DE2362625B2 - Gehäuse zur Behandlung einer Bahn aus nichtmetallischen! Material in einer gashaltigen Atmosphäre - Google Patents
Gehäuse zur Behandlung einer Bahn aus nichtmetallischen! Material in einer gashaltigen AtmosphäreInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Gehäuse zur Behandlung einer Bahn aus nichtmetallischem Material in einer
gashaltigen Atmospäre, mit Durchführungen, die den Durchtritt der gashaltigen Atmosphäre beschränken
und den Eintritt und Austritt der Materialbahn in das, und aus dem Gehäuse ermöglichen.
Bei der Bearbeitung bestimmter Materialien, wie z. B. Filme, sensiblisierte Papiere oder andere Arten von
bahnenförmigen Materialien ist es üblich, derartige Materialien einer Reihe aufeinanderfolgender Behandlungen
mit unterschiedlichen Lösungen oder Atmosphären zu unterziehen, die voneinander getrennt bleiben
müssen. Die Folgen einer Vernachlässigung dieser Bedingung können sich in Verschmutzung der verschiedenen
Medien, die auf die Materialbahn einwirken, in schädlichen und unter Umständen heftigen chemischen
Reaktionen, und schlechter Qualität usw. äußern.
Aus dem DE-Gbm 72 05 499 ist eine derartige wi
Vorrichtung bekannt, bei der die Atmosphäre des Gehäuseinnern, z. B. bei der Herstellung oder der
Behandlung von Filmen gegen den Außenraum abgegrenzt werden soll, wobei zu diesem Zweck eine
Dichtung in Form eines Schlitzes in der Gehäusewand <>->
zur Durchführung des bahnenförmigen Materials vorgesehen ist. Bei dieser bekannten Vorrichtung muß
der Schlitz verhältnismäßig breit sein, um zu verhindern, daß das bahnenförmige Material oder der Film die
Gehäusewand berührt, also um Reibung und Verkratzen des bahnenförmigen Materials auf einem Minimum zu
halten. Bei der dadurch bedingten relativ großen Schlitzbreite tritt in unerwünschter Weise ein relativ
hoher Leckverlust an Gas ein, wodurch das System bei fortgesetzter Benutzung an Wirksamkeit verliert Falls
Reibung und Kratzer in Kauf genommen werden können, werden die Gehäuseschlitze mit Gummi oder
einem anderen Material ausgekleidet, welches eine Wischwirkung gegenüber dem bahnenförmigen Material
besitzt
Aus der AT-PS 2 44 150 und dem DE-Gbm 72 05 499 sind Vorrichtungen bekannt bei denen die Materialbahn
oder der Film durch zwei Quetschwalzen hindurchgelührt wird. Bei einer derartigen Walzenanordnung wird
Druck auf den Film ausgeübt und dadurch der zu Leckverlusten führende Spalt ausgeschaltet Die Belastung
des Films durch die Walzen führt insbesondere, wenn Schmutzpartikel vorhanden sind und sich im
Bereich der Abdichtung ansammeln, zu Beschädigungen des Trägermaterials des Films oder dergleichen, das sich
die Schmutzpartikel an den Walzenoberflächen festsetzen und Eindruckstellen auf dem bahnenförmigen
Material oder dem Film hinterlassen. Ferner ist normalerweise zwischen Walzen und der Gehäusewand
Reibung vorhanden, so daß sich eine unerwünschte Abnutzung der Vorrichtungsteile ergibt
Bekannt ist es, in Systemen, in denen derartige Gehäuse oder Kammern von besonderem Nutzen sind,
wie beispielswebc bei Entwicklungskammern für Diazofilm, die Ammoniak, Luft und Wasserdampf
enthalten, Dichtungen einzusetzen. Die normale Arbeitstemperatuf für derartige Gehäuse oder Kammern
liegt bei etwa 65° C, obwohl sich der Temperaturbereich von 20 bis 95° C erstrecken kann. Der Druckunterschied
zwischen der Atmosphäre und dem Gehäuseinnern beträgt etwa 0,5 mm Wassersäule. Wenn Walzen mit
einem Durchmesser von etwa 2,5 cm, einem radialen Abstand oder Durchgangsspalt von 0,45 mm und eine
Filmbreite von 35 mm verwendet werden, so ergibt sich z. B. ein Leckverlust an Ammoniak von 0,023 rnVh an
den Eintritts- und Austrittsdichtungen.
Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, ein Gehäuse zur Behandlung einer Bahn aus nichtmetallischem
Material in einer gashaltigen Atmosphäre anzugeben, dessen Durchführungen beim Eintritt und
Austritt der Materialbahn die gashaltige Atmosphäre im Gehäuseinnern gegen die umgebende Atmosphäre
möglichst gut abgrenzt, ohne daß eine reibende oder wischende Berührung der Materialbahn erfolgt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des neuen Anspruchs 1 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind durch die in den Unteransprüchen angegebenen
Merkmale gekennzeichnet.
Die Vorteile der Erfindung liegen insbesondere darin, daß die Materialbahn über jeweils lediglich eine drehbar
gelagerte Walze in das Gehäuse einläuft bzw. vom Gehäuse herausgeführt wird. Da die Materialbahn
einseitig und ohne Reibung auf der drehbaren Walze aufliegt, kann der einseitig zwischen der Materialbahn
und der Kammerwand vorhandene Schlitz sehr klein bemessen werden, und es ist sichergestellt, daß keine
reibende oder wischende Berührung der Materialbahn erfolgt. Dadurch sind die Leckverluste des Gehäuses
gegenüber den bekannten, ebenfalls berührungsfrei arbeitenden Schlitzanordnungen bei ansonsten gleichen
Betriebsbedingungen sehr klein, wobei ein Unterdruck im Gehäuse zur Erzielung dieser Vorteile nicht
erforderlich ist.
Inn folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es
zeigt
F i g. 1 eine schematische Darstellung einer typischen Ausführungsform der Erfindung für eine Bahn aus
Filmmaterial; und
F i g. 2 eine Einzelheit der Durchführungen der F i g. 1 in perspektivischer Darstellung.
Gemäß F i g. 1 bewegt sich eine Bahn 1 aus Filmmaterial unter Zugwirkung in ein Gehäuse oder
eine Kammer, in der die Materialbahn durch eine gasförmige Atmosphäre 2 behandelt wird. Die Materialbahri
1 wird beim Eintritt in das Gehäuse durch eine Durchführung 3 hindurchgezogen und über Walzen,
z. B. die Spannwalzen 4, geführt Schließlich verläßt die Materialbahn 1 nach der Behandlung durch eine weitere
Durchführung 5 am Austritt die Kammer bzw. das Gehäuse. Jede der Durchführungen 3 und 5 besitzt eine
Walze 6, die in der betreffenden Durchführung gelagert und geeignet ist, die Richtung des Weges der
Materialbahn 1 gegenüber der Stelle des Eint/itts um 90° zu ändern. Weiter ergibt die Walze 6 eine
Möglichkeit zum Steuern der Länge der Abdichtung; z. B. ermöglicht die Änderung des Durchmessers der
Walze 6 eine solche Einstellung. Der Körper der Durchführung 3 bzw. 5 kann so ausgestaltet sein, daß er
eine ganze Reihe von Wickelwinkeln ermöglicht; d.h. der Betrag an Oberflächenberührung zwischen der
Walze 6 der Durchführung und der um die Walze geführten Materialbahn 1 kann zwischen 1° und 355°
geändert werden. Umgekehrt kann diese Beziehung, also die Kontaktlänge, entsprechend dem gewünschten
Dichtungsausmaß bzw. der gewünschten Durchführungslänge geändert werden. Auch ist natürlich die in
F i g. 1 gezeigte Vorrichtung hinsichtlich der Anzahl der Durchführungen, Spannwalzen, sowie der Anordnung
solcher Durchführungen wahlweise veränderbar.
Fig. 2 zeigt die Durchführung perspektivisch. Die Walze 6 ist auf einer ortsfesten Welle 7 gelagert,
innerhalb einer dicht passenden Gehäusestrjktur bzw. dem Körper der Durchführung 3. Diese gesamte
Durchführung ist an der, die Atmosphäre 2 einschließenden Kammer, an Stellen des Eintritts und Austritts
vorgesehen, die sich nach der Art der Behandlung der Materialbahn oder des Substrats richten, das in die
Kammer eintritt und wiedei austritt. Geeignete Schlitze sind in der Kammerwand bzw. dem Körper 3
vorgesehen, wobei diese Schlitze um 90° gegeneinander versetzt sind und dem Zugang und Ausgang des Films
dienen. Solche Schlitze sind in F i g. 1 bei 8 und 9 gezeigt und gleichfalls um 90° gegeneinander versetzt. Wenn
eine Materialbahn 1 durch Schlitze 8, 9 in die Kammer eingeführt wird, bewegt sie sich zwangsläufig durch
einen ringförmigen Durchgang 10. Dieser Durchgang wird von dem Abstand gebildet, der zwischen der sich
bewegenden Materialbahn 1 und dem Körper 3 der Durchführung besteht, wobei an dieser Stelle tatsächlich
ein gewisser Leckverlust auftritt. Dieser Leckverlust ist jedoch minimal wegen der Begrenzung und der
Reibungskräfte, die durch den ringförmigen Abstand entstehen, der innerhalb vorgeschriebener Toleranzen
eingestellt wird. Es ist ersichtlich, daß der Fluß an Volumen oder Leckverlust durch diesen Bereich eine
Funktion der Weglänge, Weite, Höhe, des Druckunterschiedes, der Viskosität der Medien usw. ist, die im
Einzelfall Verwendung finden.
