CS222956B1 - Ionization vacuometer with hot cathode - Google Patents

Description

I í

HA3BAHHE H30EPETKHHH H0HH3aUH0HHH2 ΜΗΗΟΜΘΤρ C HaKaJIHBaeMHM KSTOftOM ./ > OÓJiaCTL ΠρΗΜβΗΘΗΗΗ Η300ρβΤΘΗΗΗ

IfeoópeTeHHe KacaeTca ηοηη3βιιηοηηογο ΜΗΗΟΜθτρα c HaKajrmae-MHM KaTOJlOM, ΠρΗΓΟΛΗΟΓΟ B 0C0Ó6HH0CTH &7IH Η3ΜθρθΗΗΗ JtaBJíe-hhh b o&iacTH ΗΗ3Κ0Γ0 h cpejuiero BaKyyMa, a TaKJKe b o&iac-th BucoKoro BaKyyMa.

XapaKTepncTHKa ηββθοτηηχ τθχηηηθοκηχ peineHJtíí

IfeBeCTHH HOHH3aiíHOHHHe Μ3Ή0Μ©ΤρΗ C HaKaJIHBaeMHM KaTOHOM, CHOMOLEK) KOTOpHX Η3ΜβρΗΚ>Τ0Η JjaBJíeHHH CBHUie I0”3 Top. Ohhcoctoht H3 KaTojia, aHOjja η ηοηηογο KOJureKTopa, npineM pac- ' CTOHHHH Meswy 3THMH 3JieKTpOJiaMH paBHH OT I JI,O 5 MM h pa3-HOCTH HOTeHHHaJIOB - OKOJIO 100 B. (G.J.fíchulz, A.V.Phelpc, Rev. Sci. Inst.28 (1957) ,S.1O51· · ·1054; U.Eeeck, Vak.-Techn. 22 (1975),S.16 - 20; J.A.PenchkoA JS.Rafalson, M.J.Zymberov, PTB 1964 (1), S.146 - 154;J.S.Cleaver, J.Sci. Inst. 44 (1967)>S.969 - 972; G.Hinzpe-ter, Proc.Symp. on Electron and Vacuum řhysics, Hungary1962, S. 405 - 411; G.Hinzpeter, H.Wulfhekel, Exp. Techn.Phys, 15 (1967), S. 161 - 166).

HejtocTaTKOM nocjiejjHKX HBJíHeTca το, ητο npn jiaBJíeHHHX CBHDieI Top B 3aBHCHMOCTH ΗΟΗΗΟΓΟ TOKa OT JjaBJíeHHH Β03ΗΗΚ3ΘΤ MHK-CHMyM, TaK ψγο jiaBjreHHe ηθ μοκθτ doJiLine Η3μθρητβοη. Jfejiee,HejiocTaTKOM HBjraeTCH το, ητο npn Mairax jjaBJíeHHHx (μθηθθ ηθ- , CKOJILKHX Ι0”θ Top) TOK, Η3ΜθρθΠΗΗϋ Ha HOHHOM KOJDieKTOJfc,CTaHOBHTCH ποοτοηιπιηγλ. 3τοτ 3φφβκτ odycJioBJíen npeHMymecTBeii-HO φΟΤΟΟΛβΚΤρΟΗΗΗΜ ΤΟΚΟΜ, B03ÓyjK£aeMNM ρβΗΤΓθΙΙΟΒ,βΚΗΜ T0pM03-HHM H3JiyHeHHeM, BO3HHKaKXHHM na aHojie.

KpOMe ΤΟΓΟ, Η3ΒΘ0ΤΗΗ Η0ΗΗ33ΗΗ0ΗΗΗβ MHHOMeTpH C HaKaJIHBaeMHM -λ-

KaTOEOM, B KOTOpHX ΛΗΗ ΠρΗΜΘΗΘΗΗΗ B BHCOKOM BaKyyMe C ΙΧΘΛΒΙΟ πολθβλθηηη Φοτοθλθκτροηηογο Tona npejjycMOTpeH λοποληητθλβ- hbeS npeHMymecTBeHHo κοζγβηθβοη mra Ena$parMeHHHS οτιβκτροβ.

TeM caMHM, Η3ΜβιΐΗβτ<3Η, oflHaKO, Jraun. HHZHee npe^ejiLKoe 3Ha- ΉΘΗΗθ ΛΗΒΛθΗΗΗ, Η3ΜβρΗθΜΟβ ΜΗΗΟΜβΤρΟΜ. ' (Metson, G.H., Brit. J.appl. Phys. (2) 46 (1951)» Ρ·46 - 48;Schuemann, W.C., Eev. Sci. lustr. 34 (1965)» Ρ· 700 - 702).

