CS215215B1 - Photoelectric master form and method of producing the same - Google Patents
Photoelectric master form and method of producing the same Download PDFInfo
- Publication number
- CS215215B1 CS215215B1 CS708579A CS708579A CS215215B1 CS 215215 B1 CS215215 B1 CS 215215B1 CS 708579 A CS708579 A CS 708579A CS 708579 A CS708579 A CS 708579A CS 215215 B1 CS215215 B1 CS 215215B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- photoelectric
- layer
- producing
- coating
- masking
- Prior art date
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 4
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims 3
- 238000005275 alloying Methods 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 2
- 238000005554 pickling Methods 0.000 claims 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 101000804764 Homo sapiens Lymphotactin Proteins 0.000 description 1
- WTDRDQBEARUVNC-LURJTMIESA-N L-DOPA Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CC1=CC=C(O)C(O)=C1 WTDRDQBEARUVNC-LURJTMIESA-N 0.000 description 1
- 102100035304 Lymphotactin Human genes 0.000 description 1
- 101100481002 Mus musculus Tff1 gene Proteins 0.000 description 1
- 241001553014 Myrsine salicina Species 0.000 description 1
- 101000798993 Pseudomonas putida (strain ATCC 700007 / DSM 6899 / BCRC 17059 / F1) 2-hydroxy-6-oxo-2,4-heptadienoate hydrolase Proteins 0.000 description 1
- 101150115538 nero gene Proteins 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
- G03F1/56—Organic absorbers, e.g. of photo-resists
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
- G03F1/58—Absorbers, e.g. of opaque materials having two or more different absorber layers, e.g. stacked multilayer absorbers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/40—Treatment after imagewise removal, e.g. baking
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
- 1 -
21S 21S OIMCAHME H3OEPETEH0aκ aBTopcKOMy cBímeTejitCTBy 3aflBJieHO: 30.10.78 3aaBKa 2675175/18-25
Abtoph H3OópeTeHHH: Η.Μ.Ι^ηηηθ, M.řk Ποηρκοβ,
JI.B.JIoryTOBa, B.B.CTenaHOB,K.A.JIaBpeHTteB a A.M.HepHHKOB 3aaBHTejiL·: aBTopu
Ha3BaHne Η30όρετβΗΗΗ: ΦοτοπιοόΛΟΗ h cnocod eroΗ3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ Π300ρβΤβΗΗβ OTHOCHTCfl K nOJiynpOBO£HHKOBOMy προHSBOflCTBy, B HaCTHOCTH, K $OTOIDaÓJlOHaM, ΠρΗΜβΗΗβΜΗΜ jyia.$OTOJIMTOrpa$HHeCKOa OÓpaóOTKH nOjiynpOBOflHHKOBHX IIJiaCTHHH CHOCOdaM HX Η3Γ0Τ0ΒΛΘΗΗΗ. Οληημ H3 rjiaBHUx nyTeií ποβημθηηη KanecTBa, οτβ-neHH HHTerpamiH η οηηκθηηη cedecTOHMOCTH Η3γοτοβλθηηηHHTerpaJIBHUX MHKpOCXeM HBJIH6TCB ΠΟΒΜΠβΗΗβ ΚβΗβΟΤΒΘ φθΤθ-maÓJlOHOB, ΠρϋΜβΗΛβΜΗΧ ΛΛΗ ΠΟΛγΗΘΗΗΗ MHKpOCTpyKTyp ΗθnOjiynpOBOflHMKOBOÍÍ IUiaCTHHe.
