CZ20003994A3 - Pressure sensor - Google Patents

Pressure sensor Download PDF

Info

Publication number
CZ20003994A3
CZ20003994A3 CZ20003994A CZ20003994A CZ20003994A3 CZ 20003994 A3 CZ20003994 A3 CZ 20003994A3 CZ 20003994 A CZ20003994 A CZ 20003994A CZ 20003994 A CZ20003994 A CZ 20003994A CZ 20003994 A3 CZ20003994 A3 CZ 20003994A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
pressure
pressure sensor
sensor according
sensor
diaphragm
Prior art date
Application number
CZ20003994A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ301275B6 (cs
Inventor
Markus Altmann
Robert Skofljanec
Clemens Mueller
Original Assignee
Trw Automotive Electron & Comp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Trw Automotive Electron & Comp filed Critical Trw Automotive Electron & Comp
Publication of CZ20003994A3 publication Critical patent/CZ20003994A3/cs
Publication of CZ301275B6 publication Critical patent/CZ301275B6/cs

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G01L9/0048Details about the mounting of the diaphragm to its support or about the diaphragm edges, e.g. notches, round shapes for stress relief

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Description

Oblast _ίθ®!!Πϊ^Σ
Vynález se týká tlakového čidla s čidlovou membránou, která je na jedné ze svých ploch ovlivňovatelná určovaným tlakem prostředí.
Ρθ;!2Υ?<Ιηί _st ay_t echniky
Tlaková čidla jsou podle své oblasti nasazení vytvářena v různých konstrukčních provedeních. Pro nasazení v motorových vozidlech přicházejí v úvahu jen robustní provedení, která pracují v rozsáhlé teplotní oblasti spolehlivě po dobu mnoha let, zatímco menší význam je kladen na absolutní přesnost měření. Většina tlakových čidel pracuje se zdvihem závislým na tlaku, jehož velikost je mírou pro měřený tlak. Pružná Čidlová membrána, která je na jedné ze svých ploch ovlivňována konstantním referenčním tlakem a na své protilehlé ploše určovaným tlakem prostředí, vytváří pod tímto tlakovým rozdílem vychýlení, jehož velikost je například prostřednictvím připojeného potenciometru přeměňována na elektrický měřicí signál. Pro vybavení na tlaku závislých spínacích procesů jsou prostřednictvím zdvihu čidlové membrány přímo nebo nepřímo ovládány omezovači spínače. Ve všech případech jsou potřebné pohyblivé součásti, které jsou po dobu dlouhých časových prostorů vystaveny otřesům, opotřebení a značným teplotním vlivům. Také rozdělení prostředí mezi oběma stranami čidlové membrány je za těchto okolností problematické.
• 0 00 0 0 0 0 0 · 0 • 0 0 · 0 • 0 00 000 • 0 0 0 0 * 0 · 0 0 · « 0 0 0 0
100 0· ··
Podstata_yynálezu
Prostřednictvím vynálezu se vytváří tlakové Čidlo, které je z hlediska své robustnosti, své jednoduché konstrukce a malé konstrukční velikosti zvláště vhodné pro použití v motorových vozidlech a je také vhodné jak pro vytváření tlaku úměrných velikostí naměřených hodnot, tak také pro vybavení na tlaku závislých spínacích procesů.
Podle vynálezu je čidlová membrána na své protilehlé ploše pevně podepřena. Čidlová membrána sestává z elastomerického materiálu, v jehož elektricky nevodivé hmotě jsou homogenně rozděleny jemné částice z elektricky vodivého materiálu a jsou vloženy v takové hustotě, že stlačeni čidlové membrány způsobené tlakem prostředí vede k neměřitelné změně plošného odporu čidlové membrány, protože částice z elektricky vodivého materiálu se přemístí blíže k sobě a v důsledku toho pravděpodobnost styku sousedních částic naroste. Tak nepotřebuje tlakové čidlo podle vynálezu žádné pohyblivé části, čímž také odpadnou problémy spojené s pohyblivými Částmi, jako snadnost poruch, velký konstrukční prostor, opotřebení, značné výrobní náklady a netěsnosti. Elektrický plošný odpor čidlové membrány může být určen kon taktováním na dvou v odstupu upravených měřicích bodech pro střednictvím známých měřicích zapojení. Pro vytváření měřicího signálu úměrného tlaku se s výhodou využije můstkové zapojení. Pro vybavení spínacích procesů závislých na tlaku jsou vhodná jednoduchá diferenční zesilovací zapojení.
