CZ9302396A3

CZ9302396A3 - Vláknitý tantal a z něho vyrobený kondenzátor

Info

Publication number: CZ9302396A3
Application number: CZ19932396A
Authority: CZ
Inventors: James A. Fife
Original assignee: Cabot Corporation
Priority date: 1991-05-31
Filing date: 1992-05-28
Publication date: 2002-06-12
Also published as: AU2160592A; WO1992022078A1; EP0587734B1; UA26404C2; RU2104598C1; CZ291876B6; JP3172182B2; DE69218937T2; HK135097A; US5306462A; SG55197A1; US5217526A; KR100264754B1; DE69218937D1; ATE151563T1; JPH06508241A; EP0587734A1

Description

Vláknitý tantal a z něho vyrobený kondenzátor

Oblast techniky

Vynález se týká částicového tantalu a z něho vyrobeného kondenzátoru.

Dosavadní stav techniky

Tantalové kondenzátory na bázi pevné látky a elektrolytu přispěly podstatnou měrou k miniturizaci elektronických obvodů. Pracují v širokém teplotním rozsahu, mají dobrou skladovatelnost, a životnost a jsou použitelné i v extrémních podmínkách.

Takové kondenzátory jsou obvykle vyrobeny stlačením tantalového prášku do pelet a slinování těchto pelet do tvaru porézního tělesa. Porézní těleso je potom anodizováno ve vhodném elektrolytu, čímž se vytvoří na slinutém tělese kontinuální dielektrický oxidový film. Póry jsou vyplněny elektrolytem a k tělesu je připevněn přívodní drát, čímž se získá kondenzátor.

Za účelem zlepšení měrné kapacitance (a objemové účinnosti) byla stále zmenšována velikost částic tantalového prášku, používaných k výrobě kondenzátorů. Spolu se zmenšováním velikosti částic prudce klesla i teplota požadovaná pro slinování. Avšak pro čištění uvedených částic je nezbytné zvýšit teplotu částic na hodnotu vyšší, než jaká je nezbytná pro slinování. Horní hranice této teploty je zase omezována nejmenší použitelnou velikostí částic, v případě použití velmi malých částic dochází při vysoké teplotě čištění k jejich nadměrnému roztavení.

K dalšímu problému spojenému s použitím velmi malých částic, dochází při následné anodické oxidaci kondenzátorového anodového tělesa. Skutečnost, že při anodické oxidaci dochází ke spotřebě anodového kovu v množství úměrném anodizačnímu napětí, omezuje použitá anidizační napětí i nejmenší velikost částic, které mohou být v kondenzátoru použity. Částice s velikostí menší, než je takto vymezená kritická velikost, jsou anodizačním procesem zcela spotřebovány.

Vzhledem k výše popsané skutečnosti jsou předmětem stálého výzkumu částice se zvětšenou povrchovou plochou, které by byly schopné odolávat teplotám, které jsou v průběhu slinování nezbytné k čištění částic, aniž by přitom docházelo k nadměrnému tavení částic a ztrátám jejich povrchové plochy, a které by byly stabilní v průběho anodické oxidace.

Stručný popis obrázků

Obr.1 znázorňuje SEM (řádkovací elektronový mikrograf) tantalových vláken připravených známým metalurgickou technologií tažení.

Obr. 2 znázorňuje SEM tantalových vláken obrázku 1 po převedení do neuspořádaného stavu a vytvarování těchto vláken do válcovitého tvaru.

Obr.3 znázorňuje SEM vláken z obrázku 1 bez převedení do neuspořádaného stavu pouze s vytvarováním vláken do válcovitého tvaru.

Obr. 4 znázorňuje SEM částic tvořených spojenými vlákny podle vynálezu.

Obr.5 znázorňuje typický kondenzátor podle vynálezu.