Hapjmy c odecneneHneM bucokoM pa3pemaiomeK cnocod-HOCTH H TOqHOCTH ΒΗΠΟΛΗβΗΗΗ ΘΛΘΜβΗΤΟΒ pHCyHKa φΟΤΟίΠβόΛΟ-HOB OCHOBHHMH TpyflHOCTflMH ΠρΗ HX Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ HBJIHIOTCH: - ΠΟΒΗΠβΗΗΘ KOHTpaCTHOCTH Η ΟΠΤΗΗβΟΚΟβ IUIOTHOCTHU30dpaK6HHH; - yMeHLineHne nncjia ^βφβκτοΒ: uapanHH, προκολοβ,BtipHBOB Ha ΗθΠρ03ρΒΗΗΗΧ yqaCTKaX /oCOdeHHO BHCOKHe Tpe-ÓOBaHHH npe^bHBJlHIOTCa Κ φ0Τ0ΠΙ3ΰΛ0Η8Μ RJ1R ΤΒβρ^ΗΧ ΟΧθΜ,r#e ββφθΚΤ Ha ΟβΗΟΜ JIHffit 3ΛβΜΘΗΤβ - a HHCJIO HX flOCTHraeT200 - ΠρΗΒΟβΗΤ K BHXOjjy H3 CTpOfl Bceií exeMH/; - odecneqeHHe ycTOňHHBOCTH κ HCTHpaHHio h BO3jiefi-CTBHK) XHMHH6CKHX p63KTHBOB /kHCJIOT, lyejlOHefi Η Τ.Π./. Μ3ΒΘ0ΤβΗ φ0Τ0ΐΠ80Λ0Η CO CBeTOxiyBCTBMTeJIBHHM CJlOeMHa ocHOBe 0OTO3Myjn,CHOHHHx ποκρκτΗϋ, coflepxamut b Kane-CTBe cBeTOHyBCTBHTejiBHoro κοΜποΗβΗτβ cojih cepedpa /1/. - 2 - 215
HeflOCTaTKOM 3Τ0Γ0 φΟΤΟίϋβόΛΟΗΘ ΒΒΛΗβΤΟΗ ΗΗ3Κ8Ηpa3pemaiOÍnafl enocoóHoert η HesucoKan MexaHHnecKafl προπ-HOCTB SMyjILCHOHHOrO CJlOH, Ο^ΟΛΟΒΛβΗΗΗβ TGM, HTO B Ka-qecTBe ΟΒβτοη^ΒΟΤΒΗΤβΛΒΗΟΓΟ MaTepjaajia ncriojih3yK)TCH λ°-porocTOHiqne γηλογθηη cepeópa; npH stom τολληηθ 3Myjn.cn-οηηογο cjioa nojiyqaeTCfl ορβΒΗΗτβΛΒΗΟ óojittnofi /5-10 mkm/.KpOMe Toro, KanecTBO θν^λβοηοηηηχ $OTomaÓJiOHOB b óojib-inož οτβπβΗΗ 38bmcht €>t hhctoth ηοχοληηχ κομποηθητοβ9MyjiBCHH, οτβπβΗΗ hx nepeMeniíiBaHRH h TewinepaTypn. OóopyβΟΒΘΗΗβ ftJlH Η3ΓΟΤΟΒΛβΗΗΗ 3Ν^ΛΒ0Η0ΗΗΗΧ $OTOinaÓJlOHOB JIOJI-jrho pacnojiaraTBCH b βθτθμηθηηοΜ κομηθτθ, hto Taicxeycjio&HHeT nponecc Η3ΓθτθΒΛβΗΗΗ $0T0maóji0H0B. CjiejtyeTTaKsce οτμθτητβ, hto βμ^λβοηοηηηθ φοτοπίθόΛΟΗΗ He Π03Β0-JIÍTOT B npopecce HX CpRZe^eHHH C pHCyHKOM, Η3Η60βΗΗΙΙΜ HanojiynpoBOflHHKOByK) miacTHHy, bcyiuecTBJíHTB BH3yajiBHiiííKOHTpOJIB COBMeiqeHHH Ha Bceň ΠΛΟΙΜΗ ΠΛΘΟΤΗΗΗ Η3—33 Ha-ΛΗΗΗΗ ΤΘΜΗΟΓΟ ΠΟΛΗ Ha φθΤθΙΠ80ΛθΗβ. M3B6CT6H φ0Τ0φ30Λ0Η, COflepKa JJHH npO3paHHyi0 CT6K—jiHHHyio nojyiojKKy c ηθηθοθηηημ Ha Heě MacKnpyio’nnM ολοθμH3 ΜβΤΘΛΛΘ ΗΛΗ ΟΚΗΟΛ8 ΜβΤ3ΛΛ8,Β ΚΟΤΟρΟΜ ΒΗΠΟΛΗΘΗδ ΤΟ-πολογηη /2/. Μ3ΒβΟΤβΗ cnocbó Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ φΟΤΟιηθόΛΟΗΟΒ, BKJ110-naiomnfi onepaiiHH ηθηθΟθηηη Ha οτθκληηη^ nojyiojRKy ολοημθτβλλθ ujím οκηολθ MeTajuia /xpoM, okhcb xpowia, okhcb»ejie3a η τ.λ./ c ποοΛβ^ιΟΛΗΜ ΗβΗβοθΗΗβΜ Ha ηθγο φοτορβ-3HCTHBHOŽI ΠΛβΗΚΗ, ββ 3Κ0ΠθΗΗρθΒΘΗΗΗ Η ΠρΟΗΒΛΘΗΗΗ φθΤθ-ρβ3Η0ΤΗΒΗ0Η ΠΛβΗΚΗ, ΤρβΒΛβΗΗΗ ΜβΤ8ΛΛΗΗβΟΚθΓθ ΟΛΟΗ /2/.3ΤΟΤ φθΤθΙΠ80ΛθΗ Η CnOCOÓ βΓΟ Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΉ ΗΒΛΗβΤΟΗ Η3Η-00Λββ 0ΛΗ3ΚΗΜ Κ 3aHBÍieHHOMy ΠΟ ΤβΧΗΗΗΘΟΚΟΜ Cy:qHOCTH ΗflOCTHraeMOMy pe3yΛBTáTy. ΦΟΤΟωθόΛΟΗΗ, Η3Γ0Τ3ΒΛΗΒ8βΜΗβΠΟ 3T0My cnocoóy, ΠΟ CpaBHeHHIO C 3Ν^ΛΒΟΗΟΗΗΗΜΗ φθΤθ[Π30-Λ0Η8ΜΗ οόΛ8,π;3Κ)τ όΟΛββ bncokoM paspemaiomeM cnocoóHOOTBW,nO3TOMy ΟΠΗΟΘΗΗΗΗ ΟΠ0ΟΟ0 ΠOΛyx^HΛ ιπκροκοβ pacnpOCTpaHe-HH6 B ΠOΛyπpOBOJ^HHKOBOM ΠρθΗ3Βθ£0ΤΒβ.
OflHaKO φΟΤΟΠΙβόΛΟΗΙί, Η8Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗβ ΠΟ 3TOMy ΟΠΟ- 215 215 - 3 - coóy, oóJiaaaMT ΗββόοτβτοΉΗοϋ οπτιηβοκοδ πλοτηοοτβϊ), Μβ-xaHireecKofi προΉΗοοτΒΚ) η χημβίθοκοΕ ctožkoctbid, ητο ηβ-ΛΗβΤΟΗ ΗΧ CymeCTBeHHHM ΗββΟΟΤβΤΚΟΜ, KOTOPHÍÍ ΟΤρΗΙφΤβΛΒ— HO ΒΛΗΗβΤ Ηβ ΚβΉβΟΤΒΟ Η3Γ0Τ8ΒΙΙΗΒ36ΜΗΧ ΠρΗ ΠΟΜΟΙξΗ 3ΤΗΧφΟΤΟΙΠβόΛΟΗΟΒ ΜΗΚρΟΟΧβΜ, ΟΗΗΤΚθβΤ ΠρΟΙφΗΤ BHXOfla ΓΟΛΗΗΧH3£eJIHĚ Η οροκ CJiyJKÓH CaMHX $OTOmaÓJIOHOE. Sto oóbhchh-βτοΗ HajiHHHeM dojitmoro KOJiiraecTEa προκοΛΟΒ b τυιβκκβ wie-Tajma /πλη oKHJJia MeTajua/, κοτορκβ ΕοκρκΒβκτοΗ nocJieyjiajieHHH φοτορβ3ΗοτΗΒΗθβ naeHKH. ΚροΜβ τογο, τοηκοθ Μβ-TajuuraecKoe ποκρΗτπβ πρκ SKCHiiyaTanHH φοτοπβόΛΟΗΟΒ Jier-κο noBpesaaeTCH, Ha ηθμ oópa3yK)Tca ixapannHH a ehphbh, HTO CHHStaeT οροκ CJlyHÓH φΟΤΟΠβόΛΟΗΟΒ. ΚρΟΜβ ΤΟΓΟ, Ηβ^Ο-OTaTKOM ΜβΤ3ΛΗ00Τ6ΚΛΗΗΗΗΧ φΟΤΟΙΙΙθόΛΟΗΟΒ ΗΒΛΗβΤΟΗ napa-3ΗΤΗ0β οτρβΗΒΗΗβ οΕβτβ οτ ποΒβρκΗΟοτΗ MacKHpyxmero πο-ΚρΗΤΗΗ Η, ΕΟΛβΛΟΤΒΗβ 3ΤΟΓΟ, ΗΟΚ3®βΗΗβ ΓβΟΜβτρΗΉβΟΚΗΧpa3MepOB ΒΛβΜβΗΤΟΒ ΠβρβΗΟΟΗΜΟΓΟ Ha IIOJiyiipOBOj^SHKOByK)iuiacTHHy pncyHKa ΜΗκροοχβΜ. CjiejiyeT τβιοκβ οτμθτητβ, ψγοβ npouecce κοητθκτηροεθηηη áiOTomaóJioHa ο π ojiynpoEOjíHH-KOBOĚ imaCTHHOfi ΠΟΒβρΧΗΟΟΤΒ ΜβΤΘΛΛΙΠβΟΚΟΓΟ MacKKpyioinerocjioh 3JieKTpH3yeT0H, a sto βθλθτ k ooasmeHHio Ha Ηβδ πη-jihhok H3 OKpysaiomeS cpejm, κοτορκβ b προ ne oce coBMeme-HHH HapanaKT MaCKHpyramee ΠΟΚρΗΤΗβ. Βθ3ΗΗΚΗΟΒβΗΗβ ΟΤΗΤΗτ-neοκογο sjíeKTpiraecTBa β 30Ηβ κοητθκτηροβηηηη φοτοωβόαιο-Ha η nojrynpoBOflHUKOBoK πλθοτηηη ηβληθτοη τβκκβ ochobhoSnpnHHHoS nepeHoca nacTim φοτορβ3ΗθΤ8 c nojiynpoBOjrHHKOBofínjiacTHHH Ha φοτοπιβάποΗ, ψγο npnEOjrHT κ cJinnaHHK) φοτοπκιόπο-Ha H nOJiynpOBOXHHKOBOa HttaCTHHH.
UeJIBlO Η3Ο0ρβΤβΗΗΗ ΗΒΛΗβΤΟΗ yMeHBmeHHH ΚΟΛΗΗΘΟΤ-sa ΑβφβκτοΒ Tuna "προκαζΓ, yMeHBmeHHe noBepxHocTHoroCTaTiraecKoro 3apnjía h OTpajKanne® cnocoóHOCTH MacKupyio-mero ΠΟΚρΗΤΗΗ, a ΤβΚΗβ ΠΟΒΗΠΙβΗΗΗ H3H0C0CT0fiK0CTH. HOCTaBJíeHHaH ΙξβΛΒ ΛΟΟΤΜΓββΤΟΗ ΤβΜ, ΉΤΟ φοτοπβό- ΛΟΗ ΛΟΠΟιΠΗΗΤβΛΒΗΟ ΟΟ^βρΟΤ CHOfi ΛβΓΗρΟΒβΗΗΟΓΟ φθΤθρβ3Η- ΟΤΘ, ΗβΗβΟβΗΗΗβ Ha MaCKHpyiWB CJIOfi, a ΤβΚΛίβ ΤβΜ, ΉΤΟ
nocJie onepaipni TpaBJíeHHH MeTaJumnecKoro cjioh nporoBOjmT 3βΚρβΐυΐβΗΗβ φ0Τ0ρβ3Η0ΤΗΒΗ0® ΠΛΘΗΚΗ nyTeM ΗΟΗΗΟΓΟ ΛβΓΗ- -4 - 215 215 ττ οτ ρΟΒΘΗΗΗ, HanDHMep, ΗΟΗδΜΗ OOpa /Χ±Β+/, φΟΟφΟρβ / Ρ+/HJIH CypLMH /122 5b/, πρκ 9Τ0Μ ΛβΓΗρΟΒΘΗΗβ Πρ0Η3Β0^ΗΤHOHaMH c sHepraeii X00-200 κθΒ, a floea ληγηροβθηπη co-οτθβληθτ 100-500 mkKji/cm2.
OnTHMajiLHue peoMH ηοηηογο JierapOBaHHH /θηθργηήHOHOB, AO3a JierapOBaHHH/ BHÓHpaiOTCH B 3aBHCHMOCTH OTMaCCH HOHOB, HCIl0jIÍ>3yeMHX jyiH ΛβΓΗρ0Β3ΗΗΗ H OT TOJHQHHHΠΛ6ΗΚΗ· <£0T0pe3MCTá, HaHecetiHOH Ha MacKHpywiM cjiofóCTeKJIHHHOÍi nOjyiOXKM. ECJIH JierHpOfeaHHe ÓyjieT np0H3B0flHTBCH HOH3MH c3ΗθρΓΗθϋ ΜβΗθθ 100 κθΒ, το hohh He βηθ^ρήκιτοή Ha bciorjiyÓHHy cjioh φοτορβ3Η0Τ8, BCjieflCTBue θτογο He npoH3Og-ββτ "ctHHBaHHe" φοτορβ3ΗθΤδ c MacKHpyroaíeH πλθηκοζ η πό-ΛΟΟΤΘΛΒΗΗβ θφφβΚΤί Ηβ dyjlCT £OCTHrHyT. Πρκ jierupoBpHHH ηοηβμη c θΗθρΓΗθζ dojiee 200 ΚθΒnpOHCxojjHT pa30rpe©aHHe πο&ηοκκΗ TeMnepaTypH, πρκKOTOpOŽ npOHCXOJíHT pa3pyineHHe φθΤθρβ3Η0Τ8. p
Ecjih fl03a jierMpoBaHHH Menee 100 mkK/cm , το ηθ#ocTHraeTCfl οπτημθΙπβηθη οπτηήθοκθη wiothoctb, He nojiHO-CTBK) 38ΤΗΓΗΒ3Κ)Τ0Η ΠρΟΚΟΛΗ Η, ύΛ^ΟΒΘΤβΛΒΗΟ, IjejIB Η3ΛΟ-JKeHHaH* B φΟρίν^Λβ ΗΘΟύρβΤβΗΗΗ Ηβ ÓyjieT JíOCTHrHyTa. ΠρΗ Λ03β ΛΘΓΜρΟΒΘΗΗΗ ÓOJIBBie 500 MKKjl/cM2 npOHC-XOflHT pa3OrpeB ΟΤβΟΗΗΗΟϋ HOjyiOjKKIÍ, HTO ΟΤρΗΙΙβΤβΛΒΗΟΒΛΗΗβΤ Ha KaneCTBO ΛβΓΗρΟΒΒΗΗΟΓΟ φ0Τ0ρ63Η0Τ8— pe3HCTpaspyuiaeTCH.
CymHOCTB H3OÓpeTeHHH ΠΟΗΟΗΗβΤΟΗ ΗβρΤβΚΟΜ, Η3 ΚΟ-τοροΜ H30ópajKeH npžejyiaraeMHží φοτοωβόΛΟΗ b pa3pe3e. Φοτοιπ3(5λοη cofíepxHT CTeKJiHHHyio nojyio&Ky I c Ha-HeceHHHM Ha Heě MacKHpyromHM cjioew 2 H3 MeTajuia hjihOKucjia MeTajuia /xpoM, okhcb xpoMa, okmcb stejiesa η τ.π./B ΚΟΤΟρΟΜ ΒΗΠΟΛΗβΗ pHCyHOK /τΟΠΟΛΟΓΗΗ/ MHKpOCXeMH, ΚΟ-TOptig jxojixeH óhtb BOcnpOHSBejxeH Ha nojiynpOBOjyiHKOBOžmiacTHHe b npoijecGe φοτοΛΗτοΓρβφΗΗ. Ha noBepxHOCTB Ma-CKHpyiomero cjioh 2 HaHeceH AOnojiHMTejiBHHá cjiqé 3 H3 Jie- - 5 - 21S 215 ΓίφΟΒδΗΗΟΓΟ φθτ0ρβ3Η0Τ8.
UpejyiaraeMHfi cnocoó Μ3ΓΟτοβλθημη φοτοπίθόΛΟΗΟΒpeajiH3yeTCH Ha cepjdiHO BtinycKaeMOM oóopyaoBaHHH cjieayro-ΠΙΗΜ OÓpa3OM.
Ha TmaTejitHO OHHineHHyio cTeKjiHHHyiQ nojyioxKy Μβτο-ΑΟΜ HanujieHHH HaHOCHT cjioJí MeTajma hjih OKHCjia MeTajma,.HanpHMep, xpOMa, okhch xpOMa, okhch acejie3a η.,τ.π., toji-mHHOň 0,08-0,15 mkm. Ha HanimeHHHfi cjioU MeTajuia /oKHCjiaMeTajma/ μθτο^ομ iieHTpi®f>yriípOBaHii,H HaHOCHT cjioft φοτορβ-3HCTa TOJIHHHO0 0,3-0,6 MKM, 0<5fl3aTejH>HHM yCJlOBHeM npHBHnOjmeHHH 9THX OnepapHÍS HBJIHeTCH COÓJHO«eHHe CBepXHH-CTHX yCJlOBHĚ, ΉΤΟ OÓecneHHBaeTCH MHHHMaJIBHHM P83PHB0Mno ΒρθΜθΗΗ Meawy onepanHHMH η χρβηθηηθμ nojmoateK b cpe-Λθ HHepTHoro ra3a. CoóJiKweHHe 9THxycjiOBHfl rapaHTupyeTxopomyio a^resnio φοτορθ3ΗθΤ8 κ HanujieHHOMy από» MeTajma/oKHCJia MeTajma/, 3βτβΜ cBeTOHyBCTBHTejiBHHň cjioit non-BepraioT 3KcnoHnpoBaHHio b τθηθημθ I0-I5c nepe3 MacKy, HaKOTOpOli HMeeTCH pKCyHOK /TOnOjlOrHH/ MHKpOCXeM, KOTOpUÍiΒΠΟΟΠββΟΤΒΗΗ ΗβΟόΧΟβΗΜΟ Óy^eT B0Cnp0H3B0flHTB Ha nojiy-npOBOflHHKOBHX IUiaCTHHaX. IlOCJie 3Τ0Γ0 np0M3B0flHT npOHB-jieHHe pucyHKa b 0,6%-om pacTBOpe ejycoro kbjihh h TpaB-JíeHHe MeTajmHHecKOH iuieHKM. Ecjih HantmeHHe imeHKH ocy-mecTBjumocB xpomom /okiicbio xpOMa/, to TpaBJíeHHe ocyme-CTBJ1HI0T B CMeCH C0J1HH0Ž KHCJIOTH H BOflH B COOTHOffleHHH1:1; ecjia ΗβπωβΗΗβ ocymecTBjumocB, okhcb» acejie3a, toTpaBJíeHHe np0H3B0jvrr b TpaBHTejie, co^epacameM ojjhoópomh-cTy» MejiB /τρπ nacTu/ h cojiHHyio KHCJiOTy /1000 μλ/.
Hocjie TpaBJíeHHň c&OTomaójiOH no^BepraioT eajiyÓjiHBa-HHK) npii TeMnepaType 200ŮC b TeneHne 30 MHHyT h ocyqecT-bjihiot 3aKpenjieHHe φοτορβ3ΗοτΗΒΗθΗ imeHKH, ocTaBmeficHHa ynacTKax φοτοιπθάποΗβ, He nojjBepmiHxcH TpaBJíeHHro, ny-ΤβΜ HOHHOrO JierHpOBaHHH. MOHHOe JlérapOBaHUe npOH3BOJÍHTHa cepnňHO BtinycKaeMOM oóopynOBaHHH jym hohhož HMiuiaH—τθιχηη, HanpHMep,. Ha ycTaHOBKe ’’Be3yBHÍi-2M. JlerapoBaHneocymecTBjíHMT ηΟηθμη, HanpHMep, óopa φοοφορβ - 6 - 215 215 /θ^Ρ+/, ηλη cypBMtí /122 $b4/ c anepraeS 100-200 κσΒ, ajxO3a jiempOBaHHH οοοτθβληθτ 100-500 mkKji/cm^. B pG3yjiB-ΤΘΤθ ΗΟΗΗΟΓΟ Jieri^pOgaHHH φθΤθρθ3Η0ΤΗΒΗ3Η IUIGHKa Ha OC-TaBfflHXCH ΠΟΟΛθ/ΤρβΒΛβΗΗΗ Μ6Τ3ΑΠΗ3ΙίρθΒ3ΗΗΙΙΧ ynaCTKaX φθ-TOinaÓJiOHa τβΜΗββτ, ynpoHHHGTCfí η οτβηοβητοη xmmhhgckhCTOÍÍKOÍi no OTHOfflGHH© K KHCJI0T3M, HlGJlOHaM H paCTBOpílTG—JlflM. HpH 3T0M npOHCXOflHT 33ΤΗΓΗΒ3Ηί16 ββφβΚΤΟΒ /πρΟΚΟΛ,napariHH/ MeTajuiíi3np0BaHHoro ποκρητηη, oOpasyioiuero hg-np03paHHtie yqacTKH ΦοτοπιθΟλοηθ , b pG3yjn>TaTe nero ποβη-niaGTCH OnTHHeCKafl njiOTHOCTB φ0Τ0ΚΘ0Λ0Η8, £O MHHHNiyMayMeHBmaGTCH KOJMHGCTBO ΑβφθΚΤΟΒ Ha φ0Τ0Π30Λ0ΗΘ H nOBU-fliaGTCH MGXaHHHGCKaH npOHHOCTB H XHMHHGCK3JI CTOÍÍKOCTBφ0Τ0ΐΠ80Λ0Η0Β. IIpGjyiQjKGHHHií GIlOCOÓ OÓGdlGHHBaGT Η3ΓΟΤΟΒ-J1GHHG WlGTajUlOCTGKJIHHHHX ČDOTOlliaÓJlOHOB C HHCJIOM βθφβΚΤΟΒ,He npeBbímaKrnHM 1-2% ot oómero qncjia MHKpocTpyKTyp, b toΒρθΜΗ.Κ3Κ φ0Τ0Π180Λ0ΗΗ, Η3Γ0ΤθΒΛθΗΗΝβ ΠΟ npHHflTOMy 3Θπροτοτηπ cnocoóy, μμθιοτ 7-10% ββφβκτΗΗΧ CTpyKTyp. Hcnu-T8HHH n0Ka3aJM, ΉΤΟ H3H0C0CMK0CTB φΟΤΟϋΙβόΛΟΗΟΒ, Η3ΓΟ-tobjighhhx no npGflJiafaGMOMy cnocoóy, Bupocjia b 4-6 pa3,3a CHGT Η6Γ0 HX TUpOGCTOMKOCTB yBGJMWiaCB flO 400-600COBMemeHHÍÍ. ΦΟΤΟΠΙβόΛΟΗΗ, J43rOTOBJIGHHHG ΠΟ CymGCTByTDíHGHTexHOjioro, flonycKaiOT hg Óojigg 100 coBMGmeHnn.
HaJlHHMG Ha MěTajIJIHHGCKOM MaCKHpyiOqGM CJIOG ΛβΓΗ-ρΟΒΘΗΗΟΓΟ CJ1OH φ0Τ0£)63Η0Τ8 CHHJKaGT OTpaJKGHHyiO CnOCOÓ-HOCTB MaCKUpyiOIUGrO ílOKptlTHfl flO 5.-7%, B TO BpGMH K8K yφΟΤΟίϋθόΛΟΗΟΒ, HG HMGWÍHHX flOHOjlHHTGJIBHOrO φ0Τ0ρβ3Η0ΤΗΒ-ΗΟΓΟ ΠΟΚρΗΤΗΗ, Πθρ33ΗΤΗ0β ΟΤρθΚθΗΗβ CBGT3 C0CT3BJIHGT50-60%. 3το npHBGJio κ 3HannTGjíBH0My ποβηηι6ηηιο KanecTBaΠβρβΗΟΟΜΜΟΓΟ H3OÓpa»GHHH. ΚρΟΜβ ΤΟΓΟ, 3a CHGT ΠΟΒΗΟΙβΗΗΗOnTHHGCKOň IUlOTHOCTií φΟΤΟίΠθόΛΟΗΘ COKpamaGTCfl BpGMfl 9KC-nOHHpOBaHHH, HTO ΠΟΒΒΟΛΗβΤ γΒθΛΗ^ίΗΤΒ np0H3B0JíHTGJIBH0CTBTpyjota Ha onepanHH 3κοποηηροβ8ηηη nojiynpoBo^HHKOBHx ima-CTHH. HOHHOe JIGrHpOBaHHG φ0Τ0ρβ3Η0ΤΗΒΗ0ϋ ΠΛβΗΚΗ φΟΤΟ-niaóJiOHa cnocoóCTByeT chhtjw CTaTHnecKoro 3ΛβκτρΗΉβοτΒ3,hto npeaOTBpamaeT ocaxaeHHG πηληηοκ Ha noBGpxHOCTH φο-TomaÓJiOHa πρη κοητ3Κτηροβ3ηηη ero c nojiynpoBOflHHKOBOH - 7 - 213 215 njiacTHHOá b npouecce coBMemeHHH. Bjiaro^apn 3TOMy οτπβaaeT Heoóxo^HMoeTB b HacTOft οτμηβκθ φοτοωβόΛΟΗΟΒ, ητοΤΘΚΚβ CnOCOÓCTByeT γΒθΛΗΗθΗΜΚ) cpoxa ΗΧ CJiyjKÓH. - 8 -
ΦυΡί/JjiA M30hPKTEHMS 215 215 1. Φοτοπι30λοη, coflepjKanjHH npO3paHHyp nojyioxKy cHaHecGHHHM Ha Heě MacKHpywiM cjioew H3 weTajuia min okh-CJia MGTaJUia, B ΚΟΤΟρΟΜ ΒΗΠΟΛΗβΗΘ ΤΟΠΟΛΟΓΗΗ, OTJH^aKXUHfl-ch T6M, hto c nejiLio yMeHBineHHfl KOjinnecTBa ΛβφθκτοΒ TH-na "npOKOJl", yMGHBIHGHHH nOBGpXHOCTHOrO CTaTHHeCKOrO 33-pajia h OTpaxaromeň cijocoóhocth MacKHpyromero ποκρητηη, aTaK»e HOBHineHELH H3HQCOCTOMKOCTH, OH βΟΠΟΛΗΗΤθΛΒΗΟ CO-flepoT cjiofí jieriípoBaHHOro φοτορβ3ηοτ8, HaHeceHHHá HaMacKHpyiomHíí c;ion. 2. CnOCOÓ Π3Γ0Τ0ΒΛβΗίίΗ 0OTOmaÓJlOHa HO n.I, BKJIK)—naiomuS onepauHH HaHeceHHH Ha cTeKjiHHHyio nojyiojKKy cjiohMeTajuia hjm OKncjia MeTajuia c nocjienyjojiw η8Η6οθηηθμ HaΗΘΓΟ $OTOpe3HCTHBHO5 IUieHKH, ΘΚΟΠΟΗΗρΟΒΘΗΙϊΗ Η ΠρΟΗΒΛβ-HHH φθΤθρβ3Η0ΤΗΒΗθΜ ΠΛΘΗΚΗ, ΤρΒΒΛβΗΗΗ ΜΘΤΘΛΛΗΗθΟΚΟΓΟcjioh, OTJMHaKruHiíCH Ίθμ, ήτο nocjie onepauHH TpaBjíeHHHΜΘΤΘΛΛΗΉβΟΚΟΓΟ CJ1OH Πρ0Η3Β0^ΗΤ 33Κρβΐυΐ6ΗΗΘ φθΤθρθ3Η-CTHBHOfl ΠΛβΗΚΗ nyTeM ΗΟΗΗΟΓΟ JierupOBaHHH, HanpHMep,HOHaMH dopa /^3+/, φοοφορβ /3IP+/ min cypBMH /122 S3+·/npn 3tom jiernpOBaHne npon3B0ji;HT nOHaMn c sHeprneií 100-200 κθΒ, a ,nO3a jiernpOBaHHH cocTaBjíneT 100-500 mkKji/cm? Πο Π.2 φΟρΜγΛΗ H3OdpeTeHHH yCTaHOBHTB ΠρΗΟρΜΤθΤοτ 20.04.78. no 3anBKe 2600003/25. MCTOHHHKH ΗΗφΟρΜΘΗΗΗ, ΠρΗΗΗΤΗΘ BO ΒΗΗΜΘΗΗΘ ΠρΗ3KcnepTH3e: 1. Solid State Technology 1972,vol. 115,p.29-36. 2. Ilpecc Φ.Π. ”Φ0Τ0ΛΗΤ0Γρ8φΗΗ B npOH3BOjICTBe ΠΟ-JiynpOBOjiHJíKOBHx npndopoB”, M, "OHepiW, 1968, c.I59-160 /προτοτηπ/. ΦΟΤΟΟΙΑΒίΐΟΗ Μ CIíOCOB ΕΓΟ Μ3ΓΟΤΟΒΜΗΗ 215 215 AHHOTAIÍMfl ΚδΟόρβΤΘΗΗΘ OTHOCHTCH Κ nOjiynpOBO£HHKOBOMy προ-H3BO^CTBy» Β qaCTHOCTH, Κ φθΤθΠΙ30ΛθΗ3Μ, ΠρΜΜβΗΗβΜΗΜ RJIR$OTOJMTOrpa$HHeCKOň OdpaóOTKH IlOjiynpOBOflHHKOBHX imaCTHHH CnOCOÓaM HX H3rOTOBJieHHH.
UejIBK) Η300ρβΤβΗΗΗ ΗΒΛΗΘΤΟΗ γΜβΗΒΙΠβΗΗβ KOJlHHeCTBaΛθφβκτΟΒ Tuna "npoKOji", yMeHLUieHHe noBepxHOCTHoro cTa-THnecKoro 3ap;ma h OTpazaiomeii cnocoóHOCTH MacopyiomeroΠΟΚρΗΤΗΗ. ΦοτοπίθόΛΟΗ co,n;epjKHT np03panHyio nojyiOHKy c HaHe-ceHHHM Ha Heě MacKHpywmHM ολοολη3 MeTajuia hjih OKHCJiaMeTajma, β κοτοροΜ βηποληθηθ τοπολοτηη. JCjm yMeHLmeHHH KOjinnecTBa βθφεκτΟΒ τηπθ "npOKOji’,’yMeHLtneHHH noBepxHOCTHoro οτθτηηθοκογο 3apnňa η οτρβ-Karomefi cnocoóHOCTH MacKHpyioiuero ποκρκτΗΗ, a Taxate no-ΒΗΠΙβΗΗΗ H3H0C0CT0ÍIK0CTH, OH ^OnOjIHHTeJILHO COflepjKHTcjióíí jierHpOBaHHOro $0T0pe3HCTa, HaHeceHHHá Ha wiacKHpyio-miriS cjioh.
Cnocod Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ $0T0maÓji0Ha BKjnonaeT onepa-iihh HaHeceHHH Ha οτθκληηηυιο nojviojKKy cjioh MeTajma hjihOKHCjiá MeTajma c nocjiejiyiomHM HaHeceHHeM Ha Hero φοτο-pe3HCTHBHOň ΠΛβΗΚΗ, 3Κ0Π0ΗΗρ0Β8ΗΗΗ Η ΠρΟΗΒΛβΗΗΗ φΟΤΟ-ρβ3Η0ΤΗΒΗ0Η ΠΛβΗΚΗ, TpaBJíeHHH ΜβΤβΛΛΗΗΘΟΚΟΓΟ CJIOH. Πθ-cjie onepanHH TpaBJíeHHH MeTajuinneοκογο cjioh npoHSBOjyrr3aKpenjieHHe Φοτορθ3Ηοτηβηομ ιυιβΗΚΗ ηγτβΜ ηοηηογο jiern-
HJIH CypLMH ΠρΗ 3TOM JierHpOBaHMe ňpOH3BO,HHT HOHaMH c 3HeprHeň X00-200 κθΒ, a ,503a jiempoBaHHH co- οτβΒΛΗβτ 100-500 mkKji/cm^.
Claims (2)
- - 10 PŘEDMĚT VYNÁLEZU 215 2151. Fotoelektrická šablona, obsahující průhlednou podložkus nanesenou na ní maskovací vrstvou z kovu nebo kyslič-níku kovu, v níž je provedena topologie, vyznačující setím, že za účelem zvětšení odolnosti proti opotřebení a snížení počtu defektů typu ‘'propíchnutí”, a také sní-žení povrchového statického náboje a odrazové schopnos-ti maskovacího povlaku, obsahuje dodatečnou vrstvu zlegované fotoelektricky odporové látky, jež je nanese-ná na maskovací vrstvu.
- 2. Způsob výroby fotoelektrická šablony podle bodu 1,sestávající z nanášení na podložku ze skla vrstvy kovukysličníku s následujícím nanášením na ní fotoelektric-kého odporového povlaku, exponování a vyvolávání foto-elektrického odporového povlaku, moření kovové vrstvy,vyznačující se tím, že po mořeni kovové vrstvy se pro-vede fixace fotoelektrického odporového povlaku prostřed-nictvím iontového legování, např. ionty boru (11 β +),fosforu (31p +) neb© antimon (122gb +), přičemž lego-vání se uskutečňuje ionty s energií od 100 do 200 Ke V a dávka legování se rovná 100 až 500 /uC/cm . Uznáno vynálezem na základě výsledků expertízy,provedenéStátním výborem pro vynálezy a objevy SSSR, Moskva, SU. 1 výkres
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782675175A SU938338A1 (ru) | 1978-10-30 | 1978-10-30 | Фотошаблон и способ его изготовлени |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS215215B1 true CS215215B1 (en) | 1982-08-27 |
Family
ID=20789759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS708579A CS215215B1 (en) | 1978-10-30 | 1979-10-18 | Photoelectric master form and method of producing the same |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5560946A (cs) |
| CS (1) | CS215215B1 (cs) |
| DD (1) | DD148177A3 (cs) |
| DE (1) | DE2930416C2 (cs) |
| FR (1) | FR2440568A1 (cs) |
| SU (1) | SU938338A1 (cs) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3525800A1 (de) * | 1985-07-19 | 1987-01-22 | Philips Patentverwaltung | Schaltungsanordnung fuer einen fernsehempfaenger mit einem regelbaren zf-videosignalverstaerker |
| ATE199046T1 (de) * | 1990-05-09 | 2001-02-15 | Canon Kk | Erzeugung von mustern und herstellungsverfahren für halbleiteranordnungen mit diesem muster |
| DE19721524A1 (de) * | 1997-05-22 | 1998-11-26 | Hsm Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Prägezylinders |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3622319A (en) * | 1966-10-20 | 1971-11-23 | Western Electric Co | Nonreflecting photomasks and methods of making same |
-
1978
- 1978-10-30 SU SU782675175A patent/SU938338A1/ru active
-
1979
- 1979-07-26 DE DE19792930416 patent/DE2930416C2/de not_active Expired
- 1979-08-21 JP JP10562179A patent/JPS5560946A/ja active Pending
- 1979-09-27 FR FR7924060A patent/FR2440568A1/fr active Pending
- 1979-10-18 CS CS708579A patent/CS215215B1/cs unknown
- 1979-10-26 DD DD21649479A patent/DD148177A3/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DD148177A3 (de) | 1981-05-13 |
| JPS5560946A (en) | 1980-05-08 |
| SU938338A1 (ru) | 1982-06-23 |
| FR2440568A1 (fr) | 1980-05-30 |
| DE2930416A1 (de) | 1980-05-14 |
| DE2930416C2 (de) | 1982-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE43028T1 (de) | Verfahren zum herstellen einer schichtstruktur. | |
| DE3382697D1 (de) | Verfahren zur herstellung einer abhebemaske mit sauerstoffsperrschicht. | |
| CS215215B1 (en) | Photoelectric master form and method of producing the same | |
| ATE105973T1 (de) | Verfahren zur herstellung von untereinander selbstalignierten gräben unter verwendung einer maske. | |
| DE3781312D1 (de) | Verfahren zur haftung einer schicht aus einem metall mit hohem schmelzpunkt auf einem substrat. | |
| ATE258538T1 (de) | Zusammensetzung einer schwarzen glasur auf einem glassubstrat | |
| IT1040127B (it) | Procedimento per fabbricare un nastro inchiostrato anularead uno o pio colori e nastro inchio strato fabbricato secondo detto procedimento | |
| JPS5297509A (en) | Composite pantagraph and method of manufacturing the same | |
| DE1291139B (de) | Glaselektrode | |
| AR215897A1 (es) | Un procedimiento de revestimiento de la superficie de objetos de vidrio mediante una capa constituida por al menos un oxido de un elemento de transicion de caracter metalico | |
| USRE22421E (en) | Photomechanical negative | |
| GB1528715A (en) | Anticorrosion primer coating compositions | |
| US2321046A (en) | Photomechanical negative | |
| SE7907873L (sv) | Sett att samtidigt neutralisera positiva och negativa statiska elektriska laddningar pa ytor | |
| ATA427277A (de) | Verfahren zum ueberziehen der oberflaeche eines traegers mit einer duennen metalloxydschicht | |
| JPS58118610A (ja) | テ−パ状光導波路の製造方法 | |
| GB1113220A (en) | Photoconductive targets | |
| ES2115496B1 (es) | Panel de acristalamiento y procedimiento para la formacion del mismo. | |
| ATA503780A (de) | Verfahren zur herstellung eines silbermetalloxid-werkstoffesfuer elektrische kontakte mit einer loet- bzw. schweissbaren schicht | |
| GB502273A (en) | Improvements in methods of attaching metallic layers to vitreous or ceramic bodies | |
| JPS6114494B2 (cs) | ||
| JPS5362454A (en) | Direct heating type cathode construction | |
| JPS5423614A (en) | Method of forming metal oxide coating layer on glass sheet surface | |
| GB310874A (en) | Arrangement for the transformation of light variations into changes of electric current or voltage | |
| KR850003624A (ko) | 도형형상 분체도포층의 광학적 집착성 향상방법과 그것을 사용한 형광면 |