U výhodného provedení čidla podle vynálezu je čidlová membrána kontaktována na své pevně podepřené straně prostřednictvím dvou měřicích kontaktů. Čidlová membrána jako taková zabezpečuje tak dokonalé oddělování prostředí.
Konstrukce tlakového Čidla s výhodou spočívá na jednoduchém principu sepnutí čidlové membrány s podpěrným blokem mezi prstencovými konstrukčními součástmi při mezilehlém zapojení těsnicích kroužků.
?££kl®d_obrázkůwna_yýkresech
Další výhody a znaky vynálezu vyplývají z následujícího popisu příkladu provedení tlakového čidla ve spojení s připojenými výkresy.
• » 00 0 0 0 · 0 0
00000 0 0 · 0 0 0
000· 0 0 0000
00 000 000 0· 00
Na straně obr. 1 je prostředí. znázorněn půdorys tlakového čidla na jeho
Na na obr. obr. 2 je 1. znázorněn řez rovinou podle čáry II - II
Na na obr. obr. 3 je 1. znázorněn řez rovinou podle čáry III - III
Na na obr. obr. 4 je 1. znázorněn rez rovinou podle čáry IV - IV
Na obr. 5 je základního tělesa, znázorněn 1 půdorys tlakového Čidla a jeho
Na obr. 6 je znázorněn pohled v řezu na výhodný pří-
klad provedení tlakového čidla.
Příklady.provedení_yynálezu
Tlakové čidlo 10 má jako podstatný funkční element Čid*0 0 * 0
0 0
0 • · 00 · ·
0 0 0 0 0 ·
0·0· · ·
00 000 000
- 4 lovou membránu 12. která sestává z elastomerického materiálu, který elektricky izoluje a v jehož elektricky nevodivé hmotě jsou rozděleny částice z elektricky vodivého materiálu. Tyto elektricky vodivé částice jsou upraveny v takové hustotě, že poskytují čidlové membráně 12 měřitelný objemový odpor a tím také plošný odpor. Elektrický objemový, případně plošný odpor se při stlačení hmotnosti membrány měřitelně zmenšuje, a to tím, že se vodivé částice dostávají blíže k sobě a že narůstá pravděpodobnost dotyku sousedních částic. Vhodný elastomerický materiál je silikonová pryž, ve které jsou elektricky vodivé částice uloženy v homogenním rozdělení. Hustotu vodivých částic lze stanovit pokusně. Příklady vhodných částic jsou nikl, stříbro, měď, postříbřené měděné nebo skleněné částice.
Čidlová membrána 12 je rovný kruhový kotouč, který na jedné ze svých obou ploch je uložen na čelní ploše válcového podpěrného bloku 14 a je na něm pevně podepřen. Do podpěr ného bloku 14, který sestává z elektricky izolujícího materiálu, jsou zapuštěny dva kontaktní kolíky ,16, které jsou na svých koncích přivrácených k čidlové membráně 12 rozšířeny a pro vytvoření měřicích kontaktů plošně dosedají na čidlovou membránu 1,2. Protilehlé konce kontaktních kolíků .16 vyčnívají z podpěrného bloku 14 a vytvářejí přípojné kolíky pro zásuvku. Podpěrný blok 14 je přesně a lícované uložen ve válcovém zapuštění prstencového základního tělesa 18.
Prstencová přítlačná deska 20 je na obou svých prstencových plochách opatřena třemi soustřednými drážkami pro ulo< žení těsnicích 0-kroužků a dosedá na té ploše čidlové membrá' ny 12, která je odvrácená od podpěrného bloku 14. Svou protilehlou prstencovou plochou je prstencová přítlačná deska 20 upnuta prostřednictvím šroubů 22 proti prstencové přípoj• 4 4 4 4
4 4 4 · 4
4 4 ·· ··· 44 ·4 • ··
4 *4 · · 4 4
4 · 4 • 4 44 né přírubě 24 na jednom konci přípojného hrdla 26. Prostřednictvím prstencové přítlačné desky 20 a prstencové přípojné příruby 24 s přípojným hrdlem 26 vytvořená konstrukční skupina je překlenuta upínacím prstencem 28, který je prostřednictvím upínacích šroubů 30 upnut proti základnímu tělesu 18, čímž je prstencová přítlačná deska 20 zatlačena proti ploše čidlové membrány 12. Přítlačný tlak může být definován držákem odstupu zapojeným mezi upínacím prstencem 28 a mezi základním tělesem 18.