Es wurde beispielsweise gefunden, daß eine wirksame Dichtung erreicht wird, wenn der Abstand zwischen der Materialbahn und dem Gehäuse bzw. dem Körper 30,0254 bis 0,76 mm beträgt. Dieser Abstand gestattet einer Partikelverunreinigung, die sich auf der sich bewegenden Materialbahn befinden kann, durch den Abstand bzw. Durchgang 10 hindurchzugehen, ohne eine Kratzwirkung auf die Materialbahn oder das Substrat auszuüben. Auch im Falle eines momentanen Nachlassens der Spannung infolge einer Fehlfunktion oder sonstiger Gründe ist der Kontakt zwischen den Walzen 4 und dem Filmgehäuse 3 minimal gehalten, wodurch eine Beschädigung der Materialbahn weitgehend vermieden wird.
Es wurde beispielsweise gefunden, daß eine wirksame Dichtung erreicht wird, wenn der Abstand zwischen der Materialbahn und dem Gehäuse bzw. dem Körper 30,0254 bis 0,76 mm beträgt. Dieser Abstand gestattet einer Partikelverunreinigung, die sich auf der sich bewegenden Materialbahn befinden kann, durch den Abstand bzw. Durchgang 10 hindurchzugehen, ohne eine Kratzwirkung auf die Materialbahn oder das Substrat auszuüben. Auch im Falle eines momentanen Nachlassens der Spannung infolge einer Fehlfunktion oder sonstiger Gründe ist der Kontakt zwischen den Walzen 4 und dem Filmgehäuse 3 minimal gehalten, wodurch eine Beschädigung der Materialbahn weitgehend vermieden wird.
Es wurde z. B. gefunden, daß die Erfindung äußerst befriedigend arbeitet, wo die Geschwindigkeit der in die
Kammer eintretenden und aus dieser austretenden Materialbahn durch die Komponenu- der Transportart
gesteuert wird, nämlich: die Fiimstärki., -'ie Lagerbeiastung,
die Antriebskraft usw.; die Bahngeschwindigkeit kann also entsprechend geändert werden. Bei der
Erfindung ist vorgesehen, daß die Durchführung normalerweise bei geringem Druckunterschied arbeitet.
Es wurde gefunden, daß eine Änderung des Druckes bis zu 38 mm Wassersäule annehmbar ist.
Höhere Drücke dagegen ergeben eine Leckverlustrate, die durch eine Verminderung des ringförmigen
Abstands bzw. des Durchgangs 10 kompensiert werden muß, wodurch das System weniger brauchbar wird. Die
Durchführung kann bei jeder Temperatur arbeiten, die mit dem verwendeten Material der Durchführung oder
der durch die Kammer bewegten Materialbahn verträglich ist; auch eignet sich die Durchführung zum
Abdichten jedes Gases, wie beispielsweise Luft, Ammoniak, Stickstoff, Sauerstoff usw. soweit sich ein
solches Gas mit den Materialien des gesamten Systems
verträgt.
Es wurde auf empirischen Wege gefunden, daß mit eine. Anordnung der vorstehend beschriebenen Art der
Leckverlust erheblich vermindert wird, nämlich im Verhältnis von 10:1, verglichen mit einem einfachen
rechteckigen Schlitz, wie er bisher in den Wandplatten von solchen Kammern verwendet wurde. Diesem
Vorteil kommt erhebliche Bedeutung zu, besonders wenn Materialbahnen behandelt werden, die mit den
Gasen reagieren können und ganz besonders wenn solche Gase sich gegenseitig verunreinigt haben.
Weiterhin ist es möglich, bestimmte bzw. ausgewählte gasförmige Leckverluste mittels einer Saugpumpe
abzusaugen und dadurch eine Verunreinigung des zweifi? Gases zu verhindern. Zu diesem Zweck ist eine
kleine Saugöffnung dem Austrittschlitz zugeordnet und das Vakuum kann fir den minimalen Druckunterschied
eingestellt werden, der erforderlich ist, um den gesamten Leckverlust zu beseitigen. Diese Anordnung
ist überall dort zweckmäßig, wo auch der geringste
··'> Betrag an Verunreinigung oder Leckverlust nicht
zulässig ist.