Výchozím materiálem pro vlákna podle. vynálezu může být například tantalový prášek získávaný běžnými postupy, například hydridováním elektronovým paprskem taveného tantalového ingotu (viz související patent US 4 502 884). Hydrid tantalu je drcen, proséván, odplyňován a smýchán s přídavným kovem, jakým je například měděný prášek. Prášková směs se umístí do trubice a tato trubice je podrobena zpracování na válcovací stolici. Válcování způsobí protažení tantalového prášku z kulového tvaru do tvaru krátkých tyček. Prostorově centrovaný krychlový (BCC) charakter krystalové struktury tantalu způsobuje,že v případě protahování tantalu tímto způsobem je tantal protahován klouzáním podél jeho rovin. Takže ačkoliv jsou částečky tantalového materiálu označovány jako tyčinky, jedná se spíše o páskovitě tvarované částečky nebo částečky s tvarem podobným stéblům trávy. Jednotlivé tyčky tantalu jsou získány odstraněním mědi pomocí anorganických kyselin. Další výchozí materiál lze získat tažením tantalových tyčí, například způsobem používaným při tažení drátu, popsaným v příkladu 1.

Přestože mnoha výhod podle vynálezu lze dosáhnout za použití tohoto materiálu v páskovité formě pomocí stupně, ve kterém se dosahuje kritické nahodilé struktury, dále jen znáhodnění uspořádání tohoto materiálu, který bude dále popsán, ještě lepších výsledků lze dosáhnout doplněním tohoto stupně znáhodnění uspořádání vláken tantalového materiálu stupněm převedení páskovitého tantalu do válcovitého tvaru, který bude také dále popsán.

Dalším stupněm způsobu podle vynálezu, který je rozhodující pro získání zlepšených vlastností popsaných jak pro částici tvořenou spojenými tantalovými vlákny, tak i pro kondenzátor, je stupeň znáhodnění uspořádání tantalových vláken, přičemž znáhodněním uspořádání se rozumí, převedení paskovitých vláken do náhodně orientováného v podstatě nevyrovnaného seskupení. Takové náhodně nevyrovnané seskupení je pod- 4 statné pro zachování povrchové plochy a pro s tímto související zlepšení kapacitance tantalového prášku v následných stupních tepelného zpracování nebo slinování. Pokud nejsou vlákna převedena do tohoto v podstatě nevyrovnaného seskupení, způsobí slinování, čištění nebo udílení válcovitého tvaru vláknům plsti, částic nebo pelet, že se přilehlá vlákna spojí stavením podél svých délek, přičemž vytvoří těleso s podstatně menší povrchovou plochou a kapacitancí.

Stupeň znáhodnění uspořádání může být proveden mnoha různými způsoby, přičemž výhodným způsobem je převalování vláken ve skleněné nádobě, zatímco jsou zvlhčována těkavým nosičem, jakým je například voda nebo alkohol (výhodně samotný methanol, i když lze přidát i pojivo, kterým mohou být parafiny, například kyseliny stearová). Methanol (nebo jiný nosič s pojivém nebo bez něj) způsobí, že se vlákna dočasně spojí, přičemž vytvoří v podstatě kulovitý aglomerát vláken. Tvorbu těchto aglomerátů lze pozorovat skrze skleněnou nádobu. Čas od času je uvedená skleněná nádoba vyprázdněna a její obsah je proséván, obvykle přes síto s velikostí ok odpovídajícím 40 mesh, čímž se vytřídí frakce tvořící propad pod tímto sítem. Tímto způsobem se izolují menší částice, které propadnou skrze uvedené síto. Větší částice jsou dezintegrovány a vráceny zpět do bubnu. Z menších částic se ohříváním za vákua odpaří methanolové pojivo, což způsobí spojení vláken do neměnné konfigurace, která vylučuje další změny v uspořádání těchto částic. Dalším ohříváním vláken dochází také k jejich čištění a změně jejich původního tvaru na tvar válcovitý (viz dále). Uvedené aglomeráty (nebo částice) mají obvykle průměr nejvýše asi 2 000 mikrometrů, výhodně nejvýše asi 500 mikrometrů a nejvýhodněji asi 25 až 250 mikrometrů.

Jak již bylo uvedeno těleso kondenzátoru může být tvořeno materiálem majícím strukturu plsti. Plstěný kondenzátorový materiál tvořený vlákny tantalu niobu nebo jejich slitin, lze vyrobit dispergováním vláken v nosiči, obvykle ve vodě, přičemž vlákna mají délku nejvýše asi 400 mikrometrů, a následným odstraněním vody nebo jiného nosiče filtrováním. Vlákna v uvedené plsti jsou také nahodile orientována ve v podstatě nevyrovnaném porézním uspořádání.

Vlastní teploty, které jsou použity pro spojovací stupeň také způsobují přeměnu páskovitých vláken do válcovité formy, čímž se dále zvýší teplotní a elektrochemická stabilita vláken. Při znáhodněně uspořádaném spojení válcovitých vláken dochází k menší redukci využitelné povrchové plochy než u podobných spojení páskovitých vláken. Přestože lze použít vysoké teploty po kratší dobu, obvykle se u komerčních typů způsobů nechávají vysoké teploty působit v 30 minutovém časovém rozmezí, v závislosti na velikosti vláken, obvykle jsou používány teploty alespoň 1400 °C (např.

400 °C až 2 400 °C) k převedení vláken do válcovité formy a výhodně jsou používány teploty vyšší než 1 450 °C (např. 1 450 °C až 1470 °C, 1750 °C) po dobu alespoň 20 minut, a obvykle alespoň 30 minut

Teploty použité pro spojování, čištění a převádění vláken do válcovitého tvaru se mohou lišit v závislosti na průměru a délce vláken, přičemž čištěním se rozumí spalování nečistot a redukování obsahu kyslíku ve vláknech. Čištění je obvykle prováděno při teplotách vyšších než je 1 200°C a může probíhat při teplotě 2 400°C. Tyto teploty by měly být udržovány po dobu nejméně 10 minut a výhodně nejméně 30 minut.

Stupněm čištění a převedení vláken do válcovité formy je odstraněna nadbytečná povrchová struktura s vysokým obsahem kyslíku, čímž je získán produkt s nízkým obsahem kyslíku. Kromě kyslíku jsou odstraněny i další nečistoty, jakými jsou uhlík a kovy, které by mohly rozrušit vytvořenou dielektrickou vrstvou kysličníku, což by mohlo narušit provoz kondenzátoru, například ve smyslu protékání proudu nebo jeho úplné zničení způsobené elektrickým prů- 6 rázem.

Vlákna mají obvykle průměr nejvýše asi 1 mikrometr, výhodně nejvýše asi 0,33 mikrometru a nejvýhodněji asi 0?2 až asi 1 mikrometr, přičemž délka vláken je obvykle nejvýše asi 400 mikrometrů, výhodně nejvýše asi 250 mikrometrů, a nejvýše 50 až 100 mikrometrů. Tato vlákna mají obvykle štíhlost (poměr délky a průměru) nejméně 10:1 a obecně nejvýše asi 20:1.

U vláken s touto velikostí po znáhodnění jejich uspořádání, lze jejich spojování, čištění a převedení do válcovité formy provádět postupně nebo při jedné teplotě, například při asi 1 500°C.

Po vytvoření částic, jejichž velikost odpovídá výhodně -40 mesh, jsou tyto částice zpracovány do pelet konvenčními běžně používanými postupy, kterými jsou vyráběny i pelety z konvenčního tantalového prášku.

Pelety vyrobené tímto způsobem jsou dále anodizovány za účelem vytvoření dielektrické oxidové vrstvy na povrchu vlákna. Touto oxidovou vrstvou je obvykle Ta20^. Anodizování je prováděno běžným způsobem, přičemž tantalové pelety tvoří anodu v přítomnosti elektrolytu.

Elektrolyt, který je používán v kondenzátoru a kterým je obvykle konvenční MnO^ nebo kyselina sírová, je zaváděn do slisovaných pelet napouštěním pod tlakem nebo, v případě MnC^, tepelným rozpadem roztoku dusičnanu manganatého.

Anodovým vývodem je obvykle tantalový drát, avšak lze použít i jiné vodiče. Délka a průměr drátu závisí na budoucím použití kondenzátorů. Tento drát může být k tantalové peletě přivařen nebo jednoduše vložen a slisován s uvedenou peletou.

Ί

Příklad 1

Tantalová tyč mající průměr jeden centimetr byla zapouzdřena mědí a protahována na průměr malé velikosti pomocí vhodného protahovacího nástroje. Výsledný drát byl nasekán na krátké délky a balen do druhé měděné housky. Tento postup zahrnující protahování, sekání a opětné obalování byl opakován až do zmenšení průměru tantalových kousků na 1 mikrometr. V tomto stavu je polotovar loužen v kyselině dusičné za účelem odstranění mědi a uvolnění v něm obsažených tantalových vláken, která jsou znázorněna na obrázku 1 . V této formě má materiál hrubý povrch, nepravidelně tvarovaný průřez a vysoký stupeň rovnoběžnosti tantalových v něm obsažených a již popsaných vláken. Vlákna v této formě nemohou poskytovat vysoký stupeň stability při slinování, který je charakteristický pro vlákna zpracovaná podle vynálezu. Vzhledem k tomu, že tato vlákna mají páskovitý tvar, může u nich docházet v případě, že se zvýší anodizační napětí, k velké ztrátě mikrofarad-voltů na gram, což vážně omezuje použitelné napětí pro kondenzátory, které jsou vyrobeny z těchto vláken.

Příklad 2

Vytlačované tantalové vlákno popsané v příkladu 1 bylo mechanicky nasekáno na milimetrové délky a dispergováno v tekutině za účelem znáhodnění uspořádání uvedených vláken. Tato suspenze byla filtrována za účelem získání nahodilé sítě vláken ve formě plstěného kotouče. Tato plsť byla slinována při teplotě 1 750 °C po dobu 5 600 sekund bez použití jakékoliv slinování-inhibující látky, jakou je například fosfor. Struktura tohoto materiálu je znázorněna obrázku 2. Tato plsť má kapacitanci 20 000 uf.v/g pokud je anodizována napětím 80 voltů se ztrátou pouze 15jif.v/g. Tato kombinace vysoké kapacitance juf.v/g a nízké ztráty jjf.v/g způsobené anodizací je zvláště neobvyklá pro tantalové kondenzátory slinované při teplotě 1 750°C a je přímým důsledkem této ojedinělé anodové mikrostruktury.

Příklad 3

Tantarová vlákna připravená konvenčními vytlačovacími technologiemi popsanými v příkladu 1 byla hydridována a dezintegrována na krátké délky (asi 100 mikrometrů dlouhých). Tato krátká jednotlivá vlákna byla převalována za účelem znáhodnění uspořádání jejich relativních orientací Toto převalování bylo regulováno tak, že poskytlo mechanicky spojené aglomeráty vláken, jejichž velikost odpovídá propadu pod sítem 40 mesh. Tento znovu získaný prášek v každém částicovém aglomerátu měl mikrostrukturu nahodile orientovaných vláken. V případě, že byl tento prášek tepelně zpracováván při teplotě 1 600°C po dobu 1 800 sekund, získala jednotlivá vlákna válcovitý tvar a struktura nahodilého aglomerátu byla stabilizována vzájemným spojením vláken (slinováním). Práškový produkt získaný tímto způsobem je znázorněn na obrázku 4. Tento prášek byl dále slisován do anodových pelet o hustotě 5,0 g/cm a slinován při tepltě 1462°C po dobu 1800 sekund, 1 554°C po dobu 1 800 sekund a při 1649 °C po dobu 1 800 sekund. Potom byly uvedené pelety anodizovány napětím 80 voltů a byla změřena jejich kapacitance. Hodnoty kapacitance uf.v/g byly při trojím slinování 21 008, 19 672, resp. 17 169, což ilustruje nižší ztráty uf.v/g při slinování, což je výlučným znakem produktu podle vynálezu.

Příklad 4

Tantalová vlákna připravená vytlačovacími techno9 logiemi popsanými v příkladu 1 byla válcovitě tvarována pomocí tepelného zpracování při teplotě 1 720 °C po dobu

800 sekund bez předchozího znáhodnění uspořádání podle vynálezu. Tento příklad má demonstrovat negativní účinky u vláken, u kterých nebylo předem provedeno znáhodnění uspořádání. Produkt podle tohoto příkladu je znázorněn na obrázku 3. Vzhledem k tomu, že je v tomto případě získáno mnoho mnohovláknových svazků, které se v průběhu převádění na válcovitý tvar spojí do nestabilních, velkých tvarů s malou povrchovou plochou, je nutné provádění stupně znáhodnění uspořádání. Ve srovnání s tím jsou vlákna z obrázku 3 vzhledem k jejich nahodilé orientaci stabilizována ve válečkových útvarech se stejně malými průměry. Uvedený prášek v tomto příkladu byl lisován do kondenzátorových anodových pelet a slinován při teplotě 1 480°C po dobu

800 sekund, při teplotě 1 560°C po dobu 1 800 sekund a při teplotě 1 650°C po dobu 1 800 sekund. V případě, že byly tyto pelety anodizovány napětím 100 voltů, vykazovaly následující úrovně uf.v/g při příslušných slinováních: 1 1 773, 1 1 633 a 10 836, což jsou přibližně poloviční hodnoty oproti hodnotám dosaženým v případě, kdy byl použit stupeň znáhodnění uspořádání vláken (příklad 4), který přináší vyšší účinek podle vynálezu.

Všechna tato vlákna, částice, plsť a pelety mohou být tvořeny tantalem, niobem nebo jejich slitinami, přičemž nějvhodnější je použití tantalu. Pelety mají obvykle průměr nejvýše asi 2 000 mikrometrů a délku nejvýše 4 000 mikrometrů, ale lze vyrobit i větší pelety.

Přestože k výrobě částic a pelet lze použít i páskovitou formu vláken, válcovitá forma vláken je pro tento účel vhodnější. Částice tvořené uvedenými vlákny mají obvykle kulovitý tvar.

Dezintegrování, popsané například u příkladu 3 může být prováděno za použití jakéhokoliv běžného způsobu kterým se dosáhne požadované délky vláken. Nicméně, za použití nejběžnějších postupů, jakým je např. mletí v kulovém mlýnu, vyvstává problém, kterým je tvorba velmi jemných částic, která může interferovat s požadovaným tvarem vláken, což v průběhu slinování způsobuje další problémy. Vhodným způsobem dezintegrování vláken je umístění hydridovaných tantalových vláken do kapalného prostředí, jakým je voda, v zařízení, které způsobuje silnou turbulenci v tomto prostředí, jakým je například běžná vysokorychlostní míchačka (například zařízení Waring), kde jsou uvedená vlákna ponechána dokud nedosáhnou požadovaných délek (například při výchozích délkách asi 15 centimetrů je u většiny vláken třepáním po dobu asi jedné minuty redukována délka na méně než 200 mikrometrů).

Uvedené pelety mohou být použity do konvenčního kondenzátoru, viz obr. 5, v němž je tantalová peleta _1_ tvořená vlákny (zahrnující vrstvu oxidu a elektrolytu) pokryta vrstvou 2 (obvykle uhlíku), vrstvou 3 kovu (3 (obvykle stříbra nebo tantalu) a konečně vrstvou 4_ polymeru (obvykle polyethylenu, polypropylenu nebo akrylového polymeru). Na obrázku 5 je také znázorněn přívodní tantalový drát 5^.

Válcovitá kovová vlákna dále v podstatě obsahují tantal, niob nebo jejich slitiny. Uvedená vlákna jsou obvykle ohřívána při teplotě a po dobu, které jsou dostatečné pro dosažení v podstatě kruhového průřezu. Ohřívání je obvykle prováděno při teplotě alespoň 1 400°C po dobu alespoň 30 minut.

Jak již bylo uvedeno částice tvořené spojenými vlákny tantalu, niobu nebo jejich slitin jsou vyráběny převalováním vláken, které způsobí, že tato vlákna jsou nahodile orientovány do v podstatě nevyrovnaného porézního seskupení, přičemž uvedená vlákna mají délku nejvýše asi 400 mikrometrů. Povalování vláken se obvykle provádí v methanolu, který způsobuje, že částice jsou před tepelným zpracováním vzájemně fixovány v uvedeném seskupení. V tomto stádiu může ohřívání probíhat v podtatě ve třech stupních: 1)při teplotě dostatečně vysoké ke spojení uvedených vláken do uvedeného nevyrovnaného seskupení, 2) při teplotě dostatečně vysoké k vytvoření v podstatě kruhového průřezu jednotlivých vláken a 3) konečně při teplotě dostatečně vysoké pro čištění vláken. Je třeba říci, že čištění probíhá nepřetržitě a současně s ohříváním uvedených vláken, přičemž různé nečistoty nebo obsahy nečistot jsou odstraňovány při rozdílných teplotách.)