KeJii> H30típeTeHHH

UeJIBJO Η3Ο0ρβΤΘΗΗΗ HBJIfleTCH yCTpáflěHHe^3THX HeaOCTaTKOB HpacurapeHHe jraanas 0Ha H3MepeHHft nomreairaoHHoro MaHOMeTpa cHaKairHBaeMHM KaToaoM #o o&amp;iacTH bhcokhx h hh3khx EOBJíemtíL Η3ΛΟ3ΚβΗΗβ CyiIÍHOCTH Η3θΰρβΤ6ΗΗΗ B 0CH0B6 Κ300ρβΤΘΗΗΗ ΛβΗΗΤ 3a£aHa ΟόθΟΠβΠΗΤΒ ΠρΗ0ΛΗ3ΗΤΘΛΙ.Η0ΛΗΗβίίΗγΚ) 3aBHCHM0CTB MeS^y CHTH&amp;7IOM Β Η3ΜβρΗΤβΛΒΗθ3 ΙίθΠΗ ΗΛΘΒΛβΗΗβΜ, ΠρΗ 3Η8ΗθΗΗΗΧ KaK CBHUie ΠρΗ0Λ. I Top ΤΗΚ Μ ΜβΗββH6CKOJILKHX Ι(Γθ Τθρ.

CoiviacHO Η3θόρθτθΗΗΚ>, 3Ta 3S£ana peiuaeTCH τθμ, ητο οθτοηηηΑ 3.Ε6κτροβ paonojiaraeTCH ΗβποορβκοτΒβΗΗΟ Meamy KaTOKOM η ηοη-HHM KOJUieKTOpOM, ΤΗΚ ΉΤΟ ΗΟΟΗΤΘΛΗ SapHfta πρπ *ΗΧ ΑΒΗΗβΗΗΗμθκκυ κητοκομ η ηοηηημ KOJUieKTopoM oteaTejraiio προχοκπτ qe-ρβ3 3TOT 3JieKTpOJl, ΗΘ COIipHKacaHCL·, OJmaKO, πρκ 3TOM C JXIJfy—ΓΗΜΗ 3ΛβΚΤρ0Α^ΜΗ. 3ΤΟΤ ΟΘΊΉΗΤΗίί 3ΛβΚΤρ0Λ ΠρΗ Η3ΜβρβΗΗΗ Β,miana3OHe BHCOKHX βδΈΛΘΗΙΪΗ ΟΚΟΛΟ I Top ΗΜθβΤ Πρΐ10ΛΗ3ΗΤβΛΒΗΟTOT ace CaMHit ΠΟΤβΗΗΗΘΛ, ΉΤΟ Η HOHHHÍÍ ΚΟΛΛβΚΤΟρ. JW Η3Μβρβ-ΗΗΗ HaCTH ΗΟΗΗΟΓΟ ΤΟΚΒ, ΠρΟΤβΚΒΚΧΗβΓΟ Ηβρβ3 3ΤΟΤ ΟΛΘΚΤρΟΚ,npeflyCMOTpeH Η3ΜβρΗΤβΛ£ΗΗΖ πρπόορ. Ιΐ3ΜβρΗΘΜΗβ ΒβΛΗΉΗΗΗ 3T0ĚHaCTH ΗΟΗΗΟΓΟ TOKa Η ΗΟΗΗΟΓΟ TOKa, ΠρΟΤβΚΗΒΒΙβΓΟ Ηβρθ3 HQHHHÍÍΚΟΛΛΘΚΤΟρ, Η3ΜθρΗθΜΟΓΟ ΤΟΗΗΟ TaKSe, KaK y H3BGCTHHX ΗΟΗΗ3&amp;—uhohhhx MaHOMeTpoB, npeodpa3yioTCH B COOTBOTCTBHH CO CJie^yHMIlHMOTHouieiraeM b 3HaHeirae λθβλθιιηη p: -J-

(I

IK

Iq) [ί+ο (-Í®-)“J (I) ΣΙΚ r^e: I- - 3JieKTpoHHHS tok, npoTeKawtit ot naTosa κ awy, C - HyBCTBUTOJILHOCTL μηηομθτρβ, c h n - ποοτοηηηηθ, 3aBHCHmne τοήηο Tanze, KaK h ' C ot ΗβκοτορΗχ pa3MepoB, paccToamtíi Meamy sjíeKTpojiaMH h hx noTemmajioB. HOHH3aiíHOHHH3 MaHOMOTp B 3TOM CJiyHae ΜΟΖΘΤ ΛΟΠΟΛΗΗΤΒΟΗ yn-paBJuraiuJíM βηηηολπϊτθλβηημ γοτροδοτΒΟΜ, aBTOMaTireecKH bhhhc-JLffiOIIÍMf ΠΟ ΒΗΧΟβΗΗΜ CHTHaJiaM IjK Η I θ 3HazeHHe flaSJíeHHHH BHBO.WlUtfVerO Ha HH£HKaitfDO. C yneTOM CGTOHHoro TOKa I g b coneTaiiira c tokom KOJureKTopaIjj£ no cooTHOHiemco: I+=(IIK + IG) [ A + C ( (2) b flnana3OHe bhcokbx saBJíeHHS no^rynaioT usMepneMys) BejuramyI+, KóTopaji BO3pacTaeT Tanze npz aaBJíeHHH nopasna I TopnponopUHOHaJIBHO SaSJIOHHIO. Πρκ H3MepeHHH HZ3KHX Λ&amp;ΒΛΘΗΗϋ CeTHaTH# ΘΛΘΚΤρΟΑ ΪΪΜθθΤ OTHO-ΟΖΤβΛΒΗΟ ΗΟΗΗΟΓΟ KOJWeKTOpa OTpimaTOJILHHii ΠΟΤΘΗΉΗΟ. 3ΤΟnpeiiHTCTByeT TOMy, ητο φοτοθ^βκτροΗΗ nonznaioT hohhhíí κολτιθκ-τορ η jjocTuraioT ano^a, τβκ ητο τοκ, H3MepeHHHíi na ηοηηομ Z?

KcwuieKTope, Tanze η b ,HHaiia30He npn&amp;r. 10 Top b 3ηηηητθ—ΛΒΗΟϋ CTeneHH coBnajiaeT c λθ^οτβητθλβηημ hohhhm tokom hnponopunoHaJieH jjaBJíeHiro. ΠρΗΜβρ OCymeCTBJíeHHH Η300ρβΤβΗΗΗ H3otípeTeHne ο0έηοηηθτοη óoJiee noapoÓHo Ha cjiejíyiomeM npnMepeero ocymecTBJíeHHH.

Ha φπτ. I npeacTaBJíeHo nonepezHoe cezeHHe Η3ΜβρκτβΛΒΗοϋ JiaM-ΠΗ. ΑηΟΑ I H HOHHHÍÍ ΚΟΟΘΚΤΟρ 2 - npeflCTaBJIHIOT COdOÍÍ IUIOCKIieiuiacTHHKH. IlapajwejiBHo hm, Mezsy ηημη ηηχολητοη Tanze ruioc- k£lh ceTKa 3, pacnoJioxeHHaa npHtíjnisHTeJiBHO nocepejwe Mexnyhohhhm KOjmeKTopoM 2 h KaToaoM 4. KaTOfl 4 npeacTaBJUieT co-dofl BUTHHyTyro napajuieJiLHo κ EpyrHM aneKTpoaaM npoBOJiOKy H3HpmmH, ηοκρκτγιο xopomo 3MHTTHpyiomHM οκοθμ H3 Th02 h Ha-rpeBaewiyro tokom, npoxojyamuM Meamy βηβολημη 5 η 6. IClK H y Η3ΒΘ0ΤΗΗΧ HOHHSaiJHOHHHX ΜΒΗΟΜΘΤρΟΒ TOK, Η3ΜβρθΗΗΗΗna hohhom κοοβκτορβ onHcaHHoií KOHCTpyKUHH, b £Haiia3oHejiaBJíeHHži πρκόΛ. I Top ημθθτ MaKCHMyM. Οτηοιηθηηθ οθτοήηογοTOKa κ Tony KOJmeKTopa B03pacTaeT, οεηηκο, c τβθλκηθηιϊθμjiaBJíeHHH npzMepHo tbkhm xe oÓpa3OM, khk pa3Hima Mexny hohhhmTOKOM npH KSeaJILHOH 38BHCHM0CTH ΗΟΗΗΟΓΟ TOKa OT ΛΗΒΛδΗΗΗ HφθΚΤΗΗβΟΚΗΜ 3ΗΗΉβΗΗΘΜ ΗΟΗΗΟΓΟ TOKa.

Ha $ht. 2 noKa3aH npmmHn H3MepeHHH bhcokhx jiaBJteHHÉ. Πο το-K3M Ili I G Η3ΜβρβΗΗΗΜ ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒβΗΗΟ Ha HOHHOM KOJUieKTO-pe 2 η οθτκθ 3, μοχηο b οοοτβοτοτβηη c ypaBHeHHeM 2 ηηΗτηodmitii tok I+. TeM caMHM flocTKraeTCH npnÓJiHSHTejiBHo jmHefiHaa3aBHCHM0CTL Mexny ΛβΒΛθΗΗβΜ ρ H ΒΗΗΗΟΛΗΘΜΗΜ H3 oóohx to-ΚΟΒ OdníHM TOKOM I , £8ΛβΚ0 3a IipejieJiaMH 3HaHeHHH EaBJíeHHJI,ΠρΗ KÓTOPOM OÓHHHO CJieJCyeT OXHUaTB MaKCHMyM 3aBHCHMOCTHηοηηογο TOKa OT EaBJíeHHH. 3Ta nonpaBKa bhochtch πρθβποΗτκτβ-λβηο npn saBjreHHHx οβηπιθ onpe^eJieHHoro 3ηηή©ηηη.

Ha Φηγ. 3 noKa3ana πρηηηηπηθλβηηλ οχθμη, npHroflHaa jvih H3Me-ρβΗΗΗ HH3KHX flaBrteHUS. MoHHHS KOJDICKTOP 2 ΗΜβθΤ dOJiee BHCO—KHfl ΠΟΛΟΧΗΤβΛΒΗΗίί ΠΟΤβΗΙζΗΘΛ, ΗΘΜ CeTKa 3, T3K ΗΤΟ φθΤΟ3ΛβΚΤ- » POHH, 3MHTTHpyeMHe HOHHHM ΚΟΛΠΘΚΤΟρΟΜ, Η3ΜΘΗΗΚ)Τ HaiipaBJíeHHeΛΒΗΧβΗΗΗ Ha odpaTHoe η Ηθ nonajiajoT ηη Ha KaToa, hh Ha aHoa. , BcJreacTBHe θτογο φοτο&amp;κβκτροΗΗΗϋ τοκ yMeHBinaeTCH β 5 - 10pa3, TaK ητο MoryT Η3μθηητβολ β 5 - 10 pa3 μθηβιιιηο ηοηηηθ το·ΚΗ, ΗΘΜ OdHHHO. H30EPETEffiíft .................... I li KOHH3aiíEOIIHU0 ΜΗΗΟΜΘΤρ C HclKaJIHBaeMHM KaTO^OM C HaXOJVHqEMECJIb Η3ΜθριιτθΛΒΗ0ί1 JiaMne aHo^oM, KaTQHOM, ceT^aTHM θλθκτρολομ,HOHHHM KOJWeKTOpOM H npHÓOpOM RJLSÍ Η3ΜβρβΗΗΗ TOKa, nOAIUDOHae-MUM K HOHHOMy KQJUieKTOpy, OTJTHHaWlSCH ΤΘΜ, ΗΤΟ ΟΘΤΉ&amp;ΤΗΗGJieKTpoA pacnoJiaraeTCH HonocpejxcTBOHHo Mejxjiy κεϊοΛΟΜ h hoh-HHM ΚΟΟΘΚΤΟρΟΜ Η K HGMy ΠΟΛΚΛΚΒ^ΘΤΟΗ npHÓOp JVIfl H3MGpGHHHTOKa, npHHSM, ftM Η3ΜβρθΗΗΗ JHlBJIGHHíI B flHana30He BHCOKHX.naBJíGHHíi οκολο I Top 3τοτ ΘΛβκτροβ HMeeT TaKoS &amp;e ara npnd~JIH3HTGJIBHO TaKOĚ Χβ ΠΟΤΘΗΗΗΟΛ , KaK H HOHHHň KOJUIGKTOp, HΗ3ΜΘΡΗΘΜΗΘ BGJUTCHHH ΤΟΚΟΒ, TGKymHX OT ΗΟΗΗΟΓΟ KOZLZTGKTOpa HceT^aToro ojreKTpofla, npeodpa3yioTCH b 3imeHHe tfaBJíeHHH, bto BpeMff,1 KaK b Anana3OHe hh3khx jtaBjrGHHíi, HanpuMep, οκαζιοΙ0”θ Top, CGTHaTuíi aneKTpoa HaxoAHTCH πολ οτρηηοτθλβηημ Ha-ΠρΟΘ.ΗΗθΜ ΟΤΗΟΟΗΤΘΛΒΗΟ ΗΟΗΗΟΓΟ KOJWeKTOpa.

Upooj&amp;eHHe: Ηβρτθχκ Ha 2 CTpaHEmax

-i./POŠTA ; VYŘiŽ a i'· -J ώ· -J cc Ó o·,

AHHOTAW

M0HH3aiXH0HHíl3 ΚΟΗΟΜβΤρ C Η8Κ8ΛΗΒ3ΘΜΚΜ KaTOJCOM

IfeoópeTeHHe KacaeTca ηοηη33ιιηοηηογο ManoMeTpa c HaKajiiiBaeMHMKaTqnoM. OH ΠρΗΜΘΗΗΘΤΟΗ flJIH Η3ΜθρθΗΕΗ ΛβΒΛβΗΗϋ B OáJiaCTH ΗΗ3Κ0Γ0,:cpejiHero z βηοοκογο BaicyyMa. IíěJIBK)’ Η300ρβΤΘΗΗΗ HBJíaGTCH γΟΤρβΗΘΗΗΘ ΗΜΘΙΟΠΡΊΧΟΗ y COBpSMGH— HHX ΜΗΗΟΜΘΤρΟΒ ΟΤΚΖΙΟΗΘΕΚΗ OT nponopUHOHaZTBHOCTH Me.W HOHHHMTOKOM Z ΛΘΒΛβΗΗβΜ, B03HHKaiOmHX B aHana30He ^aBJreHHfí CBHIIieI Top z ΜθΗθβ ηθοκολβκηχ Ι(Γθ Top, b pe3yjiLTaTe aero paciuz-paeTca flHana30H H3MepeHHH bhcokhx z hh3Khx flaaaeHzfi. 3Tanejii aocTHraeTca ÓJiarojiapa pacnoJiozeHmo οθτηητογο aaeKTpojiaMe^ny KaTOAOM z hohhhm καζυΐθκτοροΜ, npHaeM θτοτ θΛθκτροΛπρζ Η3ΜβρβΗΗΗ BHCOKHX EaBJíeHHft ΗΜββΤ ΠρΗ0ΛΖ3ΗΤβΛΒΗΟ Taitoft»e noTeHUHan, Kai< η κολτιθκτορ, η πρζ Η3μθρθηηη ηη3κηχ jjaBJíe-iiirit - HecKOJiBKO MeHLimtíi OTpzuaTeJiLHuii noTeHunaji, ηθμ kojuigk-τορ. B ΒβρχΗθΜ flzana3OHe aaBJíeHirii Ha stom ΜβκτροΛβ H3MepaeT-CH aonOJIHHTeJIBHHfi HOHHHÍi TOK, KOTOpHH B 00Ή6Τ3ΙΙΗΗ C TOKOMKOJUieKTopa jjaeT oÓiiíhh tok nponopHHOHajiBHHíi aaBJíeHHio τβκζβ bazana30He ócviee I Top. B £Hana30He okojxo Ι0~θ Top φοτοοΛβκτροΗΗΗϋ tok ηοηηογο koji- jieKTopa πολθβληθτοη oTpziíaTejiBHHM noTemmaJiOM λοποληητθλβηογοajieKTpoAa. Η3οόρβτθΗζβ μοηθτ ieííth πρημθηθηηθ jma H3MepeHHa jjaBJíeHHajma Bcex npoueccoB sazyyMHoS τθχηηκη, npoTeKaramzx b jmana30-Ηβ ΛβΒΛβΗΗϋ OT 10 Top flo Ι0~θ Top.

Claims (2)

1. PŘEDMĚT Viní L E Z ϋ Ionizační vakuoměr se žhavenou katodou, jehož anoda, ka-toda, mřížka i iontový sběrač jsou umístěny v elektrometrickéelektronce, přičemž k iontovému sběrači je připojen měřící pří-stroj iontového proudu, vyznačující se tím, že k mřížce (3),která je umístěna mezi katodou (4) a iontovým sběračem (2), jepřipojen měřící přístroj pro měření dílčího iontového prouduIG, přičemž pro měření vysokých tlaků v rozmezí 133, 322 Pa mámřížka (3) stejný nebo přibližně stejný potenciál jako iontovýsběrač (2), kdežto pró měření nízkých tlaků v rozmezí 1,333*10“1Pa má mřížka (3) záporné napětí vůči iontovému sběrači (2).
2. 2 výkresy Uznáno vynálezem na základě výsledků expertizy, provedenéÚřadem pro vynálezectví a patentnictví, Berlín, DD