Prstencové základní těleso 18 tvoří ve svém středu zástrčkový otvor 32, do kterého zasahují kontaktní kolíky 16. Na zástrčkový otvor 32 navazuje radiální kabelový vodicí kanál 34.
Přesného nasměrování navzájem složených konstrukčních součástí tlakového čidla 10 se dosahuje prostřednictvím styčných kolíků 36, které jsou vloženy do odpovídajících lícujících otvorů upínacího prstence 28 a základního tělesa 18. Prostřednictvím styčných kolíků 36 jsou přesně stanoveny také relativní otočné polohy součástí tlakového čidla
10.
Přípojné hrdlo 26 obklopuje kanál prostředí, který vylistuje v centrálním otvoru prstencové přítlačné desky 20, která obklopuje volně uloženou část plochy čidlové membrány 12. Tato plocha čidlové membrány 12 je prostřednictvím přípojného hrdla 26 ovlivňována určovaným tlakem prostředí. Oddělování prostředí se uskutečňuje vlastní čidlovou membránou 12, a to ve spojení do drážek prstencové přítlačné desky 20 vložených těsnicích 0-kroužků.
Kontaktní kolíky 16 jsou prostřednictvím neznázorněné • · ·· · · · · · · • · · · · · ··**·* • · · · 9 · ··»· ·* ·» ··· «*· ·· «· zástrčky spojeny s elektronickým spínacím obvodem, který může být podle využití tlakového čidla 10 vytvořen například jako měřicí můstek pro vytváření k tlaku úměrného mě řicího signálu nebo jako diferenční zesilovač pro vybavování spínacích procesů závislých na tlaku. Ovlivňováním volně uložené plochy čidlové membrány 12 tlakem prostředí přiváděného pres přípojné hrdlo 26 se hmota Čidlové membrány 12 stlačuje, čímž se snižuje její elektrický objemový odpor a tím také plošný odpor, který je jí odebírán prostřednictvím kontaktních kolíků 16. Pro maximalizaci měřicího signálu jsou konce kontaktních kolíků 16 uspořádány v oblasti upnutého obvodového okraje Čidlové membrány 12.
U znázorněného příkladu provedení je čidlová membrána 12 vytvořena jako kruhový rovný materiálový kotouč. Může však být také vytvořena jako trojrozměrné tvarové těleso, které je přizpůsobeno na speciální využití.
Příklad provedení, který je znázorněn na obr. 1 až obr. 5, je vhodný zejména pro zkušební účely, protože prostřednictvím použití upínacích šroubů 30 je umožněna uvolnitelná konstrukce.
Provedení, které je znázorněno na obr. 6, je vhodné pro racionální sériovou výrobu. U tohoto příkladu provedení je přípojné hrdlo 26, které je opatřeno vnějším závitem 26a. vytvořeno jako jeden kus se skříňovým tělesem 40, do kterého je vložen podpěrný blok 14. Prostřednictvím zahnutého okraje 42 skříňového tělesa 40 je podpěrný blok 14 pevně upnut s na něm uloženou čidlovou membránou .12. Čidlová membrána 12 má na svém vnějším obvodu vytvarovaný prstencový výčnělek 12a. který je přitlačen proti protilehlé prstencové ploše 46a uvnitř skříňového tělesa 40 a tak utěš
9 9 9
9 9 9 9
9 9 9
99
999 999
- 7 9 · 99 • 9 9 9 9 • 9 · *
9« 99 nuje konstrukci. Kontaktní kolíky 16 zasahují do elektronického modulu 44. který je nasazen na podpěrný blok 14 a ze kterého jsou vyvedeny připojovací kolíky 46. Elektronic ký modul 44 obsahuje nejméně vysokoohmové konstrukční součásti měřicího zapojení, prostřednictvím kterých jsou změny odporu čidlové membrány 12 převáděny na elektrický signál.
Jeden z kontaktních kolíků 16 může odpadnout, pokud čidlová membrána 12, a to zejména na svém vnějším obvodu, dosedá na kontaktní prstenec, který může být zapuštěn do podpěrného bloku 14, Alternativně může být vyrobeno skříňo vé těleso 40 z elektricky vodivého materiálu, zejména z ko vu, a vytváří tak společně s prstencovou plochou 46a hmotnostní kontakt a současně elektrické zastínění.