Při výrobě kondenzátoru, jsou částice nahodile orientovaných do v podstatě nevyrovnaných porézního sestavení vláken stlačeny běžným způsobem a ohřívány při teplotě dostatečné pro vzájemné spojení částic. Vlákna mohou být případně ohřívána při teplotě dostatečně vysoké pro čištění vláken. Dále může být prováděno další ohřívání, které dodá jednotlivým vláknům v podstatě kruhový průřez.

Kondenzátory podle vynálezu mají použitelnost a výhody běžných tantalových kondenzátorů, přičemž tyto výhody spočívají v tom, že mohou být použity pro miniaturní obvody při vysokých teplotách s velikou spolehlivostí. Avšak vzhledem k tomu, že vlákna v kondenzátorech mají zvětšenou povrchovou plochu, mají kondenzátory podle vynálezu zvýšenou specifickou kapacitanci (a objemovou účinnost). To znamená, že kondenzáror stejné velikosti jako konvenční kondenzátor udrží větší náboj, nebo že menší kondenzátor kondenzátor udrží stejný náboj jako větší konvenční kondenzátor V obou případech může být použito dodatečné miniaturizace. Kromě toho, vzhledem k válcovitému tvaru vláken, může být k čištění tantalu použito vyšších teplot, aniž by přitom docházelo k významně zvýšené ztrátě povrchové plochy. To znamená, že mohou být získána čistá vlákna, což se příznivě projevuje zejména ve vyšší spolehlivosti a výkonu kondenzátoru. Jak již bylo uvedeno, je další výhodou plynoucí z v podstatě kruhového průřezu vláken tantalu, představujícího výhodné provedení vynálezu, malá ztráta jjf.v/g v průběhu anodizačního procesu.

Claims

PATENTOVÉ NÁROKY

1. Kovová vlákna z tantalu nebo kolumbia nebo z jejich slitiny mající průměr nejvýše 3 mikrometry, vyznačená t í m, že mají válcový tvar a kruhový průřez.
2. Kovová vlákna podle nároku 1,vyznačená tím, že mají průměr nejvýše 1 mikrometr.
3. Kovová vlákna podle nároku 1, vyznačená tím, že mají průměr nejvýše 0,33 mikrometru.
4. Kovová vlákna podle nároku 1,vyznačená tím, že mají průměr od 0,2 do 1,0 mikrometru.
5. Kovová vlákna podle některého z nároků 1 až 4, v y z n č e n á t í m, že mají poměr délky k průměru alespoň 10:1.
6. Kovová vlákna podle nároku 5, vyznačená tím, že mají poměr délky k průměru nejvýše 20:1.
7. Kovová vlákna podle některého z předcházejících nároků, vyznačená tím, že mají délku nejvýše 400 mikrometrů.
8. Kovová vlákna podle nároku 7, vyznačená tím, že mají délku nejvýše 250 mikrometrů.
9. Kovová vlákna podle nároku 8, vyznačená tím, že mají délku 50 až 100 mikrometrů.
10. Kovová vlákna podle některého z předcházejících nároků, vyznačená tím, že jsou sdružena ve formě částice, ve které jsou vázána a nahodile orientována v nevyrovnané porézní struktuře.

