CZ301275B6 - Tlakové cidlo - Google Patents

Tlakové cidlo Download PDF

Info

Publication number
CZ301275B6
CZ301275B6 CZ20003994A CZ20003994A CZ301275B6 CZ 301275 B6 CZ301275 B6 CZ 301275B6 CZ 20003994 A CZ20003994 A CZ 20003994A CZ 20003994 A CZ20003994 A CZ 20003994A CZ 301275 B6 CZ301275 B6 CZ 301275B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
pressure
pressure sensor
diaphragm
sensor according
sensor
Prior art date
Application number
CZ20003994A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ20003994A3 (en
Inventor
Altmann@Markus
Skofljanec@Robert
Müller@Clemens
Original Assignee
Trw Automotive Electronics & Components Gmbh & Co. Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Trw Automotive Electronics & Components Gmbh & Co. Kg filed Critical Trw Automotive Electronics & Components Gmbh & Co. Kg
Publication of CZ20003994A3 publication Critical patent/CZ20003994A3/cs
Publication of CZ301275B6 publication Critical patent/CZ301275B6/cs

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G01L9/0048Details about the mounting of the diaphragm to its support or about the diaphragm edges, e.g. notches, round shapes for stress relief

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

Tlakové cidlo (10) má cidlovou membránu (12), která je na jedné ze svých ploch ovlivnovatelná urcovaným tlakem prostredí. Cidlová membrána (12) je na své protilehlé ploše pevne podeprena. Pritom sestává z elastomerického materiálu, v jehož elektricky nevodivé hmote jsou homogenne rozdeleny jemné cástice z elektricky vodivého materiálu v takové hustote, že stlacení cidlové membrány (12) zpusobené tlakem prostredí vede k nameritelné zmene jejich elektrického plošného odporu.

Description

Tlakové čidlo
Oblast techniky
Vynález se týká tlakového čidla s čidlovou membránou, která je na jedné ze svých ploch ovlivňovatelná určovaným tlakem prostředí.
Dosavadní stav techniky
Tlaková čidla jsou podle své oblasti nasazení vytvářena v různých konstrukčních provedeních. Pro nasazení v motorových vozidlech přicházejí v úvahu jen robustní provedení, která pracují v rozsáhlé teplotní oblasti spolehlivě po dobu mnoha let, zatímco menší význam je kladen na absolutní přesnost měření. Většina tlakových čidel pracuje se zdvihem závislým na tlaku, jehož velikost je mírou pro měřený tlak. Pružná čidlová membrána, která je na jedné ze svých ploch ovlivňována konstantním referenčním tlakem a na své protilehlé ploše určovaným tlakem prostředí, vytváří pod tímto tlakovým rozdílem vychýlení, jehož velikost je například prostřednictvím připojeného potenciometru přeměňována na elektrický měřicí signál. Pro vybavení na tlaku závislých spínacích procesů jsou prostřednictvím zdvihu čidlové membrány přímo nebo nepřímo ovládány omezovači spínače. Ve všech případech jsou potřebné pohyblivé součásti, které jsou po dobu dlouhých časových prostorů vystaveny otřesům, opotřebení a značným teplotním vlivům. Také rozdělení prostředí mezi oběma stranami čidlové membrány je za těchto okolností problematické.
Podstata vynálezu
Prostřednictvím vynálezu se vytváří tlakové čidlo, které je z hlediska své robustnosti, své jedno30 duché konstrukce a malé konstrukční velikosti zvláště vhodné pro použití v motorových vozidlech a je také vhodné jak pro vytváření tlaku úměrných velikostí naměřených hodnoL tak také pro vybavení na tlaku závislých spínacích procesů.
Podle vynálezu je čidlová membrána na své protilehlé ploše pevně podepřena. Čidlová membrá35 na sestává z eiastomerického materiálu, v jehož elektricky nevodivé hmotě jsou homogenně rozděleny jemné částice z elektricky vodivého materiálu a jsou vloženy v takové hustotě, že stlačení čidlové membrány způsobené tlakem prostředí vede k naměřitelné změně plošného odporu čidlové membrány, protože částice z elektricky vodivého materiálu se přemístí blíže k sobě a v důsledku toho pravděpodobnost styku sousedních částic naroste. Tak nepotřebuje tlakové čidlo podle vynálezu žádné pohyblivé části, čímž také odpadnou problémy spojené s pohyblivými částmi, jako snadnost poruch, velký konstrukční prostor, opotřebení, značné výrobní náklady a netěsnosti. Elektrický plošný odpor čidlové membrány může být určen kontaktováním na dvou v odstupu upravených měřicích bodech prostřednictvím známých měřicích zapojení. Pro vytváření měřicího signálu úměrného tlaku se s výhodou využije můstkové zapojení. Pro vybavení spínacích procesů závislých na tlaku jsou vhodná jednoduchá diferenční zesilovací zapojení.
U výhodného provedení Čidla podle vynálezu je čidlová membrána kontaktována na své pevně podepřené straně prostřednictvím dvou měřicích kontaktů. Čidlová membrána jako taková zabezpečuje tak dokonalé oddělování prostředí.
Konstrukce tlakového čidla s výhodou spočívá na jednoduchém principu sepnutí čidlové membrány s podpěrným blokem mezi prstencovými konstrukčními součástmi při mezilehlém zapojení těsnicích kroužků.
CZ 301275 Bó
Přehled obrázků na výkresech
Další výhody a znaky vynálezu vyplývají z následujícího popisu příkladu provedení tlakového čidla ve spojení s připojenými výkresy.
Na obr. 1 je znázorněn půdorys tlakového čidla na jeho straně prostředí.
Na obr. 2 je znázorněn řez rovinou podle čáry II - II na obr. 1.
Na obr. 3 je znázorněn řez rovinou podle čáry III - III na obr. 1.
Na obr. 4 je znázorněn řez rovinou podle čáry IV - IV na obr. 1.
io Na obr. 5 je znázorněn půdorys tlakového čidla a jeho základního tělesa.
Na obr. 6 je znázorněn pohled v řezu na výhodný příklad provedení tlakového čidla.
Příklady provedení vynálezu
Tlakové čidlo JO má jako podstatný funkční element čidlovou membránu 12, která sestává z elastomerického materiálu, který elektricky izoluje a v jehož elektricky nevodivé hmotě jsou rozděleny částice z elektricky vodivého materiálu. Tyto elektricky vodivé částice jsou upraveny v takové hustotě, že poskytují čidlové membráně 12 měřitelný objemový odpor a tím také plošný odpor. Elektrický objemový, případně plošný odpor se při stlačení hmotnosti membrány měřitelně zmenšuje, a to tím, že se vodivé částice dostávají blíže k sobě a že narůstá pravděpodobnost dotyku sousedních částic. Vhodný elastomerický materiál je silikonová pryž, ve které jsou elektricky vodivé částice uloženy v homogenním rozdělení. Hustotu vodivých částic lze stanovit pokusně. Příklady vhodných částic jsou nikl, stříbro, měď, postříbřené měděné nebo skleněné částice.