Claims (16)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY • 4 44 • 4 4 4 • · 4 4
    44 44
    4 4 4 4 • 4 4 ♦ • 4 4 4
    4· 44
    1. Tlakové cioxo s Čidlovou membránou (12), která je na jedné ze svých ploch ovlivnovatelná určovaným tlakem prostředí, vyznačující se tím, že fiidlová membrána (12) je na své protilehlé ploše pevně podepřena a že čid lová membrána (12) sestává z elastomerického materiálu, v j hož elektricky nevodivé hmotě jsou homogenně rozděleny jemné částice z elektricky vodivého materiálu a jsou vloženy v takové hustotě, že stlačení čídlové mémbrány (12) způsobené tlakem prostředí vede k naměříteIné změně jejich elektrického plošného odporu.
  2. 2. Tlakové čidlo podle nároku 1, vyznačující se tím, Že čidlová membrána (12) je nejméně na dvou ve vzájemném odstupu upravených měřicích oblastech připojena vždy na jeden měřicí kontakt.
  3. 3. Tlakové čidlo podle nároku 2, vyznačující se tím, že čidlová membrána (12) je na svém obvodovém okraji pevně upnuta.
  4. 4. Tlakové Čidlo podle nároku 3, vyznačující se tím, že jeden z měřicích kontaktů je vytvořen kontaktním kroužkem, který dosedá na obvodový okraj čidlové membrány (12).
  5. 5. Tlakové čidlo podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že měřicí kontakty jsou uspořádány na straně pevně podepřené plochy čidlové membrány (12).
  6. 6. Tlakové čidlo podle nároku 5, vyznačující se tím, že měřici kontakty jsou uspořádány v sou«·· ·»· • * ·· • · · · • · · · ·♦ ·· • · · · • · · φ • · · · ·· ·· sedství podepřené plochy čidlové membrány (12), která je protilehlá vzhledem k ploše ovlivňovatelné určovaným tlakem prostředí.
  7. 7. Tlakové čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, v y značující se tím, že čidlová membrána (12) dosedá svojí pevně podepřenou plochou na podpěrný blok (14) a že proti obvodovému okraji čidlové membrány (12) je na její straně ovlivňovatelné určovaným tlakem upnuta prstencová přítlačná deska (20).
  8. 8. Tlakové čidlo podle nároku 7, vyznačující se tím, že mezi přítlačnou deskou (20) a mezi k ní přivrácenou plochou čidlové membrány (12) je upnuto nejméně jedno prstencové těsnění obklopující tu plochu čidlové membrány (12), která je ovlivňována tlakem prostředí.
  9. 9. Tlakové čidlo podle nároku 8, vyznačující se tím, že prstencové těsnění je vytvořeno na vnějším obvodu čidlové membrány (12) vytvarovaným prstencovým výčnělkem (12a).
  10. 10. Tlakové čidlo podle nároku 7 nebo 8, vyznačující se tím, že prstencová přítlačná deska (20) je upnuta proti prstencové přípojné přírubě (24) na jednom konci přípojného hrdla (26) pres mezilehlé zapojení nejméně jednoho těsnění.
  11. 11. Tlakové čidlo podle nároků 7 až 9, vyznačující se tím, že prstencová přípojná příruba (24) je překryta upínacím prstencem (28), který je upnut prostřednictvím upínacích šroubů (30) proti základnímu tělesu (18), ve kterém je ve vybrání uložen podpěrný blok (14).
    - 10 * t »· • · · · • · · · • t ·· • · · · · * • ··»>«* • · · · · » ♦ ·· ··* ·· ··
  12. 12. Tlakové čidlo podle nároku 2 a jednoho z nároků 7 až 11, vyznačující se tím, že měřicí kontakty s na nich připojenými kontaktními kolíky (16) jsou zapuštěny do podpěrného bloku (14).
  13. 13. Tlakové čidlo podle nároku 12, vyznačující se tím, že kontaktní kolíky (16) vyčnívají z podpěrného bloku (14) na jeho od čidlové membrány (12) odvráce né ploše do zástrčkového otvoru (32), který obklopuje prstencovitě vytvořené základní těleso (18).
  14. 14. Tlakové čidlo podle jednoho z nároků 11 až 13, vyzná č u jící se tím, že upínací prstenec (28) je spojen se základním tělesem (18) prostřednictvím styčných kolíků (36), vložených do navzájem lícujících otvorů.
  15. 15. Tlakové čidlo podle jednoho z nároků 1 až 6, vyznačující se tím, že čidlová membrána (12) plos ně dosedá na podpěrný blok (14) a podpěrný blok (14) s čidlovou membránou (12) je upnut mezi uvnitř upravenou prstencovou plochou (46a) a mezi zahnutým okrajem (42) skříňového tělesa (40).
  16. 16. Tlakové čidlo podle nároku 15, vyznačující se tím, že skříňové těleso (40) je kovové a prstencová plocha (46a) tvoří kontaktový prstenec kontaktující čidlovou membránu (12) na jejím vnějším okraji.
CZ20003994A 1999-10-27 2000-10-27 Tlakové cidlo CZ301275B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE29918915U DE29918915U1 (de) 1999-10-27 1999-10-27 Drucksensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ20003994A3 true CZ20003994A3 (en) 2001-06-13
CZ301275B6 CZ301275B6 (cs) 2009-12-30