- 14 ·· ·<·· • · * • · ♦ · • · ···♦ · *· · · * · · · • · * ·

4 · · · • · · e *· «· • * • ·

9 ·

9 99 9 •

• *
11. Kovová vlákna podle nároku 10, vyznačená tím, že jsou sdružena ve formě částice, která má sférický tvar.
12. Kovová vlákna podle nároku 11, vyznačená tím, že jsou sdružena ve formě částice mající průměr nejvýše 2000 mikrometrů.
13. Kovová vlákna podle nároku 11, vyznačená tím, že jsou sdružena ve formě částice mající průměr nejvýše 500 mikrometrů.
14. Kovová vlákna podle nároku 11, vyznačená tím, že jsou sdružena ve tvaru částice mající průměr od 25 do 250 mikrometrů.
15.

tím,

Kovová vlákna podle nároku 10, v y z n a že jsou sdružena ve formě pelety.
16. Kovová vlákna podle nároku 15, vyznačená tím, že jsou spojena s přívodním drátem.
17. Kovová vlákna podle nároků 16, vyznačená tím, že jsou, anodizována.
18. Kovová vlákna podle nároku 17, vyznačená tím, že je jejich mezilehlé prostory obsahují elektrolyt.
19. Kovová vlákna podle nároku 18,vyznačená tím, že jsou sdružena ve formě pelety pokryté postupně vrstvami vodiče, kovu a polymeru.
20. Kovová vlákna podle nároku 19, vyznačená tím, že jako kov obsahují stříbro, tantal nebo kolumbium nebo jejich slitiny, jako vodič obsahují uhlík a jako polymer obsahují polyethylen, polypropylen nebo akrylový polymer.

- 15 44 4444 • * • 4 • 4

4444 4

4* 44 • · · 4 • 4 4» • 4 · 4

4 4 · 4 «» 44

4 4

4 4 • 4 • 4 « 4 » «

4 4

44 4 •
21. Kovová vlákna podle nároku 10, vyznačená tím, že jsou sdružena ve formě plsti.
22. Způsob výroby kovových vláken podle některého z nároků 1 až 9,vyznačený tím, že se kovová vlákna z tantalu nebo kolumbia nebo z jejich slitiny mající tvar jiný než válcovitý a průřez jiný než kruhový, zahřívají po dobu alespoň 20 minut na teplotu alespoň 1400 °C.
23. Způsob podle nároku 22,vyznačený tím, že se kovová vlákna zahřívají na teplotu 1400 až 2400 °C.
24. Způsob podle nároku 23, vyznačený tím, že se kovová vlákna zahřívají na teplotu 1450 až 1470 °C.
25. Způsob podle nároku 24,vyznačený tím, že se kovová vlákna zahřívají na teplotu 1750 °C.
26. Způsob podle některého z nároků 22 až 25, vyznačený t í m, že se kovová vlákna zahřívají po dobu alespoň 30 minut.
27. Způsob výroby vláken podle nároku 10 majících průměr nejvýše 3 mikrometry a délku nejvýše 400 mikrometrů, vyznačený t í m, že se kovová vlákna převalují v těkavém nosiči, načež se těkavý nosič odstraní a získaná částice, ve které jsou kovová vlákna nahodile orientována v nevyrovnané porézní struktuře, se zahřívá po dobu alespoň 20 minut na teplotu alespoň 1400 °C.
28. Způsob podle nároku 27,vyznačený tím, že se kovová vlákna zahřívají na teplotu 1400 až 2400 °C.
29. Způsob podle nároku 28,vyznačený tím, že se kovová vlákna zahřívají na teplotu alespoň 1450 °C.

Způsob podle některého z nároků 27 až 29, vyzná
30 ·· ···· ·· ·* • * · · · « · • · · · ·· • ♦ · · · · · • · · * · · ···· · ·· »· ·· • · • · ··· ··

Φ· • · • · ··· ·· č e n ý t í m, že se kovová vlákna zahřívají po dobu alespoň 30 minut.
31. Způsob podle některého z nároků 27 až 30, v y z n a č e n ý t í m, že se jako těkavý nosič použije voda, přičemž odstranění těkavého nosiče se provádí filtrací.
32. Způsob podle některého z nároků 27 až 30, v y z n a č e n ý t i m, že se jako těkavý nosič použije methanol, přičemž odstranění těkavého nosiče se provádí odpařením.
33. Způsob podle některého z nároků 27 až 32, v y z n a č e n ý t i m, že se výchozí kovová vlákna desintegrují na požadovanou délku vířivým mícháním v kapalném prostředí.
34. Použití kovových vláken podle nároku 10 jako kondenzátorový materiál.