Čídlová membrána JJ2 je rovný kruhový kotouč, který na jedné ze svých obou ploch je uložen na čelní ploše válcového podpěrného bloku M a je na něm pevně podepřen. Do podpěrného bloku H, kteiý sestává z elektricky izolujícího materiálu, jsou zapuštěny dva kontaktní kolíky 16, které jsou na svých koncích přivrácených k čidlové membráně J_2 rozšířeny a pro vytvoření měřicích kontaktů plošně dosedají na čidlovou membránu J2. Protilehlé konce kontaktních kolíků 16 vyčnívají z podpěrného bloku 14 a vytvářejí přípojné kolíky pro zásuvku. Podpěrný blok 14 je přesně a lícované uložen ve válcovém zapuštění prstencového základního tělesa 18.
Prstencová přítlačná deska 20 je na obou svých prstencových plochách opatřena třemi soustřednými drážkami pro uložení těsnicích O-kroužků a dosedá na té ploše čidlové membrány 12, která je odvrácená od podpěrného bloku 14. Svou protilehlou prstencovou plochou je prstencová přítlačná deska 20 upnuta prostřednictvím šroubů 22 proti prstencové přípojné přírubě 24 na jednom konci přípojného hrdla 26. Prostřednictvím prstencové přítlačné desky 20 a prstencové přípojné příruby 24 s přípojným hrdlem 26 vytvořená konstrukční skupina je překlenuta upínacím prstencem 28, který je prostřednictvím upínacích šroubů 30 upnut proti základnímu tělesu 18, čímž je prstencová přítlačná deska 20 zatlačena proti ploše čidlové membrány 12. Přítlačný tlak může být definován držákem odstupu zapojeným mezi upínacím prstencem 28 a mezi základním tělesem 18.
Prstencové základní těleso J_8 tvoří ve svém středu zástrčkový otvor 32, do kterého zasahují kontaktní kolíky 16. Na zástrčkový otvor 32 navazuje radiální kabelový vodicí kanál 34,
Přesného nasměrování navzájem složených konstrukčních součástí tlakového čidla ]_0 se dosahu50 je prostřednictvím styčných kolíků 36, které jsou vloženy do odpovídajících lícujících otvorů upínacího prstence 28 a základního tělesa 18. Prostřednictvím styčných kolíků 36 jsou přesně stanoveny také relativní otočné polohy součástí tlakového čidla W.
- 7 CZ 301275 B6
Přípojné hrdlo 26 obklopuje kanál prostředí, který vyúsťuje v centrálním otvoru prstencové přítlačné desky 20, která obklopuje volně uloženou část plochy čidlové membrány 12. Tato plocha čidlové membrány 12 je prostřednictvím přípojného hrdla 26 ovlivňována určovaným tlakem prostředí. Oddělování prostředí se uskutečňuje vlastní Čidlovou membránou 12, a to ve spojení do drážek prstencové přítlačné desky 20 vložených těsnicích O-kroužků.
Kontaktní kolíky 16 jsou prostřednictvím neznázoměné zástrčky spojeny s elektronickým spínacím obvodem, který může být podle využití tlakového čidla J_0 vytvořen například jako měřicí můstek pro vytváření k tlaku úměrného měřicího signálu nebo jako diferenční zesilovač pro io vybavování spínacích procesů závislých na tlaku. Ovlivňováním volně uložené plochy čidlové membrány J_2 tlakem prostředí přiváděného přes přípojné hrdlo 26 se hmota čidlové membrány stlačuje, čímž se snižuje její elektrický objemový odpor a tím také plošný odpor, který je jí odebírán prostřednictvím kontaktních kolíků 16. Pro maximalizaci měřicího signálu jsou konce kontaktních kolíků 16 uspořádány v oblasti upnutého obvodového okraje čidlové membrány J_2.
U znázorněného příkladu provedení je čidlová membrána 12 vytvořena jako kruhový rovný materiálový kotouč. Může však být také vytvořena jako trojrozměrné tvarové těleso, které je přizpůsobeno na speciální využití.
Příklad provedení, který je znázorněn na obr. 1 až obr. 5, je vhodný zejména pro zkušební účely, protože prostřednictvím použití upínacích šroubů 30 je umožněna uvolnitelná konstrukce.
Provedení, které je znázorněno na obr. 6, je vhodné pro racionální sériovou výrobu. U tohoto příkladu provedení je přípojné hrdlo 26, které je opatřeno vnějším závitem 26a, vytvořeno jako jeden kus se skříňovým tělesem 40, do kterého je vložen podpěrný blok Í4, Prostřednictvím zahnutého okraje 42 skříňového tělesa 40 je podpěrný blok Í4 pevně upnut s na něm uloženou čidlovou membránou 12. Čidlová membrána 12 má na svém vnějším obvodu vytvarovaný prstencový výčnělek 12a, který je přitlačen proti protilehlé prstencové ploše 46a uvnitř skříňového tělesa 40 a tak utěsňuje konstrukci. Kontaktní kolíky 16 zasahují do elektronického modulu 44, který je nasazen na podpěrný blok 14 a ze kterého jsou vyvedeny připojovací kolíky 46. Elektronický modul 44 obsahuje nejméně vysokoohmové konstrukční součásti měřicího zapojení, prostřednictvím kterých jsou změny odporu čidlové membrány 12 převáděny na elektrický signál.
Jeden z kontaktních kolíků 16 může odpadnout, pokud čidlová membrána 12, a to zejména na svém vnějším obvodu, dosedá na kontaktní prstenec, který může být zapuštěn do podpěrného bloku 14. Alternativně může být vyrobeno skříňové těleso 40 z elektricky vodivého materiálu, zejména z kovu, a vytváří tak společně s prstencovou plochou 46a hmotnostní kontakt a současně elektrické zastínění.