Family

ID=8080830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20003994A CZ301275B6 (cs) 1999-10-27 2000-10-27 Tlakové cidlo

Country Status (9)

Country Link
US (1) US6609426B1 (cs)
EP (1) EP1096242B1 (cs)
JP (1) JP3417554B2 (cs)
KR (1) KR20010051288A (cs)
CN (1) CN1140781C (cs)
BR (1) BR0005102A (cs)
CZ (1) CZ301275B6 (cs)
DE (2) DE29918915U1 (cs)
ES (1) ES2159272T1 (cs)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10063321A1 (de) * 2000-12-19 2002-06-20 Gfas Mbh Ges Fuer Aufladetechn Elektrisch angetriebener Strömungsverdichter
US7866242B1 (en) * 2002-04-19 2011-01-11 Harris K Michael Noise dampener hub assembly for a circular saw
US7141447B2 (en) * 2004-10-07 2006-11-28 Mks Instruments, Inc. Method of forming a seal between a housing and a diaphragm of a capacitance sensor
DE102006024385A1 (de) * 2006-05-24 2006-12-21 Gtm Gassmann Testing And Metrology Gmbh Biegering-Kraftaufnehmer
DE102006025509A1 (de) * 2006-05-30 2006-12-14 Gtm Gassmann Testing And Metrology Gmbh Druckkraftaufnehmer
DE102007000364B4 (de) * 2007-07-03 2020-10-15 Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg Manometer mit elektrischem Messwertaufnehmer
SG182731A1 (en) * 2010-02-02 2012-08-30 Mks Instr Inc Capacitive pressure sensor
US9310268B2 (en) * 2013-03-15 2016-04-12 Measurement Ltd. Low profile pressure sensor
CN104062046B (zh) * 2013-03-21 2016-06-22 精亮科技(深圳)有限公司 一种压力传感器
DE102013224023A1 (de) * 2013-11-25 2015-05-28 Contitech Ag Elastomerer Hohlkörper, insbesondere elastomerer Schlauch, mit Sensorelement zur Erfassung eines Druckes sowie Verfahren hierzu
WO2015088909A1 (en) * 2013-12-09 2015-06-18 Etymotic Research, Inc. System for providing an applied force indication
DE102014219030B4 (de) 2014-09-22 2016-07-07 Robert Bosch Gmbh Steckermodul
KR101676761B1 (ko) 2015-05-14 2016-11-16 울산과학기술원 압력센서 및 압력센서의 제조방법
CN106706204B (zh) * 2017-02-20 2022-06-21 华能国际电力股份有限公司 一种适用于高温环境测试的压力传感器冷却装置
CN108106758B (zh) * 2017-12-21 2020-06-26 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种硅膜电涡流微压传感器
CN111766011B (zh) * 2019-04-01 2022-08-30 浙江盾安人工环境股份有限公司 压力传感器

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB925284A (cs) 1960-11-23 1900-01-01
US3386067A (en) 1967-04-24 1968-05-28 Raphael J. Costanzo Pressure-sensitive electrical switch and application therefor
US3806471A (en) * 1968-04-29 1974-04-23 R Mitchell Pressure responsive resistive material
DE2240286A1 (de) 1972-08-16 1974-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd Druckempfindliches widerstandselement und verfahren zu seiner herstellung
DE2730764A1 (de) 1977-07-07 1979-01-11 Helmut Dipl Chem Ulrich Temperatur-messfuehler oder druck-messfuehler
JPS57182138A (en) 1981-04-30 1982-11-09 Sharp Corp Pressure sensor
JPS59111031A (ja) * 1982-12-17 1984-06-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧力センサ
JPS61207939A (ja) * 1985-03-13 1986-09-16 Yokohama Rubber Co Ltd:The 圧力センサ−
JPH01105130A (ja) * 1987-10-19 1989-04-21 Akira Sugimoto 圧力検出装置
EP0443073A1 (en) 1990-02-23 1991-08-28 Kabushiki Kaisha Fine Rubber Kenkyuusho Pressure sensor utilizing extension type conductive rubber
DE4010734A1 (de) * 1990-04-03 1991-10-17 Fraunhofer Ges Forschung Einrichtung zur blutdruckmessung
US5090246A (en) * 1990-09-19 1992-02-25 Johnson Service Corp. Elastomer type low pressure sensor
JPH0674848A (ja) * 1991-08-27 1994-03-18 Sumitomo Rubber Ind Ltd 圧力センサー
DE4201313A1 (de) 1992-01-15 1993-07-22 Ortlepp Wolfgang Drucksensor zur druckabhaengigen elektrischen oder elektronischen schaltung und/oder regelung einer vorrichtung
JPH0699773A (ja) * 1992-09-17 1994-04-12 Tenryu Ind Co Ltd 照明装置
EP0735353B2 (de) * 1995-03-31 2004-03-17 Endress + Hauser Gmbh + Co. Drucksensor
US5654512A (en) * 1995-06-09 1997-08-05 Pacer Industries, Inc. Flexible membrane variable orifice fluid flow meter
JP3022142U (ja) 1995-08-29 1996-03-22 日本空圧システム株式会社 圧力スイッチ
SE506299C2 (sv) * 1996-05-20 1997-12-01 Bertil Oredsson Givare för att detektera ändringar i tvärsnitt hos en långsträckt kroppshålighet

Also Published As

Publication number Publication date
CZ301275B6 (cs) 2009-12-30
EP1096242A3 (de) 2002-07-10
JP2001153741A (ja) 2001-06-08
CN1296168A (zh) 2001-05-23
JP3417554B2 (ja) 2003-06-16
US6609426B1 (en) 2003-08-26
CN1140781C (zh) 2004-03-03
DE50014915D1 (de) 2008-03-06
KR20010051288A (ko) 2001-06-25
ES2159272T1 (es) 2001-10-01
DE29918915U1 (de) 2000-03-09
BR0005102A (pt) 2001-06-19
EP1096242B1 (de) 2008-01-16
EP1096242A2 (de) 2001-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ20003994A3 (en) Pressure sensor
CN110926691B (zh) 物理量测量装置
US10113926B2 (en) Ceramic sensor module including diaphragm and cylindrical portion integrated with the diaphragm
CN107014557B (zh) 物理量测定装置
US8162539B2 (en) Sensor arrangement for temperature measurement
KR20130008483A (ko) 힘 센서 조립체 및 힘 센서 조립체의 조립 방법
WO2014145674A1 (en) Low profile pressure sensor
KR20230116933A (ko) 센서 조립체 및 밸브 장치
WO1998037393A1 (en) A sensor element having temperature measuring means
US6223603B1 (en) Capacitive pressure transducer having reduced output error
US11326971B2 (en) Pressure sensor device including improved conductivity and protection
PL206793B1 (pl) Czujnik ciśnieniowy
CN111855066A (zh) 具有多范围构造的传感器组件
US11976994B2 (en) Sensor for detecting pressure, filling level, density, temperature, mass and/or flow rate including nanowires arranged on coupling section
US8665246B2 (en) Pointing device for improved accuracy
TWI820218B (zh) 物理量測定裝置
JPH10239193A (ja) 圧力センサ
JP2006184098A (ja) 感圧センサ
JP4437578B2 (ja) 簡易交換型真空センサ
US10928264B2 (en) Sensor assembly and liquid level detection device
CN110998269A (zh) 一种传感器
KR20080077169A (ko) 탄성체, 정전용량식 힘 센서 및 정전용량식 가속도 센서
WO2023171259A1 (ja) 多方向入力装置
JP6407462B2 (ja) センサモジュール
CN213748875U (zh) 电容式压力感测装置以及电子设备

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20111027