Die Durchführungen können auch bei einer einzigen Trennwand zwischen zwei Räumen Verwendung finden,
wobei Größe, Dimensionsverhältnisse und Aufbau dem
■ ' Einzelfall angepaßt werden können.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
1
Patentansprüche:
Patentansprüche:
1. Gehäuse zur Behandlung einer Bahn aus nichtmetallischen! Material in einer gashaltigen
Atmosphäre, mit Durchführungen, die den Durchtritt der gashaltigen Atmosphäre beschränken und
den Eintritt und Austritt der Materialbahn in das, und aus dem Gehäuse ermöglichen, dadurch
gekennzeichnet, daß die Durchführungen (3,
5) am Eintritt und Austritt der Materialbahn (1) je eine zylindrische Kammer enthalten, in der eine
Walze (6) drehbar gelagert ist, daß die Kammern über Schlitze (8, 9) mit dem Außenraum und dem
Innenraum des Gehäuses (2) verbunden sind, und daß die Schlitze (8, 9) die Materialbahn (1) auf den
Umfang der Walze (6) hin- und vom Umfang der Walze (6) wegführen.
2. Gehäuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schlitze (8,9) in den Durchführungen
(3, 5), die den Durchgang der Materialbahn ermöglichen, untereinander etwa in einem Winkel
von 90° versetzt sind.
3. Gehäuse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchgang (10) zwischen
den Durchführungen (3,5) und der Materialbahn (t) zwischen 0,0254 mm und 0,76 mm (0,001 und
0,03 inch) beträgt.
4. Gehäuse nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckunterschied
zwischen der umgebenden Atmosphäre und dem Innern des Gehäuses (2) höchstens 38 mm
(1,5 inch) Wettersäule beträgt.
5. Gehäuse nach ein?m der "orstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß an der Durchführung (5) am Austritt Druckende tungsmittel vorgesehen
sind, durch die der Druckunterschied zwischen der umgebenden Atmospäre und dem Gehäuse (2)
verringerbar ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US00316670A US3807058A (en) | 1972-12-20 | 1972-12-20 | Sealing arrangement for enclosed chamber |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2362625A1 DE2362625A1 (de) | 1974-06-27 |
DE2362625B2 true DE2362625B2 (de) | 1978-12-21 |
Family
ID=23230116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2362625A Withdrawn DE2362625B2 (de) | 1972-12-20 | 1973-12-17 | Gehäuse zur Behandlung einer Bahn aus nichtmetallischen! Material in einer gashaltigen Atmosphäre |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3807058A (de) |
JP (2) | JPS4991447A (de) |
CA (1) | CA989896A (de) |
DE (1) | DE2362625B2 (de) |
FR (1) | FR2211860A5 (de) |
GB (1) | GB1444401A (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2741228C2 (de) * | 1977-09-13 | 1983-04-14 | Vsesojuznyj naučno-issledovatel'skij i eksperimental'nyj institut po pererabotke chimičeskich volokon, Moskva | Vorrichtung zur kontinuierlichen Behandlung von bahnförmigem Textilmaterial unter Überdruck |
JP2003133230A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | フレキシブル基板の半導体処理装置 |
EP1751454B1 (de) * | 2004-05-25 | 2009-11-18 | Applied Materials GmbH & Co. KG | Schleusenventil, insbesondere für eine bandbehandlungsanlage |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US2952569A (en) * | 1958-01-28 | 1960-09-13 | Nat Steel Corp | Method and apparatus forming an ice seal in vapor deposition |
JPH0512202U (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-19 | 有限会社松本設計事務所 | ボール球タイヤ連続構成車輪 |
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- 1972-12-20 US US00316670A patent/US3807058A/en not_active Expired - Lifetime
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1973
- 1973-10-23 CA CA183,986A patent/CA989896A/en not_active Expired
- 1973-10-24 GB GB4962373A patent/GB1444401A/en not_active Expired
- 1973-11-21 JP JP48131172A patent/JPS4991447A/ja active Pending
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- 1973-12-18 FR FR7345212A patent/FR2211860A5/fr not_active Expired
-
1978
- 1978-04-22 JP JP1978054076U patent/JPS53151921U/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2362625A1 (de) | 1974-06-27 |
JPS4991447A (de) | 1974-08-31 |
CA989896A (en) | 1976-05-25 |
GB1444401A (en) | 1976-07-28 |
US3807058A (en) | 1974-04-30 |
JPS53151921U (de) | 1978-11-30 |
FR2211860A5 (de) | 1974-07-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8230 | Patent withdrawn |