DE2836671A1 - Gluehkatoden-ionisationsmanometer - Google Patents

Gluehkatoden-ionisationsmanometer

Info

Publication number
DE2836671A1
DE2836671A1 DE19782836671 DE2836671A DE2836671A1 DE 2836671 A1 DE2836671 A1 DE 2836671A1 DE 19782836671 DE19782836671 DE 19782836671 DE 2836671 A DE2836671 A DE 2836671A DE 2836671 A1 DE2836671 A1 DE 2836671A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
torr
pressure
current
grid
collector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19782836671
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Christian Dr Rer Nat Edelmann
Jost Kiessling
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hochvakuum Dresden VEB
Original Assignee
Hochvakuum Dresden VEB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hochvakuum Dresden VEB filed Critical Hochvakuum Dresden VEB
Publication of DE2836671A1 publication Critical patent/DE2836671A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
    • H01J41/04—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of thermionic cathodes

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
DE19782836671 1977-10-04 1978-08-22 Gluehkatoden-ionisationsmanometer Withdrawn DE2836671A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD20132677A DD133185A1 (de) 1977-10-04 1977-10-04 Gluehkatoden-ionisationsmanometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2836671A1 true DE2836671A1 (de) 1979-04-05

Family

ID=5509952

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19782836671 Withdrawn DE2836671A1 (de) 1977-10-04 1978-08-22 Gluehkatoden-ionisationsmanometer

Country Status (3)

Country Link
CS (1) CS222956B1 (cs)
DD (1) DD133185A1 (cs)
DE (1) DE2836671A1 (cs)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2716264A1 (fr) * 1994-02-11 1995-08-18 Balzers Hochvakuum Procédé et dispositif pour mesurer la quantité de charge s'écoulant dans le vide.
DE19855522C2 (de) * 1998-12-02 2001-11-08 Univ Magdeburg Tech Vakuum-Meßverfahren und Vakuum-Meßeinrichtung
DE10134912A1 (de) * 2001-07-18 2003-02-06 Mu Sen Mikrosystemtechnik Gmbh Ionisationsmanometer
US7046012B2 (en) * 2001-11-20 2006-05-16 Ion Science Limited Ionization devices

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2716264A1 (fr) * 1994-02-11 1995-08-18 Balzers Hochvakuum Procédé et dispositif pour mesurer la quantité de charge s'écoulant dans le vide.
US5644220A (en) * 1994-02-11 1997-07-01 Balzers Aktiengesellschaft Process and apparatus for measuring charge quantity flowing in a vacuum
DE19502439B4 (de) * 1994-02-11 2007-08-16 Oc Oerlikon Balzers Ag Verfahren und Messanordnung zum Messen der pro Zeiteinheit einen Vakuumvolumenbereich in gegebener Richtung durchströmenden elektrischen Ladungsmenge und deren Verwendung für Massenspektrometer
DE19855522C2 (de) * 1998-12-02 2001-11-08 Univ Magdeburg Tech Vakuum-Meßverfahren und Vakuum-Meßeinrichtung
DE10134912A1 (de) * 2001-07-18 2003-02-06 Mu Sen Mikrosystemtechnik Gmbh Ionisationsmanometer
US7046012B2 (en) * 2001-11-20 2006-05-16 Ion Science Limited Ionization devices

Also Published As

Publication number Publication date
DD133185A1 (de) 1978-12-13
CS222956B1 (en) 1983-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2836671A1 (de) Gluehkatoden-ionisationsmanometer
DE3042172A1 (de) Ionisationsmanometerroehre nach bayard-alpert
DE581099C (de) Einrichtung zum Messen und Registrieren kleiner und kleinster Laengenaenderungen sowie Geschwindigkeits- und Druckaenderungen stroemender Medien
DE1190222B (de) Ionisationsmanometer
DE900952C (de) Schaltung zur Verstaerkung und Messung der Differenz veraenderlicher, insbesondere biologischer Spannungen
DE861329C (de) Ionisationsmanometer
DE662069C (de) Schaltung zur selbsttaetigen Verstaerkungsregelung
DE613482C (de) Ionenzaehlrohr, insbesondere Spitzenzaehler
DE876567C (de) Vorrichtung zum Messen von Gleichspannungen geringer Groesse
DE844623C (de) Verfahren zum Messen der Selbstentladung eines Kondensators
DE1059580B (de) Schaltungsanordnung zur Messung von Strahlungsintensitaeten
DD157987A3 (de) Messroehre fuer ein gluehkatoden-ionisationsmanometer
DE730774C (de) Schaltung zur Verstaerkung, Gleichrichtung oder Schwingungserzeugung
DE225603C (cs)
DE980109C (cs)
DE2147479C3 (de) Meßanordnung zur Bestimmung der Feuchtigkeit von Holz und anderen festen Stoffen
DE386331C (de) Messanordnung mit Gitterelektronenroehre zur Messung sehr kleiner Gleichstroeme oder Gleichspannungen
CH238536A (de) Vorrichtung zum Messen von Gleichspannungen geringer Grösse.
DE740923C (de) Schaltungsanordnung einer Verstaerkerroehre mit Kathode, Anode und mindestens drei, zweckmaessig jedoch vier oder mehr Gittern
DD256588A1 (de) Extraktor-ionisationsmanometer
DE872378C (de) Verfahren zur Frequenzvervielfachung mittels Elektronenstrahlen
DE1773122A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bildung von Messwerten aus stark verrauschten und/oder gestoerten Signalen
DE1067614B (de) Vakuummessgeraet und Verfahren zu seiner Herstellung
CH252564A (de) Vorrichtung zur Sichtbarmachung und Messung der Grösse einer Spannung auf oszillographischem Wege.
DE1135205B (de) Verfahren zur Vakuummessung

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee