DE2836671A1 - Gluehkatoden-ionisationsmanometer - Google Patents
Gluehkatoden-ionisationsmanometerInfo
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/04—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of thermionic cathodes
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD20132677A DD133185A1 (de) | 1977-10-04 | 1977-10-04 | Gluehkatoden-ionisationsmanometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2836671A1 true DE2836671A1 (de) | 1979-04-05 |
Family
ID=5509952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19782836671 Withdrawn DE2836671A1 (de) | 1977-10-04 | 1978-08-22 | Gluehkatoden-ionisationsmanometer |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
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DD (1) | DD133185A1 (cs) |
DE (1) | DE2836671A1 (cs) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2716264A1 (fr) * | 1994-02-11 | 1995-08-18 | Balzers Hochvakuum | Procédé et dispositif pour mesurer la quantité de charge s'écoulant dans le vide. |
DE19855522C2 (de) * | 1998-12-02 | 2001-11-08 | Univ Magdeburg Tech | Vakuum-Meßverfahren und Vakuum-Meßeinrichtung |
DE10134912A1 (de) * | 2001-07-18 | 2003-02-06 | Mu Sen Mikrosystemtechnik Gmbh | Ionisationsmanometer |
US7046012B2 (en) * | 2001-11-20 | 2006-05-16 | Ion Science Limited | Ionization devices |
-
1977
- 1977-10-04 DD DD20132677A patent/DD133185A1/xx unknown
-
1978
- 1978-08-22 DE DE19782836671 patent/DE2836671A1/de not_active Withdrawn
- 1978-09-06 CS CS579678A patent/CS222956B1/cs unknown
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US5644220A (en) * | 1994-02-11 | 1997-07-01 | Balzers Aktiengesellschaft | Process and apparatus for measuring charge quantity flowing in a vacuum |
DE19502439B4 (de) * | 1994-02-11 | 2007-08-16 | Oc Oerlikon Balzers Ag | Verfahren und Messanordnung zum Messen der pro Zeiteinheit einen Vakuumvolumenbereich in gegebener Richtung durchströmenden elektrischen Ladungsmenge und deren Verwendung für Massenspektrometer |
DE19855522C2 (de) * | 1998-12-02 | 2001-11-08 | Univ Magdeburg Tech | Vakuum-Meßverfahren und Vakuum-Meßeinrichtung |
DE10134912A1 (de) * | 2001-07-18 | 2003-02-06 | Mu Sen Mikrosystemtechnik Gmbh | Ionisationsmanometer |
US7046012B2 (en) * | 2001-11-20 | 2006-05-16 | Ion Science Limited | Ionization devices |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DD133185A1 (de) | 1978-12-13 |
CS222956B1 (en) | 1983-08-26 |
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