dessen, daß eine derartige konstruktive Lösung gestattet, die Anlage zu vereinfachen und ihre Abmessungen zu reduzieren, ist sie auch kompliziert, da eine neue Baugruppe zur Änderung der Bewegungsrichtung des Materials hinzukommt·
Außerdem besteht weiterhin die Forderung gleicher Geschwindigkeit für Material und Schablonenband.
Ziel der Erfindung
Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Vereinfachung der Anlage zum Bestrahlen mittels Elektronen und die Reduzierung ihrer Abmessungen.
Darlegung des Wesens der Erfindung Technische Aufgabe
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Transportelemente unter Umgehung der Umlenkung des Flächengebildes zu verändern.
Merkmale der Erfindung
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß das Transportsystem der Vorrichtung in Form einer sich drehenden Trommel ausgebildet ist, die auf Lagern in ringförmiger zylindrischer Aussparung, die von den Strahlenschutzblöcken gebildet wird, koaxial zu dieser Aussparung angeordnet ist.
Vorteilhaft ist es, im Mantel der Trommel Öffnungen anzubringen, deren Anordnung der vorgegebenen Form der Partialbestrahlung entspricht· Die Strahlungsquelle ist dabei in der Trommel angeordnet, wobei der Mantel abnehmbar ist und die Trommel angetrieben wird,
Ausführungsbeispiel
In der zugehörigen Zeichnung zeigen Pig· 1 die vorgeschlagene Vorrichtung, Pig· 2 den Querschnitt der Vorrichtung·
Der Mantel 1 der Trommel 2 mit den darin angebrachten Öffnungen 3 ist über Plansche 4 auf Lagern 5 in ringförmiger zylindrischer Aussparung 6, die von den Strahlenschutzblöcken 7 und 8 gebildet wird, befestigt· Im Block 7 ist die Strahlungsquelle 9 mit dem Austrittsfenster 10 angeordnet. Dieser gegenüber sind im Block 7 Schlitze 11 vorgesehen· Über-den Schlitzen befindet sich der zweite Schutzblock 8. Der Antriebsmotor 12 ist mit der Trommel 2 beispielsweise über ein Zwischenrad 13 verbunden· Die Vorrichtung arbeitet wie folgt:
Das zu bestrahlende Plächengebilde 14 wird mittels Leitwalzen zur angetriebenen Trommel 2 geführt und über die ringförmige Aussparung mit einer Geschwindigkeit geführt, die gleich der linearen Geschwindigkeit des Trommelmantels ist. Beim Passieren des Austrittsfensters 10 wird ein Teil des Plächengebildes entsprechend der Porm der Öffnungen 3, die im Mantel 1 angebracht sind, bestrahlt. Das bestrahlte Plächengebilde gelangt nach der Trommel 2 entsprechend dem technologischen Prozeß in weitere Anlagen der Linie. Eine derartige Ausführung der Bestrahlungsvorrichtung gestattet, ihre Konstruktion zu vereinfachen und ihre Abmessungen zu reduzieren· Die gleichzeitige Benutzung der angetriebenen Trommel als Schablonenträger und Bauelement für den Transport gewährleistet gleiche Geschwindigkeiten von zu bestrahlendem Plächengebilde und Schablone.
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Außerdem gewährleistet der hierbei realisierte direkte Kontakt zwischen dem zu bestrahlenden Plächengebilde und dem Mantel mit den profilierten Öffnungen die genaue Übertragung des Musters auf das Plächengebilde, wodurch die Produktionsqualität gesteigert wird·

Claims (3)

215173 -*- Erfindungsanspruch
1. Vorrichtung zum Bestrahlen aufwickelbarer Flächengebilde, beispielsweise textiler Flächengebilde oder polymerer Folien, mittels Elektronen, zu der ein Elektronenbeschleuniger, der Strahlenschutz und das Transportsystem für die Führung des Flächengebildes in die und aus der Bestrahlungszone gehören, dadurch gekennzeichnet, daß das Transportsystem der Vorrichtung als eine sich drehende Trommel ausgebildet ist, die auf Lagern in ringförmiger zylindrischer Aussparung, die von den Strahlenschutzblöcken gebildet wird, koaxial zu dieser Aussparung angeordnet ist·
2· Vorrichtung dadurch gekennzeichnet, daß zwecks partieller Bestrahlung des Flächengebildes unter Verwendung von Abdeckschablonen im Mantel der Trommel Öffnungen angebracht sind, deren Anordnung der vorgegebenen Form der partiellen Bestrahlung entspricht, und die Strahlenquelle in der Trommel angeordnet ist,
3. Vorrichtung nach Punkt 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Mantel der Trommel abnehmbar ist.
Hierzu..^....Seiten Zeichnungen
DD79215173A 1978-09-07 1979-08-24 Vorrichtung zum bestrahlen mittels elektronen DD147781A3 (de)

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JP (1) JPS5558500A (de)
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CH646007A5 (de) 1984-10-31
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