Claims (16)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    5 1. Tlakové čidlo s čidlovou membránou (12), která je na jedné ze svých ploch ovlivňovatelná určovaným tlakem prostředí, přičemž čidlová membrána (12) je na své celé protilehlé ploše pevné podepřena a přičemž čidlová membrána (12) sestává z elastomerického materiálu, v jehož elektricky nevodivé hmotě jsou homogenně rozděleny jemné částice z elektricky vodivého materiálu a jsou vloženy v takové hustotě, že stlačení čidlové membrány (12) způsobené tlakem proi o středí vede k naměřitelné změně jejich elektrického plošného odporu.
  2. 2. Tlakové čidlo podle nároku 1, vyznačující se tím, že čidlová membrána (12) je nejméně na dvou ve vzájemném odstupu upravených měřicích oblastech připojena vždy najeden měřicí kontakt.
  3. 3. Tlakové čidlo podle nároku 2, vyznačující se tím, že čidlová membrána (12) je na svém obvodovém okraji pevně upnuta.
  4. 4. Tlakové čidlo podle nároku 3, vyznačující se tím, že jeden z měřicích kontaktů
    20 je vytvořen kontaktním kroužkem, který dosedá na obvodový okraj čidlové membrány (12).
  5. 5. Tlakové Čidlo podle nároku 2, vyznačující se tím, že měřicí kontakty jsou uspořádány na straně pevně podepřené plochy čidlové membrány (12).
    25
  6. 6. Tlakové čidlo podle nároku 5, vyznačující se tím, že měřicí kontakty jsou uspořádány v sousedství podepřené plochy čidlové membrány (12), která je protilehlá vzhledem k ploše ovlivňovatelné určovaným tlakem prostředí.
  7. 7. Tlakové čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že
    30 čidlová membrána (12) dosedá svojí pevně podepřenou plochou na podpěrný blok (14) a že proti obvodovému okraji Čidlové membrány (12) je na její straně ovlivňovatelné určovaným tlakem upnuta prstencová přítlačná deska (20).
  8. 8. Tlakové čidlo podle nároku 7, vyznačující se tím, že mezi přítlačnou deskou
    35 (20) a mezi k ní přivrácenou plochou čidlové membrány (12) je upnuto nej méně jedno prstencové těsnění obklopující tu plochu čidlové membrány (12), která je ovlivňována tlakem prostředí.
  9. 9. Tlakové čidlo podle nároku 8, vyznačující se tím, že prstencové těsnění je vytvořeno na vnějším obvodu čidlové membrány (12) vytvarovaným prstencovým výčnělkem
    40 (12a).
  10. 10. Tlakové čidlo podle nároku 7 nebo 8, vyznačující se tím, že prstencová přítlačná deska (20) je upnuta proti prstencové přípojné přírubě (24) na jednom konci přípojného hrdla (26) přes mezilehlé zapojení nejméně jednoho těsnění.
  11. 11. Tlakové čidlo podle nároků 7až9, vyznačující se tím, že prstencová přípojná příruba (24) je překryta upínacím prstencem (28), který je upnut prostřednictvím upínacích šroubů (30) proti základnímu tělesu (18), ve kterém je ve vybrání uložen podpěrný blok (14).
    50
  12. 12. Tlakové čidlo podle nároku 2 a jednoho z nároků 7 až 11, vy znaČuj ící se tím, že měřicí kontakty s na nich připojenými kontaktními koliky (16) jsou zapuštěny do podpěrného bloku (14).
    _ /1 CZ 301275 Bó
  13. 13. Tlakové čidlo podle nároku 12, vyznačující se tím, že kontaktní kolíky (16) vyčnívají z podpěrného bloku (
  14. 14) na jeho od čidlové membrány (12) odvrácené ploše do zástrčkového otvoru (32), který obklopuje prstencovitě vytvořené základní těleso (18).
    5 14. Tlakové čidlo podle jednoho z nároků 11 až 13, vyznačující se tím, že upínací prstenec (28) je spojen se základním tělesem (18) prostřednictvím styčných kolíků (36), vložených do navzájem lícujících otvorů.
  15. 15. Tlakové čidlo podle jednoho z nároků lažó, vyznačující se tím, že čidlová io membrána (12) plošně dosedá na podpěrný blok (14) a podpěrný blok (14) s čidlovou membránou (12) je upnut mezi uvnitř upravenou prstencovou plochou (46a) a mezi zahnutým okrajem (42) skříňového tělesa (40).
  16. 16. Tlakové čidlo podle nároku 15, vyznačující se tím, že skříňové těleso (40) je
    15 kovové a prstencová plocha (46a) tvoří kontaktový prstenec kontaktující čidlovou membránu (12) na jejím vnějším okraji.
CZ20003994A 1999-10-27 2000-10-27 Tlakové cidlo CZ301275B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE29918915U DE29918915U1 (de) 1999-10-27 1999-10-27 Drucksensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ20003994A3 CZ20003994A3 (en) 2001-06-13
CZ301275B6 true CZ301275B6 (cs) 2009-12-30

Family

ID=8080830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20003994A CZ301275B6 (cs) 1999-10-27 2000-10-27 Tlakové cidlo

Country Status (9)

Country Link
US (1) US6609426B1 (cs)
EP (1) EP1096242B1 (cs)
JP (1) JP3417554B2 (cs)
KR (1) KR20010051288A (cs)
CN (1) CN1140781C (cs)
BR (1) BR0005102A (cs)
CZ (1) CZ301275B6 (cs)
DE (2) DE29918915U1 (cs)
ES (1) ES2159272T1 (cs)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10063321A1 (de) * 2000-12-19 2002-06-20 Gfas Mbh Ges Fuer Aufladetechn Elektrisch angetriebener Strömungsverdichter
US7866242B1 (en) * 2002-04-19 2011-01-11 Harris K Michael Noise dampener hub assembly for a circular saw
US7141447B2 (en) * 2004-10-07 2006-11-28 Mks Instruments, Inc. Method of forming a seal between a housing and a diaphragm of a capacitance sensor
DE102006024385A1 (de) * 2006-05-24 2006-12-21 Gtm Gassmann Testing And Metrology Gmbh Biegering-Kraftaufnehmer
DE102006025509A1 (de) * 2006-05-30 2006-12-14 Gtm Gassmann Testing And Metrology Gmbh Druckkraftaufnehmer
DE102007000364B4 (de) * 2007-07-03 2020-10-15 Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg Manometer mit elektrischem Messwertaufnehmer
GB2491503B (en) * 2010-02-02 2016-08-03 Mks Instr Inc Capacitive pressure sensor
CN105452830B (zh) * 2013-03-15 2018-02-16 测量有限公司 低剖面压力传感器
CN104062046B (zh) * 2013-03-21 2016-06-22 精亮科技(深圳)有限公司 一种压力传感器
DE102013224023A1 (de) * 2013-11-25 2015-05-28 Contitech Ag Elastomerer Hohlkörper, insbesondere elastomerer Schlauch, mit Sensorelement zur Erfassung eines Druckes sowie Verfahren hierzu
US9989434B2 (en) * 2013-12-09 2018-06-05 Etymotic Research, Inc. System and method for providing an applied force indication
DE102014219030B4 (de) 2014-09-22 2016-07-07 Robert Bosch Gmbh Steckermodul
KR101676761B1 (ko) 2015-05-14 2016-11-16 울산과학기술원 압력센서 및 압력센서의 제조방법
CN106706204B (zh) * 2017-02-20 2022-06-21 华能国际电力股份有限公司 一种适用于高温环境测试的压力传感器冷却装置
CN108106758B (zh) * 2017-12-21 2020-06-26 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种硅膜电涡流微压传感器
CN111766011B (zh) * 2019-04-01 2022-08-30 浙江盾安人工环境股份有限公司 压力传感器

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3806471A (en) * 1968-04-29 1974-04-23 R Mitchell Pressure responsive resistive material
JPS59111031A (ja) * 1982-12-17 1984-06-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧力センサ
JPS61207939A (ja) * 1985-03-13 1986-09-16 Yokohama Rubber Co Ltd:The 圧力センサ−
JPH01105130A (ja) * 1987-10-19 1989-04-21 Akira Sugimoto 圧力検出装置
EP0443073A1 (en) * 1990-02-23 1991-08-28 Kabushiki Kaisha Fine Rubber Kenkyuusho Pressure sensor utilizing extension type conductive rubber
DE4010734A1 (de) * 1990-04-03 1991-10-17 Fraunhofer Ges Forschung Einrichtung zur blutdruckmessung
JPH0674848A (ja) * 1991-08-27 1994-03-18 Sumitomo Rubber Ind Ltd 圧力センサー

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL278303A (cs) 1960-11-23 1900-01-01
US3386067A (en) 1967-04-24 1968-05-28 Raphael J. Costanzo Pressure-sensitive electrical switch and application therefor
DE2240286A1 (de) 1972-08-16 1974-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd Druckempfindliches widerstandselement und verfahren zu seiner herstellung
DE2730764A1 (de) 1977-07-07 1979-01-11 Helmut Dipl Chem Ulrich Temperatur-messfuehler oder druck-messfuehler
JPS57182138A (en) 1981-04-30 1982-11-09 Sharp Corp Pressure sensor
US5090246A (en) * 1990-09-19 1992-02-25 Johnson Service Corp. Elastomer type low pressure sensor
DE4201313A1 (de) 1992-01-15 1993-07-22 Ortlepp Wolfgang Drucksensor zur druckabhaengigen elektrischen oder elektronischen schaltung und/oder regelung einer vorrichtung
JPH0699773A (ja) * 1992-09-17 1994-04-12 Tenryu Ind Co Ltd 照明装置
DE59504814D1 (de) * 1995-03-31 1999-02-25 Endress Hauser Gmbh Co Drucksensor
US5654512A (en) * 1995-06-09 1997-08-05 Pacer Industries, Inc. Flexible membrane variable orifice fluid flow meter
JP3022142U (ja) 1995-08-29 1996-03-22 日本空圧システム株式会社 圧力スイッチ
SE506299C2 (sv) * 1996-05-20 1997-12-01 Bertil Oredsson Givare för att detektera ändringar i tvärsnitt hos en långsträckt kroppshålighet

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3806471A (en) * 1968-04-29 1974-04-23 R Mitchell Pressure responsive resistive material
JPS59111031A (ja) * 1982-12-17 1984-06-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧力センサ
JPS61207939A (ja) * 1985-03-13 1986-09-16 Yokohama Rubber Co Ltd:The 圧力センサ−
JPH01105130A (ja) * 1987-10-19 1989-04-21 Akira Sugimoto 圧力検出装置
EP0443073A1 (en) * 1990-02-23 1991-08-28 Kabushiki Kaisha Fine Rubber Kenkyuusho Pressure sensor utilizing extension type conductive rubber
DE4010734A1 (de) * 1990-04-03 1991-10-17 Fraunhofer Ges Forschung Einrichtung zur blutdruckmessung
JPH0674848A (ja) * 1991-08-27 1994-03-18 Sumitomo Rubber Ind Ltd 圧力センサー

Also Published As

Publication number Publication date
US6609426B1 (en) 2003-08-26
EP1096242A3 (de) 2002-07-10
JP2001153741A (ja) 2001-06-08
EP1096242A2 (de) 2001-05-02
ES2159272T1 (es) 2001-10-01
JP3417554B2 (ja) 2003-06-16
DE50014915D1 (de) 2008-03-06
CN1140781C (zh) 2004-03-03
EP1096242B1 (de) 2008-01-16
BR0005102A (pt) 2001-06-19
CZ20003994A3 (en) 2001-06-13
KR20010051288A (ko) 2001-06-25
CN1296168A (zh) 2001-05-23
DE29918915U1 (de) 2000-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ301275B6 (cs) Tlakové cidlo
CN110926691B (zh) 物理量测量装置
CA2249191C (en) Measuring indicator attachment
EP0893676A2 (en) Combined pressure responsive transducer and temperature sensor apparatus
US11422050B2 (en) Temperature-pressure integrated sensor with improved assembly and processing
EP1562030B1 (en) Pressure sensor with metal diaphragm
US7360429B1 (en) High sensitivity pressure actuated switch based on MEMS-fabricated silicon diaphragm and having electrically adjustable switch point
WO2022127810A1 (zh) 传感器组件以及阀装置
JPS62500737A (ja) 高圧センサ
CN208635961U (zh) 压力检测装置
CN217819136U (zh) 压力传感器
PL206793B1 (pl) Czujnik ciśnieniowy
WO2019160514A2 (en) A pressure sensing device
US6626045B2 (en) Pressure measurement device
US11976994B2 (en) Sensor for detecting pressure, filling level, density, temperature, mass and/or flow rate including nanowires arranged on coupling section
CN115727923A (zh) 应变式液位传感器
TWI820218B (zh) 物理量測定裝置
JPH10239193A (ja) 圧力センサ
JP4052716B2 (ja) 圧力検出素子及び圧力センサ
EP4180788A1 (en) Electronic pressure sensor
WO2017100032A1 (en) Low-profile transmission gear position sensor
JP4437578B2 (ja) 簡易交換型真空センサ
KR20040074970A (ko) 압력검출소자를 포함한 장방형 하우징을 구비한압력검출장치
CN218534580U (zh) 一种末端接触感测装置、机器人末端结构及机器人
CN110998269A (zh) 一种传感器

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20111027